JP2012183792A - 液体噴射ヘッドの検査方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明に係る液体噴射ヘッドの検査方法は、流路32が形成された流路形成基板30と、流路32と連通するノズル穴52を有するノズル板50と、流路32に圧力変化を生じさせるアクチュエーター10と、を含む液体噴射ヘッドの検査方法であって、赤外線顕微鏡を用いて、液体噴射ヘッド100を、ノズル板50側から観察する工程を含み、ノズル板50の材質は、シリコンである。
【選択図】図1
Description
流路が形成された流路形成基板と、前記流路と連通するノズル穴を有するノズル板と、前記流路に圧力変化を生じさせるアクチュエーターと、を含む液体噴射ヘッドの検査方法であって、
赤外線顕微鏡を用いて、前記液体噴射ヘッドを、前記ノズル板側から観察する工程を含み、
前記ノズル板の材質は、シリコンである。
前記液体噴射ヘッドを観察する工程では、前記流路形成基板と前記ノズル板との間の接着状態を観察してもよい。
前記液体噴射ヘッドを検査する工程では、前記流路形成基板に生じた欠陥および前記ノズル板に生じた欠陥を観察してもよい。
まず、本発明に係る検査の対象となる液体噴射ヘッドの一例として、当該液体噴射ヘッドがインクジェット式記録ヘッドである場合について、図面を参照しながら説明する。図1は、本発明に係る検査の対象となる液体噴射ヘッド100を模式的に示す分解斜視図である。図2は、液体噴射ヘッド100を模式的に示す平面図である。図3は、液体噴射ヘッド100を模式的に示す断面図である。なお、図3は、図2のIII−III線断面図である。図2および図3では、便宜上、保護基板40、駆動回路60の図示を省略している。
次に、本実施形態に係る液体噴射ヘッドの検査方法について説明する。
14 第1電極、16 圧電体、18 第2電極、19 配線、30 流路形成基板、
32 圧力発生室、34 リザーバー、36 供給口、38 貫通孔、40 保護基板、
41 凹部、50 ノズル板、52 ノズル穴、60 駆動回路、70 接着剤、
100 液体噴射ヘッド
Claims (3)
- 流路が形成された流路形成基板と、前記流路と連通するノズル穴を有するノズル板と、前記流路に圧力変化を生じさせるアクチュエーターと、を含む液体噴射ヘッドの検査方法であって、
赤外線顕微鏡を用いて、前記液体噴射ヘッドを、前記ノズル板側から観察する工程を含み、
前記ノズル板の材質は、シリコンである、液体噴射ヘッドの検査方法。 - 請求項1において、
前記液体噴射ヘッドを観察する工程では、前記流路形成基板と前記ノズル板との間の接着状態を観察する、液体噴射ヘッドの製造方法。 - 請求項1または2において、
前記液体噴射ヘッドを検査する工程では、前記流路形成基板に生じた欠陥および前記ノズル板に生じた欠陥を観察する、液体噴射ヘッドの製造方法。
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JP2015074186A (ja) * | 2013-10-10 | 2015-04-20 | セイコーエプソン株式会社 | 液体噴射ヘッドの製造方法 |
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