JP4837747B2 - 金属プローブ、その金属プローブの形成方法及びその形成装置 - Google Patents
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Description
ウルトラマイクロスコーピー誌、1992年42巻44号pp1533−1537 A computer−controlled technique for electrochemical STM tip fabrication;Ultramicroscopy,Vol.42−44,pp.1533−1537(1992);R.Fainchtein and P.R.Zarriello;Elsevier Science Publishers B.V. Y.Shingaya,et al.,Physica B323(2002)153. M.Ishikawa,et al.,Japan.J.Appl.Phys.41(2002)4908. T.Ikuno,et al.,Jpn.J.Appl.Phys.43(2004)L644.
〔1〕金属プローブにおいて、金属プローブ本体の先端部が炭素含有のタングステン(W)、ハフニウム(Hf)、ロジウム(Rh)、レニウム(Re)、オスミウム(Os)、タンタル(Ta)、イリジウム(Ir)、モリブデン(Mo)、ジルコニウム(Zr)、チタン(Ti)、プラチナ(Pt)、ルテニウム(Ru)の少なくとも一つを含むことを特徴とする。
(1)電解研磨で先鋭化された金属プローブの先端に多層CNTを接合させ、接合部分をジュール加熱によって局所溶融し、多層CNTと金属プローブを相互に引き離すことで極めて鋭利な先端を持つ金属プローブを形成することを特徴とする。
(具体例)
本発明のタングステンプローブの形成方法の具体例について説明する。
Claims (9)
- 金属プローブ本体の先端部がタングステン(W)、ハフニウム(Hf)、ロジウム(Rh)、レニウム(Re)、オスミウム(Os)、タンタル(Ta)、イリジウム(Ir)、モリブデン(Mo)、ジルコニウム(Zr)、チタン(Ti)、プラチナ(Pt)、ルテニウム(Ru)の少なくとも一つとカーボンが主たる構成物質であることを特徴とする金属プローブ。
- 請求項1記載の金属プローブにおいて、前記金属ブローブ本体の先端部がアモルファス相であることを特徴とする金属プローブ。
- 請求項1記載の金属プローブにおいて、前記金属プローブ本体の曲率半径が10nm以下であることを特徴とする金属プローブ。
- (a)金属プローブ本体の先端部を局所的に溶かす工程と、
(b)カーボンを混入する工程と、
(c)カーボンナノチューブの後端部と前記金属プローブ本体の先端部を結合し、対向電極にクーロン引力により吸引して前記金属プローブ本体の先端部を引き延ばす工程とを含むことを特徴とする金属プローブの形成方法。 - (a)カーボンナノチューブの後端部と金属プローブ本体の先端部を接触させる工程と、
(b)前記接触箇所に電子ビームを局所照射し、前記接触箇所にカーボンの分解生成物(コンタミネーション)を堆積して前記カーボンナノチューブと前記金属プローブ本体とを接合し、カーボンナノチューブ付きプローブを作製する工程と、
(c)前記カーボンナノチューブの先端部と該カーボンナノチューブの先端部に対向して配置される対向電極との間に電位を与え、前記金属プローブ本体の先端部を溶融する工程と、
(d)前記金属プローブ本体の先端部を引き延ばし、前記カーボンナノチューブを前記金属プローブ本体から引き離す工程と、
(e)該引き離しにより前記金属プローブ本体の先端部に曲率半径が10nm以下の先端部を形成する工程とを施すことを特徴とする金属プローブの形成方法。 - 請求項4又は5記載の金属プローブの形成方法において、前記金属プローブ本体は電解研磨により精鋭化された金属プローブからなることを特徴とする金属プローブの形成方法。
- 請求項5記載の金属プローブの形成方法において、前記カーボンナノチューブと前記金属プローブ本体との接合に、炭化水素系ガスを原料とした、電子ビーム分解生成物を用いることを特徴とする金属プローブの形成方法。
- (a)カーボンナノチューブカートリッジと、
(b)該カートリッジのカーボンナノチューブの後端部を先鋭化された電解研磨プローブの先端部に接合し、カーボンナノチューブ付きプローブを作製する手段と、
(c)前記カーボンナノチューブの先端部に対向して配置される対向電極と、
(d)該対向電極と前記カーボンナノチューブ付きプローブの先端部の間に電位を与え、前記金属プローブ本体の先端部を溶融する手段と、
(e)前記カーボンナノチューブの先端部に溜まった電荷によって前記カーボンナノチューブを前記対向電極にクーロン引力により吸引して前記金属プローブ本体の先端部を引き延ばし、前記カーボンナノチューブを前記金属プローブ本体から引き離し、前記金属プローブ本体の先端部に曲率半径が10nm以下の超鋭利な先端部を形成する手段とを具備することを特徴とする金属プローブの形成装置。 - 請求項4、5、6又は7記載の金属プローブの形成方法によって製造される金属プローブ。
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