JP2009119688A - 圧電素子の検査方法及びインクジェットヘッドの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】圧電素子に発生するヒビ等の欠陥を容易に検出すること。
【解決手段】圧電素子の両端に位置する面に、圧電素子の起電力を検出する一対の検出用電極を形成する工程と、前記一対の検出用電極の間に生じる圧電素子の起電力を起電力検出手段で検出する工程と、前記起電力検出手段で検出された起電力の情報を記憶手段に記憶する工程と、前記記憶手段に記憶された起電力の情報に基づいて前記圧電素子の欠陥を判別する工程とを有することを特徴とする圧電素子の検査方法。
【選択図】図1
【解決手段】圧電素子の両端に位置する面に、圧電素子の起電力を検出する一対の検出用電極を形成する工程と、前記一対の検出用電極の間に生じる圧電素子の起電力を起電力検出手段で検出する工程と、前記起電力検出手段で検出された起電力の情報を記憶手段に記憶する工程と、前記記憶手段に記憶された起電力の情報に基づいて前記圧電素子の欠陥を判別する工程とを有することを特徴とする圧電素子の検査方法。
【選択図】図1
Description
本発明は、圧電素子の検査方法及びインクジェットヘッドの製造方法に関する。
インクジェットヘッドの主要構成部分である圧電素子は、例えば、圧電セラミックを利用している。
圧電セラミックは、非常に脆く、その取扱い等によって、ヒビ等の欠陥が生じ易いという特性も有している。このため、圧電セラミックに生じるヒビ等の欠陥を抑える努力がなされているが、未だ、完全にその発生を抑えることができない。これがため、圧電セラミックに生じるヒビ等の欠陥を検出することが極めて重要となっている。
従来は、圧電素子を含めたインクジェットヘッドの検査は、インクジェットヘッドを完成した後の射出試験により行われていた(特許文献1参照)。
特開2001−150659号公報
しかし、従来の方法では、圧電素子に欠陥が含まれている場合には、電極が形成されるまでの初期の組立段階では発見することができず、圧電素子と駆動基板の接続工程を経て、インクジェットヘッドが完成後の射出検査で初めて発見される。
このため、圧電素子以外のインクジェットヘッドを構成する部材に問題がなくても、圧電素子とともにこれらの部材も廃棄しなければならず、コストが増加する問題がある。
また、射出検査で射出不良が発生した場合でも、その原因が圧電素子の欠陥に起因することを突き止めるのは極めて作業困難であり、工数が増加する問題がある上に、欠陥がいつどこで発生したのかを解析することは困難であった。
さらに、このような、圧電素子に生じるヒビ等の欠陥は、目視等の表面観察では検出することが非常に困難であるという問題もある。
そこで、本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、圧電素子に発生するヒビ等の欠陥を容易に検出することが可能な圧電素子の検査方法及びインクジェットヘッドの製造方法を提供することにある。
本発明の上記課題は、以下の構成により達成される。
1.
圧電素子の両端に位置する面に、圧電素子の起電力を検出する一対の検出用電極を形成する工程と、
前記一対の検出用電極の間に生じる圧電素子の起電力を起電力検出手段で検出する工程と、
前記起電力検出手段で検出された起電力の情報を記憶手段に記憶する工程と、
前記記憶手段に記憶された起電力の情報に基づいて、前記起電力の最大値と予め定められた所定値とを比較することにより前記圧電素子の欠陥を判別する工程とを有することを特徴とする圧電素子の検査方法。
2.
前記記憶手段は、EEPROMまたはICタグにより構成されていることを特徴とする前記1に記載の圧電素子の検査方法。
3.
前記圧電素子は、圧電セラミックであることを特徴とする前記1または2に記載の圧電素子の検査方法。
4.
圧電素子とインク吐出用のチャネルとを備え、前記圧電素子を変形させ、前記チャネル内のインクをノズルから吐出させるインクジェットヘッドの製造方法であって、インクジェットヘッドの製造工程において、前記1〜3の何れか1項に記載の圧電素子の検査方法によって前記圧電素子の検査を行うことを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
5.
前記チャネルの一部を形成する溝が複数形成されているとともに、前記溝内面に形成された駆動用電極及びその駆動用電極への駆動電圧の印加にて変形し、少なくとも一部が圧電素子で構成された駆動壁を有するチャネルプレートと、前記チャネルプレートへの装着により前記溝を閉鎖してチャネルを形成するカバープレートと、チャネルに対応する位置にノズル孔が形成されたノズルプレートを備えたインクジェットヘッドの製造工程において、前記圧電素子の検査方法によって圧電素子の検査を行うことを特徴とする前記4に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
6.
前記複数の溝を形成する工程において、前記検出する工程と前記記憶する工程を行うことを特徴とする前記5に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
7.
前記チャネルプレートと前記カバープレートを接着する工程において、前記検出する工程と前記記憶する工程を行うことを特徴とする前記5または6に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
8.
前記チャネルプレートと前記カバープレートの接着により形成された前記チャネルに対応する位置にノズル孔が形成されたノズルプレートを接着する工程において、前記検出する工程と前記記憶する工程を行うことを特徴とする前記5〜7の何れか1項に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
1.
圧電素子の両端に位置する面に、圧電素子の起電力を検出する一対の検出用電極を形成する工程と、
前記一対の検出用電極の間に生じる圧電素子の起電力を起電力検出手段で検出する工程と、
前記起電力検出手段で検出された起電力の情報を記憶手段に記憶する工程と、
前記記憶手段に記憶された起電力の情報に基づいて、前記起電力の最大値と予め定められた所定値とを比較することにより前記圧電素子の欠陥を判別する工程とを有することを特徴とする圧電素子の検査方法。
2.
前記記憶手段は、EEPROMまたはICタグにより構成されていることを特徴とする前記1に記載の圧電素子の検査方法。
3.
前記圧電素子は、圧電セラミックであることを特徴とする前記1または2に記載の圧電素子の検査方法。
4.
圧電素子とインク吐出用のチャネルとを備え、前記圧電素子を変形させ、前記チャネル内のインクをノズルから吐出させるインクジェットヘッドの製造方法であって、インクジェットヘッドの製造工程において、前記1〜3の何れか1項に記載の圧電素子の検査方法によって前記圧電素子の検査を行うことを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
5.
前記チャネルの一部を形成する溝が複数形成されているとともに、前記溝内面に形成された駆動用電極及びその駆動用電極への駆動電圧の印加にて変形し、少なくとも一部が圧電素子で構成された駆動壁を有するチャネルプレートと、前記チャネルプレートへの装着により前記溝を閉鎖してチャネルを形成するカバープレートと、チャネルに対応する位置にノズル孔が形成されたノズルプレートを備えたインクジェットヘッドの製造工程において、前記圧電素子の検査方法によって圧電素子の検査を行うことを特徴とする前記4に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
6.
前記複数の溝を形成する工程において、前記検出する工程と前記記憶する工程を行うことを特徴とする前記5に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
7.
前記チャネルプレートと前記カバープレートを接着する工程において、前記検出する工程と前記記憶する工程を行うことを特徴とする前記5または6に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
8.
前記チャネルプレートと前記カバープレートの接着により形成された前記チャネルに対応する位置にノズル孔が形成されたノズルプレートを接着する工程において、前記検出する工程と前記記憶する工程を行うことを特徴とする前記5〜7の何れか1項に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
本発明によれば、圧電素子に発生するヒビ等の欠陥を容易に検出することが可能な圧電素子の検査方法及びインクジェットヘッドの製造方法を提供することができる。
以下に本実施形態について図面を参照して説明する。以下は本発明の一実施形態であって本発明を限定するものではない。
<圧電素子とその起電力を検出する検査方法>
圧電素子とその起電力を検出する検査方法について説明する。この検査は、例えば、圧電素子を備えたインクジェットヘッドの製造工程において実行されるものである。
<圧電素子とその起電力を検出する検査方法>
圧電素子とその起電力を検出する検査方法について説明する。この検査は、例えば、圧電素子を備えたインクジェットヘッドの製造工程において実行されるものである。
本実施形態の圧電素子の検査方法は、圧電素子にヒビが発生する際の変形を起因とした起電力を検出し、その結果を記憶手段に記憶するものであり、具体的には、図1に示す検査装置を用いる。図において、圧電素子の検査装置201は、起電力検出手段202と記憶手段203、計時手段、これらを制御する制御回路等により構成される。
圧電素子206は、長手方向を有する板状に成形された、例えばチタン酸ジルコン酸鉛(PZT)等のセラミック材料により構成されている。圧電素子206の長手方向の両端側の面には、圧電素子の起電力を検出する一対の検出用電極204と205が、それぞれメッキ、蒸着等により形成されると共に、任意の向きに分極処理が施されている。
起電力検出手段202は、圧電素子206の長手方向の両端に位置する面に設けられた一対の検出用電極204と205に接続されており、圧電素子206から発生する検出用電極204と205の間の起電力をリアルタイムで自動的に検出するようになっている。
すなわち、圧電素子206にヒビが発生する際は、ヒビが生じる直前の変形に起因とする起電力が発生し、この起電力は、起電力検出手段202で検出され、起電力の情報として、記憶手段203に記憶される。起電力の情報は、例えば、起電力の大きさや起電力が発生した時期に対応した情報である。
そして、記憶手段203に記憶された起電力の情報に基づいて、前記起電力の最大値と予め定められた所定値とを比較することにより、圧電素子206にヒビが発生したか否かを判別することが可能になる。
すなわち、圧電素子の変形量が大きくなるのに伴い、起電力も大きくなるので、起電力の最大値が所定のレベル以上である場合に、圧電素子にヒビ等の欠陥が発生したものと判断する。所定のレベルの設定は、圧電素子の性能や精度等により設定されるものであり、本発明の実施の形態においては、圧電素子に予め設定した所定の性能や精度の実現が乏しくなる程度のヒビ等の欠陥が発生する際の起電力の所定のレベルを予め実験で求めておき、検出された起電力の最大値がこのレベル以上である場合は、欠陥が発生したと判断している。
起電力検出手段202は、例えば、電圧計を用いることができる。
記憶手段203は、EEPROMまたはICタグにより構成されていることが好ましい。EEPROMまたはICタグを圧電素子に設けることにより、例えばインクジェットヘッドの圧電素子の起電力の情報に関する履歴の管理を記憶手段を利用して容易に行うことができる。
また、ICタグを用いることにより、ICタグに対する起電力の情報の書き込み及び読み取りをRFID方式により適正に行うことができる。また、ICタグを駆動用の電源を必要としない構成とすることにより、検査作業を簡便に行うことができる。
ここで、RFID(Radio Frequency Identification)方式とは、リーダ/ライタを直接的に通さずに電磁誘導波により非接触型のICタグからデータを読み取り又は書き込みする方式のことである。
次に、本発明の圧電素子の検査方法の適用対象となるインクジェットヘッドとその製造方法について、圧電素子が複数のチャネル間に設けられた駆動壁を構成しているせん断モード型インクジェットヘッドを例に挙げて説明する。
図2は、本発明に係るインクジェットヘッドの実施形態を示す全体斜視図、図3はその縦断面図である。
図中、Aはインクジェットヘッド、1はヘッドチップ、2はヘッドチップの前面に貼着されたノズルプレート、3はヘッドチップ1の下面に貼着された配線基板、4はヘッドチップの上面に貼着された配線基板、5は配線基板3と配線基板4の間に亘って設けられた囲い壁部である。
なお、本明細書においては、ヘッドチップ1からインクが吐出される側の面を「前面」といい、その反対側の面を「後面」という。また、ヘッドチップ1において並設されるチャネルを挟んで上下に位置する外側面をそれぞれ「上面」及び「下面」という。
ヘッドチップ1は、上部基板13と下部基板11との間に、圧電素子12からなる駆動壁14とチャネル15とが交互に並設されている。図示例では4つのチャネル15と5つの駆動壁14とが形成されるものを例示している。上記チャネル15の形状は、両側壁が垂直方向に向いており、そして互いに平行である。また、その入口から出口に亘る長さ方向で大きさと形状がほぼ変わらないストレートタイプである。このようにチャネル15がストレートタイプであることにより、泡抜けが良く、電力効率が高く、発熱が少なく、高速応答性が良いインクジェットヘッドとすることができる。
圧電素子12に用いられる圧電材料としては、電圧を加えることにより変形を生じる公知の圧電材料を用いることができ、有機材料からなる基板、非金属製の基板等がある。本実施形態では、板状に成形された、例えばチタン酸ジルコン酸鉛(PZT)等のセラミック材料により構成されている。
圧電素子12は、2枚の圧電材料基板12a、12bを分極方向を互いに反対に向けて接合してなる。これにより圧電素子12に複数列の溝を並設することで、分極方向が互いに反対方向となる駆動壁14が形成される。
圧電材料基板12aと12bを接合する手段としては、接着剤を用いた接合を採用できるが、接合可能であれば、特にこれに限定されない。接着剤を用いて接合する場合、その接着剤層の硬化後の厚みは、1〜10μmの範囲が好ましい。
なお、図示していないが、下部基板11の代わりに圧電材料基板12bを厚手のものとし、上側の圧電材料基板12a側から圧電材料基板12bの中途部までに亘って平行な複数列の溝を形成することで、上記同様の駆動壁14を形成するようにしてもよい。
各駆動壁14には、チャネル15内に臨んで駆動用電極16が金属の蒸着、メッキ等により形成されている。
ヘッドチップ1の上面及び下面のいずれか一方の面には、各チャネル15と同じピッチで第1の接続配線17が、各チャネル15と同数、平行に形成されており、ヘッドチップ1の前面から後面に亘って延びている(図9、図10参照)。ここでは、ヘッドチップ1の下面に形成しているが、上面でもよい。この第1の接続配線17は、詳細には後述するが、駆動回路からの電圧を各駆動用電極16に印加するための配線基板3の駆動配線31と電気的に接続するため、ヘッドチップ1の上下両面の何れか一方に形成されていれば、この駆動配線31との接続をヘッドチップ1の上下両面の何れか一方からとることができる。
また、ヘッドチップ1の前面及び後面の少なくともいずれかの面には、一端が各チャネル15内の駆動壁14に形成された駆動用電極16とそれぞれ電気的に接続する第2の接続配線18が形成されており、その他端はそれぞれ対応する第1の接続配線17と電気的に接続されている。従って、各チャネル15内の駆動壁14に形成された各駆動用電極16への配線が、第2の接続配線18を介してヘッドチップ1の後面からヘッドチップ1の下面に亘って引き出されている。図示例では、ヘッドチップ1の後面にのみ形成しているが、前面のみであってもよく、また前後両面に形成されていても良い。
配線基板3は、ヘッドチップ1の幅(チャネル15の並設方向の長さ)とほぼ同幅で、且つヘッドチップ1の長さ(ヘッドチップ1の前面から後面に亘る長さ)よりも十分に長尺な基板からなり、その表面に、ヘッドチップ1のチャネル15と同じピッチで、図示しない駆動回路から供給される電圧を各チャネル15の駆動壁14に形成された駆動用電極16に印加するための駆動配線31が形成されている。
この配線基板3は、その前端面がヘッドチップ1の前面と面一となるように、且つ、その表面の駆動配線31形成面をヘッドチップ1の第1の接続配線17と対向させ、各第1の接続配線17と各駆動配線31とが電気的に接続するようにヘッドチップ1、ここではヘッドチップ1の下面に固着されている。
ヘッドチップ1の上面及び下面の他方の面には、第3の接続配線217、218が、ヘッドチップ1の前面側と後面側にそれぞれ形成されている(図9、図10参照)。ここでは、ヘッドチップ1の下面に形成しているが、第1の接続配線17を下面に形成する場合は上面でもよい。この第3の接続配線217、218は、詳細には後述するが、一対の検出用電極204,205からの起電力を図示しない起電力検出手段202に出力するための配線基板4の検出配線231、232と電気的に接続するため、ヘッドチップ1の上下両面の何れか一方に形成されていれば、この検出配線231、232との接続をヘッドチップ1の上下両面の何れか一方からとることができる。
また、ヘッドチップ1の前面及び後面の両面には、各チャネル15内の駆動壁14に形成された駆動用電極16とそれぞれ電気的に独立して形成された一対の検出用電極204、205が形成されており、その一端はそれぞれ対応する第3の接続配線217、218と電気的に接続されている。従って、ヘッドチップ1の前面及び後面の両面に形成された一対の検出用電極204、205への配線が、第3の接続配線217、218によりヘッドチップ1の上面に亘って引き出されている。図示例では、ヘッドチップ1の上面にのみ形成しているが、下面のみであってもよい。
配線基板4は、ヘッドチップ1の幅(チャネル15の並設方向の長さ)とほぼ同幅で、且つヘッドチップ1の長さ(ヘッドチップ1の前面から後面に亘る長さ)よりも十分に長尺な基板からなり、その表裏両面に、一対の検出用電極204,205からの起電力を図示しない起電力検出手段202に出力するための検出配線231、232が形成されている。
この配線基板4は、その前端面がヘッドチップ1の前面と面一となるように、且つ、その表面の検出配線231、232形成面をヘッドチップ1の第3の接続配線217、218と対向させ、各第3の接続配線217、218と各検出配線231、232とが電気的に接続するようにヘッドチップ1における上記配線基板3の接合面と反対面、すなわち、ここではヘッドチップ1の上面に固着されている。これによりヘッドチップ1の後面は、該ヘッドチップ1の後面側にはみ出した配線基板3及び配線基板4によって上下が覆われる状態とされている。
囲い壁部5は、この配線基板3と配線基板4との間に亘って前記ヘッドチップ1の後面を包囲するように設けられる平面視略コ字型を呈する側壁形成部材であり、ポリイミド、ポリカーボネート等のエンジニアリングプラスチックと呼ばれる高機能樹脂により形成されている。これによりヘッドチップ1の後面側には、上下が配線基板4と配線基板3とによって覆われると共に側面が囲い壁部5によって閉鎖された空間が形成され、この空間によって各チャネル15にインクを供給するためのインク供給室51を構成している。52はインク供給室51内にインクを流入させるための流入口であり、これによりインク供給室51はインクマニホールドとして機能する。このインク供給室51は、図示しないが、ゴミの流入を防ぐためにフィルターを内蔵している。
ノズルプレート2は、上面及び下面に配線基板4及び配線基板3がそれぞれ固着されたヘッドチップ1の前面側に、上記配線基板4及び配線基板3のそれぞれ前端面に亘る大きさを有して固着されている。ノズルプレート2には、各チャネル15に対応するノズル孔21が開設されている。
このインクジェットヘッドAには、駆動IC61が実装されたフレキシブル基板6が、その各配線が配線基板3表面の駆動配線31とそれぞれ電気的に接続するように異方性導電フィルム7により接合されている。62は外部配線との電気的接続を行うためのコネクタである。図示しない駆動回路からの駆動電圧は、コネクタ62を介して駆動IC61に入力され、該駆動IC61から各駆動配線31、第1の接続配線17及び第2の接続配線18を介して各駆動用電極16に印加される。
かかるインクジェットヘッドAでは、圧電素子からなる駆動壁14の両端に位置する面に、圧電素子を変形させるための駆動電圧が印加される駆動用電極16とは電気的に独立して設けられ、圧電素子の起電力特性を検出する一対の検出用電極204、205を備えているので、圧電素子を変形させるための駆動を阻害しないようにして、圧電素子に発生するヒビ等の欠陥を容易に検出することが可能になる。例えば圧電素子を備えたインクジェットヘッドに故障が発生した際にその起電力特性の測定履歴を調べることにより、圧電素子の欠陥に起因した故障なのか否か、欠陥がいつ発生したのかなどを割り出すことが可能になる。
また、駆動壁を構成する圧電素子の起電力を測定するには、例えば、起電力検出手段202に接続された2つの端子を、隣り合う駆動配線31に接触させることで、当該2本の駆動配線31に電気的に接続している駆動用電極16が形成されている圧電素子の起電力を測定することができるが、この測定には、全圧電素子の起電力測定をするために、圧電素子の数だけ測定を繰り返す必要があり、工数が増加する問題がある。
ヘッドチップ1の圧電素子におけるチャネル入口側の後面と出口側の前面の両面に設けられた共通の一対の検出用電極204と205により、各駆動壁を構成する各圧電素子の起電力測定を同時に行うことができる。
せん断モード型インクジェットヘッドでは、圧電素子は、ノズルプレートやカバープレート等により完全に包囲された状態にあり、駆動用電極や検出用電極の外部への引き出しが容易ではない。
本実施形態では、配線基板3、4と各接続配線により、各チャネル15内の駆動用電極16と駆動回路からの配線との電気的接続及び一対の検出用電極204.205と起電力検出手段202との電気的接続を簡単に行うことができると共に、各チャネル15内へのインク供給を行うインク供給室の形成を容易に行うことのできる、生産性の高いインクジェットヘッドを提供することができる。
また、ヘッドチップ1における駆動壁14以外の基板、すなわち本実施形態では上部基板13及び下部基板11の両基板、配線基板3及び配線基板4のうちの少なくとも一つが、窒化アルミを成分に含むセラミックス、圧電材料及び液晶ポリマーのうちから選ばれるいずれかの材料からなることが好ましい。これにより放熱特性が優れ、また、温度変化に対して安定なインクジェットヘッドを得ることができる効果がある。
また、上記ヘッドチップ1における駆動壁14以外の基板、配線基板3及び配線基板4のうちの少なくとも一つの熱膨張係数が、駆動壁14を構成する圧電素子12の熱膨張係数の±2ppm/℃であることが更に好ましい。熱膨張係数をこの範囲とすることで、各基板間に熱膨張係数の差による剥離等が起こらない。
この実施形態に示すインクジェットヘッドAでは、インク供給室51に第2の接続配線18、検出用電極205及び駆動配線31、検出配線232の一部が臨むため、これらは各チャネル15内の駆動用電極16同様、インクと直に接触する。従って、インクとして水系インクを使用する場合には、各チャネル15内の駆動用電極16、第2の接続配線18、検出用電極205及び駆動配線31、検出配線232の表面に電極保護膜が形成される。電極保護膜としては、柔軟性を有すると共に剥離しにくく、駆動壁14のせん断変形に追従し易く、また、駆動用電極16の耐久性をより向上させることができることから、パリレン膜等の有機絶縁膜が好ましい。
次に、かかるインクジェットヘッドAの製造方法の一例について図4〜図10に基づいて説明する。なお、以下に記載する数値は一例であり、本発明は以下の数値に限定されるものではない。
まず、図4に示すように、分極方向(矢印で示す)を互いに反対方向に向けた各厚さ0.1mmの2枚の圧電材料基板(PZT)12a、12bを積層した圧電素子12を、厚さ0.6mmのセラミック基板からなる下部基板11(大きさ50mm角)に貼り付けた積層体を準備する。なお、下部基板11と圧電材料基板12bは同一であってもよく、この場合は分極方向を異ならせた2枚の圧電材料基板により積層体が構成される。
次に、図4における積層体の前後面の両面251.252に一対の検出用電極204,205を形成する。検出用電極の構成は、両面で共通である。
検出用電極204(205)が形成された積層体の前面(後面)図である図5を参照しながら説明する。
積層体の両面251、252に、チャネルとなる溝151が加工される部分とその周辺及び第1の接続配線17が形成される下面近傍を除いて、一対の検出用電極204と205が、それぞれ金属のメッキ、蒸着等により形成される。
チャネルとなる溝151が加工される部分とその周辺を除いて検出用電極204と205を形成することにより、後工程で溝151内面に形成される駆動用電極16と検出用電極204,205とを電気的に独立させることができる。
次に、図5に示すように、この積層体の上下両面にスピンコート法によりポジレジスト100、101(光が照射された部分が現像で溶解される)をコーティングし、その後、圧電素子12と反対側にある下部基板11の下面のポジレジスト101をストライプ状のマスク(マスク幅0.07mm、ピッチ0.141mm)を用いて露光し、現像することにより、該下面に幅0.71mmのストライプパターンを得る。
次いで、図6に示すように、上記圧電素子12の側から0.08mm厚の円盤状の砥石(ダイシングブレード)を用いて0.141mmピッチで互いに平行な溝151、151・・・を研削加工する。この溝151は、その長さ方向に亘って略均一な深さ(0.20mm)であり、長さ方向に亘って溝151の断面形状がほぼ変わらないストレートな溝である。加工する溝151の数は、例えば258本の加工を行うと、257本の駆動壁14と256本のチャネル用の溝151及び両側に1本ずつの余りの溝151が形成される。
そして、起電力検出手段202を、積層体の両側に設けられた検出用電極204と205に接続し、溝加工を実行している間、圧電素子の変形により生じる検出用電極204と205の間の起電力をリアルタイムで自動的に検出して記憶手段203に記憶させる。
記憶手段203に記憶された起電力の情報に基づいて圧電素子の欠陥を判別することにより、溝加工に起因する圧電素子の歪みにより欠陥が発生した場合においても容易に検出できる。
その後、無電解めっき法により各溝151内及び上記ストライプパターンが形成された下部基板11の下面に0.5〜5μmの膜厚となるように金属層を形成させる。金属層は下層がNi−Bめっき層、上層がAuめっき層となる積層構造とする。このとき、無電解めっき処理の前処理を適切に行うことにより、レジスト上にはめっきが析出しない、いわゆる選択めっきを行うようにする。
次いで、リムーバーでレジストを溶解除去することにより、各溝151の内面にはめっき層が形成されて駆動用電極16が形成され、各駆動壁14の上部には電極が形成されず、また、下部基板11の下面には、各ストライプパターンの間にめっき層が形成されて第1の接続配線17が形成された図7の状態となる。
以上のめっき法による駆動用電極16及び第1の接続配線17の形成方法としてレジストを用いた選択めっき法を行う例を示したが、これに限定されるものではなく、他の方法として、レジストの代わりにドライフィルムレジストを用い、真空蒸着によりアルミニウムを全面に形成した後、溶剤でドライフィルムレジストと共に、ドライフィルムレジスト上のアルミニウムを除去するリフトオフ法でも同様な駆動用電極16及び第1の接続配線17をパターン形成することができる。このとき、望ましくはアルミニウムの上に連続して金を蒸着するとよい。
駆動用電極16及び第1の接続配線17を形成した後、別途用意した上部基板13をエポキシ系接着剤を用いて圧電素子12からなる駆動壁14の上面に固着する。図8は上部基板13を固着した後の状態を示す。これにより、上部基板13と下部基板11との間に駆動壁14と溝151によって形成されたチャネル15とが交互に並設されたヘッド基板aを形成する。固着は、例えば、接着剤を加熱接着後に約2μmになるように均一に塗布し、14〜20kg/cm2の圧力、90〜100℃の温度で約30〜40分程度、加熱接着する。
なお、溝151、駆動用電極16及び第1の接続配線17が形成された積層体は、本実施形態におけるチャネルプレートに相当し、上部基板13は、本実施形態におけるカバープレートに相当する。
そして、起電力検出手段202を、検出用電極204と205に接続し、加熱接着を実行している間、の圧電素子の変形により生じる検出用電極204と205の間の起電力をリアルタイムで自動的に検出し、記憶手段203に記憶させる。
記憶手段203に記憶された起電力の情報に基づいて圧電素子の欠陥を判別することにより、積層体とカバープレートの熱膨張差に起因する圧電素子の歪みにより欠陥が発生した場合においても容易に検出できる。
次に、かかるヘッド基板aを、図8に示すように、チャネル15の長さ方向と略直交するカットラインC1、C2、C3・・・に沿って切断し、1枚のヘッド基板aから複数のヘッドチップ1、1、1・・・を作成する。一対の検出用電極204、205は、研磨等により一旦、除去する。
作成されたヘッドチップ1の前面及び後面の両面(切断面または研磨面)に、図9(a)、図9(b)に示すように、各チャネル15内の駆動壁14に形成された駆動用電極16とそれぞれ電気的に独立した一対の検出用電極204、205を、上面に各検出用電極の一端に電気的に接続されているそれぞれ対応する第3の接続配線217、218をそれぞれ金属の蒸着、メッキ等により形成する。
また、作成されたヘッドチップ1の後面(切断面または研磨面)に、図9(b)に示すように、第2の接続配線18を金属の蒸着、メッキ等により形成する。各駆動用電極16と各第1の接続配線17とが第2の接続配線18によって電気的に接続された状態となる。
別途、ヘッドチップ1のチャネル15と同じピッチで表面に駆動配線31が形成された配線基板3と表面に検出用電極231,232が形成された配線基板4を用意する。配線基板の形成法としては、厚さ0.6mmの基板(大きさ約50mm角)に、配線材料としてCu、Ni、Auをめっきによりこの順で形成した。配線基板3としては約50mm角の基板を半分に切断し、幅25mm、長さ50mmとした。
次いで、ヘッドチップ1と配線基板3とを、図10(a)、(b)に示すように、第1の接続配線17と駆動配線31とを対向させてエポキシ接着剤で接合し固着した。ヘッドチップ1の第1の接続配線17と配線基板3の駆動配線31とは、接着剤の引っ張り応力で引きつけられており、良好な電気的接続をとることができる。なお、配線基板3の接合方法としては、接着剤による他、異方性導電フィルムを用いる方法、半田を用いる方法、導電性接着剤を用いる方法等が適用できる。
次いで、配線基板4を、その表面の検出配線231、232形成面をヘッドチップ1の第3の接続配線217、218と対向させ、各第3の接続配線217、218と各検出配線231、232とが電気的に接続するようにヘッドチップ1における上記配線基板3の接合面と反対面、すなわち、ここではヘッドチップ1の上面にエポキシ接着剤で接合し固着する。これによりヘッドチップ1の後面は、該ヘッドチップ1の後面側にはみ出した配線基板3及び配線基板4によって上下が覆われる状態とされている。
インクとして水系インクを使用する場合には、このようにヘッドチップ1に配線基板3及び配線基板4が固着された状態で、電極保護膜として、例えばCVD法により5μmの膜厚でパリレン膜を形成する。
次いで、ヘッドチップ1の前面及び配線基板3と配線基板4の各前端面に亘って、各チャネル15に対応する位置にノズル孔21が形成されたノズルプレート2を接合する。
接合は、例えば、ノズルプレート2の所定の箇所あるいはヘッドチップ1の所定の箇所に接着剤を塗布し、ヘッドチップ1と接着後、加熱器内に挿入し、接着剤の種類や、被接着物等により変化するが、この実施の形態では、例えば約80℃の温度で約40分程度の加熱を行い、更に、約100℃、20分加熱を行うことで、接着強度を高める。
そして、起電力検出手段202を、配線基板4の検出電極231,232に接続し、加熱接着を実行している間、圧電素子の変形により生じる検出用電極204と205の間の起電力をリアルタイムで自動的に検出し、記憶手段203に記憶させる。
記憶手段203に記憶された起電力の情報に基づいて圧電素子の欠陥を判別することにより、加熱接着に起因する圧電素子の歪みにより欠陥が発生した場合においても容易に検出できる。
次いで、ヘッドチップ1の後面には、配線基板3と配線基板4との間に亘って該ヘッドチップ1の後面を包囲するように囲い壁部5を設け、インク供給室51を形成する。その後、配線基板3には、駆動IC61が実装されたフレキシブル基板6を異方性導電フィルム7により接合する(図1、図2参照)。
インク供給室51にインクを注入し、コネクタ6に電源を接続すると共に、インク吐出させるための制御を行うことによりインクジェットヘッドのノズルからインクが吐出できることになる。
本実施形態のせん断モード型インクジェットヘッドでは、圧電素子は、ノズルプレートやカバープレート等により完全に包囲された状態にあり、インクジェットヘッドを完成した後に検出用電極の形成を行うことが困難である。
従って、前述のように検出用電極の形成は、圧電素子の分極処理後に行う。そして、インクジェットヘッドが完成する前に、随時、圧電素子の起電力特性を測定することにより、特性の劣っている不良品を予め摘出することができる。したがって、不良品を予め除去したうえで、インクジェットヘッドを製造することができるので、インクジェットヘッドの信頼性を向上させることができる。また、インクジェットヘッドの歩留まりを向上させることができる。
2011 圧電素子の検査装置
202 起電力検出手段
203 記憶手段
206 圧電素子
202 起電力検出手段
203 記憶手段
206 圧電素子
Claims (8)
- 圧電素子の両端に位置する面に、圧電素子の起電力を検出する一対の検出用電極を形成する工程と、
前記一対の検出用電極の間に生じる圧電素子の起電力を起電力検出手段で検出する工程と、
前記起電力検出手段で検出された起電力の情報を記憶手段に記憶する工程と、
前記記憶手段に記憶された起電力の情報に基づいて、前記起電力の最大値と予め定められた所定値とを比較することにより前記圧電素子の欠陥を判別する工程とを有することを特徴とする圧電素子の検査方法。 - 前記記憶手段は、EEPROMまたはICタグにより構成されていることを特徴とする請求項1に記載の圧電素子の検査方法。
- 前記圧電素子は、圧電セラミックであることを特徴とする請求項1または2に記載の圧電素子の検査方法。
- 圧電素子とインク吐出用のチャネルとを備え、前記圧電素子を変形させ、前記チャネル内のインクをノズルから吐出させるインクジェットヘッドの製造方法であって、インクジェットヘッドの製造工程において、請求項1〜3の何れか1項に記載の圧電素子の検査方法によって前記圧電素子の検査を行うことを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
- 前記チャネルの一部を形成する溝が複数形成されているとともに、前記溝内面に形成された駆動用電極及びその駆動用電極への駆動電圧の印加にて変形し、少なくとも一部が圧電素子で構成された駆動壁を有するチャネルプレートと、前記チャネルプレートへの装着により前記溝を閉鎖してチャネルを形成するカバープレートと、チャネルに対応する位置にノズル孔が形成されたノズルプレートを備えたインクジェットヘッドの製造工程において、前記圧電素子の検査方法によって圧電素子の検査を行うことを特徴とする請求項4に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
- 前記複数の溝を形成する工程において、前記検出する工程と前記記憶する工程を行うことを特徴とする請求項5に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
- 前記チャネルプレートと前記カバープレートを接着する工程において、前記検出する工程と前記記憶する工程を行うことを特徴とする請求項5または6に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
- 前記チャネルプレートと前記カバープレートの接着により形成された前記チャネルに対応する位置にノズル孔が形成されたノズルプレートを接着する工程において、前記検出する工程と前記記憶する工程を行うことを特徴とする請求項5〜7の何れか1項に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
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JP2013507787A (ja) * | 2009-10-12 | 2013-03-04 | ヒューレット−パッカード デベロップメント カンパニー エル.ピー. | 圧電部材の欠陥の修復 |
JP2013533605A (ja) * | 2010-05-20 | 2013-08-22 | スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー | フレキシブル回路カバーフィルム接着強化 |
-
2007
- 2007-11-14 JP JP2007295325A patent/JP2009119688A/ja active Pending
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