WO2007066572A1 - 静電チャック用電極シート及び静電チャック - Google Patents

Abstract

　基板が存在する場合と存在しない場合とにおける電極間の静電容量の差を、既存の基板検知装置で正しく検知できる程度に大きくすることができ、尚且つ、優れた静電チャックの吸着力を発揮できる静電チャック用の電極シート及びこれを用いた静電チャックを提供する。 　第一絶縁層、第一電極層、電極間絶縁層、第二電極層、及び第二絶縁層が順次積層された積層構造を有して第一絶縁層側に基板を吸着させる静電チャック用の電極シートであって、第一電極層が、所定の平面領域内に複数の開口部を有し、第二電極層が、第一電極層の開口部を電極シートの深さ方向に投影した位置にあって投影した開口部と略同じ面積を持つ開口対応部と、開口対応部同士を連結する連結部とを有してなる電極シート、及びこれを用いた静電チャックである。

Description

チヤツク ト チヤツク

術分野

０００1 この 、静電チャッ 用の電 、 びこの を用 た静電チャッ に関する。

０００2 導体 プ セスに係るイオン 置、イオンド 置、プラズ イ ジョン をはじめ、 の 置にお て ンウ 等の半導体 を吸着・ 持するために チャッ が使用されて る。また、 野にお ては、絶 縁 晶の を行 際に用 る 張 合わ 置やイオンド ピング にお て絶縁 であるガラス を吸着・ 持するために チャッ が 使用 れて る。

０００3 チャッ を使用するこれらの 置では、製造 程の ある 自動化を 進める上で、静電チャッ が を保持して るの ど を確実に判別する必要が ある。 えば、 が吸着 れて なければイオ ことはできず、ある チャッ ら が回収できなければ、次の工程のために を移送すること ができな なる。 の 無を確認するこ ほ、 産を前提とするこれらの 置にと て製 程で大切な確認 項のひ である。

０００4 そこで、ふた の 極の間に電位 を設けて を吸着する、 わゆる双極 の チャッ にお て、これら電極 の 量を測定するこ によ て、静電チャッ に が吸着されて る ど を検知する 置が一般に使われて る 。この 知に係る 術に て、例えば 7 7０74 ( ) には、静電チャッ の2 の に接続された タンス 路を用 るこ によ て、 が存在しな 場合、基 が存在するが吸着できて な 場合、 が吸着されて る場合をそれぞれ 知する方法が記載されて る。また、 2 ０００ 22844０ ( 2)には、静電チャッ の2 の 極の間に

定器を取 付けた上で、静電チャッ 体を上下動さ るこ によ て静電チャ が を十分に吸着 持して る ど を正確に検知する方法が記載 れて る。 常、静電 ヤックにおける電極 ら生じる電気力線 ヤックに保持 れた まで するため、真空に比 て が高 基 ( えば ウ の

5・4 )が存在する 、その だけ 量が増加する。 5 、この 子を簡単に表すものであり、電極 ０ の間で発生する電気力線( ではその 部を破線で表す)は Wに達するため、 Wの 無によ て電極 の 量に差が生じることになる。

０００5 ころで、近年、 ラッ ネ ディスプ イの 要の ま を受けて、 ネ サイズ の大型化が一層進んで る。 えば、 ザ ガラスの サイズが2 X2 を超えるものまで登場するに至 て る。このよ な大型の を処理するために は、静電 ヤックの 着力( )をよ 一層 めるこ が必要にな て る。そこで 、 らは、従来の ヤックの に同一平面上に2 の 極を並 て配置するのではな 、電極 を介して2 の を深さ 向に並 て積 層した電極 を用 た静電 ヤックを提案して る( 3 )。このよ に 、電極 を介して2 の 向に積層するこ によ て、絶縁 圧 に優れながら、大型の に対しても十分対応 能な 着力を発揮する静電 ヤッ クを得るこ に成功して る。

０００6 し し、上記のよ に2 の がその 向に積層 れて る場合には、これ らの に生じる静電 、主に電極 を介して配置 れた2 の の する面積によ て決まる。その 子を表す 略図が図6である。 まり、電 極 に生じる電気力線にほ、 Wまで するもの(1で示した )と、電極 ０ の間のみで発生するもの で示した )とが存在し、この 、電気力線の量として ほ の 合が主になる。そのため、 2 の が深 向に積層 れて ると、 が存在する場合 在しな 場合 における静電 量の は ほど大 き ならず、上述したよ 法を採用する 存の 置では の 無を正し 検出できな 場合がある。

7 7０74

2: 2０００ 22844０ 3 :w 2 5 ０9 356 フ

明の

明が解決しよ する課題

０００7 そこで、 らは、静電 ヤックが優れた 着力を発揮できる に電極

を介して2 の をその 向に積層 た場合にお て、既存の 置を使 た場合の 知を減らす 討した結果、基 が存在しな 場合における電極 の 量を することに 、上記の 知の 題を解消できるこ を見出し、 明を完成した。

０００8 したが て、 明の 、 が存在する場合と 在しな 場合 における電 極 の 量の差を、既存の 置で正し 検知できる程度に大き する こ ができ、 、優れた静電 ヤックの 着力を発揮できる静電 ヤック

を提供するこ にある。

０００9 また、 明の別の目的は、上記 を用 た静電 ヤックを提供すること にある。

題を解決するための

００1０ すなわち、 、第一 、第一 、電極 、第二 、 が順次積層 れた 層構造を有して第一 に基 を吸着 る静電 ヤック用の電 であ て、第一 、所定の 域内に複数 の 口部を有し、第二 、第一 の 口部を電極 の 向に投 影した位置にあ て投影した開口部 持 応部 、開口 応部 を連結する連結 とを有してなる静電 ヤック である。 ００11 また、 、上記 を金属 盤に してなる静電 ヤックである。 ００12 明にお て、第一 に ては、所定の 域内に複数の 口部を 有する必要がある。この 口部は、第一 第二 層の間で発生する電気力 線の を経由してやりとり れる電気力線( 6で の 気力線)の なるものであり、その 状に てほ特に制限 な 、例えば 形、 形、三角形 上の多角形 はその 多角形 例示するこ ができる。 まし は、放電の 点 なるおそれを可及的に排除する目的等 ら円形 形の 口部であるのが 。なお、開口部の 状に ては2 以上の のが複数 在してもよ が、吸着す る の 面により 一な 着力を発揮 る等の観点 ら、好まし ほ 状の 口部が複数 在するよ にするのがよ 。

００13 また、上記 口部に てほ、互 に隣接する 口部の 短距離をXとし、この 短距離Xに平行な 線を仮想 線 して、この 線に対しこれら 接する 口 部の 心をそれぞれ 影した際の垂線の足により得られる線分の を とした場合 、好まし は X ・ 5、 、 2・ 5 の たすのがよ 。ここで、 Xは、隣接する2 の 口部の 短距離Xに対する 口部による 口の 合を表す 標のひ であ 、この Xの値が大き なるに れ 口の 度が増えるこ にな る。この 口の 度が増す 、第二 層 ら する電位( )の 布を多 するこ ができ、すなわち、第一 第二 層の間で発生する電気力線の を経由してや される電気力線( 6で の 気力線)が多 な て、 に対するグラディ ン カ( 着力)をよ 高めるこ ができる。この Xが5よ 大 き なる グラディ ンカ 生の 果が 和する 推測される。 方、 が2・ 5 よ 大き なる 、 に対して作用するグラディ ンカの 量が少な な て十分な 着力及び を発揮さ るこ が難し なる。また、グラディ ンカを 率的に 発生さ るこ ができて優れた 着力( )を発揮さ るこ ができる観点 ら、X に てほ まし は0・ 2 上であるのがよ 。 、互 に隣接する 口部の 短距離X は、隣接する 口部によ て まれた第一 の 電部分の幅の最 に相当する。

００14 また、上記 口部に てほ、所定の 域内にお て を有して配置さ れるよ にするのがよ 、例えば 口部の 短距離Xを含む 線上に、それぞれ に隣接する 口部の 心が並ぶよ に を有して配置 れて るのがよ 。

における複数の 口部が規則 を有して配置 れて ることにより、 に 対する 着力をより 一に発生 ることができる。

００15 また、第二 、開口 応部 連結 を有してなり、第一 、第一

、電極 、第二 、 が順次積層 れた 層構造の にお て、上記 応部は、第一 の 口部を電極 の に投影した位置にあ て、 、投影した開口部 持 よ にし、こ れら開口 応部 を連結 が連結してなる。 影した第一 の 口部と 持 応部は、この 口部を通じて に第二 の 位を る役割を有するものであり、 に対する 着力を発揮 しめる観点 ら最低 限 要になるものであるが、大き なり過ぎると第一 と第二 との間のみ で生じる電気力線( 6で の 気力線)が増加するこ になり、静電 量に基 存の 法による検知が難し なる。

００16 すなわち、投影した開口部の 積 同じ又はそれよ せ 開口 応部であれば、 原則的には、開口 応部 開口部 外の の間のみで生じる電気力線( 6で の 気力線である。 、この 電極 に垂直方向に発生す る電気力線以外は無視するもの する。 )の量は限 な 、さ なる。 影した開口部 よ も開口 応部の 積が大き なれば、その だけ のみで生じる電気力線( 6で の 気力線)の量が多 な 、結果 して静電 量が増加する。 が存 在しな 場合における静電 量が大き なる 、 が存在するこ によ 増加する 静電 の差に基 て の 無を検出する 存の 置では、 知の 能性が高 な てしま 。そのため、開口 応部は、第一 の 口部を深 さ 向に投影した位置 にあ て、 、投影した開口部 持 よ にする。ここで、投影した開口部と 持 、投影した開口部の よりも に大き 場合や に小 場合を含める意味であ て、例えば 2０ 内の 減量 なるよ にするのがよ 。 開口 応部に ては、投 影した開口部と同じ 持 よ にするのがよ 、より好まし ほ 口部を投影した ものと同一 状を有した開口 応部であるのがよ 。

００17 また、開口 応部 を連結する連結 に ては、第二 を形成する複数 の 応部を同一 位に保てるよ にするものであ て、孤立する 応部が 存在しな よ にできれば の 、配置、連結 に てほ する こ ができる。ただし、連結 、開口部 外の の間のみで生じる電気 力線( 6で の 気力線)を形成するため、断線を生じるおそれのな 程度に可 及的に細 するのがよ 。 ００18 層及び を上記のよ にすることによ て、電極 を形成し 、場合によ ては金属 盤に電極 を して静電 ヤックを形成した際に、 を吸着したときの と第二 との間の静 量を とし、 を吸 着して な ときの 第二 の間の静 C2 して、これらが( C2) ０・０3、好まし ほ(C C2) 0・０5の たすよ にす るのがよ 。 (C C2) が0・０3 上であれば、一般的な 存の

置にお て、 の 無を正し 別することができる。

００19 層及び の 質に ては、 、タングステン、ア ウム、 ッケ 、ク ム、銀、白金、 、 ブデン、 グネ ウム、 ラジウム、タンタ 等を 挙げるこ ができ、この ある は生産性の 点 ら好まし は ア ウムであるのがよ 。 第二 は同じ 質であ てもよ 、異なる 材質であ てもよ 。これら第一 層及び の に ては 択するこ ができるが、好まし は0・ ～2０/ であるのがよ 、特に第一 に ては0・ ～ /u であるのが更に好まし 。 、その を 吸着さ る側である第一 の 面に反映される可能性があるため、 0・ ～5 の 囲であれば特にラップ の 殊な処理を必要 ずに平坦 を確 保するこ ができ、第一 の 面をRa / 度にするこ ができる。

００2０ 層及び を形成する方法 して、例えば、上記 ずれ の 属 らなる箔を用 て所定の 状に チングして得てもよ 、ボ ドフィ ム等の絶 フィ の 面に金属 が積層 れた を利用し、金属 を所定の 状に チングして得てもよ 。また、第一 、電極 第二 の ずれ の の 面に、上記 ス ッタ 、イオンプ ティ グ

プ ティング )、気相 、又 メッキ 用 て 、必要 により所定の 状に チングして得るよ にしてもよ 。更には、 ス 状にした金 属を上記 ずれ の の 面に印刷するこ で電極 を形成するよ にしても よ 。更にまた、 ブデ 、 グステ 、 タ 等の高 上記 ずれ の の 、所定の 状を有した電極 を形成してもよ 。これらの 、特に 0・ ～5 の 第一 を形成する場合には、イオンプ テ イ グ法を用 るのが好適である。

００21 また、第一 、電極 、 に ては、例えば

、ボ ア ド 、ボ ステ 、ボ チ テ フタ 、 ポ 、 アク ら選ばれた 2 以上の樹脂 らなる樹脂層 ら 成してもよ 、 は酸 化ア 、窒化ア 、炭化 、窒化 、ジ ア タ ア ら選ばれた 2 以上 らなるセラ ックス層 ら 成してもよ 、更にほ 素及び 酸化 素 ら選ばれた 2種 らなる層 ら 成してもよ 。この ち、 産性の 点 ら、好まし は 、ボ ア ド 、ポ ステ 、ポ チ ンテ タ ら選ばれた 2 以上の樹脂 らなる樹脂 によ て 成す るのがよ が、 性の 点 ら であるのが更に好まし 。 、第一 、電極 、 はそれぞれ 一の 質 ら 成されて ても、 択してそれぞれ別の材質 ら 成されて てもよ 。

００22 、電極 、 のそれぞれの に ては、 択して 成するこ ができるが、好まし は第一 5０～3００ 、電極 25～ ０ / 、 25～ ００ であるのがよ 。

００23 また、 明における電極 は、静電 ヤックにお て一般的に使用される金 属 盤に して静電 ヤックを形成するこ ができ、このよ な金属 盤 して、例 えばア ウム又はア ウム 金 らなるア 盤を挙げるこ ができる。この 、 自己 着性を有した第二 を用 て金属 盤に してもよ 、第二 に別途 着性フィ を介して電極 金属 盤 を するよ にしてもよ 。また、第二 金属 盤 の間に 5００～ ０００ の ン ム らなる柔軟 を設けるよ にしてもよ 。 般的に、静電 ヤックが ウ 等の 基 を吸着する際、電極 との ( )は、 ム系の弾性体 ら 成した第一 をそのまま した場合で高 。～ 度であ る。この 合、第一 らなるとこの 度まで落ちる れる。そこで、上記のよ に金属 盤と第二 との間に柔軟 を設けてお こ で、 の を高めることができ、優れた 着力を発揮できると共に、 を冷 却する際の効率が 段に上昇する。 ００24 また、静電 ヤックを製造する方法に てほ特に制限 れな が、例えば 盤上に、金属 盤 ら近 順に第二 、第二 、電極 、第一 、 を順次 ね合わ た後、必要により各層の間に ドフィ ム系の接 フィ を挟んで、更に必要により金属 盤 第二 の間に柔 軟 を挟み、所定の 条件で熱 着して積層構造を有する静電 ヤックを 得ることができる。また、 シ トを形成した後、必要によりこの ト 金 属 盤との間に柔軟 を挟み、所定の 条件で熱 着してもよ 。 、電 極 を構成する各層の 係が第一 、第一 、電極 、 第二 、 層の順であれば、積層構造を形成する手順に ては 特に制限されな 。

明の

００25 明によれば、静電 ヤックが優れた 着力を発揮できるよ に電極 を 介して2 の をその 向に積層 た場合にお て、第一 層及び の 状を最適化するこ によ て、静電 ヤックの 着力( )をなす グラディ ンカが優れた状態で発揮できるよ にする 共に、 が存在しな 場 合での 第二 の間の静 量をできるだけ小 して、既存の 置での 知を可及的に少な することができる。

面の 単な説明

００26 、 明に係る電極 を用 て 成した双極 ヤックXの 解説明 である。

[ 2 2は、 明に係る第一 第二 の 係を示す であ る。

[ 3 3は、第一 の を示す ( )である。

[ 4 4 、 3に示した第一 に対応する第二 を示す ( 部 )である。

[ 5 5は、従来の ヤックにおける電極 で生じる電気力線の様子を 示す ( )である。

[ 6は、電極を深 向に積層したタイプの ヤックにお て、電極 で生じる電気力線の様子を示す ( )である。

号の

００27 X: ヤック、W: 、 : 、 2: 、 3: 、 3a: 口部、4: :5: 、 5a: 応部、 5b: 、6: 、 7: 、 8: 、 9: 流電源、 ０ : 。

明を実施するための 良の

００28 下、 に基 て、 明の 適な実施の 態を具体的に説明する。 ００29 、 明に係る静電チャッ を用 て 成した双極 チ ャッ Xの 解説明 である。 は、第一 2 、第一 3と、 電極 4と、第二 5 、第二 6 が順次積層 れた 層構造を有 しており、第一 2の 面が基 ( )を吸着する を形成する。 この は柔軟 7を介して金属 8に れて静電チャッ Xを形成し 、第一 3 第二 5 の間には電位 を設けるよ に直流電源9が接続 れる。 、静電 ヤックXで処理する に ては、 ンウ ガラス の 般的に対象 するものを吸着するこ ができる。これらの 真空に比 て比 較的 が高 ものであるため、 の 無による静電 量の によ て 可能である。

００3０ を形成する第一 3は、所定の 域内に複数の

口部( )3aを有してお 、 では、正方形の 点に開口部3aが 置するよ に に配置された タ ン 極を形成して る。 じ 電極 を形成する第二 5は、第一 3の 口部3aを電極 の 向に投影した位置にあ て、投影した開口部3a 同一 状を有する 応部5aを有してお 、この 応部5aは、第一 3の 口部3aの 同じだけ 在するのが好まし 。また、第 二 5は、互 に隣接する 応部5aを連結する連結 5bを有しており、開 口 応部5a 連結 5b によ て 子状の タ 極を形成して る。 2 、第一 3の 口部3aを第二 5に向 て深 向に投影した位置に あ て、投影した開口部3a 同一 状の 応部5aが存在する様子を示す。 ００31 3 、 に示した第一 3 は開口部3aの 置の 子が異なる変形 を示 。この 3 孔 らなる 口部3aを しており、その ちのひ である ? に着目すると、 は 、C、 、 、 G 最短距離Xで に隣接し、正六角形の 点の 置に対応するよ に 、C、 、 、 Gは 配置 れて る。 、隣接する 口部3a 互 に最短距離Xで 接することを 考える場合、丸? に ては 最短距離Xで 接する対象 らほ れる。ま た、この 3に て、例えば 、 、C に着目すれば、これらは 方形を形成しており、 タ ン 極を形成して る みなすこ もできる。 ００32 この 3にお て、例えば が 接する最短距離Xに平行な 1を 仮想 線 すれば、この 1に対して のそれぞれの ( ) を投影する 、 線の足によ て を得るこ ができる。この 3に示した第一 3では、例えば の ・ 2 であ 、互 に隣接する の 短距 離Xは ・ であるすれば、 0・ 6 ０ ０・ 6 2・ 2 であ て、 Xが2 ・ 2の 係を有するこ になる。 、第一 3中に、 明における 口部の 能を実質的に果たさな 程度の きさの が存在した しても、実質的に 開口部 して機能する対象に着目して上記 短距離X 分の を求めるよ に する。

００33 方、図3の 3に対応する第二 5を 4に示す。この 4における 第二 5 、 3に示した第一 3の 口部3a( ? )を第二 5に向 深 向に投影した位置に円形の 応部5aを有しており、この 応 部5aの 3の 同じ ・ 2 である。また、この 応部5aの ひと に注目すると、正六角形の 点の 置に互 に隣接する 応部5aが 最短距離X ・ で配置 れて る。これら開口 応部5aは連結 5bによ て 連結 れるが、例えば 4(a)に示すよ に、原則 の 応部5aを4本の連 5bによ て連結して 子状に第二 5を形成してもよ 、ある は 4 示すよ に、隣接する 応部5aを全て連結 5bで連結してもよ 。 5b の数を増や ば、断線のおそれを可及的に減らすことができるが、第一 3 第 二 5との間の静 量をより少な する観点 らすれば、 4(a)の方が好まし 。また、連結 5bの さに ては0・ ～0・ 5 するのが好まし 。 理によ て 成する場合には0・ より細 を得るのは比較的 難で あり、一方、0・ 5 より太 なる 電極 の 量が増加してしま ため まし な 実施 1

００34 下で説明するよ に、 3で示した第一 3 これに対応する 4 示し た第二 5を用 て電極 を作製し、これを用 た双極 ヤックXを 得た。 、 2０6 X 2０6 であ て 5０ の ド ( ・ デ ポン 品名:カプ ン)を用意し、この 面をならす 的で、 両面をイオ ンプ ティン によ て処理して0・ のク ム層を形成した。 で、この

ド を電極 4 して、その 面にイオンプ ティング法によ て ０・4 の銅 らなる電極 を形成した。これらの 、 チ グ 理によ て一方を図3で示した第一 3となるよ に形成し、残りを 4 示した第 二 5となるよ に形成した。この 3に てほ、 2００ X2００ の 域内に直径 ・ 2 の 3aが複数 置 れ、これらの ? 3aはひと の 3aを中心にして正六角形の 点に位置する 3aが最短距離X ・０ で 接するよ に形成した。また、第二 5に ては、 2００ X2００ の 域 内に、上記 3の 3aに対応するよ に直径 ・ 2 の 応部5aが 複数 置 れており、隣接する 応部5a 0・ 2 の幅を有する連結 5b によ て全て連結 れるよ にした。

００35 で、上記で 成した第一 3の 面に、 2０4 の 可塑性ボ

系 を介して 2０6 X 2０6 X 2 / の ド ィ ム( ・デ ポン 品名:カプ ン)を 合わ て第一 2 した。また、第二 5の 面に、上記 同じ を介して 2０6 X 2０6 X 4 の ド ィ ム( ・デ ポン 品名:カプ ン)を 合わ て第二 6 した。そして、第一 2の 面 第二 6の 面にそれぞれクッ ョン材を重ね合わ 、これらをま めて プ ス機にセッ して厚さ 2 Pa 、加熱 5０C、 5分の条件で加熱 理した。その 、久ソ ョ ン材を取 除 こ によ 、第一 2、第一 3、電極 4、第二 5、 6が順次積層 れた 層構造を有する電極 9を作製した 。 、第一 2、電極 4 6の それぞれ3・ 5 である。

００36 次に、上記で得た電極 を、平坦 の 保 れたポ ラスセラ ックの 面に 、第一 2がポ ラスセラ ックに対向するよ に敷き、第二 6側に高 0・ 7 、直径5 の ム製のスペ サ を介してア 8を した。 このア 8 、ア ウム ( 5０56)製であり、直径 84 の が 内包されたものである。そして、スペ ザ によ て 成されたア 8 電極 の に自己 着性 ン ム(G ン 品名:T E3663)を注入し、真空下にて した後、上記ポ ラスセラ ックを介して真空 き を行 、電極 をこのポ ラスセラ ックの 面に密着さ て約一昼夜 けて ン ムを さ た。このよ にして、 ン ム らなる0・ 7 の

7を介して電極 ア 8 を 合わ 、双極 ヤックXを完成し た。 、完成 の 2の ( )は～ 度の

であ た。

００37 成した双極 ヤックXに て、直径2００ X 0・ 8 の ンウ

5・4)を吸着さ た場合の 3 第二 5 の間の静 と、何も吸着 て な 場合の 3 第二 5との間の静 2を2 元有限 析による計算を用 て めた。 果を表 示す。 に示すよ に、 ウ が 場合 無 場合 における静電 量の ( C C2) C ) 、既存の 置にて正確に判別するこ が十分に可能な0 ０87 値を示すことが確認できた。

００38 ウエ ) C ウエ )

C C C

2750 25 0 ０93０ 0670 5を、 2００ X 2００ ( 0・ )の 域の 面が電 極となる平面 した以外 同様にして チャッ Xを作製し た。この に係る静電 Xに て、実施 同様にして、 ウ ( 5・4)を吸着 た場合の 3 第二 5 の間の静 と、何も吸着 て な 場合の 3 第二 5との間の静 C2を求めた。 果を表 示す。 ンウ が 場合 無 場合 における 静電 量の (C C2) 1)は0・０24であ て、既存の 置で 判別した場合に誤 知する可能性がある 考えられる。

Claims

求の

、第一 、電極 、第二 、 が順次 積層された 層構造を有して第一 に基 を吸着さ る静電 ヤック用の電 であ て、第一 、所定の 域内に複数の 口部を有し、第二 、第一 の 口部を電極 の 向に投影した位置にあ て投 影した開口部 持 応部 、開口 応部 士を連結する連結 を有してなるこ を特徴 する静電 ヤック 。

2 に配置された開口部を有し、第二 が開口 応部 連 結 によ て 子状に形成されて る に記載の ヤック

。

3 、互 に隣接する 口部の 短距離X 、この 短距離Xに平行な 線を仮想 線 してこの 線に対しこれら 接する 口部の 心をそれぞれ 影した場合の 線の足によ て得られる線分の が、 X ・ 5、 2・ 5 の たす 2に記載の 。

4 の 口部が丸孔 らなり、第二 形の 応部を有する ～3の ずれ に記載の チャッ 。

5 を吸着した状態での 第二 の間の静 と、

を吸着して な 状態での 第二 の間の静 C2とが、 (C C 2) ０・０3の たす ～4の ずれ に記載の チャッ

。

6 ～5の ずれ に記載の を金属 盤に してなるこ を特徴 する静電 ヤック。

7 が 5００～ ００ / の ン ム らなる柔軟 を介して金属 盤に される 6に記載の ヤック。