JP2021092450A - Rh基合金からなるプローブピン用材料およびプローブピン - Google Patents
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Abstract
Description
ベリリウム銅やリン青銅、タングステンを使用しているプローブピンは、耐酸化性に劣り、使用の際、表面に酸化膜が生成され、繰り返し検査を続けていくうちに酸化物が検査対象物に付着し、導通不良が発生するといった問題がある。
このなかでパラジウム合金を使用しているプローブピンは、加工硬化で硬さを向上させる場合と、析出硬化により硬さを向上させる場合、あるいはその両方により硬さを向上させる。また、白金合金は、固溶硬化および加工硬化により硬さを向上させる。
本発明に従うプローブピンに使用する合金は、それ自体既知の方法に従い、例えばRhにHfを所定量添加し、それをアーク溶解炉やプラズマ溶解炉にて溶解することにより製造することができる。溶解時の炉雰囲気としては、不活性ガスを使用することができる。また溶融状態の上記の合金を適当な型で凝固させることにより、インゴットを作製する。
比抵抗=(抵抗×断面積)/長さ
Claims (2)
- Hfが0.05〜4.0mass%および不可避不純物と合わせて合計で100mass%となるRh合金からなるプローブピン用材料。
- 請求項1に記載のプローブピン用材料を用いて作製されたプローブピン。
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