WO2008032647A1

WO2008032647A1 - Substrate for display panel, and display panel provided with the substrate

Info

Publication number: WO2008032647A1
Application number: PCT/JP2007/067475
Authority: WO
Inventors: Hiroto Akiyama; Masahiro Matsuda
Original assignee: Sharp Kabushiki Kaisha
Priority date: 2006-09-16
Filing date: 2007-09-07
Publication date: 2008-03-20
Also published as: CN101523468B; CN101523468A; US8159645B2; EP2065873A1; EP2065873B1; JP4606495B2; US20100033666A1; EP2065873A4; JPWO2008032647A1

Description

表示パネル用の基板、この基板を備える表示パネル、表示パネル用の基板の製造方法および表示パネルの製造方法

技術分野

[0001] 本発明は、表示パネル用の基板、この基板を備える表示パネル、この表示パネルの修正方法に関するものであり、特に液晶表示パネル用の基板などといった、所定のパターンの導体膜、半導体膜、絶縁膜などの積層構造を有する表示パネル用の基板、この基板を備える表示パネル、この表示パネルの修正方法に関するものである。

背景技術

[0002] 一般的なアクティブマトリックスタイプの液晶パネルは、 TFTアレイ基板と対向基板とが所定の微小な隙間をおレヽて対向して配設され、この隙間に液晶が充填される構成を備免る。

[0003] 図 18は、 TFTアレイ基板の構成の従来例を模式的に示した平面図である。 TFTァレイ基板 9の片側表面にはアクティブ領域が設けられる。このアクティブ領域 91には、複数の絵素電極（図略）とこれらの複数の絵素電極のそれぞれを駆動するスィッチ ' ング素子（図略）とがマトリックス状に配列される。さらにアクティブ領域 91には、これらのスイッチング素子を駆動するための複数のデータ信号線 911と、複数のゲート信号線 912と力 S設けられる。

[0004] また、アクティブ領域 91の外側には、各データ信号線 911にソース信号を伝送するための引き出し配線 921が設けられる。各引き出し配線 921の一端はアクティブ領域 91の外縁近傍において所定のデータ信号線 911と電気的に接続しており、他端は T FTアレイ基板 9の外縁近傍に設けられるランドに接続している。

[0005] 各引き出し配線の電気抵抗や、各引き出し配線とそれらに近接する他の導体との間に発生する容量 (たとえば、隣り合う引き出し配線どうしの間に発生する容量や、各引き出し配線とそれらに絶縁膜を介して重畳する導体膜などとの間に発生する容量など。以下、寄生容量と称する）が異なると、データ信号線に伝送されるソース信号の

差替え用紙（規則 26) 遅延の態様が、引き出し配線ごとに相違するおそれがある。そしてデータ信号線ごとにソース信号の遅延の態様が相違すると、表示パネルが表示する画像に表示ムラが生じるおそれがある。このため、各引き出し配線の電気抵抗や寄生容量は、均一であることが好ましい。

[0006] ところで、これらの引き出し配線は、一般的にアクティブ領域の外縁力 TFTアレイ基板の外縁に向力、うにしたがって、所定の数ごとに集束する。換言するとこれらの引き出し配線は、所定の数ごとに一纏まりの配線束を形成し、各配線束はアクティブ領域の外縁力 TFTアレイ基板の外縁に向力、うにしたがって集束する先細り形状を有する。このため、各配線束に含まれる引き出し配線は、各配線束の中心に位置するものは最も長さが短ぐ両端に向力、うにしたがって長さが長くなる。このように、各配線束に含まれる引き出し配線の長さは、互いに異なる。

[0007] そして、各引き出し配線の電気抵抗や寄生容量は、それらの長さに応じて異なることがある。このため、長さが異なる引き出し配線（およびこれらに接続するデータ信号線)を通じてソース信号の伝送を受ける絵素群の表示状態力互いに異なる場合が生じ得る。

[0008] 特に、一つの配線束に含まれる引き出し配線は、中心に位置するものから両端に位置するものに向かって徐々に長さが変化するから、電気抵抗や寄生容量も中心から両端に向かって徐々に変化する。したがって、各配線束の中心に位置する引き出し配線（およびこれに接続するデータ信号線)を通じてソース信号の伝送を受ける絵素群から、両端に位置する引き出し配線（およびこれらに接続するデータ信号線)を通じてソース信号の伝送を受ける絵素に向かって、表示状態がグラデーション状に変化するおそれがある。そして複数の配線束が設けられるから、表示パネルが表示する画像には、全体として複数のグラデーション状の表示変化が連続的に現れ、この結果縦縞状の表示ムラが現れるおそれがある。

[0009] このような表示ムラは、特に最近の表示パネルの大型化にともなって生じやすくなつてきている。すなわち表示パネルの大型化にともなって各データ信号線の長さが長くなり、各データ信号線の電気抵抗や寄生容量が大きくなつてきている。したがって、各ソースドライバに掛カ、る負荷が大きくなり、ソース信号の遅延が生じやすくなつている。したがって、引き出し配線間の電気抵抗や寄生容量の相違が、表示状態に表れやすくなつてきている。

[0010] このような表示ムラの発生を防止する構成としては、各ソースドライバに掛カ、る負荷を低減する構成がある。すなわちたとえば、一対のソースドライバを用いて、各データ信号線の両端からソース信号を伝送する構成がある。し力、しながらこのような構成では、データ信号線の片側端からソース信号を入力する構成と比較して、部品点数や組立工数が多くなる。このため製造コストや製品価格の上昇を招くおそれがある。

[0011] このほか、各引き出し配線の長さを均一にして電気抵抗の均一化を図る構成が用いられること力 Sある。また、各引き出し配線に寄生容量を具備させることにより、表示の均一化を図る構成が提案されている（特開 2006— 106676号公報参照）。特開 2 006— 106676号公報に記載の構成は、引き出し配線に絶縁膜を挟んで導体膜を形成し、この導体膜との間に寄生容量を具備させるものである。

[0012] しかしながら、特開 2006— 106676号公報に記載の構成は、次のような問題が生じること力 Sある。たとえば TFTアレイ基板の製造工程において、基板の表面に導電性の異物が付着すると、この異物が引き出し配線と導体膜との間に形成される絶縁膜を貫通し、引き出し配線と導体膜とを電気的に短絡させることがある。引き出し配線と導体膜とが短絡すると、この引き出し配線に接続されるデータ信号線に対して所定のソース信号を伝送できなくなることがある。この結果、このデータ信号線に沿って筋状の表示欠陥が発生する。そして特開 2006— 106676号公報に記載の構成は、このような表示欠陥を修正することが困難である。

発明の開示

発明が解決しょうとする課題

[0013] 上記実情に鑑み本発明が解決しょうとする課題は、データ信号線に寄生容量を具備させる構成において、データ信号線と導体膜とが短絡した場合に、当該短絡箇所を修正できる表示パネル用の基板、この基板を備える表示パネル、この表示パネルの修正方法を提供すること、または、データ信号線と導体膜とが短絡した場合に、引き出し配線の寄生容量に影響を与えることなぐもしくは影響を抑制しつつ当該短絡箇所を修正できる表示パネル用の基板、この基板を備える表示パネル、この表示パネルの修正方法を提供することである。

課題を解決するための手段

[0014] 前記課題を解決するため本発明は、データ信号線にデータ信号を伝送するための引き出し配線に、絶縁膜を介して複数の短冊状の導体を重畳させる。そして複数の短冊状の導体どうしを接続部分によって電気的に接続する。

[0015] この接続部分は、表示パネルの外側から光エネルギ（たとえばレーザ）を照射して切断できるように、引き出し配線と重畳しない部分を有することが好ましい。

[0016] たとえば、前記引き出し配線がつづら折り状の部分を有する場合には、このつづら折り状の部分に絶縁膜を介して短冊状の導体を重畳させる。そして短冊状の導体どうしを接続する接続部分を、引き出し配線がつづら折り状の部分に交差させることによって、接続部分に引き出し配線と重畳しない部分を設ける。

[0017] 短冊状の導体どうしの接続構成としては、次のような構成が挙げられる。まず、各引き出し配線に前記絶縁膜を介して重畳する複数の短冊状の導体のうち隣り合うものどうしを、接続部分によって電気的に接続する。さらに、ある引き出し配線に前記絶縁膜を介して重畳する複数の短冊状の導体と、前記ある引き出し配線に隣接する他の引き出し配線に前記絶縁膜を介して重畳する複数の短冊状の導体とのうち、隣り合うものどうしを接続部分によって電気的に接続する。これにより短冊状の導体がマトリックス状に電気的に接続される。

[0018] また、次のような構成であってもよい。まず、各引き出し配線に前記絶縁膜を介して重畳する複数の短冊状の導体のうち隣り合うものどうしを、接続部分によって電気的に接続する。さらに、そしてある引き出し配線に前記絶縁膜を介して重畳する複数の短冊状の導体を接続する接続部分と、このある引き出し配線に隣接する引き出し配線に前記絶縁膜を介して重畳する複数の短冊状の導体を接続する接続部分とのうち、隣接するものどうしをさらに他の接続部分によって接続する。これにより短冊状の導体がマトリックス状に電気的に接続される。

[0019] さらに、次のような構成であってもよい。各引き出し配線に前記絶縁膜を介して重畳する複数の前記短冊状の導体のうち、隣接するものどうしを接続部分によって電気的に接続する。これによつて、各引き出し配線に前記絶縁膜を介して重畳する複数の短冊状の導体が直列的に電気的に接続される。

[0020] これらの短冊状の導体と、これらの短冊状の導体どうしを接続する接続部分は、絵素電極と同じ材料が適用できる。

[0021] また、前記引き出し配線の間に遮光膜が形成される構成であってもよい。この構成においては、表示パネル用の基板の外部からレーザを照射して前記接続部分を切断できるように、前記接続部分は前記引き出し配線と前記遮光膜のいずれにも重畳しなレ、部分を有することが好ましレ、。

[0022] そしてこのような表示パネル用の基板と対向基板とを用いて表示パネルを製造する

。この表示パネルは、前記表示パネル用の基板に設けられる短冊状の導体は、前記対向基板に設けられる共通電極または共通電位線に電気的に接続される構成であることが好ましい。

発明の効果

[0023] 本発明によれば、データ信号線にデータ信号を伝送するための引き出し配線と、これらに絶縁膜を介して重畳する短冊状の導体とが短絡した場合、この短絡した短冊状の導体に繋がる接続部分を切断することにより、この短絡した短冊状の導体を他の短冊状の導体から電気的に切り離すことができる。この結果、前記短絡に起因する表示欠陥を容易に修正することができる。

[0024] 特に、前記接続部分が前記引き出し配線と重畳しない部分を有すると、この部分を通じて外部から前記接続部分にレーザを照射して切断することができる。また、前記弓 Iき出し配線の間に遮光膜が形成される構成にぉレ、て、前記接続部分は前記引き出し配線と前記遮光膜のいずれにも重畳しない部分を有すると、表示パネル用の基板の外部からこの部分を通じて前記接続部分にレーザを照射して切断できる。したがって、修正が容易となる。

図面の簡単な説明

[0025] [図 1]本発明の第一実施形態に力、かる表示パネル用の基板の全体構成を模式的に示した分解斜視図である。

[図 2]データ引き出し配線の束の構成と、各データ信号線に所定の寄生容量を具備させるための導体層の構成とを、模式的に示した平面図である。園 3]配線の束および導体層の形成工程を模式的に示した斜視図および断面図であり、（a)はデータ引き出し配線の形成工程を示した斜視図、（b)は（a)と同じ工程における断面図、（c)は絶縁膜の形成工程を示した断面図、（d)は導体層の形成工程を示した斜視図、（e)は（d)と同じ工程における断面図である。

園 4]第二実施形態にかかる表示パネル用の基板のデータ引き出し配線と導体層と遮光膜との構成を模式的に示した平面図である。

園 5]第二実施形態に力、かる表示パネル用の基板の配線の束および導体層などの形成工程を模式的に示した断面図であり、 (a)はデータ引き出し配線の形成工程を示した斜視図、（b)はその断面図、（c)は第一の絶縁膜の形成工程を示した断面図、（d)は遮光膜の形成工程を示した斜視図、（e)はその断面図、（f)は第二の絶縁膜の形成工程を示した断面図、（g)は導体層の形成工程を示した斜視図、（g)はその斜視図である。

園 6]第三実施形態に力、かる表示パネル用の基板のデータ引き出し配線および短冊状の導体と帯状の導体と接続部分の構成を模式的に示した平面図である。

園 ₇]第四実施形態に力、かる表示パネル用の基板のデータ引き出し配線と導体層と遮光膜の構成を模式的に示した平面図である。

園 8]第五実施形態に力、かる表示パネル用の基板のデータ引き出し配線および短冊状の導体と帯状の導体と接続部分とを模式的に示した平面図である。

園 9]第六実施形態にかかる表示パネル用の基板のデータ引き出し配線と導体層と遮光膜の構成を模式的に示した平面図である。

園 10]本発明の前記いずれかの実施形態に力、かる表示パネル用の基板を備える表示パネルの断面構造を模式的に示した断面図であり、特にパネル額縁領域の断面構造を示す。

園 11]第二実施形態に力、かる表示パネル用の基板を備える表示パネルにおいて、特定のデータ引き出し配線と特定の短冊状の導体とが短絡した状態と、この短絡に起因する表示欠陥の修正方法を模式的に示した平面図である。

[図 12]図 11の A部拡大図である。

園 13]第四実施形態に力、かる表示パネル用の基板を備える表示パネルにおいて、特定のデータ引き出し配線とこれに重畳する特定の短冊状の導体とが短絡した状態と、この短絡に起因する表示欠陥の修正方法を模式的に示した平面図である。

[図 14]第六実施形態に係る表示パネル用の基板を備える表示パネルにおいて、特定のデータ引き出し配線と特定の短冊状の導体とが導電性の異物によって短絡した状態と、この短絡に起因する表示欠陥の修正方法を模式的に示した平面図である。

[図 15]本発明のいずれかの実施形態に力、かる表示パネル用の基板の製造方法の各工程を模式的に示した断面図である。

[図 16]本発明のいずれかの実施形態に力、かる表示パネル用の基板を適用した表示パネルの構成を、模式的に示した斜視図である。

[図 17]カラーフィルタ（対向基板）の構成を模式的に示した図であり、（a)はカラーフィルタの全体構造を模式的に示した斜視図、（b)はカラーフィルタに形成される一絵素の構成を抜き出して示した平面図、（c)は (b)の B— B線断面図であって、絵素の断面構造を示した図である。

[図 18]TFTアレイ基板の構成の従来例を模式的に示した平面図である。

発明を実施するための最良の形態

[0026] 以下に、本発明の各種実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。

[0027] 図 1は、本発明の第一実施形態に力、かる表示パネル用の基板の全体構成を、模式的に示した分解斜視図である。まず図 1を参照して、本発明の第一実施形態にかかる表示パネル用の基板 laの全体的な構成を簡単に説明する。

[0028] 図 1に示すように、本発明の第一実施形態に力、かる表示パネル用の基板 laには、アクティブ領域 11が設けられる。このアクティブ領域 11には、複数の絵素電極（図略 )と、これらの複数の絵素電極のそれぞれを駆動するスィッチング素子（図略。具体的にはたとえば薄膜トランジスタ）とが、それぞれマトリックス状に配列される。さらにァクティブ領域 11には、各スィッチング素子のソース電極にデータ信号を伝送する複数のデータ信号線 111 (「ソース信号線」、「ソースバスライン」などとも称する）が互いに略平行に設けられるとともに、スイッチング素子のゲート電極に走査信号を伝送するための複数の走査信号線 112 (「ゲート信号線」、「ゲートバスライン」などとも称する）力互いに略平行でかつデータ信号線 111に略直交するように設けられる。 [0029] アクティブ領域 11の外側（以下「パネル額縁領域 12」と称することがある）には、各データ信号線 111から引き出される配線 (以下、「データ引き出し配線」と称することがある） 121と、各走査信号線 112から引き出される配線 122とが設けられる。

[0030] 各データ引き出し配線 121の一端はアクティブ領域 11の外縁近傍に設けられるコンタクト部 124に位置し、このコンタクト部 124において所定のデータ信号線 111と電気的に接続する。また、他端は表示パネル用の基板 laの外縁近傍に設けられる端子部 125に位置し、この端子部 125において、ソースドライバが実装される TAB (Tap e Automated Bonding) (図略）を接続するためのランドに電気的に接続する（たとえば他端がランドを形成する）。そして各データ引き出し配線 121は、ソースドライバが生成するデータ信号を、所定のデータ信号線 111に伝送するための経路となる。

[0031] データ引き出し配線 121は、所定の数ごとに一纏まりの配線の束 123を形成する。

そして、この表示パネル用の基板 laのパネル額縁領域 12には、これらのデータ引き出し配線の束 123が表示パネル用の基板 laの外縁に沿って所定の間隔をおいて配歹される。各データ引き出し配線の束 123に含まれるデータ引き出し配線 121は、コンタクト部 124から端子部 125に向力、うにしたがって集束していく。したがって各データ引き出し配線の束 123は、コンタクト部 124から端子部 125に向かって先細りの形状を有する。

[0032] また、パネル額縁領域 12においては、各データ引き出し配線 121の表面に絶縁膜

(図略）が形成される。そしてこの絶縁膜の表面には、各データ引き出し配線 121に所定の寄生容量を具備させるための導体層 126が形成される。具体的には、各データ引き出し配線 121は、絶縁膜を介して導体層 126と重畳する部分を有する。このため、各データ引き出し配線 121とこの導体層 126との間に容量が発生し、結果として各データ引き出し配線 121は所定の寄生容量を具備する。

[0033] 各走査信号線 112から引き出される配線 122の一端は、アクティブ領域 11の外縁において所定の走査信号線 112に電気的に接続している。また他端は、表示パネル用の基板 laの外縁近傍に設けられる端子部 127に位置し、この端子部 127において、ゲートドライバが実装される TAB (図略)を接続するためのランドに電気的に接続する。そして、各走査信号線 112から引き出される配線 122は、ゲートドライバが生成する走査信号を、所定の走査信号線 112に伝送するための経路となる。各走査信号線 112から引き出される配線 122は、たとえば走査信号線 112および端子部 127のランドと同じ材料により一体に形成される。

[0034] 各走査信号線 112から引き出される配線 122も、それぞれ所定の数ごとに一纏まりの配線の束 128を形成する。そして表示パネル用の基板 laのパネル額縁領域 12には、これらの走査信号線から引き出される配線の束 128が、表示パネル用の基板 la の外縁に沿って所定の間隔をおいて配列される。各配線の束 128に含まれる走査信号線から引き出される配線 122は、アクティブ領域 11の外縁から端子部 127に向力、うにしたがって集束していく。したがって各走査信号線から引き出される配線の束 128 は、アクティブ領域 11の外縁から端子部 127に向かって先細りの形状を有する。

[0035] 図 2は、データ引き出し配線の束 123の構成と、各データ引き出し配線 121に所定の寄生容量を具備させるための導体層 126の構成とを、模式的に示した平面図である。この図 2は説明のための模式的なものであり、現実のデータ引き出し配線の束 12 3や導体層 126の実際の寸法形状を示さない場合がある。また、以下の説明においては、特に断らない限り、「配線の束」とは「データ引き出し配線の束」をいうものとする

[0036] 図 2に示すように、一つの配線の束 123には、所定の数のデータ引き出し配線 121 が含まれる。各データ引き出し配線 121の一端はコンタクト部 124に設けられ、このコンタクト部 124においてスルーホールなどを介して所定のデータ信号線 111と電気的に接続する。また、各データ引き出し配線 121の他端は端子部 125に設けられ、端子部 125にお!/、てソースドライバが実装される TAB (図略)を接続するためのランド 1 211を形成する。すなわち、各引き出し配線 121とランド 1211とが同じ導体膜により一体に形成される。

[0037] 各配線の束 123に含まれるデータ引き出し配線 121は、コンタクト部 124から端子部 125に向力、うにしたがって（すなわち、アクティブ領域 11の外縁から表示パネル用の基板 laの外縁に向力、うにしたがって）、次第に集束していく。したがって各配線の束 123は、全体としてコンタクト部 124から端子部 125に向かって先細りの形状を有する。 [0038] 一つの配線の束 123に含まれるデータ引き出し配線 121は、略等しい長さを有する。各配線の束 123に含まれるデータ弓 Iき出し配線 121の一端から他端までの直線距離は、各配線の束 123の中心に位置するものほど短ぐ両外側に位置するものほど長くなる。そこで各データ弓 Iき出し配線 121の長さの相違による電気抵抗のバラツキの解消を図るため、所定のデータ引き出し配線 121には、その中間の所定の範囲において配線がつづら折り状の部分 1212を設ける。

[0039] 具体的には、配線の束 123の中心近傍に位置するデータ引き出し配線には、つづら折り状の部分 1212の長さを長くし、外側に向力、うにしたがってつづら折り状の部分 1212の長さを短くしていく。そしてたとえば最も外側に位置するデータ引き出し配線 121には、つづら折り状の部分を形成しなくともよい。これにより各データ引き出し配線 121の全長を均一化にすることができ、電気抵抗の均一化を図ることができる。

[0040] そして配線の束 123の表面に絶縁膜（図略）が形成される。そしてこの絶縁膜の表面には、各データ引き出し配線 121に所定の寄生容量を具備させるための導体層 1 26が形成される。すなわち、各データ引き出し配線 121の表面に、絶縁膜を挟んで導体層 126を重畳させる。これにより、各データ引き出し配線 121と導体層 126の間には、絶縁膜の誘電率と、各データ引き出し配線 121と導体層 126とが重畳する面積に応じて容量が発生する。

[0041] この導体層 126は、帯状の部分 1261 (本明細書においては「帯状の導体」と称すること力 Sある）と、短冊状の部分 1262 (本明細書にお!/、ては「短冊状の導体」と称することがある）と、各短冊状の部分 1262どうしまたは帯状の部分 1261と短冊状の部分 1262とを接続する接続咅分 1263, 1264, 1265とを有する。

[0042] 図 2に示すように、各データ引き出し配線 121のつづら折り状の部分 1212には、単数または複数の短冊状の導体 1262が絶縁層を介して重畳して設けられる。具体的には、一本のデータ引き出し配線 121に重畳するように設けられる短冊状の導体 12 62の数は、配線の束 123の中心部分に位置するものほど多ぐ両外側に向かうにしたがって少なくなるように設定される。図 2は、最も外側に位置するデータ引き出し配線 121には、短冊状の導体 1262が重畳しない構成を示す。

[0043] このような構成とすることにより、各データ引き出し配線 121が具備する寄生容量の均一化を図ることができる。すなわち、データ引き出し配線 121どうしの間に発生する容量や、データ引き出し配線 121とそれに近接する他の導体との間に発生する容量は、データ引き出し配線 121の長さが長くなると大きくなる傾向がある。このため各データ弓 Iき出し配線 121が具備する寄生容量は、配線の束 123の両外側に位置するものほど大きくなつていく。

[0044] そこで、配線の束 123の中心に位置するデータ引き出し配線 121は、導体層を重畳させる面積を大きくすることによって、すなわち、重畳させる短冊状の導体 1262の数を増やすことによって、データ引き出し配線 121とこの導体層 126との間に発生する容量を大きくする。この結果、各データ引き出し配線 121が具備する寄生容量 (すなわち、各データ引き出し配線 121どうしの間に発生する容量、各データ引き出し配線 121とこの短冊状の導体 1262および他の導体との間に発生する容量）の全体量の均一化を図ることができる。

[0045] そして、導体層 126の接続部分 1263, 1264, 1265によって、短冊状の導体 126 2どうしが電気的に接続されるとともに、帯状の導体 1261と各短冊状の導体 1262とが電気的に接続される。

[0046] 具体的には、まず帯状の導体 1261と、これに近接して設けられる各短冊状の導体 1262とが接続部分 1263によって電気的に接続される。以下このような接続部分 12 63を、説明の便宜上「第一の接続部分」と称する。

[0047] そして、一つのデータ引き出し配線 121に重畳して設けられる複数の短冊状の導体 1262のうち、互いに隣接するものどうしが接続部分 1264によって接続される。以下このような接続部分 1264を、説明の便宜上「第二の接続部分」と称する。すなわち、一本のデータ引き出し配線 121に重畳して設けられる複数の短冊状の導体 1262 は、第二の接続部分 1264によって直列的に電気的に接続される。

[0048] さらに、あるデータ引き出し配線 121に重畳して設けられる短冊状の導体 1262と、このデータ弓 Iき出し配線 121に隣接する他のデータ弓 Iき出し配線 121に重畳して設けられる短冊状の導体 1262のうち、隣接するものどうしが接続部分 1265によって電気的に接続される。以下説明の便宜上、このような接続部分 1265を「第三の接続部分」と称する。 [0049] したがって全体として、各短冊状の導体 1262がマトリックス状に電気的に接続されるとともに、帯状の導体 1261にも電気的に接続される。このため、各短冊状の導体 1 262は同電位またはほぼ同電位となるとともに、各短冊状の導体 1262と帯状の導体 1261とは同電位またはほぼ同電位となる。

[0050] 第一〜第三の接続部分 1263, 1264, 1265は細い帯状に形成される。そして第一〜第三の接続部分 1263, 1264, 1265は、それぞれ少なくともそれらの一部にデータ弓 Iき出し配線 121の!/、ずれにも重畳しな!/、部分を有する。

[0051] 具体的には、同じデータ引き出し配線 121に重畳して設けられる短冊状の導体 12 62どうしを接続する第二の接続部分 1264は、データ引き出し配線 121のつづら折り状の部分 1212において、データ引き出し配線 121と交差するようにほたは複数回にわたつて横断するように）形成される。したがって、これらの第二の接続部分 1264 は、各データ弓 Iき出し配線 121と重畳する部分と重畳しな!/、部分とが交互に現れる。帯状の導体 1261と短冊状の導体 1262とを接続する第一の接続部分 1263も、第二の接続部分 1264と同様の構成を有する。

[0052] また、第三の接続部分 1265 (あるデータ引き出し配線 121に重畳して設けられる短冊状の導体 1262と、このデータ引き出し配線 121に隣接する他のデータ引き出し配線 121に重畳して設けられる短冊状の導体 1262どうしを電気的に接続する接続部分）は、図 2に示すように!/、ずれのデータ弓 Iき出し配線 121とも重畳しな!/、。

[0053] 次に、配線の束 123および導体層 126の形成工程について説明する。図 3は、配線の束 123および導体層 126の形成工程を模式的に示した斜視図および断面図である。それぞれ、図 3 (a)はデータ引き出し配線 121の形成工程を示した斜視図、図 3 (b)は図 3 (a)と同じ工程における断面図、図 3 (c)は絶縁膜の形成工程を示した断面図、図 3 (d)は導体層の形成工程を示した斜視図、図 3 (e)は図 3 (d)と同じ工程における断面図である。

[0054] なお、次に説明する各工程の間および/または各工程と同時に、表示パネル用の基板を製造するための他の工程が存在する場合がある力ここではそれらの他のェ程については省略する。

[0055] まず図 3 (a) , (b)に示すように、透明基板 13の表面にデータ引き出し配線 121を形成する。たとえば透明基板 13の表面に導電性材料の層を形成し、形成した導電性材料の層をフォトリソグラフィ法などを用いてデータ引き出し配線 121のパターンにノターユングする。

[0056] 次に図 3 (c)に示すように、形成したデータ引き出し配線 121を覆うように絶縁膜 13 1を形成する。そして図 3 (d) , (e)に示すように、導体層 126 (すなわち各短冊状の導体 1262、帯状の導体 1261および第一〜第三の接続部分 1263, 1264, 1265) を形成する。たとえば絶縁膜 131の表面に導電性材料の層を形成し、形成した導電性材料の層をフォトリソグラフィ法などを用いて各短冊状の導体 1262、帯状の導体 1 261および第一〜第三の接続部分 1263, 1264, 1265のパターンにパターユングする。

[0057] これにより、各データ引き出し配線 121と導体層 126とが重畳する部分に容量が発生する。各データ引き出し配線 121と導体層 126との間に発生する容量は、絶縁膜 1 31の誘電率と、各データ引き出し配線 121と導体層 126との重畳面積に応じて定まる。したがって各データ引き出し配線 121に重畳させる短冊状の導体 1262の数やそれぞれの面積は、表示パネル用の基板 laが備える全てのデータ引き出し配線 121 の寄生容量が均一またはほぼ均一となるように設定する。

[0058] 次に、パネル額縁領域 12に遮光性の材料からなる膜が形成される構成について説明する。表示パネルのパネル額縁領域 12における光漏れを防止するために、パネル額縁領域 12に遮光性の材料からなる膜 (以下、「遮光膜」と称すること力 Sある）を形成する場合がある。

[0059] 図 4は、第二実施形態にかかる表示パネル用の基板 lb、すなわちパネル額縁領域 12に遮光膜が形成される表示パネル用の基板 lbにおける、データ弓 Iき出し配線と導体層と遮光膜との構成を模式的に示した平面図である。

[0060] 図 4に示すように、第二実施形態に力、かる表示パネル用の基板 lbのパネル額縁領域 12のデータ弓 Iき出し配線 121どうしの間には、遮光膜 134が形成される（配線の束 123の外側にも遮光膜が形成される力 S、図 4では省略する）。ただし、第三の接続部分 1265 (あるデータ引き出し配線 121に重畳して設けられる短冊状の導体 1262 と、このデータ引き出し配線 121に隣接する他のデータ引き出し配線 121に重畳して設けられる短冊状の導体 1262とを接続する接続部分 1265)に重畳する位置には、遮光膜 134は設けられない。同様に、第一の接続部分 1263および第二の接続部分 1264に重畳する位置にも、遮光膜 134は設けられない。すなわち、第一〜第三の接続部分 1263, 1264, 1265は、データ引き出し配線 121と遮光膜 134のいずれにも重畳しなレ、部分を有する。

[0061] この遮光膜 134は、たとえばデータ弓 Iき出し配線 121とは別の所定の配線を構成する導体膜により形成される。たとえばデータ弓 Iき出し配線 121がアクティブ領域 1 1 に形成される走査信号線 112と同じ導体により形成される場合には、遮光膜 134はデータ信号線 111と同じ導体により形成される。

[0062] 次に、遮光膜 134を有する場合における配線の束 123および導体層 126などの形成工程について説明する。図 5は、配線の束 123および導体層 126などの形成工程を模式的に示した斜視図および断面図である。なお、図 5中、（a)と (b)、（d)と（e)、 ( g)と (h)は、それぞれ同一の工程の斜視図と断面図である。また、次に説明する各ェ程の間および/または各工程と同時に、表示パネル用の基板 lbを製造するための他の工程が存在する場合がある力 S、ここではそれらの他の工程については省略する

[0063] まず図 5 (a) , (b)に示すように、透明基板 13の表面にデータ引き出し配線 121を形成する。たとえば透明基板 13の表面に導電性材料の層を形成し、形成した導電性材料の層をフォトリソグラフィ法などを用いてデータ引き出し配線 121のパターンにノターユングする。

[0064] 次に図 5 (c)に示すように、形成したデータ引き出し配線 121を覆うように第一の絶縁膜 132を形成する。そして図 5 (d) , (e)に示すように、第一の絶縁膜 132の表面に遮光膜 134を形成する。たとえば第一の絶縁膜 132の表面に遮光性の材料の層を形成し、形成した遮光性材料の層をフォトリソグラフィ法などを用いて遮光膜 134のパターンにパターユングする。

[0065] 次に、図 5 (f)に示すように、前記までの工程を経た透明基板 13の表面に第二の絶縁膜 133を形成する。この工程を経ると遮光膜 134は第二の絶縁膜 133によって覆われる。そして図 5 (g) , (h)に示すように、第二の絶縁膜 133の表面に短冊状の導体 1262と帯状の導体 1261と第一〜第三の接続咅分 1263, 1264, 1265とを形成する。たとえば第二の絶縁膜 133の表面に導電性材料の層を形成し、形成した導電性材料の層をフォトリソグラフィ法などを用いて各短冊状の導体 1262、帯状の導体 1 261および第一〜第三の接続部分 1263, 1264, 1265のパターンにパターユングする。

[0066] このような構成によれば、パネル額縁領域 12における光漏れを防止または抑制しつつ、各データ引き出し配線 121に所定の寄生容量を具備させることができる。なお、遮光膜 134および遮光膜 134を覆う第二の絶縁膜 133を有する構成を除いては、第一実施形態に力、かる表示パネル用の基板 laと同じ構成が適用できる。

[0067] 短冊状の導体 1262どうしの接続の構成は、前記第一実施形態または第二実施形態に力、かる表示パネル用の基板 la, lbが有する構成に限定されるものではない。そこで以下に、他の構成について説明する。なお、以下の各実施形態において、第一または第二実施形態と共通の構成の部分には、第一実施形態または第二実施形態と同じ符号を付し、説明は省略することがある。

[0068] 図 6は、第三実施形態に力、かる表示パネル用の基板 lcのデータ引き出し配線 121 および短冊状の導体 1262と帯状の導体 1261と接続部分 1263, 1264, 1266の構成を模式的に示した平面図である。

[0069] 図 6に示すように、帯状の導体 1261と各短冊状の導体 1262とが第一の接続部分 1263によって電気的に接続されるとともに、短冊状の導体 1262どうしが接続部分 1 264, 1266 ίこ J:つて電気白勺 ίこ続される。

[0070] 具体的には、まず、帯状の導体 1261と、これに近接して設けられる各短冊状の導体 1262とが第一の接続部分 1263によって電気的に接続される。この構成は第一実施形態または第二実施形態に力、かる表示パネル用の基板と同じである。そして、一つのデータ引き出し配線 121に重畳して設けられる導体層 126の複数の短冊状の導体 1262のうち、互いに隣接するものどうしが第二の接続部分 1264によって電気的に接続される。この構成も第一実施形態または第二実施形態に力、かる表示パネル用の基板と同じである。

[0071] そして、ある一つのデータ引き出し配線 121に重畳して設けられる短冊状の導体 1 262どうしを電気的に接続する第二の接続部分 1264と、このデータ引き出し配線 12 1に隣接する他のデータ引き出し配線 121に重畳して設けられる短冊状の導体 126 2どうしを電気的に接続する第二の接続部分 1264のうち、隣接するものどうしがさらに接続部分 1266によって電気的に接続される。このような第二の接続部分 1264どうしを電気的に接続する接続部分 1266を、説明の便宜上「第四の接続部分」と称す

[0072] 第四の接続部分 1266は、各データ引き出し配線 121に重畳しない部分を有する。

なお、第一実施形態に示すような第三の接続部分 1265は設けられない。したがって、あるデータ引き出し配線 121に重畳して設けられる短冊状の導体 1262と、このデータ引き出し配線 121に隣接する他のデータ引き出し配線 121に重畳して設けられる短冊状の導体 1262は、直接的には電気的に接続されない。

[0073] このように、同一のデータ引き出し配線 121に重畳するように設けられる複数の短冊状の導体 1262が、第二の接続部分 1264によって直列的に電気的に接続される。そして、第二の接続部分 1264どうしを接続する第四の接続部分 1266によって、互いに隣接するデータ引き出し配線 121に重畳するように設けられる短冊状の導体 12 62どうしが電気的に接続される。さらに帯状の導体 1261とこれに近接する短冊状の導体 1262とが第一の接続部分 1263によって電気的に接続される。したがって、各短冊状の導体 1262は同電位またはほぼ同電位となるとともに、各短冊状の導体 12 62と帯状の導体 1261も同電位またはほぼ同電位となる。

[0074] 第一、第二、第四の接続部分 1263, 1264, 1266は細い帯状に形成される。そして第一、第二、第四の接続部分 1263, 1264, 1266は、それぞれ少なくとも一部に、 V、ずれのデータ弓 Iき出し配線 121とも重畳しな!/、部分を有する。

[0075] すなわち、帯状の導体 1261と短冊状の導体 1262を接続する第一の接続部分 12 63と、一つの引き出し配線 121に重畳するように設けられる短冊状の導体 1262どうしを接続する第二の接続部分 1264とは、それぞれデータ引き出し配線 121のつづら折り状の部分において、データ引き出し配線 121と交差するように形成される。したがって、これらの第一および第二の接続部分 1263, 1264は、各データ引き出し配線 121と重畳する部分と重畳しない部分とが交互に繰り返す。このため、それぞれ一箇所以上のデータ弓 Iき出し配線 121と重畳しな!/、部分を有する。

[0076] 第二の接続部分 1264どうしを接続する第四の接続部分 1266も、図 6に示すようにデータ弓 Iき出し配線 121と重畳しな!/、部分を有する。

[0077] そして第二の接続部分 1264は、第四の接続部分 1266が分岐または交差する位置から少なくとも一方の短冊状の導体 1262に寄った位置には、データ引き出し配線 121に重畳しない部分を少なくとも一箇所以上有する。図 6においては、第四の接続部分 1266が分岐または交差する位置から前後両方の短冊状の導体 1262に寄った位置に、データ弓 Iき出し配線 121と重畳しな!/、部分を有する構成を示す。

[0078] なお、第三実施形態に力、かる表示パネル用の基板 lcのデータ引き出し配線 121、導体層などの形成方法は、第一実施形態に力、かる表示パネル用の基板 laと同じ方法が適用できる。したがって説明は省略する。第一実施形態にかかる表示パネル用の基板 laとは、導体層 126を形成する工程において、形成する導体層 126のパターンが異なるのみである。

[0079] 次に、第四実施形態に力、かる表示パネル用の基板 Idについて説明する。図 7は、第四実施形態に力、かる表示パネル用の基板 Idのデータ引き出し配線 121と導体層 126と遮光膜 134の構成を模式的に示した平面図である。第四実施形態にかかる表示パネル用の基板 Idは、第三実施形態に力、かる表示パネル用の基板 lcのパネル額縁領域 12に、遮光膜が形成される構成を有する。

[0080] 図 7に示すように、データ引き出し配線 121どうしの間には遮光膜 134が形成される

(配線の束 123の外側にも遮光膜が形成されるが、図 7では省略する）。ただし、第四の接続部分 1266に重畳する位置には、遮光膜 134は形成されない。すなわち、これら第四の接続部分 1266は、データ引き出し配線 121と遮光膜 134のいずれにも重畳しない部分を有する。

[0081] 第四実施形態に力、かる表示パネル用の基板 Idの構成は、遮光膜 134がおよびこの遮光膜 134を覆う第二の絶縁膜が形成される点を除いては、第三実施形態にかかる表示パネル用の基板 lcの構成と同じ構成が適用できる。また、第四実施形態にか力、る表示パネル用の基板 Idの配線の束 123や導体層 126などの形成方法は、第二実施形態に力、かる表示パネル用の基板 lbとほぼ同じ方法が適用できる。すなわち、導体層 126を形成する工程と遮光膜 134を形成する工程のそれぞれにおいて、形成する導体層 126のパターンと遮光膜 134のパターンが異なるのみである。

[0082] 次に第五実施形態に力、かる表示パネル用の基板 leについて説明する。図 8は、第五実施形態に力、かる表示パネル用の基板 1 eのデータ弓 Iき出し配線 121および短冊状の導体 1262と帯状の導体 1261と接続部分 1263, 1264とを模式的に示した平面図である。なお、導体層 126の接続部分 1263, 1264以外の構成（すなわち、導体層 126のパターン以外）は、第一実施形態に力、かる表示パネル用の基板 laと同じ構成が適用できる。

[0083] 図 8に示すように、帯状の導体 1261とこれに近接する短冊状の導体 1262とが第一の接続部分 1263によって電気的に接続されるとともに、短冊状の導体 1262どうしが第二の接続部分 1264によって電気的に接続される。

[0084] なお、第一実施形態または第二実施形態とは異なり、あるデータ引き出し配線 121 に重畳して設けられる短冊状の導体 1262と、このデータ引き出し配線 121に隣接する他のデータ引き出し配線 121に重畳して設けられる短冊状の導体 1262とを接続する第三の接続部分 1265は設けられない。また、第二の接続部分 1264どうしを接続する第四の接続部分 1266も設けられない。

[0085] したがって、各データ引き出し配線 121に重畳して設けられる複数の短冊状の導体

1262は、第二の接続部分 1264によって電気的に直列的に接続される。そしてあるデータ引き出し配線 121に重畳して設けられる各短冊状の導体 1262と、他のデータ引き出し配線 121に重畳して設けられる短冊状の導体 1262とは、帯状の導体を通じてのみ電気的に接続される。このような構成であると、一つのデータ引き出し配線 12 1に重畳するように設けられる短冊状の導体 1262は同電位またはほぼ同電位となるとともに、すべてのデータ引き出し配線 121に重畳する短冊状の導体 1262が同電位またはほぼ同電位となる。

[0086] なお、帯状の導体 1261と短冊状の導体 1262とを電気的に接続する第一の接続部分 1263と、短冊状の導体 1262どうしを電気的に接続する第二の接続部分 1264 は、第一実施形態に力、かる表示パネル用の基板 laと同じ構成が適用できる。すなわち、これらの第一の接続部分 1263と第二の接続部分 1264は、それぞれ少なくとも一箇所以上のデータ弓 Iき出し配線 121に重畳しな!/、部分を有する。

[0087] 次に、第六実施形態に力、かる表示パネル用の基板 Ifについて説明する。図 9は、第六実施形態にかかる表示パネル用の基板 Ifのデータ弓 Iき出し配線 121と導体層 1 26と遮光膜 134の構成を模式的に示した平面図である。第六実施形態にかかる表示パネル用の基板 Ifは、第五実施形態に力、かる表示パネル用の基板 leのパネル額縁領域 12に、遮光膜 134が形成される構成を有する。

[0088] 図 9に示すように、パネル額縁領域 12には遮光膜 134が形成される（配線の束 123 の外側にも遮光膜 134が形成される力 S、図 9では省略する）。そして第一の接続部分 1263と第二の接続部分 1264は、それぞれデータ引き出し配線 121とこの遮光膜 1 34の!/、ずれにも重畳しなレ、部分を有する。

[0089] なお、遮光膜 134は各データ引き出し配線 121のつづら折り状の部分 1212に形成されるデータ引き出し配線 121どうしの間の隙間には設けられな!/、構成であれば、遮光膜 134のパターンを、第一の接続部分 1263と第二の接続部分 1264との重畳を避けるような形状にする必要はなレ、。

[0090] 第六実施形態に力、かる表示パネル用の基板 Ifの構成は、遮光膜 134およびこの遮光膜 134を覆う第二の絶縁膜 133が形成される点を除いては、第五実施形態にか力、る表示パネル用の基板 leの構成と同じ構成が適用できる。また、第六実施形態に力、かる表示パネル用の基板 Ifの配線の束 123や導体層 126などの形成方法は、第二実施形態に力、かる表示パネル用の基板 lbとほぼ同じ方法が適用できる。すなわち、導体層 126を形成する工程と遮光膜 134を形成する工程のそれぞれにおいて、形成する導体層 126のパターンと遮光膜 134のパターンが異なるのみである。

[0091] 次に、前記いずれかの実施形態に力、かる表示パネル用の基板 la〜； Ifを備える表示パネル 2の構成につ!/、て説明する。

[0092] 図 10は、第一実施形態から第六実施形態のいずれ力、にかかる表示パネル用の基板 la, lb, lc, Id, le, If (以下、符号「1」で表す）を備える表示パネル 2の外縁部近傍（アクティブ領域 11の一部およびパネル額縁領域 12)の断面構造を模式的に示した断面図である。図 10に示すように、前記いずれかの表示パネル用の基板 1と対向基板 21とが所定の微小な間隔をおいて対向して配設される。そしてアクティブ領域 11を囲むように設けられるシール材 22によって前記いずれかの表示パネル用の基板 1と対向基板 21とが貼り合わせられるとともに、シール材 22に囲まれる領域には液晶 23が充填される。

[0093] 本発明のいずれかの実施形態に力、かる表示パネル用の基板 1のアクティブ領域 11 には、複数の絵素電極 113、これらの複数の絵素電極 113のそれぞれを駆動するスイッチング素子（図略。具体的にはたとえば薄膜トランジスタ）とが、それぞれマトリックス状に配列される。さらにアクティブ領域 11には、各スイッチング素子のソース電極にデータ信号を伝送する複数のデータ信号線 111が互いに略平行に設けられるとともに、スイッチング素子のゲート電極に走査信号を伝送するための複数の走査信号線 112が、互いに略平行でかつデータ信号線 111に略直交するように設けられる。また、本発明のいずれかの実施形態に力、かる表示パネル用の基板 1の表面には配向膜 114が形成される。

[0094] 各データ引き出し配線 121の一端はアクティブ領域 11の外縁近傍に設けられるコンタクト部 124に位置し、このコンタクト部 124において所定のデータ信号線 111と電気的に接続する。

[0095] 対向基板 21の構成について簡単に説明する。対向基板 21は、ガラスなどからなる透明基板 217の表面にブラックマトリックス 211が形成され、ブラックマトリックス 211 の各格子の内側には、赤色、緑色、青色のそれぞれの色の着色感材からなる着色層 212が形成される。そしてこれら各色の着色層 212が形成される格子力所定の順序で配列される。ブラックマトリックス 211および各色の着色層 212の表面には保護膜 2 13が形成され、保護膜 213の表面には透明電極（共通電極） 214が形成される。透明電極（共通電極） 214の表面には、液晶の配向を制御する配向規制構造物 215が形成される。さらにその表面には配向膜 216が形成される。この透明電極（共通電極 ) 214は図示しない共通電位線に電気的に接続する。

[0096] シール材 22は、導電性を有する材料からなる微粒子（たとえば金ビーズ)が混合されており、導電性を有する。そして、このシール材 22は、前記いずれかの表示パネル用の基板 1に設けられる帯状の導体 1261が露出している箇所と、対向基板 21の共通電極 214の両方に接触している。このため、短冊状の導体 1262および帯状の導体 1261は、対向基板 21の共通電極 214に電気的に接続し、共通電極 214と同電位またはほぼ同電位となる。

[0097] 次に、前記いずれかの表示パネル用の基板 1を備える表示パネル 2における、データ引き出し配線 121と短冊状の導体 1262との間の電気的な短絡に起因する表示欠陥の修正方法にっレ、て説明する。

[0098] 表示パネル用の基板 1の製造過程において導電性の異物が表示パネル用の基板

1のパネル額縁領域 12に付着すると、この異物がデータ弓 Iき出し配線 121と短冊状の導体 1262との間の絶縁膜（図 10にお!/、ては第一の絶縁膜 132および第二の絶縁膜 133)を貫通し、特定のデータ引き出し配線 121と短冊状の導体 1262とを電気的に接続することがある。

[0099] 前記のとおり導体層 126はシール材 22によって対向基板 21の共通電極 214に電気的に接続されるから、この特定のデータ引き出し配線 121と対向基板 21の共通電極 214とは同電位またはほぼ同電位となる。このため、この特定のデータ引き出し配線 121を通じてデータ信号の伝送を受ける絵素電極 113と対向基板 21の共通電極 214が同電位となるから、たとえば表示パネル 2がノーマリーブラックタイプであれば、これらの絵素は常に実質上最も低い輝度の表示をする。したがって、表示パネル 2には、データ信号線 111に沿った筋状の表示欠陥（ノーマリーブラックタイプの表示パネルであれば黒色の線状の表示欠陥）が現れる。

[0100] そこで、データ引き出し配線 121と短絡する短冊状の導体 1262を、他の短冊状の導体 1262または帯状の導体 1261から電気的に切り離す修正を行う。この修正によつて、特定のデータ引き出し配線 121と対向基板 21の共通電極 214との導通を解消し、データ信号線 111に所定のデータ信号を伝送できるようにする。

[0101] 具体的には次のとおりである。第一実施形態に力、かる表示パネル用の基板 laを備える表示パネルと第二実施形態に力、かる表示パネル用の基板を備える表示パネルは、ほぼ同じ修正方法が適用できる。したがって、第二実施形態にかかる表示パネル用の基板 lbを備える表示パネルを例に示し、まとめて説明する。

[0102] 図 11は、第二実施形態に力、かる表示パネル用の基板 lbを備える表示パネルにおいて、特定のデータ引き出し配線 121aと特定の短冊状の導体 1262cとが短絡した状態を模式的に示した平面図である。ここでは図 1 1に示すように、ある特定のデータ引き出し配線 121aとこれに重畳して設けられる特定の短冊状の導体 1262cとが異物 801によって電気的に短絡し、その結果表示パネル 2に筋状の表示が現れる状態を例に説明する。

[0103] まず、製造された表示パネル 2の点灯検査を行う。前記のとおり特定のデータ引き出し配線 121aとこれに重畳して設けられる特定の短冊状の導体 1262cとが電気的に短絡すると、表示パネル 2が表示する画像に筋状の表示欠陥が現れることがある。そこで、表示パネル 2の点灯検査において筋状の表示欠陥が確認され、かっこの表示欠陥の原因が、特定のデータ引き出し配線 121aとこれに重畳して設けられるいずれかの短冊状の導体 1262との短絡によるものであると考えられる場合には、表示欠陥が発生している絵素にデータ信号を伝送するデータ引き出し配線 121aを拡大鏡などを用いて観察し、短絡箇所を特定する。

[0104] 図 12は、図 11の A部を拡大して示した平面図である。データ引き出し配線 121aと短絡している短冊状の導体 1262cが特定できた場合には、この短冊状の導体 1262 cとこれに隣接する他の短冊状の導体 1262d, 1262b, 1262g, 1262iとを接続する二箇所の第二の接続部分 1264b, 1264fおよび二箇所の第三の接続部分 1265c, 1265eを切断する。なお、データ引き出し配線 121と短絡している短冊状の導体力第一の接続部分 1263によって帯状の導体と接続している場合には、この第一の接続部分も切断する。

[0105] 具体的には、表示パネル 2の外側からレーザを照射し、レーザのエネルギによってこれらの接続部分 1264b, 1264c, 1265c, 1265eを切断する。前記のように、第二実施形態に力、かる表示パネル用の基板 lbの各接続部分 1264b, 1264c, 1265c, 1265eは、データ引き出し配線 121および遮光膜 134のいずれにも重畳しない部分を有する。したがって、この部分を通じて外部から各接続部分 1264b, 1264c, 126 5c, 1265eにレーザを照射して切断することができる。すなわち、それぞれ破線 e、破線 f、破線破線 hの位置を切断すればよい。なお、第一実施形態にかかる表示パネル用の基板 laには遮光膜 134が形成されないから、第三の接続部分 1265c, 1 265eの切断において遮光膜 134が障碍となることがない。 [0106] このように各接続き分 1264b, 1264c, 1265c, 1265eを切断すると、データ引き出し配線 121aと対向基板 21の共通電極との間の電気的な接続が無くなる。したがつて、このデータ引き出し配線 121aは、データ信号線に所定のデータ信号を伝送できるようになり、表示欠陥が解消する。また、このデータ引き出し配線 121aに重畳して設けられる複数の短冊状の導体のうち、周囲から電気的に切り離した短冊状の導体 1262cを除いては、これまでと同じように寄生容量として機能する。したがって、修正によつてこのデータ引き出し配線 121aが具備する寄生容量が大きく変化することはなぐデータ信号の伝送に与える影響を小さくすることができる。

[0107] なお、データ引き出し配線 121aと短冊状の導体 1262cとの短絡箇所が特定できない場合がある。このような場合には、導体層 126の複数の短冊状の導体のうちの一つを周囲から電気的に切り離す作業と、切り離した後に点灯検査を行って筋状の表示欠陥が解消した力、どうかを確認する作業とを、表示欠陥が無くなるまで繰り返す。

[0108] たとえば次のとおりである。まず、表示欠陥が現れている絵素群にデータ信号を伝送するデータ引き出し配線 121aに重畳する複数の短冊状の導体のうち、帯状の導体 1261から最も遠いもの（換言すると、直列に接続される短冊状の導体のうち、帯状の導体 1261に接続されるものからみて末端に位置するもの）を周囲から切断する。図 12に示す例では、末端の短冊状の導体 1262aを、これに隣接する短冊状の導体 1262e, 1262bから電気的に切断する。たとえば、第二の接続部分 1264aの破線 d の位置と、第三の接続部分 1265aの破線 aの位置を切断し、短冊状の導体 1262aを隣接する他の短冊状の導体 1262e, 1262bから電気的に切り離す。

[0109] その後再び点灯検査を行う。この点灯検査においても筋状の表示欠陥が現れる場合には、末端から二番目に位置する短冊状の導体 1262bを、これに隣接する他の短冊状の導体 1262f, 1262h, 1262cから電気的に切り離す。図 12に示す例においては、一箇所の第二の接続部分 1264bの破線 eの位置と、二箇所の第三の接続部分 1265b, 1265dのそれぞれ破線 bと破線 gの位置をレーザによって切断する。これによりこの短冊状の導体 1262bがこれに隣接する他の三個の短冊状の導体 1262 c, 1262f, 1262h力、ら電気的に切り離される。

[0110] その後再び点灯検査を行う。以下、表示欠陥が現れる絵素群にデータ信号を伝送するデータ引き出し配線 121aに重畳して設けられる短冊状の導体をこれに隣接する他の短冊状の導体から電気的に切り離す工程と、点灯検査を行って筋状の表示欠陥が解消したかを確認する工程とを繰り返す。なお、図 12に示す例においては、末端から三番目に位置する短冊状の導体 1262cを、隣接する他の三個の短冊状の導体 1262g, 1262c, 1262dから電気的に切り離すと、他に異常がなければ表示欠陥は解消する。

[0111] なお、複数の短冊状の導体のうち、どの短冊状の導体からこれに隣接する他の短冊状の導体（および帯状の導体に接続して!/、る場合には帯状の導体)から電気的に切り離していくかは、前記順序に限定されるものではない。すなわち前記のとおり末端に位置するものからから順番に切り離していってもよぐ短絡が疑われるものから順に切り離していってもよい。このような方法であっても、前記同様の作用効果を奏すること力 Sでさる。

[0112] なお、このような方法によると、データ引き出し配線と短絡していない短冊状の導体を隣接する他の短冊状の導体から電気的に切り離してしまう場合が生じ得る。しかしながら、このような場合であっても、表示パネルの表示品位に与える影響は少ないものと考えられる。

[0113] すなわち、隣接する他の短冊状の導体や帯状の導体から電気的に切り離された短冊状の導体は、正常な寄生容量として機能しなくなる。そして、このような方法によると、本来は切り離さなくてもよいものまで余分に切り離してしまう場合が生じるため、このデータ引き出し配線が具備する寄生容量は、他のデータ引き出し配線が具備する寄生容量と異なる。このため、伝送されるデータ信号の状態（たとえば信号の遅延など）が相違する場合が生じ得る。

[0114] しかしながら、寄生容量が相違すると伝送されるデータ信号の状態が多少相違するものの、データ信号をデータ信号線に伝送できることには変わりはなぐこのデータ信号線からデータ信号の伝送を受ける絵素群は、伝送されたデータ信号に基づいた表示を行うことができる。そして、配線の束に含まれるデータ引き出し配線が均一な寄生容量を具備しているから、その中の特定の一本が具備する寄生容量が他とは多少異なったとしても、表示状態の相違は目立たない。したがって、表示パネルの表示品位に与える影響は少な!/、ものと考えられる。

[0115] 次に、第三実施形態に力、かる表示パネル用の基板 lcを備える表示パネルおよび第四実施形態に力、かる表示パネル用の基板 Idを備える表示パネルの修正方法について説明する。なお、第三実施形態に力、かる表示パネル用の基板 lcを備える表示パネルの修正方法と、第四実施形態に力、かる表示パネル用の基板 Idを備える表示パネルの修正方法はほぼ同じである。したがって第四実施形態にかかる表示パネル用の基板 Idを備える表示パネルを例に示してまとめて説明する。

[0116] 図 13は、特定のデータ引き出し配線 121aとこれに重畳する特定の短冊状の導体 1 262cとが短絡した状態と、この短絡に起因する表示欠陥の修正方法を模式的に示した平面図である。なおこの図 13は、図 11の A部に相当する領域を拡大して示した平面図である。ここでは図 13に示すように、特定のデータ引き出し配線 121aとこれに重畳して設けられる特定の短冊状の導体 1262cとが導電性を有する異物 801よつて短絡し、その結果表示パネルが表示する画像に筋状の表示が現れる状態を例に説明する。

[0117] まず、製造された表示パネル 2の点灯検査を行い、表示パネル 2が表示する画像に筋状の表示欠陥が現れるかどうかを検査する。そして表示パネル 2の点灯検査において筋状の表示欠陥の発生が確認でき、かっこの表示欠陥が特定のデータ引き出し配線 121aと、これに重畳して設けられる短冊状の導体との短絡に起因するものと考えられる場合には、表示欠陥が発生している絵素にデータ信号を伝送するデータ弓 Iき出し配線 121 aを拡大鏡などを用レ、て観察し、短絡箇所を特定する。

[0118] そして、特定のデータ引き出し配線 121aと短絡している短冊状の導体 1262cが特定できた場合には、この短冊状の導体 1262cを、これに隣接する他の短冊状の導体 1262b, 1262d, 1262g, 1262i力、ら電気白勺に切り離す。具体白勺に (ま、この短冊状の導体 1262cに繋がる第二の接続部分 1264bの破線 1の位置と，第二の接続部分 1 264cの破線 mの位置をレーザによって切断する。破線 1、破線 mの位置は、データ引き出し配線 121と遮光膜 134のいずれにも重畳していないから、表示パネル 2の外側力、らこの位置にレーザを照射できる。

[0119] また、第三実施形態に力、かる表示パネル用の基板 lcを備える表示パネル、または第四実施形態に力、かる表示パネル用の基板 Idを備える表示パネルによれば、一箇所の短冊状の導体を、これに隣接する他の短冊状の導体から電気的に切断するには、二箇所の第二の接続部分 (短冊状の導体が帯状の導体に隣接するものであれば、一箇所の第一の接続部分と一箇所の第二の接続部分の計二箇所)をレーザによって切断すればよ!/、。したがって修正の際にレーザを照射する回数を少なくすること力 Sできる。

[0120] データ引き出し配線 121aに短絡している短冊状の導体をこれに隣接する他の短冊状の導体 (および帯状の導体に隣接する場合には、帯状の導体)から電気的に切り離すと、このデータ引き出し配線 121aと対向基板 21の共通電極との間の電気的な接続が無くなる。したがって、このデータ引き出し配線 121aは、データ信号線に所定のデータ信号を伝送できるようになり、表示欠陥が解消する。また、このデータ引き出し配線に重畳して設けられる複数の短冊状の導体のうち、周囲から電気的に切り離したものを除いては、これまでと同様に寄生容量として機能する。したがって、このデータ引き出し配線 121aが具備する寄生容量は、修正によって大きく変化することはなぐデータ信号の伝送に与える影響を小さくすることができる。

[0121] データ引き出し配線 121aと短冊状の導体との短絡箇所が特定できない場合には、前記同様に、複数の短冊状の導体のうちの一つを周囲から電気的に切り離す作業と、点灯検査を行って筋状の表示欠陥が解消したかどうかを確認する作業とを繰り返す。

[0122] 具体的にはたとえば次のとおりである。まず、表示欠陥が現れている絵素群にデータ信号を伝送するデータ引き出し配線 121aに重畳する複数の短冊状の導体のうち、帯状の導体から最も遠いもの（換言すると、直列に接続される短冊状の導体のうち、帯状の導体に接続されるものからみて末端に位置するもの）を周囲から切断する。具体的には、接続部分をレーザによって切断する。これによりこの短冊状の導体は、隣接する他の短冊状の導体から電気的に切り離される。

[0123] 図 13に示す例においては、末端に位置する短冊状の導体 1262aは、第二の接続部分 1264aの破線 iの位置の一箇所を切断すれば、隣接する他の短冊状の導体 12 62b, 1262e力、ら電気白勺に切り離される。 [0124] そして再び点灯検査を行う。この点灯検査においても筋状の表示欠陥が現れる場合には、末端から二番目に位置する短冊状の導体を、これに隣接する他の短冊状の導体から電気的に切り離す。図 13に示す例においては、末端から二番目に位置する短冊状の導体 1262bに繋がる二本の第二の接続部分 1264a, 1264bのそれぞれ破線 j、破線 kの位置を、レーザによって切断する。これによりこの短冊状の導体 126 2bは、これに隣接する他の短冊状の導体 1262c, 1262f, 1262hから電気的に切り離される。

[0125] そして再び点灯検査を行う。さらにこの点灯検査においても筋状の表示欠陥が観察される場合には、末端から三番目に位置する短冊状の導体を、隣接する他の短冊状の導体から電気的に切り離す。図 13に示す例においては、末端から三番目に位置する短冊状の導体 1262cに繋がる二本の第二の接続部分 1264b, 1264cのそれぞれ破線 1と破線 mの位置を、レーザによって切断する。これによりこの短冊状の導体 1262ciま、これに隣接する他の短冊状の導体 1262d, 1262g, 1262i力、ら電気白勺に切り離される。

[0126] 以下、このように表示欠陥が現れる絵素群にデータ信号を伝送するデータ引き出し配線に重畳して設けられる短冊状の導体を隣接する他の短冊状の導体から電気的に切り離す工程と、点灯検査を行って筋状の表示欠陥が解消した力、を確認する工程とを繰り返す。なお、図 13に示す例においては、末端から三番目に位置する短冊状の導体 1262cを、隣接する他の短冊状の導体 1262d, 1262g, 1262iから切り離すと、他に異常がなければ表示欠陥は解消する。

[0127] このように、第三実施形態または第四実施形態に力、かる表示パネル用の基板を備える表示パネルも、第一実施形態または第二実施形態に係る表示パネル用の基板を備える表示パネルと同様の方法で表示欠陥を修正でき、同様の作用効果を奏すること力 Sでさる。

[0128] 次に、第五実施形態に力、かる表示パネル用の基板 leを備える表示パネルの修正方法と、第六実施形態に力、かる表示パネル用の基板 Πを備える表示パネルの修正方法について説明する。なお、第五実施形態にかかる表示パネル用の基板 leを備える表示パネルの修正方法と、第六実施形態にかかる表示パネル用の基板 Ifを備える表示パネルの修正方法は、同じ方法が適用できることから、第六実施形態にか力、る表示パネル用の基板 ifを備える表示パネルを例に示してまとめて説明する。

[0129] 図 14は、特定のデータ引き出し配線 121aと特定の短冊状の導体 1262cとが導電性の異物 801によって短絡した状態と、この短絡に起因する表示欠陥の修正方法を模式的に示した平面図である。ここでは図 14に示すように、特定のデータ引き出し配線 121aとこれに重畳して設けられる特定の短冊状の導体 1262cとが短絡し、その結果表示パネル 2に筋状の表示が現れる状態を例に説明する。

[0130] まず、第一実施形態または第二実施形態に係る表示パネル用の基板を備える表示パネルの修正方法と同様に、表示パネルの点灯検査を行う。そして、データ引き出し配線とこれに重畳して設けられる導体層短冊状の導体との短絡に起因すると考えられる筋状の表示欠陥の発生が確認できた場合には、短絡箇所を特定する。

[0131] データ引き出し配線 121aと短絡している短冊状の導体 1262cが特定できた場合には、この短冊状の導体 1262cとこれに隣接する他の短冊状の導体 1262b, 1262 dとを電気的に接続する二箇所の第二の接続部分 1264b, 1264cをレーザによって切断する。具体的には、破線 pと破線 rに示す位置のように、データ引き出し配線 121 aと重畳しない位置を切断する。なお、二本の第二の接続部分 1264b, 1264cのうち、帯状の導体 1261側の第二の接続部分 1264cのみを切断してもよい。切断方法は、第一実施形態または第二実施形態に力、かる表示パネル用を備える表示パネルの修正方法と同じ方法が適用できる。

[0132] 各短冊状の導体は直列的に電気的に接続されているのみであるから、短絡している短冊状の導体 1262cの帯状の導体 1261寄りの第二の接続部分ほたは第一の接続部分）を切断すれば、データ引き出し配線 121aと対向基板 21の共通電極との間の電気的な接続が無くなる。したがって、このデータ引き出し配線 121aは、データ信号線に所定のデータ信号を伝送できるようになり、表示欠陥が解消する。また、このような構成であると、修正時におけるレーザの照射回数を少なくすることができる。

[0133] データ引き出し配線と短冊状の導体との短絡箇所が特定できない場合には、前記同様に、複数の短冊状の導体のうちの一つを周囲から電気的に切り離す作業と、点灯検査を行って筋状の表示欠陥が解消した力、どうかを確認する作業とを繰り返す。 [0134] たとえば次のとおりである。まず、表示欠陥が現れている絵素群にデータ信号を伝送するデータ引き出し配線に重畳する複数の短冊状の導体のうち、帯状の導体から最も遠いもの（換言すると、直列に接続される短冊状の導体のうち、帯状の導体に接続されるものからみて末端に位置するもの）を周囲から電気的に切り離す。具体的には、この短冊状の導体とこれの帯状の導体寄りに隣接する短冊状の導体との接続部分を切断する。

[0135] 図 14に示す例においては、この短冊状の導体 1262aに接続する第二の接続部分 1264aは一箇所しかないから、この一箇所を切断するだけで、帯状の導体 1261から電気的に切り離される。

[0136] そして再び点灯検査を行う。この点灯検査においても筋状の表示欠陥が現れる場合には、末端から二番目に位置する短冊状の導体 1262bに繋がる二本の第二の接続部分 1264a, 1264bのうち、帯状の導体 1261寄りの第二の接続部分 1264bを切断し、この短冊状の導体 1262bをこれに接続される他の短冊状の導体 1262cから電気的に切り離す。この一箇所を切断すると、この短冊状の導体 1262bは対向基板 2 の対向電極との間の電気的な導通が無くなる。

[0137] そして再び点灯検査を行う。さらにこの点灯検査においても筋状の表示欠陥が観察される場合には、末端から三番目に位置する短冊状の導体 1262cを、隣接する他の短冊状の導体から電気的に切り離す。この場合も、この短冊状の導体の帯状の導体寄りにある第二の接続部分を切断すれば、この短冊状の導体 1262cと対向基板の対向電極との間の電気的な導通が無くなる。

[0138] 以下、このように表示欠陥が現れる絵素群にデータ信号を伝送するデータ引き出し配線に重畳して設けられる短冊状の導体を隣接する他の短冊状の導体から電気的に切り離す工程と、点灯検査を行って筋状の表示欠陥が解消した力、を確認する工程とを繰り返す。なお、図 14に示す例においては、末端から三番目に位置する短冊状の導体 1262cを、隣接する他の短冊状の導体から切り離すと、他に異常がなければ表示欠陥は解消する。

[0139] このように、第五実施形態または第六実施形態に力、かる表示パネル用の基板を備える表示パネルも、第一実施形態または第二実施形態に係る表示パネル用の基板を備える表示パネルと同様の方法で表示欠陥を修正でき、同様の作用効果を奏すること力 Sでさる。

[0140] 次に、第一実施形態から第三実施形態のいずれかにかかる表示パネル用の基板（以下、「本発明の実施形態にかかる表示パネル用の基板」と称する）を備える表示パネルの製造方法の全体的な流れについて説明する。

[0141] 図 15は、本発明のいずれかの実施形態に力、かる表示パネル用の基板 1の製造方法の各工程を模式的に示した断面図である。それぞれ、図 15 (a)〜（f)は、ァクティブ領域内の絵素の形成工程を示し、図 15 (g)〜（l)は、パネル額縁領域の引き出し配線の束などの形成工程を示す。また、図 15において（a)と（g)、（b)と (h)、（c)と（i )、（d)と、 (e)と（k)、 (f)と (1)は、それぞれ同じ工程を示す。なお、この図 15は説明のための模式的なものであり、本発明のいずれかの実施形態に力、かる表示パネル用の基板の特定の切断線に沿った断面構造を示したものではない。

[0142] 本発明の実施形態に力、かる表示パネル用の基板 1は、ガラスなどの透明基板 13の片側表面に、所定の形状の導体膜、半導体膜、絶縁膜などが所定の順序で積層するように形成される。

[0143] まず、図 15 (a)に示すように、アクティブ領域 11内に、走査信号線 112、補助容量線（図示せず）およびスイッチング素子（すなわち薄膜トランジスタ）のゲート電極 151 を形成する。この工程において併せて図 15 (g)に示すように、パネル額縁領域 12に、データ引き出し配線 121を形成する。

[0144] 具体的には、透明基板 13の表面に、クロム、タングステン、モリブデン、アルミニウムなどからなる単層または多層の第一の導体膜を形成する。この第一の導体膜の形成には、公知の各種スパッタリング法などが適用できる。また、この第一の導体膜の厚さは特に限定されるものではないが、たとえば lOOnm程度の膜厚が適用できる。

[0145] そして形成した第一の導体膜を、走査信号線 112、補助容量線（図示せず）、スイツチング素子のゲート電極 151、データ引き出し配線 121のそれぞれのパターンにパターニングする。この第一の導体膜のパターユングには、ウエットエッチングが適用できる。たとえば第一の導体膜がクロムからなる場合には、（NH ) [Ce (NH ) ] +HN

4 2 3 6

O +H O液を用いたウエットエッチングが適用できる。 [0146] これにより、図 15 (a)に示すように、アクティブ領域 11内には、それぞれ所定のパターンの走査信号線 112、補助容量線（図示せず）、スイッチング素子のゲート電極 15 1が形成される。一方図 15 (g)に示すように、パネル額縁領域 12には、データ引き出し配線 121が形成される。データ引き出し配線 121の形状は、第一実施形態から第六実施形態に力、かる表示パネル用基板のいずれにおいても同じ形状が適用できる。

[0147] 次いで図 15 (b) , (h)に示すように、前記工程を経た透明基板の表面に、第一の絶縁膜 132 (すなわちゲート絶縁膜)を形成する。第一の絶縁膜 132には厚さ 300nm 程度の SiNx (窒化シリコン）などが適用できる。そして、プラズマ CVD法を用いて第一の絶縁膜 132の材料を堆積させる方法により形成できる。第一の絶縁膜 132が形成されると、図 15 (b)に示すように、アクティブ領域 11内においては走査信号線 112 、補助容量線（図示せず）、スイッチング素子のゲート電極 151が第一の絶縁膜 132 により覆われる。一方、図 15 (h)に示すように、パネル額縁領域 12においては、データ引き出し配線 121が第一の絶縁膜 132に覆われる。

[0148] 次いで図 15 (c)に示すように、第一の絶縁膜 132の表面の所定の箇所 (具体的にはゲート電極 151に重畳する箇所）に、半導体膜 155とォーミックコンタクト膜 156とを重ねて形成する。半導体膜 155には厚さ lOOnm程度のアモルファスシリコンなどが適用できる。ォーミックコンタクト膜 156には厚さ 20nm程度の n⁺型のアモルファスシリコンなどが適用できる。このォーミックコンタクト膜 156は、後の工程で形成するソース電極 152やドレイン電極 153とのォーミックコンタクトを良好にするためのものである。

[0149] これらの半導体膜 155およびォーミックコンタクト膜 156は、それぞれプラズマ CVD 法とフォトリソグラフィ法により形成できる。すなわちまずプラズマ CVD方を用いて膜の材料を堆積させる。そして形成した半導体膜の材料とォーミックコンタクト膜の材料とを、フォトリソグラフィ法などを用いて所定の形状にパターユングする。このパター二ングには、たとえば HF + HNO溶液を用いたウエットエッチングが適用できる。

3

[0150] 次いで図 15 (d)に示すように、アクティブ領域 11内に、データ信号線 111、ドレイン配線 154、スイッチング素子のソース電極 152およびドレイン電極 153を形成する。そして図 15 (j)に示すように、パネル額縁領域 12には、この工程において併せて遮光膜 134を形成する。

[0151] 具体的にはまず、前記までの工程を経た透明基板の表面に、第二の導体膜を形成する。この第二の導体膜は、チタン、アルミニウム、クロム、モリブデンなどからなる単層または多層の導体膜が適用できる。また、第二の導体膜の形成方法としては、ブラズマ CVD法などが適用できる。

[0152] そして形成した第二の導体膜をパターユングする。これにより、アクティブ領域内には、それぞれ第二の導体膜力なる所定の形状のデータ信号線 111、スイッチング素子のソース電極 152とドレイン電極 153、ドレイン配線 154が形成される。一方、パネル額縁領域 12には、第二の導体膜からなる遮光膜 134が形成される。この第二の導体のパターユングにおいては、併せてスイッチング素子のゲート電極 151に重畳するように形成した半導体膜 155とォーミックコンタクト膜 156とを所定の深さだけエツ

[0153] この遮光膜 134は、第二実施形態、第四実施形態、第六実施形態にかかる表示パネル用の基板のそれぞれで形状が異なるが、材料や成形方法は同じである。

[0154] 以上の工程を経ると、図 15 (d)に示すようにアクティブ領域 11内には、スイッチング素子（ゲート電極 151、ソース電極 152およびドレイン電極 153)、走査信号線 112、補助容量線（図示せず）、ドレイン配線 154およびデータ信号線 111が形成される。そしてパネル額縁領域 12には、図 15 (j)に示すように、データ引き出し配線 121、第一の絶縁膜 132、遮光膜 134が形成される。

[0155] 次に、図 15 (e) , (k)のそれぞれに示すように、第二の絶縁膜 133 (すなわちパッシベーシヨン膜)を形成する。前記工程を経た透明基板 13の表面に第二の絶縁膜を形成し、形成した第二の絶縁膜をパターユングする。これにより所定の形状の第二の絶縁膜 133が得られる。この第二の絶縁膜 133には、 400nm程度の厚さの窒化シリコン（SiNx)が適用できる。第二の絶縁膜 133の形成方法としては、プラズマ CVD法が適用でき、パターユング方法としては、たとえばたとえば SF + 0を用いたドライエ

6 2

ツチングが適用できる。

[0156] この工程のパターユングでは、先の工程で形成した第一の絶縁膜 132も同時に所定のパターンにパターユングする。そしてこの工程のパターユングによって、ァクティブ領域 11内におレ、ては図 15 (e)に示すように、ドレイン配線 154と絵素電極（図 15 ( f)参照）とを電気的に接続する絵素コンタクト部を形成する。また、図示しないが、パネル額縁領域 12のコンタクト部においては、データ引き出し配線 121を覆う第一の絶縁膜 132とデータ信号線 111を覆う第二の絶縁膜 133とに開口部を形成する。そしてデータ引き出し配線 121の端部とデータ信号線 111の端部とを露出させる。

[0157] 次に、図 15 (f)に示すように、アクティブ領域 11内に絵素電極 113を形成する。そしてこの工程と併せて、図 15 (1)に示すように、パネル額縁領域 12に各データ引き出し配線 121に寄生容量を具備させるための導体層 126を形成する。また、図示しないが、パネル額縁領域 12のコンタクト部において、露出するデータ引き出し配線 121 の端部とデータ信号線 111の端部とを電気的に接続する導体層を形成する。これにより、所定のデータ引き出し配線 121と所定のデータ信号線 111とが電気的に接続される。

[0158] アクティブ領域 11内の絵素電極 113と、パネル額縁領域 12の各データ引き出し配線 121に寄生容量を具備させるための導体層 126と、データ弓 Iき出し配線 121の端部とデータ信号線 111の端部とを電気的に接続する導体層とは、同じ導体により形成される。たとえば 150nm程度の厚さの ITO (Indium Tin Oxide：インジウム酸化スズ )が適用できる。

[0159] 具体的にはまず、前記までの工程を経た透明基板 13の表面に、絵素電極 113、各データ引き出し配線 121に寄生容量を具備させるための導体層 126、およびデータ弓 Iき出し配線 121の端部とデータ信号線 111の端部とを電気的に接続する導体層の材料となる第三の導体膜を形成する。この第三の導体膜の形成方法には、プラズマ CVD法が適用できる。そして形成した第三の導体膜を、絵素電極 113、各データ引き出し配線 121に寄生容量を具備させるための導体層 126、およびデータ引き出し配線 121の端部とデータ信号線 111の端部とを電気的に接続する導体層のパターンにパターユングする。この第三の導体膜のパターユングには、 HC1 + HNO +H

3 2 o溶液を用いたウエットエッチングが適用できる。

[0160] このパターユングによって、図 15 (f)に示すように、アクティブ領域 11内に所定の形状の絵素電極 113が形成される。各絵素電極 113は、第二の絶縁膜 133に形成した絵素コンタクト部においてドレイン配線 154と電気的に接続する。

[0161] 一方、パネル額縁領域 12においては図 15 (1)に示すように、各データ引き出し配線 121に重畳するように導体層 126が形成される。この導体層 126の形状は、実施形態ごとに異なる場合がある力材料および形成方法は同じである。

[0162] 以上のような工程を経て、本発明のいずれかの実施形態にかかる表示パネル用の基板 1を得る。

[0163] このような構成によれば、各データ引き出し配線とこれらに重畳して設けられる導体層との間に容量が発生する。換言すると、各データ引き出し配線は、これらに重畳して設けられる導体層によって寄生容量を具備する。

[0164] 次に、本発明の実施形態に力、かる表示パネル用の基板を適用した表示パネルの構成と、製造方法について説明する。

[0165] 図 16は、本発明のいずれかの実施形態に力、かる表示パネル用の基板 1を適用した表示パネル 2の構成を、模式的に示した斜視図である。図 16に示すように、本表示パネル 2は、 TFTアレイ基板（すなわち本発明のいずれかの実施形態に力、かる表示パネル用の基板 1)と、カラーフィルタ（すなわち対向基板 21)とを備える。そしてこれらの間に液晶が充填される。本表示パネルの構成には、一般的な液晶表示パネルの構成が適用できるから、詳細な説明は省略する。

[0166] 本表示パネルの製造方法は、 TFTアレイ基板製造工程と、カラーフィルタ製造ェ程と、パネル (セル)製造工程と、を含む。なお、 TFTアレイ基板製造工程は、前記のとおりである。

[0167] カラーフィルタの構成と製造方法は次のとおりである。図 17は、対向基板 (カラーフィルタ）21の構成を模式的に示した図であり、具体的には図 17 (a)は対向基板 (カラ一フィルタ） 21の全体構造を模式的に示した斜視図、図 17 (b)は対向基板 (カラーフィルタ） 21に形成される一絵素の構成を抜き出して示した平面図、図 17 (c)は図 17 ( b)の B— B線断面図であって、絵素の断面構造を示した図である。

[0168] この図 17に示すように対向基板 (カラーフィルタ） 21は、ガラスなどからなる透明基板 217の表面にブラックマトリックス 211が形成され、ブラックマトリックス 211の各格子の内側には、赤色、緑色、青色のそれぞれの色の着色感材からなる着色層 212が形成される。そしてこれら各色の着色層 212が形成される格子が、所定の順序で配歹される。ブラックマトリックス 211および各色の着色層 212の表面には保護膜 213が形成され、保護膜 213の表面には透明電極（共通電極） 214が形成される。透明電極（共通電極） 214の表面には、液晶の配向を制御する配向規制構造物 215が形成される。

[0169] カラーフィルタ製造工程には、ブラックマトリックス形成工程と、着色層形成工程と、保護膜形成工程と、透明電極 (共通電極)形成工程とが含まれる。

[0170] ブラックマトリックス形成工程の内容は、たとえば樹脂 BM法であれば次のとおりである。まず、透明基板 217の表面に BMレジスト（黒色着色剤を含有する感光性樹脂組成物をレ、う）などを塗布する。次!/、で塗布した BMレジストをフォトリソグラフィ法などを用いて所定のパターンに形成する。これにより、所定のパターンのブラックマトリックスを得る。なお、ブラックマトリックス形成工程において、 BMレジストにより同時に遮光層を形成する場合がある。遮光層は、不要な光が透過することを防止する要素であり、対向基板（カラーフィルタ） 21のパネル額縁領域に設けられる。

[0171] 着色層形成工程では、カラー表示用の赤色、緑色、青色の各色の着色層 212を形成する。たとえば着色感材法であれば次のとおりである。まず、ブラックマトリックス 21 1を形成した透明基板 217の表面に、着色感材 (感光性材料に所定の色の顔料を分散した溶液をいう）を塗布する。次いで、塗布した着色感材を、フォトリソグラフィ法などを用いて所定のパターンに形成する。そしてこの工程を、赤色、緑色、青色の各色について行う。これにより各色の着色層 212を得る。

[0172] ブラックマトリックス形成工程で用いる方法は、樹脂 BM法に限定されるものではなく、たとえばクロム BM法、重ね合わせ法などの公知の各種方法が適用できる。着色層形成工程で用いる方法も、着色感材法に限定されるものではなぐたとえば印刷法、染色法、電着法、転写法、エッチング法など、公知の各種方法が適用できる。また、先に着色層 212を形成し、その後にブラックマトリックス 211を形成する背面露光法を用いてもよい。

[0173] 保護膜形成工程では、ブラックマトリックス 211および着色層 212の表面に、保護膜 213を形成する。たとえば、スピンコータを用いて前記工程を経た透明基板 217の表面に保護膜材料を塗布する方法 (全面塗布法)や、印刷またはフォトリソグラフィ法などを用いて所定のパターンの保護膜を形成する方法 (パターユング法）などが適用できる。保護膜材料には、たとえばアクリル樹脂やエポキシ樹脂などが適用できる。

[0174] 透明電極（共通電極)膜形成工程においては、保護膜 213の表面に透明電極（共通電極） 214を形成する。たとえばマスキング法であれば、前記工程を経た透明基板 217の表面にマスクを配置し、スパッタリングなどによって ITO (Indium Tin Oxide)などを蒸着させて透明電極 (共通電極)を形成する。

[0175] 次いで配向規制構造物 215を形成する。この配向規制構造物 215は、たとえばフオトリソグラフィ法などを用いて形成される。前記工程を経た透明基板 217の表面に感光性材料を塗布し、フォトマスクを通じて所定のパターンに露光する。そしてその後の現像工程において不要な部分を除去し、所定のパターンの配向規制構造物 21 5を得る。

[0176] このような工程を経て、対向基板 (カラーフィルタ） 21を得る。

[0177] 次いで、パネル (セル)製造工程について説明する。まず、前記工程を経て得た TF Tアレイ基板 (すなわち本発明のいずれかの実施形態に力、かる表示パネル用の基板 1)と対向基板 (カラーフィルタ） 21のそれぞれの表面に、配向膜を形成する。そして形成した配向膜に配向処理を施す。その後、本発明のいずれかの実施形態にかかる表示パネル用の基板 1と対向基板 (カラーフィルタ） 21とを貼り合わせるとともに、これらの間に液晶を充填する。

[0178] 本発明のいずれかの実施形態に力、かる表示パネル用の基板 1と対向基板 (カラーフィルタ） 21のそれぞれの表面に配向膜を形成する方法は次のとおりである。まず配向材塗布装置などを用いて、本発明のいずれかの実施形態に力、かる表示パネル用の基板 1と対向基板 (カラーフィルタ） 21のそれぞれの表面に配向材を塗布する。配向材とは、配向膜の原料となる物質を含む溶液をいう。配向材塗布装置には、たとえば円圧式印刷装置やインクジェット印刷装置など、従来一般の方法が適用できる。そして塗布した配向材を配向膜焼成装置などを用いて加熱し、焼成する。

[0179] その後、焼成した配向膜に配向処理を施す。この配向処理としては、ラビングロ一ルなどを用いて配向膜の表面に微小な傷をつける方法や、配向膜の表面に紫外線などの光エネルギを照射して配向膜の表面性状を調整する光配向処理など、公知の各種処理方法が適用できる。

[0180] その後、シールパターユング装置などを用いて、本発明の実施形態にかかる表示パネル用の基板 1と対向基板（カラーフィルタ） 21の一方の表面に、シール材を塗布する。シール材を塗布する位置には、各データ引き出し配線に寄生容量を具備させるための帯状の導体が露出している。

[0181] そしてスぺーサ散布装置などを用いて、セルギャップを所定の値に均一に保っためのスぺーサを、本発明の実施形態にかかる表示パネル用の基板 1と対向基板 (力ラーフィルタ） 21の一方の表面に散布する。そして、液晶滴下装置などを用いて、本発明のいずれかの実施形態に力、かる表示パネル用の基板 1と対向基板 (カラーフィルタ） 21の一方の表面のシール材に囲まれる領域に液晶を滴下する。

[0182] その後、減圧雰囲気下で本発明のいずれかの実施形態にかかる表示パネル用の基板 1と対向基板 (カラーフィルタ） 21とを貼り合わせる。この際に、本発明のいずれかの実施形態に力、かる表示パネル用の基板 1に塗布したシール材カ対向基板 (力ラーフィルタ） 21に設けられる共通電極に接触する。

[0183] シール材は、前記のように導電性を有する微粒子（たとえば金ビーズ)が混合される。したがって、本発明のいずれかの実施形態に力、かる表示パネル用の基板 1と対向基板 (カラーフィルタ） 21とが貼り合わされると、本発明のいずれかの実施形態にかかる表示パネル用の基板 1に設けられる導体層 126と、対向基板 (カラーフィルタ） 21 に設けられる共通電極とが電気的に導通する。したがって、各データ引き出し配線 1 21に寄生容量を具備させるための導体層 126と対向電極とが、同電位またはほぼ同電位となる。

[0184] なお、シール材を固化させた後に、本発明のいずれかの実施形態にかかる表示パネル用の基板 1と対向基板 (カラーフィルタ） 21の間に液晶を注入する方法であってあよい。

[0185] このような工程を経て、本発明に力、かる表示パネルが得られる。その後、得られた表示パネルの点灯検査を行う。そして、点灯検査において筋状の表示欠陥の発生が確認され、かっこの表示欠陥がデータ引き出し配線と導体層との間の短絡に起因すると考えられる場合には、修正を行う。修正方法は前記のとおりである。

[0186] 以上、本発明の実施形態について、図面を参照して詳細に説明したが、本発明は前記各実施形態に何ら限定されるものではなぐ本発明の趣旨を逸脱しない範囲内にお!/、て種々の改変が可能であることは!/、うまでもな!/、。

[0187] 前記のとおり、一つの配線の束に含まれるデータ引き出し配線の数は限定されるものではない。一つの配線の束に含まれるデータ引き出し配線の数は、表示パネルの解像度や、アクティブ領域外に設けられる配線の束の数に応じて適宜設定される。

[0188] また、本発明の実施形態に力、かる表示パネル用の基板やカラーフィルタの構成や製造方法は一例であり、前記構成または製造方法に限定されるものではない。

Claims

請求の範囲

[1] データ信号線に電気的に接続する引き出し配線と、該引き出し配線に絶縁膜を介して重畳する複数の短冊状の導体と、該短冊状の導体どうしを電気的に接続する接続部分と、を備えることを特徴とする表示パネル用の基板。

[2] 前記接続部分は、前記引き出し配線と重畳しない部分を有することを特徴とする請求項 1に記載の表示パネル用の基板。

[3] 前記引き出し配線はつづら折り状に形成される部分を有し、前記短冊状の導体は前記引き出し配線のつづら折り状に形成される部分に前記絶縁膜を介して重畳するとともに、前記接続部分は前記つづら折り状の部分において前記引き出し配線と交差する部分を有することを特徴とする請求項 1または請求項 2に記載の表示パネル用の基板。

[4] 各引き出し配線に前記絶縁膜を介して重畳する複数の短冊状の導体が、前記接続部分によって直列状に電気的に接続されるとともに、ある引き出し配線に前記絶縁膜を介して重畳する複数の短冊状の導体のそれぞれと、前記ある引き出し配線に隣接する他の引き出し配線に前記絶縁膜を介して重畳する複数の短冊状の導体のそれぞれうちの隣接するものどうしが前記接続部分によって電気的に接続されることを特徴とする請求項 1から請求項 3のいずれかに記載の表示パネル用の基板。

[5] 一本の前記引き出し配線に前記絶縁膜を介して重畳する複数の短冊状の導体が、前記接続部分によって直列状に電気的に接続されるとともに、ある引き出し配線に重畳する短冊状の導体どうしを接続する接続部分と、前記ある引き出し配線に隣接する他の弓 Iき出し配線に重畳する短冊状の導体どうしを電気的に接続する接続部分とがさらに電気的に接続されることを特徴とする請求項 1から請求項 3のいずれかに記載の表示パネル用の基板。

[6] 各引き出し配線に前記絶縁膜を介して重畳する複数の前記短冊状の導体が、前記接続部分によって直列状に電気的に接続されることを特徴とする請求項 1から請求項 3のいずれかに記載の表示パネル用の基板。

[7] 前記短冊状の導体および前記短冊状の導体どうしを電気的に接続する接続部分は、絵素電極と同じ材料により形成されることを特徴とする請求項 1から請求項 6のいずれかに記載の表示パネル用の基板。

[8] 遮光性の材料力なり前記引き出し配線の間に設けられる遮光膜をさらに備えるとともに、前記接続部分は前記引き出し配線と前記遮光膜のいずれにも重畳しない部分を有することを特徴とする請求項 1から請求項 7のいずれかに記載の表示パネル用の基板。

[9] 請求項 1から請求項 8のいずれかに記載の表示パネル用の基板と、該表示パネル用の基板に対向して配設される対向基板と、を備えることを特徴とする表示パネル。

[10] 前記表示パネル用の基板に設けられる短冊状の導体は、前記対向基板に設けられる共通電位線に、導電性を有するシール材によって電気的に接続されることを特徴とする請求項 9に記載の表示パネル。