WO2008126647A1 - 形状測定装置及び形状測定方法 - Google Patents

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Abstract

　被検物（２０）にスリット光を投影するスリット状パターン投影部（１）と、そのスリット光が被検物（２０）で反射され、反射してきたパターン像をスリット基線方向と垂直方向に離して複数のスリット像を形成する撮像レンズ（３）と平行平面板（４）と、その複数のスリット像を撮像し、複数のスリット画像を生成する撮像装置（５）と、スリット光のスリット基線方向と異なる方向にスリット光と被検物（２０）とを相対移動させるＸＹＺステージ駆動部（１２）と、スリット基線方向の画素毎に各スリット画像の輝度を比較し、被検物（２０）の形状を求めるのに最適な輝度のスリット画像をスリット基線方向の画素毎に選択し、被検物（２０）の形状を求めるためのスリット画像データを取得するスリット画像選択部（８）と、被検物（２０）に対するスリット光の相対位置とスリット画像データとを用いて被検物（２０）の形状を演算する形状演算部（９）とを備える。
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CN2008800111488A CN101652626B (zh) 2007-04-05 2008-03-18 形状测定装置及形状测定方法
JP2009509033A JP5041303B2 (ja) 2007-04-05 2008-03-18 形状測定装置及び形状測定方法
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012512678A (ja) * 2008-12-18 2012-06-07 シロナ・デンタル・システムズ・ゲゼルシャフト・ミット・ベシュレンクテル・ハフツング 歯科用などの表面構造を記録するカメラ
JP2012211842A (ja) * 2011-03-31 2012-11-01 Mitsutoyo Corp 形状測定装置
JP2012225700A (ja) * 2011-04-18 2012-11-15 Mitsutoyo Corp 形状測定装置
JP2015512030A (ja) * 2012-02-07 2015-04-23 株式会社ニコン 結像光学系、撮像装置、形状測定装置、構造物製造システム、及び構造物製造方法

Families Citing this family (41)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9482755B2 (en) 2008-11-17 2016-11-01 Faro Technologies, Inc. Measurement system having air temperature compensation between a target and a laser tracker
JP5350928B2 (ja) * 2009-07-30 2013-11-27 オリンパスイメージング株式会社 カメラ及びカメラの制御方法
US9250328B2 (en) * 2009-09-30 2016-02-02 Javad Gnss, Inc. Graphics-aided remote position measurement with handheld geodesic device
US9400170B2 (en) 2010-04-21 2016-07-26 Faro Technologies, Inc. Automatic measurement of dimensional data within an acceptance region by a laser tracker
US8619265B2 (en) 2011-03-14 2013-12-31 Faro Technologies, Inc. Automatic measurement of dimensional data with a laser tracker
US9377885B2 (en) 2010-04-21 2016-06-28 Faro Technologies, Inc. Method and apparatus for locking onto a retroreflector with a laser tracker
US9772394B2 (en) 2010-04-21 2017-09-26 Faro Technologies, Inc. Method and apparatus for following an operator and locking onto a retroreflector with a laser tracker
WO2011145319A1 (ja) * 2010-05-19 2011-11-24 株式会社ニコン 形状測定装置及び形状測定方法
US8125376B1 (en) 2010-08-30 2012-02-28 Javad Gnss, Inc. Handheld global positioning system device
JP5765651B2 (ja) * 2011-02-01 2015-08-19 Ｊｕｋｉオートメーションシステムズ株式会社 ３次元測定装置
GB2518544A (en) 2011-03-03 2015-03-25 Faro Tech Inc Target apparatus and method
JP2014509730A (ja) * 2011-04-01 2014-04-21 株式会社ニコン 形状測定装置、形状測定方法、及び構造物の製造方法
US9686532B2 (en) 2011-04-15 2017-06-20 Faro Technologies, Inc. System and method of acquiring three-dimensional coordinates using multiple coordinate measurement devices
DE112012001708B4 (de) 2011-04-15 2018-05-09 Faro Technologies, Inc. Koordinatenmessgerät
US9164173B2 (en) 2011-04-15 2015-10-20 Faro Technologies, Inc. Laser tracker that uses a fiber-optic coupler and an achromatic launch to align and collimate two wavelengths of light
US9482529B2 (en) 2011-04-15 2016-11-01 Faro Technologies, Inc. Three-dimensional coordinate scanner and method of operation
EP2527784A1 (de) * 2011-05-19 2012-11-28 Hexagon Technology Center GmbH Optisches Messverfahren und Messsystem zum Bestimmen von 3D-Koordinaten auf einer Messobjekt-Oberfläche
KR101838329B1 (ko) * 2011-05-20 2018-03-13 유니베르시타트 폴리테크니카 데 카탈루냐 표면을 비접촉 측정하기 위한 방법 및 디바이스
JP5854680B2 (ja) * 2011-07-25 2016-02-09 キヤノン株式会社 撮像装置
JP5494597B2 (ja) * 2011-09-16 2014-05-14 株式会社安川電機 ロボットシステム
JP6016264B2 (ja) 2011-09-26 2016-10-26 ジャバド ジーエヌエスエス， インコーポレイテッド 視覚ステークアウト
DE102011116791B4 (de) * 2011-10-24 2014-05-15 SmartRay GmbH Optisches Prüfverfahren mit Mehrfach-Auslesung/Einfrieren
DE112013000727T5 (de) 2012-01-27 2014-11-06 Faro Technologies, Inc. Prüfverfahren mit Strichcode-Kennzeichnung
EP2637011A1 (fr) * 2012-03-09 2013-09-11 Essilor International Procédé et appareil de mesure de la structure géométrique d'un composant optique
JP6116164B2 (ja) * 2012-09-11 2017-04-19 株式会社キーエンス 形状測定装置、形状測定方法および形状測定プログラム
US9131118B2 (en) * 2012-11-14 2015-09-08 Massachusetts Institute Of Technology Laser speckle photography for surface tampering detection
US9041914B2 (en) 2013-03-15 2015-05-26 Faro Technologies, Inc. Three-dimensional coordinate scanner and method of operation
US20150260509A1 (en) * 2014-03-11 2015-09-17 Jonathan Kofman Three dimensional (3d) imaging by a mobile communication device
US9395174B2 (en) 2014-06-27 2016-07-19 Faro Technologies, Inc. Determining retroreflector orientation by optimizing spatial fit
US9485491B2 (en) * 2014-12-15 2016-11-01 Test Research, Inc. Optical system
DE102015109431A1 (de) * 2015-06-12 2016-12-15 Witrins S.R.O. Inspektionssystem und Verfahren zur Fehleranalyse von Drahtverbindungen
JP6532325B2 (ja) * 2015-07-09 2019-06-19 キヤノン株式会社 被計測物の形状を計測する計測装置
JP6189984B2 (ja) * 2016-02-12 2017-08-30 Ckd株式会社 三次元計測装置
JP6795993B2 (ja) * 2016-02-18 2020-12-02 株式会社ミツトヨ 形状測定システム、形状測定装置及び形状測定方法
JP6761488B2 (ja) * 2017-01-31 2020-09-23 富士フイルム株式会社 ３次元情報検出装置
JP7186019B2 (ja) * 2017-06-20 2022-12-08 株式会社ミツトヨ 三次元形状計測装置及び三次元形状計測方法
JP6862303B2 (ja) * 2017-06-30 2021-04-21 株式会社ミツトヨ 光学測定装置
KR102015384B1 (ko) * 2017-11-15 2019-08-28 주식회사 마인즈아이 투명면 및 반사면 검사 방법 및 장치
CN112805530B (zh) * 2018-11-14 2022-08-02 株式会社村田制作所 测定装置以及使用了测定装置的投光系统
CA3141237C (en) 2019-06-28 2022-03-15 Institut National D'optique (Ino) Triangulation-based optical profilometry system
JP7530763B2 (ja) * 2020-08-06 2024-08-08 Ｔｏｗａ株式会社 切断装置、及び、切断品の製造方法

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09126735A (ja) * 1995-11-02 1997-05-16 Tokai Rika Co Ltd 多重結像カメラ及びこのカメラを用いた形状測定方法
JPH09196633A (ja) * 1996-01-16 1997-07-31 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> 物体計測方法および装置
JP2000009444A (ja) 1998-06-23 2000-01-14 Takaoka Electric Mfg Co Ltd 表面形状計測装置
JP2003166813A (ja) * 2001-11-30 2003-06-13 Shibuya Kogyo Co Ltd 物体の三次元形状認識装置
JP2004053427A (ja) * 2002-07-22 2004-02-19 Shikoku Kakoki Co Ltd 溶接ビードの品質評価方法およびそのための形状測定方法

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS60200103A (ja) * 1984-03-26 1985-10-09 Hitachi Ltd 光切断線抽出回路
CA2044820C (en) * 1990-06-19 1998-05-26 Tsugito Maruyama Three-dimensional measuring apparatus
US6678411B1 (en) * 1999-06-04 2004-01-13 Look Dynamics, Inc. Apparatus and method for characterizing, encoding, storing, and searching images by shape
WO2001073375A1 (fr) * 2000-03-31 2001-10-04 Omron Corporation Capteur de deplacement
US6839144B2 (en) * 2001-03-25 2005-01-04 Omron Corporation Optical displacement sensor
JP2003240521A (ja) * 2002-02-21 2003-08-27 Bridgestone Corp 被検体の外観・形状検査方法とその装置、及び、被検体の外観・形状検出装置
CN1308655C (zh) * 2005-10-13 2007-04-04 华中科技大学 一种二维外形轮廓自扫描投影测量装置

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09126735A (ja) * 1995-11-02 1997-05-16 Tokai Rika Co Ltd 多重結像カメラ及びこのカメラを用いた形状測定方法
JPH09196633A (ja) * 1996-01-16 1997-07-31 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> 物体計測方法および装置
JP2000009444A (ja) 1998-06-23 2000-01-14 Takaoka Electric Mfg Co Ltd 表面形状計測装置
JP2003166813A (ja) * 2001-11-30 2003-06-13 Shibuya Kogyo Co Ltd 物体の三次元形状認識装置
JP2004053427A (ja) * 2002-07-22 2004-02-19 Shikoku Kakoki Co Ltd 溶接ビードの品質評価方法およびそのための形状測定方法

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2012512678A (ja) * 2008-12-18 2012-06-07 シロナ・デンタル・システムズ・ゲゼルシャフト・ミット・ベシュレンクテル・ハフツング 歯科用などの表面構造を記録するカメラ
JP2012211842A (ja) * 2011-03-31 2012-11-01 Mitsutoyo Corp 形状測定装置
JP2012225700A (ja) * 2011-04-18 2012-11-15 Mitsutoyo Corp 形状測定装置
JP2015512030A (ja) * 2012-02-07 2015-04-23 株式会社ニコン 結像光学系、撮像装置、形状測定装置、構造物製造システム、及び構造物製造方法

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