WO2007049503A1 - 低振動ポンプ - Google Patents

低振動ポンプ Download PDF

Info

Publication number
WO2007049503A1
WO2007049503A1 PCT/JP2006/320852 JP2006320852W WO2007049503A1 WO 2007049503 A1 WO2007049503 A1 WO 2007049503A1 JP 2006320852 W JP2006320852 W JP 2006320852W WO 2007049503 A1 WO2007049503 A1 WO 2007049503A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
pump
diaphragm
liquid
pulsation
housing
Prior art date
Application number
PCT/JP2006/320852
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
Kenji Mizuno
Yasumasa Oki
Original Assignee
Nitto Kohki Co., Ltd.
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nitto Kohki Co., Ltd. filed Critical Nitto Kohki Co., Ltd.
Priority to EP06812030A priority Critical patent/EP1950416B1/en
Priority to US12/084,045 priority patent/US8162635B2/en
Publication of WO2007049503A1 publication Critical patent/WO2007049503A1/ja

Links

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B43/00—Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members
    • F04B43/02—Machines, pumps, or pumping installations having flexible working members having plate-like flexible members, e.g. diaphragms
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B11/00—Equalisation of pulses, e.g. by use of air vessels; Counteracting cavitation
    • F04B11/0008—Equalisation of pulses, e.g. by use of air vessels; Counteracting cavitation using accumulators
    • F04B11/0033—Equalisation of pulses, e.g. by use of air vessels; Counteracting cavitation using accumulators with a mechanical spring

Definitions

  • the present invention relates to a low vibration pump in which a pulsation absorbing device is integrally added to a pump that sucks and discharges liquid by reciprocation.
  • the present invention has an object to provide a reciprocating liquid pump with a pulsation absorbing device that is suitable for downsizing as a whole without having a complicated structure. .
  • the present invention provides:
  • a low-vibration pump comprising a liquid pump unit and a pulsation absorbing unit, wherein the liquid pump unit is attached to the pump housing, the wing member, and the pump housing member, and defines a pump chamber in the pump housing member.
  • the pulsation absorption unit includes a pulsation absorption housing member mounted on the pump housing member, and a second pulsation absorption chamber which is attached to the pulsation absorption housing member and communicates with the liquid outlet passage of the liquid pump unit.
  • a diaphragm and a panel member that applies pressure to the second diaphragm toward the pulsation absorbing chamber !
  • a low vibration pump is provided.
  • the spring member is a dish panel.
  • the second diaphragm is pressurized by the panel member, so that even if the pulsation acting on the pulsation absorption chamber has a high frequency, the second diaphragm appropriately responds. As a result, pulsation absorption can be performed, and the volume occupied by the panel member can be reduced, so that the size of the pump as a whole can be reduced.
  • each of the first and second diaphragms has an outer peripheral portion that is flexible, a central portion that is rigid, and each of the rigid central portions includes the connecting rod and The spring member can be connected.
  • the first and second diaphragms can be aligned in an axial direction extending in a direction orthogonal to the axial direction of the rotary output shaft, and the first and second diaphragms can have the same diameter. Monkey.
  • the rotation output shaft of the electric rotary motor can be directly connected to the eccentric cam.
  • the output shaft of the electric rotary motor and the eccentric cam are connected without a reduction gear, so that the diaphragm is vibrated at a high frequency.
  • FIG. 1 is a cross-sectional view showing a schematic configuration of a low vibration pump according to the present invention.
  • FIG. 3 is a plan view of a lower housing of the pulsation absorbing unit of the low vibration pump.
  • FIG. 4 is a plan view of the low vibration pump.
  • the DC motor rotation speed is about 1,800-2,500 rpm
  • the pressure fluctuation (pulsation) measurement result in the liquid outlet passage is shown in the left graph.
  • the right graph shows the case where the pulsation absorption mute is removed (both the average pressure is substantially zero).
  • FIG. 6 is a diagram showing the same measurement results when the average pressure in the liquid outlet passage is lOOkP.
  • FIG. 7 is a diagram showing the same measurement result when the average pressure in the liquid outlet passage is 200 kP.
  • FIG. 1 shows a cross-sectional view of a low vibration pump 10 according to the present invention and a side view of the pump.
  • the pump includes a liquid pump unit 12 and a pulsation absorbing unit 14.
  • the liquid pump unit 12 is attached to a pump housing member 15, a DC motor 16, an eccentric cam 20 driven and rotated by a rotary output shaft 18 of the DC motor 16, A first diaphragm 24 defining a pump chamber 22 and a connecting rod 26 connected between the eccentric cam 20 and the first diaphragm 24.
  • a connecting rod 26 that reciprocates in a direction perpendicular to the axial direction of the rotary output shaft 18 and a liquid inlet passage 30 that receives liquid from an external liquid source (not shown) and passes it through the pump chamber 22 (FIG. 2).
  • a liquid outlet passage 32 communicating from the pump chamber 22 to the outside of the liquid pump unit 12.
  • the pump housing member 15 of the liquid pump unit 12 is placed on the base housing part 34 to which the DC motor 16 is attached, and the diaphragm 24 is sandwiched on the base housing part 34.
  • the upper housing part 36 that defines the pump chamber 22 and a passage block 37 that is connected to the upper housing part 36 and has a liquid inlet passage 30 and a liquid outlet passage 32 formed therethrough.
  • the rotation output shaft 18 of the DC motor 16 is set across the base housing portion 34, and the eccentric cam 20 is fixed to the rotation output shaft 18 by a screw 38.
  • the eccentric cam 20 is an eccentric disk attached to the rotary output shaft 18 with an eccentric amount ⁇ on the rotary output shaft 18.
  • the eccentric disk is connected to the connecting rod 26 via a radial bearing 39, and moves the connecting rod 26 up and down to vibrate the diaphragm 24 up and down as the DC motor 16 rotates.
  • the surface 40 facing the diaphragm 24 is curved in a convex shape.
  • the diaphragm 24 is in a liquid suction state away from the curved surface 40 as shown in FIG.
  • the curved surface 40 has substantially the same curvature and vibrates between the contacted liquid discharge states.
  • the diaphragm 24 has a thin and flexible outer peripheral portion, a thick central portion, and the connecting rod 26 is connected to the rigid central portion.
  • a check valve 33 (Fig. 1) is set in the liquid inlet passage 30 and the liquid outlet passage 32 at the boundary portion between the passage block 37 and the upper housing portion 36, and the pump chamber is vibrated by the vibration of the diaphragm 24. The liquid is sucked and discharged to 22 properly.
  • the pulsation absorption unit 14 includes a pulsation absorption housing member 44 attached on the liquid pump unit 12 and a pulsation attached to the pulsation absorption housing member 44 and communicated with the liquid outlet passage 32 of the liquid pump unit 12.
  • a second diaphragm 48 that defines the absorption chamber 46 and a dish panel 50 that applies pressure toward the pulsation absorption chamber 46 to the second diaphragm 48 are provided.
  • the pulsation absorbing housing member 44 is connected to the upper housing part 52 with the cap-shaped upper housing part 52 and the second diaphragm 48 interposed therebetween, and defines the pulsation absorbing chamber 46.
  • the lower housing portion 54 is provided.
  • the counter force surface 56 is concave on the second diaphragm 48 of the lower housing part 54.
  • the curved surface 56 has a central force radial. 4 grooves 58 extending in the middle of each other and a circular groove 60 that connects the grooves to each other in the middle, and a communication hole 62 communicating with the liquid outlet passage 32 of the passage block 37 is provided.
  • the curved surface 56 communicates with the groove 58 at a position where the central force is also shifted. This allows the pressure in the liquid outlet passage 32 to be exerted on the entire diaphragm 48 through the grooves 58,60.
  • the upper housing 52 houses a plurality of dish panels 50 and a pressing member 68 that presses the dish panel 50 against the diaphragm 52.
  • Diaphragm 48 has a thin-walled flexible outer peripheral portion, a thick-walled rigid central portion, and pressure-receiving member 70 is connected to the rigid central portion. Engaging with the lower end of the panel 50, the pressing force of the pan panel 50 is applied to the diaphragm 48.
  • the pulsation absorbing unit 14 has a passage block 3 below the four corners of the pulsation absorbing housing member 44. 7. Connected and fixed to the pump housing and the winging member 15 by a screw 45 that passes through the upper housing portion 36 and is screwed to the base housing portion 34.
  • diaphragm 24 and the diaphragm 48 are aligned in an axial direction (vertical direction in the illustrated example) extending in a direction orthogonal to the axial direction of the rotary output shaft 18 and have the same diameter.
  • FIGS. 5 to 7 are graphs on the left side of the low-vibration pump according to the present invention, respectively, in which the average pressure in the liquid outlet passage 32 is released, that is, there is no discharge pressure (FIG. 5), 100 k P (FIG. 6). ), 200 kP (Fig. 7), the pressure fluctuation (pulsation) measured when the pulsation absorption unit 14 is installed and the pulsation absorption unit 14 is removed on the right side is shown.
  • the present invention is not limited to this.
  • dish panels such as a coil panel or a coiled panel having a corrugated shape.

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Reciprocating Pumps (AREA)
  • Details Of Reciprocating Pumps (AREA)

Abstract

高い周波数で駆動しても適正に脈動を吸収することができる液体ポンプを提供する。 　脈動吸収のための脈動吸収ユニット１４が、ポンプハウジング部材上に取り付けられる脈動吸収ハウジング部材４４と、該脈動吸収ハウジング部材に取り付けられ、液体ポンプユニットの該液体出口通路３２に連通される脈動吸収室４６を画定する第２ダイヤフラム４８と、第２ダイヤフラムに該脈動吸収室に向けての圧力をかける皿バネ５０を有している      

Description

低振動ポンプ
技術分野
[0001] 本発明は、往復動により液体を吸入し吐出するポンプに対して脈動吸収装置を一 体的に付加した低振動ポンプに関する。
背景技術
[0002] この種の往復動液体ポンプを利用する場合には、吐出圧力に脈動のあることが避 けられず、圧力供給先の用途並びに目的によっては、脈動を低減させる構造のもの が開発されている。（例えば、特開 2001— 355568号公報参照）
[0003] しかし、このような従来の脈動吸収装置付往復動液体ポンプでは、脈動吸収部の 構造が複雑且つ大形であった。小形で往復動周期の短 、液体ポンプには適して 、 ないものであった。
発明の開示
発明が解決しょうとする課題
[0004] 本発明は、このような点に鑑み、構造が複雑とはならず、全体として小形化すること に適した脈動吸収装置付往復動液体ポンプを提供することを目的とするものである。 課題を解決するための手段
[0005] すなわち、本発明は、
液体ポンプユニットと脈動吸収ユニットとから成る低振動ポンプであって、 該液体ポンプユニットは、ポンプノ、ウジング部材と、ポンプノ、ウジング部材に取り付 けられ該ポンプノヽゥジング部材内にポンプ室を画定する第 1のダイヤフラムと、ポンプ ハウジング部材の外部からの液体をポンプ室に供給する液体入口通路と、ポンプ室 力 ポンプハウジング部材の外部に液体を吐出する液体出口通路と、電動回転モー タと、該電動回転モータの回転出力軸により駆動回転される偏心カムと、該偏心カム と該第 1ダイヤフラムとの間に連結されるコネクティングロッドであって、偏心カムの回 転に伴って第 1ダイヤフラムに該回転出力軸の軸線方向と直交する方向での往復動 橈みを与えるコネクテイングロッドとを有し、 該脈動吸収ユニットは、該ポンプハウジング部材上に取り付けられる脈動吸収ハウ ジング部材と、該脈動吸収ハウジング部材に取り付けられ、液体ポンプユニットの該 液体出口通路に連通される脈動吸収室を画定する第 2ダイヤフラムと、該第 2ダイヤ フラムに該脈動吸収室に向けての圧力をかけるパネ部材とを有して!/、る
ことを特徴とする低振動ポンプを提供する。
[0006] 好ましくは、該バネ部材を皿パネとする。
すなわち、この低振動ポンプでは、パネ部材により第 2ダイヤフラムを加圧するよう にしているため、脈動吸収室に力かる脈動が高い周波数のものであっても、該第 2ダ ィャフラムが、適正に対応して、脈動吸収を行うことが可能となり、し力も、パネ部材が 占有する容積を小さくすることができるので、ポンプ全体としてサイズを小型化するこ とがでさる。
[0007] 具体的には、該第 1及び第 2ダイヤフラムは、それぞれ、外周部分が可撓性とされ、 その中央部分が剛性とされ、該剛性にされた中央部分にはそれぞれ該コネクティン グロッド及び該バネ部材が連結されるようにすることができる。
第 1及び第 2ダイヤフラムは、該回転出力軸の軸線方向と直交する方向に延びる軸 線方向で整合され、また、第 1及び第 2ダイヤフラムは直径が同一とされるようにするこ とがでさる。
より具体的には、電動回転モータの回転出力軸を直接、該偏心カムに連結するよう にすることができる。
電動回転モータの出力軸と偏心カムとを減速ギアを介在させることなく連結して、ダ ィャフラムを高 、周波数で振動させるようにしたものである。
発明の効果
[0008] 本発明によれば、脈動吸収室に力かる脈動が高 、周波数のものであっても、適正 に脈動吸収を行うことが可能となり、従って、当該電動回転モータにより減速すること なく高い周波数で稼動させることが可能となる。し力も、脈動吸収装置を備えていな 力 Sら全体のサイズを小さくすることが可能となる。 図面の簡単な説明
[0009] [図 1]本発明に係る低振動ポンプの模式的構成を示す断面図である。
O
[1—図 〇 2]同低振動ポンプの側面図である。
[図 3]同低振動ポンプの脈動吸収ユニットの下部ハウジングの平面図である。
[図 4]同低振動ポンプの平面図である。
[図 5]本発明に係る低振動ポンプにおいて DCモータの回転数を約 1, 800〜2, 500 rpmとして、液体出口通路における圧力変動 (脈動）の測定結果を、左側のグラフは 脈動吸収ユニットを取り付けた場合、右側のグラフは左側のグラフは脈動吸収ュ-ッ トを外した場合 (共に平均圧力が実質的にゼロ)を示す図である。
[図 6]液体出口通路における平均圧力を lOOkPとした場合の同様の測定結果を示す 図である。
[図 7]液体出口通路における平均圧力を 200kPとした場合の同様の測定結果を示す 図である。
符号の説明
低振動ポンプ
12 液体ポンプユニット
14 脈動吸収ユニット
15 ポンプノヽゥジング部材
16 DCモータ
18 回転出力軸
20 偏心カム
22 ポンプ室
24 第 1のダイヤフラム
26 =3ネクティングロッド、
30 液体入口通路
32 液体出口通路
34 ベースハウジング部
36 上部ハウジング部
37 通路ブロック 39 ラジアルベアリング
40 湾曲面
44 脈動吸収ハウジング部材
45 ネジ
46 脈動吸収室
48 第 2ダイヤフラム
50 皿パネ
52 上部ハウジング部
54 下部ハウジング部
56 湾曲面
58、 60 溝
62 連通孔
68 押え部材
70 受圧部材
α 偏 、直
発明を実施するための最良の形態
[0011] 本発明を適用した脈動吸収装置付往復動流体ポンプの実施形態を添付図面に基 づき詳細に説明する。
[0012] 図 1は本発明に係る低振動ポンプ 10の断面図、同ポンプの側面図を示している。
図示のように、該ポンプは、液体ポンプユニット 12と脈動吸収ユニット 14と備える。 液体ポンプユニット 12は、ポンプハウジング部材 15と、 DCモータ 16と、該 DCモー タ 16の回転出力軸 18により駆動回転される偏心カム 20と、ポンプノ、ウジング部材 15 に取り付けられ該ポンプハウジング部材内にポンプ室 22を画定する第 1のダイヤフラ ム 24と、偏心カム 20と第 1ダイヤフラム 24との間に連結されるコネクティングロッド 26 であって、偏心カム 20の回転に伴って第 1ダイヤフラム 24に該回転出力軸 18の軸 線方向と直交する方向で往復動橈みを与えるコネクテイングロッド 26と、図示しない 外部液体源からの液体を受け入れてポンプ室 22に通す液体入口通路 30 (図 2)と、 ポンプ室 22から該液体ポンプユニット 12の外部に連通する液体出口通路 32とを有 する。
[0013] より詳細には、該液体ポンプユニット 12のポンプハウジング部材 15は、 DCモータ 1 6が取り付けられるベースハウジング部 34と、該ベースハウジング部 34上にダイヤフ ラム 24を挟んで載置され、ポンプ室 22を画定する上部ハウジング部 36と、該上部ハ ウジング部 36上に連結され、内部を通して液体入口通路 30と液体出口通路 32とが 形成されている通路ブロック 37とを有する。 DCモータ 16の回転出力軸 18は、ベー スハウジング部 34を横断して設定され、偏心カム 20は、ビス 38によって回転出力軸 18に固定されている。該偏心カム 20は、図示の例では、回転出力軸 18に偏心量 α をもって回転出力軸 18に取り付けられた偏心円盤とされている。該偏心円盤は、ラジ アルベアリング 39を介してコネクテイングロッド 26に連接されており、 DCモータ 16の 回転に伴ってコネクテイングロッド 26を上下動してダイヤフラム 24を上下に振動させ る。
[0014] 上部ハウジング部 36は、ダイヤフラム 24に向う面 40が凸状に湾曲しており、これに 対して、ダイヤフラム 24が、図 1に示すように湾曲面 40から離れた液体吸入状態と、 該湾曲面 40と略同じ曲率となって接する液体吐出状態との間で振動するようになさ れている。
[0015] ダイヤフラム 24は、外周部分が薄肉の可撓性とされ、その中央部分が厚肉の剛性 とされ、該剛性にされた中央部分に該コネクティングロッド 26が連結されている。
[0016] 通路ブロック 37と上部ハウジング部 36との境界部分における液体入口通路 30及 び液体出口通路 32には逆止弁 33 (図 1)が設定されており、ダイヤフラム 24の振動 によって、ポンプ室 22に対する液体の吸引吐出が適正に行われるようにされている。
[0017] 脈動吸収ユニット 14は、該液体ポンプユニット 12上に取り付けられる脈動吸収ハウ ジング部材 44と、該脈動吸収ハウジング部材 44に取り付けられ、液体ポンプユニット 12の液体出口通路 32に連通される脈動吸収室 46を画定する第 2ダイヤフラム 48と 、該第 2ダイヤフラム 48に脈動吸収室 46に向けての圧力をかける皿パネ 50とを有し ている。
[0018] 詳細には、脈動吸収ハウジング部材 44は、キャップ状の上部ハウジング部 52と、第 2ダイヤフラム 48を挟んで該上部ハウジング部 52に連結され、脈動吸収室 46を画定 して 、る下部ハウジング部 54とを有して 、る。下部ハウジング部 54の第 2ダイヤフラ ム 48に向力 面 56は凹状とされており、下部ハウジング部 54を上から見た図 3に示さ れるように、該湾曲面 56には、その中央力 放射状に延びる 4本の溝 58と該溝をそ の中間で相互に連通して 、る円形の溝 60が設けられており、通路ブロック 37の液体 出口通路 32に連通されている連通孔 62が当該湾曲面 56に中心力もずれた位置で 溝 58に連通されている。これは液体出口通路 32内の圧力が溝 58, 60を通してダイ ャフラム 48の全体に対して力かるようにするものである。
[0019] 上部ハウジング 52は複数の皿パネ 50と、該皿パネ 50をダイヤフラム 52に対して押 さえつける押え部材 68とを収納している。ダイヤフラム 48は、外周部分が薄肉の可 橈性とされ、その中央部分が厚肉の剛性とされ、該剛性にされた中央部分に該受圧 部材 70が連結されており、該受圧部材 70は皿パネ 50の下端と係合して、皿パネ 50 の押圧力をダイヤフラム 48にかけている。
[0020] 本発明に係る低振動ポンプを上方力も見た図（平面図）である図 4に示すように、脈 動吸収ユニット 14は、脈動吸収ハウジング部材 44の四隅から下方に、通路ブロック 3 7、上部ハウジング部 36を通り、ベースハウジング部 34までネジ込まれたネジ 45によ つてポンプノ、ウジング部材 15に連結固定されている。
[0021] 尚、ダイヤフラム 24及びダイヤフラム 48は、回転出力軸 18の軸線方向と直交する 方向に延びる軸線方向（図示の例では垂直方向）で整合され、直径が同一にされて いる。
[0022] 図 5乃至図 7は、それぞれ、その左側のグラフが本発明に係る低振動ポンプにおい て、液体出口通路 32における平均圧力を開放すなわち吐出圧力なし（図 5)、 100k P (図 6)、 200kP (図 7)で稼動し、脈動吸収ユニット 14を取り付けた場合、右側が脈 動吸収ユニット 14を外した場合とでの圧力変動 (脈動)を測定した例を示すものであ る。
[0023] これから分るとおり、 DCモータの回転数を約 1, 800〜2, 500rpmで回転して当該 ポンプを高 ヽ回転数で稼動させた場合でも、脈動吸収に顕著な効果を示して ヽるこ とが分る。
[0024] 以上、本発明に係る低振動ポンプの実施形態を説明したが、本発明はこれに限定 されるものではなぐ例えば、皿パネはコイルパネや、コイルパネの各卷回部分を波 打ち形状としたものなど、種々のものを用いることができる。

Claims

請求の範囲
[1] 液体ポンプユニットと脈動吸収ユニットとから成る低振動ポンプであって、
該液体ポンプユニットは、
頂部壁部、及び、該頂部壁部の周囲力 下方に延びる周壁部を有するポンプハウ ジング部材と、
該ポンプノヽゥジング部材内に頂部壁に対向するように取り付けられて頂部壁部との 間にポンプ室を画定する第 1のダイヤフラムと、
該第 1のダイヤフラムの中央部分に連結されて、該第 1のダイヤフラムを該頂部壁に 向う方向での往復動橈みを与える駆動装置と、
を有し、
該ポンプハウジングには、該ポンプハウジング部材の外部からの液体をポンプ室に 供給する液体入口通路と、ポンプ室力 ポンプノ、ウジング部材の外部に液体を吐出 する液体出口通路とが設けられ、
該脈動吸収ユニットは、
該ポンプハウジング部材の該頂部壁上に載置固定された脈動吸収ハウジング部材 と、
該脈動吸収ハウジング部材内に取り付けられ、液体ポンプユニットの該液体出口通 路に連通される脈動吸収室を画定する第 2ダイヤフラムと、
該第 2ダイヤフラムに該脈動吸収室に向けての圧力をかけるパネ部材と を有する低振動ポンプ。
[2] 該ポンプハウジングが、
該第 1のダイヤフラムの周縁に密封係合される上部周縁を有し、該上部周縁から下 方に延びる壁を有するベースハウジング部と、
該ベースハウジング部上に載置固定された上部ハウジング部であって、該第 1のダ ィャフラムに密封係合される周縁に密封係合され、且つ、該第 1のダイヤフラムの上 面に対向配置され、該第 1のダイヤフラムとの間に該ポンプ室を画定する壁面を有す る上部ハウジング部と、を備える請求項 1に記載の低振動ポンプ。
[3] 該ポンプハウジングが、 上部ハウジング部上に載置固定された通路ブロックであって、該液体入口通路及 び該液体出口通路が形成されて!ヽる通路ブロックを備え、
該脈動吸収ハウジング部材が、該通路ブロック上に載置固定されて 、る 請求項 2に記載の低振動ポンプ。
[4] 該駆動装置は、ポンプハウジング部材に取り付けられた電動回転モータと、該電動 回転モータによって駆動され、該頂部壁にほぼ平行に延びる軸線の周りで回転する 偏心カムと、該偏心カムと該第 1ダイヤフラムの中央部分との間に連結されるコネクテ イングロッドであって、偏心カムの回転に伴って第 1ダイヤフラムに該軸線と直交する 方向での往復動橈みを与えるコネクテイングロッドとを有する請求項 1乃至 3のいずれ かに記載の低振動ポンプ。
[5] 該第 1及び第 2ダイヤフラムは、それぞれ、その中央部分が剛性とされ、該中央部 分と該周縁との間の環状部分が可撓性とされ、該剛性にされた中央部分にはそれぞ れ該コネクティングロッド及び該バネ部材が連結されている請求項 4に記載の低振動 ポンプ。
[6] 該バネ部材は皿パネであることを特徴とする請求項 1乃至 5の 、ずれかに記載の低 振動ポンプ。
[7] 第 1及び第 2ダイヤフラムは直径が同一にされていることを特徴とする請求項 1乃至
5の!、ずれかに記載の低振動ポンプ。
[8] 該電動回転モータの回転出力軸が直接、該偏心カムに連結されている請求項 4に 記載の低振動ポンプ。
PCT/JP2006/320852 2005-10-25 2006-10-19 低振動ポンプ WO2007049503A1 (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
EP06812030A EP1950416B1 (en) 2005-10-25 2006-10-19 Low vibration pump
US12/084,045 US8162635B2 (en) 2005-10-25 2006-10-19 Low vibration pump

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005-310391 2005-10-25
JP2005310391A JP4565564B2 (ja) 2005-10-25 2005-10-25 低振動ポンプ

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2007049503A1 true WO2007049503A1 (ja) 2007-05-03

Family

ID=37967616

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/JP2006/320852 WO2007049503A1 (ja) 2005-10-25 2006-10-19 低振動ポンプ

Country Status (4)

Country Link
US (1) US8162635B2 (ja)
EP (1) EP1950416B1 (ja)
JP (1) JP4565564B2 (ja)
WO (1) WO2007049503A1 (ja)

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5225967B2 (ja) * 2009-11-24 2013-07-03 シルバー株式会社 洗剤供給用ポンプ
US20140134019A1 (en) * 2012-11-15 2014-05-15 Mindray Medical Sweden Ab Magnetic circuit
WO2014076239A1 (en) * 2012-11-15 2014-05-22 Mindray Medical Sweden Ab Extended elasticity of pump membrane with conserved pump force
JP5918745B2 (ja) * 2013-12-19 2016-05-18 株式会社タクミナ 往復動ポンプ
WO2015116230A1 (en) * 2014-02-03 2015-08-06 Cummins Inc. Camshaft thrust control secured by drive gear
EP3452721B1 (en) * 2016-05-06 2020-04-15 Graco Minnesota Inc. Mechanically driven modular diaphragm pump
FR3058766B1 (fr) * 2016-11-16 2018-12-14 Atlas Copco Crepelle S.A.S. Compresseur alternatif
DE102020115618A1 (de) 2020-06-12 2021-12-16 Knf Flodos Ag Oszillierende Verdrängermaschine, insbesondere oszillierende Verdrängerpumpe

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB2110312A (en) 1981-11-28 1983-06-15 Erich Becker Diaphragm pump
JPH02112981A (ja) 1988-10-21 1990-04-25 Matsushita Electric Ind Co Ltd 多色プリンタ及びインクリボン駆動方法
JPH02112981U (ja) * 1989-02-23 1990-09-10
JPH1089258A (ja) 1996-09-17 1998-04-07 Smc Corp 脈動減衰器付ダイヤフラムポンプ
JP2001355568A (ja) 2001-05-07 2001-12-26 Nippon Pillar Packing Co Ltd 半導体製造装置用ポンプ
WO2003078841A1 (de) 2002-03-19 2003-09-25 Knf Neuberger Gmbh Pumpe

Family Cites Families (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2042510A (en) * 1933-12-01 1936-06-02 Richard T Cornelius Motor pump unit
US3000320A (en) * 1957-07-18 1961-09-19 Ring Sandiford Pump
US3867963A (en) * 1972-11-14 1975-02-25 Allan Ballard Pulsation reducer
US3972654A (en) * 1974-05-20 1976-08-03 Clayton Manufacturing Company Diaphragm pump boiler feed water system
US3941519A (en) * 1974-09-12 1976-03-02 Mccauley Herbert J Pump
JPS5434109U (ja) * 1977-08-11 1979-03-06
JPS5434109A (en) 1977-08-22 1979-03-13 Toshiba Corp Compressor
US4265600A (en) * 1978-09-05 1981-05-05 Harold Mandroian Pump apparatus
US5096400A (en) * 1988-12-17 1992-03-17 Alfred Teves Gmbh Hydraulic pump
US5210382A (en) * 1991-08-23 1993-05-11 Hydraulic Power Systems, Inc. Belleville washer spring type pulsation damper, noise attenuator and accumulator
US5335584A (en) * 1993-03-30 1994-08-09 Baird Dayne E Improved diaphragm
JPH0727043A (ja) 1993-07-09 1995-01-27 Fujitsu Ltd 送液ポンプ
JPH1019652A (ja) 1996-06-27 1998-01-23 Shimadzu Corp 電子天びん
JP3310566B2 (ja) 1997-01-10 2002-08-05 日本ピラー工業株式会社 半導体製造装置用ポンプ
DE10112618A1 (de) * 2001-03-14 2002-09-19 Bosch Gmbh Robert Kolbenpumpe
JP2004124894A (ja) * 2002-10-07 2004-04-22 Shibata Kagaku Kk ダイヤフラムポンプ
JP2004278323A (ja) * 2003-03-13 2004-10-07 Enomoto Micro Pump Seisakusho:Kk ダイヤフラムポンプ

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB2110312A (en) 1981-11-28 1983-06-15 Erich Becker Diaphragm pump
JPS58104379A (ja) * 1981-11-28 1983-06-21 エ−リツヒ・ベツカ− ダイヤフラムポンプ
JPH02112981A (ja) 1988-10-21 1990-04-25 Matsushita Electric Ind Co Ltd 多色プリンタ及びインクリボン駆動方法
JPH02112981U (ja) * 1989-02-23 1990-09-10
JPH1089258A (ja) 1996-09-17 1998-04-07 Smc Corp 脈動減衰器付ダイヤフラムポンプ
JP2001355568A (ja) 2001-05-07 2001-12-26 Nippon Pillar Packing Co Ltd 半導体製造装置用ポンプ
WO2003078841A1 (de) 2002-03-19 2003-09-25 Knf Neuberger Gmbh Pumpe
JP2005527727A (ja) * 2002-03-19 2005-09-15 カー エヌ エフ ノイベルガー ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング ポンプ

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
See also references of EP1950416A4 *

Also Published As

Publication number Publication date
JP2007120338A (ja) 2007-05-17
US8162635B2 (en) 2012-04-24
EP1950416B1 (en) 2012-12-19
EP1950416A4 (en) 2011-05-18
JP4565564B2 (ja) 2010-10-20
US20090155105A1 (en) 2009-06-18
EP1950416A1 (en) 2008-07-30

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2007049503A1 (ja) 低振動ポンプ
JP3806859B2 (ja) ダイヤフラムポンプ
KR101746009B1 (ko) 급속 토출밸브 구조체 및 다이아프램 펌프
KR101088943B1 (ko) 압전 마이크로 블로어
JP3536860B2 (ja) 容積可変型ポンプ
US20090232684A1 (en) Piezoelectric micro-blower
JPH11508984A (ja) 調量ポンプ
JPS5815779A (ja) 膜ポンプ
JP2018123809A (ja) モーター付きポンプ
CA2589643A1 (en) Compressors for hand held oral care devices
JP2015081598A (ja) 自動減圧ポンプ
JP2003293958A (ja) 液体用ダイヤフラムポンプ
JP2018112127A (ja) ダイヤフラムポンプ
JP5248267B2 (ja) ポンプ
JP5419008B2 (ja) ポンプ装置
US2920573A (en) Diaphragm feed pump
JP4389226B2 (ja) 搾乳器
CN110005596A (zh) 一种驱动式压电隔膜泵
US20080260556A1 (en) Integrated pump and motor
JP4074980B2 (ja) ダイヤフラムポンプ
CN111734611A (zh) 流量可控型液泵及其工作方法
JPH0942161A (ja) 小型ポンプ
JP2005023788A (ja) ポンプ
CN213235392U (zh) 流量可控型液泵
JP2021143647A (ja) 圧力調整装置

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application
WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 12084045

Country of ref document: US

Ref document number: 2006812030

Country of ref document: EP

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE