WO2008065790A1

WO2008065790A1 - Metallic probe, method of forming the same and metallic probe forming apparatus

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Publication number: WO2008065790A1
Application number: PCT/JP2007/066406
Authority: WO
Inventors: Junichi Fujita
Original assignee: Japan Science And Technology Agency
Priority date: 2006-11-30
Filing date: 2007-08-24
Publication date: 2008-06-05
Also published as: EP2088420A1; JPWO2008065790A1; US20140183169A1; EP2088420A4; US20100066402A1; JP4837747B2

Description

明細書

金属プローブ、その金属プローブの形成方法及びその形成装置技術分野

[0001] 本発明は、金属プローブの形成方法及びそれによつて製造される金属プローブに係り、特に、半導体極微細領域での局所計測で利用されるナノレベルの極めて尖鋭な金属プローブ、その金属プローブの形成方法及びその形成装置に関するものであ背景技術

[0002] 電子ビームや紫外線、 EUVなどの短波光を用いた超微細リソグラフィ技術の進展により、超集積化半導体デバイスはその線幅が 50nm程度に至るまで超微細化され、さらに微細領域での量産が検討されるに至っている。

[0003] このような超微細半導体デバイスが製造される一方で、配線の短絡や切断などの故障解析に欠かせないのが局所計測プローブである。今日の尖端プローブは電解研磨や、イオンビームによる局所研磨等で、尖端曲率が数十 nm程度のものが比較的容易に形成され、電極プローブとして利用されている。

[0004] しかしながら、超 LSIデバイスの線幅がさらに縮小化されるなかで、これら局所計測プローブに要求される先端曲率もさらに小さなものが望まれている。

[0005] 通常このようなプローブ先端の先鋭化には下記非特許文献 1に示すような電解研磨法が用いられる。 KOH等の電解液中でプローブとなるタングステン線母材などをグラフアイトなどの対向電極を用いて交流電流を流すとタングステン線先端が研磨され先鋭化する。このような技術で一般には数十ナノメートル (nm)から数百 nmの先端曲率半径を持つプローブが作製され、走査プローブ顕微鏡探針に用いられる。しかし、探針先端の曲率半径は、電解研磨した金属探針の場合には lOOnm程度が限界である。

[0006] そこで、 lOnm程度の径を持つカーボンナノチューブ（CNT)を金属探針の先端に接着して STM探針等に利用する方法が、下記非特許文献 2, 3等に提案されている力 S、なかなか普及しない。 [0007] その原因は、 CNTと金属探針の接触抵抗が大きいこと、また、 CNTと金属探針の機械的な接着力が弱レ、ことなどのため、測定の再現性を得ることがなかなか困難だ力である。

[0008] 一方で、下記の非特許文献 4に示すように、 CNTとの接触抵抗問題を、 CNTを接続した金属探針全体を膜厚数 nmの金属被膜でコートする技術で回避する技術的可能性も示されている。金属被膜 CNT探針を用いて、 STM像だけでなく正常な走査トンネルスペクトルが取れること、金属を被膜しても CNT本来の柔軟性が失われて!/、ないことも示されている。

非特許文献 1 :ウノレ卜ラマイクロスコーピー誌、 1992年 42巻 44号 ppl 533— 1537

A computer— controlled technique for electrochemical S ΓΜ tip fab rication； Ultramicroscopy, Vol. 42— 44, pp. 1533— 1537(1992) ; R. Fainc htein and P. R. Zarriello； Elsevier Science Publishers B. V.

非特許文献 2 : Y. Shingaya, et al. , Physica B323(2002)153.

非特許文献 3 : M. Ishikawa, et al. , Japan. J. Appl. Phys. 41(2002)4908. 非特許文献 4 : T. Ikuno, et al. , Jpn. J. Appl. Phys. 43(2004)L644.

発明の開示

[0009] 上記したように電解研磨やナノチューブ複合プローブ等により STM技術は格段に進歩したが、 10nmのナノチューブに数 nmの金属被膜を形成するための探針先端曲率は結局 20nm程度になってしまう。次世代超 LSI技術としては、 30nmノード技術が議論されていることを鑑みれば、さらに先端曲率半径の小さな、少なくとも曲率半径数 nmオーダーの鋭い計測プローブを実現することが必要である。し力、も、機械的強度や複合構造に起因する接触抵抗などを考慮すると、同種元素による金属で形成された一体物の先鋭化プローブが好ましレ、。一般には加熱しながら溶解温度以下で金属棒を引き延ばすことで極細の先端を作製することが可能である力特に、高融点金属をナノスケールで引き延ばすことは極めて困難である。

[0010] 本発明は、上記状況に鑑みて、金属プローブ本体の先端部が炭素含有の金属からなり、尖鋭化された金属プローブ、その金属プローブの形成方法及びその形成装置を提供することを目的とする。 [0011] 本発明は、上記目的を達成するために、

〔1〕金属プローブにおいて、金属プローブ本体の先端部が炭素含有のタンダステン（W)、ハフニウム（Hf )、ロジウム（Rh)、レニウム（Re)、オスミウム（Os)、タンタノレ（

Ta)、イリジウム（Ir)、モリブデン（Mo)、ジルコニウム（Zr)、チタン (Ti)、プラチナ（Pt

)、ノレテニゥム (Ru)の少なくとも一つを含むことを特徴とする。

[0012] 〔2〕上記〔1〕記載の金属プローブにおいて、前記金属プローブ本体の先端部の曲率半径が 10nm以下であり、該金属プローブ先端部が、炭素含有のアモルファス相力、らなることを特徴とする。

[0013] 〔3〕上記〔1〕又は〔2〕記載の金属プローブであって、電界放射素子用ェミッタであることを特徴とする。

[0014] 〔4〕金属プローブの形成方法において、金属プローブ本体の先端部を局所的に溶かす工程と、カーボンを混入する工程と、前記金属プローブ本体の先端部を引き延ばす工程とを含むことを特徴とする。

[0015] 〔5〕金属プローブの形成方法において、カーボンナノチューブの後端部と金属プローブ本体の先端部を接触させる工程と、前記接触箇所に電子ビームを局所照射し、前記接触箇所にカーボンの分解生成物（コンタミネーシヨン)を堆積して前記カーボンナノチューブと前記金属プローブ本体とを接合し、カーボンナノチューブ付きプローブを作製する工程と、前記カーボンナノチューブの先端部と該カーボンナノチューブの先端部に対向して配置される対向電極との間に電位を与え、前記金属プローブ本体の先端部を溶融する工程と、前記金属プローブ本体の先端部を引き延ばし、前記カーボンナノチューブを前記金属プローブ本体から弓 Iき離す工程と、この引き離しにより前記金属プローブ本体の先端部に曲率半径が 10nm以下の先端部を形成する工程とを施すことを特徴とする。

[0016] 〔6〕上記〔4〕又は〔5〕記載の金属プローブの形成方法において、前記金属プロ一ブ本体は電解研磨により先鋭化された金属プローブからなることを特徴とする。

[0017] 〔7〕上記〔5〕記載の金属プローブの形成方法において、前記カーボンナノチューブと前記金属プローブ本体との接合に、炭化水素系ガスを原料とした、電子ビーム分解生成物を用いることを特徴とする。 [0018] 〔8〕金属プローブの形成装置において、カーボンナノチューブカートリッジと、このカートリッジのカーボンナノチューブの後端部を先鋭化された電解研磨プローブの先端部に接合し、カーボンナノチューブ付きプローブを作製する手段と、前記カーボンナノチューブの先端部に対向して配置される対向電極と、この対向電極と前記カーボンナノチューブ付きプローブの先端部の間に電位を与え、前記金属プローブ本体の先端部を溶融する手段と、前記カーボンナノチューブの先端部に溜まった電荷によって前記カーボンナノチューブを前記対向電極にクーロン引力により吸引して前記金属プローブ本体の先端部を引き延ばし、前記カーボンナノチューブを前記金属プローブ本体から引き離し、前記金属プローブ本体の先端部に曲率半径が 10nm以下の超鋭利な先端部を形成する手段とを具備することを特徴とする。

[0019] つまり、（1)電解研磨で先鋭化した金属プローブ先端にカーボンナノチューブを接合させ、接合部分をジュール加熱によって局所溶融し、カーボンナノチューブと金属プローブを相互に引き離すことにより、極めて鋭利な先端部を持つ金属プローブを得

[0020] (2)上記（1)記載の金属プローブの形成方法において、カーボンナノチューブの先端の極めて近い距離に対向電極を設置し、この対向電極とカーボンナノチューブ間に電位を与えることで、カーボンナノチューブ先端からの電界放射を誘導し、この電界放射に伴うジュール加熱によって金属プローブの先端を加熱することを特徴とする

[0021] (3)上記（1)記載の金属プローブの形成方法において、カーボンナノチューブによる金属プローブ本体の先端部の引き延ばし、および引き離しには、対向電極とカーボンナノチューブ間に働くクーロン引力を用いることを特徴とする。

[0022] (4)上記（1)記載の金属プローブの形成方法において、カーボンナノチューブと金属プローブ本体との接合には、炭化水素系ガスを原料とした電子ビーム分解堆積法を用い、アモルファス炭素の堆積物によって行うことを特徴とする。（5)尖鋭化された金属一体プローブであって、上記（1)〜（4)記載の方法によって製造される金属プローブである。

[0023] すなわち、本発明は、タングステン (W)、イリジウム（Ir)などの金属元素を用いた超尖鋭化プローブの形成方法にお!/、て、電解研磨により先鋭化された金属プローブ先端にカーボンナノチューブを電子ビーム励起反応によるアモルファスカーボンで接合し、対向電極（陽極）との間の電界放射に伴うジュール加熱で金属との接合部を溶融し、同時に対向電極とカーボンナノチューブ間のクーロン引力で融解部分を引き延ばすことで 10nm以下の先端曲率半径をもつ超鋭利な金属プローブを形成する。図面の簡単な説明

[0024] [図 1]本発明の実施例を示す超尖鋭化金属プローブの形成方法を示す模式図であ

[図 2]本発明を実施した時のプローブ先端の SEM像を示す図である。

[図 3]本発明に係る尖鋭化タングステンプローブ先端からの電界放射特性図である。

[図 4]図 3の（b)と（c)のプローブの電界放射特性の FN (ファーラ一.ノードハイム）プロットを示す図である。

[図 5]対向電極（陽極）とプローブ先端距離を 10 mに固定した場合の電界放射特性を示す図である。

[図 6]プローブ先端の高分解 TEM像を示す図である。

[図 7]本発明の MWCNTカートリッジの模式図である。

[図 8]本発明に係るカートリッジ力プローブ先端に CNTを接合し、引き抜く操作の模式図である。

発明を実施するための最良の形態

[0025] 尖鋭化したプローブに対する潜在的需要は大きい。特に最近の LSIの発達はめざましぐ DRAMの配線幅は 50nmを切ろうしている。このような超微細な構造を持つ L SI用のテストプローブとしては、そのプローブ先端曲率が被測定対象の構造物よりも充分に小さいことが必要とされる。一般的に水酸化ナトリウム（NaOH)や水酸化カリゥム溶媒を用いた電解研磨によって研磨されたタングステンプローブはおおよそ 50 〜； !OOnm程度の先端曲率を持つ。また、非常に厳密な研磨制御を行うことで 20nm 程度の曲率半径を得ることも不可能ではないが、現実には極めて困難なプロセスである。

[0026] 一方で、本発明によって開示する超尖鋭化金属プローブの作製では、多層 CNT などを研磨金属（タングステン)プローブに接合させ、強電界を与える。金属（タンダステン)プローブと多層 CNTの接合には走査電子顕微鏡試料室内の残留炭化水素を用いる。マイクロマニピュレータで多層 CNTと金属（タングステン)プローブを接触させ、接触箇所に電子ビームを局所照射すると、その場所にカーボンの分解生成物（コンタミネーシヨン）が堆積し、多層 CNTと金属（タングステン)プローブが接合する。この金属（タングステン）プローブの尖鋭化プロセスで CNTを使うことには意味がある。この尖鋭化プロセスでは、多層 CNT先端からの電界放射を誘起し、このときの電流によるジュール加熱によって、金属（タングステン)プローブの先端を溶融する。しかし、多層 CNT自体はまだ溶けることはなぐ金属（タングステン)プローブの先端のみが溶融する。同時に CNT先端に溜まった電荷によって多層 CNTは対向電極に引かれ、金属（タングステン)プローブの先端部分が引き延ばされる。

汎用走査電子顕微鏡の視野の下で、対向電極と多層 CNT先端の距離を 10 m 程度に設定し、この状態で電界をかけていくと約 100Vの印加電圧で多層 CNT先端力、らの電界放射が見られるようになる。この状態からさらに電位を上げると、多層 CN T本体および金属（タングステン)プローブの先端が加熱され、やがて自由電子放出により、 SEMの 2次電子像は見えなくなる。このとき STEM装置があれば、さらに加熱 ·溶融による金属（タングステン)プローブの先端の変形過程をモニターすることが可能である。ほどよく先端が伸びたところで、一気に印加電圧を上げると、多層 CNT は金属（タングステン)プローブの先端をくわえたまま、対向電極に向かって引きちぎられる。このとき、金属（タングステン)プローブの先端には超尖鋭化した金属（タンダステン)プローブの先端が形成される。つまり、多層 CNTが金属（タングステン)プローブやその他の高融点貴金属の溶解温度においても溶けないことと、同時に炭化水素によるコンタミネーシヨン高融点貴金属の溶解温度でもなお多層 CNTと金属プローブの先端を接合し続けるようにしたので、このような尖鋭化プロセスが可能となる。以上、多層 CNTを接合した金属プローブの先端に、外部電位を与えて電界放射させ、超尖鋭化された金属プローブを得るための方法として、本発明は次の実施形態に基づくものである。すなわち、

(1)電解研磨で先鋭化された金属プローブの先端に多層 CNTを接合させ、接合部分をジュール加熱によって局所溶融し、多層 CNTと金属プローブを相互に引き離すことで極めて鋭利な先端を持つ金属プローブを形成することを特徴とする。

[0028] (2)金属プローブの形成方法にお!/、て、多層 CNTの先端の極めて近!/、距離に対向電極を設置し、この対向電極と多層 CNTの間に電位を与えることで、多層 CNT先端からの電界放射を誘導し、この電界放射に伴うジュール加熱によって金属プロ一ブ先端を加熱することを特徴とする。

[0029] (3)金属プローブの形成方法において、多層 CNTによる金属プローブ先端の引き延ばし、および引き離しには、対向電極と多層 CNT間に働くクーロン引力を用いることを特徴とする。

[0030] (4)金属プローブの形成方法において、多層 CNTと金属プローブとの接合には、炭化水素系ガスを原料とした電子ビーム分解堆積法を用い、アモルファス炭素の堆積物によって接合することを特徴とする。

[0031] (5)本発明は、タングステン (W)、イリジウム（Ir)などの金属元素を用いた超尖鋭化プローブの形成方法において、荒削りの金属プローブ先端に多層 CNTを電子ビーム励起反応によるアモルファスカーボンで接合し、対向電極（陽極）との間の電界放射に伴うジュール加熱で金属との接合部を溶融し、同時に対向電極と多層 CNTの間のクーロン引力で融解部分を引き延ばすことで、 lOnm以下の先端曲率半径をもつ超鋭利な先端部を有する金属プローブの形成技術を提供する。

実施例

[0032] 以下、本発明の実施の形態について詳細に説明する。また、この説明では、プロ一ブとしてタングステンを用いた場合を例に挙げる。

[0033] 図 1は本発明の実施例を示す超尖鋭化金属プローブの形成方法を示す模式図であり、図 1 (a)はその前半の製造工程の説明図、図 1 (b)はその後半の製造工程の説明図である。

[0034] これらの図において、 1はカーボンナノチューブ〔多層 CNT〕、 2は電解研磨金属〔高融点金属、例えばタングステン (W) ,イリジウム（Ir)〕からなる尖鋭化された金属プローブ本体、 3はカーボンコンタミネーシヨンによる接合部、 4は対向電極、 5は高圧電源、 6は汎用走査電子顕微鏡の試料室、 7は汎用走査電子顕微鏡の試料室 6内の原料ガス、 8は CNT接合位置で引きちぎられた金属プローブ本体 (タングステン）の固まり、 9は本発明によって形成される超尖鋭化された炭素含有の先端部を有する金属プローブである。つまり、プローブ先端の曲率半径が 10nm以下、最小値 2nm の超尖鋭化された先端部を有する金属プローブ 9を形成することができる。なお、金属プローブ本体の先端部が炭素含有の金属としては、上記したタングステン (W) ,ィリジゥム（Ir)以外にもハフニウム（Hf)、ロジウム（Rh)、レニウム（Re)、オスミウム（Os )、タンタル (Ta)、モリブデン（Mo)、ジルコニウム（Zr)、チタン (Ti)、プラチナ（Pt)、ノレテニゥム（R_U)を用いること力 Sできる。

[0035] 本発明の超尖鋭化金属プローブの製造プロセスは、以下の通りである。

[0036] まず、金属プローブの製造装置を汎用走査電子顕微鏡の試料室 6内に設置し、この試料室 6内に残留する炭化水素ガスをコンタミネーシヨンの原料ガス 7とする。もちろん、専用のガスノズルを設置し、例えばフエナントレンゃピレンといった炭化水素ガスを原料ガスとしても良い。この実施例における CNTの取り扱いでは、 CNTを安全力ミソリの刃先に分散させたカートリッジを用いた。一般に市販されている多層 CNT をメノウ乳鉢でよく粉砕し、エタノール中に超音波を併用しながら分散させる。 CNTを分散させた溶液を力ミソリの刃を 50 m程度に対向させたギャップ中に滴下し、 20V で 1MHz程度の高周波を印加すると、 CNTが刃先に分散する。この CNTが刃先に分散したカートリッジを用い、 SEM中でナノマニピュレータの先端に写し取る。このときもマニピュレータ先端に CNT1を接触させ、局所的に電子ビームを照射すると、照射位置にカーボンコンタミネーシヨンが形成される。そのままマニピュレータを動かすと、マニピュレータ先端に接合された CNT1本をカートリッジから引き抜くことが可能である。このようにして得られた CNT1を、マニピュレータを操作して尖鋭化しようとする金属プローブ本体 2の先端に接触させ、同様に電子ビーム照射で CNT1を接合する。このとき、マニピュレータ先端での固定は弱くしておき、尖鋭化すべき金属プロ一ブ本体 2の先端での固定が充分に強固であることが必要である。金属プローブ本体 2 の先端での固定が完了した後にマニピュレータを移動させることで、 CNTが先端に固定された金属プローブが形成できる。以上の操作は十分に安定した汎用走査電子顕微鏡の試料室 6内で顕微鏡像を観測しながら行うことが理想である。次に、 CN T先端に対して約 10 程度の間隔をあけて、対向電極 4を設置し、図 1 (a)に示すように、金属プローブ本体 2に負電位を印加していく。約 100V程度から CNT1先端からの電界放射が見られ、次第に金属プローブ本体 2の先端の温度が上昇して!/、く。この温度上昇に伴い、金属プローブ本体 2の表面および CNT1表面からの 2次電子放出が多くなり、 600°Cを越えるあたりから SEMの 2次電子画像は真っ白になってしまう。逆にこの状況から試料の温度を推定することが可能である。

[0037] これ以上は 2次電子画像では状況を把握できな!/、が、 STEM (透過電子検出器）を備えた装置であれば、この後の温度上昇による金属プローブ本体 2の先端の伸びを把握することが可能である。

[0038] 観測して!/、る典型的な電界放射電流値は、せ!/、ぜレ、 a A程度である力 CNT1と金属プローブ本体 2の先端は充分に温度が上昇し、金属プローブ (タングステン）ではあっても金属プローブ本体 2の先端の伸びが観測される。この段階で一気に印加電圧を上げると、図 1 (b)に示すように、その瞬間の発熱のクーロン引力によって金属 (タングステン）プローブ本体 2の先端が引きちぎられ、 CNT1は対向電極 4に衝突し、金属プローブ本体 2からの電界放射が止まる。

[0039] この超尖鋭化された先端部を有する金属（タングステン)プローブ 9を得る確率は非常に高ぐ先端曲率が 5nm程度のものが容易に得られる。また、最終の金属プロ一ブ先端の引き離しの直前に金属プローブ本体 2と対向電極 4の位置関係を変更することで、先端にくびれをもたせたような金属プローブ 9を形成することも可能である。

[0040] 上記したように、本発明の金属プローブの製造方法としては、金属プローブ本体の先端部を局所的に溶かす工程と、カーボンを混入する工程と、前記金属プローブ本体の先端部を弓 Iき延ばす工程とを含む。

(具体例）

本発明のタングステンプローブの形成方法の具体例について説明する。

[0041] (1)電解研磨したタングステンプローブ先端に電子ビーム照射によるカーボンコンタミネーシヨンでカートリッジ端の CNTを接合する。このときの電子ビーム電流は 200 pA, 15keVである。

[0042] (2)ピエゾァクチユエータを操作してタングステンプローブを引き抜く。典型的な CN Tサイズは直径が 20〜50nm程度、タングステンプローブ先端からおよそ 1 · 5 111程度 CNTが突出している。

[0043] (3)次に、ァクチユエータを操作して、 CNTと対向電極の距離をおよそ 5 μ mに設定する。タングステンプローブ側をグラウンドに、対向電極側をアノードにする。ァノード電位が 110V程度から CNT先端からのェミッションが始まる。

[0044] (4)だいたい ΙΟρΑのェミッションで、 SEMの 2次電子像がホワイトアウトする（ただし、タングステンプローブの直径に依存する）。つまり、 CNTおよびタングステンプローブ先端力 00°Cを超え、自由電子の放出が始まったことを示す。

[0045] (5)放射電流を徐々に上げ (典型的には lV/sec程度の電位昇圧）、おおよそ、放射電流が 10〜15〃Αで、 CNTの付いたタングステンプローブ先端がクーロン力で引きちぎられる。このときの瞬間的なェミッション電流の落ち込みを検出してアノード電位を自動的に切断し、プローブ先端の曲率半径が lOnm以下、最小値 2nmの超尖鋭化された先端部を有する金属プローブが作製される。

[0046] 図 2は本発明を実施した時のプローブ先端の SEM像を示す図である。

[0047] 図 2 (a)は MW (マルチウォール） CNTを接合したタングステンプローブ、図 2 (b)は本発明の超尖鋭化したタングステンプローブ先端であり、このタングステンプローブの先端曲率は 5nm以下となっている。図 2 (c)は参考例としての先端がラウンドしてしまったプローブであり、図 2 (d)は電解研磨直後のプローブ先端である。

[0048] 一般的に電解研磨で得られる先端曲率は 50nm程度であるが、条件を最適化し、また研磨に熟練すると、図 2 (d)に示すような先端曲率が 20nm程度のものも作製可能である。し力、し、図 2 (b)のように数 nmの先端曲率を得ることは電解研磨ではほとんど不可能である。

[0049] このような CNT付きのプローブの電界放射特性を図 3に示す。

[0050] ここでは、対向電極（陽極）と、 CNT先端の距離は 5 H mである。対向電極に 120V 程度印加されたあたりから CNT先端より電界放射が始まる。印加電圧の上昇とともに電界放射電流が増え、約 ΙΟηΑ程度の放出で、通常の SEM (走査電子顕微鏡像）が見えなくなる。これはタングステンプローブ先端（CNTの接合部分）での温度が上昇し、自由電子の放出で、 SEMの 2次電子検出器が飽和するからである。このまま放射を増やしていくと、 1 A程度でタングステンプローブ先端が溶け、 CNTが対向電極（陽極）に引っ張られてタングステンプローブ先端が破断する。このときに非常に尖鋭な（超尖鋭化）タングステンプローブ先端が形成されることになる。

[0051] 一方で、尖鋭化タングステンプローブ先端からの電界放射特性も図 3における（b) に示すように非常に低い閾値から放出が始まる。これは、超尖鋭なタングステンプローブ先端では非常に強い電界集中が起こり、タングステンプローブ先端付近にのみ局所的に強電界が形成されているからである。図 3における（c)は先端がラウンドしてしまったタングステンプローブからの電界放射特性を示した物であり、測定条件は同一である。図 3における (b)と（c)は同じタングステンであるから、表面仕事関数は同じである。両者の放電開始の閾値の違いは局所的電界集中の違いを反映しており、この集中を表すパラメータはェンノヽンスメント係数と呼ばれる。

[0052] 図 4は、図 3における（b)と（c)のプローブの電界放射特性の FN (ファーラー'ノードハイム）プロットを示す図である。この図において、電界放射電流 j〔A〕は、電界強度を F〔V/m〕，仕事関数 φ 〔eV〕とすると、

[0053]

、 j

ノである。しかし、通常電界強度 Fは局所的な形状による増強効果 γがあり、 F= y F となる。ただし、 F =V/dで表される陽極とプローブ先端の間の平均の電界強度である。先端がラウンドしたタングステンプローブ (C)と超尖鋭化したタングステンプロ一ブ（b)の傾きの違いが局所的電界強度の違いである。ここで、図 4における（b)の超尖鋭化したプローブにおける電界放射の立ち上がりは FNプロットにおいて、傾きが緩い、つまり局所的電界増強係数が大きいことがわかる。ところ力電流の増加とともに、その傾きは図 4における（c)と同程度つまり、丸まってしまったタングステンプロ一ブと同じ傾きに変わっている。超尖鋭化したタングステンプローブ先端はわずかの電界放射電流で先端がジュール加熱され、タングステンであっても溶ける。つまり、先端は溶けて丸まってくる。この段階ですでに熱電子の放出も始まっていて、電界放射は継続するが先端形状はすでにラウンドしている。

[0054] 図 4の（c)として示したデータは、この超尖鋭化したタングステンプローブ（b)の電界放射を行い、次に再度電界放射特性を測定したデータである。このように、非常に尖鋭化したタングステンプローブ先端はわずかの電界放射電流でも溶けやすい。

[0055] この溶けやすさは、タングステン先端部分の引き延ばし方、つまりタングステンプローブ先端の角度に強く依存する。比較的鈍角のタングステンプローブでは、熱伝導が良好であり、電界放射による先端の溶融と丸まりは少ないが、先端角度が鋭角な（尖った)タングステンプローブでは熱伝導が悪く容易にラウンドする傾向にある。しかし、一方で、超 LSIテスター用のプローブなど電流は流さないが、先端が鋭利であることが望ましい場合もある。この場合は時間をかけてタングステンプローブ先端の引き延ばしを行い、先端角度の極めて小さな鋭利な先端を形成することも可能である。例えば、プローブ先端の曲率半径が 10nm以下、最小値 2nmの超尖鋭化された先端部を形成することができる。

[0056] しかし一方で、電子ェミッタ一としての用途の場合は、逆に先端角度を鈍角にして熱伝導を上げ、放射電流に対するジュール加熱を押さえることで電流耐圧を改善することも可倉である。

[0057] なお、上記した超尖鋭化した金属プローブは、電界放射素子用ェミッタとして利用すること力 Sできる。特に、大電流 (約 1mA)の放射に耐える電界放射素子用ェミッタとして使用できることが確認できた。

[0058] 図 5は対向電極（陽極）とプローブ先端距離を 10 mに固定した場合の電界放射特性を示す図、図 6はプローブ先端の高分解 TEM像を示す図である。

[0059] 一般的な電界研磨タングステンプローブは、図 5の（a)に示すように、電界放射開始の閾値電圧も高ぐ放射電流が 1 Α程度で先端が溶融してしまう。一方で、先端に CNTを接ぎ木したプローブの電界放射開始電圧は、 100V程度と低ぐまた放射電流値も 10 A程度まで流れる。これ以上の放射電流を制御しながら流すと、図 6に示すようなプローブ先端が溶けた超尖鋭化したプローブを形成することができる。ここで、特筆すべきことは、このように形成された超尖鋭化した金属プローブは、図 5の (b )に示すように、 1000 Aを超す電界放射電流を放出することができるという点である。この耐電流値は通常の STMに用いられる電界研磨タングステンプローブの 100 0倍以上の値である。得られた超尖鋭化したプローブ先端の高分解 TEM像からはプローブ先端がアモルファスであること、さらに EDX分析によりタングステンとカーボンが主たる構成物質であることが示されたことから、プローブ先端部はカーボンが混入したアモルファス状のタングステンとなっていることが判明した。なお、プローブ先端力 Sこれらのあので被覆されているようにすること力 Sでさる。

[0060] 次に、 MWCNTカートリッジの作製について説明する。

[0061] 図 7は本発明の MWCNTカートリッジの模式図である。

[0062] 超尖鋭化した金属プローブを作製するためには、まず、図 7 (a)に示すように、 MW CNT13がナイフエッジ 12に並んでいるカートリッジ 11を作製する。

[0063] 通常は〔例えば、 Appl. Phys. Lett. , 4061—4063 (1999)〕ナイフエッジ（力ミソリの刃など） 12を並べて、隙間 14を 50 m程度にする。この隙間 14にアルコールなどに分散した MWCNT溶液〔CNT分散 IPA (イソプロピルアルコール） 15を滴下し、ナイフエッジ 12間に交流電圧 16を印加すると、双極子力で MWCNT13がナイフエッジ 12に対して直角に配向する。このような MWCNTカートリッジを作製し、図示しないが所望のプローブ先端にカーボンコンタミネーシヨンで接合する。

[0064] 一方で、図 7 (b)に示すように、カートリッジ 21を構成するシリコン基板 22の劈開面は、例えば、（100)基板を用いた場合は直角となり、電界集中による多層 CNT23のエッジ配列の観点からは劣るはずである力実際は、シリコン基板 22の劈開によるェッジは多層 CNT23の直径と比較しても極めて鋭利である。本実施例では、シート抵抗 1 Ω程度のドーパント入りシリコン基板 22を用い、双極子力による Si基板エッジへの多層 CNT23配列を行って!/、る。

[0065] 超音波を用いて多層 CNT溶液 24中に分散させた多層 CNT23をシリコン基板 22 の劈開面で作った対向エッジ間に 1MHz程度の交流電圧 25を加えると双極子力で MWCNT23がシリコン基板 22に対して直角に配向する。

[0066] 図 8は本発明に係るカートリッジからプローブ先端に CNTを接合し、引き抜く操作の模式図である。

[0067] カートリッジ 31を構成するシリコン基板 32の劈開面 33のエッジ 34に多層 CNT35 を配置し、カーボンコンタミネーシヨン接合 36でエッジ 34上の多層 CNT35と電解研磨されたプローブ 37の先端をしつ力、り接合した後に、プローブ 37をそっとカートリッジ 31から引き離す。多層 CNT35はアルコール中の不純物やファンデアワールスカで物理吸着しているだけなので、容易にカートリッジ 31からはずれ、多層 CNT35付きプローブが完成する。

[0068] なお、本発明は上記実施例に限定されるものではなぐ本発明の趣旨に基づき種々の変形が可能であり、これらを本発明の範囲から排除するものではない。

[0069] 本発明によれば、金属プローブ本体の先端部が炭素含有の金属からなり、尖鋭化された金属プローブを形成することができる。

[0070] 特に、先端曲率半径が lOnm以下の超尖鋭化金属プローブを容易に形成することが可能となり、従来の STM'AFM技術における高分解能プローブとして機能するとともに、半導体デバイス検査用プローブとしても次世代聴講集積 LSIに対応することが可能となり、ナノ半導体デバイスにおける技術的産業的発展に寄与することができ

産業上の利用可能性

[0071] 本発明の超尖鋭化金属プローブ、その金属プローブの形成方法及びその形成装置は、様々な材料の先端を lOnm以下の曲率半径に容易に尖鋭化することを可能にする基礎技術であり、超高集積 LSI用テスターや電界放射素子などへの利用が可能である。

Claims

請求の範囲

[1] 金属プローブ本体の先端部が炭素含有のタングステン (W)、ハフニウム（Hf)、ロジゥム（Rh)、レニウム（Re)、オスミウム（Os)、タンタノレ (Ta)、イリジウム（Ir)、モリブデン（Mo)、ジルコニウム（Zr)、チタン（Ti)、プラチナ（Pt)、ルテニウム（Ru)の少なくとも一つを含むことを特徴とする金属プローブ。

[2] 請求項 1記載の金属プローブにおいて、前記金属プローブ本体の先端部の曲率半径が 10nm以下であり、該金属プローブ先端部が、炭素含有のアモルファス相からなることを特徴とする金属プローブ。

[3] 請求項 1又は 2記載の金属プローブであって、電界放射素子用ェミッタであることを特徴とする金属プローブ。

[4] (a)金属プローブ本体の先端部を局所的に溶かす工程と、

(b)カーボンを混入する工程と、

(c)前記金属プローブ本体の先端部を引き延ばす工程とを含むことを特徴とする金属プローブの形成方法。

[5] (a)カーボンナノチューブの後端部と金属プローブ本体の先端部を接触させる工程と

(b)前記接触箇所に電子ビームを局所照射し、前記接触箇所にカーボンの分解生成物（コンタミネーシヨン）を堆積して前記カーボンナノチューブと前記金属プローブ本体とを接合し、カーボンナノチューブ付きプローブを作製する工程と、

(c)前記カーボンナノチューブの先端部と該カーボンナノチューブの先端部に対向して配置される対向電極との間に電位を与え、前記金属プローブ本体の先端部を溶融する工程と、

(d)前記金属プローブ本体の先端部を引き延ばし、前記カーボンナノチューブを前記金属プローブ本体から弓 Iき離す工程と、

(e)該引き離しにより前記金属プローブ本体の先端部に曲率半径が 10nm以下の先端部を形成する工程とを施すことを特徴とする金属プローブの形成方法。

[6] 請求項 4又は 5記載の金属プローブの形成方法において、前記金属プローブ本体は電解研磨により先鋭化された金属プローブからなることを特徴とする金属プローブの形成方法。

[7] 請求項 5記載の金属プローブの形成方法において、前記カーボンナノチューブと前記金属プローブ本体との接合に、炭化水素系ガスを原料とした、電子ビーム分解生成物を用いることを特徴とする金属プローブの形成方法。

[8] (a)カーボンナノチューブカートリッジと、

(b)該カートリッジのカーボンナノチューブの後端部を先鋭化された電解研磨プロ一ブの先端部に接合し、カーボンナノチューブ付きプローブを作製する手段と、

(c)前記カーボンナノチューブの先端部に対向して配置される対向電極と、

(d)該対向電極と前記カーボンナノチューブ付きプローブの先端部の間に電位を与え、前記金属プローブ本体の先端部を溶融する手段と、

(e)前記カーボンナノチューブの先端部に溜まった電荷によって前記カーボンナノチユーブを前記対向電極にクーロン引力により吸引して前記金属プローブ本体の先端部を引き延ばし、前記カーボンナノチューブを前記金属プローブ本体から弓 Iき離し、前記金属プローブ本体の先端部に曲率半径が lOnm以下の超鋭利な先端部を形成する手段とを具備することを特徴とする金属プローブの形成装置。