JP5505497B2

JP5505497B2 - 霧化装置

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Authority: JP
Inventors: 嗣治上林; 直輝大串
Original assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
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Description

本発明は、液体を霧化する霧化装置に関し、さらに詳しくは、霧化量、霧化高さなどの霧化特性が安定しており、経時劣化することのない霧化装置に関する。

従来から、加湿、芳香、消臭、殺虫、洗浄、成膜などの用途で、液体を霧化する霧化装置が実用化されている。

この霧化装置は、たとえば、多孔板部材と呼ばれる、微細な孔を有する金属などからなる薄板を振動させてなる霧化手段を有し、その霧化手段の底面側に液体を供給することにより、霧化手段の表面側に液体を噴霧するものである。なお、多孔板部材は、たとえば、圧電振動体により振動される。

そして、霧化手段の底面側に液体を供給する方法としては、大きく分けて２つの方法が採用されている。ひとつは、液体貯留部材から霧化手段の底面側に、ポンプで液体を送り出したり、あるいはファンで液体を吸い上げたりする、液体移送のための動力を用いる方法である。もうひとつは、たとえば、スポンジなどの多孔質の給液芯を用い、給液芯の一方端面を霧化手段の底面に接触させるとともに、他方端を液体貯留部材に収容される液体に含浸させることにより、毛細管現象を利用して、液体貯留部材から霧化手段の裏面側に液体を供給する方法である。

たとえば、特許文献１（特開平６−６３４７４号公報）には、動力で液体を移送する霧化装置が開示されており、具体的には、ファンを回転させ、液体貯留部材から液体を吸い上げて供給する方法が開示されている。

一方、特許文献２（特表２００６−５２３５３２号公報）、特許文献３（特開平５−３０５２５７号公報）および特許文献４（特開平５−３２９４１１号公報）には、給液芯を用いて毛細管現象を利用して、霧化手段に液体を供給する霧化装置が開示されている。

図８に、特許文献２（特表２００６−５２３５３２号公報）に開示された、霧化装置２００を示す。

霧化装置２００は、中央に開口を有する円板形状の圧電振動体１０１と、その開口に取り付けられた、複数の微細な孔（図示せず）を有する円板形状の金属製の多孔板部材１０２とで構成される霧化手段１０３を有する。

圧電振動体１０１は、１対の電極（図示せず）を備えており、その電極間に所定の周波数の交流電圧を印加することにより、たとえば超音波で周方向に伸縮する。そして、圧電振動体１０１が伸縮することにより、圧電振動体１０１に取付けられた多孔板部材１０２の中央領域が厚み方向に振動する。

また、霧化装置２００は、多孔質スポンジなどからなる給液芯１０４を備える。給液芯１０４は、一方端１０４ａを露出させてプラグ１０５に固定され、他方端１０４ｂが液体貯留部材１０６に収容された液体１０７に含浸されている。そして、プラグ１０５が液体貯留部材１０６に取付けられている。給液芯１０４は、タンク１０６に収容された液体１０７を、毛細管現象により、その一方端１０４ａに供給する。

そして、給液芯１０４の一方端１０４ａは、所定の圧力で、霧化手段１０３の底面に接触されている。なお、バネハウジング１０８に収容されたバネ１０９は、圧電振動体１０１の上表面を弾性的に押圧するためのものである。

霧化装置２００は、圧電振動体１０１の電極間に交流電圧を印加することにより、多孔板部材１０２が厚み方向に振動し、給液芯１０４の一方端１０４ａに供給された液体を霧化し、多孔板部材１０２の表面側に噴霧する。

特開平６−６３４７４号公報特表２００６−５２３５３２号公報特開平５−３０５２５７号公報特開平５−３２９４１１号公報

しかしながら、上述した従来の霧化装置には、霧化手段から給液芯に圧力が加わると、給液芯の端面が変形してしまい、多孔板部材と接触することで、振動を阻害したり、また、時間経過とともに、霧化手段の底面に接触される給液芯の端面が変形したりすることで、霧化量や、霧化高さといった霧化特性が劣化してしまう場合があった。

図９（Ａ）、（Ｂ）を使って、詳しく説明する。ただし、図９（Ａ）、（Ｂ）は、従来の霧化装置３００を示す模式図であり、図９（Ａ）は霧化手段から給液芯に圧力が加わった瞬間、もしくは使用開始直後の状態、図９（Ｂ）は霧化手段から給液芯に圧力が加わっている、もしくは使用開始から一定期間が経過した後の状態を示している。

図９（Ａ）に示すように、霧化装置３００は、多孔板部材２０１と振動板２０２とからなる霧化手段２０３と、給液芯２０４とを備える。

振動板２０２は、図示しないが、圧電振動体などに取付けられており、その圧電振動体が振動することにより厚み方向に振動する。そして、振動板２０２が厚み方向に振動することにより、多孔板部材２０１も厚み方向に振動する。

一方、給液芯２０４は、複数の繊維状の部材が束ねられた集束体からなり、集束体の繊維は、図において給液芯２０４中に矢印で示すように、多孔板部材２０１の厚み方向に配向されている。

そして、霧化手段２０３の底面に、給液芯２０４の端面が当接されている。霧化手段２０３と給液芯２０４とは、たとえば、霧化手段２０３から給液芯２０４に荷重Ｐが加えられることにより、接触された状態にある。なお、荷重は、給液芯２０４から霧化手段２０３に加えられても良いし、両者から相互に加えられても良い。

このような構造からなる霧化装置３００は、多孔板部材２０１が厚み方向に振動することにより、給液芯２０４により供給された液体を、所定の霧化量、所定の霧化高さ（霧化装置が垂直上方に液体を噴霧した場合に、噴霧された液体が到達する多孔板部材からの高さ）で噴霧する。

しかしながら、霧化手段２０２から給液芯２０４に圧力が加わったり、霧化装置３００を長期間にわたって使用したりすると、図９（Ｂ）に示すように、給液芯２０４の端面が変形してしまうことがあった。霧化手段２０３から給液芯２０４に荷重Ｐが加わった状態で、振動板２０２を厚みに振動させたこと、そして、給液芯２０４の集束体の繊維が多孔板部材２０１の厚み方向に配向されており、その方向に変形しやすいことにより、このような変形が生じてしまうのである。

給液芯２０４の端面が変形してしまうと、霧化装置３００を使用開始した当初の霧化量、霧化高さなどの霧化特性を維持できなくなる。また、変形した給液芯２０４の先端が多孔板部材２０１に当接してしまうと、多孔板部材２０１が振動することができず、霧化しなくなってしまう場合もある。給液芯２０４の端面の変形は、霧化装置３００の霧化特性の劣化、場合によっては霧化機能の停止をまねく大きな問題であった。

本発明は、上述した従来の霧化装置が有する問題を解決するためになされたものである。

その手段として、本発明の霧化装置は、液体を収容するための液体収納部を有する液体貯留部材と、複数の孔が表裏間を貫通して形成された多孔板部材、および、その多孔板部材を支持し、かつ、その多孔板部材を振動させる振動手段とからなる霧化手段と、液体貯留部材から前記霧化手段に液体を供給する給液手段とを備え、給液手段は毛細管現象により液体を移送可能な給液芯を有し、その給液芯は、一方端面が霧化手段に接触するように配置され、かつ、一方端面が、平面度を維持したまま、多孔板部材の厚み方向に変形するものであり、給液芯は、複数の繊維状の部材が束ねられた集束体からなり、集束体の繊維の配向は、多孔板部材の厚み方向の成分よりも、多孔板部材の厚み方向と直交する方向の成分の方が、比率が高くなるようにした。かかる構成からなる本発明の霧化装置は、給液芯の端面の変形が抑制されているため、長期間にわたり、霧化特性が劣化することがない。

給液芯の一方端面の近傍の剛性は、多孔板部材の厚み方向において、多孔板部材の厚み方向と直交する方向よりも、低いことが好ましい。この場合には、給液芯の端面が、平面度を維持したまま、多孔板部材の厚み方向に変形することができる。

また、給液芯において、集束体の繊維の配向は、給液芯によって液体が移送される方向の成分よりも給液芯によって液体が移送される方向と直交する方向の成分の比率が高いことが好ましい。また、集束体の繊維の配向は、給液芯の一方端面が霧化手段に接触する方向と直交する平面と平行な方向であることが好ましい、あるいは給液芯の一方端面が霧化手段に接触する方向と直交する方向のうちの１つと平行な方向であることが好ましい。これらの場合には、給液芯が、多孔板部材の厚み方向に変形するのを、より有効に抑制することができる。

また、振動手段は、圧電振動体を備えたものとすることができる。そして、圧電振動体は、両端に開口を有する円筒の圧電体を備え、その圧電体を駆動するための電極が、圧電体が半径方向に伸縮する呼吸振動モードをするように、円筒の内周面および外周面に形成され、さらに円筒の一方端の開口に、中央に開口を有する振動板が取り付けられた構造とすることができる。さらに、振動板の開口に、多孔板部材を取り付け、霧化手段を構成することができる。かかる構造とすることにより、長期間にわたって霧化特性が劣化しないという、本発明の霧化装置の特徴をより引き出すことができる。

本発明の霧化装置は、上記の構成としたことにより、霧化手段から給液芯に圧力が加わったり、長期間にわたって使用しても、給液芯の端面が変形することがない。したがって、使用開始当初の、霧化量、霧化高さなどの霧化特性が劣化することがなく、安定した霧化特性を維持することができる。

本発明の第１実施形態にかかる霧化装置１００を示す断面図である。図１に示した本発明の第１実施形態にかかる霧化装置１００の給液芯５を示し、図２（Ａ）は斜視図、図２（Ｂ）は図２（Ａ）の鎖線Ｘ‐Ｘ部分の断面図である。ただし、図中、集束体の繊維の配向を矢印により模式的に示している（図４、図５、図６、図７において同じ）。図１に示した本発明の第１実施形態にかかる霧化装置１００の使用方法の一例を示す断面図である。本発明の第２実施形態にかかる霧化装置の給液芯１５を示し、図４（Ａ）は斜視図、図４（Ｂ）は図４（Ａ）の鎖線Ｙ‐Ｙ部分の断面図である。本発明の第３実施形態にかかる霧化装置の給液芯２５を示し、図５（Ａ）は斜視図、図５（Ｂ）は図５（Ａ）の鎖線Ｚ‐Ｚ部分の断面図である。本発明の第４実施形態にかかる霧化装置の給液芯３５を示す斜視図である。本発明の第５実施形態にかかる霧化装置の給液芯４５、およびこれに接続されたガラス管４６の束を示す斜視図である。従来の霧化装置２００を示す断面図である。別の従来の霧化装置３００を示し、図９（Ａ）は使用開始直後の状態を示す模式図、図９（Ｂ）は一定期間使用後の状態を示す模式図である。

以下、図面とともに、本発明を実施するための形態について説明する。
［第１実施形態］
図１に、本発明の第１実施形態にかかる霧化装置１００を示す。なお、図１は霧化装置１００の断面図である。

霧化装置１００は、複数の微細な孔１ａが形成された多孔板部材１を備える。多孔板部材１は、たとえば、電鋳製で、材質がNi系合金からなり、直径３ｍｍ、厚さ５０μｍの円板形状からなる。また、孔１ａとしては、たとえば、直径５〜１０μｍの孔が、８５個形成されている。

多孔板部材１は、振動板２に取り付けられている。振動板２は、たとえば、４２Ni製で、直径１０ｍｍ、厚さ２５０μｍの円板形状からなり、中央に開口２ａが形成されており、多孔板部材１はその開口２ａに、上側から取り付けられている。

振動板２は、圧電振動体３に取り付けられている。圧電振動体３は、圧電体セラミックからなり、両端に開口を有する円筒の圧電体３ａを備え、図示しないが、圧電振動体３を駆動するための１対の電極が、圧電体３ａの円筒の内周面および外周面に形成されている。圧電体３ａは、たとえば、高さ２．６ｍｍ、外径が９．６ｍｍ、円筒の内径が８．０ｍｍからなる。そして、振動板２は、圧電体３ａの上側の開口に取り付けられている。また、圧電体３ａを構成する圧電体セラミックは、全周にわたって、内周面と外周面との間が分極されている。分極方向は、内周面から外周面の方向であっても良いし、逆に、外周面から内周面の方向であっても良い。

霧化装置１００は、振動板２と圧電振動体３とで振動手段を構成し、この振動手段に、さらに多孔板部材１が取り付けられることにより霧化手段を構成する。

霧化装置１００において、圧電振動体３の圧電体３ａに形成された１対の電極間に、所定の周波数の交流電圧を印加すると、圧電振動体３は、たとえば超音波領域の周波数で周方向に伸縮する。そして、圧電振動体３が周方向に呼吸モードで伸縮することにより、振動板２には厚み方向に屈曲モードでの振動が励起され、さらに多孔板部材１が厚み方向に屈曲モードで振動する。

霧化装置１００は、上面に、霧化される液体を収容する液体収納部４ａが形成された液体貯留部材４を備える。液体収納部４ａは、その底面に凹部４ｂが形成されている。液体収納部４ａには、蓋部材（図示せず）を設けるようにしても良い。そして、圧電振動体３が，液体貯留部材４の上縁部分に取り付けられている。なお、液体収納部４ａに蓋部材を設けた場合は、その蓋部材に圧電振動体３を取り付けるようにしても良い。

霧化装置１００は、給液手段として、たとえば、スポンジ（海綿）、フェルト、布、メッシュ膜、不織紙などからなる毛細管現象が発現される給液芯５を備える。図２（Ａ）、（Ｂ）に給液芯５を示す。ただし、図２（Ａ）は斜視図、図２（Ｂ）は図２（Ａ）の鎖線Ｘ‐Ｘ部分の断面図である。なお、図２（Ａ）、（Ｂ）においては、給液芯５を構成する集束体の繊維（繊維状の樹脂）の配向を、矢印により模式的に示している。

本実施形態においては、給液芯５は、複数の繊維状の樹脂が集束された集束体により構成される。集束体は、複数の繊維状の樹脂の長手方向が、液体の移送方向と直交する方向のうちの１つと平行になるように、また、繊維状の樹脂どうしが隙間を有し、毛細管現象が発現されるように、繊維状の樹脂と同等、もしくは剛性が低い部材によって支持されている。

このとき、集束体の形状は問わない。さらに、繊維状の樹脂の長手方向が、直方体の断面の一辺に平行であることがより好ましい。

なお、給液芯５の霧化手段に当接する端面の大きさは、多孔板部材１を基準とするのではなく、振動板２の中央に形成される開口２ａの大きさを基準とし、これよりも大きいことが好ましい。すなわち、たとえば、給液芯５の端面の１辺の長さは、開口２ａが円形である場合にはその直径よりも大きいことが望ましい。そして、この場合には、集束体の各繊維の長さは、振動板２の開口２ａの直径よりも長く、給液芯５の端面と多孔質部材とが離間されることが、多孔質部材と給液芯先端の接触を避け、給液芯の形状保持に繋がるため好ましい。また、振動板２の開口２ａを覆うように形成される多孔板部材１は、振動板２の給液芯５側と反対側に形成されることが給液芯の形状保持のため好ましい。

なお、給液芯５は、たとえば、集束体の元となる繊維をダイスに通して、他端から引き抜き棒状等に集束させ形成させる引出成形という方法により製造することができる。

このような集束体を用いる給液芯５は、図１に示すように、一方端５ａが多孔板部材１の裏面側近傍に配置されるとともに、他方端５ｂが液体貯留部材４の凹部４ｂに挿入されている。なお、液体貯留部材４の液体収納部４ａに蓋部材を設けた場合は、その蓋部材に孔を設け、その孔に給液芯を挟持させるようにすることができる。

給液芯５は、液体貯留部材４内に収容された液体（図１においては図示せず）を吸収すると、毛細管現象により液体を他方端５ｂ側から一方端５ａ側へ供給する。

なお、給液芯５は、直方体形状に限定されることはなく、円柱、円錐、多角柱、および、多角錐などの形状であっても良く、あるいは、それらの形状を組合せた形状であっても良い。また、液体貯留部材４の液体収納部４ａを気密に保った構造にし、液体収納部４ａに流体ポンプによって流体を送り、収納された液体の液面に圧力を加えることにより、液体内部に一端を配置した送液管によって、給液芯５に液体を送るようにしても良い。さらに、液体貯留部材４の液体収納部４ａと多孔板部材１近傍に配置された給液芯５との間を、細径のガラス管の束からなる送液管でつなぎ、給液芯５まで液体を送るようにしても良い。

上記の構造からなる第１実施形態にかかる霧化装置１００は、たとえば、予め多孔板部材１、振動板２、圧電振動体３に必要な加工を施したうえで、多孔板部材１を振動板２に取付け、次に、振動板２を圧電振動体３に取付け、次に、凹部４ｂに給液芯５を挿入したうえで、圧電振動体３を液体貯留部材４の上縁部分に取付けることにより製造することができる。

第１実施形態にかかる霧化装置１００は、たとえば、図３に示す方法で使用される。

まず、図３に示すように、液体貯留部材４の液体収納部４ａに、噴霧したい液体６を収容する。そして、液体収納部４ａに液体６を収容すると、給液芯５は、液体６を吸収し、図３において、ハッチング付きの矢印で示すように、全方向に膨潤する。この結果、給液芯５の一方端５ａの端面は、設計した所望の圧力で、振動板２の裏面の開口２ａの周囲を押圧する。そして、給液芯５は、毛細管現象により、他方端５ｂ側から一方端５ａ側へ液体６を供給する。

次に、圧電振動体３の圧電体３ａに形成された１対の電極（図示せず）間に、所定の周波数の交流電圧を印加する。この結果、圧電振動体３は、たとえば超音波領域の周波数で周方向に呼吸モードで伸縮する。そして、圧電振動体３が周方向に伸縮することにより、振動板２も屈曲モードで厚み方向に伸縮し、さらに多孔板部材１が厚み方向に振動する。そして、多孔板部材１が厚み方向に振動することにより、給液芯５の一方端５ａに供給された液体が、霧化され、多孔板部材１の表面側に、振動板２の開口２ａを通って噴霧される。

以上、本発明の第１実施形態にかかる霧化装置１００の構造、製造方法の一例、使用方法の一例、さらに給液芯の構造の一例について説明した。しかしながら、本発明がこれらの内容に限定されることはなく、発明の主旨に沿って、種々の変更を加えることができる。

たとえば、多孔板部材１の材質や、多孔板部材１に形成される孔の直径や個数は任意であり、上述した内容には限定されない。

また、多孔板部材１を振動させる振動手段も上述した内容には限定されず、圧電振動体３を備えたものではなく、たとえば、電磁的な振動源を備えたものであってもよい。また、圧電振動体を備える場合であっても、その圧電体が上述のように円筒形状である必要はなく、たとえば、中央に開口を有する平板状であってもよい。さらに、振動板２は必ずしも必要ではなく、圧電体の開口部に、直接、多孔板部材１を取り付けるようにしてもよい。この場合には、給液芯５が多孔板部材１に接触しないように、圧電体の開口部付近の内面に給液芯と接触するための突起を形成するようにしても良い。
［第２実施形態］
第２実施形態にかかる霧化装置は、上述した第１実施形態にかかる霧化装置１００の給液芯５を、別の構造からなる給液芯１５に置き換えた。他の構成については、霧化装置１００と同じにした。

図４に、本発明の第２実施形態にかかる給液芯１５を示す。ただし、図４（Ａ）は斜視図、図４（Ｂ）は図４（Ａ）の鎖線Ｙ‐Ｙ部分の断面図である。なお、図２（Ａ）、（Ｂ）においては、給液芯１５を構成する集束体の繊維（繊維状の樹脂）の配向を、矢印により模式的に示している。

給液芯１５は、集束体の繊維が、給液芯１５が液を移送する方向に直交する面と、平行となるように配向されている。

なお、この実施形態では、集束体の繊維を、特に、液を移送する方向に直交する面内において、直交する２方向に分けて配向させている。ただし、これには限定されず、それ以上の方向に分けて配向させるようにしても良いし、特定の方向に分けずにランダムに配向させても良い。

給液芯１５は、たとえば、複数の樹脂繊維を圧縮して板状にして、積層して成形することができる。

第２実施形態にかかる霧化装置においては、液体を吸収した給液芯１５の一方端１５ａの端面は、より安定的に、霧化手段の裏面を押圧することができる。また、長期間使用しても、給液芯１５の一方端１５ａの端面が変形することがなく、霧化特性が劣化することがない。
［第３実施形態］
第３実施形態にかかる霧化装置は、上述した第１実施形態にかかる霧化装置１００の給液芯５を、別の構造からなる給液芯２５に置き換えた。他の構成については、霧化装置１００と同じにした。

図５に、本発明の第３実施形態にかかる給液芯２５を示す。ただし、図５（Ａ）は斜視図、図５（Ｂ）は図５（Ａ）の鎖線Ｚ‐Ｚ部分の断面図である。なお、図５（Ａ）、（Ｂ）においては、給液芯２５を構成する集束体の繊維（繊維状の樹脂）の配向を、矢印により模式的に示している。

給液芯２５は、集束体の繊維が、液を移送する方向に直交する面と、概ね平行となるように配向されている。

第３実施形態にかかる霧化装置においても、液体を吸収した給液芯２５の一方端２５ａの端面は、安定的に、霧化手段の裏面を押圧することができる。また、長期間使用しても、給液芯２５の一方端２５ａの端面が変形することがなく、霧化特性が劣化することがない。
［第４実施形態］
第４実施形態にかかる霧化装置は、上述した第１実施形態にかかる霧化装置１００の給液芯５を、別の構造からなる給液芯３５に置き換えた。他の構成については、霧化装置１００と同じにした。

図６に、本発明の第４実施形態にかかる給液芯３５を示す。ただし、図６は斜視図ある。なお、図６には、給液芯３５を構成する集束体の繊維（繊維状の樹脂）の配向を、矢印により模式的に示している。

給液芯３５は、変形が抑制される方向の異なる２種類の材質が組合せて構成されている。すなわち、給液芯３５においては、第１部分３５ｘの繊維配向は、液の移送方向に直交する面の比率が高く、第２部分３５ｙの繊維配向は、液の移送方向の面の比率が高くなっている。

第４実施形態にかかる霧化装置においても、液体を吸収した給液芯３５の一方端３５ａの端面は、安定的に、霧化手段の裏面を押圧することができる。また、長期間使用しても、給液芯３５の一方端３５ａの端面が変形することがなく、霧化特性が劣化することがない。
［第５実施形態］
第５実施形態にかかる霧化装置は、上述した第１実施形態にかかる霧化装置１００の給液芯５を、給液芯４５と、給液芯４５に取付けられたガラス管４６の束とに置き換えた。他の構成については、霧化装置１００と同じにした。

図７に、本発明の第５実施形態にかかる給液芯４５およびガラス管４６の束を示す。ただし、図７は斜視図ある。なお、図７においては、給液芯４５を構成する集束体の繊維（繊維状の樹脂）の配向を、矢印により模式的に示している。

液体を吸収した給液芯４５は、主に一方端４５ａへの送液方向に直交する面に繊維が配向されるため、繊維同士の隙間を通じて毛細管現象によって液が送液され送液量を増やしやすくなる。

なお、ガラス管４６の束に換えて、流体ポンプに連結された液送管などを、給液芯４５に取付けるようにしても良い。

第５実施形態にかかる霧化装置においても、液体を吸収した給液芯４５の一方端４５ａは、安定的に、霧化手段の底面を押圧することができる。また、長期間使用しても、給液芯４５の一方端４５ａの端面が変形することがなく、霧化特性が劣化することがない。

１：多孔板部材
１ａ：孔
２：振動板
２ａ：開口
３：圧電振動体
３ａ：圧電体
４：液体貯留部材
４ａ：液体収納部
４ｂ：凹部
５、１５、２５、３５、４５：給液芯（給液手段）
５ａ、１５ａ、２５ａ、３５ａ、４５ａ：一方端
５ｂ、１５ｂ、２５ｂ、３５ｂ：他方端
３５ｘ：第１部分
３５ｙ：第２部分
６：液体
１００：霧化装置

Claims

液体を収容するための液体収納部を有する液体貯留部材と、
複数の孔が表裏間を貫通して形成された多孔板部材、および、当該多孔板部材を支持し、かつ、当該多孔板部材を振動させる振動手段とからなる霧化手段と、
前記液体貯留部材から前記霧化手段に液体を供給する給液手段と、を備えた霧化装置であって、
前記給液手段は毛細管現象により液体を移送可能な給液芯を有し、当該給液芯は、一方端面が前記霧化手段に接触するように配置され、かつ、前記一方端面が、平面度を維持したまま、多孔板部材の厚み方向に変形するものであり、
前記給液芯は、複数の繊維状の部材が束ねられた集束体からなり、
前記集束体の繊維の配向は、前記多孔板部材の厚み方向の成分よりも、前記多孔板部材の厚み方向と直交する方向の成分の方が、比率が高いことを特徴とする霧化装置。
前記給液芯の前記一方端面の近傍の剛性が、前記多孔板部材の厚み方向において、前記多孔板部材の厚み方向と直交する方向よりも、低いことを特徴とする、請求項１に記載された霧化装置。
前記集束体の繊維の配向は、前記給液芯によって液体が移送される方向の成分よりも、前記給液芯によって液体が移送される方向と直交する方向の成分の方が、比率が高いことを特徴とする、請求項１または２に記載された霧化装置。
前記集束体の繊維の配向は、前記給液芯の前記一方端面が前記霧化手段に接触する方向
と直交する平面と、平行な方向であることを特徴とする、請求項１ないし３のいずれか１
項に記載された霧化装置。
前記集束体の繊維の配向は、前記給液芯の前記一方端面が前記霧化手段に接触する方向
と直交する方向のうちの１つと、平行な方向であることを特徴とする、請求項１ないし４
のいずれか１項に記載された霧化装置。
前記振動手段が、圧電振動体を備えることを特徴とする、請求項１ないし５のいずれか
１項に記載された霧化装置。
前記圧電振動体が、両端に開口を有する円筒の圧電体を備え、当該圧電体を駆動するた
めの電極が、当該圧電体が半径方向に伸縮する呼吸振動モードをするように、前記円筒の
内周面および外周面に形成され、さらに前記円筒の一方端の開口に、中央に開口を有する
振動板が取り付けられて、前記振動手段が構成されていることを特徴とする、請求項６に
記載された霧化装置。
前記振動板の前記開口に、前記多孔板部材が取り付けられて、前記霧化手段が構成され
ていることを特徴とする、請求項７に記載された霧化装置。