WO2010090169A1 - 霧化部材及びそれを備える霧化器 - Google Patents

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WO2010090169A1
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WO
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piezoelectric body
vibration
atomizer
piezoelectric
vibrating membrane
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PCT/JP2010/051386
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嗣治 上林
藤本 克己
開田 弘明
中村 大佐
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株式会社村田製作所
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Publication date
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    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05BSPRAYING APPARATUS; ATOMISING APPARATUS; NOZZLES
    • B05B17/00Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups
    • B05B17/04Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods
    • B05B17/06Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods using ultrasonic or other kinds of vibrations
    • B05B17/0607Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods using ultrasonic or other kinds of vibrations generated by electrical means, e.g. piezoelectric transducers
    • B05B17/0638Apparatus for spraying or atomising liquids or other fluent materials, not covered by the preceding groups operating with special methods using ultrasonic or other kinds of vibrations generated by electrical means, e.g. piezoelectric transducers spray being produced by discharging the liquid or other fluent material through a plate comprising a plurality of orifices
    • B05B17/0646Vibrating plates, i.e. plates being directly subjected to the vibrations, e.g. having a piezoelectric transducer attached thereto
    • AHUMAN NECESSITIES
    • A01AGRICULTURE; FORESTRY; ANIMAL HUSBANDRY; HUNTING; TRAPPING; FISHING
    • A01MCATCHING, TRAPPING OR SCARING OF ANIMALS; APPARATUS FOR THE DESTRUCTION OF NOXIOUS ANIMALS OR NOXIOUS PLANTS
    • A01M1/00Stationary means for catching or killing insects
    • A01M1/20Poisoning, narcotising, or burning insects
    • A01M1/2022Poisoning or narcotising insects by vaporising an insecticide
    • A01M1/2027Poisoning or narcotising insects by vaporising an insecticide without heating
    • A01M1/2044Holders or dispensers for liquid insecticide, e.g. using wicks
    • A01M1/205Holders or dispensers for liquid insecticide, e.g. using wicks using vibrations, e.g. ultrasonic or piezoelectric atomizers
    • AHUMAN NECESSITIES
    • A61MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61LMETHODS OR APPARATUS FOR STERILISING MATERIALS OR OBJECTS IN GENERAL; DISINFECTION, STERILISATION OR DEODORISATION OF AIR; CHEMICAL ASPECTS OF BANDAGES, DRESSINGS, ABSORBENT PADS OR SURGICAL ARTICLES; MATERIALS FOR BANDAGES, DRESSINGS, ABSORBENT PADS OR SURGICAL ARTICLES
    • A61L9/00Disinfection, sterilisation or deodorisation of air
    • A61L9/14Disinfection, sterilisation or deodorisation of air using sprayed or atomised substances including air-liquid contact processes
    • AHUMAN NECESSITIES
    • A61MEDICAL OR VETERINARY SCIENCE; HYGIENE
    • A61LMETHODS OR APPARATUS FOR STERILISING MATERIALS OR OBJECTS IN GENERAL; DISINFECTION, STERILISATION OR DEODORISATION OF AIR; CHEMICAL ASPECTS OF BANDAGES, DRESSINGS, ABSORBENT PADS OR SURGICAL ARTICLES; MATERIALS FOR BANDAGES, DRESSINGS, ABSORBENT PADS OR SURGICAL ARTICLES
    • A61L2209/00Aspects relating to disinfection, sterilisation or deodorisation of air
    • A61L2209/10Apparatus features
    • A61L2209/13Dispensing or storing means for active compounds
    • A61L2209/132Piezo or ultrasonic elements for dispensing
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02BCLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES RELATED TO BUILDINGS, e.g. HOUSING, HOUSE APPLIANCES OR RELATED END-USER APPLICATIONS
    • Y02B30/00Energy efficient heating, ventilation or air conditioning [HVAC]
    • Y02B30/70Efficient control or regulation technologies, e.g. for control of refrigerant flow, motor or heating

Definitions

  • the present invention relates to an atomizing member, and more particularly, to an ultrasonic atomizing member using a piezoelectric vibrator and an atomizer including the same.
  • Patent Document 1 A cross-sectional view of the atomizer described in Patent Document 1 is shown in FIG.
  • the atomizer 100 includes a base body 101 in which a pressurizing chamber 102 filled with a liquid to be atomized is formed.
  • a nozzle plate 103 is fixed to the base 101 so as to close the upper opening 102 a of the pressurizing chamber 102.
  • a number of nozzle holes are formed in the center of the nozzle plate 103.
  • a disc-shaped piezoelectric vibrator 104 having an opening 104a formed at the center is mounted.
  • the piezoelectric vibrator 104 includes a disk-shaped piezoelectric body 105 and first and second electrodes 106 and 107.
  • the first and second electrodes 106 and 107 are provided on the upper surface 105a and the lower surface 105b of the piezoelectric body 105, and the piezoelectric vibrator 104 is configured to vibrate due to a lateral effect. That is, the piezoelectric vibrator 104 vibrates in the radial direction.
  • the piezoelectric vibrator 104 vibrates due to the lateral effect, so that the nozzle plate 103 flexibly vibrates in a direction z perpendicular to the plate surface direction of the piezoelectric vibrator 104. .
  • the liquid filled in the pressurizing chamber 102 is sprayed from the nozzle holes formed in the nozzle plate 103.
  • Patent Document 1 listed below can provide an atomizer 100 that has a simple structure, is compact, has excellent atomization performance, and has low power consumption by using a piezoelectric vibrator 104 that vibrates due to a lateral effect. Is described.
  • Patent Document 1 when a piezoelectric vibrator that vibrates due to a lateral effect is used, it is difficult to sufficiently increase the atomization efficiency, and thus it is difficult to sufficiently reduce power consumption. There was a problem that there was.
  • An object of the present invention is to provide an atomization member using a piezoelectric vibrator, which has high atomization efficiency and can reduce power consumption, and an atomizer including the atomization member.
  • the atomizing member according to the present invention includes a piezoelectric vibrator and a vibration film.
  • the piezoelectric vibrator has a cylindrical piezoelectric body, a first electrode, and a second electrode.
  • the first electrode is formed on the inner peripheral surface of the piezoelectric body.
  • the second electrode is formed on the outer peripheral surface of the piezoelectric body.
  • the piezoelectric vibrator vibrates cylindrically.
  • the vibration film is provided at an opening on one end side in the axial direction of the piezoelectric body so as to cover the opening on one end side in the axial direction of the piezoelectric body.
  • a through hole is formed at the center of the vibration film.
  • the piezoelectric body and the vibration film are integrally formed. According to this configuration, not only the piezoelectric vibrator can be easily manufactured, but also the vibration efficiency of the piezoelectric vibrator can be improved.
  • the piezoelectric vibrator is connected to a portion on one end side in the axial direction of the piezoelectric body, and the flange extends radially outward from the portion on the one end side.
  • the atomizing member can be attached to the flange portion, the atomizing member can be easily attached.
  • the flange portion is connected to a portion on one end side in the axial direction of the piezoelectric body with a small amount of vibration displacement, even when the atomizing member is attached to the flange portion, the vibration of the piezoelectric body is suppressed. Hard to block. Accordingly, it is possible to suppress a decrease in vibration efficiency associated with the attachment of the atomizing member to the other member.
  • the flange portion is formed integrally with the piezoelectric body. According to this configuration, not only can the piezoelectric vibrator having the flange portion be easily manufactured, but also the vibration efficiency of the piezoelectric vibrator can be improved.
  • connection portion of the flange portion with the piezoelectric body is different in vibration propagation characteristics from other portions of the flange portion.
  • the vibration of the piezoelectric body is reflected at the connection portion of the lung portion with the piezoelectric body. Therefore, the vibration of the piezoelectric body is not transmitted to the portion outside the connection portion of the flange portion. Accordingly, it is possible to suppress a decrease in vibration efficiency caused by providing the flange portion and a decrease in vibration efficiency caused by fixing the flange portion to another member.
  • the freedom degree of design of a flange part can be raised.
  • a groove is formed in a connection portion between the flange portion and the piezoelectric body.
  • the vibration of the piezoelectric body is separated at the connection portion where the groove is formed. Therefore, the vibration of the piezoelectric body is not transmitted to the portion outside the connection portion of the flange portion. Accordingly, it is possible to suppress a decrease in vibration efficiency caused by providing the flange portion and a decrease in vibration efficiency caused by fixing the flange portion to another member. Moreover, the freedom degree of design of a flange part can be raised.
  • the piezoelectric vibrator includes a first electrode pad connected to the first electrode and a second electrode connected to the second electrode.
  • the first electrode pad and the second electrode pad are formed on the surface of the flange portion on the other end side in the axial direction of the piezoelectric body.
  • the central portion in which the through hole of the vibrating membrane is formed is configured by a through hole forming member separate from the other portions of the vibrating membrane.
  • the through-hole forming member can be manufactured separately from the other parts of the vibration film, the vibration film can be easily manufactured.
  • the material of the through hole forming member and the other part of the vibration film can be made different. Accordingly, the degree of freedom in designing the through-hole forming member and the other part of the diaphragm is improved, and it is easy to make the through-hole forming member and the other part of the diaphragm more suitable for the required characteristics of each member. It becomes.
  • the through-hole forming member is made of metal.
  • the through-hole can be easily formed as compared with the case where the member constituting the central portion where the through-hole of the vibrating membrane is formed is made of ceramic. Therefore, the vibration film can be easily manufactured.
  • the through-hole formed member is formed of the same material as the portion other than the through-hole formed member of the vibration film.
  • An atomizer according to the present invention includes the atomization member according to the present invention, an atomizer body, and a liquid supply unit.
  • a piezoelectric vibrator is attached to the atomizer body.
  • the atomizer body is formed with a reservoir for storing the liquid.
  • the liquid supply unit supplies the liquid stored in the storage unit to a portion where the through hole of the vibration film is formed.
  • the liquid supply unit supplies the liquid to the vibrating membrane from the other end side in the axial direction of the piezoelectric body. According to this configuration, the diffusion angle generated in the vibration film can be increased.
  • the piezoelectric vibrator is connected to a portion on one end side in the axial direction of the piezoelectric body, and extends radially outward from the one end side portion.
  • the outer edge portion in the radial direction has a flange portion supported by the atomizer body, and the flange portion is formed with a plurality of through holes extending along the circumferential direction so that the outer edge portion and the diaphragm are At least two bridging portions that are connected are formed, and the length along the radial direction of each of the at least two bridging portions is 30% to 50%, 70% to 90% of the radius of the vibrating membrane, or It is in the range of 115% to 120%.
  • the both sides in the circumferential direction of the portion where the bridging portion of the vibrating membrane is connected have a notch that reaches the center in the thickness direction of the piezoelectric body.
  • the part formed and located between the notches in the circumferential direction of the bridging part is not connected to the piezoelectric body.
  • the central part in the thickness direction of the piezoelectric body becomes a node. For this reason, according to this configuration, the vibration film can be supported at the node. Therefore, better atomization characteristics can be obtained.
  • the piezoelectric body is disposed below the vibrating membrane in the vertical direction.
  • the vibration film is positioned below the outer edge due to the weight of the piezoelectric body.
  • the bridging portion and the piezoelectric body are separated from each other. Therefore, contact between the bridging portion and the piezoelectric body is suppressed. Therefore, wear of the bridging portion can be suppressed. As a result, the lifetime of the atomizer can be extended.
  • the vibration membrane is driven by the cylindrical breathing vibration of the cylindrical piezoelectric body, the vibration efficiency of the vibration membrane is increased, so that the atomization efficiency can be increased and the power consumption can be decreased.
  • FIG. 1 is a schematic exploded perspective view of an atomizer according to the first embodiment.
  • FIG. 2 is a schematic cross-sectional view of the atomizer of the first embodiment.
  • FIG. 3 is a schematic plan view of the elastic plate and the piezoelectric vibrator.
  • FIG. 4 is a schematic cross-sectional view in which a part of the vibrating membrane is enlarged.
  • FIG. 5 is a schematic diagram for explaining a mode of cylindrical respiratory vibration of the piezoelectric vibrator.
  • FIG. 6 is a schematic cross-sectional view of an atomizer according to the second embodiment.
  • FIG. 7 is a schematic perspective view of an atomizing member in the second embodiment.
  • FIG. 8 is a schematic perspective view of an atomizing member in a modified example.
  • FIG. 9 is a cross-sectional view of the atomizer described in Patent Document 1.
  • FIG. 10 is a cross-sectional view for explaining the operation of the piezoelectric vibrator and the nozzle plate of the atomizer described in Patent Document 1. Specifically, it is a cross-sectional view of the piezoelectric vibrator and the nozzle plate in a state where the piezoelectric vibrator extends in the lateral direction.
  • FIG. 11 is a cross-sectional view for explaining the operation of the piezoelectric vibrator and nozzle plate of the atomizer described in Patent Document 1. Specifically, it is a sectional view of the piezoelectric vibrator and the nozzle plate in a state where the piezoelectric vibrator is contracted in the lateral direction.
  • FIG. 10 is a cross-sectional view for explaining the operation of the piezoelectric vibrator and the nozzle plate of the atomizer described in Patent Document 1. Specifically, it is a cross-sectional view of the piezoelectric vibrator and the nozzle plate in
  • FIG. 12 is a schematic cross-sectional view of an atomizer according to a second modification.
  • FIG. 13 is a schematic cross-sectional view of an atomizer according to a third modification.
  • FIG. 14 is a schematic exploded perspective view of an atomizer according to a third embodiment.
  • FIG. 15 is a schematic cross-sectional view of an atomizer according to a third embodiment.
  • FIG. 16 is a graph showing the impedance characteristics of the atomizing member when the ratio (L / r) of the length (L) along the radial direction of the bridging portion to the radius (r) of the vibrating membrane is 80%. is there.
  • FIG. 16 is a graph showing the impedance characteristics of the atomizing member when the ratio (L / r) of the length (L) along the radial direction of the bridging portion to the radius (r) of the vibrating membrane is 80%. is there.
  • FIG. 17 is a graph showing the impedance characteristics of the atomizing member when the ratio (L / r) of the length (L) along the radial direction of the bridging portion to the radius (r) of the vibrating membrane is 100%. is there.
  • FIG. 18 is a graph showing the relationship between the ratio (L / r) of the length (L) along the radial direction of the bridging portion to the radius (r) of the vibrating membrane and the presence or absence of spurious.
  • FIG. 19 is a schematic plan view of an atomizing member in a fourth modification.
  • FIG. 20 is a schematic cross-sectional view of a part of an atomizer in a fourth modification.
  • FIG. 1 is a schematic exploded perspective view of an atomizer according to the present embodiment.
  • FIG. 2 is a schematic cross-sectional view of the atomizer of the present embodiment.
  • the atomizer 1 includes an atomizing member 30, an atomizer body 10, and a liquid supply unit 20.
  • the atomizer 1 may further include, for example, a circuit that drives the atomization member 30.
  • the circuit that drives the atomizing member 30 includes, for example, an oscillation circuit, a control circuit for the oscillation circuit, a power supply circuit that supplies power to each circuit, and the like.
  • the atomizer body 10 can be formed of, for example, synthetic resin, metal, glass, ceramic, paper, or the like. As shown in FIG. 2, a reservoir 11 is formed inside the atomizer body 10.
  • the storage unit 11 stores a liquid 12 to be atomized.
  • the liquid 12 is not particularly limited. Specific examples of the liquid 12 include water, aqueous solutions, organic solvents such as alcohol and petroleum.
  • the liquid 12 may be, for example, a fragrance, a deodorant, an insecticide, an insect repellent, a perfume, a lotion, or a detergent.
  • An atomizing member 30 is attached on the atomizer body 10 via an elastic film 15. But the atomization member 30 may be directly attached to the atomizer main body 10. FIG.
  • the atomizing member 30 includes a cylindrical piezoelectric vibrator 31 and a vibration film 40.
  • the piezoelectric vibrator 31 includes a cylindrical piezoelectric body 32.
  • the piezoelectric body 32 is made of a piezoelectric material.
  • the piezoelectric material for forming the piezoelectric body 32 is not particularly limited. Specific examples of the piezoelectric material include lead zirconate titanate (PZT) ceramics.
  • the dimensions of the piezoelectric body 32 are not particularly limited. The dimensions of the piezoelectric body 32 can be, for example, an inner diameter: 10 mm, an outer diameter: 12 mm, and a height: 3.5 mm.
  • a first electrode 33 is formed on the inner peripheral surface of the piezoelectric body 32.
  • a second electrode 34 is formed on the outer peripheral surface of the piezoelectric body 32.
  • the piezoelectric body 32 is polarized in the radial direction of the piezoelectric body 32 by applying a voltage of about 3 kV / mm between the first and second electrodes 33 and 34, for example. Therefore, the piezoelectric vibrator 31 vibrates in the radial direction of the piezoelectric body 32 (hereinafter referred to as “cylindrical respiratory vibration”) when an AC voltage is applied between the first and second electrodes 33 and 34. To do.
  • This cylindrical respiratory vibration is caused by at least one of the d31 mode and the d33 mode, and specifically, is a vibration having a mode as shown in FIG. That is, as shown in FIGS. 5A to 5C, when a voltage is applied, the cylindrical piezoelectric body 32 repeatedly expands and contracts due to the piezoelectric effect. Along with this, the vibration film 40 vibrates in the vertical direction z.
  • the vibration of the piezoelectric body 32 may be self-excited or separately excited. However, in the case of separate excitation, when a liquid adheres to the surface of the piezoelectric vibrator 31, the resonance frequency changes, so a control circuit for preventing the frequency from changing is necessary. Therefore, the vibration of the piezoelectric body 32 is preferably self-excited.
  • the waveform of the voltage applied to the piezoelectric body 32 may be, for example, a sine wave, a sawtooth wave, a square wave, or the like.
  • the waveform of the voltage applied to the piezoelectric body 32 is preferably a square wave. This is because higher atomization efficiency can be obtained by applying a square wave to the piezoelectric body 32.
  • the on / off control of the atomization is performed by controlling the voltage applied to the piezoelectric body 32, but the waveform of the voltage applied to the piezoelectric body 32 may be AM modulated or FM modulated. .
  • the first and second electrodes 33 and 34 are not particularly limited as long as a voltage can be applied to the piezoelectric body 32.
  • the first and second electrodes 33 and 34 can be formed of, for example, a metal such as Ag, Cu, Au, Pt, Ni, or Sn, or an alloy such as a Cr / Ni alloy or a Ni / Cu alloy.
  • a protective film may be formed on the surfaces of the first and second electrodes 33 and 34.
  • the protective film is not particularly limited as long as it has higher water resistance than the first and second electrodes 33 and 34.
  • the protective film can be formed of an elastic resin such as a silicone resin, a polyurethane resin, or a polyester resin.
  • Examples of the formation method of the first and second electrodes 33 and 34 include a thin film formation method such as sputtering, vapor deposition, and plating, and a method using a conductive paste.
  • a vibrating membrane 40 is attached to the opening 32a on one side in the axial direction A of the piezoelectric body 32 so as to cover the opening 32a.
  • the vibration film 40 is attached to one end face 32 b in the axial direction A of the piezoelectric body 32.
  • the vibration film 40 is not necessarily provided outside the piezoelectric body 32.
  • the vibration film 40 may be provided inside the piezoelectric body 32, that is, in a hollow portion of the cylindrical piezoelectric body 32.
  • the thickness of the vibration film 40 is not particularly limited, but can be, for example, about 0.5 mm.
  • the vibration film 40 is a film that vibrates in the vertical direction z when the piezoelectric body 32 vibrates.
  • the vibration film 40 is not particularly limited as long as it is a film that can vibrate in the vertical direction z, but is preferably a film that mainly vibrates in the primary mode (fundamental mode) as the piezoelectric vibrator 31 vibrates.
  • the displacement amount of the vibration film 40 can be increased. Therefore, the atomizable region of the vibration film 40 can be increased. Therefore, the quantity of the through-hole 43 mentioned later can be increased over a wide area
  • the material of the vibration film 40 is not particularly limited, but the vibration film 40 can be formed of a material such as resin, ceramic, or metal. Especially, it is preferable that the vibration film 40 is made of ceramic. According to this, since the vibration film 40 can be thickened, the dominant vibration mode of the vibration film 40 can be easily changed to the primary mode. In addition, it is preferable that the vibration film 40 is formed of a metal material such as 42 alloy, phosphor bronze, or Western night because the vibration film 40 can be easily processed. In this case, since the vibration film 40 has conductivity, by electrically insulating a part of the vibration film 40, the vibration film 40 can be part of an electrical connection means with the piezoelectric body.
  • the vibrating membrane 40 includes a membrane main body 41 attached to the end of the piezoelectric vibrator 31 and a through-hole forming member 42 that is separate from the membrane main body 41. ing.
  • An opening 41a is formed at the center of the membrane body 41, and the through-hole forming member 42 is attached to the opening 41a.
  • the material of the through-hole forming member 42 is not particularly limited.
  • the through-hole forming member 42 can be formed of the same material as the film main body 41, for example.
  • the shape of the through-hole forming member 42 is not particularly limited, but can be, for example, a diameter of about 4.9 mm and a thickness of about 0.05 mm.
  • the opening 41a formed in the membrane body 41 is formed smaller than the diameter of the through hole forming member 42, and the through hole forming member 42 is pushed into the opening 41a.
  • a through hole forming member 42 is fixed to the membrane body 41.
  • the fixing method of the through-hole forming member 42 to the membrane body 41 is not particularly limited.
  • the through-hole forming member 42 is formed of a resin film having low rigidity, the through-hole forming member 42 is penetrated by an adhesive or the like.
  • the hole forming member 42 may be bonded to the membrane body 41.
  • the through-hole forming member 42 is made of metal, it may be fixed by bonding to the ceramic film main body 41, or after the ceramic film main body 41 is plated. It may be fixed by welding, brazing, or soldering.
  • the through-hole forming member 42 is formed with a plurality of through-holes (nozzle holes) 43 that penetrate the through-hole forming member 42 in the thickness direction.
  • the through hole 43 is for generating mist from the liquid 12.
  • the through hole 43 has a counterbore hole 43a, a connection part 43b, and a diameter-expanded part 43c.
  • the counterbore hole portion 43 a is open to the lower surface 42 a of the through-hole forming member 42.
  • the counterbore hole portion 43a is formed to taper from the lower surface 42a side toward the upper surface 42b side.
  • the lower end portion of the counterbore hole portion 43a is connected to the connection portion 43b.
  • the connecting portion 43b has a substantially cylindrical shape and has substantially the same diameter as the lower end portion of the counterbore hole portion 43a.
  • the diameter of the connection part 43b can be appropriately set according to the viscosity of the liquid 12 to be atomized.
  • the diameter of the connecting portion 43b can be set to about 5 to 20 ⁇ m, for example.
  • the lower end part of the connection part 43b is connected to the enlarged diameter part 43c.
  • the enlarged diameter portion 43c is formed in a columnar shape having a diameter larger than that of the connection portion 43b. In FIG. 2 and FIG. 6 to be described later, the through hole 43 is simply described in a columnar shape for convenience of drawing.
  • the through hole 43 includes the counterbore hole portion 43a, the connection portion 43b, and the enlarged diameter portion 43c has been described.
  • the shape of the through hole 43 is not limited to the shape of the present embodiment described above, and may be, for example, a tapered shape or a cylindrical shape.
  • the film body 41 and the through-hole forming member 42 may be formed of the same material or different materials.
  • the through-hole forming member 42 is preferably made of metal. This is because when the through-hole forming member 42 is made of metal, for example, the through-hole 43 can be formed more easily than when the through-hole forming member 42 is made of ceramic.
  • the formation method of the through-hole 43 can be suitably selected according to the dimension of the through-hole 43, the material of the through-hole forming member 42, and the like.
  • the through-hole forming member 42 is made of metal
  • the through-hole 43 can be formed by, for example, an electroforming method or laser processing.
  • the through-hole forming member 42 is made of resin
  • the through-hole 43 is formed by a method using various lasers such as a green-YAG laser, a UV-YAG laser, and an excimer laser, or by chemical etching. It can form by the method of forming, the method of forming by press work, etc.
  • the atomizing member 30 is supported by the elastic film 15.
  • the elastic film 15 is attached to the atomizer body 10 by a ring-shaped restrainer 35.
  • the material of the elastic film 15 is not particularly limited.
  • the elastic film 15 can be formed of a resin such as a polyimide resin or a PET resin, for example.
  • the elastic film 15 can also be constituted by a metal leaf spring, for example.
  • the natural frequency of the elastic film 15 is, for example, 1 kHz or less, and is generally smaller than the driveable frequency of the piezoelectric body 32 (the natural frequency of the piezoelectric body 32 (for example, about 100 kHz) and its vicinity). Therefore, even when the atomizing member 30 is supported by the elastic film 15, the vibration of the atomizing member 30 does not substantially propagate to the elastic film 15. Accordingly, leakage of vibration energy to the elastic film 15 can be suppressed, and deterioration of energy efficiency due to the support of the atomizing member 30 can be suppressed.
  • the elastic film 15 is formed in a disk shape. As shown in FIG. 2, an opening 16 that connects the first liquid supply unit 20 a and the second liquid supply unit 20 b is formed in the central portion of the elastic film 15. As shown in FIGS. 1 and 3, a plurality of arcuate openings 17 along the inner peripheral surface of the opening 16 are spaced apart from each other along the circumferential direction outside the opening 16 of the elastic film 15. Open and formed. By the plurality of openings 17, the elastic film 15 is partitioned into an inner part 15 a located inside the opening 17 and an outer part 15 b located outside the opening 17. The inner portion 15 a is connected to the outer portion 15 b by a plurality of bridging portions 18 formed between adjacent openings 17.
  • the atomizer 1 is provided with a liquid supply unit 20.
  • the liquid supply unit 20 allows the liquid 12 stored in the storage unit 11 to pass through the vibrating membrane 40. Supplied to the bottom side.
  • the liquid supply unit 20 includes first and second liquid supply units 20a and 20b.
  • the second liquid supply unit 20 b is supported by being inserted into the opening 10 a of the atomizer body 10.
  • the lower end portion of the second liquid supply unit 20 b reaches the lower part of the storage unit 11.
  • the upper end of the second liquid supply unit 20 b is in contact with the lower end surface of the elastic film 15.
  • the first liquid supply unit 20 a is provided on the elastic film 15.
  • the upper end of the first liquid supply unit 20 a is located immediately below the vibration film 40.
  • the upper end of the first liquid supply unit 20 a is not in contact with the vibration film 40, and is between the upper end of the first liquid supply unit 20 a and the vibration film 40.
  • a gap 13 is formed.
  • the distance of the gap 13 can be appropriately set according to the viscosity of the liquid so that the gap 13 is filled with the liquid.
  • the distance of the gap 13 can be set to about 0.05 to 1 mm, for example.
  • the first and second liquid supply units 20a and 20b have a function of sucking up the liquid 12 by capillary action. For this reason, the liquid 12 stored in the storage unit 11 is sucked up by the second liquid supply unit 20b and supplied to the first liquid supply unit 20a. The liquid 12 supplied to the first liquid supply unit 20a is sucked up to the gap 13 by the first liquid supply unit 20a. Then, since the vibration film 40 exists on the gap 13, the liquid 12 sucked up by the first liquid supply unit 20 a is accumulated in the gap 13. As a result, the liquid 12 is supplied to the vibrating membrane 40.
  • the first and second liquid supply units 20a and 20b are not particularly limited as long as they exhibit capillary action.
  • the 1st and 2nd liquid supply parts 20a and 20b can be comprised with felt, a nonwoven fabric, a nonwoven paper, porous resin, etc., for example.
  • the liquid supply unit to the vibrating membrane is not limited to one that exhibits capillary action.
  • the liquid supply unit 20 includes liquid supply means such as a pump 20 d and a blower 20 e and a pipe 20 c for supplying liquid from the liquid supply means to the vibrating membrane 40. May be.
  • the distance between the end of the tube 20c and the vibrating membrane 40 is preferably such that the end of the tube 20c and the vibrating membrane 40 do not interfere when the vibrating membrane 40 vibrates. It is more preferable that the distance is not more than the distance from the end portion to the maximum raised point due to the surface tension of the liquid.
  • the piezoelectric vibrator 31 vibrates in a cylindrical breath as shown in FIG.
  • the vibration film 40 vibrates and repeats displacement in the vertical direction z.
  • the liquid 12 supplied to the gap 13 by the liquid supply part 20 passes through the through-hole 43 and diverges as fog.
  • the aspect of the cylindrical respiratory vibration shown in FIG. 5 is an example.
  • the aspect of the cylindrical respiratory vibration may vary depending on the frequency of the cylindrical respiratory vibration.
  • the mode shown in FIG. 5 shows an example in which the vibration film 40 is displaced in a concave shape when a portion of the piezoelectric vibrator 31 opposite to the vibration film 40 is reduced in diameter.
  • the vibration film 40 may be displaced in a convex shape when a portion of the piezoelectric vibrator 31 opposite to the vibration film 40 is reduced in diameter. That is, the vibration phase of the vibrating membrane 40 may be shifted by 180 ° depending on the frequency of the cylindrical respiratory vibration.
  • the membrane vibration of the vibrating membrane 40 is excited by the cylindrical breathing vibration of the cylindrical piezoelectric body 32.
  • the film vibration of the vibration film 40 can be excited with high efficiency compared to the case where the film vibration of the vibration film is excited by the lateral effect of the disk-shaped piezoelectric body. Therefore, high atomization efficiency can be realized. As a result, the power consumption of the atomizer 1 can be reduced.
  • the vibration energy of the vibration film 40 can be increased with the same power consumption. For this reason, the maximum number of through holes that can be atomized increases. Therefore, the number of through holes 43 can be increased. As a result, a larger spray amount can be obtained with the same power consumption.
  • the outer peripheral portion at the end portion along the axial direction of the piezoelectric body 32 becomes a node. That is, the displacement amount of the outer peripheral portion of the end portion in the axial direction of the piezoelectric body 32 in a state where the piezoelectric body 32 is vibrating is small. Accordingly, the piezoelectric vibrator 31 can be easily supported. Further, by supporting the end portion in the axial direction of the piezoelectric vibrator 31 as in the present embodiment, the vibration of the piezoelectric vibrator 31 is not inhibited by the elastic film 15 that is a support. Further, the vibration of the piezoelectric vibrator 31 is not easily transmitted to the elastic film 15. Accordingly, vibration damping can be suppressed and a decrease in vibration efficiency of the piezoelectric vibrator 31 due to the support can be suppressed. As a result, higher atomization efficiency and lower power consumption can be realized.
  • the atomization voltage is about 20 Vpp, whereas the cylindrical respiratory vibration of the present embodiment.
  • the atomization voltage can be lowered to, for example, about 10 Vpp.
  • the power consumption is about several hundreds mW, whereas in the atomizer 1 using the piezoelectric body 32 that vibrates in the cylindrical breathing, The power consumption can be reduced to tens of mW or less. Also from this result, it can be seen that high atomization efficiency and low power consumption can be realized by using an elastic body that vibrates in cylindrical breathing as described above.
  • the central portion where the through-hole 43 of the vibrating membrane 40 is formed is constituted by a separate through-hole forming member 42.
  • the vibration film 40 can be easily manufactured.
  • the material of the through-hole forming member 42 can be made different from the material of the membrane body 41. Accordingly, the degree of freedom in designing the membrane main body 41 and the through-hole forming member 42 is improved, and the membrane main body 41 and the through-hole forming member 42 can be more matched to the respective required characteristics. That is, the membrane body 41 can be more suitable for vibration, and the through-hole forming member 42 can be more suitable for atomization.
  • the liquid supply unit 20 supplies the liquid 12 to the surface of the vibration film 40 on the side where the piezoelectric vibrator 31 is provided.
  • the liquid supply unit 20 is disposed on the surface of the vibrating membrane 40 opposite to the side on which the mist diverges. Therefore, the mist divergence angle can be increased and sprayed over a wider area.
  • FIG. 6 is a schematic cross-sectional view of the atomizer of the present embodiment.
  • FIG. 7 is a schematic cross-sectional view of the atomizing member of the present embodiment.
  • the atomizer 1a of this embodiment has substantially the same configuration as the atomizer 1 of the first embodiment except for the form of the atomization member 30 and the support mode of the atomization member 30. is doing.
  • portions of the atomizing member 30 excluding the first and second electrodes 33 and 34 are integrally formed of ceramic.
  • the vibration film 40, the piezoelectric body 32, and a flange portion 45 described later are integrally formed of piezoelectric ceramic. For this reason, it is not necessary to adhere
  • vibration efficiency can be improved by integrally forming the vibration film 40, the piezoelectric body 32, and the flange portion 45. Accordingly, higher atomization efficiency and lower power consumption can be realized.
  • the vibration film 40, the piezoelectric body 32, and the flange portion 45 may be configured separately from each other.
  • the piezoelectric vibrator 31 is provided with a ring-shaped flange portion 45.
  • the flange portion 45 is connected to the upper end portion of the piezoelectric body 32, and extends outward from the piezoelectric body 32 in a direction substantially parallel to the upper end surface of the piezoelectric body 32.
  • the flange portion 45 is attached to the atomizer body 10.
  • the attachment of the piezoelectric vibrator 31 to the atomizer body 10 is facilitated.
  • the flange portion 45 is connected to the outer peripheral portion of the end portion in the axial direction A of the piezoelectric body 32 with a small amount of displacement during vibration. For this reason, even when the flange portion 45 is fixed, the vibration of the piezoelectric body 32 is not easily inhibited. Therefore, it is possible to suppress the deterioration of the vibration efficiency accompanying the fixing of the piezoelectric vibrator 31.
  • the flange portion 45 is formed in an annular shape. Therefore, the vibration of the piezoelectric body 32 is less likely to be inhibited.
  • an annular groove 45a is formed in the connecting portion 45b of the flange portion 45 with the piezoelectric body 32.
  • the thickness of the part in which the groove 45a of the connection part 45b is formed is made thinner than the thickness of the other part of the flange part 45. Therefore, the vibration of the piezoelectric body 32 is less likely to be inhibited, and the deterioration of the vibration efficiency is more effectively suppressed.
  • the vibration of the piezoelectric body 32 is reflected, and the vibration can be effectively confined in the piezoelectric body 32. Therefore, the transmission efficiency of the vibration of the piezoelectric body 32 to the vibration film 40 can be further increased.
  • the groove 45 a is formed in a ring shape around the entire piezoelectric body 32.
  • the groove 45 a may be formed only in a part around the piezoelectric body 32.
  • the groove 45 a is formed in the lower surface 45 c of the flange portion 45.
  • the groove may be formed on the upper surface 45d of the flange portion 45, or may be formed on both the upper surface 45d and the lower surface 45c.
  • a plurality of grooves may be formed at different locations in the radial direction of the piezoelectric body 32.
  • an opening may be formed in the flange portion 45.
  • the minimum value of the thickness of the flange portion 45 in the portion where the groove 45a is formed is about 0.2 to 0.5 times the thickness of the portion of the flange portion 45 where the groove is not formed. It is preferable.
  • the flange portion 45 it is possible to suppress the generated mist from adhering to the surfaces of the first and second electrodes 33 and 34. Therefore, even when the piezoelectric vibrator 31 vibrates at a high frequency, deterioration of the first and second electrodes 33 and 34 due to cavity erosion can be effectively suppressed.
  • the first and second electrodes 33 and 34 are connected to the first and second electrode pads 48 and 49 by first and second wirings 46 and 47, respectively. Both the first and second electrode pads 48 and 49 are formed on the lower surface 45 c of the flange portion 45. For this reason, in this embodiment, the deterioration resulting from the cavity erosion of the first and second electrode pads 48 and 49 is also effectively suppressed.
  • the second electrode 34 is formed on a portion of the outer peripheral surface of the piezoelectric body 32 excluding a part in the circumferential direction.
  • the first wiring 46 that connects the first electrode 33 and the first electrode pad 48 is formed on the outer peripheral surface of the piezoelectric body 32 where the second electrode 34 is not formed.
  • the flange portion 45 has an annular shape.
  • the shape of the flange portion is not particularly limited.
  • the flange portion 45 may be formed in a substantially rectangular shape.
  • the example in which the vibration of the piezoelectric body 32 is not transmitted to the flange portion 45 by forming the annular groove 45a in the connecting portion 45b of the flange portion 45 with the piezoelectric body 32 has been described.
  • the method of preventing the vibration of the piezoelectric body 32 from being transmitted to the flange portion 45 is not limited to the method of forming the annular groove 45a.
  • a protrusion examples thereof include a method of forming a ring-shaped or ring-shaped projection with a part cut away, a method of attaching another member to the connecting portion 45b, a method of forming a hole (ring-shaped or ring-shaped hole with a part cut away), and the like.
  • FIG. 14 is a schematic exploded perspective view of an atomizer according to a third embodiment.
  • FIG. 15 is a schematic cross-sectional view of an atomizer according to a third embodiment.
  • the atomizer 1b of this embodiment is the same as the atomizer 1a of the second embodiment, the point that the elastic film 15 is not provided, and the liquid supply unit 20 is integrally formed, and the atomization member 30. It differs in the structure of.
  • the structure of the atomization member 30 in this embodiment is demonstrated, referring FIG.14 and FIG.15.
  • the atomizing member 30 is formed with a plurality of through holes 45e extending along the circumferential direction and arranged along the circumferential direction. Due to the plurality of through holes 45e, the flange portion 45 has at least two bridging portions connecting the outer edge portion 45g which is a portion supported by the atomizer body 10 of the flange portion 45 and the vibrating membrane 40. 45f (see FIG. 14) is formed. At least two bridging portions 45f are provided at equal intervals along the circumferential direction. In the present embodiment, specifically, two bridging portions 45f are provided. However, in the present invention, the number of cross-linked parts is not particularly limited. For example, 2 to 4 cross-linking portions may be provided.
  • the width (W) of the bridging portion 45f shown in FIG. 14 is not particularly limited.
  • the width (W) of the bridging portion 45f can be, for example, about 0.05 to 0.7 times the length (L) along the radial direction of the bridging portion 45f shown in FIG.
  • the length (L) along the radial direction of the bridging portion 45f is in the range of 30% to 50%, 70% to 90%, or 115% to 120% of the radius (r) of the vibrating membrane 40. Is within. For this reason, it can suppress effectively that the resonance of the frequency close
  • FIG. 16 is a graph showing the impedance characteristics of the atomizing member when the ratio (L / r) of the length (L) along the radial direction of the bridging portion to the radius (r) of the vibrating membrane is 80%. is there.
  • FIG. 17 is a graph showing the impedance characteristics of the atomizing member when the ratio (L / r) of the length (L) along the radial direction of the bridging portion to the radius (r) of the vibrating membrane is 100%. is there.
  • FIG. 18 is a graph showing the relationship between the ratio (L / r) of the length (L) along the radial direction of the bridging portion to the radius (r) of the vibrating membrane and the presence or absence of spurious.
  • the length (L) along the radial direction of the bridging portion 45f is equal to the radius (r) of the vibrating membrane 40 regardless of the width (W) of the bridging portion 45f. It can be seen that spurious due to unnecessary vibration does not occur when the ratio is in the range of 30% to 50%, 70% to 90%, or 115% to 120%. From the above results, the length (L) along the radial direction of the bridging portion 45f is in the range of 30% to 50%, 70% to 90%, or 115% to 120% of the radius (r) of the vibrating membrane 40. It turns out that generation
  • FIG. 19 is a schematic plan view of an atomizing member in a fourth modification.
  • FIG. 20 is a schematic cross-sectional view of a part of an atomizer in a fourth modification.
  • This modification is a modification of the third embodiment.
  • the difference between the atomizer of the present modification and the atomizer 1b of the third embodiment is the configuration of the vibrating membrane 40 and the bridging portion 45f.
  • notches 45 h that reach the center in the thickness direction of the piezoelectric body 32 are formed on both side portions in the circumferential direction of the portion where the bridging portion 45 f of the vibration film 40 is connected. .
  • a portion 45f1 located between the notches 45h in the circumferential direction of the bridging portion 45f is not connected to the piezoelectric body 32.
  • a central portion in the thickness direction of the piezoelectric body 32 becomes a node. For this reason, in this modification, the vibration film 40 can be supported at the node. Therefore, better atomization characteristics can be obtained.
  • the piezoelectric body 32 is connected to the lower side of the vibration film 40 in the vertical direction. For this reason, the vibration film 40 is positioned below the outer edge portion 45g due to its own weight. Therefore, the portion 45f1 located between the notches 45h in the circumferential direction of the bridging portion 45f and the piezoelectric body 32 are separated from each other. Therefore, the contact between the portion 45f1 and the piezoelectric body 32 is suppressed. Therefore, wear of the portion 45f1 can be suppressed. As a result, in this modification, the lifetime of the atomizer can be extended.
  • the vibrating membrane 40 and the outer edge portion 45g may be flush with each other.

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Abstract

 圧電振動子を用いた霧化部材であって、霧化効率が高く、消費電力を低くし得る霧化部材及びそれを備える霧化器を提供する。  霧化部材30は、圧電振動子31と、振動膜40とを備えている。圧電振動子31は、円筒状の圧電体32と、圧電体32の内周面に形成されている第1の電極33と、圧電体32の外周面に形成されている第2の電極34とを有する。圧電振動子31は、円筒呼吸振動する。振動膜40は、圧電体32の軸方向における一端側の開口部に、開口部を覆うように設けられている。振動膜40の中央部には、貫通孔43が形成されている。

Description

霧化部材及びそれを備える霧化器
 本発明は、霧化部材に関し、詳細には、圧電振動子を用いた超音波霧化部材及びそれを備える霧化器に関する。
 従来、例えば下記の特許文献1などにおいて、圧電振動子を用いた霧化器が種々提案されている。特許文献1に記載されている霧化器の断面図を図9に示す。
 図9に示すように、霧化器100は、霧化される液体が充填される加圧室102が内部に形成されている基体101を備えている。基体101には、加圧室102の上部開口102aを塞ぐようにノズル板103が固定されている。ノズル板103の中央部には、多数のノズル孔が形成されている。ノズル板103の上には、開口104aが中央部に形成されている円板状の圧電振動子104が装着されている。
 圧電振動子104は、円板状の圧電体105と、第1及び第2の電極106,107とを備えている。第1及び第2の電極106,107は、圧電体105の上面105a及び下面105bに設けられており、圧電振動子104は、横効果で振動するように構成されている。すなわち、圧電振動子104は、径方向に振動する。
 霧化器100では、図10及び図11に示すように、圧電振動子104が横効果で振動することにより、圧電振動子104の板面方向に垂直な方向zにノズル板103がたわみ振動する。その結果、加圧室102内に充填されている液体がノズル板103に形成されているノズル孔から噴霧される。
特公昭63-11063号公報
 下記の特許文献1には、横効果で振動する圧電振動子104を用いることにより、構造が簡単で、コンパクトであり、かつ霧化性能に優れ、消費電力の低い霧化器100を提供できる旨が記載されている。
 しかしながら、特許文献1に記載のように、横効果で振動する圧電振動子を用いた場合、霧化効率を十分に高めることが困難であり、従って、消費電力を十分に低くすることが困難であるという問題があった。
 本発明の目的は、圧電振動子を用いた霧化部材であって、霧化効率が高く、消費電力を低くし得る霧化部材及びそれを備える霧化器を提供することにある。
 本発明に係る霧化部材は、圧電振動子と、振動膜とを備えている。圧電振動子は、円筒状の圧電体と、第1の電極と、第2の電極とを有する。第1の電極は、圧電体の内周面に形成されている。第2の電極は、圧電体の外周面に形成されている。圧電振動子は、円筒呼吸振動する。振動膜は、圧電体の軸方向における一端側の開口部に、圧電体の軸方向における一端側の開口部を覆うように設けられている。振動膜の中央部には、貫通孔が形成されている。
 本発明に係る霧化部材のある特定の局面では、圧電体と振動膜とは、一体に形成されている。この構成によれば、圧電振動子の作製が容易となるだけでなく、圧電振動子の振動効率をも高め得る。
 本発明に係る霧化部材の他の特定の局面では、圧電振動子は、圧電体の軸方向における一端側の部分に接続されており、当該一端側の部分から径方向外側に向かって延びるフランジ部を有する。この構成では、フランジ部において霧化部材を取り付け可能であるため、霧化部材の取り付けが容易となる。また、フランジ部は、振動の変位量が少ない、圧電体の軸方向における一端側の部分に接続されているため、フランジ部において霧化部材を取り付けた場合であっても、圧電体の振動を阻害しにくい。従って、霧化部材の他部材への取り付けに伴う振動効率の低下を抑制することができる。
 本発明に係る霧化部材の別の特定の局面では、フランジ部は、圧電体と一体に形成されている。この構成によれば、フランジ部を有する圧電振動子を容易に作製することができるだけでなく、圧電振動子の振動効率をも高め得る。
 本発明に係る霧化部材のさらに他の特定の局面では、フランジ部の圧電体との接続部は、フランジ部の他の部分と振動伝搬特性が異なる。この構成では、圧電体の振動は、ランジ部の圧電体との接続部において反射される。よって、フランジ部の接続部よりも外側の部分には、圧電体の振動は伝達されない。従って、フランジ部を設けることによる振動効率の低下、及びフランジ部を他部材に固定することによる振動効率の低下を抑制することができる。また、フランジ部の設計自由度を高めることができる。
 本発明に係る霧化部材のさらに別の特定の局面では、フランジ部の圧電体との接続部に、溝が形成されている。この構成では、圧電体の振動は、溝が形成されている接続部において分離される。よって、フランジ部の接続部よりも外側の部分には、圧電体の振動は伝達されない。従って、フランジ部を設けることによる振動効率の低下、及びフランジ部を他部材に固定することによる振動効率の低下を抑制することができる。また、フランジ部の設計自由度を高めることができる。
 本発明に係る霧化部材のまた他の特定の局面では、圧電振動子は、第1の電極に接続されている第1の電極パッドと、第2の電極に接続されている第2の電極パッドとをさらに有し、第1及び第2の電極パッドは、フランジ部の、圧電体の軸方向における他端側の表面に形成されている。この構成によれば、例えば、霧化対象となる液体が、圧電体側から振動膜に供給される場合には、第1及び第2の電極パッドに霧が付着しにくい。従って、キャビティエロージョンに起因する第1及び第2の電極パッドの劣化を抑制することができる。
 本発明に係る霧化部材のまた別の特定の局面では、振動膜の貫通孔が形成されている中央部は、振動膜のその他の部分とは別体の貫通孔被形成部材により構成されている。この構成によれば、貫通孔被形成部材を、振動膜の他の部分とは別に作製できるため、振動膜の作製が容易となる。また、貫通孔被形成部材と振動膜の他の部分との材質とを異ならしめることが可能となる。従って、貫通孔被形成部材及び振動膜の他の部分の設計自由度が向上し、貫通孔被形成部材及び振動膜の他の部分を、各部材の要求特性により合致したものとすることが容易となる。
 本発明に係る霧化部材のさらにまた他の特定の局面では、貫通孔被形成部材は、金属製である。この構成では、例えば、振動膜の貫通孔が形成されている中央部を構成する部材がセラミック製である場合と比較して、貫通孔を容易に形成することができる。従って、振動膜を容易に作製することができる。
 また、貫通孔被形成部材の形成材料として、さらに加工の容易な樹脂を用いることも可能である。
 本発明に係る霧化部材のさらにまた別の特定の局面では、貫通孔被形成部材は、振動膜の前記貫通孔被形成部材以外の部分と同一の材料により形成されている。
 本発明に係る霧化器は、上記本発明に係る霧化部材と、霧化器本体と、液体供給部とを備えている。霧化器本体には、圧電振動子が取り付けられている。霧化器本体には、液体が貯留される貯留部が形成されている。液体供給部は、貯留部に貯留されている液体を振動膜の貫通孔が形成されている部分に液体を供給する。
 本発明に係る霧化器のある特定の局面では、液体供給部は、振動膜に対して、圧電体の軸方向における他端側から液体を供給する。この構成によれば、振動膜において発生した拡散角を大きくすることができる。
 本発明に係る霧化器の他の特定の局面では、圧電振動子は、圧電体の軸方向における一端側の部分に接続されており、当該一端側の部分から径方向外側に向かって延び、径方向における外縁部が霧化器本体により支持されているフランジ部を有し、フランジ部には、周方向に沿って延びる複数の貫通孔が形成されることにより、外縁部と振動膜とを接続している少なくとも2つの架橋部が形成されており、少なくとも2つの架橋部のそれぞれの半径方向に沿った長さは、振動膜の半径の、30%~50%、70%~90%または115%~120%の範囲内にある。この構成では、振動膜の共振周波数と近い周波数の共振が生じることを効果的に抑制することができる。従って、不要な振動の発生を抑制できるので、良好な霧化特性を実現し得る。
 本発明に係る霧化器の別の特定の局面では、振動膜の架橋部が接続されている部分の周方向における両側部分には、圧電体の厚み方向における中央部にまで至る切欠き部が形成されており、架橋部の周方向において切欠き部の間に位置する部分は、圧電体に接続されていない。ここで、圧電体の厚み方向における中央部は、ノードとなる。このため、この構成によれば、振動膜をノードにおいて支持することができる。従って、より良好な霧化特性を得ることができる。
 本発明に係る霧化器のさらに他の特定の局面では、圧電体は、鉛直方向において、振動膜の下側に配置されている。この構成では、圧電体の自重によって、振動膜が外縁部よりも下方に位置することとなる。このため、架橋部と圧電体とが離間する。よって、架橋部と圧電体との接触が抑制される。従って、架橋部の摩耗を抑制できる。その結果、霧化器の寿命を長くすることができる。
 本発明では、円筒状の圧電体の円筒呼吸振動により振動膜が駆動されるため、振動膜の振動効率が高くなり、よって、霧化効率を高くでき、かつ消費電力を低くし得る。
図1は、第1の実施形態の霧化器の略図的分解斜視図である。 図2は、第1の実施形態の霧化器の略図的断面図である。 図3は、弾性板及び圧電振動子の略図的平面図である。 図4は、振動膜の一部分を拡大した略図的断面図である。 図5は、圧電振動子の円筒呼吸振動の態様を説明するための模式図である。 図6は、第2の実施形態の霧化器の略図的断面図である。 図7は、第2の実施形態における霧化部材の略図的斜視図である。 図8は、変形例における霧化部材の略図的斜視図である。 図9は、特許文献1に記載の霧化器の断面図である。 図10は、特許文献1に記載の霧化器の圧電振動子及びノズル板の動作を説明するための断面図である。詳細には、圧電振動子が横方向に伸長した状態の圧電振動子及びノズル板の断面図である。 図11は、特許文献1に記載の霧化器の圧電振動子及びノズル板の動作を説明するための断面図である。詳細には、圧電振動子が横方向に収縮した状態の圧電振動子及びノズル板の断面図である。 図12は、第2の変形例の霧化器の略図的断面図である。 図13は、第3の変形例の霧化器の略図的断面図である。 図14は、第3の実施形態の霧化器の略図的分解斜視図である。 図15は、第3の実施形態の霧化器の略図的断面図である。 図16は、架橋部の半径方向に沿った長さ(L)の、振動膜の半径(r)に対する比(L/r)が80%であるときの霧化部材のインピーダンス特性を表すグラフである。 図17は、架橋部の半径方向に沿った長さ(L)の、振動膜の半径(r)に対する比(L/r)が100%であるときの霧化部材のインピーダンス特性を表すグラフである。 図18は、架橋部の半径方向に沿った長さ(L)の、振動膜の半径(r)に対する比(L/r)と、スプリアスの有無との関係を表すグラフである。 図19は、第4の変形例における霧化部材の略図的平面図である。 図20は、第4の変形例における霧化器の一部分の略図的断面図である。
 以下、図面を参照しつつ、本発明の具体的な実施形態の一例を説明することにより、本発明を明らかにする。
 (第1の実施形態)
 図1は、本実施形態の霧化器の略図的分解斜視図である。図2は、本実施形態の霧化器の略図的断面図である。図1及び図2に示すように、霧化器1は、霧化部材30と、霧化器本体10と、液体供給部20とを備えている。霧化器1は、例えば、霧化部材30を駆動させる回路をさらに備えていてもよい。霧化部材30を駆動させる回路は、例えば、発振回路、発振回路の制御回路、各回路へ電力を供給する電源回路などを有する。
 霧化器本体10は、例えば、合成樹脂、金属、ガラス、セラミック、紙などにより形成することができる。図2に示すように、霧化器本体10の内部には、貯留部11が形成されている。貯留部11には、霧化対象となる液体12が貯留される。なお、液体12は、特に限定されない。液体12の具体例としては、例えば、水、水溶液、アルコールや石油類などの有機溶媒などが挙げられる。液体12は、例えば、芳香剤、消臭剤、殺虫剤、防虫剤、香水類、化粧水、洗剤であってもよい。
 霧化器本体10の上には、弾性膜15を介して霧化部材30が取り付けられている。もっとも、霧化部材30は、霧化器本体10に直接取り付けられていてもよい。
 図1及び図2に示すように、霧化部材30は、円筒状の圧電振動子31と、振動膜40とを備えている。図2に示すように、圧電振動子31は、円筒状の圧電体32を備えている。圧電体32は、圧電材料からなるものである。圧電体32を形成するための圧電材料は特に限定されない。圧電材料の具体例としては、チタン酸ジルコン酸鉛(PZT)系セラミックなどが挙げられる。なお、圧電体32の寸法は特に限定されない。圧電体32の寸法は、例えば、内径:10mm、外径:12mm、高さ:3.5mmとすることができる。
 圧電体32の内周面には、第1の電極33が形成されている。一方、圧電体32の外周面には、第2の電極34が形成されている。そして、圧電体32は、例えば、3kV/mm程度の電圧を第1及び第2の電極33,34間に印加することにより、圧電体32の半径方向に分極されている。このため、圧電振動子31は、第1及び第2の電極33,34間に交流電圧が印加されると、圧電体32の径方向に振動(以下、「円筒呼吸振動」と称呼する。)する。この円筒呼吸振動は、d31モード及びd33モードの少なくとも一方によるものであり、具体的には、図5に示すような態様の振動である。すなわち、図5(a)~(c)に示すように、電圧が印加されると、圧電効果により、円筒状の圧電体32が拡径と縮径とを繰り返す。これに伴い、振動膜40が上下方向zに振動する。
 なお、圧電体32の振動は、自励振であってもよいし、他励振であってもよい。但し、他励振の場合は、圧電振動子31の表面に液体が付着すると共振周波数が変動するため、周波数を変動させないための制御回路が必要となる。従って、圧電体32の振動は、自励振であることが好ましい。
 また、圧電体32に印加する電圧の波形は、例えば、サイン波、ノコギリ波、方形波などであってもよい。中でも、圧電体32に印加する電圧の波形は、方形波であることが好ましい。方形波を圧電体32に印加することにより、より高い霧化効率を得ることができるからである。
 なお、霧化のオン/オフ制御は、圧電体32に印加する電圧をオン/オフ制御することにより行うが、圧電体32に印加する電圧の波形をAM変調やFM変調するようにしてもよい。
 第1及び第2の電極33,34は、圧電体32に電圧を印加可能であれば特に限定されない。第1及び第2の電極33,34は、例えば、Ag、Cu、Au、Pt、Ni、Snなどの金属やCr/Ni合金、Ni/Cu合金などの合金により形成することができる。
 なお、第1及び第2の電極33,34の耐水性が低い場合は、第1及び第2の電極33,34の表面に保護膜を形成してもよい。特に、少なくとも第1の電極33の表面に、保護膜を設けておくことが好ましい。第1の電極33の表面に霧が付着した場合のキャビティエロージョンに起因する第1の電極33の劣化を抑制できるためである。
 保護膜は、第1及び第2の電極33,34よりも耐水性の高いものであれば特に限定されない。保護膜は、例えば、シリコーン樹脂、ポリウレタン樹脂、ポリエステル樹脂などの弾性樹脂により形成することができる。
 第1及び第2の電極33,34の形成方法としては、例えば、スパッタ法や蒸着法、めっきなどの薄膜形成方法や、導電性ペーストを用いた方法などが挙げられる。
 図1及び図2に示すように、圧電体32の軸方向Aにおける一方側の開口部32aには、開口部32aを覆うように振動膜40が取り付けられている。詳細には、本実施形態では、振動膜40は、圧電体32の軸方向Aにおける一方側の端面32bに取り付けられている。但し、振動膜40は、圧電体32の外部に設けられている必要は必ずしもない。振動膜40は、圧電体32の内部、すなわち円筒状の圧電体32の中空部に設けられていてもよい。なお、振動膜40の厚さは、特に限定されないが、例えば、0.5mm程度とすることができる。
 振動膜40は、圧電体32が振動することにより、上下方向zに振動する膜である。振動膜40は、上下方向zに振動可能な膜である限りにおいて特に限定されないが、圧電振動子31の振動に伴って1次モード(基本モード)で主として振動する膜であることが好ましい。この場合、振動膜40の変位量を大きくすることができる。よって、振動膜40の霧化可能領域を大きくすることができる。従って、後述する貫通孔43の数量を広い領域にわたって多くすることができ、霧化効率及び霧化可能量を高めることができる。
 なお、振動膜40の材質は特に限定されないが、振動膜40は、例えば、樹脂、セラミック、金属などの材料により形成することができる。なかでも、振動膜40は、セラミックにより形成されていることが好ましい。これによれば、振動膜40を厚くし得るので、振動膜40の支配的な振動モードを1次モードにすることが容易となる。また、振動膜40が42アロイ、リン青銅、洋泊などの金属材料により形成されるときは、振動膜40が容易に加工できるため好ましい。この場合、振動膜40は導電性を有するため、振動膜40の一部を電気的に絶縁することによって、圧電体との電気的接続手段の一部にすることができる。
 具体的には、本実施形態では、振動膜40は、圧電振動子31の端部に取り付けられている膜本体41と、膜本体41とは別体の貫通孔被形成部材42とによって構成されている。膜本体41の中央部には、開口41aが形成されており、貫通孔被形成部材42は、その開口41aに取り付けられている。
 貫通孔被形成部材42の材質は特に限定されない。貫通孔被形成部材42は、例えば、膜本体41と同一の材料により形成することができる。
 貫通孔被形成部材42の形状は特に限定されないが、例えば、直径:4.9mm、厚さ0.05mm程度とすることができる。
 なお、本実施形態では、膜本体41に形成されている開口41aは、貫通孔被形成部材42の直径よりも小さく形成されており、その開口41aに貫通孔被形成部材42が押し込まれることにより貫通孔被形成部材42が膜本体41に固定されている。もっとも、貫通孔被形成部材42の膜本体41への固定方法は特に限定されず、例えば、貫通孔被形成部材42が剛性の低い樹脂フィルムなどにより形成されている場合は、接着剤などにより貫通孔被形成部材42を膜本体41に接着してもよい。また、貫通孔被形成部材42が金属製である場合などには、セラミック製の膜本体41に接着することにより固定してもよいし、セラミック製の膜本体41にメッキ処理を施した上で、溶接や、ろう付け、半田付けすることにより固定してもよい。
 貫通孔被形成部材42には、貫通孔被形成部材42を厚み方向に貫通する複数の貫通孔(ノズル孔)43が形成されている。この貫通孔43は、液体12から霧を発生させるためのものである。図4に示すように、貫通孔43は、ザグリ穴部43aと、接続部43bと、拡径部43cとを有する。ザグリ穴部43aは、貫通孔被形成部材42の下面42aに開口している。ザグリ穴部43aは、下面42a側から上面42b側に向かって先細る形状に形成されている。ザグリ穴部43aの下端部は、接続部43bに接続されている。接続部43bは、略円柱状であり、ザグリ穴部43aの下端部と略同一の直径を有する。接続部43bの直径は、霧化対象となる液体12の粘度などに応じて適宜設定することができる。接続部43bの直径は、例えば、5~20μm程度とすることができる。接続部43bの下端部は、拡径部43cに接続されている。拡径部43cは、直径が接続部43bよりも大きな円柱状に形成されている。なお、図2や、後述する図6においては、描画の便宜上、貫通孔43は、簡略的に円柱状に記載している。
 上述の通り、本実施形態では、貫通孔43が、ザグリ穴部43aと、接続部43bと、拡径部43cとにより構成されている例について説明した。但し、貫通孔43の形状は、上記した本実施形態の形状に限定されず、例えば、テーパ状であってもよいし、円柱状であってもよい。
 膜本体41及び貫通孔被形成部材42は、同じ材料により形成されていてもよいし、異なる材料により形成されていてもよい。特に、貫通孔被形成部材42は、金属製であることが好ましい。貫通孔被形成部材42が金属製である場合、例えば、貫通孔被形成部材42がセラミック製である場合などと比較して、貫通孔43の形成が容易となるからである。
 なお、貫通孔43の形成方法は、貫通孔43の寸法、貫通孔被形成部材42の材質などに応じて適宜選択することができる。貫通孔被形成部材42が金属製である場合は、貫通孔43は、例えばエレクトロフォーミング工法や、レーザー加工により形成することができる。また、貫通孔被形成部材42が樹脂製である場合は、貫通孔43は、例えば、グリーン-YAGレーザー、UV-YAGレーザー、エキシマレーザーなどの各種レーザーを用いて形成する方法、ケミカルエッチングにより形成する方法、プレス加工により形成する方法などにより形成することができる。
 図1及び図2に示すように、霧化部材30は、弾性膜15によって支持されている。弾性膜15は、リング状抑え35によって霧化器本体10に取り付けられている。
 弾性膜15の材質は特に限定されない。弾性膜15は、例えば、ポリイミド樹脂やPET樹脂などの樹脂により形成することができる。また、弾性膜15は、例えば金属製の板バネにより構成することも可能である。
 なお、弾性膜15の固有振動数は、例えば1kHz以下であり、通常、圧電体32の駆動可能な振動数(圧電体32の固有振動数(例えば100kHz程度)及びその近傍)と較べて小さい。従って、霧化部材30が弾性膜15によって支持されている場合であっても、霧化部材30の振動は、弾性膜15に実質的に伝搬しない。従って、弾性膜15への振動エネルギーの漏洩を抑制することができ、霧化部材30が支持されることによるエネルギー効率の劣化を抑制することができる。
 図1及び図3に示すように、弾性膜15は、円板状に形成されている。弾性膜15の中央部には、図2に示すように、第1の液体供給部20aと第2の液体供給部20bとを接続する開口16が形成されている。また、図1及び図3に示すように、弾性膜15の開口16よりも外側には、開口16の内周面に沿った弓形状の複数の開口17が周方向に沿って相互に間隔を開けて形成されている。これら複数の開口17によって、弾性膜15は、開口17よりも内側に位置する内側部分15aと、開口17よりも外側に位置する外側部分15bとに区画されている。内側部分15aは、隣り合う開口17の間に形成されている複数の架橋部18によって外側部分15bに接続されている。
 図1及び図2に示すように、霧化器1には、液体供給部20が設けられており、この液体供給部20によって、貯留部11内に貯留されている液体12が振動膜40の下面側に供給される。
 具体的には、本実施形態では、液体供給部20は、第1及び第2の液体供給部20a、20bにより構成されている。図2に示すように、第2の液体供給部20bは、霧化器本体10の開口10aに挿入されることにより支持されている。第2の液体供給部20bの下端部は、貯留部11の下部にまで達している。一方、第2の液体供給部20bの上端は、弾性膜15の下端面に接している。第1の液体供給部20aは、弾性膜15の上に設けられている。第1の液体供給部20aの上端は、振動膜40のすぐ下方に位置している。圧電振動子31が駆動されていない状態においては、第1の液体供給部20aの上端は、振動膜40には接しておらず、第1の液体供給部20aの上端と振動膜40との間には、ギャップ13が形成されている。ギャップ13の距離は、ギャップ13に液体が充満されるように、液体の粘性などに応じて適宜設定することができる。ギャップ13の距離は、例えば、0.05~1mm程度に設定することができる。
 第1及び第2の液体供給部20a、20bは、毛細管現象により液体12を吸い上げる機能を有している。このため、貯留部11内に貯留されている液体12は、第2の液体供給部20bによって吸い上げられ、第1の液体供給部20aに供給される。第1の液体供給部20aに供給された液体12は、第1の液体供給部20aによってギャップ13にまで吸い上げられる。そして、ギャップ13の上に振動膜40が存在することにより、第1の液体供給部20aによって吸い上げられた液体12は、ギャップ13に溜まる。これにより、振動膜40に液体12が供給される。
 なお、本実施形態において、第1及び第2の液体供給部20a、20bは、毛細管現象を発現するものである限りにおいて特に限定されない。第1及び第2の液体供給部20a、20bは、例えば、フェルト、不織布、不織紙、多孔体樹脂などにより構成することができる。
 但し、本発明において、振動膜への液体供給部は、毛細管現象を発現するものに限定されない。液体供給部20は、例えば図12,13に示すように、ポンプ20d、送風機20e等の給液手段と、給液手段からの液体を振動膜40に供給するための管20cとにより構成されていてもよい。この場合、管20cの端部と振動膜40との間の距離は、振動膜40が振動したときに管20cの端部と振動膜40とが干渉しない程度であることが好ましく、管20cの端部から液体の表面張力による最大隆起点までの距離以下であることがより好ましい。
 本実施形態の霧化器1では、第1及び第2の電極33,34の間に電圧が印加されると、圧電振動子31が、図5に示すような円筒呼吸振動する。この圧電振動子31の円筒呼吸振動に伴い、振動膜40が振動し、上下方向zの変位を繰り返す。これにより、液体供給部20によってギャップ13に供給された液体12が貫通孔43を通過して霧となって発散する。
 なお、図5に示す円筒呼吸振動の態様は、一例である。円筒呼吸振動の態様は、円筒呼吸振動の周波数によって変化することがある。具体的には、図5に示す態様では、圧電振動子31の振動膜40とは反対側の部分が縮径したときに振動膜40が凹状に変位する例が示されている。しかしながら、周波数によっては、圧電振動子31の振動膜40とは反対側の部分が縮径したときに振動膜40が凸状に変位する場合もある。すなわち、円筒呼吸振動の周波数によって振動膜40の振動の位相が180°ずれることがある。
 このように、本実施形態では、円筒状の圧電体32の円筒呼吸振動によって振動膜40の膜振動が励起される。このため、例えば、円板状の圧電体の横効果により振動膜の膜振動を励起させる場合と比較して、高い効率で振動膜40の膜振動を励起させることができる。従って、高い霧化効率を実現することができる。その結果、霧化器1の消費電力を低くすることができる。
 また、同じ消費電力で、振動膜40の振動エネルギーを大きくすることができる。このため、霧化が可能な貫通孔の最大数量が多くなる。従って、貫通孔43の数量を多くすることができる。その結果、同じ消費電力で、より多くの噴霧量を得ることができる。
 また、円筒呼吸振動を利用することにより、大きな振動振幅が得られるため、霧滴をより遠くまで飛ばすことができる。
 また、円筒状の圧電体32の円筒呼吸振動の場合、圧電体32の軸方向に沿った端部の外周部がノードとなる。すなわち、圧電体32が振動している状態における、圧電体32の軸方向における端部の外周部の変位量が少ない。従って、圧電振動子31の支持が容易となる。また、本実施形態のように、圧電振動子31の軸方向における端部を支持することにより、支持体である弾性膜15によって圧電振動子31の振動が阻害されない。また、圧電振動子31の振動が弾性膜15に伝達しにくい。従って、振動のダンピングを抑制できると共に、支持による圧電振動子31の振動効率の低下を抑制することができる。その結果、より高い霧化効率及びより低い消費電力を実現することができる。
 具体的には、例えば、特許文献1に記載のような横効果で振動する圧電体を用いた霧化器では、霧化電圧が20Vpp程度であるのに対して、本実施形態の円筒呼吸振動する圧電体32を用いた霧化器1では、霧化電圧を例えば10Vpp程度にまで低くし得る。また、従来の横効果で振動する圧電体を用いた霧化器では、消費電力が数百mW程度であったのに対して、円筒呼吸振動する圧電体32を用いた霧化器1では、消費電力を数十mW以下にまで小さくし得る。この結果からも、上述のように、円筒呼吸振動する弾性体を用いることで、高い霧化効率及び低い消費電力を実現できることがわかる。
 また、本実施形態では、振動膜40の貫通孔43が形成されている中央部分が別体の貫通孔被形成部材42により構成されている。このため、振動膜40の作製が容易である。また、貫通孔被形成部材42の材質を、膜本体41の材質と異ならしめることができる。従って、膜本体41及び貫通孔被形成部材42の設計自由度が向上し、膜本体41及び貫通孔被形成部材42を、それぞれの要求特性に、より合致したものとすることができる。すなわち、膜本体41は、振動により適したものとすることができ、貫通孔被形成部材42は、霧化により適したものとすることができる。
 また、本実施形態では、液体供給部20は、振動膜40の圧電振動子31が設けられている側の面に対して液体12を供給する。換言すれば、振動膜40の霧が発散する側とは反対側の面に液体供給部20が配置されている。従って、霧の発散角度を大きくすることができ、より広い領域に噴霧することができる。
 以下、他の実施形態及び変形例について説明する。なお、以下の他の実施形態及び変形例の説明において、上記第1の実施形態と実質的に同じ機能を有する部材を同じ符号で参照し、説明を省略する。
 (第2の実施形態)
 図6は、本実施形態の霧化器の略図的断面図である。図7は、本実施形態の霧化部材の略図的断面図である。
 本実施形態の霧化器1aは、霧化部材30の形態と、霧化部材30の支持態様を除いては、上記第1の実施形態の霧化器1と実質的に同様の構成を有している。本実施形態では、霧化部材30のうち、第1及び第2の電極33,34を除く部分は、セラミックにより一体に形成されている。具体的には、本実施形態では、振動膜40と、圧電体32と、後述するフランジ部45とが圧電セラミックにより一体に形成されている。このため、各部材同士を接着などする必要がなく、霧化部材30を容易に作製することができる。また、振動膜40と圧電体32とフランジ部45とを一体に形成することにより、振動効率を高めることができる。従って、さらに高い霧化効率及びさらに低い消費電力を実現することができる。もっとも、振動膜40と、圧電体32と、フランジ部45とは、それぞれ別体により構成されていてもよい。
 また、図6及び図7に示すように、本実施形態では、圧電振動子31には、リング状のフランジ部45が設けられている。フランジ部45は、圧電体32の上端部分に接続されており、圧電体32から外側に向かって、圧電体32の上端面に略平行な方向に延びている。そして、このフランジ部45において霧化器本体10に取り付けられている。このように、フランジ部45を設けることによって、圧電振動子31の霧化器本体10への取り付けが容易となる。
 また、フランジ部45は、振動時の変位量が少ない圧電体32の軸方向Aにおける端部の外周部に接続されている。このため、フランジ部45を固定した場合であっても、圧電体32の振動が阻害されにくい。よって、圧電振動子31の固定に伴う振動効率の劣化を抑制することができる。
 また、本実施形態では、フランジ部45が円環状に形成されている。従って、圧電体32の振動がより阻害されにくい。
 さらに、本実施形態では、フランジ部45の圧電体32との接続部45bには、環状の溝45aが形成されている。このため、接続部45bの溝45aが形成されている部分の厚さが、フランジ部45の他の部分の厚さよりも薄くされている。従って、圧電体32の振動がより阻害されにくく、振動効率の劣化がより効果的に抑制されている。また、溝45aを設けることにより、圧電体32の振動が反射され、振動を圧電体32内に効果的に閉じ込めることができる。従って、圧電体32の振動の振動膜40への伝達効率をより高めることができる。
 なお、本実施形態では、溝45aは、圧電体32の周り全体にリング状に形成されている。但し、溝45aは、圧電体32の周りの一部にのみ形成されていてもよい。また、本実施形態では、溝45aは、フランジ部45の下面45cに形成されている。但し、溝は、フランジ部45の上面45dに形成されていてもよいし、上面45d及び下面45cの両方に形成されていてもよい。さらに、溝は、圧電体32の径方向において異なる場所に複数形成されていてもよい。また、溝に替えて、開口をフランジ部45に形成してもよい。
 なお、溝45aの深さが深すぎる場合は、フランジ部45の耐久性が低くなる傾向にある。このため、溝45aが形成されている部分のフランジ部45の厚さの最小値は、フランジ部45の溝が形成されていない部分の厚さの0.2倍~0.5倍程度であることが好ましい。
 また、フランジ部45を設けることによって、発生した霧が第1及び第2の電極33,34の表面に付着することを抑制することができる。従って、圧電振動子31が高い周波数で振動した場合であっても、キャビティエロージョンに起因する第1及び第2の電極33,34の劣化を効果的に抑制することができる。
 図7に示すように、第1及び第2の電極33,34は、それぞれ、第1及び第2の配線46,47によって第1及び第2の電極パッド48,49に接続されている。第1及び第2の電極パッド48,49は、共に、フランジ部45の下面45cに形成されている。このため、本実施形態では、第1及び第2の電極パッド48,49のキャビティエロージョンに起因する劣化も効果的に抑制されている。
 なお、第2の電極34は、圧電体32の外周面の周方向の一部を除く部分に形成されている。そして、第1の電極33と第1の電極パッド48とを接続する第1の配線46は、その圧電体32の外周面の第2の電極34が形成されていない部分に形成されている。
 (変形例)
 上記第2の実施形態では、フランジ部45が円環状である例について説明した。但し、本発明において、フランジ部の形状は特に限定されない。例えば、図8に示すように、フランジ部45を略矩形状に形成してもよい。
 上記第2の実施形態では、フランジ部45の圧電体32との接続部45bに環状溝45aを形成することにより、圧電体32の振動がフランジ部45に伝達されないようにする例について説明した。但し、圧電体32の振動がフランジ部45に伝達されないようにする方法は、環状溝45aを形成する方法に限定されない。接続部45bの振動伝搬特性を、フランジ部45の接続部45b以外の部分の振動伝搬特性と異ならしめることにより、圧電体32の振動がフランジ部45に伝達されることを抑制することができる。接続部45aの振動伝搬特性を、フランジ部45の接続部45b以外の部分の振動伝搬特性と異ならしめる方法としては、上述のように、接続部45bに溝を形成する方法の他に、突起(環状または一部が切欠かれた環状の突起)を形成する方法、接続部45bに別部材を取り付ける方法、穴(環状または一部が切欠かれた環状の穴)を形成する方法などが挙げられる。
 (第3の実施形態)
 図14は、第3の実施形態の霧化器の略図的分解斜視図である。図15は、第3の実施形態の霧化器の略図的断面図である。
 本実施形態の霧化器1bは、第2の実施形態の霧化器1aと、弾性膜15が設けられておらず、液体供給部20が一体に形成されている点と、霧化部材30の構成とにおいて異なっている。ここでは、図14及び図15を参照しながら、本実施形態における霧化部材30の構成について説明する。
 本実施形態では、霧化部材30には、周方向に沿って延びており、かつ周方向に沿って配列されている複数の貫通孔45eが形成されている。これら複数の貫通孔45eによって、フランジ部45には、フランジ部45の霧化器本体10により支持されている部分である外縁部45gと、振動膜40とを接続している少なくとも2つの架橋部45f(図14を参照)が形成されている。少なくとも2つの架橋部45fは、周方向に沿って等間隔に設けられている。本実施形態では、具体的には、架橋部45fは、2つ設けられている。但し、本発明において、架橋部の本数は特に限定されない。架橋部は、例えば、2~4本設けられていてもよい。
 図14に示す架橋部45fの幅(W)は、特に限定されない。架橋部45fの幅(W)は、例えば、図15に示す、架橋部45fの半径方向に沿った長さ(L)の0.05倍~0.7倍程度とすることができる。
 本実施形態において、架橋部45fの半径方向に沿った長さ(L)は、振動膜40の半径(r)の、30%~50%、70%~90%または115%~120%の範囲内である。このため、振動膜40の共振周波数と近い周波数の共振が生じることを効果的に抑制することができる。従って、本実施形態の霧化器1bでは、不要な振動の発生を抑制できるので、良好な霧化特性を実現できる。
 以下、この効果について、さらに詳細に説明する。
 図16は、架橋部の半径方向に沿った長さ(L)の、振動膜の半径(r)に対する比(L/r)が80%であるときの霧化部材のインピーダンス特性を表すグラフである。図17は、架橋部の半径方向に沿った長さ(L)の、振動膜の半径(r)に対する比(L/r)が100%であるときの霧化部材のインピーダンス特性を表すグラフである。
 図16に示すように、比(L/r)が80%である場合は、図16においてAで示す1次モードの振動と、Bで示す2次モードとの振動との間に、不要振動に起因するスプリアスが観察されない。それに対して、図17に示すように、比(L/r)が100%である場合は、Aで示す1次モードの振動と、Bで示す2次モードとの振動との間に、Cで示す不要振動に起因するスプリアスが観察された。
 次に、架橋部45fの幅(W)を変化させて、架橋部の半径方向に沿った長さ(L)の、振動膜の半径(r)に対する比(L/r)と、スプリアスの有無との関係について調べた。
 図18は、架橋部の半径方向に沿った長さ(L)の、振動膜の半径(r)に対する比(L/r)と、スプリアスの有無との関係を表すグラフである。
 図18に示す結果から明らかなように、架橋部45fの幅(W)の大きさに関わらず、架橋部45fの半径方向に沿った長さ(L)が、振動膜40の半径(r)の、30%~50%、70%~90%または115%~120%の範囲内であるときに不要振動に起因するスプリアスが生じないことが分かる。以上の結果より、架橋部45fの半径方向に沿った長さ(L)を、振動膜40の半径(r)の、30%~50%、70%~90%または115%~120%の範囲内とすることにより、不要な振動の発生を抑制でき、良好な霧化特性を実現できることが分かる。
 (第4の変形例)
 図19は、第4の変形例における霧化部材の略図的平面図である。図20は、第4の変形例における霧化器の一部分の略図的断面図である。
 本変形例は、上記第3の実施形態の変形例である。本変形例の霧化器の、上記第3の実施形態の霧化器1bと異なる点は、振動膜40と、架橋部45fとの構成である。
 図19に示すように、振動膜40の架橋部45fが接続されている部分の周方向における両側部分には、圧電体32の厚み方向における中央部にまで至る切欠き部45hが形成されている。架橋部45fの周方向において切欠き部45hの間に位置する部分45f1は、圧電体32に接続されていない。圧電体32の厚み方向における中央部は、ノードとなる。このため、本変形例では、振動膜40をノードにおいて支持することができる。従って、より良好な霧化特性を得ることができる。
 また、本変形例では、図20に示すように、圧電体32は、鉛直方向において、振動膜40の下側に接続されている。このため、圧電体32の自重によって、振動膜40が外縁部45gよりも下方に位置する。よって、架橋部45fの周方向において切欠き部45hの間に位置する部分45f1と、圧電体32とは、離間する。よって、部分45f1と、圧電体32との接触が抑制される。従って、部分45f1の摩耗を抑制できる。その結果、本変形例では、霧化器の寿命を長くすることができる。
 なお、振動膜40と、外縁部45gとは、面一であってもよい。
1、1a、1b…霧化器
10…霧化器本体
10a…開口
11…貯留部
12…液体
13…ギャップ
15…弾性膜
15a…内側部分
15b…外側部分
16…開口
17…開口
18…架橋部
20…液体供給部
20a…第1の液体供給部
20b…第2の液体供給部
20c…管
20d…ポンプ
20e…送風機
30…霧化部材
31…圧電振動子
32…圧電体
32a…開口部
32b…端面
33…第1の電極
34…第2の電極
40…振動膜
41…膜本体
41a…開口
42…貫通孔被形成部材
42a…貫通孔被形成部材の下面
42b…貫通孔被形成部材の上面
43…貫通孔
43a…ザグリ穴部
43b…接続部
43c…拡径部
45…フランジ部
45a…環状溝
45b…接続部
45c…フランジ部の下面
45d…フランジ部の上面
45e…貫通孔
45f…架橋部
45g…外縁部
45h…切欠き部
45h1…架橋部45fの周方向において切欠き部45hの間に位置する部分
46…第1の配線
47…第2の配線
48…第1の電極パッド
49…第2の電極パッド

Claims (15)

  1.  円筒状の圧電体と、前記圧電体の内周面に形成されている第1の電極と、前記圧電体の外周面に形成されている第2の電極とを有し、円筒呼吸振動する圧電振動子と、
     前記圧電体の軸方向における一端側の開口部に、前記開口部を覆うように設けられており、中央部に貫通孔が形成されている振動膜とを備える、霧化部材。
  2.  前記圧電体と前記振動膜とは、一体に形成されている、請求項1に記載の霧化部材。
  3.  前記圧電振動子は、前記圧電体の軸方向における一端側の部分に接続されており、当該一端側の部分から径方向外側に向かって延びるフランジ部を有する、請求項1または2に記載の霧化部材。
  4.  前記フランジ部は、前記圧電体と一体に形成されている、請求項3に記載の霧化部材。
  5.  前記フランジ部の前記圧電体との接続部は、前記フランジ部の他の部分と振動伝搬特性が異なる、請求項3または4に記載の霧化部材。
  6.  前記フランジ部の前記圧電体との接続部に、溝が形成されている、請求項3~5のいずれか一項に記載の霧化部材。
  7.  前記圧電振動子は、前記第1の電極に接続されている第1の電極パッドと、前記第2の電極に接続されている第2の電極パッドとをさらに有し、前記第1及び第2の電極パッドは、前記フランジ部の、前記圧電体の軸方向における他端側の表面に形成されている、請求項3~6のいずれか一項に記載の霧化部材。
  8.  前記振動膜の前記貫通孔が形成されている中央部は、前記振動膜のその他の部分とは別体の貫通孔被形成部材により構成されている、請求項1~7のいずれか一項に記載の霧化部材。
  9.  前記貫通孔被形成部材は、金属製である、請求項8に記載の霧化部材。
  10.  前記貫通孔被形成部材は、前記振動膜の前記貫通孔被形成部材以外の部分と同一の材料により形成されている、請求項8または9に記載の霧化部材。
  11.  請求項1~10のいずれか一項に記載の霧化部材と、
     前記圧電振動子が取り付けられており、かつ液体が貯留される貯留部が形成されている霧化器本体と、
     前記貯留部に貯留されている液体を前記振動膜の前記貫通孔が形成されている部分に前記液体を供給する液体供給部とを備える、霧化器。
  12.  前記液体供給部は、前記振動膜に対して、前記圧電体の軸方向における前記他端側から前記液体を供給する、請求項11に記載の霧化器。
  13.  前記圧電振動子は、前記圧電体の軸方向における一端側の部分に接続されており、当該一端側の部分から径方向外側に向かって延び、径方向における外縁部が霧化器本体により支持されているフランジ部を有し、
     前記フランジ部には、周方向に沿って延びる複数の貫通孔が形成されることにより、前記外縁部と振動膜とを接続している少なくとも2つの架橋部が形成されており、
     前記少なくとも2つの架橋部のそれぞれの半径方向に沿った長さは、前記振動膜の半径の、30%~50%、70%~90%または115%~120%の範囲内にある、請求項11または12に記載の霧化器。
  14.  前記振動膜の前記架橋部が接続されている部分の周方向における両側部分には、前記圧電体の厚み方向における中央部にまで至る切欠き部が形成されており、
     前記架橋部の周方向において前記切欠き部の間に位置する部分は、前記圧電体に接続されていない、請求項13に記載の霧化器。
  15.  前記圧電体は、鉛直方向において、前記振動膜の下側に配置されている、請求項14に記載の霧化器。
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102847638A (zh) * 2011-06-30 2013-01-02 静思人文志业股份有限公司 喷雾头改良结构
JP2013230109A (ja) * 2012-04-27 2013-11-14 Sumitomo Chemical Co Ltd 超音波霧化装置
JP2014510559A (ja) * 2011-01-26 2014-05-01 セントコム リミテッド 匂い生成装置
JP2016508751A (ja) * 2012-12-18 2016-03-24 ラウヘンシュワントネア,ハラルド 水性ポリマー含有殺生物剤が超音波技術によって室内に噴霧される方法および装置{Methodanddevicebywhichaqueouspolymer−containingbiocidesareatomizedbymeansofultrasooundtechnologyintoaroom}
US20220355329A1 (en) * 2012-04-20 2022-11-10 Eyenovia, Inc. Spray ejector device and methods of use

Families Citing this family (38)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5659956B2 (ja) * 2011-06-03 2015-01-28 パナソニックIpマネジメント株式会社 超音波送受波器及び超音波流量計
US10066114B2 (en) * 2012-09-14 2018-09-04 The Procter & Gamble Company Ink jet delivery system comprising an improved perfume mixture
DE202012104036U1 (de) * 2012-10-19 2014-01-20 Endress + Hauser Flowtec Ag Magnetisch-induktives Durchflussmessgerät
CN102989624B (zh) * 2012-11-05 2017-06-27 杨义根 雾化装置及超声波加湿器
USD741001S1 (en) * 2013-07-16 2015-10-13 Fontem Holdings 4 B.V. Nozzle
US20150136874A1 (en) * 2013-11-18 2015-05-21 Electronics And Telecommunications Research Institute Vibrator including mesh structure and manufacturing method thereof
TWI548461B (zh) * 2014-02-21 2016-09-11 Double chamber full cover sealed piezoelectric atomization module
KR102340031B1 (ko) * 2014-05-12 2021-12-16 에스.씨. 존슨 앤 선 인코포레이티드 분무기를 가진 휘발성 물질 디스펜서 및 분무기 조립체
US10076585B2 (en) 2014-06-20 2018-09-18 The Procter & Gamble Company Method of delivering a dose of a fluid composition from a microfluidic delivery cartridge
US9211980B1 (en) 2014-06-20 2015-12-15 The Procter & Gamble Company Microfluidic delivery system for releasing fluid compositions
US9433696B2 (en) 2014-06-20 2016-09-06 The Procter & Gamble Company Microfluidic delivery system for releasing fluid compositions
US9808812B2 (en) 2014-06-20 2017-11-07 The Procter & Gamble Company Microfluidic delivery system
CN105214884B (zh) * 2014-06-25 2018-05-08 达尔生技股份有限公司 雾化装置及雾化模块
KR101641948B1 (ko) * 2015-01-28 2016-07-25 세메스 주식회사 기판 처리 장치 및 처리액 노즐
US10780192B2 (en) 2015-09-16 2020-09-22 The Procter & Gamble Company Microfluidic delivery cartridges and methods of connecting cartridges with microfluidic delivery systems
DE112016004551T5 (de) * 2015-12-24 2018-07-12 Murata Manufacturing Co., Ltd. Schwingvorrichtung, verfahren zum ansteuern derselben sowie kamera
WO2017137252A1 (en) 2016-02-08 2017-08-17 Koninklijke Philips N.V. An aerosol generator
TWI601919B (zh) * 2016-07-11 2017-10-11 馗鼎奈米科技股份有限公司 電漿淨化模組
CN107626020B (zh) * 2016-07-19 2024-05-31 微邦科技股份有限公司 微雾化装置
US10675373B2 (en) * 2016-07-27 2020-06-09 Newmarket Concepts, Llc Fragrance dispenser having a disposable piezoelectric cartridge with a snap-in bottle containing aromatic liquid
US10149917B2 (en) 2016-11-22 2018-12-11 The Procter & Gamble Company Fluid composition and a microfluidic delivery cartridge comprising the same
CN106493032A (zh) * 2016-12-30 2017-03-15 杭州艾新医疗科技有限公司 一种复合雾化片及其制作方法
US11305301B2 (en) 2017-04-10 2022-04-19 The Procter & Gamble Company Microfluidic delivery device for dispensing and redirecting a fluid composition in the air
US11691162B2 (en) 2017-04-10 2023-07-04 The Procter & Gamble Company Microfluidic delivery cartridge for use with a microfluidic delivery device
US10806816B2 (en) 2018-05-15 2020-10-20 The Procter & Gamble Company Microfluidic cartridge and microfluidic delivery device comprising the same
DE102018120024A1 (de) * 2018-08-16 2020-02-20 Herma Gmbh Aktivierungsvorrichtung mit einem Vernebler
WO2020189272A1 (ja) * 2019-03-20 2020-09-24 株式会社村田製作所 気泡発生装置
US11407000B2 (en) 2019-09-23 2022-08-09 S. C. Johnson & Son, Inc. Volatile material dispenser
WO2021085075A1 (ja) * 2019-10-30 2021-05-06 Phc株式会社 噴霧装置および培養装置
CN111632175A (zh) * 2020-06-02 2020-09-08 英诺激光科技股份有限公司 雾化消毒方法
CN115515705B (zh) * 2020-06-03 2024-06-11 株式会社村田制作所 气泡产生装置及气泡产生系统
CN111632789A (zh) * 2020-06-11 2020-09-08 湖南嘉业达电子有限公司 一种插件式雾化装置
CN216135171U (zh) * 2021-01-18 2022-03-29 深圳麦克韦尔科技有限公司 压电陶瓷片及电子雾化装置
EP4313428A1 (en) 2021-03-22 2024-02-07 Stamford Devices Limited An aerosol generator core
US20220295890A1 (en) * 2021-03-22 2022-09-22 Funai Electric Co., Ltd. Atomization device, atomization device assembly, and control system of atomization device
CN115007388B (zh) * 2022-06-29 2023-06-09 广州大学 一种双向雾化装置
CN117663344B (zh) * 2023-12-07 2024-06-04 浙江水荔枝健康科技有限公司 一种网孔摩擦片以及水负离子产生装置
CN117899501B (zh) * 2024-03-15 2024-05-24 上海博迅医疗生物仪器股份有限公司 一种水蒸汽产生器及药品稳定性实验系统

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5867374A (ja) * 1981-10-15 1983-04-21 Matsushita Electric Ind Co Ltd 霧化装置
JPS6068071A (ja) * 1983-09-21 1985-04-18 Matsushita Electric Ind Co Ltd 霧化ポンプ
JPS6246226B2 (ja) * 1982-04-16 1987-10-01 Matsushita Electric Ind Co Ltd
JPH067721A (ja) * 1992-06-26 1994-01-18 Koji Toda 超音波霧化装置

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3806029A (en) * 1973-01-24 1974-04-23 Energy Sciences Inc Shock enhancement of pressure wave energy
AU553251B2 (en) * 1981-10-15 1986-07-10 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Arrangement for ejecting liquid
JPS5912775A (ja) * 1982-07-14 1984-01-23 Matsushita Electric Ind Co Ltd 霧化ポンプユニツト
JPS6246226A (ja) 1985-08-23 1987-02-28 Hitachi Ltd ガス絶縁開閉装置のガス圧監視装置
JPS6311063A (ja) 1986-06-30 1988-01-18 Sony Corp 電源装置
JPS6438244A (en) 1987-04-21 1989-02-08 Hitachi Metals Ltd Liquid injection equipment
JPS6438244U (ja) * 1987-09-02 1989-03-07
US5217171A (en) * 1991-12-06 1993-06-08 F&T Technology Corporation Method for processing scrap of electronic instruments
JP2001171133A (ja) * 1999-12-10 2001-06-26 Samsung Electro Mech Co Ltd インクジェットプリンタヘッドの製造方法
DE60332569D1 (de) * 2002-04-09 2010-06-24 Seiko Epson Corp Flüssigkeitsausstoßkopf

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5867374A (ja) * 1981-10-15 1983-04-21 Matsushita Electric Ind Co Ltd 霧化装置
JPS6246226B2 (ja) * 1982-04-16 1987-10-01 Matsushita Electric Ind Co Ltd
JPS6068071A (ja) * 1983-09-21 1985-04-18 Matsushita Electric Ind Co Ltd 霧化ポンプ
JPH067721A (ja) * 1992-06-26 1994-01-18 Koji Toda 超音波霧化装置

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2014510559A (ja) * 2011-01-26 2014-05-01 セントコム リミテッド 匂い生成装置
CN102847638A (zh) * 2011-06-30 2013-01-02 静思人文志业股份有限公司 喷雾头改良结构
US20220355329A1 (en) * 2012-04-20 2022-11-10 Eyenovia, Inc. Spray ejector device and methods of use
JP2013230109A (ja) * 2012-04-27 2013-11-14 Sumitomo Chemical Co Ltd 超音波霧化装置
JP2016508751A (ja) * 2012-12-18 2016-03-24 ラウヘンシュワントネア,ハラルド 水性ポリマー含有殺生物剤が超音波技術によって室内に噴霧される方法および装置{Methodanddevicebywhichaqueouspolymer−containingbiocidesareatomizedbymeansofultrasooundtechnologyintoaroom}

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