WO2008090635A1

WO2008090635A1 - プローブおよびそれを用いた電気的接続装置

Info

Publication number: WO2008090635A1
Application number: PCT/JP2007/059424
Authority: WO
Inventors: Shinji Kuniyoshi; Yuji Miyagi
Original assignee: Kabushiki Kaisha Nihon Micronics
Priority date: 2007-01-22
Filing date: 2007-04-26
Publication date: 2008-07-31
Also published as: CN101356443A; DE112007000415T5; DE112007000415B4; JP5113392B2; KR20080085132A; KR101000005B1; CN101356443B; US7924038B2; US20100219854A1; TW200835916A; TWI349106B; JP2008175762A

Abstract

　針先によって削られる電極の削りかすによる影響を受けにくいアライメントマークが設けられたプローブを提供する。本発明に係るプローブは、取付け端を有し該取付け端から遠ざかる方向へ伸びる基部と、前記取付け端から前記基部の伸長方向へ間隔をおいて、前記基部からその横方向へ伸長するアーム部と、該アーム部から突出し、その突出端に針先が形成された針先部と、前記針先の位置決めのためのアライメントマークとを備える。前記アーム部は、該アーム部の伸長方向へ沿って見て前記基部の前記取付け端が位置する側と反対側に平坦面領域を有する。前記針先部は前記平坦面領域から突出して形成され、前記アライメントマークは前記平坦面領域の少なくとも一部で構成されている。

Description

明細書プローブおよびそれを用いた電気的接続装置技術分野

本発明は、半導体集積回路のような半導体装置の通電試験に用いるのに好適なプローブおよびこのプロ一ブが組み込まれた電気的接続装置に関する。背景技術

半導体ウェハの各チップ領域上に形成された多数の半導体集積回路のような半導体装置は、それぞれが仕様書通りに製造されているか否かを判定するために、通電試験を受ける。この種の通電試験では、一般的にプローブカードと称される電気的接続装置が用いられる。プローブカードは通電試験のためのテスターに組み付けられ、プローブカードに設けられた多数のプローブ（接触子）がステージ上の被検査体の対応する各電極に押し付けられる。被検査体は、このプローブ力ードを経てテスターに接続され、これにより通電試験を受ける。

前記したプローブは、プローブ基板から突出する基部と、該基部から前記基板に沿って横方向へ伸長するアーム部と、該アーム部から前記基板と反対側に突出するパッド部（針先部）とを備え、このパッド部に針先が形成されている。パッド部は、この針先が被検查体の電極に押圧されたとき、アーム部の下面と被検査体あるいはこれに設けられた他の電極との干渉を防止し、針先を確実に電極に接触させるために設けられている。プローブカードの各プローブと被検查体の対応する電極との位置合わせに用いられるァライメントマークが、このパッド部に形成されている（例えば、特許文献 1または 2参照）。このァライメントマークの撮影画像から、被検查体が配置される支持台とプローブカードとの相対位置情報が得られ、この位置情報に基づいてプローブカードの位置調整が行われる。

[特許文献 1 ] 特表 2 0 0 5— 5 3 3 2 6 3号公報

[特許文献 2 ] 特開 2 0 0 4— 3 4 0 6 5 4号公報

し力しながら、パッド部に設けられたァライメントマ ^クは針先の高さ位置の近傍に設けられることとなる。ァライメントマークが針先の高さ位置に近くに形成されていると、針先に付着した電極の削りかすがァライメントマークに付着することがある。ァライメントマークに付着する電極の削りかすは、ァライメントマークの正確な画像形状の判別を困難にすることがある。そのため、従来の電気的接続装置では、その正確な位置調整が困難になることがあった。発明の開示

発明が解決しょうとする課題

したがって、本宪明の目的は、プローブの針先によつて削られた電極の削りかすによる影響を受けにくいァライメントマークが設けられたプロープおよぴ該プローブが組み込まれた電気的接続装置を提供することにある。課題を解決するための手段

本発明に係るプローブは、取付け端を有し該取付け端から遠ざかる方向へ伸びる基部と、前記取付け端から前記基部の伸長方向へ間隔をおいて、前記基部からその横方向へ伸長するアーム部と、該アーム部から突出し、その突出端に針先が形成された針先部と、前記針先の位置決めのためのァライメントマークとを備える。前記アーム部は、該アーム部の伸長方向へ沿って見て前記基部の前記取付け端が位置する側と反対側に平坦面領域を有し、前記針先部は前記平坦面領域から突出して形成され、前記ァライメントマークは前記平坦面領域の少なくとも一部で構成されている。 '

本発明に係るプローブでは、ァライメントマークが形成される前記平坦面領域から針先までの距離は、該針先の高さ分と、該針先が形成される針先部（パッド部）の段差分との和になる。したがって、その距離は、従来に比較して針先部の段差分が増大するので、この段差の増大により、針先に付着した電極パッドの削りかすがァライメントマークに付着し難くなる。

また、本発明に係るプローブは、例えばフォトリソグラフィを利用したマスクでプロープの外形を有する凹所を形成し、該凹所にプローブのための導電材料を例えば電気メツキを利用して堆積することにより、比較的容易に形成することができる。このマスクの形成時、プローブの平面形状を形成する凹所の縁部に、前記平坦面領域に対応する平坦面部分を形成することにより、前記アーム部にァラィメントマークの形成のための格別なマーキング加工を施す必要なく、本発明に係るプローブを容易に形成することができる。

前記ァライメントマークを構成する平坦面領域部分の法線は、前記針先部の前記針先の突出方向と同一方向へ向けることが望ましい。

前記針先部の針先の平坦面を除き、ァライメントマークを撮影する撮影装置への反射面が前記針先部に形成されないように該針先部を形成することが望ましレ、。この場合、例えば針先部の側面は針先の平坦面に関して 2 0度を超える角度関係で形成される。

前記アーム部の前記平坦面領域は前記アーム部の下面で構成することができる。この下面は、前記アーム部の前記基部の取付け端が位置する側と反対側に位置しかつ前記アーム部の伸長方向に沿って伸びる矩形平面形状とすることができる。前記針先部は、前記下面に該下面を前記アーム部の伸長方向に分断すべく形成することができる。この場合、前記下面のうち前記針先部で分断された一方の平坦面領域部分で前記ァライメントマークを構成することができる。

また、前記針先部を前記アーム部の伸長端から間隔をおいて形成することにより、前記アーム部の下面のうち、前記伸長端と前記 ^"先部との間に形成された平坦面領域部分で前記ァライメントマークを構成することができる。

前記ァライメントマークはほぼ正方形に形成することができる。

前記針先部に、前記ァライメントマークを構成する前記平坦面領域部分に近接して該平坦面領域部分から立ち上がる側壁を形成し、該側壁の前記平坦面領域部分に近接する部分を前記平坦面領域部分へ向けて開放する ω状の曲線とすることができる。

前記アーム部を前記基部の縦方向へ相互に間隔をおいて横方向へ伸長する一対のアーム部分で構成することができる。この場合、一対のアーム部分のうちの前記基部の取付け端から離れた側に位置する下方アーム部分の下面で前記平坦面領域を形成することができる。

本発明に係るプローブは、これを複数の配線路が形成されたプロ一ブ基板の対応する前記配線路に接続されるように、前記プローブ基板に取り付けることにより、該プローブ基板と共に電気的接続装置を構成することができる。発明の効果 ·

本発明によれば、ァライメントマークに電極パッドの削りかすが付着し難くなるので、この削りかすによってァライメントマークの鮮明な画像の撮影が妨げられることが少なくなる。その結果、正確なァライメントマーク画像の認識に基づいてプロ一ブの針先の正確な位置決め作業が可能となる。図面の簡単な説明

図 1は、本発明に係る電気的接続装置のァライメント例を示す説明図である。図 2は、図 1に示した電気的接続装置の底面図である。

図 3は、本発明に係る電気的接続装置のプローブを拡大して示す正面図である。図 4は、本発明に係る電気的接続装置のプローブを拡大して示す側面図である。図 5は、本発明に係るプローブの斜視図である。

図 6は、本発明に係るプローブのァライメントマーク撮影画像の一例を示す図 EIであ。。

図 7は、本発明に係るプローブの他の例を部分的に示す正面図である。発明を実施するための最良の形態

本発明に係る電気的接続装置 1 0は、図 1に示す例では、半導体ウェハ 1 2の電気的検査のために用いられている。半導体ウェハ 1 2は、図示の例では、 X Y Z Θステージ 1 4上に設置されたチャックトップ 1 6に、例えば吸引負圧により、取り外し可能に保持されている。半導体ウェハ 1 2には、図示しないが、多数の I Cチップ領域がマトリックス状に配列され、各 I Cチップ領域のそれぞれに集積回路が作り込まれている。この集積回路に形成された多数の電極と、その電気的試験のためのテスター本体（図示せず）とを接続するために、電気的接続装置 1 0が Χ Υ Ζ Θステージ 1 4の上方で、図示しないテスタへッドに保持されている。電気的接続装置 1 0は、複数の配線路 1 8 (図 3および図 4参照）が設けられたプローブ基板 2 0と、該プロープ基板に取り付けられた多数のプローブ 2 2とを備える。各プローブ 2 2は、図 2に示すように、プローブ基板 2 0の下面 2 0 aに、その針先 2 4が半導体ウェハ 1 2の前記電極に対応するように、各直線 ( L ) 上に整列するように配列されている。プローブ基板 2 0は、図 1に示したように、その下面 2 0 aに設けられたプローブ 2 2の針先 2 4を下方へ向け、またプローブ基板 2 0が Χ Υ Ζ Θステージ 1 4上のチャックトップ 1 6と平行となるように、その上面 2 0 bに結合された回路基板 2 6を介して、前記テスタへッドに保持されている。

プローブ基板 2 0に設けられた各プローブ 2 2は、従来よく知られているように、該プロープに対応する配線路 1 8、該配線路に対応して回路基板 2 6に設けられた導電路（図示せず）を経て該配線基板の上面 2 0 bに設けられた各テスタランド 2 8 (図 2参照）に接続されている。各テスタランド 2 8は、従来におけると同様に、図示しない配線を経て前記テスター本体に接続されている。したがつて、各プローブ 2 2は、対応するテスタランド 2 8を経て、前記テスター本体に電気的に接続されている。

X Y Z 0ステージ 1 4は、従来よく知られているように、例えば図 1で見て横方向に沿った X軸方向、 X軸と紙面とに直角な Y軸方向、および X軸と Y軸とに直角な Z軸方向に沿つた変位が可能であり、さらに Z軸の周りの回転 Θが可能である。この Χ Υ Ζ Θステージ 1 4上には、その上方に位置する電気的接続装置 1 0に設けられたァライメントマークを撮影するための例えば C C Dカメラのような撮像装置 3 0が設けられている。

撮像装置 3 0によって電気的接続装置 1 0に設けられたァライメントマークの撮影画像が得られると、従来よく知られた画像処理により、被検査体である半導体ウェハ 1 2が配置されたチャックトップ 1 6とプローブカードである電気的接続装置 1 0との相対位置情報が得られ、この位置情報に基づいて、各プローブ 2 2の針先 2 4が半導体ウェハ 1 2の対応する前記電極に接触可能なように、 X Y 2 0ステージ1 4が軸、 Y軸の各方向おょぴ Z軸の周りに駆動され、これにより電気的接続装置 1 0の半導体ウェハ 1 2に対する相対位置が調整される。この位置調整の後、半導体ウェハ 1 2の前記電極が対応するプローブ 2 2の針先 2 4に接続されるように、 ΧΥ Ζ Θステージ 1 4が Z軸方向に駆動される。これらのプローブ 2 2の針先 2 4と、対応する前記各電極との電気的接続により、前記テスター本体が半導体ウェハ 1 2上の各集積回路に接続され、所定の電気的検査が行われる。

前記した電気的接続装置 1 0の位置調整のために用いられるァライメントマークが設けられたプローブ 2 2が、図 3およぴ図 4に示されている。プローブ 2 2 は、全体に板状の導電部材からなる。プローブ 2 2は、一端が配線路 1 8への取付け端 3 2 aとなる基部 3 2と、該基部の他端に連なって横方向に伸長するァーム部 3 4と、該アーム部の伸長端部に一体的に形成された針先部 3 6とを備え、該針先部の先端に針先 2 4が形成されている。

針先 2 4を除く部分 3 2、 3 4および 3 6を例えばニッケル、ニッケル合金あるいは燐青銅のような高靱性を有する金属材料で形成することが望ましい。針先

2 4を他の部分 3 2、 3 4および 3 6と同一金属材料で形成することができる。しかしながら、耐久性を高める上で、針先 2 4をコバルト、ロジウムあるいはそれらの合金のような高硬度金属材料で形成し、この針先 2 4を針先部 3 6の突出端に埋め込むことが好ましい。

また、図示の例では、アーム部 3 4の撓み変形を容易とするために、アーム部

3 4を上下の両アーム部分 3 4 a、 3 4 bに分ける長穴 3 8がアーム部 3 4の長手方向へ伸びる。この長穴 3 8は、アーム部 3 4をその板厚方向へ貫通して形成されている。また、図示の例では、針先部 3 6および基部 3 2にそれぞれを板厚方向へ貫通する穴 4 0、 4 2、 4 4が形成されている。

針先部 3 6に形成された穴 4 0は、後で詳細に説明するが、針先部 3 6の針先 2 4が前記電極に押圧されたときのアーム部 3 4の橈み変形に伴う針先部 3 6の弾性的な変形を促進する作用をなす。また、基部 3 2に設けられた穴 4 2および

4 4は、後述するように、プローブ 2 2を図示しない基台上でその金属材料を堆積して形成した後、プローブ 2 2を前記基台上から剥離するためにエッチング液が用いられるが、このエッチング液が前記基台とプローブ 2 2との間に侵入することによってエッチング液のエツチング作用を促進するための穴である。したがつて、これらの穴 4 0、 4 2、 4 4は、不要とすることができる。

基部 3 2の取付け端 3 2 aは、図示の例では、配線路 1 8との間に、はんだ材料 4 6 ' を保留するための間隙を保持するために、波状に形成されている。取付' け端 3 2 aを配線路 1 8に平行な平坦面とすることができるが、基部 3 2と配線路 1 8との強固な結合のために、図示の通りの波状端面とすることが望ましい。アーム部 3 4は、基部 3 2の一側から、取付け端 3 2 aに所定の間隔をおいて、すなわちプローブ基板 2 0から所定の間隔をおいて横方向に伸びる。図示の例では、前記したように、アーム部 3 4は長穴 3 8により上方おょぴ下方のアーム部分 3 4 a、 3 4 bに分けられており、両アーム部分 3 4 a、 3 4 bはその両端で一体に連結されている。

両アーム部分 3 4 a、 3 4 bのうち、基部 3 2の取付け端 3 2 aから離れた側に位置する下方アーム部分 3 4 bの下面 4 6は、図 4および図 5に示されているように、プローブ基板 2 0に沿った水平面にほぼ平行な平坦面で形成されており、アーム部 3 4の伸長方向に沿った細長い矩形の平面形状を呈する。

針先部 3 6は、図 5に示すように、アーム部 3 4の先端から間隔 W をおくように、アーム部 3 4 bの平坦面領域である下面 4 6から直角方向へ突出して形成されている。そのため、下面 4 6は、針先部 3 6により、間隔 W に対応する第 1の平坦面領域部分である下面部分 4 6 aと、残部で構成される第 2の平坦面領域部分である下面部分 4 6 bとに、アーム部 3 4の伸長方向で分断されている。この下面 4 6を分断する針先部 3 6の突出端に前記した針先 2 4が形成されている。したがって、針先部 3 6の突出方向およぴ針先 2 4の突出方向は、第 1の下面部分 4 6 aおよぴ第 2の下面部分 4 6 bからなる下面 4 6の法線方向と一致している。

図 6は、撮像装置 3 0で捉えたプロープ 2 2の撮影画像を示す。図 6には、第 1の下面部分 4 6 a、針先 2 4および第 2の下面部分 4 6 bに対応する画像部分力便宜的にそれぞれ同一の参照符号を付して示されている。下面部分 4 6 aに対応する画像部分が、針先 2 4の画像部分に近接するほぼ正方形の画像部分として示されている。

再ぴ図 5を参照するに、第 1の平坦面領域部分である下面部分 4 6 aに近接して該下面部分から立ち上がる針先部 3 6の一方の側壁 4 8には、下面部分 4 6 a に連なる曲面部分 4 8 aが形成されている。この曲面部分 4 8 aにより、側壁 4 8には、側方に開放する M部が形成される。

プローブ 2 2の針先 2 4が半導体ウェハ 1 2の対応する前記電極に接触した後、さらにプローブ 2 2にオーバドライブ力が作用すると、プローブ 2 2の両アーム部分 3 4 a、 3 4 bには、アーム部 3 4の先端を上方へ向けて変位させるような弧状の弾性変形が生じる。オーバドライブ力によりアーム部 3 4に前記した弧状の弾性変形が生じると、針先 2 4は前記電極上を符号 5 0で示す矢印方向への滑りを生じる。

この針先 2 4の滑りは、前記電極上の酸化膜を破り、針先 2 4と前記電極との電気的接続を確実にする。このとき、針先 2 4の滑りに伴ない、針先部 3 6の側壁 4 8には圧縮力が作用する。側壁 4 8に形成された曲面部分 4 8 aは、この圧縮力を分散し、その部分的集中による応力の増大を防止することにより、針先部 3 6の側壁 4 8における機械的強度を高める作用をなす。

また、前記したように針先部 3 6の穴 4 0は、針先 2 4の滑りに伴う針先部 3 6の弾性変形を促進することにより、針先 2 4と前記電極との電気的接続をより確実にする。

本発明に係る電気的接続装置 1 0では、そのプローブ 2 2のアーム部 3 4の下面 4 6に形成された第 1の平坦面部分である第 1の下面部分 4 6 aがァライメントマークとして用いられる。したがって、図 6で示したように、プローブ基板 2 0の所定のプローブ 2 2に設けられた下面部分 4 6 aに対応する画像部分が撮像装置 3 0により捉えられると、従来におけると同様に、プローブ基板 2 0上でのプローブ 2 2の予め知られた位置情報から、 X Y Z 0ステージ 1 4上の半導体ゥェハ 1 2に対する下面部分 4 6 aの位置情報が求められる。その位置情報に基づいて、電気的接続装置 1 0の各プローブ 2 2が半導体ウェハ 1 2上の対応する前記電極と適正に接続されるように、電気的接続装置 1 0と半導体ウェハ 1 2との相対位置が X Y Z 0ステージ 1 4の駆動により、調整される。

このァライメントマークとして使用される下面部分 4 6 aは、前記したように、針先 2 4から針先部 3 6の高さ分の段差を以て形成されている。そのため、前記したような針先 2 4の滑りによって半導体ウェハ 1 2の前記電極が削られても、その削りかすが下面部分 4 6 a上に付着することを確実に防止できるので、下面部分 4 6 aの画像に前記した削りかすが写り込むことはない。

そのため、撮像装置 3 0により得られるァライメントマーク像（4 6 a ) の輪郭に前記した削りかすの画像が紛れることはなく、明確な輪郭のァライメントマーク像（4 6 a ) が得られる。したがって、正確なァライメントを迅速に行うことが可能となる。

ァライメントマークとして第 2の下面部分 4 6 bを用い、その撮影画像部分 ( 4 6 b ) をァライメントマーク像として利用することができる。しかしながら、図 6に示すように、第 1の下面部分 4 6 aが第 2の下面部分 4 6 bに比較して針先 2 4に近接することから、各プローブ 2 2の針先 2 4位置の精度を高める上で、下面部分 4 6 aをァライメントマークとして用いることが望ましい。

また、図 3に示すように、針先部 3 6の側面のいずれの部分においても、該側面と針先 2 4の平坦面との交差角 aが例えば 2 0度を超える角度となるように針先部 3 6の側面形状を構成することが望ましい。これにより、針先部 3 6の針先 2 4を除く部分からの強い反射光が撮像装置 3 0により捉えられることを確実に防止することができる。すなわち、針先部 3 6の側面と針先 2 4の平坦面との交差角 _αが例えば 2 0度を超える角度となるように針先部 3 6の側面形状を構成することにより、針先部 3 6の針先 2 4を除く部分が反射面として作用することを防止できるので、針先部 3 6の画像部分と、ァライメントマーク像との識別性を高めることができる。

プローブ基板 2 0に設けられるすべてのプローブ 2 2に下面部分 4 6 aを有するプローブ 2 2を用いることができる。し力しながら、ァライメントマーク 4 6 aが設けられた少なくとも 3本のプローブ 2 2をプローブ基板 2 0上で相互に間隔をおくように配置することが望ましい。この場合、他のプローブ 2 2として、例えば針先部 3 6がアーム部 3 4 bの先端から間隔 W をおくことなく下面 4 6 から立ち上がることにより、前記したァライメントマーク 4 6 aが設けられていないプローブを用いることができる。これにより、ァライメントに用いるァライメントマーク 4 6 aが付された対象プローブ 2 2と他のプローブ 2 2との識別が容易に行える。

前記したプローブ 2 2は、例えば、次のようにして形成することができる。先ず、半導体製造工程で用いられるフォトリソグラフィ技術により、フォトレジストでプローブ 2 2の平面形状（針先 2 4を除く他の部分 3 2、 3 4および 3 6の平面形状であっても良い）を有する凹状パターンを基台上に形成する。次に、このレジストパターンによって形成された凹状部にエレクトロフォーミングのようなメツキあるいはスパッタリング等の堆積法でプローブ 2 2のための金属材料を順次その厚さ方向に堆積する。その後、レジストパターンを除去し、プローブ 2 2をエッチングにより、前記基台から部分的に剥離させた後、プローブ 2 2が前記基台から引き剥がされる。

このエッチング処理では、エッチング液がプローブ 2 2の基部 3 2に設けられた穴 4 2、 4 4を経てプローブ 2 2と前記基台との間に回り込むことから、前記したように穴 4 2、 4 4を設けることにより、プローブ 2 2を前記基台から剥離するためのエッチング処理を効果的に行うことができる。このエッチング促進効果については、長穴 3 8および穴 4 0も同様に作用する。

図 3および 5に示した例では、針先部 3 6の側壁 4 8に凹状の曲面部分 4 8 a を形成した例を示した。これに代えて、図 7に実線で示すとおり、側壁 4 8を下面部分 4 6 aに直角な直立側壁とすることができる。また、図 7に仮想線で示すとおり、側壁 4 8が撮像装置 3 0による下面部分 4 6 aの実質的な妨げにならない限り、該側壁を外方に膨らむ凸状の曲面側壁とすることができる。産業上の利用可能性

本発明は、上記実施例に限定されず、その趣旨を逸脱しない限り、種々に変更することができる。符号の説明

1 0 電気的接続装置

2 0 プロープ基板

2 2 プローブプローブの針先

撮像装置

プローブの基部

a 取付け端

アーム部

a、 3 4 アーム部分針先部

アーム部分の下面 a、 4 6 b 平坦面領域部分側壁

a 側壁の曲面部分

Claims

請求の範囲

1 . 取付け端を有し該取付け端から遠ざかる方向へ伸びる基部と、前記取付け端から前記基部の伸長方向へ間隔をおいて、前記基部からその横方向へ伸長するアーム部と、該アーム部から突出し、その突出端に針先が形成された針先部と、前記針先の位置決めのためのァライメントマークとを備えるプローブであって、前記アーム部は、該アーム部の伸長方向へ沿って見て前記基部の前記取付け端が位置する側と反対側に平坦面領域を有し、前記針先部は前記平坦面領域から突出して形成され、前記ァライメントマークは前記平坦面領域の少なくとも一部で構成されていることを特徴とするプローブ。

2 . 前記ァラィメントマークを構成する平坦面領域部分の法線は、前記針先部の前記針先の突出方向と同一方向へ向けられている、請求の範囲 1に記載のプローブ。

3 . 前記ァライメントマークは撮影手段により撮影可能であり、前記針先部には前記針先を除いて前記撮影手段への反射面が形成されていない、請求の範囲 1 に記載のプローブ。

4 . 前記アーム部の前記平坦面領域は前記アーム部の下面であり、該下面は前記アーム部の前記基部の取付け端が位置する側と反対側に位置しかつ前記アーム部の伸長方向に沿って伸びる矩形平面形状を有する、請求の範囲 1に記載のプローブ。

5 . 前記針先部は前記下面に該下面を前記アーム部の伸長方向に分断すべく形成され、前記下面のうち前記針先部で分断された一方の平坦面領域部分で前記ァライメントマークが構成されている、請求の範囲 4に記載のプロ一ブ。

6 . 前記針先部は前記アーム部の伸長端から間隔をおいて形成され、前記ァーム部の下面のうち、前記伸長端と前記針先部との間に形成された平坦面領域部分で前記ァライメントマークが構成されている、請求の範囲 5に記載のプローブ。

7 . 前記ァライメントマークはほぼ正方形である、請求の範囲 6に記載のプローブ。

8 . 前記針先部は前記ァライメントマークを構成する前記平坦面領域部分に近接して該平坦面領域部分から立ち上がる側壁を備え、該側壁の前記平坦面領域部分に近接する部分は、前記平坦面領域部分へ向けて開放する凹状の曲線に沿って縦方向へ伸びる、請求の範囲 6に記載のプローブ。

9 . 前記アーム部は、前記基部の縦方向へ相互に間隔をおいて横方向へ伸長する一対のアーム部分を備え、該一対のアーム部分のうち、前記基部の取付け端から離れた側に位置する下方アーム部分の下面が前記平坦面領域を形成する、請求の範囲 1に記載のプローブ。

1 0 . 複数の配線路が形成されたプローブ基板と、該プロープ基板の対応する前記配線路に接続されるように前記プローブ基板に取り付けられる多数のプロ一ブとを備える電気的接続装置であって、前記各プローブは、前記プローブ基板への取付け端を有する基部と、該基部から前記プローブ基板と間隔をおいて該プローブ基板に沿って横方向へ伸長するアーム部と、該アーム部から突出しその突出端に針先が形成された針先部とを備え、少なくとも一つの前記プローブは、さらに前記針先の位置決めのためのァライメントマークを備え、

前記ァライメントマークを備える前記プローブの前記アーム部は、該アーム部の前記プローブ基板が位置する側と反対側に平坦面領域を有し、前記ァライメントマークを備える前記プローブの前記針先部は、前記平坦面領域から突出して形成され、前記ァライメントマークは前記平坦面領域の少なくとも一部で構成されていることを特徴とする電気的接続装置。

1 1 . 前記ァライメントマークは撮影手段により撮影可能であり、前記針先部には前記針先を除いて前記撮影手段への反射面が形成されていない、請求の範囲 1 0に記載の電気的接続装置。

1 2 . 前記アーム部の前記平坦面領域は前記アーム部の下面であり、該下面は前記アーム部の前記基部の取付け端が位置する側と反対側に位置しかつ前記ァ一ム部の伸長方向に沿って伸びる矩形平面形状を有する、請求の範囲 1 0に記載の電気的接続装置。

1 3 . 前記針先部は前記アーム部の伸長端から間隔をおいて形成され、前記ァーム部の前記下面のうち、前記伸長端と前記針先部との間に形成された平坦面領域部分で前記ァライメントマークが構成されている、請求の範囲 1 2に記載の電気的接続装置。