JP5223256B2

JP5223256B2 - 圧電素子の製造方法、及び、アクチュエータユニットの製造方法

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Publication number: JP5223256B2
Application number: JP2007185346A
Authority: JP
Inventors: 朋裕狭山
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 2007-07-17
Filing date: 2007-07-17
Publication date: 2013-06-26
Anticipated expiration: 2027-07-17
Also published as: JP2009026787A

Description

本発明は、インクジェット式プリンタ等の液体噴射装置に適用される圧電素子の製造方法、及び、その圧電素子を複数備えるアクチュエータユニットの製造方法に関するものであり、特に、駆動パルスを圧電素子に印加することによりエージング処理を行う圧電素子の製造方法、及び、アクチュエータユニットの製造方法に関するものである。

液体噴射装置は液体噴射ヘッドを備え、この液体噴射ヘッドから各種の液体を噴射する装置である。この液体噴射装置の代表的なものとして、例えば、液体噴射ヘッドとしてのインクジェット式記録ヘッド（以下、単に記録ヘッドという）を備え、この記録ヘッドから噴射対象物としての記録紙等に対して液体状のインクをインク滴として噴射（吐出）・着弾させてドットを形成することで記録を行うインクジェット式プリンタ（以下、単にプリンタという）等の画像記録装置を挙げることができる。この液体噴射装置は、近年においては、画像記録装置に限らず、例えばディスプレー製造装置等の各種の製造装置にも応用されている。

上記液体噴射ヘッドには、液体を噴射するための駆動源として圧電素子を備えたものがある。この圧電素子は、ＰＺＴ（チタン酸ジルコン酸鉛）からなる圧電材料と電極材料を積層して構成されており、駆動電極と共通電極との間に電圧を印加することによって、変位する。この圧電素子を、ノズル開口に連通する圧力発生室の一部を区画する振動板に接合し、駆動信号を印加して変形駆動させることによって振動板を変形させることができる。そして、この振動板の変形によって圧力発生室の容積が変化して圧力発生室内のインクに圧力変動が生じ、この圧力変動を制御することによってノズル開口から液体を噴射（吐出）することができる。

そして、上記の圧電素子を駆動源として採用している液体噴射ヘッドでは、駆動信号の電圧値に応じて噴射される液体の量が増減するので、圧電素子を駆動するための駆動信号に対し最適な電圧値を設定することが行われている。

ところで、上記の圧電素子は、通常、製造時からの初期段階において特性の急激な低下が見られる。即ち、図９に示すように、駆動パルスの印加数に対する圧電素子の変位量の変化を見ると、最初の数億パルスまではパルスの印加数に対する変位量の変化（低下）の割合が大きく、その後パルスの印加数に対する変位量の変化の割合は小さくなり安定する。以下、このような初期段階での圧電素子の変位量の急激な変化を初期変化と言う。一般的には、このような初期変化を考慮して、製造後の圧電素子に対して所定数のパルスを印加することで初期変化を経過させるためのエージングが行われている（例えば、特許文献１参照）。

特開２００４−２０２８４９号公報

しかしながら、複数の圧電素子を備える液体噴射ヘッドでは、圧電素子の初期変位量が同程度に揃っているとは限らず、これにより、各圧電素子に対して同一条件で一律にエージングを行った場合、エージング後の圧電素子の変位量にばらつきが生じることがあった。なお、初期変位量とは、エージング処理を施す前の圧電素子の変位量を意味する。

本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、駆動パルスを圧電素子に印加することによりエージング処理を行うことで、エージング後の圧電素子間の変位量を揃えることが可能な圧電素子の製造方法、及び、アクチュエータユニットの製造方法を提供することにある。

本発明は、上記目的を達成するために提案されたものであり、駆動パルスの印加による圧電素子の変位によって圧力発生室を膨張または収縮させることでノズル開口から液滴を吐出する液体噴射ヘッド用の圧電素子の製造方法であって、
前記圧電素子の共振周波数を測定する共振周波数測定工程と、
少なくとも圧電素子の変位量の初期変化を経過させることが可能な回数以上、前記駆動パルスを圧電素子に印加することによりエージング処理を行うエージング工程と、を経て成り、
前記エージング工程において、前記共振周波数測定工程で得られた測定共振周波数が基準共振周波数よりも大きい圧電素子ほど駆動パルスの印加回数を規定回数よりも低減させ、前記測定共振周波数が前記基準共振周波数よりも小さい圧電素子ほど駆動パルスの印加回数を規定回数よりも増加させることを特徴とする。
なお、「規定回数」とは、エージング処理を行う場合に基準変位量の圧電素子に設定される駆動パルスの印加回数を意味する。

上記構成によれば、エージング工程において、共振周波数測定工程で得られた測定共振周波数が基準共振周波数よりも大きい圧電素子ほど駆動パルスの印加回数を規定回数よりも低減させ、測定共振周波数が基準共振周波数よりも小さい圧電素子ほど駆動パルスの印加回数を規定回数よりも増加させるので、エージング後の各圧電素子の変位量を揃えることができる。これにより、複数の圧電素子を備え、この圧電素子を液体噴射の駆動源とする液体噴射ヘッドにおいては、噴射特性のばらつきを抑制することが可能となる。

そして、本発明は、駆動パルスの印加による圧電素子の変位によって圧力発生室を膨張または収縮させることでノズル開口から液滴を吐出する液体噴射ヘッド用の圧電素子を複数備えるアクチュエータユニットの製造方法であって、
前記各圧電素子の共振周波数を測定する共振周波数測定工程と、
少なくとも圧電素子の変位量の初期変化を経過させることが可能な回数以上、前記駆動パルスを各圧電素子に印加することによりエージング処理を行うエージング工程と、を経て成り、
前記エージング工程において、前記共振周波数測定工程で得られた測定共振周波数が基準共振周波数よりも大きい圧電素子ほど駆動パルスの印加回数を規定回数よりも低減させ、前記測定共振周波数が前記基準共振周波数よりも小さい圧電素子ほど駆動パルスの印加回数を規定回数よりも増加させることを特徴とする。

上記構成によれば、エージング工程において、共振周波数測定工程で得られた測定共振周波数が基準共振周波数よりも大きい圧電素子ほど駆動パルスの印加回数を規定回数よりも低減させ、測定共振周波数が基準共振周波数よりも小さい圧電素子ほど駆動パルスの印加回数を規定回数よりも増加させるので、圧電素子毎のエージング後の変位量のばらつきを抑えたアクチュエータユニットを提供することができる。

以下、本発明を実施するための最良の形態を、添付図面を参照して説明する。なお、以下に述べる実施の形態では、本発明の好適な具体例として種々の限定がされているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの態様に限られるものではない。また、本実施形態では、液体噴射ヘッドの一例としてインクジェット式記録ヘッド（以下、記録ヘッド）を例に挙げて説明する。

図１は、本実施形態における記録ヘッド１の断面図である。例示した記録ヘッド１は、インク（液体の一種）を噴射して噴射対象物（例えば、記録紙）に画像等を記録するために用いられるものであり、ヘッドケース２にヘッドユニット３およびインク導入針４を取り付けて概略構成されている。

ヘッドケース２は、例えば、合成樹脂等を用いて射出成型することによって作製されており、複数のインク導入針４を取り付けるためのベース部５と、このベース部５からインク導入針の取付側とは反対側に延出した中空箱体状の流路形成部６とにより成る部材である。ベース部５には、図示しないインクカートリッジ（液体供給源の一種）を配置するための配置部が区画されており、これらの配置部にそれぞれインク導入針４が取り付けられている。本実施形態におけるヘッドケース２は、合計６本のインク導入針４を備えている。インク導入針４は、先端部が円錐形状に尖った中空針状部材であり、インクを針内部に導入するためのインク導入孔が開設されている。そして、このインク導入針４がカートリッジ内に挿入されると、カートリッジ内部に貯留されたインクがインク導入孔を通じて記録ヘッド１内に導入されるようになっている。

流路形成部６には、インク導入針４から導入したインクをヘッドユニット３の各圧力発生室（図２参照）に供給するためのインク供給路８が、各インク導入針４に対応して複数形成されている。各インク供給路８の上流端部と、各インク導入針４との間には、流路内の異物や気泡を濾別するためのフィルタ７が介装されている。また、流路形成部６内には、記録ヘッド１が搭載されるプリンタ側からの駆動信号（駆動パルス）を圧電素子（図２参照）に供給するためのフレキシブルケーブル（図示せず）などが収容されるようになっている。

図２は、上記ヘッドユニット３の構成を説明する要部断面図である。本実施形態におけるヘッドユニット３は、流路ユニット１０とアクチュエータユニット１１とを備えて概略構成されている。

流路ユニット１０は、インク供給口１３およびノズル連通口１４の一部となる貫通孔を開設した供給口形成基板１５と、共通インク室１６（共通液体室の一種）となる貫通孔およびノズル連通口１４の一部となる貫通孔を開設したインク室形成基板１７と、ノズル開口１９を開設したノズル基板１８から構成されている。これらの供給口形成基板１５、インク室形成基板１７、ノズル基板１８は、例えば、ステンレス製の板材をプレス加工することで作製されている。そして、流路ユニット１０は、インク室形成基板１７の一方の面に（図２中下側）にノズル基板１８を、他方の面（同図上側）に供給口形成基板１５をそれぞれ配置し、これらを積層状態で接合することで作製される。

上記ノズル基板１８には、複数のノズル開口１９を列設してノズル列（ノズル群）が横並びに形成されており、本実施形態では、ノズル列は一定のピッチ（例えば、３６０ｄｐｉ）で開設された３６０個のノズル開口１９によって構成されている。

アクチュエータユニット１１は、インク導入口１２となる貫通孔および圧力発生室２０となる貫通孔を開設した圧力発生室形成基板２３と、インク導入口１２となる貫通孔が開設され、圧力発生室２０の一部を区画する振動板２４と、インク導入口１２の一部となる貫通孔、供給側連通口２５の一部となる連通孔、およびノズル連通口１４の一部となる連通孔を開設した連通口基板２６と、圧電素子２７とによって構成される。

このアクチュエータユニット１１は、圧力発生室形成基板２３の一方の表面に連通口基板２６を、他方の表面に振動板２４をそれぞれ配置して各部材を接合し、その後、振動板２４の表面に圧電素子２７を形成することで作製される。これらの各部材の中で圧力発生室形成基板２３、振動板２４、および、連通口基板２６は、アルミナや酸化ジルコニウム等のセラミックスで作製されており、焼成によって接合される。

上記の圧電素子２７は、所謂撓みモード型の圧電素子であり、圧力発生室２０とは反対側の振動板２４の表面に圧力発生室２０毎に形成されている。即ち、１条のノズル列に対して合計３６０個の圧電素子２７が、各ノズル開口１９に対応して設けられている。この圧電素子２７は、圧電体層３０と駆動電極３１と共通電極３２とによって構成される多層構造であり、駆動電極３１と共通電極３２とによって圧電体層３０を挟んでいる。駆動電極３１には、フレキシブルケーブル等を介して駆動信号（駆動パルス）が印加される。一方、共通電極３２は、例えば接地電位に調整される。そして、駆動電極３１に駆動信号が印加されると、駆動電極３１と共通電極３２との間には電位差に応じた電場が発生する。この電場は圧電体層３０に付与され、圧電体層３０は付与された電場の強さに応じて変形する。即ち、駆動電極３１の電位を高くする程、圧電体層３０は電場と直交する方向に収縮し、圧力発生室２０の容積を少なくするように振動板２４を変形させる。このようにして、圧電素子２７を変位させることで対応する圧力発生室２０が収縮或いは膨張し、圧力発生室２０内のインクに圧力変動が生じる。このインク圧力を制御することで、ノズル開口１９からインク滴（液滴）を噴射させることができる。

ところで、記録ヘッド１を製造して何等の対策（以下で説明するエージング処理）をしない状態では、同じ条件でインク滴を噴射させてもインク滴の噴射特性（インク滴の量や飛翔速度等）がノズル開口１９毎に相違してしまう場合がある。特に、本実施形態のように、ノズル開口１９毎に圧電素子２７を有する構成では、圧電素子２７の個体差（即ち、変位量の違い）の影響を受けてしまうので、インク滴の噴射特性はノズル開口１９毎にばらつく傾向がある。

インク滴の噴射特性がノズル開口１９毎にばらついてしまうと、記録画像の濃淡ばらつきなどの画質低下を招いてしまうため、全てのノズル開口１９におけるインク滴の噴射特性を揃えることが望ましい。このため、本実施形態においては、駆動パルスを印加したときの圧電素子２７の変位量を測定し、測定結果に応じた回数の駆動パルスを圧電素子２７に印加してエージング処理を行うことで、エージング後の圧電素子２７の変位量を同程度に揃えるようにしている。

以下、圧電素子２７の変位量測定工程およびエージング工程の手順について説明する。なお、変位量測定工程は、例えば、ヘッドユニット３をヘッドケース２に取り付ける前の段階で行われる。

まず、変位量測定工程では、図３に示すように、例えばレーザードップラー振動計や静電容量計等の非接触測定機３５を用いて各圧電素子２７の変位を測定する。本実施形態における非接触測定機３５はレーザードップラー振動計により構成され、測定対象の圧電素子２７にレーザー光を照射し、照射光と反射光の周波数変化を利用して圧電素子２７の変位量を求める。なお、圧電素子２７の変位測定については、例示したレーザードップラー振動計には限らず、種々の測定装置を利用することができる。

図４は、ノズル列を構成する３６０個のノズル開口１９（ノズル番号＃１〜＃３６０）にそれぞれ対応する圧電素子２７の変位量を例示している。この例では、＃１のノズル開口１９に対応する圧電素子２７の変位量が最も大きく、＃３６０側の圧電素子２７ほど変位量が小さくなっている。噴射されるインクの量は圧電素子２７の変位量に応じて増減するため、この場合、＃１のノズル開口１９から噴射されるインク量が最も多く、＃３６０側のノズル開口１９ほどインク量が少なくなる。ここで、図４においてＢで示す線は、各圧電素子２７の初期変位量の平均値（基準変位量）である。なお、この基準変位量は、同一ノズル列に対応する各圧電素子２７の初期変位量の平均値であっても良いし、記録ヘッド１に搭載される全ての圧電素子２７の初期変位量の平均値であっても良い。

個々の圧電素子２７の変位量（初期変位量）を測定したならば、エージング工程に移る。このエージング工程では、記録ヘッド１をプリンタ又はエージング用の装置に取り付けた状態で行う。
図５は、エージング工程を行う際の装置構成を説明する模式図である。エージング工程において各部を制御する制御部３６は、ＲＯＭ３７に記憶された制御プログラム等に従って各部を制御するＣＰＵ３９と、各種データ処理のための制御プログラム等を記憶したＲＯＭ３７と、各種データ等を記憶するＲＡＭ３８と、記録ヘッド１の圧電素子２７を駆動するための駆動信号を発生する駆動信号発生回路４０と、変位量測定工程で得られた各圧電素子２７の初期変位量を記憶する不揮発性記憶素子４１と、記録ヘッド１にデータを出力するインタフェース（Ｉ／Ｆ）部４２とを相互に接続した状態で備えている。

駆動信号発生回路４０は、記録ヘッド１の圧電素子２７に供給する吐出パルスの電圧値の変化量を示すデータと吐出パルスの電圧を変化させるタイミングを規定するタイミング信号とが入力され、これらのデータ及びタイミング信号に基づいて、図６に示すような駆動信号ＣＯＭを発生する。例示した駆動信号ＣＯＭは、第１駆動パルスＰＳ１、第２駆動パルスＰＳ２、第３駆動パルスＰＳ３を周期Ｔ毎に発生している。

これらの第１駆動パルスＰＳ１〜第３駆動パルスＰＳ３は、何れも同じ波形形状の吐出パルス信号によって構成されている。即ち、これらの駆動パルスＰＳ１〜ＰＳ３は、中間電位Ｖｍから最低電位ＶＬまで比較的緩やかな勾配で電位を降下させる膨張要素Ｐ１と、最低電位ＶＬを所定時間保持する膨張ホールド要素Ｐ２と、最低電位ＶＬから最高電位ＶＰまで急勾配で電位を上昇させる収縮要素Ｐ３と、最高電位ＶＰを所定時間保持する収縮ホールド要素Ｐ４と、最高電位ＶＰから中間電位Ｖｍまで電位を下降させる制振要素Ｐ５とを含んで構成されている。膨張要素Ｐ１が圧電素子２７に供給されると、圧電素子２７が撓んで圧力発生室２０が比較的緩やかに膨張し圧力発生室２０が減圧される。続いて、膨張ホールド要素Ｐ２が供給されることで圧力発生室２０の膨張状態が維持される。その後、収縮要素Ｐ３が供給されて圧電素子２７が反対側に撓み、圧力発生室２０が極く短時間で収縮し、この収縮状態が収縮ホールド要素Ｐ４の供給期間に亘って維持される。そして、これらの収縮要素Ｐ３及び収縮ホールド要素Ｐ４の供給により、圧力発生室２０内のインクが急激に加圧されてノズル開口１９からインクが噴射される。続いて制振要素Ｐ５が供給されて圧力発生室２０が緩やかに膨張され、インクが噴射された後のメニスカスの振動を収束させる。

上記構成の制御部３６は、少なくとも圧電素子２７の変位量の初期変化（図９参照）を経過させることが可能な最小回数以上、上記の駆動パルスを記録ヘッド１の各圧電素子２７に連続的に印加して圧電素子２７を駆動することでエージングを行う。この際、制御部３６は、変位量測定工程で得られた測定変位量（初期変位量）が基準変位量よりも大きい圧電素子２７ほど駆動パルスの印加回数を規定回数よりも増加させ、測定変位量が基準変位量よりも小さい圧電素子２７ほど駆動パルスの印加回数を、最小回数を下回らない範囲内で規定回数よりも低減させる。

例えば、図４の場合、測定変位量が基準変位量Ｂに相当する値である圧電素子２７（＃１８０のノズル開口１９に対応する圧電素子２７）については、駆動パルスの印加回数を規定回数に相当する５億回に設定する。また、基準変位量Ｂよりも測定変位量が大きい圧電素子２７ほど駆動パルスの印加回数を５億回よりも多く設定し、測定変位量が最も大きい＃１のノズル開口１９に対応する圧電素子２７については駆動パルスの印加回数を６億に設定する。一方、基準変位量Ｂよりも測定変位量が小さい圧電素子２７ほど駆動パルスの印加回数を最小回数（この例では３億）を下回らない範囲内で５億回よりも少なく設定し、測定変位量が最も小さい＃３６０のノズル開口１９に対応する圧電素子２７については駆動パルスの印加回数を４億に設定する。

図９に示すように、本実施形態における最小回数である３億回よりも下回る回数は、急激な特性変化（変位量変化）を生じる範囲であり、この３億回を越えると緩やかな特性変化となる。即ち、上記の４億回、５億回、６億回は初期変化域を十分に超える回数である。４億回は、初期変位量が最も小さい圧電素子について初期変化域を経過させることが可能な回数であり、６億回は、初期変位量が最も大きい圧電素子のエージング後の変位量を、初期変位量が最も小さい圧電素子のエージング後の変位量に揃えることが可能な回数である。

なお、駆動パルスの印加回数については、本実施形態において例示したものには限られず、圧電素子の特性に応じて適宜変更することができる。また、例えば、初期変位量が最も小さい（最小変位量の）圧電素子に対する駆動パルスの印加回数（最小回数）を基準とし、初期変位量が最小変位量に比べてより大きい圧電素子ほど駆動パルスの印加回数を最小回数よりも増加するような設定の仕方を採用しても良い。

このようにしてエージング工程において初期変位量に応じて駆動パルスの印加回数を増減しつつ圧電素子２７の変位量低下を意図的に生じさせることで、図７に示すように、エージング後の各圧電素子２７の変位量を揃えることができる。これにより、これらの圧電素子２７を備える記録ヘッド１においては、インクの噴射特性、即ち、噴射されるインクの量、噴射されたインクの飛翔速度などのばらつきを抑制することが可能となる。その結果、画像を記録する際には、むらの少ない良好な画質を得ることができる。特にノズル列を複数備える場合においては、ノズル列間の噴射特性を揃えることができるので、画像の濃度や色相を設計通りに揃えることが可能となる。

ところで、本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲の記載に基づいて種々の変形が可能である。

上記の実施形態では、圧電素子２７の変位量を直接測定した例を示したが、これには限られない。例えば、圧電素子２７の共振周波数（固有振動数）を測定し、この測定結果に応じてエージングを行う構成を採用することも可能である。即ち、圧電素子２７の共振周波数を測定し（共振周波数測定工程）、測定共振周波数が基準共振周波数（各圧電素子２７の共振周波数の平均値）よりも大きい圧電素子２７ほど駆動パルスの印加回数を、最小回数以上であって規定回数よりも少ない値に設定し、測定共振周波数が基準共振周波数よりも小さい圧電素子２７ほど駆動パルスの印加回数を規定回数よりも大きい値に設定してエージング工程を行うことで、上記実施形態と同様の作用効果を得ることができる。
同様に、圧電素子２７の変位量は、噴射されるインクの量や飛翔速度に密接に関わっているため、エージング工程を行う前にインクの噴射量や飛翔速度を測定し、測定結果に応じてエージング工程における駆動パルスの印加回数を設定するようにしてもよい。

また、上記実施形態では、圧力発生室２０毎（ノズル開口１９毎）に個別に設けられる所謂撓み振動モードの圧電素子２７を例示したが、これには限らず、例えば、図８に示すような、所謂縦振動モードの圧電素子４４を複数備えてユニット化されたアクチュエータユニット４５に対しても本発明は好適である。即ち、初期変位量や共振周波数等に応じてエージング工程における駆動パルスの印加回数を増減することで、圧電素子毎のエージング後の変位量のばらつきを抑えたアクチュエータユニットを提供することができる。

なお、本発明は、上記記録ヘッド１に限らず、上記のような圧電素子を備えるものであれば他の液体噴射ヘッドにも適用することができる。例えば、液晶ディスプレー等のカラーフィルタの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬ（Electro Luminescence）ディスプレー、ＦＥＤ（面発光ディスプレー）等の電極形成に用いられる電極材噴射ヘッド、バイオチップ（生物化学素子）の製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等にも本発明を適用することができる。

記録ヘッドの構成を示す断面図である。ヘッドユニットの構造を説明する要部拡大断面図である。圧電素子の変位量を測定する様子を示す模式図である。各ノズル開口に対応する圧電素子の変位量を示す図である。エージング工程を行う際の装置構成を説明する模式図である。駆動信号の構成の一例を説明する波形図である。エージング前とエージング後の変位量を例示する図である。アクチュエータユニットの構成を説明する斜視図である。駆動パルスの印加数と圧電素子の変位量との関係を説明する図である。

符号の説明

１…記録ヘッド，１１…アクチュエータユニット，１９…ノズル開口，２０…圧力発生室，２７…圧電素子，３５…非接触測定機，３６…制御部，４０…駆動信号発生回路

Claims

駆動パルスの印加による圧電素子の変位によって圧力発生室を膨張または収縮させることでノズル開口から液滴を吐出する液体噴射ヘッド用の圧電素子の製造方法であって、
前記圧電素子の共振周波数を測定する共振周波数測定工程と、
少なくとも圧電素子の変位量の初期変化を経過させることが可能な回数以上、前記駆動パルスを圧電素子に印加することによりエージング処理を行うエージング工程と、を経て成り、
前記エージング工程において、前記共振周波数測定工程で得られた測定共振周波数が基準共振周波数よりも大きい圧電素子ほど駆動パルスの印加回数を規定回数よりも低減させ、前記測定共振周波数が前記基準共振周波数よりも小さい圧電素子ほど駆動パルスの印加回数を規定回数よりも増加させることを特徴とする圧電素子の製造方法。
駆動パルスの印加による圧電素子の変位によって圧力発生室を膨張または収縮させることでノズル開口から液滴を吐出する液体噴射ヘッド用の圧電素子を複数備えるアクチュエータユニットの製造方法であって、
前記各圧電素子の共振周波数を測定する共振周波数測定工程と、
少なくとも圧電素子の変位量の初期変化を経過させることが可能な回数以上、前記駆動パルスを各圧電素子に印加することによりエージング処理を行うエージング工程と、を経て成り、
前記エージング工程において、前記共振周波数測定工程で得られた測定共振周波数が基準共振周波数よりも大きい圧電素子ほど駆動パルスの印加回数を規定回数よりも低減させ、前記測定共振周波数が前記基準共振周波数よりも小さい圧電素子ほど駆動パルスの印加回数を規定回数よりも増加させることを特徴とするアクチュエータユニットの製造方法。