JP2009285911A - インクジェットヘッドの検査方法及びインクジェットヘッドの製造方法 - Google Patents
インクジェットヘッドの検査方法及びインクジェットヘッドの製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2009285911A JP2009285911A JP2008139055A JP2008139055A JP2009285911A JP 2009285911 A JP2009285911 A JP 2009285911A JP 2008139055 A JP2008139055 A JP 2008139055A JP 2008139055 A JP2008139055 A JP 2008139055A JP 2009285911 A JP2009285911 A JP 2009285911A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric element
- signal waveform
- pressure chamber
- inkjet head
- ink
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Abstract
【課題】本発明は、インクジェットヘッドに接着固定された圧電素子の接着状態を短時間で正確に検査することができるインクジェットヘッドの検査方法を提供することを目的とするものである。
【解決手段】インクジェットヘッドの振動板7に接着固定された圧電素子4に駆動回路8よりパルス電圧を印加することで発生する圧電素子4の残留振動による信号波形を検査回路9で測定する。測定された信号波形の振幅が基準範囲内であるか否か判定して、振幅が基準範囲外である場合には圧電素子4の接着状態が不良であると判定する。
【選択図】図2
【解決手段】インクジェットヘッドの振動板7に接着固定された圧電素子4に駆動回路8よりパルス電圧を印加することで発生する圧電素子4の残留振動による信号波形を検査回路9で測定する。測定された信号波形の振幅が基準範囲内であるか否か判定して、振幅が基準範囲外である場合には圧電素子4の接着状態が不良であると判定する。
【選択図】図2
Description
本発明は、インクが充填された圧力室に連通したノズルからインク滴を吐出させるインクジェットヘッドの検査方法及びインクジェットヘッドの製造方法に関するものである。
インクジェット記録方式は、インク記録ヘッドのインク吐出口から微小なインク滴を記録媒体に対して吐出して印字や画像記録を行うもので、記録媒体から離間した状態で記録動作を行うことができることから、様々な材質の記録媒体や物品に記録することが可能で、幅広い用途に使用されてきている。
インクジェット記録に用いるインクジェットヘッドは、種々のタイプのヘッドが開発されてきているが、その中の1つとして、圧電素子に電圧を印加して変形させることでインクが充填された圧力室を膨張及び収縮させて圧力変動を生じさせ、インク滴を吐出させるピエゾタイプのヘッドが開発されている。
こうしたピエゾタイプのヘッドでは、圧電素子の変形によりインクを吐出することから、圧電素子が振動板等に設計どおりに接着していないと圧力室での圧力変動が不十分となって吐出不良を生じるようになる。そのため、インクジェットヘッドに吐出不良が発生した場合には、インクジェットヘッドを分解して圧電素子の接着状態を確認することが必要となるが、一旦製造したインクジェットヘッドを分解することは製造工程において無駄な作業が加わり、非効率的である。また、圧電素子の接着状態が不良のままインクジェットヘッドを使用することも可能であるが、圧電素子を駆動する電圧を圧電素子毎に設定する必要があり、複雑な駆動制御とならざるを得ない。
こうしたことから、インクの吐出を行うことなく圧電素子の接着状態を検査する方法が提案されている。例えば、特許文献1では、インクジェットヘッドに取り付けたピエゾ素子に振動エネルギーを供給することで発生する振動音に基づいてピエゾ素子の接着不良を検査する方法が記載されている。また、特許文献2では、インクジェットヘッドの各ノズルにインピーダンスアナライザを接続して圧電素子の固有振動数を測定し、測定された固有振動数に基づいて圧電素子の接着不良を診断する方法が記載されている。また、特許文献3では、複数の変位素子が設けられた圧電アクチュエータを保持板上に載置固定し、変位素子に一定の電圧を印加して生じる変位量を測定することで圧電アクチュエータを評価する方法が記載されている。
特開平7−333111号公報
特開平11−64175号公報
特開2004−296785号公報
上述した特許文献1では、インク吐出を行うことなく圧電素子の接着状態を検査できるものの振動音を取得するための装置が必要となり、検査装置が複雑化する。そして、振動音を測定するための時間がかかる。特許文献2では、インピーダンスアナライザを用いて各ノズルの固有振動数を測定しているが、ノズル数が増加すると固有振動数を測定するための時間がかかるといったデメリットがある。特許文献3では、変位素子の微小な変位量を測定するための装置が必要で、検査装置が複雑化する。
そこで、本発明は、インクジェットヘッドに接着固定された圧電素子の接着状態を短時間で正確に検査することができるインクジェットヘッドの検査方法を提供することを目的とするものである。
本発明に係るインクジェットヘッドの検査方法は、インクが充填された圧力室に対応して接着固定された圧電素子に電気信号を印加して変形させることで前記圧力室を膨張及び収縮させて、前記圧力室に連通するノズルからインク滴を吐出させるインクジェットヘッドの検査方法であって、前記圧電素子に所定の検査信号を印加して前記圧電素子に発生する残留振動による信号波形を測定し、測定された信号波形に基づいて前記圧電素子の接着状態を検査する。さらに、測定された信号波形の振幅に基づいて前記圧電素子の接着状態を検査することを特徴とする。さらに、測定された信号波形の振幅及び周期に基づいて前記圧電素子の接着状態を検査することを特徴とする。
本発明に係るインクジェットヘッドの製造方法は、ヘッド基板に圧力室を形成する工程と、前記圧力室に対応して圧電素子を接着固定する工程と、前記圧電素子に所定の検査信号を印加して前記圧電素子に発生する残留振動による信号波形を測定する工程と、測定された信号波形に基づいて前記圧電素子の接着状態を検査する工程とを含むことを特徴とする。
上記のような構成を有することで、圧電素子の残留振動による信号波形に基づいて接着状態を検査するので、圧電素子の接着状態を短時間で正確に検査することができる。
以下、本発明の実施形態を図面を用いて説明する。なお、以下に説明する実施形態は、本発明を実施するにあたって好ましい具体例であるから、技術的に種々の限定がなされているが、本発明は、以下の説明において特に本発明を限定する旨明記されていない限り、これらの形態に限定されるものではない。
図1は、インクジェットヘッドの一例に関する模式図である。インクジェットヘッド1の内部には、インクが充填される圧力室2が形成されており、ヘッド1の吐出面側にはノズル3が穿設されている。ノズル3と圧力室2との間はインクが流通する流路が形成されている。圧力室2には、図示せぬインクタンクと連通するインク供給路が接続されており、インクタンクからインクが供給されるようになっている。
これら圧力室2、ノズル3−圧力室2間のインク流通流路及びインク供給路を形成する場合、金属の薄板にエッチングで所望の形状の溝を形成し、この溝が形成された複数の金属薄板を積層して接着することにより金属薄板の積層体内部に形成することができる。インクジェットヘッドに用いられる金属薄板は、形成する溝の形状に応じて0.01mmから1mm厚の薄板を使用するとよい。
ノズル3については、ノズルとなる径20〜30μmの小孔が穿設された金属や樹脂等の薄板を使用する。ノズル穿設薄板は、0.01mm〜0.5mmの厚さのものを用いるとよい。上述の金属薄板の積層体のインク流通流路にノズルとなる小孔が対応するように薄板をセットして接着することによりインク流通流路に連通するノズル3が形成される。
圧力室2の上部には振動板7が取り付けられており、振動板7の上面には圧力室2に対応して板状の圧電素子4が接着固定されている。圧電素子4は、振動板7側の面に下部電極5が形成されており、その反対側の面には上部電極6が形成されている。
振動板7は、厚さ0.01mm〜1mmの金属板やセラミック板等が用いられる。また、圧電素子4は、振動板7と同程度の厚さのものが使用される。
圧電素子4は、下部電極5及び上部電極6の間に駆動信号を印加することで厚み方向と直交する方向に伸縮変形し、それに伴って圧電素子4に接着した振動板7が撓む。電極5−6間に電位差が生じていない状態から、電極6から電極5に向かう電界を生じさせるパルス信号を電極5−6間に印加すると圧電素子4は厚み方向と直交する方向に伸び変形し、圧電素子4に接着固定された振動板7は圧力室2を膨張させる方向に変形する。圧力室2の膨張により内部圧力が低下するのでノズル3−圧力室2間のインク流通流路、ノズル3及びインク供給路から圧力室2内にインクが引き込まれる。この状態を一定期間保持した後に、電極5から電極6に向かう電界を生じさせるパルス信号を電極5−6間に印加すると圧電素子4は厚み方向と直交する方向に縮み変形し、圧電素子4に接着固定された振動板7は圧力室2を収縮させる方向に変形する。圧力室2の収縮により内部圧力が上昇し圧力室2内に滞留するインクが、ノズル3−圧力室2間のインク流通流路を通ってノズル3へ移動する、いわゆる引き押し打ちによりノズル3からインク滴が吐出される。
こうした一回の吐出動作が終了すると、電極5−6間は再び電位差が生じていない状態に保持され、次の吐出動作に備えた待機状態となる。
図2は、インクジェットヘッドを検査する場合の概略構成図である。インクジェットヘッド1は、圧力室2にインクを充填していない状態に設定されており、圧電素子4の下部電極5及び上部電極6には駆動信号を印加する駆動回路8が接続される。また、圧電素子4の下部電極5及び上部電極6には検査回路9が接続される。
検査回路9は、駆動回路8から所定のパルス信号波形が圧電素子4に印加された直後に圧電素子4に発生する残留振動による信号波形の振幅及び周期を測定し、振幅及び周期が所定の基準範囲内であるか否か判定して圧電素子4の接着状態を検査する。
圧電素子4に発生する残留振動はパルス信号波形の立上り時及び立下り時に発生するため、立上り時の残留振動が十分に減衰する前にパルス信号波形が立ち下がると、立上り時の残留振動に立下り時の残留振動が重なるようになって測定すべき残留振動による信号波形が変化するおそれがある。
したがって、パルス信号波形の立上り時の残留振動が十分に減衰してからパルス信号波形を立ち下げるように駆動信号を印加するとよい。また、パルス信号波形を立ち上げる際に圧電素子4に残留振動が発生しないように長い時間をかけてパルス信号波形を立ち上げるようにしてもよい。
また、パルス信号波形の立上り時の残留振動による信号波形を測定することにより圧電素子4の接着状態を検査するようにしてもよい。この場合には、パルス信号波形が立ち上がる直前のパルス信号波形の立ち下りによる残留振動の影響を排除することが好ましい。
図3は、検査回路9における検査処理フローである。まず、圧電素子に所定のパルス電圧を印加して(S100)、印加後の圧電素子の残留振動による信号波形を測定する(S101)。
そして、測定された信号波形の振幅が基準範囲内であるか否か判定する(S102)。信号波形の振幅としては、正方向の最大値、負方向の最大値又は正負の最大値の加算値といった値を用いればよい。
図4は、圧電素子4にパルス信号波形を印加した場合に検査回路9で測定された信号波形を示すグラフである。図4では、縦軸に電圧Vをとり、横軸に時間tをとっている。
この例では、時刻t0に駆動回路8より所定のパルス信号波形が圧電素子4に印加されることで、振幅V0のパルス状の信号波形が時刻t0からt1にかけて生じる。所定のパルス信号波形の印加により圧電素子4は変形するため、印加直後に圧電素子4は変形から元に戻ろうとする際に残留振動が発生するようになる。
図4(a)では、圧電素子4の残留振動による信号波形が時刻t2まで継続して生じている。残留振動による信号波形は、所定の周期Taで交流波形のように変動しながら次第に減衰していく。図4(b)では、図4(a)と同様のパルス信号波形を印加して圧電素子を駆動し、駆動直後の残留振動による信号波形を測定しており、その信号波形は、所定の周期Tbで交流波形のように変動しながら次第に減衰し時刻t2まで継続している。
図4(a)では、振幅として負方向の最大値Vaが基準範囲(V1〜V2)内であることから、圧電素子の接着状態は良好であると判定する。また、図4(b)では、振幅として負方向の最大値Vbが基準範囲(V1〜V2)外であることから、圧電素子の接着状態は不良であると判定する。
ステップS102で振幅が基準範囲内であると判定された場合には、残留振動による信号波形の周期が基準範囲内であるか否か判定する(S103)。
図5は、図4と同様に、残留振動による信号波形を示すグラフである。図5(a)では、振幅である負方向の最大値Vcは基準範囲(V1〜V2)内であり、周期Tcについても基準範囲(T1〜T2)内であるため、圧電素子の接着状態が良好であると判定する。また、図5(b)では、負方向の最大値Vdは基準範囲(V1〜V2)内であるものの周期Tdが基準範囲(T1〜T2)外であるため、圧電素子の接着状態は不良であると判定する。
以上のように、ステップS102及びステップS103で基準範囲内であると判定された場合には、圧電素子の接着状態は良好であると判定される(S104)。また、ステップS102で基準範囲外であると判定された場合には、圧電素子の接着状態は不良であると判定される(S105)。また、ステップS102で基準範囲内であると判定された後に、ステップS103で基準範囲外であると判定された場合にも、圧電素子の接着状態は不良であると判定される(S105)。
図6は、検査回路9における別の検査処理フローである。この例では、振幅のみを検査対象として処理している。まず、圧電素子に所定のパルス電圧を印加して(S200)、印加後の圧電素子の残留振動による信号波形を測定する(S201)。
そして、測定された信号波形の振幅が基準範囲内であるか否か判定する(S202)。信号波形の振幅としては、正方向の最大値、負方向の最大値又は正負の最大値の加算値といった値を用いればよい。ステップS202で基準範囲内であると判定された場合には、圧電素子の接着状態は良好であると判定される(S203)。また、ステップS102で基準範囲外であると判定された場合には、圧電素子の接着状態は不良であると判定される(S204)。
圧電素子として板状のものを用い、図1に示すように振動板に接着固定して20Vのパルス電圧を印加して実験を行った。複数の圧電素子について残留振動による信号波形をオシロスコープ等の測定装置により測定し、振幅として負方向の最大値が基準範囲(−8V〜−10V)内であるか否か判定した。そして、基準範囲内の圧電素子について接着状態を確認したところ接着不良のものは見当たらなかったが、基準範囲外の圧電素子についてはすべて接着不良であった。
このように、パルス信号波形により駆動した場合の圧電素子の残留振動による信号波形を測定して接着状態を検査するので、短時間で正確に検査することができる。
基準範囲よりも振幅が小さい場合には、インクの吐出量や吐出速度が低下するようになり、記録媒体上に記録すると記録濃度の低下及び記録位置のずれとなって現れてくる。基準範囲よりも振幅が大きい場合には、インクの吐出量や吐出速度が増加するようになり、記録媒体上に記録すると記録濃度の上昇及び記録位置のずれとなって現れてくる。したがって、こうした記録濃度の変化及び記録位置のずれが許容範囲内となるように振幅の基準範囲を設定すればよい。
記録濃度の低下及び記録位置のずれの許容範囲は、記録媒体の種類、インクジェットヘッドのタイプ、用いられるインクの特性、要求される画質のレベル等により様々に設定されることから、設定される許容範囲に応じて圧電素子の接着状態の検査における基準範囲を設定できる。そのため、一律の基準範囲を設定してインクジェットヘッドを製造する場合に比べて、様々な基準範囲で製造することで歩留りを改善することが可能となる。
図7は、インクジェットヘッドの製造工程に関する説明図である。まず、ヘッド基板にインク供給路、圧力室、ノズルといったインク流路をエッチング処理等により形成する(S300)。そして、ヘッド基板に形成されたインク流路を覆うように振動板を取り付けて接着固定し、圧力室を形成する(S301)。次に、形成された圧力室に対応する位置に圧電素子を接着固定し(S302)、上述したように圧電素子の接着状態の検査を行う(S303)。そして、検査結果に問題のないものについてインクを充填してインクの吐出検査を行う(S304)。
以上のようにインクジェットヘッドを製造することで、圧電素子が接着不良のものについてはインク吐出検査を行うことがなくなり、不要な検査がなくなって効率よくインクジェットヘッドの製造を行うことが可能となる。
1 インクジェットヘッド
2 圧力室
3 ノズル
4 圧電素子
5 下部電極
6 上部電極
7 振動板
8 駆動回路
9 検査回路
2 圧力室
3 ノズル
4 圧電素子
5 下部電極
6 上部電極
7 振動板
8 駆動回路
9 検査回路
Claims (4)
- インクが充填された圧力室に対応して接着固定された圧電素子に電気信号を印加して変形させることで前記圧力室を膨張及び収縮させて、前記圧力室に連通するノズルからインク滴を吐出させるインクジェットヘッドの検査方法であって、前記圧電素子に所定の検査信号を印加して前記圧電素子に発生する残留振動による信号波形を測定し、測定された信号波形に基づいて前記圧電素子の接着状態を検査するインクジェットヘッドの検査方法。
- 測定された信号波形の振幅に基づいて前記圧電素子の接着状態を検査することを特徴とする請求項1に記載の検査方法。
- 測定された信号波形の振幅及び周期に基づいて前記圧電素子の接着状態を検査することを特徴とする請求項1に記載の検査方法。
- ヘッド基板に圧力室を形成する工程と、前記圧力室に対応して圧電素子を接着固定する工程と、前記圧電素子に所定の検査信号を印加して前記圧電素子に発生する残留振動による信号波形を測定する工程と、測定された信号波形に基づいて前記圧電素子の接着状態を検査する工程とを含むことを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008139055A JP2009285911A (ja) | 2008-05-28 | 2008-05-28 | インクジェットヘッドの検査方法及びインクジェットヘッドの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008139055A JP2009285911A (ja) | 2008-05-28 | 2008-05-28 | インクジェットヘッドの検査方法及びインクジェットヘッドの製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009285911A true JP2009285911A (ja) | 2009-12-10 |
Family
ID=41455616
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008139055A Pending JP2009285911A (ja) | 2008-05-28 | 2008-05-28 | インクジェットヘッドの検査方法及びインクジェットヘッドの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2009285911A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012240416A (ja) * | 2011-05-16 | 2012-12-10 | Samsung Electro-Mechanics Co Ltd | ピエゾインクジェットヘッドの管理装置及び管理方法 |
JP2017149153A (ja) * | 2017-03-24 | 2017-08-31 | セイコーエプソン株式会社 | 液体吐出装置 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1164175A (ja) * | 1997-08-21 | 1999-03-05 | Hitachi Koki Co Ltd | インクジェットヘッドの接着不良診断方法 |
JP2006088446A (ja) * | 2004-09-22 | 2006-04-06 | Fuji Xerox Co Ltd | 液体吐出ヘッドの検査方法及びプリンタ装置 |
JP2008062388A (ja) * | 2006-09-04 | 2008-03-21 | Fuji Xerox Co Ltd | 液滴吐出ヘッドの検査方法と装置及び液滴吐出装置 |
JP2008080532A (ja) * | 2006-09-26 | 2008-04-10 | Kyocera Corp | 液体吐出装置の検査方法、製造方法およびインクジェット印刷装置 |
-
2008
- 2008-05-28 JP JP2008139055A patent/JP2009285911A/ja active Pending
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1164175A (ja) * | 1997-08-21 | 1999-03-05 | Hitachi Koki Co Ltd | インクジェットヘッドの接着不良診断方法 |
JP2006088446A (ja) * | 2004-09-22 | 2006-04-06 | Fuji Xerox Co Ltd | 液体吐出ヘッドの検査方法及びプリンタ装置 |
JP2008062388A (ja) * | 2006-09-04 | 2008-03-21 | Fuji Xerox Co Ltd | 液滴吐出ヘッドの検査方法と装置及び液滴吐出装置 |
JP2008080532A (ja) * | 2006-09-26 | 2008-04-10 | Kyocera Corp | 液体吐出装置の検査方法、製造方法およびインクジェット印刷装置 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012240416A (ja) * | 2011-05-16 | 2012-12-10 | Samsung Electro-Mechanics Co Ltd | ピエゾインクジェットヘッドの管理装置及び管理方法 |
JP2017149153A (ja) * | 2017-03-24 | 2017-08-31 | セイコーエプソン株式会社 | 液体吐出装置 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7753497B2 (en) | Piezoelectric element, liquid droplet ejection head, and liquid droplet ejection apparatus | |
US6984010B2 (en) | Ink jet recording head, method of manufacturing the same method of driving the same, and ink jet recording apparatus incorporating the same | |
US9844934B2 (en) | Liquid jetting device | |
US9199450B2 (en) | Liquid discharge apparatus and residual vibration detection method | |
US10562299B2 (en) | Printing apparatus | |
JP4609018B2 (ja) | 液体吐出ヘッドの検査方法及びプリンタ装置 | |
US10160214B2 (en) | Liquid ejecting apparatus | |
JP2016112554A (ja) | 液滴吐出状態検査方法、液滴吐出装置、及び画像形成装置 | |
JP2009285911A (ja) | インクジェットヘッドの検査方法及びインクジェットヘッドの製造方法 | |
JP4025998B2 (ja) | 液体噴射ヘッドの製造方法 | |
US9796177B2 (en) | Temperature uniformity across an inkjet head using piezoelectric actuation | |
JP2015061744A (ja) | 液滴吐出状態検査方法及び液滴吐出装置 | |
JP5031308B2 (ja) | 液体吐出装置の検査方法、製造方法およびインクジェット印刷装置 | |
JP4497370B2 (ja) | 微小物体の飛翔状態検出装置、及び微小物体の飛翔状態検出方法 | |
JP2003326723A (ja) | アクチュエータ装置の検査方法及びインクジェット式記録ヘッドの検査方法 | |
JP2009160827A (ja) | 微振動パルス設定方法、及び、液体吐出装置 | |
JP2008307772A (ja) | インクジェットヘッド | |
JP5024824B2 (ja) | ヘッド異常検出方法 | |
JP6051809B2 (ja) | 検査方法及び駆動方法 | |
JP5040122B2 (ja) | 固有振動周期測定装置、及び、固有振動周期測定方法 | |
JP3753047B2 (ja) | インクジェットヘッドの駆動方法 | |
JP2013159036A (ja) | 液体噴射ヘッドの製造方法 | |
JP4483332B2 (ja) | 液滴吐出ヘッド製造装置及び液滴吐出ヘッド検査装置 | |
JP5223256B2 (ja) | 圧電素子の製造方法、及び、アクチュエータユニットの製造方法 | |
JP2003136733A (ja) | 圧電アクチュエータ駆動方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Effective date: 20110526 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20120515 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120712 |
|
A02 | Decision of refusal |
Effective date: 20120731 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |