JP2015074186A - 液体噴射ヘッドの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】シリコンで形成された大きさの異なる部材同士を接着剤で積層すると共に、ノズル開口から液体を噴射させる液体噴射ヘッドの製造方法であって、接合面側の面の形状が相対的に小さい第1の部材と、接合面側の面の形状が前記第1の部材よりも大きい第2の部材15と、を接着剤25を介して接着した状態で、積層方向の一方側から赤外線による撮像を行う撮像手段220によって前記第1の部材10又は前記第2の部材15に赤外線を透過させて前記接合面を撮像する際に、前記撮像手段220に対して積層方向において位置決めされた基準点と、前記第2の部材15の前記接合面から延びる面と、の距離l1を測定し、測定した距離l1と、前記撮像手段220と前記基準点との距離l2と、に基づいて、前記撮像手段220の焦点距離lfを算出して前記接合面を撮像する。
【選択図】 図3
Description
かかる態様では、撮像手段の焦点距離を高精度に測定することができるため、撮像手段は、焦点距離に基づいて高精度な画像を撮像することができる。したがって、接合面の状態を高精度に確認することができ、接合不良による不具合を抑制することができる。
図1は、本発明の実施形態1に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの分解斜視図であり、図2は、インクジェット式記録ヘッドの断面図である。
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明の基本的構成は上述したものに限定されるものではない。
Claims (7)
- シリコンで形成された大きさの異なる部材同士を接着剤で積層すると共に、ノズル開口から液体を噴射させる液体噴射ヘッドの製造方法であって、
接合面側の面の形状が相対的に小さい第1の部材と、接合面側の面の形状が前記第1の部材よりも大きい第2の部材と、を接着剤で接着した状態で、
積層方向の一方側から赤外線による撮像を行う撮像手段によって前記第1の部材又は前記第2の部材に赤外線を透過させて前記接合面を撮像する際に、
前記撮像手段に対して積層方向において位置決めされた基準点と、前記第2の部材の前記接合面から延びる面と、の距離を測定し、
測定した距離と、前記撮像手段と前記基準点との距離と、に基づいて、前記撮像手段の焦点距離を算出して前記接合面を撮像することを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。 - 前記撮像手段によって、前記第1の部材に赤外線を透過させて前記接合面を撮像することを特徴とする請求項1記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
- 前記撮像手段によって、前記第2の部材に赤外線を透過させて前記接合面を撮像することを特徴とする請求項1記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
- 前記基準点が、積層された前記第1の部材及び前記第2の部材の積層方向の前記撮像手段側に配置されていることを特徴とする請求項1〜3の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
- 前記基準点が、積層された前記第1の部材及び前記第2の部材の積層方向の前記撮像手段とは反対側に配置されていることを特徴とする請求項1〜3の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
- 前記基準点と、前記第2の部材の接合面から延びる面との距離の測定は、非接触式の測定手段によって行うことを特徴とする請求項1〜5の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
- 前記測定手段がレーザー式の距離計であることを特徴とする請求項6記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
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