JP5568268B2 - 半導体検査装置用コンタクトプローブピン - Google Patents
半導体検査装置用コンタクトプローブピン Download PDFInfo
- Publication number
- JP5568268B2 JP5568268B2 JP2009213419A JP2009213419A JP5568268B2 JP 5568268 B2 JP5568268 B2 JP 5568268B2 JP 2009213419 A JP2009213419 A JP 2009213419A JP 2009213419 A JP2009213419 A JP 2009213419A JP 5568268 B2 JP5568268 B2 JP 5568268B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- intermediate layer
- conductive film
- amorphous carbon
- probe pin
- based conductive
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R3/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture or maintenance of measuring instruments, e.g. of probe tips
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R1/00—Details of instruments or arrangements of the types included in groups G01R5/00 - G01R13/00 and G01R31/00
- G01R1/02—General constructional details
- G01R1/06—Measuring leads; Measuring probes
- G01R1/067—Measuring probes
- G01R1/06711—Probe needles; Cantilever beams; "Bump" contacts; Replaceable probe pins
- G01R1/06755—Material aspects
- G01R1/06761—Material aspects related to layers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01R—ELECTRICALLY-CONDUCTIVE CONNECTIONS; STRUCTURAL ASSOCIATIONS OF A PLURALITY OF MUTUALLY-INSULATED ELECTRICAL CONNECTING ELEMENTS; COUPLING DEVICES; CURRENT COLLECTORS
- H01R13/00—Details of coupling devices of the kinds covered by groups H01R12/70 or H01R24/00 - H01R33/00
- H01R13/02—Contact members
- H01R13/03—Contact members characterised by the material, e.g. plating, or coating materials
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Leads Or Probes (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Laminated Bodies (AREA)
Description
本発明の一局面は、プローブピンの導電性基材の表面に非晶質炭素系導電性皮膜を形成して成る半導体検査装置用コンタクトプローブピンである。まず、実施形態1において、導電性基材の表面上に非晶質炭素系導電性皮膜が直接形成される実施形態、すなわち、導電性基材表面と前記非晶質炭素系導電性皮膜との間に後述する中間層を設けない実施形態について、説明する。
次に、半導体検査装置用プローブピンの導電性基材表面と上述の非晶質炭素系導電性皮膜との間に、中間層が形成される実施形態について説明する。
神戸製鋼所社製アンバランストマグネトロンスパッタ装置(UBM202)を用いて成膜を行った。図1に、非晶質炭素系導電性皮膜を基板の上に形成した真空チャンバー1の内部の構造を示した。第1の中間層の成膜には、金属ターゲット2として、CrあるいはWターゲットを用いた。非晶質炭素系導電性皮膜の成膜には、ターゲットとして、炭素ターゲット上に直径が1mmのタングステンワイヤーを配置した複合ターゲット3を用いた。基板は、基板ステージ4の上に配置した基板ホルダー5に、ターゲットと平行になるように設置し、テーブルを回転させて成膜を実施した。基材としては、ガラス基板6を用いた。基材を装置内に導入後、1×10−3Pa以下に排気した後に、成膜を実施した。プロセスガスはArガスを用い、成膜時のガス圧は0.6Paで一定とした。
表面性状パラメータは、AFM装置(SII社製SPI4000)を用いて測定した。探針には付属のSN−AF01探針の長さが100μmのものを使用した。測定は大気中で実施し、走査範囲は10μm×10μmでコンタミ等の無い部位を確認した後、2μm×2μmでの測定を実施した。表面性状の各種パラメータの算出には、2μm×2μmの画像を装置(SPI4000)に付属の表面処理ソフトで、平均傾き補正をX方向、Y方向の両方向で施した画像データを用いた。各種パラメータについては処理ソフト(ProAna3D)にて処理を行った。
スズ凝着性の評価には、スズボールを用いた摺動試験を実施した。摺動試験はボールオンディスク試験装置(CSM社製:Tribometer)により回転摺動試験を実施した。回転半径は1.5mmで、回転速度は0.2cm/s、荷重は0.2Nとし、ボールにはSUJ2(直径9.5mm)上に10μmのスズめっきしたものを使用した。摺動距離は0.5m一定とし、摺動試験後のスズ付着量によって評価を行った。
結果を表1に示した。
2 金属ターゲット
3 タングステンワイヤー/カーボン複合ターゲット
4 基板ステージ
5 基板ホルダー
6 ガラス基板
Claims (2)
- 導電性基材表面に非晶質炭素系導電性皮膜を形成して成る半導体検査装置用コンタクトプローブピンであって、
前記非晶質炭素系導電性皮膜は、原子間力顕微鏡で4μm2の走査範囲において、表面粗さ(Ra)が6.0nm以下であり、二乗平方根傾斜(RΔq)が0.28以下であり、表面形態の凸部の先端曲率半径の平均値(R)が180nm以上である外表面を有し、
前記導電性基材表面と前記非晶質炭素系導電性皮膜との間に中間層を備え、前記中間層は金属元素を含み、厚さが5〜600nmであり、
前記中間層と前記非晶質炭素系導電性皮膜とを合わせた厚さが、50〜2000nmであることを特徴とする半導体検査装置用コンタクトプローブピン。 - 前記中間層は、
金属元素からなる第1の中間層と、
前記金属元素および炭素を含み、炭素に対する金属元素の原子数の割合が、基材表面から非晶質炭素系導電性皮膜に向かう厚み方向において減少する傾斜組成を有する第2の中間層とを有し、
前記第2の中間層が前記第1の中間層と前記非晶質炭素系導電性皮膜との間に形成されている請求項1に記載の半導体検査装置用コンタクトプローブピン。
Priority Applications (7)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009213419A JP5568268B2 (ja) | 2009-09-15 | 2009-09-15 | 半導体検査装置用コンタクトプローブピン |
US12/847,442 US8166568B2 (en) | 2009-09-15 | 2010-07-30 | Contact probe pin for semiconductor test apparatus |
AT10008485T ATE548661T1 (de) | 2009-09-15 | 2010-08-13 | Kontaktsondenstift für halbleitertestgerät |
EP10008485A EP2295990B1 (en) | 2009-09-15 | 2010-08-13 | Contact probe pin for semiconductor test apparatus |
TW099127302A TWI418799B (zh) | 2009-09-15 | 2010-08-16 | Contact probe for semiconductor inspection devices |
CN2010102735589A CN102023241B (zh) | 2009-09-15 | 2010-09-03 | 半导体检测装置用接触式探针 |
KR1020100089734A KR101156865B1 (ko) | 2009-09-15 | 2010-09-14 | 반도체 검사 장치용 콘택트 프로브 핀 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009213419A JP5568268B2 (ja) | 2009-09-15 | 2009-09-15 | 半導体検査装置用コンタクトプローブピン |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011064497A JP2011064497A (ja) | 2011-03-31 |
JP5568268B2 true JP5568268B2 (ja) | 2014-08-06 |
Family
ID=42830736
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009213419A Expired - Fee Related JP5568268B2 (ja) | 2009-09-15 | 2009-09-15 | 半導体検査装置用コンタクトプローブピン |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8166568B2 (ja) |
EP (1) | EP2295990B1 (ja) |
JP (1) | JP5568268B2 (ja) |
KR (1) | KR101156865B1 (ja) |
CN (1) | CN102023241B (ja) |
AT (1) | ATE548661T1 (ja) |
TW (1) | TWI418799B (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
SG11201503409PA (en) * | 2012-12-14 | 2015-06-29 | Kobe Steel Ltd | Electrical contact member and inspection connection device |
EP3650830B1 (en) * | 2018-11-08 | 2023-07-19 | Goodrich Actuation Systems SAS | Twin-disc tribometer capable of reciprocating and/or non-collinear motion |
Family Cites Families (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62293734A (ja) | 1986-06-13 | 1987-12-21 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ウエハプロ−バ針及びその製造方法 |
JPH0275902A (ja) | 1988-09-13 | 1990-03-15 | Seiko Instr Inc | ダイヤモンド探針及びその成形方法 |
US5936243A (en) * | 1997-06-09 | 1999-08-10 | Ian Hardcastle | Conductive micro-probe and memory device |
US6504386B1 (en) * | 1999-09-28 | 2003-01-07 | The Ohio State University | Liquid dielectric capacitor for film thickness mapping, measurement methods using same |
US6459280B1 (en) * | 1999-09-28 | 2002-10-01 | The Ohio State University | Capacitance devices for film thickness mapping, measurement methods using same |
JP2001289874A (ja) * | 2000-04-07 | 2001-10-19 | Japan Electronic Materials Corp | プローブおよびこのプローブを用いたプローブカード |
JP2002318247A (ja) * | 2001-04-20 | 2002-10-31 | Kobe Steel Ltd | 接続装置 |
JP4045084B2 (ja) | 2001-08-17 | 2008-02-13 | 株式会社神戸製鋼所 | 電気的接続検査装置 |
JP2003231203A (ja) * | 2001-08-21 | 2003-08-19 | Toshiba Corp | 炭素膜被覆部材 |
JP2003149267A (ja) | 2001-11-07 | 2003-05-21 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 半導体素子の電気、電子特性測定用端子およびその製造方法 |
JP2006038641A (ja) | 2004-07-27 | 2006-02-09 | Sumitomo Electric Ind Ltd | コンタクトプローブ |
US20060238185A1 (en) * | 2005-04-08 | 2006-10-26 | Kozicki Michael N | Probe storage device, system including the device, and methods of forming and using same |
JP2007024613A (ja) * | 2005-07-14 | 2007-02-01 | Genesis Technology Inc | 接触端子およびこれを用いた半導体デバイスの検査用接続装置 |
JP2007162099A (ja) * | 2005-12-15 | 2007-06-28 | Toyota Motor Corp | 硬質炭素膜及びその製造方法並びに摺動部材 |
JP4837747B2 (ja) * | 2006-11-30 | 2011-12-14 | 独立行政法人科学技術振興機構 | 金属プローブ、その金属プローブの形成方法及びその形成装置 |
WO2008149824A1 (ja) | 2007-06-01 | 2008-12-11 | Onward Ceramic Coating Co., Ltd. | Dlc被覆工具 |
-
2009
- 2009-09-15 JP JP2009213419A patent/JP5568268B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2010
- 2010-07-30 US US12/847,442 patent/US8166568B2/en active Active
- 2010-08-13 EP EP10008485A patent/EP2295990B1/en not_active Not-in-force
- 2010-08-13 AT AT10008485T patent/ATE548661T1/de active
- 2010-08-16 TW TW099127302A patent/TWI418799B/zh not_active IP Right Cessation
- 2010-09-03 CN CN2010102735589A patent/CN102023241B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2010-09-14 KR KR1020100089734A patent/KR101156865B1/ko active IP Right Grant
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR101156865B1 (ko) | 2012-06-20 |
TWI418799B (zh) | 2013-12-11 |
EP2295990B1 (en) | 2012-03-07 |
KR20110030345A (ko) | 2011-03-23 |
JP2011064497A (ja) | 2011-03-31 |
CN102023241B (zh) | 2013-07-17 |
TW201131171A (en) | 2011-09-16 |
US20110067151A1 (en) | 2011-03-17 |
US8166568B2 (en) | 2012-04-24 |
ATE548661T1 (de) | 2012-03-15 |
EP2295990A1 (en) | 2011-03-16 |
CN102023241A (zh) | 2011-04-20 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5036892B2 (ja) | コンタクトプローブ | |
TWI444624B (zh) | 接觸探針銷 | |
JP5568268B2 (ja) | 半導体検査装置用コンタクトプローブピン | |
KR101781312B1 (ko) | 전기적 접점 부재 | |
US20150301081A1 (en) | Electrical contact member and inspection connection device | |
JP5049358B2 (ja) | 半導体検査装置用コンタクトプローブピンの基材上にタングステン含有ダイヤモンドライクカーボン皮膜を製造する方法 | |
WO2012067162A1 (ja) | コンタクトプローブピンおよび検査方法 | |
JP5730681B2 (ja) | 半導体検査装置用プローブピン、その製造方法及び半導体検査方法 | |
JP5357645B2 (ja) | 半導体検査装置用プローブピンの製造方法および半導体検査装置用プローブピン | |
JP5535131B2 (ja) | 半導体検査装置用プローブピン及びその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110901 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120221 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120326 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20121120 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140623 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5568268 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |