WO2008087992A1

WO2008087992A1 - 焦点検出装置、顕微鏡

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Publication number: WO2008087992A1
Application number: PCT/JP2008/050463
Authority: WO
Inventors: Ichiro Sase
Original assignee: Nikon Corporation
Priority date: 2007-01-19
Filing date: 2008-01-09
Publication date: 2008-07-24
Also published as: CN101583895B; US8208202B2; CN101583895A; EP2107406A4; EP2107406A1; US20090273830A1; JP5463671B2; JPWO2008087992A1

Abstract

　焦点検出に利用する光の波長帯域を限定し、それ以外のより広い波長帯域の光を顕微鏡による観察に使用可能とした焦点検出装置、及びこれを備えた顕微鏡を提供する。特定の波長帯域の光を発する光源１６と、光源１６からの光のみを反射して顕微鏡２の観察対象物６ａへ導き、観察対象物６ａから反射した光源１６からの光は反射し、光源１６からの光の反射光を除く、少なくとも２つの異なる波長帯域の観察対象物６ａからの光を透過する反射部材１５と、観察対象物６ａからの光源１６の光の反射光を受光する受光手段２１と、受光手段２１からの信号に基づいて顕微鏡２の対物レンズ８と観察対象物６ａとの焦点ずれを検出する制御手段２２と、を有し、前記特定の波長帯域以外の光を顕微鏡２の観察光として使用可能としたことを特徴とする。

Description

明細書焦点検出装置、顕微鏡 · 技術分野

本発明は、焦点検出装置、顕微鏡に関する。背景技術

従来、生物顕微鏡用の焦点検出装置が多数提案されており、例えば近赤外光の反射を利用して試料近傍のガラス界面を検出して焦点合わせを行いこれを維持する技術（例えば、特開 2004- 70276号公報を参照。）は、投薬を伴う観察や長時間にわたる観察を行う際、さらには試料の複数箇所を連続的に観察する際に非常に有効である。

しかしながら近年の生物顕微鏡では、蛍光観察に際して用いられる蛍光色素の長波長化が進んでおり、さらには光ピンセットや 2光子励起法等の観察方法も使用されるようになってきている。したがって、生物顕微鏡において観察光として使用される光の波長は可視光領域に留まらなくなってきており、焦点検出及びその維持のためだけに近赤外光以上の波長帯域の光を使用することができなくなつているという問題がある。発明の開示

そこで本発.明は上記問題点に鑑みてなされたものであり、焦点検出に利用する光の波長帯域を限定し、それ以外のより広い波長帯域の光を顕微鏡による観察や焦点検出以外に使用可能とした焦点検出装置、及びこれを備えた顕微鏡を提供することを目的とする。

上記課題を解決するために本発明の第 1態様は、特定の波長帯域の光を発する光源と、顕微鏡の対物レンズと観察対象物との焦点ずれを検出するための特定波長帯域の焦点ずれ検出光を反射すると共に、前記特定波長帯域を除く少なくとも 2つの異なる波長帯域の非焦点ずれ検出光を透過する光学部材を備えることを特徴とする焦点検出装置を提供する。

また、本発明の第 1態様によれば、前記光学部材における前記光源からの光を反射する波長帯域は、前記透過する観察対象物からの 2つの波長帯域に挟まれる帯域であることが望ましい。

また、本発明の第 1態様によれば、前記光学部材は、前記特定の波長帯域の光のうち、外縁光束を反射して前記観察対象物へ導き、かつ残りの光束を透過するパーシャルミラ一であることが望ましい。

また、本発明の第 1態様によれば、前記光源は、波長帯域の異なる複数の光を選択的に発する光源であり、前記反射部材は、前記光源の発する波長帯域の異なる複数の光にそれぞれ対応した複数のダイクロイツクミラーを光路内へ揷脱可能に備えたダイクロイックミラ一ュニットであることが望ましい。

また、本発明の第 1態様によれば、前記光源は、波長帯域の異なる複数の光を選択的に発する光源であることが望ましい。

また、本発明の第 1態様によれば、観察対象物に照射する焦点ずれ検出用の特定波長帯域の光を発する光源を有することが望ましい。

また、本発明の第 1態様によれば、観察対象物で反射した前記光源からの光の反射光を受光する受光手段を有することが望ましい。

また、本発明の第 1態様によれば、前記受光手段からの信号に基づいて前記顕微鏡の対物レンズと前記観察対象物との焦点ずれを検出する制御手段を有することが望ましい。

また、本発明の第 1態様によれば、前記非焦点ずれ検出光を照射する第 2の光源を有することが望ましい。

また、本発明の第 1態様によれば、前記第 2の光源からの光を観察対象物の方向に反射させ、観察対象からの光を透過させる第 2の光学部材を有することが望ましい。

また、本発明の第 1態様によれば、前記第 1の光源は赤外波長帯域の光を発するものであり、前記第 2の光源は前記赤外波長帯域よりも長波長帯域の光を発するものであることが望ましい。

本発明の第 2態様は、本発明の第 1態様に係る焦点検出装置を備えることを特徵とする顕微鏡を提供する。

また、本発明の第 2態様によれば、対物レンズと、カメラの取付部とを有し、前記光学部材と前記第 2の光学部材とは前記対物レンズと前記カメラの取付部の間の光路に設けられ、前記古学部材は、前記対物レンズ寄りに設けられ、前記第 2の光学部材は前記カメラの取付部よりに設けられることが望ましい。

また、本発明の第 2態様によれば、前記第 2の光源は、光ピンセット用の光源であることが望ましい。

また、本発明の第 2態様によれば、前記第 2の光源は、 2光子励起用の光源であることが望ましい。

また、本発明の第 2態様によれば、前記第 1の光源は赤外波長帯域の光を発するものであり、前記第 2の光源は、前記赤外波長帯域よりも長波長帯域の光を発するものであることが望ましい。

本発明によれば、焦点検出に利用する光の波長帯域を限定し、それ以外のより広い波長帯域の光を顕微鏡による観察や焦点検出以外に使用可能とした焦点検出装置、及びこれを備えた顕微鏡を提供することができる。図面の簡単な説明

図 1は、本発明の第 1実施形態に係る焦点検出装置を備えた顕微鏡の全体構成を示す図である。

図 2は、本発明の第 1実施形態における焦点検出装置 3のダイクロイツクミラ一 1 5の反射特性を示す図である。

図 3は、本発明の第 2実施形態に係る焦点検出装置を備えた顕微鏡の全体構成を示す図である。

図 4 A、 4 Bは、本発明の第 2実施形態における焦点検出装置 3 0の構成を示し、図 4 Aは I R光源 3 1の構成を示し、図 4 Bはダイクロイツクミラーュニット 3 2の構成を示す図である。

図 5は、ダイクロイツクミラ一ュニット 3 2におけるダイクロイツクミラー 3 2 bの反射特性を示す図である。

図 6は、本発明の第 3実施形態に係る焦点検出装置を備えた顕微鏡の全体構成を示す図である。

図 7 A、 7 Bは、本発明の第 3実施形態における焦点検出装置 4 0のパ一シャルミラー 4 1の構成を示し、図 7 Aは上面図、図 7 Bは正面図である。発明の実施の形態

以下、本発明の各実施形態に係る焦点検出装置を備えた顕微鏡を添付図面に基づいて説明する。

(第 1実施形態）

はじめに、本実施形態に係る焦点検出装置を備えた顕微鏡の全体的な構成を説明する。

図 1に示すように本顕微鏡 1は、顕微鏡本体 2と、焦点検出装置 3と、光ピンセット光学系 4とからなる。

本実施形態では、焦点検出に用いる光を除く光を非焦点ずれ検出光と称する。この非焦点ずれ検出光には、光ピンセット光や多光子励起光、更には例えば蛍光観察における観察対象物からの蛍光が含まれる。また、光ピンセット光や多光子励起光を発する光源を第 2の光源と称する。

顕微鏡本体 2は、カバ一ガラス 5 aとスライドガラス 5 bで挟持された試料 6 を載置したステージ 7と、該ステージ 7側から順に、対物レンズ 8と、結像レンズ 9と、カメラ 1 0とを備えている。また、対物レンズ 8側から見てステージ 7 の裏側には、試料 6を照明するための照明光、すなわち後述する波長 λ _{Ι Κ 1}の近赤外光よりも波長が短い、波長 A _{F L}い A _{F L 2}, A _{F L 3}の光を含む照明光を発する不図示の照明光源が備えられている。なお、対物レンズ 8は、不図示の対物レンズ駆動部によつて電動で上下動可能である。

また、光ピンセット光学系 4は、レーザ光源 1 1と、該レーザ光源 1 1側から順に、レンズ 1 2と、ミラ一 1 3 a、 1 3 bと、ハ一フミラ一 1 4とを備えている。なお、ハーフミラー 1 4は、顕微鏡本体 2における対物レンズ 8と結像レンズ 9との間の光路中に配置されており、これによりレーザ光源 1 1からのレ一ザ光を、顕微鏡本体 2内の光路へ導き試料 6へ照射することができる。また、本実施形態においてレーザ光源 1 1は、波長 λ _{I R 3} = 1 0 6 4 11 mの赤外レーザ光を発するものである。

以上の構成の下、顕微鏡本体 2において、不図示の照明光源によって照明された試料 6からの光は、対物レンズ 8を経て、後述するダイクロイツクミラー 1 5 及びノヽーフミラ一 1 4を順に透過し、結像レンズ 9によってカメラ 1 0の撮像面上に結像される。これにより、カメラ 1 0では試料 6の像を撮影することができ、観察者は撮影された試料 6の像を不図示のモニタを介して観察することが可能となる（以下、「通常観察」という）。

また、光ピンセット光学系 4において、レーザ光源 1 1から発せられたレーザ光は、レンズ 1 2を経て、ミラ一 1 3 a、 1 3 bによって反射され、顕微鏡本体 2内のハーフミラー 1 4へ導かれる。そしてこのレーザ光は、該ハーフミラー 1 4によって反射され、後述するダイクロイツクミラー 1 5を透過した後、対物レンズ 8を介して試料 6に照射される。これにより、観察者は試料 6に光ピンセット操作を行うことが可能となる（以下、「光ピンセット法による観察」という）。次に、本実施形態において最も特徴的な焦点検出装置 3の構成について詳細に説明する。

本焦点検出装置 3は、所定の波長帯域の光を発する I R光源 1 6と、該 I R光源 1 6側から順に、レンズ 1 7と、ハーフマスク 1 8と、ハーフミラ一 1 9と、ダイクロイツクミラー 1 5とを備えており、さらにハーフミラ一 1 9の反射光路上には、結像レンズ 2 0と、受光素子 2 1とを備えている。なお、本実施形態において I R光源 1 6の発する所定の波長帯域の光とは、波長 λ _{I R 1} = 7 7 0 n m の近赤外光である。

また、ダイクロイツクミラ一 1 5は、顕微鏡本体 2における対物レンズ 8とハーフミラ一 1 4との間の光路中に配置されており、これにより I R光源 1 6からの光を顕微鏡本体 2内の光路へ導くことができる。そして本実施形態におけるダィクロイツクミラー 1 5は、図 2に示すように I R光源 1 6から発せられた所定の波長帯域の光、すなわち波長 λ _{I R 1}の近赤外光のみを反射する特性を有している。なお、図 2は、本発明の第 1実施形態における焦点検出装置 3のダイクロイックミラー 1 5の反射特性を示す図である。

以上の構成の下、本焦点検出装置 3において、 I R光源 1 6から発せられた所定の波長帯域の光は、レンズ 1 7、ハーフマスク 1 8、ハーフミラー 1 9を順に経た後、ダイクロイツクミラー 1 5によって試料 6側へ反射される。この光は、対物レンズ 8を経た後、試料 6近傍のガラス界面 6 aによって反射される。そしてこのガラス界面 6 aからの I R光源 1 6の光の反射光は、再びダイクロイツクミラー 1 5によって I R光源 1 6方向へ反射され、さらにハ一フミラー 1 9で反射された後、結像レンズ 2 0を介して受光素子 2 1の受光面に結像される。

これに伴い、本焦点検出装置 3に備えられた制御部 2 2は、受光素子 2 1で得られた信号に基づいてレンズ界面 6 aの光軸方向位置を検出し、すなわち対物レンズ 8とレンズ界面 6 aとの焦点ずれを検出し、顕微鏡本体 2に備えられた不図示の対物レンズ駆動部を介して対物レンズ 8を駆動することで、対物レンズ 8の焦点位置にレンズ界面 6 aを配置する。これにより、顕微鏡本体 2において試料 6の合焦が達成される。なお、以上の合焦動作は、試料 6の観察中常に実行されるため、試料 6の合焦状態は観察中常に維持されることとなる。したがって本顕微鏡 1は、投薬を伴う観察や長時間にわたる観察、さらには試料の複数の箇所の連続観察を行う場合に非常に有用である。

以上、本顕微鏡 1は、上述のように焦点検出装置 3において使用する光（以下、「焦点検出光」という。）を所定の波長帯域に限定することで、焦点検出光よりも波長の長い光を観察に使用可能としている。したがって本顕微鏡 1は、焦点検出光よりも波長の短い光を使用する通常観察に加え、焦点検出光よりも長い波長の光を使用する光ピンセット法による観察も行うことができる。

なお、本顕微鏡 1は、上述のように光ピンセット光学系 4を備えているが、本発明はこれに限られるものでなく、この光ピンセット光学系 4の代わりに、例えば波長 λ _{I R 2} = 8 5 0〜1 0 0 0 n mの赤外光を発する光源を備えた 2光子励起観察を行うための光学系を備える構成とすることもできる。この場合、本顕微鏡 1は、試料 6の通常観察に加え、焦点検出光よりも波長の長い光を使用する 2光子励起観察を行うことが可能となる。

また、本実施形態における合焦動作は、上述のように対物レンズ 8の焦点位置にレンズ界面 6 aを配置することで達成される。しかしながら本実施形態の構成はこれに限られず、本焦点検出装置 3はさらに、ハーフミラー 1 9とダイクロイックミラ一 1 5との間の光路中に、光軸方向へ移動可能なオフセットレンズを備えた構成とすることが望ましい。このオフセットレンズを移動させることで、レンズ界面 6 aを対物レンズ 8の焦点位置へ配置する際に、レンズ界面 6 aを該焦点位置から任意のオフセット量だけ光軸方向へずらして配置することが可能となる。これにより、レンズ界面 6 a、すなわち試料 6の表面だけでなく、試料 6 の深さ方向の所望の箇所に焦点合わせを行うことが可能となる。なお、斯かるォフセットレンズは、以下の各実施形態の焦点検出装置においても備えられていることが望ましい。

また、本実施形態では、上述のように不図示の対物レンズ駆動部によって対物レンズ 8を上下動させて合焦動作を行っているが、本実施形態の構成はこれに限られず、ステージ駆動部を設け、ステージ 7を上下動させて合焦動作を行う構成とすることもできる。なお、これは以下の各実施形態の顕微鏡においても同様である。

(第 2実施形態）

以下、本実施形態及び後述する第 3実施形態に係る焦点検出装置を備えた顕微鏡について、上記第 1実施形態と同様の構成である部分には同じ符号を付してその説明を省略し、異なる構成の部分について詳細に説明する。

本実施形態の焦点検出装置 30は、上記第 1実施形態の焦点検出装置における I R光源 16に代えて図 4 Aに示す複数の波長の光を選択的に発することが可能な I R光源 31を備え、さらにダイクロイツクミラ一 15に代えて図 4 Bに示すダイクロイツクミラ一ュニット 32を備えている。

本実施形態において I R光源 31は、波長 λ _IR1= 770 nmの近赤外光を発する LED 31 aと、波長 λ _IR2= 870 nmの赤外光を発する L ED 31 bと、波長 λ _IR3= 1064 nmの赤外光を発する LED 31 cとを備えており、観察者はこれらの LEDを選択的に発光させることが可能である。なお、図 4Aは、本発明の第 2実施形態における焦点検出装置 30の I R光源 3 1の構成を示す図である。

また、ダイクロイツクミラ一ユニット 32は、波長 λ _IR1の近赤外光のみを反射する特性を有するダイクロイツクミラー 32 aと、図 5に示すように波長 λ j _R ₂の赤外光のみを反射する特性を有するダイクロイツクミラ一 32 bと、波長 λ ₁ _R3の赤外光のみを反財する特性を有するダイクロイツクミラー 32 cとを備えている。なお、図 4Bは、本発明の第 2実施形態におけるダイクロイツクミラ一ユニット 32の構成を示す図である。また、図 5は、ダイクロイツクミラ一ュ二ット 32におけるダイクロイツクミラー 32 bの反射特性を示す図である。また、ダイクロイツクミラ一ュニット 32には不図示のスライド機構が設けられており、このスライド機構を介して該ダイクロイツクミラーュニット 32を光路内ヘスライドさせることでダイクロイツクミラ一 32 a、 32 b、 32 cを選択的に光路内へ配置することが可能である。これにより、 I R光源 31において選択した L E Dの波長に対応したダイクロイツクミラ一を光路内に配置することができる。

以上の構成の下、本焦点検出装置 30において、 I R光源 31における LED 31 aから発せられた波長 λ _IR1の近赤外光は、レンズ 17、ハーフマスク 18、ハーフミラ一 19を順に経た後、ダイクロイツクミラ一ュニット 32のダイク口イツクミラ一 32 aによつて試料 6側へ反射される。この光は、対物レンズ 8を経た後、試料 6近傍のガラス界面 6 aによって反射される。そしてこのガラス界面 6 aからの波長 λ _IR1の近赤外光の反射光は、再びダイクロイツクミラ一ュ二ット 32のダイクロイツクミラー 32 aによって反射され、さらにハーフミラー 19で反射された後、結像レンズ 20を介して受光素子 21の受光面に結像される。

なお、これに伴い本焦点検出装置 30に備えられた制御部 22で行われる合焦動作及びその維持は上記第 1実施形態と同様である。

また、以上は LED 31 aから発せられた波長 λ _IR1の近赤外光について説明したが、 LED 31 bから発せられる波長 λ _IR2の赤外光、 LED 31 cから発せられる波長 λ _IR3の赤外光についても、それぞれに対応したダイクロイツクミラ一ユニット 32におけるダイクロイツクミラー 32 b、ダイクロイツクミラー

32 cを光路内へ配置することで同様の合焦動作及びその維持を達成することができる。

以上より、本顕微鏡は上記第 1実施形態と同様の効果を奏することができる。また本顕微鏡は、上述のように焦点検出装置 30において LED 31 a、 31 b、 31 cとこれに対応するダイクロイツクミラー 32 a、 32 b、 32 cとを切り替えることで、通常観察と併用したい観察方法に合わせて焦点検出光の波長帯域を変更することができる。したがって具体的には、例えばダイクロイツクミラ一 32 bを光路内へ配置して LED 31 bを発光させる、即ち波長 λ _IR2の赤外光を焦点検出光として使用すれば、図 5に示すように通常観察（波長 A_FL1、 A_FL2, A_FL3) に加えて、長波長の蛍光色素を使用する蛍光観察（波長 A_FL4) と光ピンセット法による観察（波長 λ_ΙΚ3) とを行うことが可能となる。なお、このように焦点検出光の波長帯域を変更した場合でも、受光素子の信号検出条件を電気的に切り替える構成とすれば、試料 6の合焦状態を維持することができる。 (第 3実施形態）

本実施形態の焦点検出装置 40は、上記第 1実施形態の焦点検出装置 3におけるダイクロイツクミラー 15に代えて、図 7に示すパーシャルミラ一 41を備えている。

図 7 Α、 7 Βは、本発明の第 3実施形態における焦点検出装置 40のパーシャルミラー 41の構成を示し、図 7 Αは上面図を、図 7 Bは正面図を示す。

図 7Bに示すように、パーシャルミラー 41は、後述するパーシャルミラー部 42と、これを挟持する 2つの三角柱プリズム 43 a、 43 bとからなる。そしてパーシャルミラー部 42は、図 7 Bに示すように I R光源 16側から見て顕微鏡本体 2における対物レンズ 8の光軸方向へ長軸が伸びた楕円形状の透過面 4 2 aと、該透過面 42 aの長軸側の両端部に設けられた反射面 42 bとからなる。斯かるパーシャルミラ一部 42の構成により、 I R光源 16からの近赤外光のうちの大部分を透過させて光路外へ廃棄し、高 N A領域を進行する外縁光束のみをガラス界面 6 a側へ反射し、さらにガラス界面 6 aで反射された前記外縁光束を再びハーフミラー 1 9側へ反射することができる。

なお、パーシャルミラー部 4 2の透過面 4 2 aは、顕微鏡本体 2において不図示の照明光源によって照明された試料 6からの光、及び光ピンセット光学系 4からのレ一ザ光を遮らない大きさに形成されているため、通常観察及び光ピンセット法による観察にパーシャルミラ一 4 1が支障をきたすことはない。さらに、遮る場合でも、その遮光量は小さいため、許容できるものである。

以上の構成の下、本焦点検出装置 4 0において、 I R光源 1 6から発せられた所定の波長帯域の光（波長 λ _{I R 1}の近赤外光）は、レンズ 1 7、ハーフマスク 1 8、ハーフミラ一 1 9を順に経た後、パーシャルミラー 4 1の反射面 4 2 a、 4 2 bによって試料 6側へ反射される。この光は、対物レンズ 8を経た後、試料 6 近傍のガラス界面 6 aによって反射される。そしてこのガラス界面 6 aからの反射光は、再びパーシャルミラ一 4 1の反射面 4 2 a、 4 2 bによって反射され、さらにハーフミラ一 1 9で反射された後、結像レンズ 2 0を介して受光素子 2 1 の受光面に結像される。

なお、これに伴い本焦点検出装置 4 0に備えられた制御部 2 2で行われる合焦動作及びその維持は上記第 1実施形態と同様である。

以上より、本顕微鏡は上記第 1実施形態と同様の効果を奏することができる。また、本実施形態の焦点検出装置 4 0は、 I R光源 1 6に代えて上記第 2実施形態における I R光源 3 1を備える構成とすることもできる。これにより、上記第 2実施形態と同様の効果を奏することができる。また、パーシャルミラー 4 1 は焦点検出光の波長帯域に関わらず使用可能であるため、第 2実施形態のようにダイクロイックミラ一ュニット 3 2を光路内ヘスライドさせるような作業を必要としないため、よりスムーズな焦点検出光の切り替えを実現することができる。以上の各実施形態によれば、焦点検出に利用する光の波長帯域を限定し、それ以外の波長帯域の光を顕微鏡による観察、例えば通常観察及びこれに併用される応用技術に使用可能とした焦点検出装置、及びこれを備えた顕微鏡を実現することができる。

Claims

請求の範囲

1 . 特定の波長帯域の光を発する光源と、顕微鏡の対物レンズと観察対象物との焦点ずれを検出するための特定波長帯域の焦点ずれ検出光を反射すると共に、前記特定波長帯域を除く少なくとも 2つの異なる波長帯域の非焦点ずれ検出光を透過する光学部材を備えることを特徴とする焦点検出装置。

2 . 前記光学部材における前記光源からの光を反射する波長帯域は、前記透過する観察対象物からの 2つの波長帯域に挟まれる帯域であることを特徴とする請求項 1に記載の焦点検出装置。

3 . 前記光学部材は、前記特定の波長帯域の光のうち、外縁光束を反射して前記観察対象物へ導き、かつ残りの光束を透過するパーシャルミラーであることを特徴とする請求項 1に記載の焦点検出装置。

4. 前記光源は、波長帯域の異なる複数の光を選択的に発する光源であり、前記反射部材は、前記光源の発する波長帯域の異なる複数の光にそれぞれ対応した複数のダイクロイツクミラーを光路内へ揷脱可能に備えたダイクロイツクミラ一ュニットであることを特徴とする請求項 1に記載の焦点検出装置。

5 . 前記光源は、波長帯域の異なる複数の光を選択的に発する光源であることを特徴とする請求項 3に記載の焦点検出装置。

6 . 観察対象物に照射する焦点ずれ検出用の特定波長帯域の光を発する光源を有することを特徴とする請求項 1記載の焦点検出装置。

7 . 観察対象物で反射した前記光源からの光の反射光を受光する受光手段を有することを特徴とする請求項 6記載の焦点検出装置。

8 . 前記受光手段からの信号に基づいて前記顕微鏡の対物レンズと前記観察対象物との焦点ずれを検出する制御手段を有することを特徴とする請求項 7記載の焦点検出装置。

9 . 前記非焦点ずれ検出光を照射する第 2の光源を有することを特徴とする請求項 1記載の焦点検出装置。

1 0 . 前記第 2の光源からの光を観察対象物の方向に反射させ、観察対象からの光を透過させる第 2の光学部材を有すること特徵とする請求項 9記載の焦点検出装置。 ' 1 1 . 前記第 1の光源は赤外波長帯域の光を発するものであり、前記第 2の光源は前記赤外波長帯域よりも長波長帯域の光を発するものであることを特徴とする請求項 9記載の焦点検出装置。

1 2 . 請求項 1から 1 1の何れか 1項記載の焦点検出装置を備えることを特徴とする顕微鏡。

1 3 . 対物レンズと、カメラの取付部とを有し、前記光学部材と前記第 2の光学部材とは前記対物レンズと前記カメラの取付部の間の光路に設けられ、前記古学部材は、前記対物レンズ寄りに設けられ、前記第 2の光学部材は前記カメラの取付部よりに設けられることを特徴とする請求項 1 2記載の顕微鏡。

1 4. 前記第 2の光源は、光ピンセット用の光源であること特徴とする請求項 1 2記載の顕微鏡。

1 5 . 前記第 2の光源は、 2光子励起用の光源であること特徴とする請求項 1 2記載の顕微鏡。

1 6 . 前記第 1の光源は赤外波長帯域の光を発するものであり、前記第 2の光源は、前記赤外波長帯域よりも長波長帯域の光を発するものであることを特徴とする請求項 1 2記載の顕微鏡。