JP2011144897A - 防塵機構付きリニアアクチュエータ - Google Patents

Abstract

【課題】防塵ベルトの変形を防止して、防塵ベルトとハウジング部材との間の密封性能を高め、高い防塵性能を発揮することができる防塵機構付きリニアアクチュエータを提供する。
【解決手段】少なくともボールねじを覆って配設されるハウジング部材と、移動ステージの移動軌跡に沿ってハウジング部材に形成される開口部と、開口部を封鎖するためにハウジング部材の両端部に配置される取付手段７１によってハウジング部材の内側に架け渡される防塵ベルト２９，３０と、を備え、防塵ベルトによる開口部の封鎖を維持しながら移動ステージの開口部に沿った移動を実現するために、移動ステージと重畳する位置にある防塵ベルトを迂回させるための迂回手段を移動ステージに設けた防塵機構付きリニアアクチュエータにおいて、防塵ベルトは、取付手段に巻きつけられるとともに、取付手段とハウジング部材の端部によって挟持されている。
【選択図】図４

Description

本発明は、防塵機構付きリニアアクチュエータに係り、例えば、クリーンルーム内において使用する駆動機構として用いるのに適した防塵機構付きのリニアアクチュエータに関するものである。

これまで本出願人やその関連法人では、下記特許文献１に開示されるような防塵機構を備える種々のアクチュエータ（移動対象が運動するのを案内する運動案内装置を含む。）を提案している。例えば、下記特許文献１において提案した防塵機構付きリニアアクチュエータは、アクチュエータハウジングの開口部からの粉塵漏出を確実に防止することのできる機能を備えるものであり、アクチュエータハウジングの開口部での防塵ベルトと移動ステージの突出部との干渉を避けるために、移動ステージに対して防塵ベルトの迂回手段を設けたことを特徴とするものである。

この下記特許文献１に開示される防塵機構付きリニアアクチュエータについて、図１０を用いて説明する。なお、図１０は、従来技術に係る防塵機構付きリニアアクチュエータの構成を説明するための図であり、図中（ａ）は防塵機構付きリニアアクチュエータの上面を示し、図中（ｂ）は防塵機構付きリニアアクチュエータの正面を示し、図中（ｃ）は防塵機構付きリニアアクチュエータの横断面を示している。

図１０に示すように、従来技術に係る防塵機構付きリニアアクチュエータ１は、細長い箱形のハウジング部材２と、この中に回転自在の状態で支持されたボールねじ３と、このボールねじ３の回転運動に応じて往復直線運動する移動ステージ４と、ボールねじ３を回転させるための駆動モータ５とを有している。

ハウジング部材２は、水平基板２１と、この水平基板２１の上面から垂直に起立してボールねじ３と平行に延びる左右一対の垂直側板２２，２３と、これら垂直側板２２，２３の前端及び後端に取り付けられた端部ブロック２４，２５とを備えている。一方の端部ブロック２４によってボールねじ３の一端が回転自在の状態で支持されている。また、ボールねじ３の他端側の部分は、他方の端部ブロック２５によって回転自在の状態で支持されているとともに、当該ブロック２５を貫通して駆動モータ５の側に連結されている。

左右の垂直側板２２，２３の上端部分は内側に向けて直角に折曲がり、左右の水平上板部分２２ａ，２３ａとなっている。これら左右の水平上板部分２２ａ，２３ａの中間には、中央仕切り板２６が配置されており、この中央仕切り板２６の前後端はそれぞれ端部ブロック２４，２５に取り付け固定されている。この結果、水平上板部分２２ａ及び中央仕切り板２６の間に、ボールねじ３の軸線方向、すなわち移動ステージ４の移動方向に延びる左側開口部２７が形成されている。同様に、水平上板部分２３ａと中央仕切り板２６の間には右側開口部２８が形成されている。

各開口部２７，２８は、これらの開口部よりも広幅の防塵ベルト２９，３０によって封鎖されている。これらの防塵ベルト２９，３０は、それぞれ水平上板部分２２ａ，２３ａ及び中央仕切り板２６の下面側に沿って、端部ブロック２４，２５の間に架け渡されている。

以上のように、ハウジング部材２は、水平基板２１、垂直側板２２，２３（水平上板部分２２ａ，２３ａ）、中央仕切り板２６、端部ブロック２４，２５、及び開口部２７，２８を封鎖している防塵ベルト２９，３０によって箱形に仕切られた区画室となっており、ボールねじ３を覆うことによってアクチュエータから発生する粉塵を当該区画室内に留める役割を担っている。

次に、移動ステージ４は、ボールねじ３に螺合しているボールねじナットが形成されているナットブロック４１と、このナットブロック４１の上面に固定されている下プレート４２、この下プレート４２の上面に固定されている中プレート４３、及びこの中プレート４３の上面に固定されている上プレート４４とを備えている。ナットブロック４１の両側面は、ハウジング部材２の内部に取り付けられているリニアガイドレール３１によって、ボールねじ３の軸線方向に向けて摺動自在に支持されている。

移動ステージ４は、上プレート４４がハウジング部材２の外側に位置し、中プレート４３、下プレート４２及びナットブロック４１がハウジング部材２の内部に位置するように構成されている。つまり、上プレート４４は各開口部２７，２８から外部に突出して構成されており、案内対象物と接続することによって案内対象物に移動力を付与できるようになっている。

また、移動ステージ４におけるハウジング部材２の内側に位置する左右側面には、防塵ベルト２９，３０を迂回させるための迂回手段として、それぞれ水平に張り出したローラ６１〜６６が回転自在の状態で設置されている。これらローラ６１〜６６の配置位置については、軸方向両端側のローラ６１，６２，６５，６６に比べて、中央部のローラ６３，６４が一段低い位置となるように配置されている（なお、符号６５のローラは、ローラ６６と対向する位置に設置されているが、図１０中では表れない。そこで、以下の説明では括弧書きで記すこととする。）。

そして、各開口部２７，２８から外部に突出する上プレート４４と、防塵ベルト２９，３０とが干渉することが無いように、各ローラ６１〜６６には、各防塵ベルト２９，３０が架け渡されている。すなわち、防塵ベルト２９，３０は、上プレート４４の突出部分の下方を迂回するように各ローラ６１〜６６に対して架け渡されており、具体的には、左側（図１０中の（ａ）における紙面上側）の防塵ベルト２９が、前側のローラ６１の上側を通り、中央のローラ６３の下側に架け渡され、更に、後側のローラ（６５）の上側を通っている。また、右側（図１０中の（ａ）における紙面下側）の防塵ベルト３０についても同様に、前側のローラ６２の上側を通り、中央のローラ６３の下側に架け渡され、更に、後側のローラ６６の上側を通っている。

従来技術に係る防塵機構付きリニアアクチュエータ１は、以上のような構成を備えているので、移動ステージ４の移動軌跡に沿って形成されている開口部２７，２８が、防塵ベルト２９，３０による封鎖状態を常に維持することが可能となっている。したがって、ボールねじ３とナットブロック４１が有するボールねじナットとの摺動部分や、ナットブロック４１とリニアガイドレール３１との摺動部分等から発生した粉塵は、ハウジング部材２が有する開口部２７，２８を介して外部に漏れ出すことがないようになっている。

また、従来技術に係る防塵機構付きリニアアクチュエータ１では、防塵ベルト２９，３０がハウジング部材２の内側に配置されており、開口部２７，２８に沿って移動する移動ステージ４に対して各防塵ベルト２９，３０が移動ステージ４の下方に迂回できるようになっているので、移動ステージ４が移動する際にも、防塵ベルト２９，３０による開口部２７，２８の封鎖状態を常に維持できるようになっている。

特開２０００−２６６１５１号公報

しかしながら、図１１に示すように、防塵ベルト２９，３０は、端部ブロック２４，２５の上面にプレート７０，７０を介してボルトによって取り付けられる構造となっており、防塵ベルト２９，３０を弛みのないように所定の張力を付与して取り付けられている。このような従来の構造によると、防塵ベルト２９，３０の幅方向に均一に張力を付与することが難しく、防塵ベルト２９，３０の幅寸法や付与する張力の大きさによって、防塵ベルト２９，３０が図１２（ａ）および（ｂ）に示すように上下方向に湾曲して、ハウジング部材２と防塵ベルト２９，３０との間の密封性能が低下してしまう可能性を含んでいた。

また、本発明者らの研究の結果、防塵ベルト２９，３０の幅寸法が小さいと、防塵ベルト２９，３０は、図１２（ａ）に示すような上向きの弓なり形状に湾曲し、幅寸法が大きく（概略５０ｍｍ以上）なると、図１２（ｂ）に示すような下向きの弓なり形状に湾曲することが判明している。

このように、従来の防塵機構付きリニアアクチュエータの構造によると、適切に防塵ベルトを取り付けるために防塵ベルトに張力を調整したり、防塵機構付きリニアアクチュエータの大きさを変更した場合に、防塵ベルト２９，３０が湾曲してその取付状態に変化が生じ、防塵ベルト２９，３０の湾曲の状態に合わせて防塵ベルト２９，３０の取付状態を調整することができないといった問題があった。

本発明は、上記課題を解決するために成されたものであって、どのような大きさのリニアアクチュエータであっても、防塵ベルトが変形することを防止して、防塵ベルトとハウジング部材との間の密封性能を高め、高い防塵性能を発揮することができる防塵機構付きリニアアクチュエータを提供することを目的とする。

上記課題を解決する本発明に係る防塵機構付きリニアアクチュエータは、ボールねじと、前記ボールねじに係合するボールねじナットを有し、前記ボールねじの回転運動にともなって該ボールねじの軸方向に往復直線運動自在とされる移動ステージと、少なくとも前記ボールねじを覆って配設されるハウジング部材と、前記移動ステージの移動軌跡に沿って前記ハウジング部材に形成される開口部と、前記開口部を封鎖するために前記ハウジング部材の両端部に配置される取付手段によって前記ハウジング部材の内側に架け渡される防塵ベルトと、を備え、前記防塵ベルトによる前記開口部の封鎖を維持しながら前記移動ステージの前記開口部に沿った移動を実現するために、前記移動ステージと重畳する位置にある前記防塵ベルトを迂回させるための迂回手段を前記移動ステージに設けた防塵機構付きリニアアクチュエータにおいて、前記防塵ベルトは、前記取付手段に巻きつけられるとともに、前記取付手段と前記ハウジング部材の端部によって挟持されていることを特徴とする。

本発明によれば、防塵ベルトは、前記取付手段に巻きつけられるとともに、取付手段とハウジング部材の端部によって挟持されているので、防塵ベルトの幅方向に均一にかつ強力に張力を付与することができるとともに、防塵ベルトの固定をハウジング部材の端部と取付手段とが当接する面で受けることができるので、防塵ベルトの変形を防止し、密封性能を向上させることができる。

第１の実施形態に係る防塵機構付きリニアアクチュエータの外観斜視図である。 第１の実施形態に係る防塵機構付きリニアアクチュエータの外観構成を説明するための図であり、図中（ａ）は上面を、図中（ｂ）は正面を、図中（ｃ）はモータ側側面を、図中（ｄ）は反モータ側側面を示している。 第１の実施形態に係る防塵機構付きリニアアクチュエータの内部構成を説明するための透視図であり、図中（ａ）は上面視を、図中（ｂ）は正面視を、図中（ｃ）はモータ側側面視を、図中（ｄ）は反モータ側側面視を示している。 第１の実施形態に係る防塵機構付きリニアアクチュエータの防塵ベルトの取付方法を説明するための上面斜視図である。 第１の実施形態に係る防塵機構付きリニアアクチュエータの防塵ベルトの取付方法を説明するための図である。 第１の実施形態に係る防塵機構付きリニアアクチュエータの防塵ベルトの構成を示す図であり、図中（ａ）は防塵ベルトに設けられた取付孔の位置を説明するための図であり、図中（ｂ）は防塵ベルトの取付状態を示した断面図である。 第２の実施形態に係る防塵機構付きリニアアクチュエータの防塵ベルトの取付方法を説明するための図である。 第２の実施形態に係る防塵機構付きリニアアクチュエータの迂回手段の構造を説明するための図である。 第２の実施形態に係る防塵機構付きリニアアクチュエータの防塵ベルトの構成を示す図である。 従来技術に係る防塵機構付きリニアアクチュエータの構成を説明するための図であり、図中（ａ）は防塵機構付きリニアアクチュエータの上面を示し、図中（ｂ）は防塵機構付きリニアアクチュエータの正面を示し、図中（ｃ）は防塵機構付きリニアアクチュエータの横断面を示している。 従来技術に係る防塵機構付きリニアアクチュエータの防塵ベルトの取付方法を示す図である。 従来技術に係る防塵機構付きリニアアクチュエータの防塵ベルトの取付状態を示した断面図であり、図中（ａ）は上向きに弓なりに弛んだ状態を示す図であり、図中（ｂ）は下向きに弓なりに弛んだ状態を示す図である。

以下、本発明を実施するための好適な実施形態について、図面を用いて説明する。なお、以下の実施形態は、各請求項に係る発明を限定するものではなく、また、実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが発明の解決手段に必須であるとは限らない。さらに、以下で行う実施形態の説明では、背景技術の欄で説明した部材と同一又は類似する部材について、同一符号を付して説明を省略する。

［第１の実施形態］
図１から図６を用いて、第１の実施形態に係る防塵機構付きリニアアクチュエータ１００の説明を行う。ここで、図１は、第１の実施形態に係る防塵機構付きリニアアクチュエータの外観斜視図であり、図２は、第１の実施形態に係る防塵機構付きリニアアクチュエータの外観構成を説明するための図であり、図中（ａ）は上面を、図中（ｂ）は正面を、図中（ｃ）はモータ側側面を、図中（ｄ）は反モータ側側面を示しており、図３は、第１の実施形態に係る防塵機構付きリニアアクチュエータの内部構成を説明するための透視図であり、図中（ａ）は上面視を、図中（ｂ）は正面視を、図中（ｃ）はモータ側側面視を、図中（ｄ）は反モータ側側面視を示しており、図４は、第１の実施形態に係る防塵機構付きリニアアクチュエータの防塵ベルトの取付方法を説明するための上面斜視図であり、図５は、第１の実施形態に係る防塵機構付きリニアアクチュエータの防塵ベルトの取付方法を説明するための図であり、図６は、第１の実施形態に係る防塵機構付きリニアアクチュエータの防塵ベルトの構成を示す図であり、図中（ａ）は防塵ベルトに設けられた取付孔の位置を説明するための図であり、図中（ｂ）は防塵ベルトの取付状態を示した断面図である。

第１の実施形態に係る防塵機構付きリニアアクチュエータ１００は、上述した従来技術に係る防塵機構付きリニアアクチュエータ１とほぼ同様の構成を有しているが、防塵機能のより一層の向上のために、図１〜図３に示すように、ハウジング部材２の両端部側を覆うことが可能なエンドプレートカバー１０５ａ，１０５ｂを備えている。

本実施形態に係る防塵機構付きリニアアクチュエータ１００の特徴は、防塵ベルト２９，３０の取付方法にある。この防塵ベルト２９，３０の取付方法について、図４から図６を用いて詳細に説明を行う。

以下、反モータ側の端部ブロック２４に取り付けられる取付手段７１を例にして、その形状や取付方法を具体的に説明するが、モータ側の端部ブロック２５については、反モータ側の端部ブロック２４とほぼ同様の構造を有しているので、符号を付して詳細な図面を省略する。図４及び５に示すように、本実施形態に係る防塵機構付きリニアアクチュエータの防塵ベルト２９，３０は、その端部がブロック状に形成された取付手段７１に巻きつけられると共に、取付手段７１と端部ブロック２４，２５とによって挟持されて取り付けられている。

取付手段７１とハウジング部材２の端部ブロック２４の上面は同一平面上に位置するように取り付けられており、防塵ベルト２９，３０は、取付手段７１の上面および端部ブロック２４と対向する側面と面接触して取り付けられている。また、取付手段７１の下面に穿孔されたボルト孔にボルトを螺合することにより防塵ベルト２９，３０は取付手段７１に取り付けられている。このように、防塵ベルト２９，３０は、取付手段７１の下面，端部ブロック２４と対向する側面および上面に沿って、取付手段７１に３／４周巻きつけられている。

さらに、防塵ベルト２９，３０は、図６に示すように、防塵ベルト２９，３０の幅方向における両端側に寄って形成された取付孔１２１によって取付手段７１に取り付けられている。このように、防塵ベルト２９，３０の両端側に取付孔１２１を形成すると、防塵ベルト２９，３０を架け渡した際に、防塵ベルト２９，３０の両端にまで十分な張力を付与することができる。

また、本実施形態に係る防塵機構付きリニアアクチュエータ１００は、防塵ベルト２９，３０を取付手段７１に巻きつけ、取付手段７１とハウジング部材２の端部ブロック２４，２５によって挟持されているので、防塵シート２９，３０は、取付手段７１と端部ブロック２４，２５との当接面によって張力を付与されている。このような構成によると、防塵シート２９，３０全体を幅方向全般にわたって均一にかつ強力に引張ることができる。したがって、図６（ｂ）に示すように、ハウジング部材２の長手方向に沿って水平に防塵ベルト２９，３０を架け渡すことができ、防塵ベルト２９，３０とハウジング部材２との間の隙間を確実に封鎖して防塵機構付きリニアアクチュエータ１００の密封性を向上させることができる。

［第２の実施形態］
以上、第１の実施形態に係る防塵機構付きリニアアクチュエータ１００について説明した。次に説明する第２の実施形態は、第１の実施形態に係る防塵機構付きリニアアクチュエータと異なる形状を有する防塵機構付きリニアアクチュエータの実施例について説明を行うものである。なお、上述した第１の実施形態の場合と同一又は類似する部材については、同一符号を付して説明を省略する。

図７は、第２の実施形態に係る防塵機構付きリニアアクチュエータの防塵ベルトの取付方法を説明するための図であり、図８は、第２の実施形態に係る防塵機構付きリニアアクチュエータの迂回手段の構造を説明するための図であり、図９は、第２の実施形態に係る防塵機構付きリニアアクチュエータの防塵ベルトの構成を示す図である。

本実施形態に係る防塵機構付きリニアアクチュエータは、上述した第１の実施形態に係る防塵機構付きリニアアクチュエータよりも大型の防塵機構付きリニアアクチュエータに係る実施形態を示したものであり、具体的には、防塵ベルト２９，３０の長手方向と直交する幅方向の寸法が概略５０ｍｍ以上の防塵機構付きリニアアクチュエータに関する実施形態を示したものである。

図７に示すように、本実施形態に係る防塵機構付きリニアアクチュエータの防塵ベルト
２９，３０は、上述した第１の実施形態に係る防塵ベルト２９，３０と同様に、取付手段７１ａの下側にボルトによって取り付けられ、取付手段７１ａに３／４周巻きつけられ、端部ブロック２４，２５と取付手段７１ａとに挟持されてハウジング部材２に取り付けられている。

ここで、取付手段７１ａの上面には、防塵ベルト２９，３０の幅方向における両端部に対向する位置の近傍に逃げ面としての逃げ溝７２，７２が形成されている。ここで、取付手段７１ａの上面とは、本実施形態に係る防塵機構付きリニアアクチュエータの開口部２７，２８と対向する面をいい、図７における防塵ベルト２９，３０と対向する面である。

このように、取付手段７１ａに逃げ溝７２を形成すると、防塵ベルト２９，３０に付与した張力を両端側で逃すことができ、防塵ベルト２９，３０の両端部における張力を中央部に比べて若干弱くすることができる。したがって、大型の防塵機構付きリニアアクチュエータでは、図１２（ｂ）に示すように、防塵ベルト２９，３０の両端部での張力が大きくなって、防塵ベルト２９，３０が下向きの弓なり形状に湾曲してしまうが、当該張力を弱めることで、第１の実施形態に係る防塵機構付きリニアアクチュエータ１００で図６（ｂ）に示したように、ハウジング部材２の長手方向に沿って水平に防塵ベルト２９，３０を架け渡すことができ、防塵ベルト２９，３０とハウジング部材２との間の隙間を確実に封鎖して防塵機構付きリニアアクチュエータの密封性を向上させることができる。

図８に示すように、本実施形態に係る防塵機構付きリニアアクチュエータの迂回手段に逃げ手段６１ａ〜６６ａが形成されている。なお、迂回手段は、背景技術の欄で説明した従来の防塵機構付きリニアアクチュエータとほぼ同様の構成を備えているが、迂回手段を構成する各ローラ６１〜６６は全て同様の逃げ手段が形成されているので、ローラ６１及び６２を詳細に詳細に説明した図８を示し、その余のローラ６３〜６６については、その説明を省略する。

ローラ６１，６２は、移動ステージを構成する下プレート４２上に載置された中プレート４３に回転自在に取り付けられており、ローラ６１，６２の上側に防塵ベルト２９，３０が架け渡されている。さらに、ローラ６１，６２には軸方向の両端側が中央側よりも小径の逃げ手段６１ａ，６２ａが形成され、軸線方向に沿って段付き形状とされている。この逃げ手段６１ａ，６２ａは、上述した取付手段７１ａの逃げ溝７２，７２と同様に防塵ベルト２９，３０の両端部に対向する位置の近傍に形成されている。

このように、迂回手段を構成するローラ６１〜６６に逃げ手段６１ａ〜６６ａを形成すると、防塵ベルト２９，３０に付与した張力をその両端側で逃すことができ、防塵ベルト２９，３０の両端部における張力を中央部に比べて若干弱くすることができる。したがって、大型の防塵機構付きリニアアクチュエータでは、図１２（ｂ）に示すように、防塵ベルト２９，３０の両端部での張力が大きくなって、防塵ベルト２９，３０が下向きの弓なり形状に湾曲してしまうが、当該張力を弱めることで、第１の実施形態に係る防塵機構付きリニアアクチュエータ１００で図６（ｂ）に示したように、ハウジング部材２の長手方向に沿って水平に防塵ベルト２９，３０を架け渡すことができ、防塵ベルト２９，３０とハウジング部材２との間の隙間を確実に封鎖して防塵機構付きリニアアクチュエータの密封性を向上させることができる。

また、本実施形態に係る防塵機構付きリニアアクチュエータの防塵ベルト２９，３０は、図９に示すように、長手方向と直交する幅方向における中心側に取付孔１２０が形成されており、防塵ベルト２９，３０に付与する張力をその両端側で弱くするように構成されている。したがって、当該張力を弱めることで、ハウジング部材２の長手方向に沿って水平に防塵ベルト２９，３０を架け渡すことができ、防塵ベルト２９，３０とハウジング部材２との間の隙間を確実に封鎖して防塵機構付きリニアアクチュエータの密封性を向上させることができる。

以上、本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施形態に記載の範囲には限定されない。上記実施形態には、多様な変更又は改良を加えることが可能である。

例えば、上記実施形態においては、防塵ベルト２９，３０は、取付手段７１，７１ａに３／４周巻きつけた場合について説明したが、防塵ベルト２９，３０が端部ブロック２４，２５と取付手段７１，７１ａに挟持されていれば、複数回巻きつけても構わない。

また、上記実施形態においては、ローラ６１〜６６を段付き形状に形成して、逃げ手段を形成した場合について説明したが、逃げ手段は、段付き形状に限定されず、防塵ベルト２９，３０の両端部に対向する位置の近傍に溝を形成しても構わない。その様な変更又は改良を加えた形態も本発明の技術的範囲に含まれ得ることが、特許請求の範囲の記載から明らかである。

本発明に係る防塵機構付きリニアアクチュエータは、防塵ベルトに付与する張力を適切に調整することができ、ハウジング部材と防塵ベルトの隙間を確実に封鎖して密封性を向上させることができる防塵機構付きリニアアクチュエータを提供することができる。

２ ハウジング部材， ３ ボールねじ， ４ 移動ステージ， ５ 駆動モータ， ２１ 水平基板， ２２，２３ 垂直側板， ２４，２５ 端部ブロック， ２６ 中央仕切り版， ２７，２８ 開口部， ２９，３０ 防塵ベルト， ６１，６２，６３，６４，（６５），６６ ローラ， ６１ａ，６２ａ，（６３ａ，６４ａ，６５ａ，６６ａ） 逃げ手段， ７１，７１ａ 取付手段， ７２ 逃げ溝。

Claims (5)

1. ボールねじと、
   前記ボールねじに係合するボールねじナットを有し、前記ボールねじの回転運動にともなって該ボールねじの軸方向に往復直線運動自在とされる移動ステージと、
   少なくとも前記ボールねじを覆って配設されるハウジング部材と、
   前記移動ステージの移動軌跡に沿って前記ハウジング部材に形成される開口部と、
   前記開口部を封鎖するために前記ハウジング部材の両端部に配置される取付手段によって前記ハウジング部材の内側に架け渡される防塵ベルトと、
   を備え、前記防塵ベルトによる前記開口部の封鎖を維持しながら前記移動ステージの前記開口部に沿った移動を実現するために、前記移動ステージと重畳する位置にある前記防塵ベルトを迂回させるための迂回手段を前記移動ステージに設けた防塵機構付きリニアアクチュエータにおいて、
   前記防塵ベルトは、前記取付手段に巻きつけられるとともに、前記取付手段と前記ハウジング部材の端部によって挟持されていることを特徴とする防塵機構付きリニアアクチュエータ。
2. 請求項１に記載の防塵機構付きリニアアクチュエータにおいて、
   前記防塵ベルトは、前記取付手段に形成されたボルト孔に、前記防塵ベルトに形成された取付孔を介して取付ボルトを螺合することによって取付られており、
   前記取付孔は、前記防塵ベルトの長手方向と直交する幅方向における両端側に形成されていることを特徴とする防塵機構付きリニアアクチュエータ。
3. 請求項１に記載の防塵機構付きリニアアクチュエータにおいて、
   前記防塵ベルトは、前記取付手段に形成されたボルト孔に、前記防塵ベルトに形成された取付孔を介して取付ボルトを螺合することによって取付られており、
   前記取付孔は、前記防塵ベルトの長手方向と直交する幅方向における中心側に形成されていることを特徴とする防塵機構付きリニアアクチュエータ。
4. 請求項２または３に記載の防塵機構付きリニアアクチュエータにおいて、
   前記取付手段の少なくとも前記防塵ベルトの前記幅方向における両端部に対向する位置に逃げ面が形成されていることを特徴とする防塵機構付きリニアアクチュエータ。
5. 請求項２から４のいずれか１項に記載の防塵機構付きリニアアクチュエータにおいて、
   前記迂回手段には、前記防塵ベルトの前記幅方向における両端部に対向する位置に逃げ手段が形成されていることを特徴とする防塵機構付きリニアアクチュエータ。

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