WO2010079820A1

WO2010079820A1 - 光硬化性転写シート、及びこれを用いた凹凸パターンの形成方法

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Publication number: WO2010079820A1
Application number: PCT/JP2010/050134
Authority: WO
Inventors: 隆人稲宮; 賢志橋元; 栄三甲斐田
Original assignee: 株式会社ブリヂストン
Priority date: 2009-01-08
Filing date: 2010-01-08
Publication date: 2010-07-15
Also published as: US20110278772A1; JP5052534B2; JP2010161186A; CN102272887A; EP2381467A1; EP2381467A4; KR20110112412A

Abstract

ナノインプリントプロセス法において、中間スタンパの作製に有利に使用することができる光硬化性転写シートであって、その際に使用される微細凹凸パターンを有する金型との剥離性、及びその中間スタンパから凹凸パターンが転写された製品の光硬化樹脂との剥離性が良好であり、且つ、基材フィルムとの密着性が良好である光硬化性転写シート、更にそれを用いた微細な凹凸パターンを形成する方法を提供する。加圧により変形可能な光硬化性組成物からなる光硬化性転写層１１を有する光硬化性転写シート１０であって、前記光硬化性組成物が、滑剤としてシリコーン系樹脂及び／又はフッ素原子含有エチレン性化合物を含み、光硬化性転写層１１の表面エネルギーが２０ｍＮ／ｍを超え、３０ｍＮ／ｍ未満であることを特徴とする光硬化性転写シート１０。更に、これを用いた凹凸パターンを形成する方法。

Description

光硬化性転写シート、及びこれを用いた凹凸パターンの形成方法

　本発明は、電子デバイス、光学部品、記録媒体等の製造に有利に使用することができる光硬化性転写シート、及びを用いた凹凸パターンの形成方法、特に微細加工技術であるナノインプリントに関する。

　光或いは電子線を用いる微細加工技術の進展はめざましく、光では１００ｎｍ、電子線では１０ｎｍの加工が達成されている。しかしながら、それら微細加工装置は高価なため、より安価な加工技術が求められている。このような目的に沿って、ナノインプリント技術によりシリコン基板等に所望の回路パターン等を形成する方法が確立されつつある。ナノインプリント技術は、従来のプレス技術と比較して、より微小な構造を実現するための微細加工の技術である。この技術自体には解像度に限界がなく、解像度はモールド（即ち金型）の作製精度によって決まる。したがって、モールドさえ作製できれば、従来のフォトリソグラフィーより容易に、且つはるかに安価な装置により、極微細構造を形成することが可能である。

　ナノインプリント技術には転写される材料により２種類に大別される。一方は、転写される材料を加熱し、モールド（金型）により塑性変形させた後、冷却してパターンを形成する熱ナノインプリント技術である。もう一方は、基板上に室温で液状の光硬化性樹脂を塗布した後、光透過性のモールドを樹脂に押し当て、光を照射させることで基板上の樹脂を硬化させパターンを形成する光ナノインプリント技術である。特に光ナノインプリント技術は室温にてパターン形成できるため熱による基板、モールド間の線膨張係数差による歪が発生しにくく、高精度のパターン形成が可能であり、半導体等のリソグラフィ技術の代替技術として注目を集めている。

　ナノインプリントによりパターン成形を安価に行うことができるが、マザースタンパであるモールド（金型）に樹脂が付着し易く、樹脂が付着した場合、そのモールドを補修することは極めて困難である。モールド（金型）が非常に高価なため、製造全体として安価とは言えない場合が多い。

　特許文献１（特開２００７－１６５８１２号公報）には、２工程によるインプリント法が開示されている。即ち、第１工程で、マイクロメータ又はナノメータのオーダの微細な凹凸のパターンニングがなされた表面を有するテンプレート（上記マザースタンパの反転したもの）に、サーモプラスティックポリマー等の可塑性ポリマーフォイルの表面と表面が向かい合い接触するように置かれ、インプリント処理により、テンプレート表面のパターンが反転されたものがポリマーフォイルの表面に形成される。そして、第２工程で、得られたポリマースタンパ（中間スタンパ）に、上記と同様な処理がなされ、他の可塑性ポリマーフォイルの表面に第二の反転レプリカ（テンプレートと同一のパターン）が形成される。

　この方法では、製品が中間スタンパを用いて成形されるため、マザースタンパ（テンプレート）には深刻な損傷が発生することはない。しかしながら、中間スタンパの作製に熱可塑性ポリマーを使用しているため、幅広く様々なポリマーを使用することができる反面、成形に加熱、冷却という大きなエネルギーが必要となること、そして成形時間が１分以上の長い時間が必要となることの不利がある。従って、連続製造する場合のタクト（処理に必要な時間）の短縮が困難となる。

　また特許文献１には、中間スタンパ作製時に、光硬化性樹脂を併用する例が記載されているが、光硬化性樹脂は液状物のため、作業性が悪く、また硬化収縮、厚みムラ等も大きいことから、上記タクトの短縮等を含む生産性の向上を図ることができない。さらに、マザースタンパとの剥離性、及び中間スタンパから凹凸パターンが転写された製品である硬化した紫外線硬化樹脂との剥離性が低いという問題がある。

　一方、特許文献２には、紫外線硬化樹脂からなる中間スタンパの作製の際に、基材フィルム上の紫外線硬化樹脂に内部硬化型シリコーン樹脂を添加することにより、剥離性を改善する方法が開示されている。

特開２００７－１６５８１２号公報特開平９－６３１３０号公報

　しかしながら、特許文献２の紫外線硬化樹脂も液状物であり、上述の作業性の悪さや硬化収縮等の問題は解決できない。また、シリコーン樹脂を添加する場合も、添加量が少ないと、剥離性改善効果が発揮されず、添加量が多いと、基材フィルムとの密着が保持できないことになるため、必ずしも十分な方法とは言えない。

　本発明者らの検討により、作業性等の問題については、転写材料として、紫外線硬化性樹脂に代えて、シート状の光硬化性樹脂（即ち光硬化性転写シート）を用いることで、作業性、硬化収縮等については改善されることが明らかになっている。しかしながら、剥離性改善等の問題については、上記の通り、シリコーン樹脂添加だけでは十分とは言えない。

　従って、本発明の目的は、電子デバイス、光学部品、記録媒体等の作製に有用なナノインプリントプロセス法において、中間スタンパの作製に有利に使用することができる光硬化性転写シートであって、その際に使用される微細凹凸パターンを有する金型との剥離性、及びその中間スタンパから凹凸パターンが転写された製品の光硬化性樹脂との剥離性が良好であり、且つ、基材フィルムとの密着性が良好である光硬化性転写シートを提供することにある。

　さらに本発明の目的は、上記光硬化性転写シートを用いて微細な凹凸パターンを形成する方法を提供することにある。

　上記目的は、加圧により変形可能な光硬化性組成物からなる光硬化性転写層を有する光硬化性転写シートであって、前記光硬化性組成物が、滑剤としてシリコーン系樹脂及び／又はフッ素原子含有エチレン性化合物を含み、光硬化性転写層の表面エネルギーが２０ｍＮ／ｍを超え、３０ｍＮ／ｍ未満であることを特徴とする光硬化性転写シートによって達成される。これにより、金型との剥離性が良好であり、中間スタンパとして使用した場合に、凹凸パターンが転写された製品の光硬化樹脂との剥離性も良好であり、且つ光硬化性転写シートの基材フィルムへの密着性が良好な光硬化性転写シートとすることができる。

　ここで、表面エネルギーは、接触角計（Ｄｒｏｐ－ｍａｓｔｅｒ（協和界面社製）、標準溶媒：水、１－ブロモナフタレン、ジヨードメタン）により得られた接触角の数値から、北崎、畑の拡張Ｆｏｗｋｅｓ式に基づく幾何学平均法による解析（北崎寧昭、畑敏雄ら、日本接着協会誌、第８巻（３）１３１－１４１頁（１９７２年））で求めた値を言う。

　本発明の光硬化性転写シートの好ましい態様は以下の通りである。
（１）前記シリコーン系樹脂が、変性ポリシロキサンである。
（２）変性ポリシロキサンが、（メタ）アクリロイル基含有ポリシロキサンである。
（３）前記フッ素原子含有エチレン性化合物が、フルオロ（メタ）アクリレート類である。
（４）前記光硬化性転写層の一方の表面に、易接着層と透明フィルムとを有する易接着フィルムを備え、且つ当該易接着層が光硬化性転写層に接触するように設けられている。
（５）前記透明フィルムが、ポリエステルフィルムである。
（６）前記易接着層が、ポリエステル樹脂、ポリウレタン樹脂及びアクリル樹脂から選択される少なくとも１種を含む。

　また、上記目的は、下記の工程：
（１）表面に微細な凹凸パターンを有する金型の表面を、本発明の光硬化性転写シートの転写層に、当該金型の凹凸パターン面が、当該転写層の表面に接触するように載置、押圧して、転写層の表面が凹凸パターン表面に沿って密着した積層体を形成する工程；
（２）金型を有する積層体の転写層を紫外線照射により硬化させる工程、及び
（３）金型を除去することにより、当該転写層の表面に微細な反転凹凸パターンを形成する工程；を含む凹凸パターンの形成方法によっても達成される。

　この方法においては、本発明の光硬化性転写シートを用いて、金型の表面の微細な凹凸パターンを転写しているので、光硬化性転写シートと金型との剥離性が良好で、金型に転写層の一部が付着することなく、欠陥のない反転凹凸パターンを転写層に形成することができる。また、これにより、高価な金型を損傷することなく使用することができる。

　更に、下記の工程：
（４）上記の方法により、前記金型の凹凸パターンの反転凹凸パターンが形成された光硬化性転写シート（中間スタンパ）の微細な反転凹凸パターンの表面を、基板上に形成された光硬化性樹脂組成物からなる光硬化性樹脂層に、中間スタンパの反転凹凸パターン面が光硬化性樹脂層の表面に接触するように載置、押圧して、光硬化性樹脂層の表面が反転凹凸パターン表面に沿って密着した積層体を形成する工程；
（５）中間スタンパを有する積層体の光硬化性樹脂層を紫外線照射により硬化させる工程；及び
（６）中間スタンパを除去することにより、光硬化性樹脂層の表面に前記金型と同一の微細な凹凸パターンを形成する工程；を含む凹凸パターンの形成方法によっても達成される。

　この方法においては、金型の反転凹凸パターンが形成された本発明の光硬化性転写シートを中間スタンパとして用いて、基板上に形成された光硬化性樹脂層に微細な凹凸パターンを転写しているので、中間スタンパと硬化した光硬化性樹脂層との剥離性が良好で、中間スタンパに光硬化性樹脂層の一部が付着することなく、欠陥のない金型と同一の凹凸パターンを形成することができる。

　本発明の凹凸パターンの形成方法の好ましい態様は以下の通りである。
（１）前記光硬化性樹脂組成物が液状である。本発明の方法においては、液状の光硬化性樹脂組成物であっても剥離性が良好であり、有効である。
（２）前記金型がスタンパである。本発明の方法は、ナノインプリントプロセス法に使用するスタンパを用いた凹凸パターンの形成に有効である。

　本発明の光硬化性転写シートは、光硬化性転写層が微細凹凸パターンを有するスタンパ等の金型との剥離性、及び製品の硬化した光硬化性樹脂との剥離性が良好で、且つ基材フィルムとの密着性が良好であるので、金型のパターンを忠実に転写することができ、樹脂の付着により金型を損傷することが無く、且つ膜自立性が優れた光硬化性転写シートである。このため、本発明の光硬化性転写シートを用いる、光ナノインプリントプロセス法等の微細な凹凸パターンの形成方法は、金型のパターンを忠実に形成することができ、高価なスタンパを損傷することが無い。また、光硬化性転写シートの膜自立性が良好であるため、シートのハンドリング性が優れており、連続製造する場合のタクト（処理に必要な時間）を短縮することで、生産性の向上が可能となり、コスト低減を図ることができる。

　従って、本発明の凹凸パターンの形成方法により、電子ディスプレイリブ、電子デバイス（リソグラフィ、トランジスタ）、光学部品（マイクロレンズアレイ、導波路、光学フィルタ、フォトニックス結晶）、バイオ関連材料（ＤＮＡチップ、マイクロリアクタ）、記録媒体（パターンドメディア、ＤＶＤ）を有利に得ることができる。

本発明の光硬化性転写シートの代表的な一例を示す概略断面図である。本発明の微細凹凸パターン形成方法の代表的な一例を示す概略断面図である。本発明の微細凹凸パターン形成方法の代表的な一例を示す概略断面図である（図２から続いて行う場合）。本発明に従う微細凹凸パターンの連続形成方法の代表的な一例を示す概略断面図である。

　以下に図面を参照しながら本発明の実施の形態を詳細に説明する。

　図１は本発明の光硬化性転写シート１０の実施形態の代表的な一例を示す概略断面図である。光硬化性転写層１１には、一方の表面に、易接着層１２ａを有するポリマーフィルム１２ｂからなる透明フィルム１２、及び他方の表面に剥離シート１３が設けられている。透明フィルム１２は、易接着層１２ａにより光硬化性転写層１１に強力に接着されている。従って、易接着層１２ａは、光硬化性転写層１１、硬化後の光硬化性転写層１１及びポリマーフィルム１２ｂと優れた接着性を示す。また、ポリマーフィルム１２ｂにより、光硬化性転写シート１０及び硬化後の光硬化性転写シート１０の膜自立性が付与されている。剥離シート１３は光硬化性転写層を保護するためのシートで、無くても良いが、長尺シートで使用する場合等はハンドリング性の点で設けた方が好ましい。剥離シートは、一般に、プラスチックシート上に剥離層が設けられたものであり、剥離層が光硬化性転写層１１の表面と接触するように設けられており、通常使用時に除去される。

　本発明の光硬化性転写層１１は、金型（好ましくはスタンパ）の微細凹凸パターン表面を押圧することにより精確に転写できるように、加圧により変形し易い層であるとともに、硬化後における金型との剥離性に優れ、中間スタンパとして使用した場合には、凹凸パターンが転写された製品の光硬化性樹脂との剥離性にも優れており、且つ透明フィルム１２との密着性が良好である。即ち、光硬化性転写層１１は、光硬化性組成物（一般に、ポリマーと光重合性官能基を有する反応性希釈剤とを含む）からなり、滑剤として、シリコーン系樹脂及び／又はフッ素原子含有エチレン性化合物を含んでおり、且つ、光硬化性転写層１１の表面エネルギーが２０ｍＮ／ｍを超え、３０ｍＮ／ｍ未満である。これにより、硬化した光硬化性転写層１１の表面は金型と剥離し易く、中間スタンパとして用いた場合には、凹凸パターンが転写された製品の光硬化性樹脂と剥離し易い状態となるが、透明フィルム１２との高い密着性が維持されている適正な光硬化性転写層１１とすることができる。光硬化性転写層１１の表面エネルギーが２０ｍＮ／ｍ以下の場合は透明フィルム１２との密着性が不十分であり、中間スタンパとして用いた場合に、製品の光硬化性樹脂を撥いてしまい、凹凸パターンの転写が不十分になる。一方、表面エネルギーが３０ｍＮ／ｍ以上の場合は金型との剥離性、製品の光硬化性樹脂との剥離性が不十分となる。

　本発明において、光硬化性組成物は、ポリマー、光重合性官能基（一般に炭素－炭素２重結合基、好ましくは（メタ）アクリロイル基）を有する反応性希釈剤（モノマー及びオリゴマー）、光重合性開始剤、滑剤としてシリコーン系樹脂及び／又はフッ素原子含有エチレン性化合物及び、所望により他の添加剤から構成される。

　光硬化性組成物のポリマーとしては、ガラス転移温度（Ｔｇ）が８０℃以上のポリマーを含むことが好ましい。これにより、金型の微細凹凸パターンが容易に転写でき、硬化も高速で行うことができる。また硬化された形状も高いＴｇを有するのでその形状が変わることなく長期に維持され得る。ガラス転移温度が８０℃以上のポリマーとしては、重合性官能基を有することが、反応性希釈剤と反応が可能となり硬化の高速化に有利である。またヒドロキシル基を有することにより、光硬化性転写層１１にジイソシアネートを含ませることで、ポリマーを僅かに架橋させることが可能となり、転写層のしみ出し、層厚変動が大きく抑えられた層とするのに特に有利である。ジイソシアネートは、ヒドロキシル基の無いポリマーでもある程度有効である。

　光硬化性組成物に滑剤として添加されるシリコーン系樹脂は光硬化性転写層１１の表面エネルギーを調整できるものであれば、どのようなものでも良い。例えば、非変性又は変性ポリシロキサンを挙げることができる。光硬化性成分からのブリード（にじみ）を少なくできるため、変性ポリシロキサンが好ましい。非変性ポリシロキサンの例としては、ジメチルシリコーン、メチルフェニルシリコーン、メチルハイドロジェンシリコーンを挙げることができる。また、変性ポリシロキサンの例としては、上記ポリシロキサンの、側鎖、両末端又は片末端に官能基を有する物であり、その官能基の例としては、アミノ基、エポキシ基、脂環式エポキシ基、カルビノール基、メルカプト基、カルボキシル基、アクリロイル基、メタクリロイル基を挙げることができる。変性ポリシロキサンの内、特にアクリロイル基及び／又はメタクリロイル基変性ポリシロキサンが好ましい。また（メタ）アクリロイル基はポリアルキレンオキシドを介してポリシロキサンに結合していても良い。
滑剤として添加されるフッ素原子含有エチレン性化合物は光硬化性転写層の表面エネルギーを調整できるものであれば、どのようなものでも良い。表面エネルギーを調整し易い点で、フルオロ（メタ）アルキレート類が好ましい。フルオロ（メタ）アクリレート類の例としては、２，２，２－トリフルオロエチルアクリレート、２，２，２－トリフルオロエチルメタアクリレート、２，２，３，３－テトラフルオロプロピルアクリレート、１Ｈ，１Ｈ，５Ｈ－オクタフルオロペンチルアクリレート、１Ｈ，１Ｈ，５Ｈ－オクタフルオロペンチルメタアクリレート等が挙げられる。

　これらの滑剤は単独、又は複数種類を組み合せて使用することができる。
滑剤の添加量は、光硬化性転写層１１の表面エネルギーを２０ｍＮ／ｍを超え、３０ｍＮ／ｍ未満に調整するため、滑剤の種類に応じて、適宜調整する。

　表面エネルギーは以下のように求める。即ち、接触角計（Ｄｒｏｐ－ｍａｓｔｅｒ（協和界面社製））により、標準溶媒として、水、１－ブロモナフタレン、ジヨードメタンを用いて光硬化性転写層の接触角を測定する。得られた数値から、北崎、畑の拡張Ｆｏｗｋｅｓ式に基づく幾何学平均法による解析（北崎、畑ら、日本接着協会誌、第８巻（３）１３１－１４１頁（１９７２年））によって、表面エネルギーを求める。

　即ち、上記文献に記載された標準溶媒の表面エネルギーデータ（表１）と下記数１を用いて、標準物質と光硬化性転写層の接着仕事を算出する。

次いで、表１に記載された標準溶媒のγ^ａ、γ^ｂ、γ^ｃと、下記数２から光硬化性転写層のγ^ａ、γ^ｂ、γ^ｃを算出し、下記数３により、光硬化性転写層の表面エネルギー（γ）を算出する。

　本発明において、透明フィルム１２のポリマーフィルム１２ｂは、本発明の光硬化性転写シート１０に使用可能な透明性や物性があれば、どのようなものでも良い。好ましくはポリエステルフィルムである。このポリエステルは、芳香族二塩基酸又はそのエステル形成性誘導体とジオール又はそのエステル形成性誘導体とから合成される線状飽和ポリエステルである。

　このようなポリエステルの例としては、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、ポリエチレン－２，６－ナフタレート、ポリエチレンイソフタレート、ポリエチレンイソフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリ（１，４－シクロヘキシレンジメチレンテレフタレート）等を挙げることができ、これらの共重合体又はこれと副成分（５０モル％未満）としての他樹脂とのブレンドであってもよい。これらのポリエステルのうち、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレン－２，６－ナフタレートが力学的物性や光学物性等のバランスが良いので好ましい。特に、ポリエチレン－２，６－ナフタレートは機械的強度の大きさ、熱収縮率の小ささ、加熱時のオリゴマー発生量の少なさなどの点でポリエチレンテレフタレートに優っており最も好ましい。

　本発明において、透明フィルム１２の易接着層１２ａは無くてもいが、ポリマーフィルム１２ｂと光硬化性転写層１１との密着性をより強力にするために、易接着層１２ａを設けた方が好ましい。易接着層１２ａは、ポリエステル樹脂、ポリウレタン樹脂、アクリル樹脂の１種又は２種以上の混合物の易接着層が設けられることが好ましい。

　次に、上記光硬化性転写シート１０を用いて、本発明の微細凹凸パターンの形成方法について、図面を参照しながら詳細に説明する。一般にナノインプリントプロセス法もこの微細凹凸パターンの形成方法のように行うことができる。

　図２及び図３は、本発明の微細凹凸パターンの形成方法における実施の形態の代表的な一例を示す概略断面図である。まず光硬化性転写シート１０から、剥離シート１３を除去し、光硬化性転写層１１を露出させる。光硬化性転写層１１は透明フィルム１２のポリマーフィルム１２ｂ上の易接着層１２ａに接着、固定されている。金型としてスタンパ１４を、その微細凹凸パターン面が光硬化性転写層１１の表面に対向するように配置する（図２（ａ））。続いて、光硬化性転写層１１上に、スタンパ１４を押圧し、光硬化性転写層１１の表面がスタンパ１４の凹凸パターンの表面に沿って密着した積層体を形成する（図２（ｂ）：以上工程（１））。押圧が可能なように、光硬化性転写層１１は必要に応じて加熱される。常温で押圧可能であれば加熱する必要はない。この状態で、光硬化性転写層１１を、光（ＵＶ）照射することにより硬化させる（工程（２））。押圧しながら光照射することがタクトを短縮できるので好ましい。その後、スタンパ１４を硬化した光硬化性転写層１１ｃから除去する（図２（ｃ）：工程（３））。このようにして、スタンパ１４の微細凹凸パターンが反転した凹凸パターンを光硬化性転写層１１上に形成する。本発明の方法においては、本発明の光硬化性転写シート１０を使用しているので、スタンパ１４を硬化した光硬化性転写層１１ｃから極めて容易に除去することができ、その転写層１１の一部がスタンパ１４に移ることもない。従って、欠陥のない反転凹凸パターンを形成することができ、スタンパ１４を損傷することもない。

　上記のスタンパ１４の微細凹凸パターンが反転した凹凸パターンが形成された光硬化性転写シート１０を中間スタンパとして使用する場合は、更に以下の工程により、基板１５上に形成された光硬化性樹脂層１６の表面に凹凸パターンを形成することができる。

　基板１５の表面には液状の光硬化性樹脂組成物が塗布され、光硬化性樹脂層１６が形成されている。基板１５は、電子部品用の基板や、これに所定の配線パターンが形成されたもの等が挙げられる。例えば、シリコンウェーハ、銅、クロム、鉄、アルミニウム等の金属製基板や、ガラス基板等が挙げられる。

　上記で得られた、透明フィルム１２上にスタンパ１４の微細な凹凸パターンが反転した凹凸パターン面が形成された光硬化性転写層１１ｃを備えた中間スタンパ２０を、その凹凸パターン面が光硬化性樹脂層１６の表面に対抗するように配置する（図３（ｄ））。次いで、光硬化性樹脂層１６上に中間スタンパ２０を押圧する（図３（ｅ）：以上工程（４））。押圧が可能なように、光硬化性樹脂層１６は、必要に応じて加熱される。常温で押圧可能であれば加熱する必要はない。この状態で、光硬化性樹脂層１６を、光（ＵＶ）照射することにより硬化させる（工程（５））。押圧しながら光照射することがタクトを短縮できるので好ましい。その後、中間スタンパ２０を凹凸パターン面が形成され且つ硬化した光硬化性樹脂層１６から除去する（図３（ｆ）：工程（６））。このようにして、スタンパの微細凹凸パターンと同じパターンの微細凹凸パターンを光硬化性樹脂層１６上に形成する。本発明の方法においては、本発明の光硬化性転写シート１０が中間スタンパ２０に使用されているので、光硬化性樹脂層１６から中間スタンパ２０を極めて容易に剥離することができ、光硬化性樹脂層１６の一部が中間スタンパ２０に移ることもない。従って、欠陥のない凹凸パターンを光硬化性樹脂層１６の表面に形成することができる。

　光硬化性樹脂層１６は、光硬化性転写シート１０と同様な加圧変形性のある光硬化性組成物によって形成されていても良いが、基板１５上に薄膜に塗布できる点で液状の光硬化性樹脂組成物が好ましい。特に本発明の方法においては、本発明の光硬化性転写シートを使用するので、液状の光硬化性樹脂組成物との剥離性が改善されており、有効である。

　一般に、工程（１）～（６）を繰り返して微細凹凸パターンを有する光硬化性樹脂層を形成するが、中間スタンパ２０を用いて、多数の微細凹凸パターンを有する光硬化性樹脂層を作成しても良い。即ち、工程（１）～（３）を行った後、工程（４）～（６）を繰り返して行っても良い。

　上記においては、金型としてスタンパを用いて説明したが、他の金型でも同様に行うことができる。微細凹凸パターンを転写することに有利なことから、金型として、ナノインプリントプロセス法等に使用するスタンパが好ましい。材質はどのようなものでも良いが、好ましくはニッケル、チタン、シリコン、石英等が適用できる。特にニッケルが好ましい。

　図４は、本発明の凹凸パターン形成方法を連続的に行う実施の形態の代表的な１例を示す概略断面図である。まず、送りロール３６ａから光硬化性転写シート３０が送り出され、剥離シート３３が案内ロール３６ｃを介して、巻き取りロール３６ｂに巻き取られて除去される。透明フィルム３２（ポリマーフィルム及びその上に易接着層を有する）に接着固定されている光硬化性転写層３１は露出され、案内ロール３６ｄを介して矢印方向に搬送され、微細な凹凸パターンを有するスタンパ部３４とＵＶランプ３７を備え、上下に作動するＵＶ透過型圧着部３５の間に来た時、搬送が停止し、ＵＶ透過型圧着部３５が下方に移動して透明フィルム３２を押し下げ、光硬化性転写層３１をスタンパ部３４に押圧する。押圧後又は押圧と同時にＵＶランプ３７で光照射され、光硬化性転写層３１は硬化する。その後、ＵＶ透過型圧着部３５が上方に移動するとともに、硬化した光硬化性転写層３１ｃはスタンパ部３４から剥離し、光硬化性転写層３１ｃの表面にはスタンパ部３４の微細な凹凸パターンが反転した凹凸パターンが形成されている（中間スタンパ）。

　透明フィルム３２に接着固定された光硬化性転写層３１ｃは、搬送が再開され、液状光硬化性樹脂組成物が塗布されて光硬化性樹脂層４１が形成されている基板４０と、ＵＶランプ４７を備え、上下に作動するＵＶ透過型圧着部４５の間に来た時、搬送が再び停止する。次いで、ＵＶ透過型圧着部４５が下方に移動し、透明フィルム３２を押し下げ、光硬化性転写層３１ｃを光硬化性樹脂層４１に押圧する。押圧後又は押圧と同時にＵＶランプ４７で光照射され、光硬化性樹脂層４１は硬化する。その後、ＵＶ透過型圧着部４５が上方に移動するとともに、硬化した光硬化性樹脂層４１は光硬化性転写層３１ｃから剥離し、光硬化性樹脂層４１の表面にはスタンパ部３４と同一の微細な凹凸パターンが形成され、製品となる。透明フィルム３２に接着固定された光硬化性転写層３１ｃは中間スタンパとして、更に連続して同様な処理により、複数の光硬化性樹脂層に微細な凹凸パターンを形成しても良い。その後、透明フィルム３２に接着固定された光硬化性転写層３１ｃは案内ロール３６ｅを介して巻き取りロール３６ｆによって巻き取られる。スタンパ部３４から光硬化性転写層３１への転写と光硬化性転写層３１ｃから光硬化性樹脂層４１への転写は連続して行わなくても良い。例えば、透明フィルムに接着固定された光硬化性転写層３１ｃを巻き取りロール３６ｆで巻き取った後、適宜、中間スタンパとして使用して、光硬化性樹脂層４１へ転写して製品製造を行っても良い。

　本発明の光硬化性転写シートを構成する透明フィルムのポリマーフィルムに、好ましく使用されるポリエステルは、ホモポリマーでも、第三成分を共重合したコポリマーでもよいが、ホモポリマーが好ましい。ポリエステルがポリエチレンテレフタレートである場合、コポリマーとしてイソフタル酸共重合ポリエチレンテレフタレートが最適である。このイソフタル酸共重合ポリエチレンテレフタレートは、イソフタル酸が５モル％以下であることが好ましい。ポリエステルにはイソフタル酸以外の共重合成分または共重合アルコール成分が、その特性を損なわない範囲、例えば全酸成分又は全アルコール成分に対して３モル％以下の割合で、共重合されていてもよい。共重合酸成分の例としては、フタル酸、２，６－ナフタレンジカルボン酸等の芳香族ジカルボン酸、アジピン酸、アゼライン酸、セバシン酸、１，１０－デカンジカルボン酸等の脂肪族ジカルボン酸等を挙げることができ、またアルコール成分としては、１，４－ブタンジオール、１，６－ヘキサンジオール、ネオペンチルグリコール等の脂肪族ジオール、１，４－シクロヘキサンジメタノール等の脂環族ジオール等を挙げることができる。これらは単独または二種以上を使用することができる。

　ポリエステルが、ポリエチレン－２，６－ナフタレンジカルボキシレートである場合、主たるジカルボン酸成分としてナフタレンジカルボン酸が用いられ、主たるグリコール成分としてエチレングリコールが用いられる。ナフタレンジカルボン酸としては、例えば２，６－ナフタレンジカルボン酸、２，７－ナフタレンジカルボン酸、１，５－ナフタレンジカルボン酸を挙げることができ、これらの中で２，６－ナフタレンジカルボン酸が好ましい。ここで「主たる」とは、本発明のフィルムの成分であるポリマーの構成成分において全繰返し単位の少なくとも９０モルｌ％、好ましくは少なくとも９５モル％を意味する。

　コポリマーの場合、コポリマーを構成する共重合成分としては、分子内に２つのエステル形成性官能基を有する化合物を用いることができ、このような化合物としては、例えば、蓚酸、アジピン酸、フタル酸、セバシン酸、ドデカンジカルボン酸、イソフタル酸、テレフタル酸、１，４－シクロヘキサンジカルボン酸、４，４'－ジフェニルジカルボン酸、フェニルインダンジカルボン酸、２，７－ナフタレンジカルボン酸、テトラリンジカルボン酸、デカリンジカルボン酸、ジフェニルエーテルジカルボン酸等の如きジカルボン酸、ｐ－オキシ安息香酸、ｐ－オキシエトキシ安息香酸等のオキシカルボン酸、或いはプロピレングリコール、トリメチレングリコール、テトラメチレングリコール、ヘキサメチレングリコール、シクロヘキサンメチレングリコール、ネオペンチルグリコール、ビスフェノールスルホンのエチレンオキサイド付加物、ビスフェノールＡのエチレンオキサイド付加物、ジエチレングリコール、ポリエチレンオキシドグリコール等の２価アルコールを好ましく用いることができる。

　これらの化合物は１種のみ用いてもよく、２種以上を用いることができる。またこれらの中で好ましくは酸成分としては、イソフタル酸、テレフタル酸、４，４'－ジフェニルジカルボン酸、２，７－ナフタレンジカルボン酸、ｐ－オキシ安息香酸であり、グリコール成分としてはトリメチレングリコール、ヘキサメチレングリコールネオペンチルグリコール、ビスフェノールスルホンのエチレンオキサイド付加物である。

　また、ポリエチレン－２，６－ナフタレンジカルボキシレートは、例えば安息香酸、メトキシポリアルキレングリコールなどの一官能性化合物によって末端の水酸基および／またはカルボキシル基の一部または全部を封鎖したものであってよく、極く少量の例えばグリセリン、ペンタエリスリトール等の如き三官能以上のエステル形成性化合物で実質的に線状のポリマーが得られる範囲内で共重合したものであってもよい。

　本発明におけるポリエステルは従来公知の方法で、例えばジカルボン酸とグリコールの反応で直接低重合度ポリエステルを得る方法や、ジカルボン酸の低級アルキルエステルとグリコールとを従来公知のエステル交換触媒である、例えばナトリウム、カリウム、マグネシウム、カルシウム、亜鉛、ストロンチウム、チタン、ジルコニウム、マンガン、コバルトを含む化合物の一種または二種以上を用いて反応させた後、重合触媒の存在下で重合反応を行う方法で得ることができる。重合触媒としては、三酸化アンチモン、五酸化アンチモンのようなアンチモン化合物、二酸化ゲルマニウムで代表されるようなゲルマニウム化合物、テトラエチルチタネート、テトラプロピルチタネート、テトラフェニルチタネートまたはこれらの部分加水分解物、蓚酸チタニルアンモニウム、蓚酸チタニルカリウム、チタントリスアセチルアセトネートのようなチタン化合物を用いることができる。

　エステル交換反応を経由して重合を行う場合は、重合反応前にエステル交換触媒を失活させる目的でトリメチルホスフェート、トリエチルホスフェート、トリ－ｎ－ブチルホスフェート、正リン酸等のリン化合物が通常は添加されるが、リン元素としてのポリエチレン－２，６－ナフタレンジカルボキシレート中の含有量が２０～１００ｐｐｍであることがポリエステルの熱安定性の点から好ましい。

　なお、ポリエステルは、溶融重合後これをチップ化し、加熱減圧下または窒素などの不活性気流中において更に固相重合を施してもよい。

　本発明においてポリエステルは、エチレンテレフタレート単位またはエチレン－２，６－カルボキシレート単位を９０モル％以上、好ましくは９５％以上、更に好ましくは９７％以上有するポリエステルが好ましい。ポリエステルの固有粘度は０．４０ｄｌ／ｇ以上であることが好ましく、０．４０～０．９０ｄｌ／ｇであることが更に好ましい。固有粘度が０．４０ｄｌ／ｇ未満では工程切断が多発することがある。また０．９ｄｌ／ｇより高いと溶融粘度が高いため溶融押出しが困難になり、重合時間が長く不経済であり好ましくない。本発明におけるポリエステルフィルムは、実質的に粒子を含有していない必要がある。粒子を含有していると高透明性が損なわれたり、表面が粗面化してしまう。

　本発明におけるポリエステルフィルムは、長手方向の１４０ｇ／ｍｍ^２荷重下の２００℃での寸法変化率が－２～＋２％である必要がある。－２％未満または＋２％を越えると、ポリエステルフィルム上に機能層を積層する際、あるいは積層した後に積層体にひび割れが生じたり、逆にしわが寄ることで積層体が破壊されるなどして充分な機能が発揮できなくなる。１４０ｇ／ｍｍ²荷重下の２００℃での寸法変化率は、より好ましくは－１．５～＋１．５％、さらに好ましくは－１～＋１％、特に好ましくは－０．５～＋０．５％である。本発明の高透明性易接着ポリエステルフィルムは、ヘーズ値が１．５％以下であることが好ましい。さらに好ましいヘーズ値は１．０％以下、特に好ましくは０．５％以下である。

　３次元中心線平均粗さは、両面共に好ましくは０．０００１～０．０２μｍ、さらに好ましくは、０．０００１～０．０１５μｍ、さらに好ましくは０．０００１～０．０１０μｍである。特に、少なくとも片面の３次元中心線平均粗さが０．０００１～０．００５μｍであると、機能層を積層したときの機能層表面が極めて平坦となるので好ましい。少なくとも片面の最も好ましい表面粗さは、０．０００５～０．００４μｍである。
本発明における透明フィルムのポリマーフィルムの厚さは１～５００μｍであることが好ましく、より好ましくは３～４００μｍ、更に好ましくは６～３００μｍ、特に好ましくは１２～２５０μｍである。

　本発明において、上記透明フィルムのポリマーフィルムの表面に易接着層を設ける場合、易接着層は、特にポリエステル樹脂とアクリル樹脂（好ましくは、オキサゾリン基等の官能基を有するもの）との組合せ（Ａ）、ポリエステル樹脂とポリウレタン樹脂（好ましくは水溶性、水分散性ポリウレタン）の組合せ（Ｂ）が好ましい。

　組合せ（Ａ）における、ポリエステル樹脂とオキサゾリン基及びポリアルキレンオキシド鎖を有するアクリル樹脂の易接着層は、以下の構成を有する。

　組合せ（Ａ）のポリエステル樹脂は、水（多少の有機溶剤を含有していても良い）に可溶性又は分散性のポリエステルが好ましい。このようなポリエステル樹脂として、以下の多塩基酸又はそのエステル形成誘導体とポリオール又はそのエステル形成誘導体から得られるポリエステルが好ましい。

　上記ポリエステル樹脂の多塩基酸成分としては例えば、テレフタル酸、イソフタル酸、フタル酸、無水フタル酸、アジピン酸、セバシン酸、トリメリット酸、ピロメリット酸、ダイマー酸、５－ナトリウムスルホイソフタル酸を挙げることができる。これら酸成分が２種以上の共重合ポリエステルであることが好ましい。尚、ポリエステル樹脂には、若干量であればマレイン酸、イタコン酸等の不飽和多塩基酸成分が、或いはＰ－ヒドロキシ安息香酸のようなヒドロキシカルボン酸成分が含まれていてもよい。

　ポリエステル樹脂のポリオール成分としては、例えばエチレングリコール、１，４－ブタンジオール、ジエチレングリコール、ジプロピレングリコール、１，６－ヘキサンジオール、１，４－シクロヘキサンジメタノール、キシレングリコール、ジメチロールプロパンや、ポリ（エチレンオキシド）グリコール、ポリ（テトラメチレンオキシド）グリコール、あるいはこれらモノマーを挙げることができる。

　組合せ（Ａ）のアクリル樹脂は、オキサゾリン基及びポリアルキレンオキシド鎖を有することが好ましく、特に水（多少の有機溶剤を含有していても良い）に可溶性又は分散性のアクリル樹脂が好ましい。このようなオキサゾリン基及びポリアルキレンオキシド鎖を有するアクリル樹脂としては以下に示すようなモノマーを成分として含むものを挙げることができる。

　オキサゾリン基を有するモノマーとしては、２－ビニル－２－オキサゾリン、２－ビニル－４－メチル－２－オキサゾリン、２－ビニル－５－メチル－２－オキサゾリン、２－イソプロペニル－２－オキサゾリン、２－イソプロペニル－４－メチル－２－オキサゾリン、２－イソプロペニル－５－メチル－２－オキサゾリンを挙げることができ、これらの１種又は２種以上の混合物を使用することができる。これらの内、２－イソプロペニル－２－オキサゾリンが工業的に入手しやすく好適である。オキサゾリン基を有するアクリル樹脂を用いることにより塗布層の凝集力が向上し、転写層との密着性がより強固になる。　また、ポリアルキレンオキシド鎖を有するモノマーとしては、アクリル酸、メタクリル酸のエステル部にポリアルキレンオキシドを付与させたものを挙げることができる。ポリアルキレンオキシド鎖はポリメチレンオキシド、ポリエチレンオキシド、ポリプロピレンオキシド、ポリブチレンオキシド等を挙げることができる。ポリアルキレンオキシド鎖の繰り返し単位は３～１００であることが好ましい。ポリアルキレンオキシド鎖を有するアクリル樹脂を用いることにより、ポリエステル樹脂とアクリル樹脂の相溶性がポリアルキレンオキシド連鎖を含有しないアクリル樹脂と比較して向上し、易接着層の透明性を向上させることができる。なお、ポリアルキレンオキシド鎖の繰り返し単位が３より少ないとポリエステル樹脂とアクリル樹脂との相溶性が低下して易接着層の透明性も低下し、１００より大きい場合は易接着層の耐湿熱性が不十分となり、高湿度、高温下で転写層との密着性が悪化する。

　アクリル樹脂のその他の共重合成分としては、例えば以下のモノマーを挙げることができる。即ち、アルキルアクリレート、アルキルメタクリレート（アルキル基としては、メチル基、エチル基、ｎ－プロピル基、イソプロピル基、ｎ－ブチル基、イソブチル基、ｔ－ブチル基、２－エチルヘキシル基、シクロヘキシル基等）；２－ヒドロキシエチルアクリレート、２－ヒドロキシエチルメタクリレート、２－ヒドロキシプロピルアクリレート、２－ヒドロキシプロピルメタクリレート等のヒドロキシ含有モノマー；グリシジルアクリレート、グリシジルメタクリレート、アリルグリシジルエーテル等のエポキシ基含有モノマー；アクリル酸、メタクリル酸、イタコン酸、マレイン酸、フマール酸、クロトン酸、スチレンスルホン酸及びその塩（ナトリウム塩、カリウム塩、アンモニウム塩、第三級アミン塩等）等のカルボキシル基又はその塩を有するモノマー；アクリルアミド、メタクリルアミド、Ｎ－アルキルアクリルアミド、Ｎ－アルキルメタクリルアミド、Ｎ，Ｎ－ジアルキルアクリルアミド、Ｎ，Ｎ－ジアルキルメタクリレート（アルコキシ基としては、メトキシ基、エトキシ基、ブトキシ基、イソブトキシ基等）、アクリロイルモルホリン、Ｎ－メチロールアクリルアミド、Ｎ－メチロールメタクリルアミド、Ｎ－フェニルアクリルアミド、Ｎ－フェニルメタクリルアミド等のアミド基を有するモノマー；無水マレイン酸、無水イタコン酸等の酸無水物のモノマー；ビニルイソシアネート、アリルイソシアネート、スチレン、α－メチルスチレン、ビニルメチルエーテル、ビニルエチルエーテル、ビニルトリアルコキシシラン、アルキルマレイン酸モノエステル、アルキルフマール酸モノエステル、アルキルイタコン酸モノエステル、アクリロニトリル、メタクリロニトリル、塩化ビニリデン、エチレン、プロピレン、塩化ビニル、酢酸ビニル、ブタジエン等。

　易接着層を形成するポリエステル樹脂の易接着層中の含有割合は５～９５重量％であることが好ましく、特に５０～９０重量％であることが好ましい。易接着層を形成するオキサゾリン基及びポリアルキレンオキシド鎖を有するアクリル樹脂の塗布層中の含有割合は５～９０重量％であることが好ましく、特に１０～５０重量％であることが好ましい。ポリエステル樹脂が９５重量％を超え、もしくはオキサゾリン基及びポリアルキレンオキシド鎖を有するアクリル樹脂が５重量％未満になると塗布層の凝集力が低下し、転写層への接着性が不十分となる場合があり、好ましくない。アクリル樹脂が９０重量％を超えるとポリエステルフィルムとの密着性が低下し、転写層への接着性が不十分となる場合があり好ましくない。

　上記易接着層中には脂肪族ワックスが０．５～３０重量％含まれていることが好ましく、１重量％～１０重量％含まれることが更に好ましい。この割合が０．５重量％より少ないとフィルム表面の滑性が得られないことがあり、好ましくない。３０重量％を超えるとポリマーフィルムへの密着やハードコートや粘着剤等に対する易接着性が十分でない場合があり好ましくない。

　上記の脂肪族ワックスの例としては、カルナバワックス、キャンデリラワックス、ライスワックス、木ロウ、ホホバ油、パームワックス、ロジン変性ワックス、オウリキュリーワックス、サトウキビワックス、エスバルトワックス、バークワックス等の植物系ワックス、ミツロウ、ラノリン、鯨ロウ、イボタロウ、セラックワックス等の動物系ワックス、モンタンワックス、オゾケライト、セレシンワックス等の鉱物系ワックス、パラフィンワックス、マイクロクリスタリンワックス、ペトロラクタム等の石油系ワックス、フィッシャートロプッシュワックス、ポリエチレンワックス、酸化ポリエチレンワックス、ポリプロピレンワックス、酸化ポリフロピレンワックス等の合成炭化水素系ワックス等を挙げることができる。更に、ハードコートや粘着剤等に対する易接着性と滑性が良好なことから、カルナバワックス、パラフィンワックス、ポリエチレンワックスがより好ましい。特に環境問題や取扱のし易さから水分散体がより好ましい。

　易接着層中には、平均粒子径が０．００５～０．５μｍの範囲のフィラーを０．１～２０重量％含ませることが好ましい。塗布層中のフィラーの含有量が０．１重量％より少ないとフィルムの滑り性が不足し、ロール状に巻き取ることが困難になることがあり、２０重量％を超えると塗布層の透明性が不足して、ディスプレイ用途に使用できなくなることがあり好ましくない。

　上記のフィラーとしては、例えば炭酸カルシウム、炭酸マグネシウム、酸化カルシウム、酸化亜鉛、酸化マグネシウム、酸化ケイ素、ケイ酸ソーダ、水酸化アルミニウム、酸化鉄、酸化ジルコニウム、硫酸バリウム、酸化チタン、酸化錫、三酸化アンチモン、カーボンブラック、二硫化モリブデン等の無機微粒子、アクリル系架橋重合体、スチレン系架橋重合体、シリコーン樹脂、フッ素樹脂、ベンゾグアナミン樹脂、フェノール樹脂、ナイロン樹脂、ポリエチレンワックス等の有機微粒子等を挙げることができる。これらのうち、水不溶性の固体物質は、水分散液中で沈降するのを避けるため、比重が３を超えない超微粒子を選ぶことが好ましい。

　上記組合せ（Ａ）の易接着層の塗設に用いられる塗布液は、水溶液、水分散液或いは乳化液等の水性塗液の形態で使用されることが好ましい。塗膜を形成するために、必要に応じて、前記組成物以外の他の樹脂、例えば帯電防止剤、着色剤、界面活性剤、紫外線吸収剤等を添加することができる。特に、滑剤を添加することで滑性、耐ブロッキング性を更に良好なものにすることができる。

　上記塗布液のポリエステルフィルムへの塗布は、任意の段階で実施することができるが、ポリエステルフィルムの製造過程で実施するのが好ましく、更には配向結晶化が完了する前のポリエステルフィルムに塗布するのが好ましい。ここで、結晶配向が完了する前のポリエステルフィルムとは、未延伸フィルム、未延伸フィルムを縦方向または横方向の何れか一方に配向せしめた一軸配向フィルム、更には縦方向および横方向の二方向に低倍率延伸配向せしめたもの（最終的に縦方向また横方向に再延伸せしめて配向結晶化を完了せしめる前の二軸延伸フィルム）等を含むものである。なかでも、未延伸フィルムまたは一方向に配向せしめた一軸延伸フィルムに、上記組成物の水性塗液を塗布し、そのまま縦延伸および／または横延伸と熱固定とを施すのが好ましい。

　塗布液をフィルムに塗布する際には、塗布性を向上させるための予備処理としてフィルム表面にコロナ表面処理、火炎処理、プラズマ処理等の物理処理を施すか、あるいは組成物と共にこれと化学的に不活性な界面活性剤を併用することが好ましい。

　塗布方法としては、公知の任意の塗工法が適用できる。例えばロールコート法、グラビアコート法、ロールブラッシュ法、スプレーコート法、エアーナイフコート法、含浸法、カーテンコート法等を単独または組合せて用いることができる。

　また、組合せ（Ｂ）のポリエステル樹脂（好ましくは共重合ポリエステル樹脂）とポリウレタン樹脂（好ましくは水溶性、水分散性ポリウレタン）については、共重合ポリエステル系樹脂単独では、ポリエステル等のポリマーフィルムとの接着性は十分であるが、転写層との接着性に劣る場合があり、ポリウレタン系樹脂単独では転写層とのとの接着性には優れるがポリエステル等のポリマーフィルムとの接着性に劣る場合があるため、組合せて用いることが好ましい。

　組合せ（Ｂ）の共重合ポリエステル系樹脂は、ジカルボン酸成分と分岐したグリコール成分を構成成分とする。前記の分岐したグリコール成分としては、例えば、２，２－ジメチル－１，３－プロパンジオール、２－メチル－２－エチル－１，３－プロパンジオール、２－メチル－２－ブチル－１，３－プロパンジオール、２－メチル－２－プロピル－１，３－プロパンジオール、２－メチル－２－イソプロピル－１，３－プロパンジオール、２－メチル－２－ｎ－ヘキシル－１，３－プロパンジオール、２，２－ジエチル－１，３－プロパンジオール、２－エチル－２－ｎ－ブチル－１，３－プロパンジオール、２－エチル－２－ｎ－ヘキシル－１，３－プロパンジオール、２，２－ジ－ｎ－ブチル－１，３－プロパンジオール、２－ｎ－ブチル－２－プロピル－１，３－プロパンジオール、及び２，２－ジ－ｎ－ヘキシル－１，３－プロパンジオールを挙げることができる。

　上記の分岐したグリコール成分は、全グリコール成分の中に、好ましくは１０モル％以上の割合で、さらに好ましくは２０モル％以上の割合で含まれる。上記化合物以外のグリコール成分としては、エチレンリコールが最も好ましい。少量であれば、ジエチレングリコール、プロピレングリコール、ブタンジオール、ヘキサンジオールまたは１，４－シクロヘキサンジメタノールなどを用いても良い。

　共重合ポリエステル系樹脂に構成成分として含有される、ジカルボン酸成分としては、テレフタル酸及びイソフタル酸が最も好ましい。少量であれば他のジカルボン酸、特に、ジフェニルカルボン酸及び２，６－ナルタレンジカルボン酸等の芳香族ジカルボン酸を加えて共重合させてもよい。前記ジカルボン酸成分の他に、水分散性を付与させるため、５－スルホイソフタル酸を１～１０モル％の範囲で使用するのが好ましく、例えば、スルホテレフタル酸、５－スルホイソフタル酸、４－スルホナフタレンイソフタル酸－２，７－ジカルボン酸及び５－（４－スルフォフェノキシ）イソフタル酸及びその塩類等を挙げることができる。

　組合せ（Ｂ）で使用されるポリウレタン樹脂は、例えば、ブロック型イソシアネート基を含有する樹脂であり、末端イソシアネート基を親水性基で封鎖（以下ブロックと言う）した、熱反応型の水溶性ウレタン等を挙げることができる。上記イソシアネート基のブロック化剤としては、重亜硫酸塩類及びスルホン酸基を含有したフェノール類、アルコール類、ラクタム類オキシム類及び活性メチレン化合物類等を挙げることができる。ブロック化されたイソシアネート基はウレタンプレポリマーを親水化あるいは水溶化する。フィルム製造時の乾燥あるいは熱セット過程で、上記樹脂に熱エネルギーが与えられると、ブロック化剤がイソシアネート基からはずれるため、上記樹脂は自己架橋した編み目に混合した水分散性共重合ポリエステル樹脂を固定化するとともに、上記樹脂の末端基等とも反応する。塗布液調整中の樹脂は親水性であるため耐水性が劣るが、塗布、乾燥、熱セットして熱反応が完了すると、ウレタン樹脂の親水基、即ちブロック化剤がはずれるため、耐水性が良好な塗膜が得られる。

　上記ブロック化剤の内、熱処理温度、熱処理時間が適当で、工業的に広く用いられるものとして、重亜硫酸塩類が最も好ましい。上記ポリウレタン樹脂において使用される、ウレタンプレポリマーの化学組成としては、（１）分子内に２個以上の活性水素原子を有する、有機ポリイソシアネート、あるいは分子内に少なくとも２個の活性水素原子を有する分子量が２００～２０，０００の化合物、（２）分子内に２個以上のイソシアネート基を有する、有機ポリイソシアネート、あるいは（３）分子内に少なくとも２個活性水素原子を有する鎖伸長剤を反応させて得られる末端イソシアネート基を有する化合物である。

　上記（１）の化合物として一般に知られているものは、末端又は分子中に２個以上のヒドロキシル基、カルボキシル基、アミノ基あるいはメルカプト基を含むものであり、特に好ましい化合物としては、ポリエーテルポリオールおよびポリエーテルエステルポリオール等を挙げることができる。ポリエーテルポリオールとしては、例えば、エチレンオキシド、及びプロピレンオキシド等のアルキレンオキシド類、或いはスチレンオキシドおよびエピクロルヒドリン等を重合した化合物、あるいはそれらのランダム重合、ブロック重合或いは多価アルコールへの付加重合により得られる化合物がある。

　ポリエステルポリオール及びポリエーテルエステルポリオールは、一般に直鎖状あるいは分岐状である。コハク酸、アジピン酸、フタル酸及び無水マレイン酸等の多価の飽和或いは不飽和カルボン酸、或いはこのカルボン酸無水物等と、エチレングリコール、ジエチレングリコール、１，４－ブタンジオール、ネオペンチルグリコール、１，６－ヘキサンジオール及びトリメチロールプロパン等の多価の飽和及び不飽和のアルコール類、比較的低分子量のポリエチレングリコール及びポリプロピレングリコール等のポリアルキレンエーテルグリコール類、或いはそれらアルコール類の混合物とを縮合させることにより得ることができる。

　さらにポリエステルポリオールとしては、ラクトン及びヒドロキシ酸から得られるポリエステル類、またポリエーテルエステルポリオールとしては、あらかじめ製造されたポリエステル類にエチレンオキシド或いはプロピレンオキシド等を付加させたポリエーテルエステル類も使用することができる。

　上記（２）の有機ポリイソシアネートとしては、トルイレンジイソシアネートの異性体類、４，４－ジフェニルメタンジイソシアネート等の芳香族ジイソシアネート類、キシリレンジイソシアネート等の芳香族脂肪族ジイソシアネート類、イソホロンジイソシアネート及び４，４－ジシクロヘキシルメタンジイソシアネート等の脂環式ジイソシアネート類、ヘキサメチレンジイソシアネート、及び２，２，４－トリメチルヘキサメチレンジイソシアネート等の脂肪族ジイソシアネート類、或いはこれらの化合物を単一又は複数でトリメチロールプロパン等とあらかじめ付加させたポリイソシアネート類を挙げることができる。

　上記（３）の少なくとも２個の活性水素を有する鎖伸長剤としては、エチレングリコール、ジエチレングリコール、１，４－ブタンジオール、及び１，６－ヘキサンジオール等のグリコール類、グリセリン、トリメチロールプロパン、及びペンタエリスリトール等の多価アルコール類、エチレンジアミン、ヘキサメチレンジアミン、及びピペラジン等のジアミン類、モノエタノールアミン及びジエタノールアミン等のアミノアルコール類、チオジエチレングルコール等のチオジグリコール類、或いは水を挙げることができる。

　ウレタンプレポリマーを合成するには通常、上記鎖伸長剤を用いた一段式あるいは多段式イソシアネート重付加方法により、１５０℃以下、好ましくは７０～１２０℃の温度において、５分ないし数時間反応させる。活性水素原子に対するイソシアネート基の比は、１以上であれば自由に選べるが、得られるウレタンプレポリマー中に遊離のイソシアネート基が残存することが必要である。さらに、遊離のイソシアネート基の含有量は１０重量％以下であればよいが、ブロック化された後のウレタンポリマー水溶液の安定性を考慮すると、７重量％以下であるのが好ましい。

　得られた上記ウレタンプレポリマーは、好ましくは重亜硫酸塩を用いてブロック化を行う。重亜硫酸塩水溶液と混合し、約５分～１時間、よく攪拌しながら反応を進行させる。反応温度は６０℃以下とするのが好ましい。その後、水で希釈して適当な濃度にして、熱反応型水溶性ウレタン組成物とする。該組成物は使用する際、適当な濃度及び粘度に調製するが、通常８０～２００℃前後に加熱すると、ブロック剤の重亜硫酸塩が解離し、活性なイソシアネート基が再生するために、プレポリマーの分子内あるいは分子間で起こる重付加反応によってポリウレタン重合体が生成したり、また他の官能基への付加を起こす性質を有するようになる。

　上記に説明したブロック型イソシアネート基を含有する樹脂の１例としては、第一工業製薬（株）製の商品名エラストロンが代表的に例示される。エラストロンは、重亜硫酸ソーダによってイソシアネート基をブロックしたものであり、分子末端に強力な親水性を有するカルバモイルスルホネート基が存在するため、水溶性となっている。

　上記組合せ（Ｂ）で使用される、分岐したグリコール成分を含有する共重合ポリエステル樹脂（ａ）及びブロック型イソシアネート基を含有する樹脂（ｂ）を混合して塗布液を調製する場合、樹脂（ａ）と樹脂（ｂ）の重量比は（ａ）：（ｂ）＝９０：１０～１０：９０が好ましく、更に好ましくは（ａ）：（ｂ）＝８０：２０～２０：８０の範囲である。固形分重量に対する上記樹脂（ａ）の割合が１０重量％未満では、ポリマーフィルムへの塗布性が不良で、表面層とフィルムとの間の接着性が不十分となる。固形分重量に対する上記樹脂（ｂ）の割合が１０重量％未満の場合には、転写層に対して実用性のある接着性が得られない。

　上記組合せ（Ｂ）の塗布液は、水性塗布液であることが好ましい。この塗布液を前記のポリマーフィルム表面に塗布する際には、フィルムへの濡れ性を改善させ、塗布液を均一にコートするために、公知のアニオン性活性剤およびノニオン性の界面活性剤を必要量添加して用いることができる。塗布液に用いる溶剤は、水の他にエタノール、イソプロピルアルコール及びベンジルアルコール等のアルコール類を、全塗布液に占める割合が５０重量％未満となるまで混合してもよい。さらに、１０重量％未満であれば、アルコール類以外の有機溶剤を溶解可能な範囲で混合してもよい。ただし、塗布液中、アルコール類とその他の有機溶剤との合計は、５０重量％未満とする。

　有機溶剤の添加量が５０重量％未満であれば、塗布乾燥時に乾燥性が向上するとともに、水のみの場合と比較して塗布膜の外観向上の効果がある。５０重量％以上では、溶剤の蒸発速度が速く塗工中に塗布液の濃度変化が起こり、粘度が上昇して塗工性が低下するために、塗布膜の外観不良を起こす恐れがあり、さらには火災などの危険性も考えられる。

　本発明の透明フィルムの易接着層の厚さは、０．０１～０．３μｍの範囲、特に０．０２～０．２μｍの範囲あることが好ましい。

　本発明の光硬化性転写シートの光硬化性転写層を形成する光硬化性組成物に含まれるポリマー（好ましくはガラス転移温度が８０℃以上）としては、アクリル樹脂、ポリ酢酸ビニル、ビニルアセテート／（メタ）アクリレート共重合体、エチレン／酢酸ビニル共重合体、ポリスチレン及びその共重合体、ポリ塩化ビニル及びその共重合体、ブタジエン／アクリロニトリル共重合体、アクリロニトリル／ブタジエン／スチレン共重合体、メタクリレート／アクリロニトリル／ブタジエン／スチレン共重合体、２－クロロブタジエン－１，３－ポリマー、塩素化ゴム、スチレン／ブタジエン／スチレン共重合体、スチレン／イソプレン／スチレンブロック共重合体、エポキシ樹脂、ポリアミド、ポリエステル、ポリウレタン、セルロースエステル、セルロースエーテル、ポリカーボネート、ポリビニルアセタール等を挙げることができる。

　本発明では、良好な転写性及び優れた硬化性の点から、アクリル樹脂が好ましい。アクリル樹脂は、前述したように、重合性官能基を有するアクリル樹脂又はヒドロキシル基を有するアクリル樹脂であることが特に好ましい。またアクリル樹脂は、メチルメタクリレートの繰り返し単位を少なくとも５０質量％（特に６０～９０質量％）含むことが、Ｔｇ８０℃以上のアクリル樹脂を得られやすく、また良好な転写性、高速硬化性も得られやすく好ましい。このような官能基を有するアクリル樹脂として、例えばＰＯＲＥＡＳ－７（大阪有機化学工業（株）製）を用いることが好ましい。

　上記重合性官能基を有するアクリル樹脂は、一般に重合性官能基を有するアクリル樹脂が、メチルメタクリレートと、アルコール残基が炭素原子数２～１０個のアルキルの（メタ）アクリル酸エステルの少なくとも１種と、グリシジル（メタ）アクリレートとの共重合体で、且つ該グリシジル基に重合性官能基を有するカルボン酸が反応したもの、或いはメチルメタクリレートと、アルコール残基が炭素原子数２～１０個のアルキルの（メタ）アクリル酸エステルの少なくとも１種と、重合性官能基を有するカルボン酸との共重合体で、且つ該カルボン酸基にグリシジル（メタ）アクリレートが反応したものである。

　メチルメタクリレートは、その繰り返し単位として、ポリマー中に５０質量％以上（特に６０～９０質量％）含まれることが好ましい。反応性希釈剤との適当な組合せにより、良好な転写性と優れた硬化性の両立が容易となる。アルコール残基が炭素原子数２～１０個（特に３～５個）のアルキルの（メタ）アクリル酸エステルとしては、エチル（メタ）アクリレート、ｎ－プロピル（メタ）アクリレート、イソプロピル（メタ）アクリレート、ｎ－ブチル（メタ）アクリレート、イソブチル（メタ）アクリレート、２－エチルヘキシル（メタ）アクリレート等を挙げることができる。ｎ－ブチル（メタ）アクリレート、イソブチル（メタ）アクリレート、２－エチルヘキシル（メタ）アクリレートが好ましい。またこのような（メタ）アクリル酸エステルは、その繰り返し単位として、ポリマー中に、一般に５～３０質量％、特に１０～３０質量％含まれることが好ましい。グリシジル（メタ）アクリレート又は重合性官能基を有するカルボン酸は、その繰り返し単位として、ポリマー中に、一般に５～２５質量％、特に５～２０質量％含まれることが好ましい。得られた共重合体のグリシジル基又はカルボン酸基に、それぞれ重合性官能基を有するカルボン酸又はグリシジル（メタ）アクリレートを反応させる。

　上記ヒドロキシル基を有するアクリル樹脂は、一般にメチルメタクリレートと、アルコール残基が炭素原子数２～１０個（特に３～５個）のアルキルの（メタ）アクリル酸エステルの少なくとも１種と、アルコール残基がヒドロキシル基を有する炭素原子数２～４個のアルキルの（メタ）アクリル酸エステルの少なくとも１種との共重合体である。メチルメタクリレートは、その繰り返し単位として、ポリマー中に５０質量％以上（特に６０～９０質量％）含まれることが好ましい。反応性希釈剤との適当な組合せにより、良好な転写性と優れた硬化性の両立が容易となる。アルコール残基が炭素原子数２～１０個（特に３～５個）のアルキルの（メタ）アクリル酸エステルとしては、エチル（メタ）アクリレート、ｎ－プロピル（メタ）アクリレート、イソプロピル（メタ）アクリレート、ｎ－ブチル（メタ）アクリレート、イソブチル（メタ）アクリレート、２－エチルヘキシル（メタ）アクリレート等を挙げることができる。ｎ－ブチル（メタ）アクリレート、イソブチル（メタ）アクリレート、２－エチルヘキシル（メタ）アクリレートが好ましい。またこのような（メタ）アクリル酸エステルは、その繰り返し単位として、ポリマー中に、一般に５～３０質量％、特に１０～３０質量％含まれることが好ましい。アルコール残基がヒドロキシル基を有する炭素原子数２～４個のアルキルの（メタ）アクリル酸エステルとしては、例えば２－ヒドロキシエチルメタクリレート、ヒドロキシプロピルメタクリレートを挙げることができ、その繰り返し単位として、ポリマー中に、一般に５～２５質量％、特に５～２０質量％含まれることが好ましい。

　前記重合性官能基を有するアクリル樹脂は、例えば、以下のように製造することができる。

　１種又は複数種の（メタ）アクリルモノマー（好ましくは上述の、メチルメタクリレートと、アルコール残基が炭素原子数２～１０個のアルキルの（メタ）アクリル酸エステルの少なくとも１種と、グリシジル基を１個かつ重合性官能基を１個有する化合物（好ましくはグリシジル（メタ）アクリレート）或いは重合性官能基を有するカルボン酸とを、ラジカル重合開始剤と有機溶剤の存在下で溶液重合法などの公知の方法にて反応させて共重合体であるグリシジル基含有アクリル樹脂（ａ）又はカルボキシル基含有アクリル樹脂（ｂ）を得る。（メタ）アクリルモノマー等のモノマー類の配合割合はグリシジル基含有アクリル樹脂（ａ）又はカルボキシル基含有アクリル樹脂（ｂ）の固形分換算合計量に対して１０～４５質量％とすることが好ましい。

　次いで得られたグリシジル基含有アクリル樹脂（ａ）に重合性官能基を有するカルボン酸を加え、或いは得られたカルボキシル基含有アクリル樹脂（ｂ）にグリシジル基を１個かつ重合性官能基を１個有する化合物（好ましくはグリシジルメタクリレート）を加え、必要に応じ加熱することによりアクリル系光硬化型樹脂（Ａ）又はアクリル系光硬化型樹脂（Ｂ）を得る。この配合比は、グリシジル基とカルボキシル基のモル比が１／０．９～１／１となるように配合するのが好ましく、より好ましくは１／１である。グリシジル基過剰では長期安定性において増粘、ゲル化のおそれがあり、カルボキシル基過剰では皮膚刺激性が上がり作業性が低下する。さらに１／１の場合は残存グリシジル基がなくなり、貯蔵安定性が顕著に良好になる。反応は塩基性触媒、リン系触媒などの存在下で公知の方法にて行うことができる。

　上記ＯＨ又は重合性官能基を有するアクリル樹脂を含み、本発明で用いることができるアクリル樹脂を構成する主成分として使用することができる（メタ）アクリル系モノマーとしては、アクリル酸又はメタクリル酸の各種エステルを挙げることができる。アクリル酸又はメタクリル酸の各種エステルの例として、メチル（メタ）アクリレート（（メタ）アクリレートとはアクリレート及びメタクリレートを示す。以下同様）、エチル（メタ）アクリレート、ｎ－プロピル（メタ）アクリレート、ｎ－ブチル（メタ）アクリレート、イソブチル（メタ）アクリレート、ｔ－ブチル（メタ）アクリレート、２－エチルヘキシル（メタ）アクリレート、ステアリル（メタ）アクリレート、ラウリル（メタ）アクリレート、トリデシル（メタ）アクリレート等のアルキル（メタ）アクリレート、エトキシエチル（メタ）アクリレート、ブトキシエチル（メタ）アクリレート等のアルコキシアルキル（メタ）アクリレート、２－メトキシエトキシエチル（メタ）アクリレート、２－エトキシエトキシエチル（メタ）アクリレート等のアルコキシアルコキシアルキル（メタ）アクリレート、メトキシジエチレングリコール（メタ）アクリレート、エトキシジエチレングリコール（メタ）アクリレート、メトキシトリエチレングリコール（メタ）アクリレート、ブトキシトリエチレングリコール（メタ）アクリレート、メトキシジプロピレングリコール（メタ）アクリレート等のアルコキシ（ポリ）アルキレングリコール（メタ）アクリレート、ピレノキシド付加物（メタ）アクリレート、Ｎ，Ｎ－ジメチルアミノエチル（メタ）アクリレート、Ｎ，Ｎ－ジエチルアミノエチル（メタ）アクリレート等のジアルキルアミノアルキル（メタ）アクリレート等を挙げることができる。さらに不飽和基を含有する芳香族化合物（例、スチレン）も使用しても良い。

　本発明では、前述のように、アクリル系モノマーの主成分としては、メチルメタクリレートと、アルコール残基が炭素原子数２～１０個のアルキルの（メタ）アクリル酸エステルの少なくとも１種を使用することが好ましい。

　本発明において、ポリマー（好ましくはガラス転移温度が８０℃以上）は、数平均分子量が１０００００以上、特に１０００００～３０００００、そして重量平均分子量が１０００００以上、特に１０００００～３０００００であることが好ましい。

　さらに本発明では、ポリマー（好ましくはガラス転移温度が８０℃以上）として、ヒドロキシル基等の活性水素を有する官能基及び光重合性官能基の両方を有するポリマーも使用することができる。このような反応性ポリマーとしては、例えば、主として前記アクリル系モノマーから得られる単独重合体又は共重合体（即ちアクリル樹脂）で、且つ、主鎖又は側鎖に光重合性官能基及び活性水素を有する官能基を有するものである。従って、このような反応性ポリマーは、例えば、メチルメタクリレートと、前記１種以上の（メタ）アクリレートと、ヒドロキシル基等の官能基を有する（メタ）アクリレート（例、２－ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート）とを共重合させ、得られた重合体とイソシアナトアルキル（メタ）アクリレートなどの、重合体の官能基と反応し且つ光重合性基を有する化合物と反応させることにより得ることができる。その際、ヒドロキシル基が残るようにイソシアナトアルキル（メタ）アクリレートの量を調節して使用することにより、活性水素を有する官能基としてヒドロキシル基及び光重合性官能基を有するポリマーが得られる。

　或いは上記において、ヒドロキシル基の代わりにアミノ基を有する（メタ）アクリレート（例、２－アミノエチル（メタ）アクリレート）を用いることにより活性水素を有する官能基としてアミノ基を有する、光重合性官能基含有ポリマーを得ることができる。同様に、活性水素を有する官能基としてカルボキシル基等を有する、光重合性官能基含有ポリマーも得ることができる。

　本発明では、前記光重合性官能基をウレタン結合を介して有するアクリル樹脂も好ましい。

　上記光重合性官能基を有するポリマーは、光重合性官能基を一般に１～５０モル％、特に５～３０モル％含むことが好ましい。この光重合性官能基としては、アクリロイル基、メタクリロイル基、ビニル基が好ましく、特にアクリロイル基、メタクリロイル基が好ましい。

　光硬化性転写組成物に含まれる光重合性官能基を有する反応性希釈剤（モノマー及びオリゴマー）としては以下のものが挙げられる。例えば、（メタ）アクリルモノマーとしては、２－ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、２－ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、４－ヒドロキシブチル（メタ）アクリレート、２－ヒドロキシ－３－フェニルオキシプロピル（メタ）アクリレート、２－エチルヘキシル（メタ）アクリレート、２－エチルヘキシルポリエトキシ（メタ）アクリレート、ベンジル（メタ）アクリレート、イソボルニル（メタ）アクリレート、フェニルオキシエチル（メタ）アクリレート、トリシクロデカンモノ（メタ）アクリレート、ジシクロペンテニルオキシエチル（メタ）アクリレート、テトラヒドロフルフリル（メタ）アクリレート、アクリロイルモルホリン、Ｎ－ビニルカプロラクタム、ｏ－フェニルフェニルオキシエチル（メタ）アクリレート、２－ヒドロキシ－３－アクリロイロキシプロピルメタクリレート、ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、ネオペンチルグリコールジプロポキシジ（メタ）アクリレート、ヒドロキシピバリン酸ネオペンチルグリコールジ（メタ）アクリレート、トリシクロデカンジメチロールジ（メタ）アクリレート、１，６－ヘキサンジオールジ（メタ）アクリレート、ノナンジオールジ（メタ）アクリレート、グリセリンジアクリレート、グリセリンアクリレートメタクリレート、グリセリンジメタクリレート、トリメチロールプロパンジアクリレート、トリメチロールプロパンアクリレートメタクリレート、トリメチロールプロパンジメタクリレート、トリメチロールプロパントリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、トリス〔（メタ）アクリロキシエチル〕イソシアヌレート、ジトリメチロールプロパンテトラ（メタ）アクリレート等の（メタ）アクリレートモノマー類；
ポリオール化合物（例えば、エチレングリコール、プロピレングリコール、ネオペンチルグリコール、１，６－ヘキサンジオール、３－メチル－１，５－ペンタンジオール、１，９－ノナンジオール、２－エチル－２－ブチル－１，３－プロパンジオール、トリメチロールプロパン、ジエチレングリコール、ジプロピレングリコール、ポリプロピレングリコール、１，４－ジメチロールシクロヘキサン、ビスフェノールＡポリエトキシジオール、ポリテトラメチレングリコール等のポリオール類、前記ポリオール類とコハク酸、マレイン酸、イタコン酸、アジピン酸、水添ダイマー酸、フタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸等の多塩基酸又はこれらの酸無水物類との反応物であるポリエステルポリオール類、前記ポリオール類とε－カプロラクトンとの反応物であるポリカプロラクトンポリオール類、前記ポリオール類と前記、多塩基酸又はこれらの酸無水物類のε－カプロラクトンとの反応物、ポリカーボネートポリオール、ポリマーポリオール等）と、有機ポリイソシアネート（例えば、トリレンジイソシアネート、イソホロンジイソシアネート、キシリレンジイソシアネート、ジフェニルメタン－４，４'－ジイソシアネート、ジシクロペンタニルジイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネート、２，４，４'－トリメチルヘキサメチレンジイソシアネート、２，２'，４－トリメチルヘキサメチレンジイソシアネート等）と水酸基含有（メタ）アクリレート（例えば、２－ヒドロキシエチル（メタ）アクリレート、２－ヒドロキシプロピル（メタ）アクリレート、４－ヒドロキシブチル（メタ）アクリレート、２－ヒドロキシ－３－フェニルオキシプロピル（メタ）アクリレート、シクロヘキサン－１，４－ジメチロールモノ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、グリセリンジ（メタ）アクリレート等）の反応物であるポリウレタン（メタ）アクリレート、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂、ビスフェノールＦ型エポキシ樹脂等のビスフェノール型エポキシ樹脂と（メタ）アクリル酸の反応物であるビスフェノール型エポキシ（メタ）アクリレート等の（メタ）アクリレートオリゴマー類等を挙げることができる。これら光重合可能な官能基を有する化合物は１種又は２種以上、混合して使用することができる。

　本発明において、光硬化性組成物のポリマーと反応性希釈剤との質量比は、２０：８０～８０：２０、特に３０：７０～７０：３０の範囲が好ましい。

　光硬化性組成物に含まれる、光重合開始剤としては、公知のどのような光重合開始剤でも使用することができるが、配合後の貯蔵安定性の良いものが望ましい。このような光重合開始剤としては、例えば、アセトフェノン系、ベンジルジメチルケタールなどのベンゾイン系、ベンゾフェノン系、イソプロピルチオキサントン、２－４－ジエチルチオキサントンなどのチオキサントン系、その他特殊なものとしては、メチルフェニルグリオキシレートなどが使用できる。特に好ましくは、２－ヒドロキシ－２－メチル－１－フェニルプロパン－１－オン、１－ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、２－メチル－１－（４－（メチルチオ）フェニル）－２－モルホリノプロパン－１、ベンゾフェノン等が挙げられる。これら光重合開始剤は、必要に応じて、４－ジメチルアミノ安息香酸のごとき安息香酸系又は、第３級アミン系などの公知慣用の光重合促進剤の１種または２種以上を任意の割合で混合して使用することができる。また、光重合開始剤のみの１種または２種以上の混合で使用することができる。光硬化性組成物（不揮発分）中に、光重合開始剤を一般に０．１～２０質量％、特に１～１０質量％含むことが好ましい。

　光重合開始剤のうち、アセトフェノン系重合開始剤としては、例えば、４－フェノキシジクロロアセトフェノン、４－ｔ－ブチル－ジクロロアセトフェノン、４－ｔ－ブチル－トリクロロアセトフェノン、ジエトキシアセトフェノン、２－ヒドロキシ－２－メチル－１－フェニルプロパン－１－オン、１－（４－イソプロピルフェニル）－２－ヒドロキシ－２－メチルプロパン－１－オン、１－（４－ドデシルフェニル）－２－ヒドロキシ－２－メチルプロパン－１－オン、４－（２－ヒドロキシエトキシ）－フェニル（２－ヒドロキシ－２－プロピル）ケトン、１－ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、２－メチル－１－（４－（メチルチオ）フェニル）－２－モルホリノプロパン－１など、ベンゾフェノン系重合開始剤としては、ベンゾフェノン、ベンゾイル安息香酸、ベンゾイル安息香酸メチル、４－フェニルベンゾフェノン、ヒドロキシベンゾフェノン、４－ベンッゾイル－４’－メチルジフェニルサルファイド、３，３’－ジメチル－４－メトキシベンゾフェノンなどが使用できる。

　アセトフェノン系重合開始剤としては、特に、２－ヒドロキシ－２－メチル－１－フェニルプロパン－１－オン、１－ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、２－メチル－１－（４－（メチルチオ）フェニル）－２－モルホリノプロパン－１が好ましい。ベンゾフェノン系重合開始剤としては、ベンゾフェノン、ベンゾイル安息香酸、ベンゾイル安息香酸メチルが好ましい。また、第３級アミン系の光重合促進剤としては、トリエタノールアミン、メチルジエタノールアミン、トリイソプロパノールアミン、４，４’－ジメチルアミノベンゾフェノン、４，４’－ジエチルアミノベンゾフェノン、２－ジメチルアミノ安息香酸エチル、４－ジメチルアミノ安息香酸エチル、４－ジメチルアミノ安息香酸（ｎ－ブトキシ）エチル、４－ジメチルアミノ安息香酸イソアミル、４－ジメチルアミノ安息香酸２－エチルヘキシルなどが使用できる。特に好ましくは、光重合促進剤としては、４－ジメチルアミノ安息香酸エチル、４－ジメチルアミノ安息香酸（ｎ－ブトキシ）エチル、４－ジメチルアミノ安息香酸イソアミル、４－ジメチルアミノ安息香酸２－エチルヘキシルなどが挙げられる。

　本発明において、光硬化性組成物中に添加され得るジイソシアネートとしては、トリレンジイソシアネート（ＴＤＩ）、イソホロンジイソシアネート、キシリレンジイソシアネート、ジフェニルメタン－４，４－ジイソシアネート、ジシクロペンタニルジイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネート、２，４，４’－トリメチルヘキサメチレンジイソシアネート、２，２，４－トリメチルヘキサメチレンジイソシアネートを挙げることができる。またトリメチロールプロパンのＴＤＩ付加体等の３官能以上のイソシアネート化合物等のポリイソシアネートシアネートも使用することができる。これらの中でトリメチロールプロパンのヘキサメチレンジイソシアネート付加体が好ましい。

　本発明において、ジイソシアネートは、光硬化性組成物（不揮発分）中に０．２～４質量％、特に０．２～２質量％の範囲で含まれていることが好ましい。転写層のしみ出しを防止するために適当な架橋がもたらされると共に、スタンパ等の金型の凹凸の良好な転写性も維持される。上記化合物とポリマーとの反応は、転写層形成後、徐々に進行し、常温（一般に２５℃）、２４時間でかなり反応している。転写層形成用の塗布液を調製した後、塗布するまでの間にも反応は進行するものと考えられる。転写層を形成後、ロール状態で巻き取る前にある程度硬化させることが好ましいので、必要に応じて、転写層を形成時、或いはその後、ロール状態で巻き取る前の間に加熱して反応を促進させても良い。

　本発明において、光硬化性組成物には、更に、所望により下記の熱可塑性樹脂及び他の添加剤を添加することが好ましい。

　他の添加剤として、シランカップリング剤（接着促進剤）を添加することができる。このシランカップリング剤としてはビニルトリエトキシシラン、ビニルトリス（β－メトキシエトキシ）シラン、γ－メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、ビニルトリアセトキシシラン、γ－グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、γ－グリシドキシプロピルトリエトキシシラン、β－（３，４－エポキシシクロヘキシル）エチルトリメトキシシラン、γ－クロロプロピルメトキシシラン、ビニルトリクロロシラン、γ－メルカプトプロピルトリメトキシシラン、γ－アミノプロピルトリエトキシシラン、Ｎ－β（アミノエチル）－γ－アミノプロピルトリメトキシシランなどがあり、これらの１種を単独で又は２種以上を混合して用いることができる。これらシランカップリング剤の添加量は、上記ポリマー（固形分）１００質量部に対し通常０．０１～５質量部で十分である。

　また同様に接着性を向上させる目的でエポキシ基含有化合物を添加することができる。エポキシ基含有化合物としては、トリグリシジルトリス（２－ヒドロキシエチル）イソシアヌレート；ネオペンチルグリコールジグリシジルエーテル；１，６－ヘキサンジオールジグリシジルエーテル；アクリルグリシジルエーテル；２－エチルヘキシルグリシジルエーテル；フェニルグリシジルエーテル；フェノールグリシジルエーテル；ｐ－ｔ－ブチルフェニルグリシジルエーテル；アジピン酸ジグリシジルエステル；ｏ－フタル酸ジグリシジルエステル；グリシジルメタクリレート；ブチルグリシジルエーテル等が挙げられる。　

　また、エポキシ基を含有した分子量が数百から数千のオリゴマーや重量平均分子量が数千から数十万のポリマーを添加することによっても同様の効果が得られる。これらエポキシ基含有化合物の添加量は上記ポリマー（固形分）１００質量部に対し０．１～２０質量部で十分で、上記エポキシ基含有化合物の少なくとも１種を単独で又は混合して添加することができる。

　さらに他の添加剤として、加工性や貼り合わせ等の加工性向上の目的で炭化水素樹脂を添加することができる。この場合、添加される炭化水素樹脂は天然樹脂系、合成樹脂系のいずれでも差支えない。天然樹脂系ではロジン、ロジン誘導体、テルペン系樹脂が好適に用いられる。ロジンではガム系樹脂、トール油系樹脂、ウッド系樹脂を用いることができる。ロジン誘導体としてはロジンをそれぞれ水素化、不均一化、重合、エステル化、金属塩化したものを用いることができる。テルペン系樹脂ではα－ピネン、β－ピネンなどのテルペン系樹脂のほか、テルペンフェノール樹脂を用いることができる。また、その他の天然樹脂としてダンマル、コーバル、シェラックを用いても差支えない。一方、合成樹脂系では石油系樹脂、フェノール系樹脂、キシレン系樹脂が好適に用いられる。石油系樹脂では脂肪族系石油樹脂、芳香族系石油樹脂、脂環族系石油樹脂、共重合系石油樹脂、水素化石油樹脂、純モノマー系石油樹脂、クマロンインデン樹脂を用いることができる。フェノール系樹脂ではアルキルフェノール樹脂、変性フェノール樹脂を用いることができる。キシレン系樹脂ではキシレン樹脂、変性キシレン樹脂を用いることができる。

　上記炭化水素樹脂等の樹脂の添加量は適宜選択されるが、上記ポリマー（固形分）１００質量部に対して１～２０質量部が好ましく、より好ましくは５～１５質量部である。

　以上の添加剤の他、本発明の光硬化性組成物は紫外線吸収剤、老化防止剤、染料、加工助剤等を少量含んでいてもよい。また、場合によってはシリカゲル、炭酸カルシウム等の微粒子等の添加剤を少量含んでもよい。

　本発明において、光硬化性転写層の周波数１Ｈｚにおける貯蔵弾性率は、２５℃において１×１０^７Ｐａ以下であることが好ましく、特に１×１０^４～６×１０^５Ｐａの範囲であることが好ましい。また８０℃において８×１０^４Ｐａ以下であることが好ましく、特に１×１０^４～５×１０^５Ｐａの範囲であることが好ましい。これにより、精確で迅速な転写が可能となる。さらに、本発明の光硬化性転写層は、ガラス転移温度を２０℃以下であることが好ましい。これにより、得られる光硬化性転写層がスタンパ等の金型の凹凸面に圧着されたとき、常温においてもその凹凸面に緊密に追随できる可撓性を有することができる。特に、ガラス転移温度が１５℃～－５０℃、さらに０℃～－４０℃の範囲にすることにより追随性が高いものとなる。ガラス転移温度が高すぎると、貼り付け時に高圧力及び高圧力が必要となり作業性の低下につながり、また低すぎると、硬化後の十分な硬度が得られなくなる。

　また本発明において、光硬化性転写層は、３００ｍＪ／ｃｍ^２の紫外線照射後のガラス転移温度が６５℃以上となるように設計されていることが好ましい。短時間の紫外線照射により、転写での残留応力から発生しやすいピット形状等のダレ発生を防止することが容易で、転写されたピット形状等を保持することができる。

　本発明の光硬化性転写シートは、上述の光硬化組成物の構成成分を均一に混合し、押出機、ロール等で混練した後、カレンダー、ロール、Ｔダイ押出、インフレーション等の製膜法により所定の形状に製膜して製造することができる。好ましくは透明フィルムの易接着層の表面に製膜して光硬化性転写層を形成する。より好ましい本発明の光硬化性接着剤の製膜方法は、各構成成分を良溶媒に均一に混合溶解し、この溶液をシリコーンやフッ素樹脂を精密にコートしたセパレーターにフローコート法、ロールコート法、グラビアロール法、マイヤバー法、リップダイコート法等により易接着層上に塗工し、溶媒を乾燥することにより製膜する方法である。

　また、光硬化性転写シートの厚さは１～１２００μｍ、特に５～５００μｍとすることが好ましい。特に５～３００μｍ（好ましくは１５０μｍ以下）が好ましい。１μｍより薄いと封止性が劣り、一方、１０００μｍより厚いと得られる成形体の厚みが増し、成形体の収納、アッセンブリー等に問題が生じるおそれがある。

　光硬化性転写層の厚さは、１～３００μｍ、特に３～１００μｍが好ましい。

　本発明の光硬化性転写シートを構成する光硬化性転写層に剥離シートを設ける場合、剥離シートは一般にプラスチックフィルム上に、シリコーン等の表面張力の低い剥離層を有する。例えば、ヒドロキシル基を有するポリシロキサンと水素化ポリシロキサンとの縮合反応生成物からなる剥離層、或いは不飽和２重結合基（好ましくはビニル基）を有するポリシロキサン（好ましくはジメチルポリシロキサン）と水素化ポリシロキサン（好ましくはジメチルポリシロキサン）から形成される剥離層等を挙げることができる。

　剥離シートのプラスチックフィルムとしては、例えばポリエチレンテレフタレート、ポリシクロヘキシレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート等のポリエステル系樹脂、ナイロン４６、変性ナイロン６Ｔ、ナイロンＭＸＤ６、ポリフタルアミド等のポリアミド系樹脂、ポリフェニレンスルフィド、ポリチオエーテルサルフォン等のケトン系樹脂、ポリサルフォン、ポリエーテルサルフォン等のサルフォン系樹脂の他に、ポリエーテルニトリル、ポリアリレート、ポリエーテルイミド、ポリアミドイミド、ポリカーボネート、ポリメチルメタクリレート、トリアセチルセルロース、ポリスチレン、ポリビニルクロライド等の有機樹脂を主成分とする透明樹脂フィルムを用いることができる。これら中で、ポリカーボネート、ポリメチルメタアクリレート、ポリビニルクロライド、ポリスチレン、ポリエチレンテレフタレートのフィルムが好適に用いることができ、特にポリエチレンテレフタレートフィルムが好ましい。厚さは１０～２００μｍが好ましく、特に３０～１００μｍが好ましい。

　本発明の方法において、本発明の光硬化性転写シートは、アニール処理されていることが好ましい。アニール処理は、転写シートを３０～１００℃、特に４０～７０℃の温度で、１時間～３０日間、特に１０時間～１０日間に亘って保管することにより行うことが好ましい。転写シートは、一般にロール状態（巻かれた状態）でアニール処理することが好ましい。このようなアニール処理により、剥離シートの剥離層の剥離を促進する成分（離型成分）が、光硬化性転写層への移行が進み、スタンパの除去が容易になると考えられる。

　本発明の方法において、本発明の光硬化性転写シートを中間スタンパとして、凹凸パターンを形成する製品の光硬化性樹脂組成物はどのようなものでも良い。特にナノインプリントプロセス法に使用できる組成物が好ましい。液状組成物の場合、粘度は１０～１００００ｃｐｓが好ましい。光硬化性樹脂組成物は光硬化性樹脂と光開始剤を含む組成物が好ましい。

　光硬化性樹脂としては、例えば、ウレタンアクリレート、ポリエステルアクリレート、エポキシアクリレート、エポキシ樹脂、イミド系オリゴマー、ポリエン・チオール系オリゴマー等が挙げられる。

　ウレタンアクリレートは、例えば、ヘキサメチレンジイソシアネート、イソホロンジイソシアネート、メチレンビス（４－シクロヘキシルイソシアネート）、トリメチルヘキサメチレンジイソシアネート、トリレンジイソシアネート、４，４－ジフェニルメタンジイソシアネート、キシリレンジイソシアネート等のジイソシアネート類とポリ（プロピレンオキサイド）ジオール、ポリ（プロピレンオキサイド）トリオール、ポリ（テトラメチレンオキサイド）ジオール、エトキシ化ビスフェノールＡ等のポリオール類と２－ヒドロキシエチルアクリレート２－ヒドロキシエチルメタクリレート、２－ヒドロキシプロピルアクリレート、グリシドールジメタクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート等のヒドロキシアクリレート類とを反応させることによって得られ、分子中に官能基としてアクリロイル基とウレタン結合を有するものである。

　ポリエステルアクリレートとしては、例えば、無水フタル酸とプロピレンオキサイドとアクリル酸とからなるポリエステルアクリレート、アジピン酸と１，６－ヘキサンジオールとアクリル酸とからなるポリエステルアクリレート、トリメリット酸とジエチレングリコールとアクリル酸とからなるポリエステルアクリレート等が挙げられる。

　エポキシアクリレートは、エピクロルヒドリン等のエポキシ化合物とアクリル酸又はメタクリル酸との反応により合成されたものであり、例えば、ビスフェノールＡとエピクロルヒドリンとアクリル酸との反応により合成されるビスフェノールＡ型エポキシアクリレート、ビスフェノールＳとエピクロルヒドリンとアクリル酸との反応により合成されるビスフェノールＳ型エポキシアクリレート、ビスフェノールＦとエピクロルヒドリンとアクリル酸との反応により合成されるビスフェノールＦ型エポキシアクリレート、フェノールノボラックとエピクロルヒドリンとアクリル酸との反応により合成されるフェノールノボラック型エポキシアクリレート等が挙げられる。

　エポキシ樹脂としては、例えば、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂、ビスフェノールＦ型エポキシ樹脂、ビスフェノールＡＤ型エポキシ樹脂、ビスフェノールＳ型エポキシ樹脂等のビスフェノール型エポキシ樹脂；フェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂等のノボラック型エポキシ樹脂；トリスフェノールメタントリグリシジルエーテル等の芳香族エポキシ樹脂、及び、これらの水添化物や臭素化物等が挙げられる。

　光重合開始剤（Ｇ）としては、光ラジカル重合開始剤及び光カチオン重合開始剤が好ましく、光ラジカル重合開始剤としては、例えば、４－（２－ヒドロキシエトキシ）フェニル（２－ヒドロキシ－２－プロピル）ケトン、α－ヒドロキシ－α－α’－ジメチルアセトフェノン、メトキシアセトフェノン、２，２－ジメトキシ－２－フェニルアセトフェノン等のアセトフェノン誘導体；ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインプロピルエーテル等のベンゾインエーテル系化合物；ベンジルジメチルケタール等のケタール誘導体；ハロゲン化ケトン、アシルフォスフィンオキシド、アシルフォスフォナート、２－メチル－１－［４－（メチルチオ）フェニル］－２－モルフォリノプロパン－１－オン、２－ベンジル－２－Ｎ，Ｎ－ジメチルアミノ－１－（４－モルフォリノフェニル）－１－ブタン、ビス（２，４，６－トリメチルベンゾイル）－フェニルフォスフィンオキシドビス－（２，６－ジメトキシベンゾイル）２，４，４－トリメチルペンチルフォスフィンオキシド、ビス（η５－シクロペンタジエニル）－ビス（ペンタフルオロフェニル）－チタニウム、ビス（η５－シクロペンタジエニル）－ビス［２，６－ジフルオロー３－（１Ｈ－ピリ－１－イル）フェニル］－チタニウム、アントラセン、ペリレン、コロネン、テトラセン、ベンズアントラセン、フェノチアジン、フラビン、アクリジン、ケトクマリン、チオキサントン誘導体、ベンゾフェノン、アセトフェノン、２－クロロチオキサンソン、２，４－ジメチルチオキサンソン、２，４－ジエチルチオキサンソン、２，４－ジイソプロピルチオキサンソン、イソプロピルチオキサンソン等が挙げられる。光カチオン重合開始剤としては、例えば、鉄－アレン錯体化合物、芳香族ジアゾニウム塩、芳香族ヨードニウム塩、芳香族スルホニウム塩、オニウム塩、ピリジニウム塩、アルミニウム錯体／シラノール塩、トリクロロメチルトリアジン誘導体等が挙げられる。上記オニウム塩やピリジニウム塩の対アニオンとしては、例えば、ＳｂＦ^６－、ＰＦ^６－、ＡｓＦ^６－、ＢＦ^４－、テトラキス（ペンタフルオロ）ボレート、トリフルオロメタンスルフォネート、メタンスルフォネート、トリフルオロアセテート、アセテート、スルフォネート、トシレート、ナイトレート等が挙げられる。

　光重合開始剤（Ｇ）の添加量は、一般に光硬化性樹脂１００重量部に対して、０．１～１５重量部であり、好ましくは、０．５～１０重量部である。

　上記光硬化性樹脂組成物には、反応性希釈剤が添加されてもよく、反応性希釈剤としては、例えば、１，４－ブタンジオールジアクリレート、１，６－ヘキサンジオールジアクリレート、ネオペンチルグリコールジアクリレート、２－（２－エトキシエトキシ）エチルアクリレート、テトラヒドロフルフリルアクリレート、２－フェノキシエチルアクリレート、ジエチレングリコールジアクリレート、テトラエチレングリコールジアクリレート、１，３－ブチレングリコールジアクリレート、トリプロピレングリコールジアクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ヒドロキシピバリン酸ネオペンチルグリコールジアクリレート等が挙げられる。

　上記光硬化性樹脂組成物には、更に、必要に応じて、一般に添加されている光重合開始助剤、熱重合禁止剤、充填剤、接着付与剤、チクソ付与剤、可塑剤、着色剤等が添加されてもよい。

　本発明の方法において、光硬化性転写シート及び製品の光硬化性樹脂を硬化する場合は、光源として紫外～可視領域に発光する多くのものが採用でき、例えば超高圧、高圧、低圧水銀灯、ケミカルランプ、キセノンランプ、ハロゲンランプ、マーキュリーハロゲンランプ、カーボンアーク灯、白熱灯、レーザ光等が挙げられる。照射時間は、ランプの種類、光源の強さによって一概には決められないが、０．１秒～数十秒程度、好ましくは０．５～数秒である。紫外線照射量は、３００ｍＪ／ｃｍ^２以上が好ましい。

　また、硬化促進のために、予め積層体を３０～８０℃に加温し、これに紫外線を照射してもよい。

　以下に実施例を示し、本発明についてさらに詳述する。

［実施例１～３、比較例１～５］
　＜光硬化性転写シートの作製＞
滑剤として、シリコーン系樹脂（Ｘ－２２－１６０２（信越シリコーン社製：ポリエーテル鎖を介してメタアクリロイルオキシ基を有するポリジメチルシロキサン）、ＢＹＫ－ＵＶ３５００（ビックケミー社製：ポリエーテル鎖を介してアクリロイルオキシ基を有するポリジメチルシロキサン）、及びフッ素原子含有エチレン性化合物（Ｖ－３Ｆ（大阪有機化学社製：２，２，２－トリフルオロエチルアクリレート））を用いて、光硬化性転写層の表面エネルギーを調整した光硬化性転写シートを作成した。即ち、表２に示した実施例１～３、及び比較例１～５の各配合の混合物を均一に溶解、混練し、透明フィルム（商品名ＨＰＥ、帝人デュポンフィルム社製；幅３００ｍｍ、長さ３００ｍ、厚さ７５μｍ）上に全面塗布し、乾燥厚さ２５μｍの光硬化性転写層を形成し、シートの反対側に剥離シート（商品名Ａ３１、帝人デュポンフィルム社製；幅３００ｍｍ、長さ３００ｍ、厚さ５０μｍ）を貼付し、ロール状に巻き上げ、光硬化性転写シートのフルエッジタイプのロール（直径２６０ｍｍ）を得た。上記透明フィルムはＰＥＴフィルム（７５μｍ）上に易接着層（ポリエステル／アクリル樹脂混合物、層厚０．２μｍ）からなるものである。各光硬化性転写層の表面エネルギーは表２に示した通りである。

　＜凹凸パターン形成プロセスの評価＞
実施例１～３、及び比較例１～５の光硬化性転写シートを用いて、図４に示した凹凸パターン形成工程を行った。即ち、微細な凹凸パターンを有するニッケル製スタンパ（パターン形状：深さ５０ｎｍ、高さ５０ｎｍ、リブ形状）を用い、各光硬化性転写シートを中間スタンパとして、シリコン基板上に形成した液状光硬化性樹脂組成物からなる光硬化性樹脂層（ＵＶナノインプリント用樹脂ＰＡＫ-1（東洋合成社製））に凹凸パターンを形成した。成形条件はタクト（ＵＶ照射のための停止時間）２秒、温度５０℃、ＵＶ照射量３００ｍＷ／ｃｍ^２で行った。そのプロセスにおける、各光硬化性転写シートの転写性、基材（透明フィルム）密着性、剥離性を評価した。転写性はスタンパと光硬化性転写シート及び光硬化性樹脂層の凹凸パターンの形状を透過型電子顕微鏡を用いて、形状の違いを比較して評価した（違い無し：○、違いあり×）。基材密着性、剥離性は目視観察で評価した（良好：○、不良：×）。その結果を表３に示した。

　表３に示したように、光硬化性転写層の表面エネルギーが２０ｍＮ／ｍ以下の比較例２、３及び５については基材密着性又は液状硬化性樹脂層への転写性が不良となった。また、光硬化性転写層の表面エネルギーが３０ｍＮ／ｍ以上の比較例１及び４についてはスタンパニッケル製スタンパとの剥離性又は液状光硬化性樹脂層との剥離性が不良となった。

　それに対して、光硬化性転写層の表面エネルギーが２０ｍＮ／ｍを超え、３０ｍＮ／ｍ未満である実施例１～３については良好な転写性、基材密着性、剥離性を示し、良好な凹凸パターンを効率的に形成することができた。

　なお、本発明は上記の実施の形態の構成及び実施例に限定されるものではなく、発明の要旨の範囲内で種々変形が可能である。

１０、３０　　　　　　　光硬化性転写シート
１１、３１　　　　　　　光硬化性転写層
１１ｃ、３１ｃ　　　　光硬化性転写層（硬化後）
１２、３２　　　　　　　透明フィルム
１２ａ　　　　　　　　　易接着層
１２ｂ　　　　　　　　　ポリマーフィルム
１３、３３　　　　　　　剥離シート
１４　　　　　　　　　　スタンパ
１５、４０　　　　　　　基板
１６、４１　　　　　　　光硬化性樹脂層
２０　　　　　　　　　　中間スタンパ
３４　　　　　　　　　　スタンパ部
３５、４５　　　　　　　ＵＶ透過型圧着部
３６ａ　　　　　　　　　送りロール
３６ｂ、３６ｆ　　　　　巻き取りロール
３６ｃ、３６ｄ、３６ｅ　案内ロール
３７、４７　　　　　　　ＵＶランプ

Claims

　加圧により変形可能な光硬化性組成物からなる光硬化性転写層を有する光硬化性転写シートであって、
　前記光硬化性組成物が、滑剤としてシリコーン系樹脂及び／又はフッ素原子含有エチレン性化合物を含み、光硬化性転写層の表面エネルギーが２０ｍＮ／ｍを超え、３０ｍＮ／ｍ未満であることを特徴とする光硬化性転写シート。
　前記シリコーン系樹脂が、変性ポリシロキサンである請求項１に記載の光硬化性転写シート。
　変性ポリシロキサンが、（メタ）アクリロイル基含有ポリシロキサンである請求項２に記載の光硬化性転写シート。
　前記フッ素原子含有エチレン性化合物が、フルオロ（メタ）アクリレート類である請求項１に記載の光硬化性転写シート。
　前記光硬化性転写層の一方の表面に、易接着層とポリマーフィルムとを有する透明フィルムを備え、且つ当該易接着層が光硬化性転写層に接触するように設けられている請求項１～４のいずれか１項に記載の光硬化性転写シート。
　前記透明フィルムが、ポリエステルフィルムである請求項５に記載の光硬化性転写シート。
　前記易接着層が、ポリエステル樹脂、ポリウレタン樹脂及びアクリル樹脂から選択される少なくとも１種を含む請求項５又は６に記載の光硬化性転写シート。
　下記の工程：
（１）表面に微細な凹凸パターンを有する金型の表面を、請求項１～７のいずれか１項に記載の光硬化性転写シートの転写層に、当該金型の凹凸パターン面が、当該転写層の表面に接触するように載置、押圧して、転写層の表面が凹凸パターン表面に沿って密着した積層体を形成する工程；
（２）金型を有する積層体の転写層を紫外線照射により硬化させる工程、及び
（３）金型を除去することにより、当該転写層の表面に微細な反転凹凸パターンを形成する工程；
を含む凹凸パターンの形成方法。
　下記の工程：
（４）請求項８に記載の方法により、前記金型の凹凸パターンの反転凹凸パターンが形成された光硬化性転写シート（中間スタンパ）の微細な反転凹凸パターンの表面を、基板上に形成された光硬化性樹脂組成物からなる光硬化性樹脂層に、該中間スタンパの反転凹凸パターン面が光硬化性樹脂層の表面に接触するように載置、押圧して、光硬化性樹脂層の表面が反転凹凸パターン表面に沿って密着した積層体を形成する工程；
（５）中間スタンパを有する積層体の光硬化性樹脂層を紫外線照射により硬化させる工程；及び
（６）中間スタンパを除去することにより、光硬化性樹脂層の表面に前記金型と同一の微細な凹凸パターンを形成する工程；
を含む凹凸パターンの形成方法。
　前記光硬化性樹脂組成物が液状である請求項９に記載の方法。
　前記金型がスタンパである請求項８～１０のいずれか１項に記載の方法。