JP5757547B1 - Rh基合金からなるプローブピン及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
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ベリリウム銅やリン青銅、タングステンを使用しているプローブピンは、耐酸化性に劣り、使用の際、表面に酸化膜が生成され、繰り返し検査を続けていくうちに酸化物が検査対象物に付着し、導通不良が発生するといった問題がある。
このなかでパラジウム合金を使用しているプローブピンは、加工硬化で硬さを向上させる場合と、析出硬化により硬さを向上させる場合、あるいはその両方により硬さを向上させる。また、白金合金は、固溶硬化および加工硬化により硬さを向上させる。
プローブピンは、プローブカードに組み込むため所定の形状に加工する必要があることから、最低でも90°の折り曲げ時に、表面のクラック等の欠陥を抑える必要がある。
またRhは、加工硬化能が大きいため低加工率でも硬さの増加が大きく、強加工が施しにくい材料である。そのため加工を施しても結晶粒は粗大なままで、粒界を起点としたクラックが入りやすい。
本発明に従うプローブピンに使用する合金は、それ自体既知の方法に従い、例えばRhにZrを所定量添加し、それをアーク溶解炉やプラズマ溶解炉にて溶解することにより製造することができる。溶解時の炉雰囲気としては、不活性ガスを使用することができる。また溶融状態の上記の合金を適当な型で凝固させることにより、インゴットを作製する。
また加工材をさらに1000℃×1hr熱処理した各サンプル(以下、熱処理材という)の硬さ測定結果を表2に示す。
各サンプルの室温での比抵抗調査結果を表4に示す。
その時の加工状況を表6に示す。
このことから、所定量のZrを添加しないと、曲げ応力が加わらない加工では問題ないが、加工歪みが入った状況で曲げ応力が加わると、クラックが入り、粒界に沿って破折しやすくなることが分かる。また比較例1-3のように、Zr以外の元素を添加しても改善するとは限らないことが分かる。
Claims (5)
- Zrを0.08〜0.70mass%含有し、残部がRhおよび不可避不純物からなるRh基合金で、アスペクト比(結晶粒の幅に対する長さの比、結晶粒長さ/結晶粒幅)が4以上、ビッカース硬さが350以上の材料からなるプローブピン。
- 請求項1のプローブピンの製造方法において、プローブピンに使用する材料を加工前に700℃以上で熱処理後、圧延率が60%以下で圧延することを特徴とするプローブピンの製造方法。
- 請求項1のプローブピンの製造方法において、プローブピンに使用する材料を加工前に700℃以上で熱処理後、断面減少率が60%以下で伸線加工することを特徴とするプローブピンの製造方法。
- 請求項1のプローブピンの製造方法において、プローブピンに使用する材料を700〜1100℃の温度範囲にて加熱後、圧延率が60%以下で圧延することを特徴とするプローブピンの製造方法。
- 請求項1のプローブピンの製造方法において、プローブピンに使用する材料を700〜1100℃の温度範囲にて加熱後、断面減少率が60%以下で伸線加工することを特徴とするプローブピンの製造方法。
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JP2017170543A (ja) * | 2016-03-22 | 2017-09-28 | 雅義 秋山 | 尖塔型金属製機械部品、尖塔型金属製機械部品の製造方法 |
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