WO2023058652A1 - 電気集塵機及びそれを用いた集塵方法 - Google Patents

電気集塵機及びそれを用いた集塵方法 Download PDF

Info

Publication number
WO2023058652A1
WO2023058652A1 PCT/JP2022/037130 JP2022037130W WO2023058652A1 WO 2023058652 A1 WO2023058652 A1 WO 2023058652A1 JP 2022037130 W JP2022037130 W JP 2022037130W WO 2023058652 A1 WO2023058652 A1 WO 2023058652A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
electrode layer
dust
voltage
layer
electrode
Prior art date
Application number
PCT/JP2022/037130
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
喬彬 長谷川
紘行 森山
Original Assignee
株式会社クリエイティブテクノロジー
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 株式会社クリエイティブテクノロジー filed Critical 株式会社クリエイティブテクノロジー
Publication of WO2023058652A1 publication Critical patent/WO2023058652A1/ja

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B03—SEPARATION OF SOLID MATERIALS USING LIQUIDS OR USING PNEUMATIC TABLES OR JIGS; MAGNETIC OR ELECTROSTATIC SEPARATION OF SOLID MATERIALS FROM SOLID MATERIALS OR FLUIDS; SEPARATION BY HIGH-VOLTAGE ELECTRIC FIELDS
    • B03C—MAGNETIC OR ELECTROSTATIC SEPARATION OF SOLID MATERIALS FROM SOLID MATERIALS OR FLUIDS; SEPARATION BY HIGH-VOLTAGE ELECTRIC FIELDS
    • B03C3/00—Separating dispersed particles from gases or vapour, e.g. air, by electrostatic effect
    • B03C3/34—Constructional details or accessories or operation thereof
    • B03C3/40—Electrode constructions
    • B03C3/45—Collecting-electrodes
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B03—SEPARATION OF SOLID MATERIALS USING LIQUIDS OR USING PNEUMATIC TABLES OR JIGS; MAGNETIC OR ELECTROSTATIC SEPARATION OF SOLID MATERIALS FROM SOLID MATERIALS OR FLUIDS; SEPARATION BY HIGH-VOLTAGE ELECTRIC FIELDS
    • B03C—MAGNETIC OR ELECTROSTATIC SEPARATION OF SOLID MATERIALS FROM SOLID MATERIALS OR FLUIDS; SEPARATION BY HIGH-VOLTAGE ELECTRIC FIELDS
    • B03C3/00—Separating dispersed particles from gases or vapour, e.g. air, by electrostatic effect
    • B03C3/34—Constructional details or accessories or operation thereof
    • B03C3/66—Applications of electricity supply techniques
    • B03C3/68—Control systems therefor
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02A—TECHNOLOGIES FOR ADAPTATION TO CLIMATE CHANGE
    • Y02A50/00—TECHNOLOGIES FOR ADAPTATION TO CLIMATE CHANGE in human health protection, e.g. against extreme weather
    • Y02A50/20—Air quality improvement or preservation, e.g. vehicle emission control or emission reduction by using catalytic converters
    • Y02A50/2351—Atmospheric particulate matter [PM], e.g. carbon smoke microparticles, smog, aerosol particles, dust

Definitions

  • This invention is applicable to fields where dust and foreign matter are generated directly by material processing such as cutting, punching, and cutting, fields where materials rub in packaging machines, packaging machines, etc., and moving parts of equipment, opening and closing parts of doors, etc.
  • Fields where dust and foreign matter are indirectly generated due to wear during operation, especially dust such as abrasion powder and dust generated when press processing is performed using press dies, can be collected using electrostatic force. It relates to an electrostatic precipitator that can
  • the method of using an air purifier such as a filter type or an electrostatic precipitator type which is generally used as a countermeasure against foreign matter, requires a certain size due to its configuration, so the space is limited. It is difficult to install inside or near material processing equipment such as molds, especially near the punching blade where a lot of dust and foreign matter is generated. No dusting effect is expected. Further, even if an air flow path is provided from the outside of the device to the dust generating location inside the device to collect dust, the dust collection effect is low because it is the same as the above-described air suction.
  • electrostatic chuck a so-called gradient force generation is adopted in which a plurality of electrode layers are laminated in the depth direction with an inter-electrode insulating layer interposed in order to further increase the attraction force and holding force of the object.
  • type electrostatic chucks have also been conventionally proposed (see, for example, Patent Documents 3 and 4).
  • the electrodes used for efficient and rapid chucking or responding to dechucking are made of highly conductive materials such as metals.
  • electric chucks the following problems were also a concern. That is, when a voltage is applied between the electrode layers, the insulating layer between the electrodes plays the same role as a capacitor, resulting in electricity storage.
  • an object of the present invention is to more reliably collect dust and foreign matter generated in material processing such as press processing and other fields where friction and abrasion occur, using electrostatic force, and to safely collect dust in material processing equipment.
  • electrostatic precipitator that can be used.
  • the gist of the present invention is as follows.
  • An electric dust collector that collects dust and foreign matter by electrostatic force, a laminated sheet comprising at least a dust collecting layer for holding dust and foreign matter in contact therewith, a first electrode layer, a second electrode layer, and an insulating layer; a power supply for applying a voltage between the two electrode layers, the insulating layer comprising at least a first insulating layer for insulating the dust collection layer from the first electrode, and the first electrode layer and the second electrode.
  • the first electrode layer has a plurality of missing portions penetrating in the thickness direction of the electrode layer, and the area ratio of the missing portions is 3% to 50% of the entire area of the first electrode layer. %, and the first electrode layer including the missing portion is 2 to 10 mm larger at the end than the second electrode layer when viewed from the top,
  • a negative voltage is applied to the first electrode layer and a positive voltage is applied to the second electrode layer.
  • the voltage applied to the electrode layer is ⁇ y kilovolts (kV) and the voltage applied to the second electrode layer is x kilovolts (kV)
  • the dust from the dust generating part satisfies y ⁇ 1.7x+2.2.
  • a negative voltage is applied to the first electrode layer and a voltage of 0 V to positive is applied to the second electrode layer.
  • a resin material or adhesive material having an elastic modulus of 0.5 MPa or more and 10 MPa or less and a three-dimensional average surface roughness (SRa) of 0.01 ⁇ m or more and 0.55 ⁇ m or less is used for the dust collection layer.
  • the electrostatic precipitator according to [1] or [2] characterized by: [7] A method for collecting dust foreign matter containing a conductor using the electrostatic precipitator according to [1] or [2], During use, a negative voltage is applied to the first electrode layer and a positive voltage is applied to the second electrode layer, and the voltage applied to the first electrode layer is -y kilovolts (kV ), and when the voltage applied to the second electrode layer is x kilovolts (kV), the voltage is applied according to the distance from the dust generating portion so as to satisfy y ⁇ 1.7x+2.2. dust collection method.
  • a method for collecting dust foreign matter not containing a conductor using the electrostatic precipitator according to [1] or [2] During use, a negative voltage is applied to the first electrode layer, a voltage of 0 V to a positive voltage is applied to the second electrode layer, and a voltage of 0 V or higher is applied to the second electrode layer. 1. A dust collecting method, wherein a voltage corresponding to a distance from a dust generating portion is applied to the first electrode layer.
  • the present invention it is possible to more reliably collect dust and fine dust such as non-magnetic metal dust and fine dust generated during material processing such as press working by using electrostatic force, and the installation is easy. Moreover, it is possible to provide an electrostatic precipitator that can be safely used in a material processing apparatus.
  • the technology of the present invention is applicable to fields other than material processing, for example, fields where materials rub in packaging machines, packaging machines, etc., and dust and foreign matter are indirectly generated due to wear due to operation of movable parts of equipment, opening and closing parts of doors, etc. It is also applicable in other fields.
  • FIG. 1 shows an example of an electrostatic precipitator of the present invention
  • (i) is an external perspective view
  • (ii) is a cross-sectional explanatory view, and is a part of the AA cross section of (i).
  • FIG. 2 is a plan view showing an example of the first electrode layer.
  • FIG. 3 is a cross-sectional view showing the state of the electric field generated in the electrostatic precipitator of the present invention.
  • FIG. 4 is a photograph for explaining evaluation of adsorptivity of an electrostatic precipitator in Examples.
  • a white arrow in the drawing indicates the direction in which the aluminum piece 12 suspended from the copper wire 11 is attracted to the electrostatic precipitator.
  • FIG. 8 is a schematic explanatory diagram for explaining how the electrostatic precipitator of the present invention is installed in a semiconductor post-process device (the inner periphery of the exhaust duct hood of the air blow cleaning section) and evaluated.
  • the electric dust collector of the present invention includes at least a dust collection layer (code: 2; the same shall apply hereinafter), a first electrode layer 7, a second electrode layer 8, and insulating layers 3 to 5, As exemplified in FIG. 1, it is installed and installed in close contact with an object to be installed at the time of use (hereinafter, sometimes simply referred to as "installation object". For example, reference numeral 10 in FIG. 3 corresponds to it).
  • the laminated sheet 1 has a laminated sheet 1 that is laminated using a contact fixing means (for example, a contact fixing layer 6) for fixing (the laminated sheet 1 may be described without distinguishing it from an electrostatic precipitator).
  • the insulating layers include at least a first insulating layer 3 for insulating the dust collecting layer and the first electrode layer, and a second insulating layer 3 for insulating the first electrode layer and the second electrode layer. It has an insulating layer 4 and a third insulating layer 5 that insulates the second electrode layer from the lower part of the second electrode layer.
  • a power supply device (not shown) that applies a voltage between the first electrode layer and the second electrode layer is provided.
  • the above-mentioned "lower part of the second electrode layer” can be appropriately changed depending on the layer structure of the laminated sheet (electric precipitator). Other configurations to be provided, or when such other layers are not provided, the installation object will correspond to it. Therefore, a third insulating layer 5 is provided to insulate the second electrode layer from such other layers and installation objects.
  • the electrode layers used in the present invention comprise at least the first electrode layer 7 and the second electrode layer 8, which are preferably insulated in the thickness direction of the laminated sheet. It is preferable to adopt a structure in which a layer (second insulating layer) is interposed. Adopting such a laminated structure is advantageous in that the dust collecting structure can be integrated and the thickness can be reduced, unlike conventional electrostatic precipitators.
  • a film having a surface resistivity of 10 4 to 10 8 ⁇ is used, although the material, shape, etc. are not limited. Note that the unit of surface resistivity is usually expressed as " ⁇ /sq.” in some cases.
  • the surface resistivity increases, the current consumption increases, the voltage drop occurs, and the pulling distance decreases.
  • the amount of current is suppressed, and the amount of electricity stored in the insulating layer (capacitor) is greatly reduced.
  • the stored energy passes through the electrode layer surface, which is a resistance, when flowing into the damaged part, so the electrical energy is greatly reduced. It is possible to reduce the risk of ignition and the effects on the human body.
  • the material for such an electrode layer of the present invention is not particularly limited as long as it has the above-described predetermined surface resistivity.
  • a conductive polymer having the above-described surface resistivity is used. If it is used and the conductive polymer can be processed into a desired shape as it is, the conductive polymer is directly processed into a film, or a supporting substrate is provided and part or all of the surface is coated with the polymer. A film or the like coated with a conductive polymer can be used.
  • any polymer having the surface resistance value as described above can be appropriately employed, but preferably polypyrrole-based, polyacetylene-based, polythiophene-based, polyaniline-based, carbon nanotubes, or the like. can be exemplified.
  • polypyrrole-based and polythiophene-based materials are more preferably used from the standpoint of stability.
  • the material used is not limited to the conductive polymer as long as it has the surface resistance value as described above. It may be in the form of a coating composition containing pigments, organic dyes, etc. that are commonly used.
  • a normal coating method such as a paint can be adopted.
  • the supporting base material is not particularly limited, and a resin base material, rubbers, paper, or the like can be used, but a resin base material is preferably used because it is excellent in workability.
  • Resins include polyethylene terephthalate (PET), amorphous polyethylene terephthalate (A-PET), polyethylene (PE), polystyrene (PS), polypropylene (PP), polyacetal (POM), polycarbonate (PC), and ABS resin.
  • PET Polyacrylonitrile
  • PMMA Polymethylmethacrylate
  • PA6 Polyamide 6
  • PA66 Polyamide 66
  • PES Polyethersulfone
  • PEEK Polyetheretherketone
  • PEI Polyetherimide
  • PI Polyimide
  • Examples of the electrode layer of the present invention in which a conductive polymer is applied to the support substrate include, for example, Stacle-NAS (trade name) manufactured by Nagaoka Sangyo Co., Ltd. and Dainippon Package Co., Ltd. Specific examples include Diclea (trade name) and SCS conductive sheet manufactured by Maruai Co., Ltd. As the conductive polymer, ST Poly (trade name) manufactured by Achilles Corporation can be used.
  • each of the electrode layers of the present invention having such a structure can be appropriately adjusted in consideration of the overall structure of the electrostatic precipitator, the applied voltage, the usage environment, etc. However, in order to maintain the flexibility of the laminate, preferably 1 to 200 ⁇ m, more preferably 1 to 100 ⁇ m.
  • the configuration of an electrostatic chuck having a structure equivalent to that of a conventional one can be appropriately adopted.
  • it may be formed in a mesh shape or the like having a plurality of defective portions (openings) penetrating in the thickness direction of the electrode layer within a predetermined region.
  • the cutout portion may be circular or polygonal.
  • the shape of the first electrode layer 7 disposed on the upper portion has a plurality of the defective portions (openings: reference numeral 9) as shown in FIG. It is preferable to use a mesh-shaped electrode layer, and on the other hand, to form the shape of the second electrode layer 8 arranged below the first electrode layer in a flat plate shape. At least, by combining the shapes of the first electrode layer and the second electrode layer in such a manner, it is possible to moderately increase the electric field leakage from the second electrode layer, which is preferable.
  • the area ratio of the defective portion is preferably 3% to 45%, more preferably 3% to 50%, of the entire area of the first electrode layer.
  • each cutout is preferably ⁇ 7, for example, and is arranged and formed uniformly within a predetermined region, and is formed so as not to hinder the energization of the first electrode layer. It is desirable that
  • the total area of the first electrode layer including the missing portion is larger than the area of the second electrode layer when viewed from above, that is, ,
  • the first electrode layer has a size (area, outer dimension) that can cover the second electrode layer, and the first electrode layer is in contact with the second electrode layer.
  • the edge is formed so as to be 2 to 10 mm larger than the extreme end.
  • the central portions for example, the center or the center of gravity
  • the second electrode layer when it is assumed that the central portions (for example, the center or the center of gravity) of the first electrode layer and the second electrode layer are stacked, in a top view , means that the gap on one side (arbitrary end) caused by the difference in outer dimensions is within the above numerical range.
  • the gap on one side arbitrary end
  • first electrode layer and the second electrode layer in the present invention for example, voltages having different polarities are applied to each other, or one electrode is grounded and a positive or negative voltage is applied to the remaining electrodes. etc., to generate a potential difference with each other. In that case, it is preferable to appropriately adjust according to the object to be collected.
  • the insulating layer used in the present invention has at least a first insulating layer 3, a second insulating layer 4, and a third insulating layer 5, as shown in FIG.
  • materials for the insulating layers other than the second insulating layer 4 for example, one or more resins selected from polyimide, polyamideimide, polyester, polyethylene terephthalate, epoxy, and acrylic resin are used.
  • polyimide is preferably used from the viewpoint of insulating properties, chemical resistance, and the like.
  • a resin film is preferably used, and examples thereof include Kapton (trade name, manufactured by DuPont Toray) and Upilex (trade name, manufactured by Ube Industries, Ltd.), and Kapton made of polyimide is more preferable. be.
  • the second insulating layer 4 should preferably reflect the following design concept in accordance with the applied voltage. That is, since the electrostatic precipitator of the present invention is used by being attached to a material processing device such as a press die, the generation of particles due to processing such as press punching and the drawing in of particles due to opening often continue repeatedly and continuously. Since the maximum effect is achieved by constantly collecting dust inside, it is necessary to design it so that it can be used with voltage applied for a long time.
  • the material and thickness of the second insulating layer 4 are designed so that the withstand voltage is at least about 28 kV and the safety factor is 4 or more. It is more preferable to use a polyimide film having a substrate thickness of 75 ⁇ m, and it is preferable to adjust the thickness appropriately by the applied voltage.
  • a single film of 75 ⁇ m may be used.
  • substrate refers to the polyimide film itself, and does not include a layer for adhesion when a plurality of films are laminated.
  • the structure of the third insulating layer 5 may be the same as that of the first insulating layer 3, or may be appropriately set according to the applied voltage, the power supply method, the adhesion fixing layer 6, the adhesive material during assembly, and the like. It is possible, and preferably, from the viewpoint of countermeasures against current flow to the place where it is installed (mold etc.), it is appropriately adjusted so that the combined withstand voltage from the adhesion fixing layer 6 to the third insulating layer 5 has a safety factor of 5 or more. It is good to select.
  • ⁇ Close contact fixing means> it is preferable to provide a close contact fixing means for fixing in close contact with the object to be installed.
  • the contact fixing means is not particularly limited as long as it can adhere and fix the electrostatic precipitator of the present invention to an object, but a contact fixing layer 6 as exemplified in FIG. 1 can be suitably used.
  • a contact fixing layer 6 as exemplified in FIG. 1 can be suitably used.
  • the adhesion fixing layer 6 it is preferable to use a material that is in contact with an installation location of a device such as a mold and that ensures adhesion depending on the installation location.
  • a magnet sheet is preferably used, and in the case of resin or non-magnetic metal, silicone-based or acrylic-based adhesives can be used alone or in combination.
  • adhesion fixing layer 6 plays a role of connecting an electric field between the second electrode layer 8 and an installation place (such as a mold), adhesion is important.
  • the thickness of the adhesion fixing layer 6 can be appropriately set within a range that does not impair the object of the present invention. For example, when applying to a mold, it is preferable to adhere to the mold even if the mold is not made of magnetic metal. and configuration can be changed as appropriate. In addition, if it does not interfere with the operation of the machine, the electrostatic precipitator can be indirectly adhered without using the adhesion fixing layer by bolting or pressing the electrostatic precipitator from above with a frame.
  • the dust collection layer 2 is a layer that is in direct contact with the dust and foreign matter to be collected, and preferably plays a role of assisting in holding the dust and foreign matter attracted by electrostatic force.
  • a dust collection layer 2 has an elastic modulus of 0.5 MPa or more and 10 MPa or less, preferably 2 MPa or more and 3 MPa or less, and a three-dimensional average surface roughness (SRa) of 0.01 ⁇ m or more and 0.55 ⁇ m or less, preferably It is preferable to use a resin material having a thickness of 0.4 ⁇ m or more and 0.5 ⁇ m or less and/or an adhesive material.
  • resin materials include silicone resin, styrene-butadiene rubber, chlorosulfonated polyethylene rubber, acrylonitrile-butadiene rubber, ethylene-propylene rubber, chloroprene rubber, butadiene rubber, fluororubber, isobutylene-isoprene rubber, and urethane rubber.
  • silicone resins are preferred.
  • van der Waals force van der Waals force
  • an adhesive material such as an adhesive tape may be separately provided together with the resin material.
  • a support base material made of resin such as PET resin may be provided together with the resin material, the adhesive material, and the like.
  • the thickness of the dust collection layer 2 is preferably about 0.1 to 0.2 mm.
  • ⁇ Laminated sheet> by using at least the electrode layer, the insulating layer and the dust collection layer as in the past, and using a contact fixing means if necessary, these are laminated to form a laminated sheet 1 as illustrated in FIG. It is necessary to sandwich the electrode layers between the insulating layers so that the electrode layers are not exposed. As a specific method, there is a method of sandwiching the electrodes between the insulating layers and then applying heat and pressure to fuse them. Alternatively, they may be adhered using a bonding sheet, an adhesive, or an adhesive as necessary.
  • the resin material used for the first electrode layer 7 and the second electrode layer 8 has a low heat-resistant temperature, so that the layers are laminated using an adhesive such as a silicone-based adhesive.
  • the above-mentioned materials are laminated to form a flat plate as shown in FIG. 1, for example.
  • the overall shape may be changed and processed as appropriate to suit the purpose.
  • it can be applied to flat plates with an overall thickness of about 1 mm to 5 mm so that it can be installed in a material processing device such as an applied press die or in a small space in the device, or applied to a mold. If so, it is preferable to have a curved surface shape or a three-dimensional shape that matches the shape.
  • a power supply device is required to apply voltage to the electrode layers to generate electrostatic force.
  • the power supply device can be connected to the electrodes of the laminated sheet through connection terminals and switches (both not shown), and can be the same as those commonly used. Anything that can generate The voltage to be generated can be about -10 kV to 5 kV, and if necessary, a booster circuit (high voltage generation circuit) capable of boosting the voltage to a required voltage may be provided. Separate power sources for generating positive voltage and negative voltage may be used together.
  • the electric dust collector of the present invention is provided with the laminated sheet 1 and the power supply device as described above. If necessary, the electrostatic precipitator of the present invention may be provided with a sensor, a static elimination circuit, a cleaning mechanism, or the like. Modifications, additions, and the like may be made.
  • the electrostatic precipitator of the present invention is used together with an apparatus such as a press die. Although foreign matter can be collected, it is preferable to appropriately adjust the voltage (potential difference) applied to the electrode layer so that the dust and foreign matter can be more reliably adsorbed and held in the dust collection layer 2 . . This is because, as will be described later in the examples, according to the estimation of the present inventors, the distance (attraction In addition, depending on the electric charge and volume resistivity of the dust particles, even if the dust particles are once attracted to the dust collection layer, they will be charged by exchanging charges with the dust collection layer (electrostatic precipitator side).
  • the voltage applied to the first electrode layer is It may be set appropriately so that a drawing distance that can include the distance to the place (dust generation part) can be developed.
  • the second electrode layer can apply a positive voltage from zero volts and can be grounded to zero volts. preferable.
  • a potential of ⁇ 9 kV for the first electrode layer 7 and a potential of 2 kV for the second electrode layer 8 are input values, and as shown in FIG. As, it was carried out as described in Table 1. As shown in Table 1, No. 1 to No. 4 is the result exceeding 100 mm, while No. Nos. 5 and 6 show a decrease in charging distance, especially Nos. In No. 6, a large reduction in electrification distance was observed.
  • the dimensional difference (gap) between the end of the first electrode layer 7 and the corresponding end of the second electrode layer 8 was defined as the one-side end difference, and the measurement was performed as described in Table 2. As shown in Table 2, No. 1 to No. 4 satisfies the target value of 50 mm, while No. 5 and No. 6 was not achieved.
  • each material having a shape as shown in FIG. 1 was used, and laminated in order from the upper layer using a laminator. Adhesion of each layer was made to adhere using the silicone system adhesive of the polyimide film adhesive tape.
  • a PET film 0.1 mm thick (total thickness 0.2 mm) coated with a silicone resin 0.1 mm thick was formed into a square with a side of 50 mm. I used clippings.
  • the first insulating layer 3 is made of a polyimide adhesive tape (trade name: 760H #25, manufactured by Teraoka Seisakusho Co., Ltd.) having a base thickness of 0.025 mm. ) was cut into a square of 50 mm on each side and laminated.
  • the material of the first electrode layer 7 is a PET base material coated with a conductive paint using a polythiophene-based conductive polymer at 1.6 ⁇ 10 4 ⁇ .
  • a film having a thickness of 0.050 mm (Dainippon Package Co., Ltd., trade name: Diclea DC-AN10 4 ) was used.
  • the material of the first electrode layer 7 was a 0.5 mm thick film obtained by coating a PET base material with a conductive paint containing carbon nanotubes at 1.5 ⁇ 10 7 ⁇ .
  • a conductive paint containing carbon nanotubes at 1.5 ⁇ 10 7 ⁇ .
  • SCS V Maruai Co., trade name: SCS V
  • Each of these films is cut into a square with a side of 40 mm, and a plurality of circles with a diameter of 7 mm are uniformly hollowed out to provide a defective portion (opening: 9), and the area ratio of the defective portion is the first electrode. It was processed so as to cover about 12% (Table 1, No. 2) of the total area of the layer, and this was used as the first electrode layer 7, which was attached 5 mm inward from each side of the dust collecting layer.
  • a copper foil tape (not shown) was attached to the corners so as to protrude from the dust collection layer.
  • the second insulating layer 4 for insulating the first electrode layer 7 and the second electrode layer 8 one sheet of polyimide adhesive tape (Teraoka Seisakusho Co., Ltd., trade name: 760H #25) with a substrate thickness of 0.025 mm was used.
  • a polyimide film having a total thickness of 0.075 mm was used as a substrate, which was obtained by laminating two sheets of polyimide adhesive tape (trade name: 1030E, manufactured by Okamoto Co., Ltd.) in three layers in advance.
  • the material of the second electrode layer 8 is a PET base material coated with a conductive paint using a polythiophene-based conductive polymer at 1.6 ⁇ 10 4 ⁇ .
  • a film having a thickness of 0.050 mm (Dainippon Package Co., Ltd., trade name: Diclea DC-AN10 4 ) was used.
  • the material of the second electrode layer 8 is a 0.5 mm thick film (Maruai), which is a PET base material coated with a conductive paint containing carbon nanotubes at 1.5 ⁇ 10 7 ⁇ . company, trade name: SCS V) was also used. Each of these films was cut into a square of 30 mm on each side to form the second electrode layer 8 .
  • the area of the second electrode layer 8 is 400 mm 2 , which is smaller than the total area (900 mm 2 ) of the first electrode layer 7 including the missing portion, and is 5 mm inside each side of the first electrode layer 7 .
  • a copper foil tape (not shown) was attached to the corners so as to protrude from the dust collection layer.
  • the third insulating layer 5 for insulating the second electrode layer 8 and the adhesive fixing layer 6 as an adhesive fixing means was coated with a polyimide adhesive tape (trade name: 760H, manufactured by Teraoka Seisakusho Co., Ltd.) having a substrate thickness of 0.025 mm. #25) and one polyimide adhesive tape (Okamoto Co., trade name: 1030E) were laminated.
  • a neodymium magnet sheet having a thickness of 0.6 mm (manufactured by Niroku Seisakusho Co., Ltd., product name: RSN09) was used for the adhesion fixing layer 6 as an adhesion fixing means. These were laminated to form a laminated sheet 1, which was cut into a square with a side of 50 mm so as to be 5 mm outside each side of the first electrode layer 7. As shown in FIG.
  • a power supply for applying voltage to the laminated sheet 1 produced was prepared as follows. First, a withstand voltage cable with a connector (manufactured by Nissei Electric Co., Ltd., product name: RSU-DC10KV-22) is soldered to a copper foil tape (not shown), and the copper foil tape is attached to the corners of the electrodes. It was attached to tape (not shown) and insulated with insulating tape. Next, the connector portion is connected to a power supply device [a power supply device consisting of a DC high voltage generator and a power supply cable of 100 VAC] (not shown), with the first electrode layer connected to the negative electrode and the second electrode layer connected to the positive electrode. Then, it was used as an electrostatic precipitator for testing to be used in subsequent tests.
  • a power supply device a power supply device consisting of a DC high voltage generator and a power supply cable of 100 VAC
  • Higress DUS202-CDR, thickness 0.1 mm) and polyimide (PI) Ube Industries Upilex 25S, thickness 25 ⁇ m were each cut into 10 mm ⁇ 5 mm, and each ultrafine copper
  • PI polyimide
  • Table 3 it was found that although aluminum pieces were attracted to the dust collection layer, some of them were repelled.
  • the negative voltage (absolute value) applied to the first electrode layer is plotted on the vertical axis
  • the positive voltage applied to the second electrode layer on the horizontal axis is the maximum applied voltage at which the aluminum piece is not repelled. plotted.
  • SYMBOLS 1 Laminated sheet (electrostatic precipitator), 2... Dust collection layer, 3... First insulating layer, 4... Second insulating layer, 5... Third insulating layer, 6... Adhesion fixing layer (adhesion fixing means), 7... First electrode layer, 8... Second electrode layer, 9... Missing part (opening part), 10... Installation object, 11... Copper wire, 12... Aluminum piece, 13... Scale

Abstract

プレス加工などの材料加工の際に発生する塵異物を、静電気力を利用してより確実に集塵できるとともに、設置性も良く、しかも、安全に使用できるような電気集塵機を提供する。　塵異物を静電気力で集塵する電気集塵機であって、少なくとも、塵異物を接触させて保持する集塵層と、第１の電極層と、第２の電極層と、絶縁層とを備えてこれらが積層されてなる積層シートと、前記第１及び第２の電極層間に電圧を印加する電源装置とを備え、絶縁層は、少なくとも、集塵層と第１の電極とを絶縁する第一の絶縁層と、第１の電極層と第２の電極層とを絶縁する第二の絶縁層と、第２の電極層と当該第２の電極層の下部とを絶縁する第三の絶縁層とを有し、前記第１及び第２の電極層は、表面抵抗率が１０４～１０８Ωのフィルムを用いることを特徴とする電気集塵機である。

Description

電気集塵機及びそれを用いた集塵方法
　この発明は、切削加工や打ち抜き加工や裁断加工等の材料加工により直接塵異物が発生する分野、或いは包装機や梱包機等で材料がすれる分野、装置の可動部や扉の開閉部等の稼働による摩耗で間接的に塵異物が発生する分野、とりわけプレス金型を使用してプレス加工を行う際に発生する擦り切れ粉や粉塵などの塵を、静電気力を利用して集塵することができる電気集塵機に関するものである。
　材料加工、例えばプレス加工時に被加工品（ワーク）を金型で打ち抜く際、打ち抜かれたワークと金型の擦れ等により、擦れ切粉や粉塵などの塵異物が発生する。このような材料加工の場面で発生した塵異物は、駆動や気圧、熱により発生する気流の影響（例えば、金型であればその開閉時の負圧）によりワーク面に流入したり、さらには細かい粉塵は長時間空中を浮遊し周囲の環境を汚染したり、自然落下してワーク上に付着したりすることにより、その後の加工の際の打痕や凹み、傷、混入等の製品不良の原因になることが懸念される。
　そのため、このような塵異物に起因する上記不良の対策には、従来から、例えば、塵異物が磁性金属の場合にはマグネットによる吸着や、或いは、エアー吸引による除去といった方法が採られている。
　しかしながら、マグネットの適用効果は対象が磁性体に限られるので、非磁性金属やその他の材質を対象とした塵異物に対しては効果が無い。一方でプレス機を例にとると、その性質上、粉塵が最も発生する打ち抜きの瞬間は金型が密閉状態であり、尚且つ金型解放時は負圧であるため、このような場合エアーによる吸引は期待できず、エアーによる吸引では集塵効果は低い。
　他方、塵異物に対してエアーを吹き付けてそれによる吹き飛ばし効果で塵異物を除去する方法も従来から用いられており、例えば特許文献１においては、それよりも先行する技術におけるプレス装置において、下金型とノックアウトとの間に溜まる塵異物をより効果的に除去するために、効果的に圧縮ガスを所定の部位に供給するような方法が提案されている。しかしながら、このようなエアーの吹き付けによる方法は、大きな異物をはじき出す効果として比較的有効であるが、粉塵のような細かい塵異物に対しては、逆にエアーによって巻き上げ・飛散をもたらす恐れがあることから、粉塵のような細かい塵異物までを考慮すると、ワークへの付着を防ぐ効果としては限定的である。
　そのほか、一般的な異物対策として用いられているフィルター式や電気集塵式などの空気清浄機を用いる方法ではその構成上ある程度の大きさの確保が必要となることから、限られたスペースである金型などの材料加工装置の内部やその近傍、とくに塵異物が多く発生する打ち抜き刃近傍への設置は困難であり、装置外に設置した場合は装置内部で発生したパーティクル（塵異物）を集塵する効果は見込めない。また、装置外から装置内部の発塵場所へ空気流路を設け集塵したとしても前述のエアー吸引と同様になり集塵効果が低い。
　ところで、従来から、半導体や液晶ディスプレイの製造過程で問題となるパーティクル（塵異物）を吸着して集塵する方法としては、例えば特許文献２に記載されるような、クーロン型の静電チャックを用いて集塵する方法が提案されている。このような方法によれば、上記したようなマグネットによる方法やエアーを用いた方法におけるデメリットが無く静電気を利用して異物を集めることはできる。しかしながら、このようなクーロン型の静電チャックでは電極が水平方向に並んでいるため電極の隙間に電界は発生するが、水平方向に電気力線が集中するため、垂直方向に電界はほとんど広がらないことから、接触した異物を吸着させる効果については有利であるものの、浮遊する粉塵などの比較的細かい塵異物を引き付ける効果はほとんど無く、限定的な効果となってしまう。加えて、この特許文献２における実際の方法では電極が表面に露出して設置されているため、このような類の構成を採用する装置・機器を使用する方法において、例えば誘電層が破損した場合には火花放電を引き起こして引火するおそれもあり、安全性に問題があるため、金型などの材料加工装置での使用には適さない。
　また、静電チャックとしては、対象物の吸着力や保持力をより高めるために、電極間絶縁層を介して複数の電極層をその深さ方向に積層させた構成を採用した所謂グラディエント力発生型の静電チャックも従来から提案されているが（例えば、特許文献３や特許文献４を参照）、このようなグラディエント力発生型の静電チャックを利用しようとする場合であっても、総じて、従来の静電チャックでは、効率的且つ速やかな吸着や、或いはデチャックに応答するために使用される電極は金属などの良導電性物質が用いられるが、このような電極が用いられる従来の静電チャックでは、以下のような問題も懸念されていた。すなわち、電極層間に電圧が印加されると、電極間の絶縁層がコンデンサと同じ役割を有するようになり、蓄電が生じる。そして、蓄電された状態で例えば傷等により電極間の絶縁が損なわれた場合、コンデンサ（絶縁層）に蓄電された電気エネルギーが放電を起こすことによって、とくに使用場所が金型などの材料加工装置の内部になるような状況では、使用される加工油や機械油に引火し火災の原因となったり、感電した際には人体に影響を強く与えたりする可能性があった。
　それゆえ、従来の静電チャックの構成をそのまま電気集塵機としてプレス金型などの装置に使用することは考えられていなかった。
特開２００４－２９１０１２号公報 国際公開ＷＯ２０１５／０２９６９８号 国際公開ＷＯ２００５／０９１３５６号 国際公開ＷＯ２００７／０６６５７２号
　そこで、従来のマグネットやエアーなどを用いた方法のようなデメリットがなく、非磁性金属等の粉塵や細かい粉塵までもより確実に集塵できると共に設置性も良く、しかも、金型などの材料加工装置の内部やその近傍に設置したとしても発火・火災などの危険が無いような電気集塵機について本願の発明者らが鋭意検討した結果、電極間絶縁層を介して複数の電極層をその深さ方向に積層させた所謂グラディエント力発生型の静電チャック構造を採用しながらも、特に、電極として所定の表面抵抗値を有するものを用いることによって達成できることを見出して、本発明を完成させた。
　従って、本発明の目的は、プレス加工などの材料加工やその他擦れや摩耗が起こる分野において発生する塵異物を、静電気力を利用してより確実に集塵できるとともに、材料加工装置においても安全に使用できるような電気集塵機を提供することである。
　すなわち、本発明の要旨は以下のとおりである。
〔１〕塵異物を静電気力で集塵する電気集塵機であって、
　少なくとも、塵異物を接触させて保持する集塵層と、第１の電極層と、第２の電極層と、絶縁層とを備えてこれらが積層されてなる積層シートと、前記第１及び第２の電極層間に電圧を印加する電源装置とを備え、絶縁層は、少なくとも、集塵層と第１の電極とを絶縁する第一の絶縁層と、第１の電極層と第２の電極層とを絶縁する第二の絶縁層と、第２の電極層と当該第２の電極層の下部とを絶縁する第三の絶縁層とを有し、前記第１及び第２の電極層は、表面抵抗率が１０４～１０８Ωのフィルムを用いることを特徴とする電気集塵機。
〔２〕第１の電極層は、当該電極層の厚み方向に貫通する複数の欠損部を有し、当該欠損部の面積比率が、第１の電極層全体の面積に対して３％～５０％であると共に、上面視において前記欠損部を含めた第１の電極層が第２の電極層よりも端部において２～１０ｍｍ大きく、
　また、第１及び第２の電極層は、積層シートの厚み方向に対して、第二の絶縁層を介して積層されていることを特徴とする〔１〕に記載の電気集塵機。 
〔３〕使用時には、第１の電極層にはマイナスの電圧が印加されると共に、第２の電極層にはプラス電圧が印加されて用いられ、集塵対象に導体を含む場合、第１の電極層に印加する電圧を－ｙキロボルト（ｋＶ）とし、第２の電極層に印加する電圧をｘキロボルト（ｋＶ）とした場合、ｙ≦１．７ｘ＋２．２を満たすように発塵部からの距離に応じた電圧を印加することを特徴とする〔１〕又は〔２〕に記載の電気集塵機。
〔４〕使用時には、第１の電極層にはマイナスの電圧が印加されると共に、第２の電極層には０Ｖ～プラス電圧が印加されて用いられ、集塵対象に導体を含まない場合、第２の電極層に０Ｖ以上の電圧を印加し、発塵部からの距離に応じた電圧を第１の電極層に印加することを特徴とする〔１〕又は〔２〕に記載の電気集塵機。
〔５〕さらに、対象物に密着して設置及び固定させるための密着固定手段を備えることを特徴とする〔１〕又は〔２〕に記載の電気集塵機。
〔６〕集塵層には、弾性率が０．５ＭＰａ以上１０ＭＰａ以下であると共に、三次元平均表面粗さ（ＳＲａ）が０．０１μｍ以上０．５５μｍ以下の樹脂材料、または粘着材料が用いられること特徴とする〔１〕又は〔２〕に記載の電気集塵機。
〔７〕〔１〕又は〔２〕に記載の電気集塵機を用いて、導体を含む塵異物を集塵する方法であって、
　使用時には、第１の電極層にはマイナスの電圧が印加されると共に、第２の電極層にはプラス電圧が印加されて用いられ、第１の電極層に印加する電圧を－ｙキロボルト（ｋＶ）とし、第２の電極層に印加する電圧をｘキロボルト（ｋＶ）とした場合、ｙ≦１．７ｘ＋２．２を満たすように発塵部からの距離に応じた電圧を印加することを特徴とする集塵方法。
〔８〕〔１〕又は〔２〕に記載の電気集塵機を用いて、導体を含まない塵異物を集塵する方法であって、
　使用時には、第１の電極層にはマイナスの電圧が印加されると共に、第２の電極層には０Ｖ～プラス電圧が印加されて用いられ、第２の電極層に０Ｖ以上の電圧を印加し、発塵部からの距離に応じた電圧を第１の電極層に印加することを特徴とする集塵方法。
　本発明によれば、プレス加工などの材料加工の際に発生する塵異物として非磁性金属等の粉塵や細かい粉塵を、静電気力を利用してより確実に集塵できるとともに、設置性も良く、しかも、材料加工装置において安全に使用できるような電気集塵機を提供することができる。本発明の技術は、材料加工以外の分野、例えば、包装機や梱包機等で材料がすれる分野、装置の可動部や扉の開閉部等の稼働による摩耗で間接的に塵異物が発生する分野などにおいても適用可能である。
図１は、本発明の電気集塵機の一例を示すものであり、（ｉ）は外観斜視図であり、（ｉｉ）は断面説明図であり（ｉ）のＡ－Ａ断面の一部である。 図２は、第１の電極層の一例を示す平面図である。 図３は、本発明の電気集塵機に生じる電界の様子を示す断面図である。 図４は、実施例における電気集塵機の吸着性の評価を説明する写真である。図中の白矢印は、銅線１１に吊られたアルミ片１２が電気集塵機に引き寄せられる方向を示すものである。 図５は、本発明の電気集塵機をプレス金型（下型における材料切断鋼材付近の場所）に設置して評価するようすを説明する模式説明図である。 図６は、表３に示した結果に基づいて、縦軸には第１の電極層に印加するマイナス電圧の絶対値を、横軸には第２の電極層に印加するプラス電圧として、アルミ片が弾かれない最大印加電圧をプロットしたグラフである。 図７は、本発明の電気集塵機を製袋機（ブリスター包装機の抜き型付近壁面）に設置して評価するようすを説明する模式説明図である。 図８は、本発明の電気集塵機を半導体後工程装置（エアブロー洗浄部の排気ダクトフード内周）に設置して評価するようすを説明する模式説明図である。
　以下、本発明について、必要に応じて図面を参照しながら詳しく説明する。数字は図面における符号を表す場合がある。
　本発明の電気集塵機は、少なくとも、集塵層（符号：２。以下同様とする。）と、第１の電極層７と、第２の電極層８と、絶縁層３～５とを備え、図１に例示されるように、必要により使用時に設置させる対象物（以下、単に「設置対象物」と言うことがある。例えば図３の符合１０がそれに該当する。）に密着して設置及び固定するための密着固定手段（例えば、密着固定層６）が用いられて積層されてなる積層シート１を備える（なお、積層シート１を電気集塵機と区別しないで記載する場合がある）。絶縁層は、同図のとおり、少なくとも、集塵層と第１の電極層とを絶縁する第一の絶縁層３と、第１の電極層と第２の電極層とを絶縁する第二の絶縁層４と、第２の電極層と当該第２の電極層の下部とを絶縁する第三の絶縁層５とを有する。さらには、第１の電極層と第２の電極層との間に電圧を印加する電源装置（図示外）とを備える。なお、前記の「第２の電極層の下部」とは、積層シート（電気集塵機）の層構成によって適宜変わり得るが、例えば、前記密着固定手段のように当該第２の電極層の下部に配置される他の構成や、或いは、そのような他の層を設けない場合には設置対象物がそれにあたることとなる。それゆえ、第２の電極層とそのような他の層や設置対象物と絶縁するために第三の絶縁層５を設けるようにする。
＜電極層＞
　本発明において使用される電極層は、前記のとおり、少なくとも、第１の電極層７と、第２の電極層８とを備え、好適にはそれらを、積層シートの厚み方向に対して、絶縁層（第二の絶縁層）を介して積層させた構造を採ることがよい。このような積層構造を採ることにより、従来の電気集塵機とは異なり、集塵構造の集積化ができ、厚みを低減できる点で有利である。そして、本発明の電極層としては、素材や形状等は制限されないが、表面抵抗率が１０４～１０８Ωであるフィルムを用いる。なお、表面抵抗率の単位については、通常「Ω／ｓｑ．」などと表される場合がある。表面抵抗率が上がるにつれ、消費電流が増加し電圧降下が生じ、引き寄せ距離が減少することから、好ましくは１０４～１０５Ω、さらに好ましくは１０４Ωであるフィルムを用いると良い。このような表面抵抗率を有するようにすることで、電流量が抑えられ、絶縁層（コンデンサ）への蓄電が大幅に減少する。また、絶縁層の破損などによって絶縁が損なわれたような場合であっても蓄電されたエネルギーが破損部に流れ込む際に抵抗である電極層表面を通ることになるため大幅に電気エネルギーを低下させることができ、引火のリスクや人体への影響などを抑えることが可能である。
　ここで、このような本発明の電極層の素材としては、上記所定の表面抵抗率を有するようになるものであれば特に制限されないが、好適には、上記表面抵抗率を有する導電性ポリマーが用いられ、導電性ポリマーをそのまま所望の形状に加工できるものであれば、その導電性ポリマーをそのままフィルム状に加工したものや、或いは、支持基材を設けてその表面の一部または全部に該導電性ポリマーが塗布されてなるフィルムなどを採用することができる。このような導電性ポリマーとしては、前記のような表面抵抗値を有するようになるものであれば適宜採用可能であるが、好ましくは、ポリピロール系、ポリアセチレン系、ポリチオフェン系、ポリアニリン系、カーボンナノチューブなどのポリマーを例示することができる。このなかでもより好ましくは、安定性の面から、ポリピロール系、ポリチオフェン系を用いることが良い。さらには、前記のような表面抵抗値を有するようになるものであれば、使用される素材としては前記導電性ポリマーだけに限定されず、少なくとも前記導電性ポリマーを有すれば、それと共に塗料において通常使用されるような顔料、有機色素などを含んだ塗料組成物の形態であってもよい。なお、塗布する方法については、塗料などの通常の塗布方法を採用することができる。
　支持基材を用いる場合、支持基材としては特に限定されず、樹脂基材やゴム類や紙などを用いることができるが、加工性の点で優れることから、好ましくは樹脂基材を用いる。樹脂としては、ポリエチレンテレフタラート（ＰＥＴ）、非晶性ポリエチレンテレフタラート（Ａ－ＰＥＴ）、ポリエチレン（ＰＥ）、ポリスチレン（ＰＳ）、ポリプロピレン（ＰＰ）、ポリアセタール（ＰＯＭ）、ポリカーボネート（ＰＣ）、ＡＢＳ樹脂、ポリアクリロニトリル（ＰＡＮ）、ポリメチルメタクリレート（ＰＭＭＡ）、ポリアミド６（ＰＡ６）、ポリアミド６６（ＰＡ６６）、ポリエーテルスルホン（ＰＥＳ）、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）、ポリエーテルイミド（ＰＥＩ）、ポリイミド（ＰＩ）などが挙げられるが、この中でも、加工時のクラックが発生し辛く加工性の点でＰＥＴ、ＰＣ、ＰＰがより好ましい。
　このような、支持基材に導電性ポリマーが塗布された場合の本発明の電極層の例としては、例えば、長岡産業株式会社製のスタクリア－ＮＡＳ（商品名）や、大日本パックェージ株式会社のダイクレア（商品名）や、株式会社マルアイ製のＳＣＳ導電性シート等を具体的に挙げることができる。また、導電性ポリマーとしては、アキレス株式会社製のＳＴポリ（商品名）等を用いることができる。
　このような構成を有する本発明の電極層の各々の厚みについては、電気集塵機の全体の構成や印加電圧、使用環境などを勘案して適宜調整され得るが、積層体の柔軟性維持のために、１～２００μｍとすることが好ましく、より好ましくは１～１００μｍとすることが良い。
　さらに、本発明の電極層の形状については、従来における同等の構造を有する静電チャックの構成を適宜採用することができ、例えば、各々の電極層が平板状、半円状、櫛歯状や、或いは、所定の領域内において電極層の厚み方向に貫通する複数の欠損部（開口部）を複数有したメッシュ状などに形成されたものであってもよい。なお、前記の欠損部は円形や多角形であってよい。
　そのような電極層の形状の中でも、好ましくは、上部に配置される第１の電極層７の形状を、図２に示したように、前記欠損部（開口部：符号９）を複数有したメッシュ状の電極層とし、一方で、第１の電極層よりも下部に配置される第２の電極層８の形状は平板状に形成することが良い。少なくとも、第１の電極層と第２の電極層との形状をそのように組み合わせることにより、第２の電極層からの電界の漏れを適度に多くすることができるため好ましい。この場合、第１の電極層においては、欠損部の面積比率が当該第１の電極層全体の面積に対して３％～４５％となるようにすることが好ましく、より好ましくは３％～５０％、さらに好ましくは１０％～４５％、さらにより好ましくは１０％～２５％となるように形成されることがより好ましい。欠損部をこのような面積比率に調整することにより、集塵した塵異物の把持力が確保され、集塵距離も維持されるため好ましい。なお、各欠損部の大きさは、例えば、φ７とすることが望ましく、また、所定の領域内において均一に配置・形成されるとともに、第１の電極層への通電が妨げられないように形成されることが望ましい。
　さらには、前記第１の電極層と第２の電極層とについては、上面視において前記欠損部を含めた第１の電極層の全面積が、第２の電極層の面積よりも大きく、すなわち、第１の電極層が第２の電極層を覆うことができるような大きさ（面積、外寸）を有するようにすることが好ましく、当該第１の電極層が第２の電極層に対して、最端部から２～１０ｍｍ大きくなるように形成されることがより好ましい。このようにすることにより、第１の電極外周部の周りに在る塵異物が中心部に集塵されると同時に、塵異物は第１の電極内に留まるため好ましい。ここで述べる、「最端部において」については、第１の電極層と第２の電極層との中央部（例えば、中心や重心など）どうしが積ねることを想定した場合に、上面視において、外寸差により生じる片側（任意の端部）の隙間が上記の数値範囲内であることを意味することとする。例えば、長方形や正方形などであれば、中心どうしが重なるように重ねた場合の各辺毎に生じる隙間を指し、円どうしであれば半径差によって生じる端部の隙間を指し、各形状がお互いに異なってもよいが、意味は同様であって、少なくとも端部と端部との差が上記の数値範囲となることが好ましい。
　本発明における第１の電極層及び第２の電極層については、例えば互いに極性の異なる電圧を印加する、或いは、一方の電極をＧｒｏｕｎｄ（接地）にして残りの電極にプラス又はマイナス電圧を印可するなどして、互いに電位差を生じさせるようにする。その際、集塵対象物によって適宜調整することが好ましい。
＜絶縁層＞
　本発明で使用される絶縁層としては、図１等に示すとおり、少なくとも、所定の第一の絶縁層３と、第二の絶縁層４と、第三の絶縁層５とを有するが、第二の絶縁層４以外の絶縁層の材料としては、例えば、ポリイミド、ポリアミドイミド、ポリエステル、ポリエチレンテレフタラート、エポキシ、及びアクリル樹脂から選ばれた１種又は２種以上の樹脂が用いられる。このうち、絶縁特性や化学的耐性などの観点から、好ましくはポリイミドを用いることがよい。具体的には、樹脂フィルムを用いることがよく、例えば、カプトン（東レ・デュポン社製商品名）、ユーピレックス（宇部興産社製商品名）などを挙げることができ、より好ましくはポリイミドからなるカプトンである。
　ここで、本発明においては、前記第二の絶縁層４として、上記第一の絶縁層３で列挙されたような素材を用いることができるが、同じように絶縁特性や化学的耐性などの観点から、好ましくはポリイミドを用いることがよい。そして、この第二の絶縁層４については、印加電圧に応じて次のような設計思想を反映させることがよい。
　すなわち、本発明の電気集塵機は、プレス金型のような材料加工装置に取り付けて使用するため、プレス打ち抜きなどの加工によるパーティクルの発生、開放によるパーティクルの引き込みが繰り返し連続で続くことが多く、稼働中は常に集塵を続けることで最大の効果を発揮することから、長時間電圧を掛けて使用される設計が必要となり、また製品毎に異なる加工装置に沿った形状に曲げて使用するために外的なストレスが不確定な要素となるために、少なくとも当該第二の絶縁層については安全率を高く設定することが好ましい。例えば、本発明の電気集塵機においては、印加電圧の電位差を７ｋＶとした場合、少なくとも、耐電圧約２８ｋＶで安全率４以上となるように当該第二の絶縁層４の材料や厚みが設計されることがより好ましく、基材厚みが７５μｍを有するポリイミドフィルムを用いることが好適であるが、印加電圧によって適宜調整されることが好ましい。ここで、例として挙げた当該７５μｍの基材厚みについては、７５μｍで一枚のフィルムでもよく、好ましくは、柔軟性と耐屈曲性などの観点から、それよりも薄い厚みのフィルムを複数枚、例えば、２５μｍの基材厚みのポリイミドを３枚用いて合計７５μｍとすることがよい。なお、ここでいう「基材」とは、ポリイミドフィルム自体をいい、複数枚を積層させる場合には、接着させるための層は含めない。
　また、第三の絶縁層５の構成については、上記第一の絶縁層３と同じとしてもよく、或いは、印加電圧や給電方法や密着固定層６、組立時の接着材料等に応じて適宜設定可能であり、好ましくは、設置する場所（金型など）への通電対策の観点から、密着固定層６から第三の絶縁層５までを合わせた耐電圧が安全率５以上となるように適宜選択等することがよい。
＜密着固定手段＞
　本発明においては、好ましくは、設置対象物に対して密着して固定させるための密着固定手段を備えることが好ましい。密着固定手段としては、本発明の電気集塵機を対象物に密着・固定できるものであれば特に制限されないが、図１において例示するような密着固定層６を好適に挙げることができる。当該密着固定層６としては、金型などの装置の設置場所に接する層となり、設置場所に応じて密着性が担保されるような材料が用いられることが好ましい。例えば、設置場所が磁性金属の場合にはマグネットシートが好適に用いられ、そのほか樹脂や非磁性金属の場合には、シリコーン系やアクリル系等の粘着剤を単独または併用して用いることができるが、何ら限定されない。とくに金型用途において金型に直接設置する場合には、金型の素材には磁性金属が使用されることから、この磁性金属への密着性の確保と貼り外しが必要となるようなメンテナンスのやり易さから密着固定層としてマグネットシートを使用した層とすることが好ましく、狭い隙間に取り付けるような場合には磁力の強いネオジムマグネットシートを用いることがより好ましい。当該密着固定層６は、第２の電極層８と設置場所（金型など）との間で電界を繋ぐ役割を担うこととなるため、密着が重要となる。これにより、側面方向への電気力線の発生が増加することや、電気力線が短くなることで電界強度が増加することが期待され、上方に対してより強い電界を発生させることができる（一例として、図３を参照）。仮に密着が不十分である場合、集塵性能が損なわれる場合がある。密着固定層６の厚みは本発明の目的を損なわない範囲で適宜設定可能である。例えば、金型に適用する際、金型が磁性金属ではない場合も金型に密着させることが好ましく、その場合には密着性を確保できるように金型の素材に合わせて密着固定層の材料や構成を適宜変更可能である。
　また、機械の動作上妨げにならない場合、ボルト止めや、電気集塵機を上部から枠で押さえ付ける等組み込みを行うことで、上記密着固定層を使用せずに間接的に密着させることもできる。
＜集塵層＞
　本発明において、当該集塵層２は、集塵対象となる塵異物が直に接する層であって、静電気力によって引き付けた塵異物の保持を補助する役割を担うものであることが好ましい。このような集塵層２としては、弾性率が０．５ＭＰａ以上１０ＭＰａ以下、好ましくは２ＭＰａ以上３ＭＰａ以下であると共に、三次元平均表面粗さ（ＳＲａ）が０．０１μｍ以上０．５５μｍ以下、好ましくは０．４μｍ以上０．５μｍ以下の樹脂材料か、及び／又は粘着材料を用いるのが良い。樹脂材料の具体例としては、シリコーン樹脂、スチレンブタジエンゴム、クロロスルホン化ポリエチレンゴム、アクリロニトリルブタジエンゴム、エチレンプロピレンゴム、クロロプレンゴム、ブタジエンゴム、フッ素ゴム、イソブチレンイソプレンゴム、ウレタンゴム等を挙げることができ、なかでも、シリコーン樹脂が好適である。詳細原理は定かではないが、塵異物との間に分子間力（ファンデルワールス力）の発生を期待できるとともに、メンテナンス性が良いため好ましい。或いは、金型などの装置の昇降に伴う風圧などによって塵異物が再飛散することなどを防止する観点から、より好ましくは、前記の樹脂材料とともに粘着テープなどの粘着材料を別途設けてもよい。さらに、樹脂材料や粘着材料などとともに、ＰＥＴ樹脂などの樹脂製の支持基材を設けてもよい。集塵層２の厚みは０．１～０．２ｍｍ程度とすることが好ましい。
＜積層シート＞
　そして、これまでのような電極層、絶縁層及び集塵層を少なくとも用いるとともに、必要により密着固定手段とを用いて、これらを積層して、図１に例示のような積層シート１とする。電極層が露出しないように各絶縁層に挟み込む必要があり、具体的な方法としては、絶縁層の間に電極を挟み込んだ後に、熱と圧力を加えて融着させる方法がある。もしくは、必要に応じてボンディングシートや接着剤もしくは粘着剤を用いて接着させてもよい。好ましくは、第１の電極層７と、第２の電極層８に使用する樹脂材料の耐熱温度が低いことなどの理由から、シリコーン系などの接着剤を用いて積層させることがよい。
　ここで、当該積層シート１の形状については、前記の材料を積層して、例えば図１のような平板状としたものをそのまま使用するか、或いは、使用状況・設置場所等に応じて一部あるいは全体の形状を目的に応じた形状に適宜変更・加工してもよい。例えば、適用されるプレス金型などの材料加工装置やその装置内の僅かなスペースにも設置が可能なように、全体の厚みを１ｍｍ～５ｍｍ程度とした平板状や、金型などへの適用であればその形状に合わせた曲面状や立体の形状とすることが好ましい。
＜電源装置＞
　前記のように積層シート１を形成した後には、電極層に電圧を印加して静電気力を発生させるための電源装置が必要となる。電源装置は前記積層シートの電極と接続端子およびスイッチ（いずれも図示外）を介して接続させることができて、一般的に使用されるものと同様なものを用いることができ、直流の高電圧を発生できるものであればよい。発生させる電圧は－１０ｋＶ～５ｋＶ程度とすることができ、必要に応じて、必要な電圧まで昇圧させることができる昇圧回路（高電圧発生回路）を備えるようにしてもよい。プラス電圧とマイナス電圧を発生させる個別の電源を併用してもよい。
　前記のような積層シート１及び電源装置を備えるようにして本発明の電気集塵機とする。本発明の電気集塵機は、必要に応じて、センサーや除電回路、クリーニング機構等が別途設けられてもよく、また、例えば、電極層のパターンの変更等、本発明の目的の範囲で適宜構成の変更及び追加などが行われてもよい。
＜使用形態＞
　上述のとおり、本発明の電気集塵機はプレス金型などの装置と共に用いられ、例えば、プレス金型によるプレス加工の際に、例えば打ち抜かれたワークと金型の擦れ等によって発生する粉塵などの塵異物を集塵できるものであるが、前記の集塵層２において塵異物がより確実に吸着・保持されるためには、前記の電極層に印加する電圧（電位差）を適宜調整することが好ましい。なぜなら、後述の実施例のとおり、本発明者らの推測によれば、電極層に印加する電圧（電位差）に応じて塵異物を集塵層（電気集塵機側）まで引き寄せることができる距離（引き寄せ距離）が概ね定まり、また、塵異物が持つ電荷や体積抵抗率によっては、塵異物が一旦は集塵層まで引き寄せられたとしても、集塵層（電気集塵機側）との電荷のやり取りによる帯電の変化や過剰なクーロン力による運動エネルギー等に起因して、集塵層に吸着・保持されずに弾かれてしまう現象が確認された。それに加えて、本発明の電気集塵機においては塵異物の発生場所（発塵部）近傍に取り付ける使用方法である場合が多いであろうことから、前記第１の電極層の印加電圧は、塵異物発生場所（発塵部）までの距離を包含できるような引き寄せ距離を発現できるように適宜設定すればよく、後述の実施例での評価結果から把握されるとおり、集塵対象が導体でない場合（例えば、集塵対象物の電気抵抗率が１０４Ωｃｍ以上のようなものの場合）は、第２の電極層はゼロボルトからプラスの電圧を印加することができ、ゼロボルト〔Ｇｒｏｕｎｄ（接地）〕することが好ましい。一方で、集塵対象に電気抵抗率が１０４Ωｃｍ以下のような導体を含む場合は第１の電極層に印加する電圧を－ｙキロボルト（ｋＶ）とし、第２の電極層に印加する電圧をｘキロボルト（ｋＶ）とした場合、集塵したものが弾かれて再飛散されることを防止するために、ｙ≦１．７ｘ＋２．２を満たす電圧を印加すると良く、安全性と耐電圧から第１の電極層に印加する電圧が最大であり電位差が最も小さくなるｙ＝１．７ｘ＋２．２となるように第２の電極層に電圧を印加することが好ましい。
　以下、実施例及び比較例に基づいて、本発明の好適な実施の形態を具体的に説明するが、本発明がこれにより限定されて解釈されるものでもない。
＜電気集塵機の引寄性の評価＞
（１）第１の電極層の欠損率と引寄距離のＣＡＥ解析
　第１の電極層の形状最適化を行う為、電気集塵機の集塵層から垂線上の電位とその距離をＣＡＥ解析ソフト（ムラタソフトウェア社、製品名：ＦＥＭＴＥＴ）を用いて電場解析を行い、挙動時の空間電位を数値化した。
　図１に示すような四角板状の積層モデルに加え、集塵層２上面１００ｍｍを大気と模した疑似空間をモデルとした。第１の電極層７に電位－９ｋＶ、第２の電極層８に電位２ｋＶを入力値とし、図２に示すように第１の電極層モデルの欠損部（開口部：符号９）を欠損率として、表１に記載のとおり実施した。
　結果は表１に示すように、Ｎｏ．１～Ｎｏ．４は１００ｍｍを超える結果であり、一方、Ｎｏ．５，６は帯電距離の低下がみられ、とくにＮｏ．６は大幅な帯電距離の低下がみられた。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000001
（２）第１と第２の電極層の端部の差と引寄距離のＣＡＥ解析
　第１の電極層の形状最適化を行う為、電気集塵機の集塵層から垂線上の電位とその距離をＣＡＥ解析ソフト（ムラタソフトウェア社、製品名：ＦＥＭＴＥＴ）を用いて電場解析を行い、挙動時の空間電位を数値化した。
　図１に示すような積層モデルに加え、集塵層２上面１００ｍｍを大気と模した疑似空間をモデルとした。第１の電極層７に電位－９ｋＶ、第２の電極層８に電位２ｋＶを入力値とし、第１の電極層７と第２の電極層８とを中心どうしが重なる場合を想定し、第１の電極層７の端部と、その端部に対応する第２の電極層８の端部とに生じる寸法の差（隙間）を片側端部差として、表２の記載のとおり実施した。
　結果は表２に示すように、Ｎｏ．１～Ｎｏ．４は目標値５０ｍｍを満足する一方、Ｎｏ．５とＮｏ．６は未達であった。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000002
＜電気集塵機の作製＞
　先ず、図１に示されるような形状を有する各材料を用いて、上の層から順にラミネーターで積層して作製した。各層の接着は、ポリイミドフィルム粘着テープのシリコーン系粘着剤を用いて接着させた。
　集塵層２には、シリコーン樹脂０．１ｍｍ厚み（株式会社クリエイティブテクノロジー製、製品名：Ｉｏｎｐａｄ）が塗工されたＰＥＴフィルム０．１ｍｍ厚み（総厚み０．２ｍｍ）を１辺５０ｍｍの正方形に切り抜き用いた。
　集塵層２と第１の電極層７との絶縁性を確保するため、第一の絶縁層３としては０．０２５ｍｍの基材厚みのポリイミド粘着テープ（寺岡製作所社、商品名：７６０Ｈ　＃２５）を１辺５０ｍｍの正方形に切り抜き積層した。
　後記の（１）（２）評価では第１の電極層７の素材には、ＰＥＴ基材に、ポリチオフェン系導電性高分子を用いた導電性塗料が１．６×１０４Ωにてコーティングされた０．０５０mm厚みのフィルム（大日本パックェージ社、商品名：ダイクレアＤＣ－ＡＮ１０４）を用いた。また、後述（２）評価では第１の電極層７の素材には、ＰＥＴ基材に、カーボンナノチューブを含む導電性塗料が１．５×１０７Ωにてコーティングされた０．５ｍｍ厚みのフィルム（マルアイ社、商品名：ＳＣＳ・Ｖ）についても用いた。これらの各フィルムを１辺４０ｍｍの正方形に切り抜きして、直径が７ｍｍの円を複数個均一にくり抜いて欠損部（開口部：符号９）を設け、欠損部の面積割合が当該第１の電極層全体の面積に対して約１２％（表１、Ｎｏ．２）となるように加工し、これを第１の電極層７とし、集塵層各辺から５ｍｍ内側に張り付けた。また、角部に銅箔テープ（図示外）を貼り集塵層からはみ出すように張り付けた。
　第１の電極層７と第２の電極層８とを絶縁する第二の絶縁層４としては、基材厚み０．０２５mmのポリイミド粘着テープ（寺岡製作所社、商品名：７６０Ｈ　＃２５）１枚とポリイミド粘着テープ（オカモト社、商品名：１０３０Ｅ）２枚を予め３枚に積層してなる基材合計０．０７５mm厚みのポリイミドフィルムを用いた。
　後記の（１）（２）評価では第２の電極層８の素材には、ＰＥＴ基材に、ポリチオフェン系導電性高分子を用いた導電性塗料が１．６×１０４Ωにてコーティングされた０．０５０mm厚みのフィルム（大日本パックェージ社、商品名：ダイクレアＤＣ－ＡＮ１０４）を用いた。後述（２）評価では第２の電極層８の素材には、ＰＥＴ基材に、カーボンナノチューブを含む導電性塗料が１．５×１０７Ωにてコーティングされた０．５ｍｍ厚みのフィルム（マルアイ社、商品名：ＳＣＳ・Ｖ）についても用いた。これらの各フィルムを１辺３０ｍｍの正方形に切り抜き加工し第２の電極層８とした。この第２の電極層８の面積は４００ｍｍ２であり、上記第１の電極層７の欠損部を含めた全面積（９００ｍｍ２）よりも小さく、第１の電極層７の各辺より５ｍｍ内側になるよう配置した。また、角部に銅箔テープ（図示外）を貼り集塵層からはみ出すように張り付けた。
　第２の電極層８と密着固定手段としての密着固定層６とを絶縁するための第三の絶縁層５には、基材厚み０．０２５ｍｍのポリイミド粘着テープ（寺岡製作所社、商品名：７６０Ｈ　＃２５）１枚とポリイミド粘着テープ（オカモト社、商品名：１０３０Ｅ）１枚を重ねて用いた。
　密着固定手段としての密着固定層６にはネオジムマグネットシート０．６ｍｍ厚み（二六製作所社製商品名ＲＳＮ０９）を用いた。
　これらを積層させて積層シート１とし、１辺５０ｍｍの正方形として第１の電極層７の各辺より５ｍｍ外側になるよう切り抜いた。
　この作製した積層シート１に電圧を印加する電源装置については、次のように準備した。先ず、コネクター付き耐電圧ケーブル（日星電気社製，商品名ＲＳＵ－ＤＣ１０ＫＶ－２２）を銅箔テープ（図示外）に半田付けし、該銅箔テープを前記の電極角部に張り付けた銅箔テープ（図示外）に貼り付けて、絶縁テープで絶縁処理した。次に、前記コネクター部を、それぞれ電源装置〔直流高電圧発生装置、給電ケーブル１００ＶＡＣ電源からなる電源装置〕（図示外）の第一の電極層を負極、第二の電極層を正極にそれぞれ接続して、以降の試験で用いる試験用の電気集塵機とした。
＜電気集塵機の吸着性の評価＞
（１）電圧印加と引き寄せ距離の評価
　図４に示すように、床面に対して積層シート１部分が垂直になるように立てた電気集塵機の第１の電極層及び第２の電極層にそれぞれ表３に記載のとおりの電圧を印加した。
　次いで、電気集塵機の集塵層２側に間隔（引寄距離）をあけてアルミ片１２（１０ｍｍ×１ｍｍ程度）と、軟質ポリ塩化ビニル（ＰＶＣ）（アキレス社　セイデンクリスタル０．１、厚み０．１ｍｍ）とポリウレタン（ＰＵ）（シーダム社　ハイグレスＤＵＳ２０２－ＣＤＲ、厚み０．１ｍｍ）とポリイミド（ＰＩ）（宇部興産社　ユーピレックス２５Ｓ、厚み２５μｍ）をそれぞれ１０ｍｍ×５ｍｍにカットしたものとを各々極細の銅線１１を用いて吊り下げた各サンプルを、電気集塵機で集塵されるかどうかを評価した。引き寄せ距離は下部に設置した金属製のスケール１３を用いて目視で計測した。
　結果は表３に示すように、アルミ片では集塵層に引き寄せられるものの、一部、弾かれてしまう場合があることが分かった。図６のグラフには縦軸に第１の電極層に印加するマイナス電圧（絶対値）を、横軸に第２の電極層に印加するプラス電圧として、アルミ片が弾かれない最大印加電圧をプロットした。グラフ中の式で示すように印加する電圧はｙ＝１．７ｘ＋２．２となるようにするとアルミ片が弾かれず、且つ最も電位差が小さくなる。
　一方で、表４で示すように、絶縁物であるＰＶＣ、ＰＵ、ＰＩについては、集塵層部分に集塵されて吸着されたままであったため、第２の電極層はＧｒｏｕｎｄ（接地）すればよいことが分かる。
　なお、引き寄せ距離については導体であるアルミ片と、絶縁体であるＰＶＣ、ＰＵ、ＰＩとで、どちらも大きな違いはないことがわかった。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000003
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000004
（２）電極の表面抵抗率と引き寄せ距離の評価
　図４に示すように、床面に対して積層シート１部分が垂直になるように立てた電気集塵機の第１の電極層及び第２の電極層にそれぞれ表５に記載のとおりの電圧を印加した。
　次いで、電気集塵機の集塵層２側に間隔（引寄距離）をあけてアルミ箔（Ａｌ）（三菱アルミニウム社ニッパクホイル）とポリイミド（ＰＩ）（宇部興産社　ユーピレックス２５Ｓ）をそれぞれ１０ｍｍ×５ｍｍにカットし、極細の銅線１１を用いて吊り下げた各サンプルを、電気集塵機で集塵されるかどうかを評価した。引き寄せ距離は下部に設置した金属製のスケール１３を用いて目視で計測した。
　結果は表５に示すように、表面抵抗値が高くとも集塵機能が働くことがわかった。表面抵抗値が高くなるにつれ高電圧時の引き寄せ距離が短くなる傾向が見られた。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000005
（３）プレス金型における集塵効果の評価
　上記の試験用の電気集塵機を、プレス金型（下型における材料切断鋼材付近の場所）に設置して、アルミ材料をワークとして用いて切断加工した際に発生する塵異物であるアルミ片（不定形だが、おおよその直径0.1ｍｍ～2.0ｍｍ程度）の集塵の効果を評価した。模式図を図５に示す。
（４）製袋機における集塵効果の評価
　上記試験用の電気集塵機を、ブリスター包装機（抜き型付近の装置壁面）に設置して、樹脂シートとアルミ箔のラミネート材をワークとして用いて切断加工した際に発生する塵異物である樹脂とアルミの積層物（不定形だが、おおよその直径０．１ｍｍ程度）の集塵の効果を評価した。模式図を図７に示す。
（５）半導体後工程装置エアブロー排気部の集塵効果の評価
　上記試験用の電気集塵機を、半導体後工程装置（エアブロー洗浄部の排気ダクトフード内周）に設置して、ウエハー片（半導体）や、ワイヤーボンドの金属屑（導体）、パッケージの樹脂屑（絶縁物）等の工程内で発生する塵異物（０．００１ｍｍ程度）の集塵の効果及び再飛散防止効果を評価した。模式図を図８に示す。
　１…積層シート（電気集塵機）、２…集塵層、３…第一の絶縁層、４…第二の絶縁層、５…第三の絶縁層、６…密着固定層（密着固定手段）、７…第１の電極層、８…第２の電極層、９…欠損部（開口部）、１０…設置対象物、１１…銅線、１２…アルミ片、１３…スケール
 

Claims (8)

  1. 　塵異物を静電気力で集塵する電気集塵機であって、
    　少なくとも、塵異物を接触させて保持する集塵層と、第１の電極層と、第２の電極層と、絶縁層とを備えてこれらが積層されてなる積層シートと、前記第１及び第２の電極層間に電圧を印加する電源装置とを備え、絶縁層は、少なくとも、集塵層と第１の電極とを絶縁する第一の絶縁層と、第１の電極層と第２の電極層とを絶縁する第二の絶縁層と、第２の電極層と当該第２の電極層の下部とを絶縁する第三の絶縁層とを有し、前記第１及び第２の電極層は、表面抵抗率が１０４～１０８Ωのフィルムを用いることを特徴とする電気集塵機。
  2. 　第１の電極層は、当該電極層の厚み方向に貫通する複数の欠損部を有し、当該欠損部の面積比率が、第１の電極層全体の面積に対して３％～５０％であると共に、上面視において前記欠損部を含めた第１の電極層が第２の電極層よりも端部において２～１０ｍｍ大きく、
    　また、第１及び第２の電極層は、積層シートの厚み方向に対して、第二の絶縁層を介して積層されていることを特徴とする請求項１に記載の電気集塵機。 
  3. 　使用時には、第１の電極層にはマイナスの電圧が印加されると共に、第２の電極層にはプラス電圧が印加されて用いられ、集塵対象に導体を含む場合、第１の電極層に印加する電圧を－ｙキロボルト（ｋＶ）とし、第２の電極層に印加する電圧をｘキロボルト（ｋＶ）とした場合、ｙ≦１．７ｘ＋２．２を満たすように発塵部からの距離に応じた電圧を印加することを特徴とする請求項１又は２に記載の電気集塵機。
  4. 　使用時には、第１の電極層にはマイナスの電圧が印加されると共に、第２の電極層には０Ｖ～プラス電圧が印加されて用いられ、集塵対象に導体を含まない場合、第２の電極層に０Ｖ以上の電圧を印加し、発塵部からの距離に応じた電圧を第１の電極層に印加することを特徴とする請求項１又は２に記載の電気集塵機。
  5. 　さらに、対象物に密着して設置及び固定させるための密着固定手段を備えることを特徴とする請求項1又は２に記載の電気集塵機。
  6. 　集塵層には、弾性率が０．５ＭＰａ以上１０ＭＰａ以下であると共に、三次元平均表面粗さ（ＳＲａ）が０．０１μｍ以上０．５５μｍ以下の樹脂材料、または粘着材料が用いられること特徴とする請求項１又は２に記載の電気集塵機。
  7. 　請求項１又は２に記載の電気集塵機を用いて、導体を含む塵異物を集塵する方法であって、
    　使用時には、第１の電極層にはマイナスの電圧が印加されると共に、第２の電極層にはプラス電圧が印加されて用いられ、第１の電極層に印加する電圧を－ｙキロボルト（ｋＶ）とし、第２の電極層に印加する電圧をｘキロボルト（ｋＶ）とした場合、ｙ≦１．７ｘ＋２．２を満たすように発塵部からの距離に応じた電圧を印加することを特徴とする集塵方法。
  8. 　請求項１又は２に記載の電気集塵機を用いて、導体を含まない塵異物を集塵する方法であって、
    　使用時には、第１の電極層にはマイナスの電圧が印加されると共に、第２の電極層には０Ｖ～プラス電圧が印加されて用いられ、第２の電極層に０Ｖ以上の電圧を印加し、発塵部からの距離に応じた電圧を第１の電極層に印加することを特徴とする集塵方法。
     
PCT/JP2022/037130 2021-10-06 2022-10-04 電気集塵機及びそれを用いた集塵方法 WO2023058652A1 (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2021164780 2021-10-06
JP2021-164780 2021-10-06

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2023058652A1 true WO2023058652A1 (ja) 2023-04-13

Family

ID=85803507

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/JP2022/037130 WO2023058652A1 (ja) 2021-10-06 2022-10-04 電気集塵機及びそれを用いた集塵方法

Country Status (2)

Country Link
TW (1) TW202335746A (ja)
WO (1) WO2023058652A1 (ja)

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004291012A (ja) 2003-03-26 2004-10-21 Shibaura Mechatronics Corp プレス装置
WO2005091356A1 (ja) 2004-03-19 2005-09-29 Creative Technology Corporation 双極型静電チャック
WO2007066572A1 (ja) 2005-12-06 2007-06-14 Creative Technology Corporation 静電チャック用電極シート及び静電チャック
JP2010075864A (ja) * 2008-09-26 2010-04-08 Panasonic Corp 電気集塵機
WO2015029698A1 (ja) 2013-09-02 2015-03-05 株式会社クリエイティブ テクノロジー パーティクルコレクタシステム及び集塵方法
WO2022064977A1 (ja) * 2020-09-24 2022-03-31 株式会社クリエイティブテクノロジー 集塵機及び集塵方法

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004291012A (ja) 2003-03-26 2004-10-21 Shibaura Mechatronics Corp プレス装置
WO2005091356A1 (ja) 2004-03-19 2005-09-29 Creative Technology Corporation 双極型静電チャック
WO2007066572A1 (ja) 2005-12-06 2007-06-14 Creative Technology Corporation 静電チャック用電極シート及び静電チャック
JP2010075864A (ja) * 2008-09-26 2010-04-08 Panasonic Corp 電気集塵機
WO2015029698A1 (ja) 2013-09-02 2015-03-05 株式会社クリエイティブ テクノロジー パーティクルコレクタシステム及び集塵方法
WO2022064977A1 (ja) * 2020-09-24 2022-03-31 株式会社クリエイティブテクノロジー 集塵機及び集塵方法

Also Published As

Publication number Publication date
TW202335746A (zh) 2023-09-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5500172B2 (ja) 静電吸着構造体及びその製造方法
EP2548299B1 (en) Electroadhesive device, method of adhering a device and electrolaminate system
JP2008041993A (ja) 静電チャック
JP7350339B2 (ja) クリーニング装置
CN106622662B (zh) 电集尘过滤器
KR20140068159A (ko) 그리핑 또는 클램핑 장치 및 물체 핸들링 방법
WO2023058652A1 (ja) 電気集塵機及びそれを用いた集塵方法
JP4105778B2 (ja) 気流搬送装置
US20230381791A1 (en) Dust collector and dust collection method
KR20050018606A (ko) 정전 척 장치용 전극 시트, 정전 척 장치 및 흡착 방법
WO2023058651A1 (ja) プレス金型用電気集塵機及びそれを用いたプレス金型
EP2023695A1 (en) Ion generator
JP2000025948A5 (ja) 静電浮上搬送装置および静電浮上搬送装置付ロボット
JP7249047B2 (ja) 静電吸着体
KR20170122556A (ko) 전기장 흡착 방식을 이용한 이물질 제거 시스템 및 제거 방법
US10766713B2 (en) Substrate carrier apparatus and liquid crystal display manufacturing device
CN117957065A (en) Electric dust collector for pressing mold and pressing mold using same
Fröhlich et al. Design and Evaluation of a Material-adapted Handling System for All-Solid-State Lithium-Ion Battery Production
JP2009274036A (ja) 電気集塵装置
WO2023190247A1 (ja) ワーク吸着装置
JP2004136625A (ja) 帯電防止用シート及び粘着テープ
CN214901402U (zh) 空间除静电设备
CN215906269U (zh) 真空蒸镀异常排除装置及真空蒸镀装置
US20070026691A1 (en) Low-field non-contact charging apparatus for testing substrates
KR20060114848A (ko) 반도체 패키징 장치의 더스트 박스용 정전기 방지 장치

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 22878520

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 2023552899

Country of ref document: JP