WO2010055656A1 - 電磁遮蔽パネル、窓部材、構造物、電磁シールドルーム及び電磁シールドボックス - Google Patents

Abstract

　電磁遮蔽パネルは、一対の遮蔽板とエッジ接続用導電部材とを少なくとも備えている。各遮蔽板は、第１主面及び第２主面並びに４つのエッジを有し且つ可視光透過性を有する絶縁板と、相対的に高い周波数領域において電磁遮蔽機能を有する高周波電磁遮蔽部材であって少なくとも第１主面を覆うように配された高周波電磁遮蔽部材と、相対的に低い周波数領域において電磁遮蔽機能を有する低周波電磁遮蔽部材であって少なくとも第２主面を覆うように配された低周波電磁遮蔽部材とを備え、高周波電磁遮蔽部材と低周波電磁遮蔽部材のいずれかで絶縁板のエッジのすべてを覆うことにより、高周波電磁遮蔽部材と低周波電磁遮蔽部材とで絶縁板を包んでなるものである。エッジ接続用導電部材は、すべての高周波電磁遮蔽部材及び低周波電磁遮蔽部材を一対の絶縁板のすべてのエッジ近傍において物理的及び電気的に接続している。

Description

電磁遮蔽パネル、窓部材、構造物、電磁シールドルーム及び電磁シールドボックス

　本発明は、電磁波を遮蔽する電磁遮蔽パネルに関し、特に、３０ＭＨｚ～２０ＧＨｚ程度の周波数帯域において高い電磁遮蔽性能を有する電磁遮蔽パネルに関する。更に、本発明は、その電磁遮蔽パネルを用いて構成された窓部材、構造物、電磁シールドルーム及び電磁シールドボックスに関する。

　電磁波を遮蔽する電磁遮蔽パネルとしては、特許文献１に開示されたものがある。特許文献１の電磁遮蔽パネルは、スペーサを介して対向配置された２枚のガラス板と、ガラス板の対向面上に形成された透明導電膜と、ガラス板のエッジ部分に設けられ透明導電膜と電気的に接続された導電性被覆材とを備えている。

実開平３－８３９９６号公報

　近年、電磁遮蔽パネルには、広い周波数帯域において十分な遮蔽性能を有することが要求されている。しかしながら、特許文献１の電磁遮蔽パネルでは、かかる遮蔽性能を実現することができない。

　そこで、本発明は、良好な視認性を有し且つ広い周波数帯域において十分な遮蔽性能を有する電磁遮蔽パネルを提供することを目的とする。

　本発明の一の側面は、第１の電磁遮蔽パネルとして、一対の遮蔽板とエッジ接続用導電部材とを少なくとも備える電磁遮蔽パネルであって、
　前記遮蔽板の夫々は、第１主面及び第２主面並びに４つのエッジを有し且つ可視光透過性を有する絶縁板と、相対的に高い周波数領域において電磁遮蔽機能を有する高周波電磁遮蔽部材であって少なくとも前記第１主面を覆うように配された高周波電磁遮蔽部材と、相対的に低い周波数領域において電磁遮蔽機能を有する低周波電磁遮蔽部材であって少なくとも前記第２主面を覆うように配された低周波電磁遮蔽部材とを備え、前記高周波電磁遮蔽部材と前記低周波電磁遮蔽部材のいずれかで前記絶縁板の前記エッジのすべてを覆うことにより、前記高周波電磁遮蔽部材と前記低周波電磁遮蔽部材とで前記絶縁板を包んでなるものであり、
　前記エッジ接続用導電部材は、すべての前記高周波電磁遮蔽部材及び前記低周波電磁遮蔽部材を前記一対の絶縁板のすべての前記エッジ近傍において物理的及び電気的に接続している
電磁遮蔽パネルを提供する。

　本発明の他の側面は、第２の電磁遮蔽パネルとして、第１の電磁遮蔽パネルであって、
　前記相対的に高い周波数領域と前記相対的に低い周波数領域とは、一部において重複している
電磁遮蔽パネルを提供する。

　本発明の他の側面は、第３の電磁遮蔽パネルとして、第１又は第２の電磁遮蔽パネルであって、
　前記低周波電磁遮蔽部材は、導電メッシュ部材であり、
　前記遮蔽板の夫々は、前記エッジ近傍の前記エッジ接続用導電部材を除き、前記高周波電磁遮蔽部材が最も外側に位置するように配置されている
電磁遮蔽パネルを提供する。

　本発明の他の側面は、第４の電磁遮蔽パネルとして、第１乃至第３の電磁遮蔽パネルのいずれかであって、
　前記絶縁板は、８０％以上の可視光透過率を有する
電磁遮蔽パネルを提供する。

　本発明の他の側面は、第５の電磁遮蔽パネルとして、第４の電磁遮蔽パネルであって、
　前記絶縁板は、ガラス板である
電磁遮蔽パネルを提供する。

　本発明の他の側面は、第６の電磁遮蔽パネルとして、第１乃至第５の電磁遮蔽パネルのいずれかであって、
　前記遮蔽板は、前記第１主面及び前記第２主面と直交する方向において、互いに離間して配置されている
電磁遮蔽パネルを提供する。

　本発明の他の側面は、第７の電磁遮蔽パネルとして、第６の電磁遮蔽パネルであって、
　前記一対の遮蔽板に挟持された被挟持体であって可視光透過性を有する被挟持絶縁板を少なくとも一枚有する被挟持体を更に備える
電磁遮蔽パネルを提供する。

　本発明の他の側面は、第８の電磁遮蔽パネルとして、第７の電磁遮蔽パネルであって、
　前記被挟持体は、前記被挟持絶縁板に取り付けられた被挟持高周波電磁遮蔽部材及び／又は被挟持低周波電磁遮蔽部材を更に備えており、
　前記被挟持高周波電磁遮蔽部材及び／又は前記被挟持低周波電磁遮蔽部材は、すべて前記エッジ接続用導電部材に接続されている
電磁遮蔽パネルを提供する。

　本発明の他の側面は、第９の電磁遮蔽パネルとして、第１乃至第８の電磁遮蔽パネルのいずれかであって、
　前記高周波電磁遮蔽部材は、８０％以上の可視光透過率を有する導電薄膜からなる
電磁遮蔽パネルを提供する。

　本発明の他の側面は、第１０の電磁遮蔽パネルとして、第９の電磁遮蔽パネルであって、
　前記導電薄膜は、酸化インジウム膜、酸化亜鉛膜、酸化錫膜のいずれかを備える
電磁遮蔽パネルを提供する。

　本発明の他の側面は、第１１の電磁遮蔽パネルとして、第１乃至第８の電磁遮蔽パネルのいずれかであって、
　前記高周波電磁遮蔽部材は、８０％以上の可視光透過率を有する導電フィルムからなる
電磁遮蔽パネルを提供する。

　本発明の他の側面は、第１２の電磁遮蔽パネルとして、第１１の電磁遮蔽パネルであって、
　前記導電フィルムは、導電薄膜と絶縁フィルムとの積層体からなる
電磁遮蔽パネルを提供する。

　本発明の他の側面は、第１３の電磁遮蔽パネルとして、第１２の電磁遮蔽パネルであって、
　前記導電薄膜は、酸化インジウム錫膜であり、
　前記絶縁フィルムは、ＰＥＴ（polyethylene terephthalate）フィルムである
電磁遮蔽パネルを提供する。

　本発明の他の側面は、第１の窓部材として、第１乃至第１３の電磁遮蔽パネルのいずれかと窓枠とを備える窓部材を提供する。

　本発明の他の側面は、第２の窓部材として、第１の窓部材であって、
　前記エッジ接続用導電部材と前記窓枠とが電気的に接続されている
窓部材を提供する。

　本発明の他の側面は、第３の窓部材として、第２の窓部材であって、
　前記エッジ接続用導電部材と前記窓枠との間の接触圧を調整するための圧調整機構を更に備える
窓部材を提供する。

　本発明の他の側面は、構造物として、第１乃至第３の窓部材のいずれかを備える構造物であって、内部に閉空間を有する構造物を提供する。

　本発明の他の側面は、上述した構造物を備える電磁シールドルームを提供する。

　本発明の他の側面は、上述した構造物を備える電磁シールドボックスを提供する。

　対応周波数の異なる高周波電磁遮蔽部材と低周波電磁遮蔽部材とを夫々備える遮蔽板を２枚用いて電磁遮蔽パネルを構成したことから、広い周波数帯域に亘って電磁遮蔽効果を得ることができる。

　また、各遮蔽板の絶縁体のエッジ以外の部位においては、高周波電磁遮蔽部材と低周波電磁遮蔽部材とが絶縁体によって離間して配置されていることから、高周波電磁遮蔽部材と低周波電磁遮蔽部材とを単純に重ねた場合と比較して、高い電磁遮蔽効果を得ることができる。

　更に、各遮蔽板において絶縁体が高周波電磁遮蔽部材と低周波電磁遮蔽部材とで包まれていることから、絶縁体のエッジから電磁波の漏洩を防ぐことができる。

　特に、２つの遮蔽板同士を密着させたり２つの遮蔽板間に被挟持体を挟持させたりすることにより、遮蔽板間に空気層を設けないこととすると、電磁遮蔽パネル自体の剛性を高めることができる。従って、窓枠のような電磁遮蔽パネル以外の部材に高い剛性を持たせる必要がなくなるため、それら部材の軽量化を図ることができる。

　一方、２つの遮蔽板間に空気層又は被挟持体を介在させることとし、２つの遮蔽板同士を密着させないこととすると、２つの遮蔽板同士を密着させた場合と比較して高い電磁遮蔽性能を得ることができる。

　即ち、２つの遮蔽板の間に被挟持体を挟持させることとすると、高い電磁遮蔽性能と高い剛性との両方を得ることができる。

本発明の第１の実施の形態による電磁遮蔽パネルを示す概略断面図である。 本発明の第１の実施の形態による窓部材を示す概略図である。 本発明の第２の実施の形態による電磁遮蔽パネルを示す概略断面図である。 本発明の第３の実施の形態による電磁遮蔽パネルを示す概略断面図である。 本発明の第４の実施の形態による窓部材、特に圧調整機構を示す概略断面図である。 本発明の第５の実施の形態による窓部材を示す概略図である。 本発明の第６の実施の形態によるシールドルームを示す概略図である。 本発明の第７の実施の形態によるシールドボックスを示す概略図である。 比較例による電磁遮蔽パネルを示す概略断面図である。 本発明の窓部材の実測値の測定方法を説明する図である。 参照値の測定方法を説明する図である。

　（第１の実施の形態）
　図１に示されるように、本発明の第１の実施の形態による電磁遮蔽パネル１００は、１対の遮蔽板１０と、遮蔽板１０間に挟持された被挟持体２０と、エッジ接続用導電部材３０とを備えている。

　各遮蔽板１０は、第１主面１１－１及び第２主面１１－２並びに４つのエッジ１１－３を有し且つ高い可視光透過性を有する絶縁板１１と、相対的に高い周波数領域において電磁遮蔽機能を有する高周波電磁遮蔽部材１３と、相対的に低い周波数領域において電磁遮蔽機能を有する低周波電磁遮蔽部材１５とを備えている。

　本実施の形態による絶縁板１１は、ガラス板からなる。しかしながら、本発明はこれに制限されるものではなく、絶縁板１１は、例えば、ポリカーボネートやポリエーテルスルホンなどの高い可視光透過性を有する樹脂からなる板であってもよい。絶縁体１１として樹脂からなる板を用いると、一般的なガラス板に比べて割れにくく且つ軽量な電磁遮蔽パネルを構成することができる。なお、視認性を考慮すると、絶縁板１１は、８０％以上の可視光透過率を有することが好ましい。

　高周波電磁遮蔽部材１３は、絶縁板１１の第１主面１１－１を覆うように配されている。本実施の形態による高周波電磁遮蔽部材１３は、可視光透過性を有する導電薄膜からなるものである。導電薄膜としては、例えば、酸化インジウム膜、酸化亜鉛膜、酸化錫膜のいずれかを含むものが挙げられる。

　低周波電磁遮蔽部材１５は、接着層１６を介して絶縁板１１の第２主面１１－２を覆うと共に４つのエッジ１１－３を覆い、更に、第１主面１１－１側まで延伸されて各エッジ１１－３近傍において高周波電磁遮蔽部材１３に接続されている。これにより、本実施の形態による絶縁板１１は、高周波電磁遮蔽部材１３と低周波電磁遮蔽部材１５とにより包まれた状態となっている。従って、遮蔽板１０の絶縁板１１のエッジ１１－３近傍から電磁波が漏洩したりすることがない。特に、図示された高周波電磁遮蔽部材１３と低周波電磁遮蔽部材１５とは、互いに面で接触している。両者を互いに面接触すると、例えば、両者を互いに線接触したり点接触したりした場合と比較して、高い電磁遮蔽特性を得ることができる。ここで、本実施の形態による低周波電磁遮蔽部材１５は、導電メッシュ部材からなるものであり、また、低周波電磁遮蔽部材１５が電磁遮蔽効果を発揮する周波数領域と、高周波電磁遮蔽部材１３が電磁遮蔽効果を発揮する周波数領域とは、一部において重複している。

　上述したようにして構成された２つの遮蔽板１０は、それらの間に被挟持体２０を挟むことにより、絶縁板１１の第１主面１１－１及び第２主面１１－２と直交する方向において、互いに離間して配置されている。本実施の形態による被挟持体２０は、被挟持絶縁体２２のみからなる。本実施の形態による被挟持絶縁体２２は、ガラス板である。２つの遮蔽板１０を互いに密着させた場合に比較して両者を離間して配置すると両者の間に何かしらの誘電体層が存在することとなるため電磁遮蔽効果の向上が望める。一方、２つの遮蔽板１０間に空気層を介在させることとすると、強度的に弱い。本実施の形態のように、被挟持体２０（被挟持絶縁体２２）を２つの遮蔽板１０に挟持させることとすると、被挟持体２０の誘電率による電磁遮蔽効果の向上と被挟持体２０の存在による強度の向上の両方を同時に図ることができる。

　エッジ接続用導電部材３０は、すべての高周波電磁遮蔽部材１３及び低周波電磁遮蔽部材１５を一対の絶縁板１１のすべてのエッジ１１－３近傍において物理的及び電気的に接続している。これにより、高周波電磁遮蔽部材１３、低周波電磁遮蔽部材１５及びエッジ接続用導電部材３０のすべてが互いに導通している。特に、図示された電磁遮蔽パネル１００において、エッジ接続用導電部材３０は、低周波電磁遮蔽部材１５と高周波電磁遮蔽部材１３の双方に対して直接面接触している。これにより、エッジ接続用導電部材３０を低周波電磁遮蔽部材１５及び／又は高周波電磁遮蔽部材１３と点接触や線接触させた場合と比較して、電磁遮蔽特性の向上を図ることができる。

　本実施の形態においては、各遮蔽板１０の絶縁板１１の第１主面１１－１が電磁遮蔽パネル１００の外側を向くように（即ち、第２主面１１－２が電磁遮蔽パネル１００の内側を向くように）２つの遮蔽板１０が配置されている。本実施の形態による電磁遮蔽パネル１００においては、各遮蔽板１０は、エッジ１１－３近傍のエッジ接続用導電部材３０を除き、高周波電磁遮蔽部材１３が最も外側に位置するように配置されている。本実施の形態による低周波電磁遮蔽部材１５は導電メッシュ部材からなるものであるが、これを電磁遮蔽パネル１００の最も外側に配置することとすると、電磁遮蔽パネル１００の搬送時や取り付け時において何らかの物体に導電メッシュ部材が引っかかってしまい破損してしまうおそれがある。これに対して、本実施の形態のように低周波電磁遮蔽部材１５が露出しないように構成すると、上述したような低周波電磁遮蔽部材１５の破損を防ぐことができる。なお、電磁遮蔽パネル１００の電磁遮蔽性能を高めるため、２つの遮蔽板１０の低周波電磁遮蔽部材（導電メッシュ部材）１５は、遮蔽板１０を対向配置させた際に、低周波電磁遮蔽部材（導電メッシュ部材）１５の網目が互いにずれるように設けられていることが好ましい。

　図２を参照すると、本実施の形態による窓部材２００は、概略、上述した電磁遮蔽パネル１００を窓枠１２０に挟みこんでなる構成を備えている。本実施の形態による窓枠１２０は、金属製のものであり、後述するシールドルームやシールドボックスのような構造物に取り付けて用いる。窓枠１２０の内側、即ち電磁遮蔽パネル１００の絶縁体１１のエッジ１１－３近傍を覆っているエッジ接続用導電部材３０と接触する部位には、シールドガスケット１１０が設けられている。即ち、窓枠１２０の内側と電磁遮蔽パネル１００との間にはシールドガスケット１１０が介在している。このシールドガスケット１１０は、窓枠１２０とエッジ接続用導電部材３０との電気的な接続をより確実なものとすると共に接続部分からの電磁波の漏洩を防止するためのものである。窓枠１２０と電磁遮蔽パネル１００の際の部分は、導電コーキング剤などを用いて埋めても良い。なお、シールドガスケット１１０や窓枠１２０の材質等は、要求される各種性能によって適宜選択すれば良く、特に限定されるものではない。電磁遮蔽パネル１００に対して窓枠１２０を取り付けて窓部材２００を構成することとすると、取り扱いが容易になり、輸送や取り付け作業に要する労力が軽減される。加えて、電磁遮蔽パネル１００の剛性が高まり、破損し難くなる。

　このようにして構成された窓部材２００は、例えばシールドルームの開口部に取り付けられ、電磁遮蔽窓を構成する。窓部材２００の取り付け方・組立方には特に制限はない。例えば、シールドルームの開口部に一方の窓枠１２０を取り付け、次いで、電磁遮蔽パネル１００を取り付けて、更に、他方の窓枠１２０を取り付けることにより、窓部材２００を構成することとしてもよい。また、電磁遮蔽パネル１００の周縁部に対して当該周縁部を囲う形状の導電枠を取り付けることにより得られる組立体を窓枠１２０に取り付けることとしてもよい。

（第２の実施の形態）
　図３を参照すると、本発明の第２の実施の形態による電磁遮蔽パネル１００ａは、被挟持体２０ａの構成を除き、上述した第１の実施の形態による電磁遮蔽パネル１００と同様である。従って、以下においては、差異のみについて説明することとする。

　図３に示されるように、本実施の形態による被挟持体２０ａは、２つのガラス板からなる被挟持絶縁体２２と、被挟持高周波電磁遮蔽部材２４とを備えるものである。被挟持高周波電磁遮蔽部材２４は一方の被挟持絶縁体２２に接着層１６により固定されており、且つ、２つの被挟持絶縁体２２に挟まれている。本実施の形態による被挟持高周波電磁遮蔽部材２４は、高周波電磁遮蔽部材１３と同一の部材からなるものであるが、例えば、高周波電磁遮蔽部材１３と材料は異なるものの同一の機能を有する部材にて構成することとしてもよい。

　かかる被挟持体２０ａは、２つの遮蔽板１０に挟持されており、周縁部においてエッジ接続用導電部材３０によって接続されている。ここで、図示されたように、本実施の形態によるエッジ接続用導電部材３０は、遮蔽板１０の高周波電磁遮蔽部材１３及び低周波電磁遮蔽部材１５のみならず、被挟持体２０ａに含まれる被挟持高周波電磁遮蔽部材２４とも物理的・電気的に接続されている。被挟持体２０ａに含まれる被挟持高周波電磁遮蔽部材を低周波電磁遮蔽部材と同一の部材等からなる被挟持低周波電磁遮蔽部材と置き換えても良い。また、被挟持体２０ａに含まれる被挟持高周波電磁遮蔽部材及び／又は被挟持低周波電磁遮蔽部材をエッジ接続用導電部材３０と接続せず電気的にフローティング状態としてもよい。但し、高い電磁遮蔽性能を考慮すると、本実施の形態のように、被挟持高周波電磁遮蔽部材及び／又は被挟持低周波電磁遮蔽部材をエッジ接続用導電部材３０と接続することが好ましい。加えて、図示された被挟持高周波電磁遮蔽部材２４はエッジ接続用導電部材３０と線接触しているが、被挟持高周波電磁遮蔽部材２４の縁部を延ばして被挟持高周波電磁遮蔽部材２４とエッジ接続用導電部材３０とを面接触させることとすると、更なる電磁遮蔽特性の向上を図ることができる。

　複数枚のガラス板を用いて電磁遮蔽パネルを構成することとすると、電磁遮蔽パネル全体の厚みを厚くしたい場合でも汎用性が高く低コストの薄いガラス板を用いることができる。また、追加の電磁遮蔽部材（被挟持高周波電磁遮蔽部材２４）を設けることができることから、更なる電磁遮蔽特性の向上を図ることも可能となる。

（第３の実施の形態）
　図４を参照すると、本発明の第３の実施の形態による電磁遮蔽パネル１００ｂは、遮蔽板１０ｂ、特に、高周波電磁遮蔽部材１７の構成を除き、上述した第１の実施の形態による電磁遮蔽パネル１００と同様である。従って、以下においては、差異たる高周波電磁遮蔽部材１７について説明する。

　本実施の形態による高周波電磁遮蔽部材１７は、導電薄膜１８と絶縁フィルム１９からなる導電フィルムであり、絶縁板１１の第１主面１１－１上に導電薄膜１８が配されており、その上に絶縁フィルム１９が配されている。このように外側に絶縁フィルム１９が位置していることにより、導電薄膜１８を外部から保護することができる。より具体的には、本実施の形態による高周波電磁遮蔽部材１７は、絶縁フィルム１９上に導電薄膜１８が形成されてなる導電フィルムを、導電薄膜１８が第１主面１１－１と対向するように配置して、接着剤（図示せず）により張り合わせてなるものである。導電薄膜１８と低周波電磁遮蔽部材１５やエッジ接続用導電部材３０との電気的接続を図るため、電磁遮蔽パネル１００ｂの周縁部近傍においては、導電薄膜１８が外側になるように折り返されている。

（第４の実施の形態）
　図５を参照すると、本発明の第４の実施の形態による窓部材２００ｃは、上述した第１の実施の形態による電磁遮蔽パネル１００を窓枠１２０に取り付ける構造に対して、更にエッジ接続用導電部材３０と窓枠１２０との間の接触圧を調整するための圧調整機構１３０を配してなるものである。圧調整機構１３０は、金属板１３２と金属製の調整ネジ１３４とを備えている。調整ネジ１３４を押し込むことによって金属板１３２が電磁遮蔽パネル１００に向かって押し付けられることから、たとえ窓枠１２０等の部品のサイズのばらつき等により部品間に多少のギャップが生じてしまったとしても、窓枠１２０に設けられたシールドガスケット１１０とエッジ接続用導電部材３０との間の接触圧の調整を適切に図ることができる。また、かかる構成の圧調整機構１３０を用いると、電磁波の漏洩の生じさせるような開口を設けることなく、接触圧の調整を行うことができる。なお、調整ネジ１３４としては、例えば、すりわり付き止めねじ（Setscrew）を用いることができる。

（第５の実施の形態）
　上述した第１の実施の形態による窓部材２００は、扉や壁などに対して嵌め込む形式の窓部材であったが、図６を参照すると、本発明の第５の実施の形態による窓部材２００ｄは、引き窓形式の窓部材である。詳しくは、本実施の形態による窓部材２００ｄは、上述した第１の実施の形態による電磁遮蔽パネル１００に対して、更に導電枠１４０を取り付けてなる構成を備えている。

　より具体的には、窓枠１２０にはレール１５０が設けられている。導電枠１４０の上下の框には、そのレール１５０を受けるための溝を設けられており、また、導電枠１４０間にはシールドガスケット１１０が取り付けられている。この際、シールドガスケット１１０はレール１５０を跨ぐように構成されている。かかる構成の導電枠１４０は、レール１５０と確実に電気的接続をとりつつ、レール１５０上をスライドすることができる。また導電枠１４０の左右の框にもシールドガスケット１１０が取り付けられており、それによって、窓枠１２０と導電枠１４０との間における電気的接続を確実に図ることができる。更に、図６に示されるように、導電枠１４０と充分重なるように窓枠１２０の端部を立ち上げることで、電磁波の漏洩を抑えると共に、内側、即ち導電枠１４０側に導電性ブラシ１６０を設け、導電性ブラシ１６０と導電枠１４０とを常に接するようにすることにより、電磁遮蔽パネル１００と導電枠１４０の円滑な動きを妨げることなく、確実な電気的接続を得ることができる。

（第６の実施の形態）
　図７を参照すると、本発明による第６の実施の形態は、計測等に使用する閉空間３１０を有するシールドルーム３００に対して、上述した第１の実施の形態による電磁遮蔽パネル１００を用いた窓部材２００を適用してなるものである。上述した窓部材２００を用いれば、電磁遮蔽パネル１００と、電磁遮蔽パネル１００の縁辺部および窓枠１２０などからの電磁波の漏洩を抑え、計測等に使用されるような非常に厳しい遮蔽性能要求に対しても応えることができる。従って、本実施の形態によるシールドルーム３００においては、電磁遮蔽効果を損なうことなく、比較的大きな窓部を設けることが可能となる。

（第７の実施の形態）
　図８を参照すると、本発明による第７の実施の形態は、計測等に使用する閉空間４１０を有するシールドボックス４００に対して、上述した第１の実施の形態による電磁遮蔽パネル１００を用いた窓部材２００を適用してなるものである。本発明によれば、第６の実施の形態の場合と同様に、厳しい遮蔽性能要求をクリアしつつ、シールドボックス４００に対して視認性を付与することができる。

　本発明による窓部材の適用範囲は、上述した第６の実施の形態及び第７の実施の形態には限定されない。例えば、インテリジェントビルなどの構造物に対して本発明による窓部材を適用することとしてもよい。

（実施例１）
　実施例１では、第１の実施の形態による電磁遮蔽パネル１００において、高周波電磁遮蔽部材１３として酸化錫膜を用い、また、エッジ接続用導電部材３０として銅テープを用いた。

　高周波電磁遮蔽部材１３に使用可能な導電材の薄層としては、金属の蒸着膜やメッキ膜、酸化金属膜など多様なものが挙げられるが、本発明で達成しようとする良好な視認性を実現するためには、金属の蒸着膜やメッキ膜では充分な視認性を得られないか、視認性を得るために充分な遮蔽性能が得られなくなる可能性がある。そのため、透明性の高い、酸化金属膜が好ましく、透明性が高く導電率の大きい酸化インジウム膜、酸化亜鉛膜、酸化錫膜のいずれかを含むものが更に好ましい。また、これらの膜の表面抵抗は３０Ω・ｃｍ以下であることが好ましく、膜厚はおおよそ十分の数～数ミクロンであるが、要求される表面抵抗を達成できれば特に範囲を限るものではない。

　低周波電磁遮蔽部材１５を構成する導電メッシュ部材の線材は特に限定されるものではないが、一般的に多用されるステンレスが耐候性、コスト、遮蔽性能の面で好ましい。また、カーボンメッシュシートや、導電性塗料を網状に印刷しても同様の効果を得ることができる。メッシュの目開き寸法や線材の太さは、要求される諸特性と視認性との兼ね合いで適宜定めれば良い。

　電磁遮蔽パネル１００の端縁部を覆うエッジ接続用導電部材３０として導電性テープやシールドガスケットなどを用いることができる、確実に導通をとれるものであれば材質は特に限定されない。

　絶縁板１１としては、厚さ３ｍｍのガラス板を用い、被挟持絶縁体２２としては６ｍｍのガラス板を用いた。最外層に位置する酸化錫膜からなる高周波電磁遮蔽部材１３の表面抵抗は１５Ω・ｃｍであった。また、低周波電磁遮蔽部材１５を構成する導電メッシュ部材としてはステンレス製で線材太さが５０μｍ、目開き寸法が約１００μｍのものを用いた。低周波電磁遮蔽部材１５を絶縁板１１に接着するための接着層１６としてはポリビニルブチラールを用いた。なお、絶縁板１１及び被挟持絶縁体２２を構成するガラス板の大きさは夫々５２５×５２５ｍｍである。

　絶縁板（ガラス板）１１の第１主面１１－１に対して高周波電磁遮蔽部材１３として、可視光透過率８２％の酸化錫膜を形成した。更に、酸化錫膜からなる高周波電磁遮蔽部材１３が最も外側に位置するようにして、酸化錫膜（高周波電磁遮蔽部材１３）と３ｍｍのガラス板（絶縁板１１）、接着層１６、導電メッシュ部材（低周波電磁遮蔽部材１５）、６ｍｍのガラス板（被挟持絶縁体２２）、導電メッシュ部材（低周波電磁遮蔽部材１５）、接着層１６、３ｍｍのガラス板（絶縁板１１）、酸化錫膜（高周波電磁遮蔽部材１３）の順に積層した。この際、導電メッシュ部材（低周波電磁遮蔽部材１５）はガラス板（絶縁板１１）のエッジ１１－３から１５ｍｍ程度延伸させた。それらのすべてを一体とした後、はみ出ている導電メッシュ部材（低周波電磁遮蔽部材１５）を各々外側に折り曲げて酸化錫膜（高周波電磁遮蔽部材１３）と接触させた後、それらの端縁部全体を銅テープ（エッジ接続用導電部材３０）で覆った。この時、図１に示されるように、銅テープによるエッジ接続用導電部材３０は、折り曲げられた導電メッシュ部材（低周波電磁遮蔽部材１５）のみならず、高周波電磁遮蔽部材１３にも直接接触して導通するように構成した。

（比較例）
　比較例として、図９に示されるような構成の電磁遮蔽パネル１００ｅを作製した。詳しくは、２枚の絶縁板１１の夫々として厚さ３ｍｍのガラスを用いた。絶縁体１１の第１主面１１－１は、端部を除き、何にも覆われていない状態とし、絶縁体１１の第２主面１１－２は、高周波電磁遮蔽部材１３と低周波電磁遮蔽部材１５とで覆われている。詳しくは、第２主面１１－２上に高周波電磁遮蔽部材１３が形成されており、その上に、低周波電磁遮蔽部材１５が形成されている。低周波電磁遮蔽部材１５は、第１の実施の形態と同様にエッジ１１－３を覆い且つ第１主面１１－１のエッジ１１－３近辺をも覆っている。ここで、高周波電磁遮蔽部材１３としては、遮蔽ガラスに一般的に用いられていた銀膜を用いた。銀膜の表面抵抗は２０Ω・ｃｍ、可視光透過率は５３％であった。また、低周波電磁遮蔽部材１５としては、実施例１と同じ導電メッシュ部材を用いた。高周波電磁遮蔽部材１３及び低周波電磁遮蔽部材１５を付与された絶縁板１１は、スペーサ４０を介在させることにより離間して配置した。これにより絶縁板１１間には、６ｍｍの厚さの空気層５０が形成された。スペーサ４０と低周波電磁遮蔽部材１５との接続に用いた接着層１６の材質（ポリビニルブチラール）や、ガラス板の大きさなどは、前述した実施例１と同様である。

（実施例２）
　実施例２として、第２の実施の形態の構造を備える電磁遮蔽パネル１００ａを製作した。使用した材料は実施例１と概略同じである。異なる点は、被挟持絶縁体２２を構成するガラス板を３ｍｍのものとする一方で枚数を２枚としたこと、及び、それら２枚の被挟持絶縁体２２の中間に更に被挟持高周波電磁遮蔽部材２４として酸化錫膜を設けたことである。その他の構成については上述した実施例１と同様である。

（実施例３）
　実施例３として、第３の実施の形態の構造を備える電磁遮蔽パネル１００ｂを製作した。使用した材料は実施例１と概略同じである。異なる点は、実施例１の高周波電磁遮蔽部材１３を、可視光透過率８１％の導電フィルム１７に置き換えたことである。ここで、導電フィルム１７は、導電薄膜１８と絶縁フィルム１９を備えている。具体的には、導電薄膜は酸化インジウム錫膜であり、絶縁フィルム１９はＰＥＴフィルムである。図示されているように、導電薄膜１８は、絶縁フィルム１９によって保護されている。なお、酸化インジウム錫膜の表面抵抗は２Ω・ｃｍであった。その他の構成については、上述した実施例１と同様である。

　絶縁板（ガラス板）１１に酸化インジウム錫膜（導電薄膜１８）を用いた導電フィルム（高周波電磁遮蔽部材１７）を貼り付けた。更に、その導電フィルム（高周波電磁遮蔽部材１７）が最も外側に位置するようにして、導電フィルム（高周波電磁遮蔽部材１７）、３ｍｍのガラス板（絶縁板１１）、接着層１６、導電メッシュ部材（低周波電磁遮蔽部材１５）、６ｍｍのガラス板（被挟持絶縁体２２）、導電メッシュ部材（低周波電磁遮蔽部材１５）、接着層１６、３ｍｍのガラス板（絶縁板１１）、導電フィルム（高周波電磁遮蔽部材１７）の順に積層した。この際、導電フィルム（高周波電磁遮蔽部材１７）はガラス板（絶縁体１１）のエッジ１１－３から２０ｍｍ程度、導電メッシュ部材（低周波電磁遮蔽部材１５）はガラス板（絶縁板１１）のエッジ１１－３から１５ｍｍ程度延伸させた。それらすべてを一体とした後、はみ出ている導電フィルム（高周波電磁遮蔽部材１７）を外側に折り曲げ、更に、はみ出ている導電メッシュ部材（低周波電磁遮蔽部材１５）を外側に折り曲げて導電フィルム（高周波電磁遮蔽部材１７）の導電薄膜１８に接続させた後、それらの端縁部全体を銅テープ（エッジ接続用導電部材３０）で覆った。この時、図４に示されるように、銅テープによるエッジ接続用導電部材３０は、折り曲げられた導電メッシュ部材（低周波電磁遮蔽部材１５）のみならず、導電フィルム（高周波電磁遮蔽部材１７）の酸化インジウム錫膜（導電薄膜１８）にも直接接触して導通するように構成した。

　図１０に示される測定系にて実施例１～３及び比較例の電磁遮蔽パネル１００，１００ａ，１００ｂ，１００ｅの電磁遮蔽効果の実測値を測定すると共に、図１１に示される測定系にて参照値を測定した。

　詳しくは、実施例１～３及び比較例で製作した電磁遮蔽パネル１００，１００ａ，１００ｂ，１００ｅを、図２に示すように窓枠１２０にはめ込んで被測定体とした。次いで、図１０に示すように、この被測定体を窓部材として取り付けたシールドルーム３００を用いて、被測定体を挟む形で対向させた送信アンテナ５００からの電磁波の電界強度を受信アンテナ６００で測定し、実測値を得た。また、図１１に示すように、自由空間で送信アンテナ５００と受信アンテナ６００を対向させて同じく電界強度を測定して、参照値を得た。更に、参照値から実測値を引いて減衰量を算出し、測定結果とした。測定の細部については、電磁シールド室試験方法の防衛庁規格ＮＤＳ　Ｃ００１２に準拠して行った。測定結果を下記表１に示す。

　表１の結果より、本発明の実施例１～３による電磁遮蔽パネルを用いた窓部材は広い周波数帯域に渡って、良好な電磁遮蔽性能を有していることが明らかになった。また、比較例の電磁遮蔽パネルを用いた窓部材では、特に高周波領域での電磁遮蔽性能が十分でないことが明らかになった。

　比較例と実施例１とを比較すると、窓部材としての厚み寸法もほぼ同じであり、使用した導電メッシュ部材（低周波電磁遮蔽部材１５）の材料も同じで、更に、低周波電磁遮蔽部材１５及び高周波電磁遮蔽部材１３の数も同じである。しかしながら、電磁遮蔽性能には顕著な差が生じている。これは、比較例では低周波電磁遮蔽部材１５と高周波電磁遮蔽部材１３とが重ねられているのに対し、実施例１では互いに離間して配置されているためである。

　また、実施例１、実施例２及び実施例３の測定結果を比較すると、電磁波の遮蔽性に関与する層の数が増える程、電磁遮蔽性能が向上していることが理解される。例えば、実施例１と実施例２の測定結果を比較すると、低い周波数領域における電磁遮蔽性能については両者の間に顕著な差は生じていないが、高い周波数領域では実施例２は実施例１と比較して高い電磁遮蔽性能を有していることが理解される。更に、実施例３では、表面抵抗値が低いことから、実施例２よりも高い周波数領域において更に高い電磁遮蔽性能を有していることが理解される。

　以上、具体的な例を掲げて本発明について詳細に説明してきたが、本発明は上述した実施の形態や実施例に限定されるものではない。本発明の要旨を逸脱しない範囲において、当業者であればなし得るものと予想される各種の変形や構成の変更も本発明の範囲に含まれる。

　　１０，１０ｂ　　　　遮蔽板
　　１１　　　　絶縁板（ガラス板）
　　１１－１　　　第１主面
　　１１－２　　　第２主面
　　１１－３　　　エッジ
　　１３　　　　高周波電磁遮蔽部材（導電薄膜）
　　１５　　　　低周波電磁遮蔽部材（導電メッシュ部材）
　　１６　　　　接着層
　　１７　　　　高周波電磁遮蔽部材（導電フィルム）
　　１８　　　　導電薄膜
　　１９　　　　絶縁フィルム
　　２０，２０ａ　　　　被挟持体
　　２２　　　　被挟持絶縁体
　　２４　　　　被挟持高周波電磁遮蔽部材
　　３０　　　　エッジ接続用導電部材
　　４０　　　　スペーサ
　　５０　　　　空気層
　１００，１００ａ，１００ｂ，１００ｅ　　　　電磁遮蔽パネル
　１１０　　　　シールドガスケット
　１２０　　　　窓枠
　１２５　　　　ネジ
　１３０　　　　圧調整機構
　１３２　　　　金属板
　１３４　　　　調整ネジ
　１４０　　　　導電枠
　１５０　　　　レール
　１６０　　　　導電性ブラシ
　２００，２００ｃ，２００ｄ　　　　窓部材
　３００　　　　シールドルーム
　３１０　　　　閉空間
　４００　　　　シールドボックス
　４１０　　　　閉空間
　５００　　　　送信アンテナ
　６００　　　　受信アンテナ

Claims (6)

1. 　一対の遮蔽板とエッジ接続用導電部材とを少なくとも備える電磁遮蔽パネルであって、
   　前記遮蔽板の夫々は、第１主面及び第２主面並びに４つのエッジを有し且つ可視光透過性を有する絶縁板と、相対的に高い周波数領域において電磁遮蔽機能を有する高周波電磁遮蔽部材であって少なくとも前記第１主面を覆うように配された高周波電磁遮蔽部材と、相対的に低い周波数領域において電磁遮蔽機能を有する低周波電磁遮蔽部材であって少なくとも前記第２主面を覆うように配された低周波電磁遮蔽部材とを備え、前記高周波電磁遮蔽部材と前記低周波電磁遮蔽部材のいずれかで前記絶縁板の前記エッジのすべてを覆うことにより、前記高周波電磁遮蔽部材と前記低周波電磁遮蔽部材とで前記絶縁板を包んでなるものであり、
   　前記エッジ接続用導電部材は、すべての前記高周波電磁遮蔽部材及び前記低周波電磁遮蔽部材を前記一対の絶縁板のすべての前記エッジ近傍において物理的及び電気的に接続している
   電磁遮蔽パネル。
2. 　請求項１記載の電磁遮蔽パネルであって、
   　前記低周波電磁遮蔽部材は、導電メッシュ部材であり、
   　前記遮蔽板の夫々は、前記エッジ近傍の前記エッジ接続用導電部材を除き、前記高周波電磁遮蔽部材が最も外側に位置するように配置されている
   電磁遮蔽パネル。
3. 　請求項１又は請求項２記載の電磁遮蔽パネルであって、
   　前記遮蔽板は、前記第１主面及び前記第２主面と直交する方向において、互いに離間して配置されている
   電磁遮蔽パネル。
4. 　請求項３記載の電磁遮蔽パネルであって、
   　前記一対の遮蔽板に挟持された被挟持体であって可視光透過性を有する被挟持絶縁板を少なくとも一枚有する被挟持体を更に備える
   電磁遮蔽パネル。
5. 　請求項１乃至請求項４のいずれかに記載の電磁遮蔽パネルと窓枠とを備える窓部材。
6. 　請求項５記載の窓部材を備える構造物であって、内部に閉空間を有する構造物。

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