JPH1089258A - 脈動減衰器付ダイヤフラムポンプ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 脈動減衰器付ダイヤフラムポンプにおいて、
センタープレートに組み合わせる部材及び密封個所を少
なくすることを課題とする。 【解決手段】 脈動減衰器付ダイヤフラムポンプにおい
て、サイドカバー12又はサイドボディ11に形成された嵌
合用凹部にセンタープレート10が嵌合され、サイドカバ
ー12及びセンタープレート10の右側部にサイドボディ11
の左側部が当接されている。サイドボディ11の右側部と
サイドプレート13の左側部とによって構成された空所が
第３ダイヤフラムによって脈動減衰器の脈動減衰室と空
気室とに区分されている。サイドカバー12とサイドプレ
ート13との間にセンタープレート10及びサイドボディ11
が挟持され、左右のポンプ室と吐出口41とが脈動減衰室
に連通されている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、化学薬品、塗料、
飲料等の各種流体を移送するための、エア駆動によるダ
イヤフラム式で脈動減衰器を内蔵したポンプに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来の脈動減衰器付ダイヤフラムポンプ
は、２枚のダイヤフラムがセンタープレート（中央ハウ
ジング）の上下両側と２個のハウジングカバーによって
それぞれ挟持され、この連結体の上下に密封カバーが連
結され、連結体の前側部にポンプハウジングが連結さ
れ、連結体の後側部に脈動制御器ハウジング及び脈動制
御器ハウジングカバーが連結され、連結体の右側部に制
御ブロックが連結されている。上下両側のダイヤフラム
とセンタープレートとの間の空間がそれぞれポンプ室と
なり、上下両側のダイヤフラムとハウジングカバーとの
間の空間がそれぞれ駆動室となっている。流入側の各チ
ェック弁は、センタープレートとポンプハウジングとの
間に配設され、吐出側の各チェック弁はセンタープレー
トと脈動制御器ハウジングとの間に配設されている。ま
た、脈動制御器ハウジングと脈動制御器ハウジングカバ
ーとの間に脈動制御器用ダイヤフラムが挟持され、脈動
制御器用ダイヤフラムの前側には吐出流体が作用し、脈
動制御器用ダイヤフラムの後側には空気圧が作用するよ
うに構成されている。（例えば、特開平５−２４０１６
１号公報参照）

【０００３】従来の脈動減衰器付ダイヤフラムポンプ
は、センタープレートの上下に各２部材、センタープレ
ートの前・右に各１部材、センタープレートの後側に２
部材が組み合わせてあり、組合せ時に位置決め（芯合わ
せ）をし、７つの組合せ個所で密封する必要がある。ま
た、チェック弁を点検したり交換したりする場合には、
センターハウジングの前後のポンプハウジング及び脈動
制御器ハウジング・脈動制御器ハウジングカバーを取り
外す必要がある。そして、ダイヤフラムの点検・交換に
は、センターハウジングから上下のハウジングカバー・
密封カバーを取り外す必要がある。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、脈動減衰器
付ダイヤフラムポンプにおいて、センタープレートに組
み合わせる部材及び密封個所を少なくすることを第１の
課題とし、チェック弁及びダイヤフラムの交換を容易に
することを第２の課題とし、更に脈動減衰器の機能を向
上させることを第３の課題とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明は、前記課題を達
成するために、センタープレートとその両側のサイドカ
バー及びサイドボディとによって構成された空所が、第
１ダイヤフラム及び第２ダイヤフラムによって内側の左
右の駆動室と外側の左右のポンプ室とにそれぞれ区分さ
れ、センタープレートの挿通孔に挿通された連結部材に
よって第１ダイヤフラムと第２ダイヤフラムとが連結さ
れ、制御装置によって左右の駆動室が交互に給排気さ
れ、吸込口と左右のポンプ室とがチェック弁を介して連
通され、左右のポンプ室と吐出口とがチェック弁を介し
て連通されたダイヤフラムポンプにおいて、サイドカバ
ー又はサイドボディに形成された嵌合用凹部にセンター
プレートが嵌合され、サイドカバー及びセンタープレー
トの右側部にサイドボディの左側部が当接され、サイド
ボディの右側部とサイドプレートの左側部とによって構
成された空所が第３ダイヤフラムによって脈動減衰器の
脈動減衰室と空気室とに区分され、サイドカバーとサイ
ドプレートとの間にセンタープレート及びサイドボディ
が挟持され、左右のポンプ室と吐出口とが脈動減衰室に
連通されていることを特徴とする脈動減衰器付ダイヤフ
ラムポンプとなしたことを第１の構成とする。本発明
は、第１の構成において、吸込口と左右のポンプ室とを
連通する通路、左右のポンプ室と脈動減衰室とを連通す
る通路及び脈動減衰室と吐出口とを連通する通路が、サ
イドボディ及びサイドカバー内に配設され、前記制御装
置がセンタープレート内に配設されたことを第２の構成
とする。本発明は、第１又は第２の構成において、第１
ダイヤフラムの外周部がサイドカバーの右側挟持部とセ
ンタープレートの左側挟持部とによって挟持され、かつ
第２ダイヤフラムの外周部がセンタープレートの右側挟
持部とサイドボディの左側挟持部とによって挟持され
て、サイドカバー、センタープレート及びサイドボディ
が長ボルトにより連結され、第３ダイヤフラムがサイド
ボディの右側挟持部とサイドプレートの左側挟持部とに
よって挟持されて、サイドプレートとサイドボディとが
短ボルトにより連結されたことを第３の構成とする。本
発明は、第１ないし第３のいずれかの構成において、サ
イドカバー及びサイドボディに、その上面及び下面に開
口する段付挿入穴が形成され、各段付挿入穴にチェック
弁が挿入され、各段付挿入穴がチェック弁カバーによっ
て閉鎖され、吸込口が左右の吸込側チェック弁を介して
左右のポンプ室に連通され、左右のポンプ室が左右の吐
出側チェック弁を介して脈動減衰室に連通されたことを
第４の構成とする。本発明は、第４の構成において、吸
込口及び吐出口がサイドカバー及びサイドボディのそれ
ぞれの前端面に開口され、又は吸込口及び吐出口がサイ
ドボディの前端面に開口され、サイドカバー及びサイド
ボディの前端部にチェック弁が配設され、吸込口が左右
の吸込側チェック弁の流入側に連通され、脈動減衰室が
左右の吐出側チェック弁の流出側に連通されたことを第
５の構成とする。本発明は、第５の構成において、チェ
ック弁が略円筒状の弁座体、チェック弁体及びチェック
弁カバーにより構成され、チェック弁カバーの側部には
連通口が形成され、吸込側のチェック弁カバーは弁座体
の下側に配置され、吐出側のチェック弁カバーは弁座体
の上側に配置され、吸込側チェック弁の連通口は吸込側
通路を通して吸込口に連通され、吐出側チェック弁の連
通口は吐出側通路を通して脈動減衰室に連通されたこと
を第６の構成とする。本発明は、第１ないし第６のいず
れかの構成において、エア供給口とエア排気口とがセン
タープレートの後端面に開口され、センタープレートに
制御装置の切換弁が配設され、切換弁のスプールの後端
にスプリングの弾発力及び空気圧が常に作用し、スプー
ルの前端にパイロット空気圧が作用するように構成され
たことを第７の構成とする。本発明は、第１ないし第７
のいずれかの構成において、脈動減衰器の空気室が、吸
気弁を介してエア供給口に連通されるとともに排気弁を
介してエア排気口に連通され、前記脈動減衰室の圧力が
所定値以上に上昇されるときにのみ吸気弁が開かれ、前
記脈動減衰室の圧力が所定量以下に下降されるときにの
み排気弁が開かれるように構成されたことを第８の構成
とする。本発明は、第８の構成において、第３ダイヤフ
ラムにダイヤフラム位置検出レバーが連結され、ダイヤ
フラム位置検出レバーの先端の右側の対向位置に吸気弁
のプッシュロッドが配置され、ダイヤフラム位置検出レ
バーの先端の左側の対向位置に排気弁のプッシュロッド
が配置されたことを第９の構成とする。

【０００６】

【発明の実施の形態】図１〜図８は、本発明の脈動減衰
器付ダイヤフラムポンプの実施の形態を示す。本発明の
実施の形態の説明において、各部材の位置は図１の位置
を基本にして称することとし、例えばサイドカバー12の
左側面（外側面）・右側面・前端面・後端面、センター
プレート10の左側面・右側面、サイドボディ11の左側面
・右側面、サイドプレート13の左側面・右側面（外側
面）ということとする。図１は、樹脂カバーを除いた脈
動減衰器付ダイヤフラムポンプの分解斜視図であり、脈
動減衰器付ダイヤフラムポンプはセンタープレート10、
サイドボディ11、サイドカバー12及びサイドプレート13
の４グループに大別される。なお、樹脂カバー14は、吸
込口40、吐出口41、エア供給口62及びエア排気口63の近
傍を除く大部分を覆っており、図３(a) ・図７以外の図
面には樹脂カバー14は示されていない。ダイヤフラムポ
ンプのエア駆動機構は、図８の回路図に示されるとおり
であり、エア駆動機構はセンタープレート10に配設され
ている。

【０００７】図４、図５及び図８に示されているよう
に、センタープレート10の中心部に中央孔20（挿通孔）
が形成され、センタープレート10の両面に中央孔20を中
心とした円周上に所定幅で環状の第２挟持部（センター
プレート10の左側挟持部）22Ａ及び第３挟持部（センタ
ープレート10の右側挟持部）22Ｂが形成されている。第
２挟持部22Ａ及び第３挟持部22Ｂの表面には不図示の複
数個のＶ字溝が形成されており、Ｖ字溝は第１ダイヤフ
ラム15Ａ及び第２ダイヤフラム15Ｂが挟持されたときの
把持力を向上させるためのものである。第２挟持部22Ａ
及び第３挟持部22Ｂの半径方向内側には截頭円錐状の傾
斜部24Ａ・24Ｂ、段差部及び環状の平坦部25Ａ・25Ｂが
連続して形成され、平坦部25Ａ・25Ｂの半径方向内側は
中央孔20に接続されている。

【０００８】センタープレート10の中央孔20には長手方
向の中央部に開口する環状溝が形成され、この環状溝に
環状のパッキン21が装着されている。中央孔20に連結シ
ャフト27が挿通され、中央孔20の長手方向の両端には軸
受26Ａ・26Ｂが装着されており、連結シャフト27は軸受
26Ａ・26Ｂにより摺動自在に支持され、またパッキン21
によって中央孔20と連結シャフト27との間が密封状態に
維持されている。第１ダイヤフラム15Ａ及び第２ダイヤ
フラム15Ｂの中央部は、内側ダイヤフラムシェル28Ａ・
28Ｂ及び外側ダイヤフラムシェル29Ａ・29Ｂによってそ
れぞれ挟持され、挟持されたものにボルト30Ａ・30Ｂが
挿通され、ボルト30Ａ・30Ｂは連結シャフト27の両側の
ねじ部に螺合されている。連結シャフト27とボルト30Ａ
・30Ｂとにより、第１ダイヤフラム15Ａと第２ダイヤフ
ラム15Ｂとを連結する連結部材23が構成されている。連
結シャフト27の両端の半径方向内側に環状の凹部が形成
され、また内側ダイヤフラムシェル28Ａ・28Ｂの内側中
央部には環状の凸部が形成されており、連結シャフト27
の環状の凹部と内側ダイヤフラムシェル28Ａ・28Ｂの環
状の凸部との間にＯリングが挟持され密封されている。
また、内側ダイヤフラムシェル28Ａ・28Ｂの外側中央部
には円錐状部が形成され、この円錐状部と外側ダイヤフ
ラムシェル29Ａ・29Ｂの半径方向内方端部の内側との間
にＯリングが挟持され密封されている。

【０００９】サイドカバー12の右側面（図５では上側
面）には、センタープレート10を嵌合するための嵌合用
凹部16が形成され、嵌合用凹部16の右側面が開口されて
いる。嵌合用凹部16は、開口端で前端部（図５では右端
部）の第１当接部（サイドカバー12の右側当接部）31Ａ
に対して垂直方向に連続した嵌合部31Ｄと、嵌合部31Ｄ
に対して垂直な第１Ａ当接部（サイドカバー12の右側Ａ
当接部）31Ｃとから構成され、第１Ａ当接部31Ｃには皿
状の第１凹部（サイドカバー12の右側凹部）31Ｂが形成
されている。サイドボディ11の左側面（図５では下側
面）には、第２当接部（サイドボディ11の左側当接部）
32Ａと皿状の第２凹部（サイドボディ11の左側凹部）32
Ｂとが形成され、第２当接部32Ａの前端部（図５では右
端部）はサイドカバー12の第１当接部31Ａに当接される
部分である。第１Ａ当接部31Ｃ及び第２当接部32Ａの平
面で、第１凹部31Ｂ及び第２凹部32Ｂに隣接する環状面
は第１ダイヤフラム15Ａ及び第２ダイヤフラム15Ｂの為
の第１挟持部（サイドカバー12の右側挟持部）及び第４
挟持部（サイドボディ11の左側挟持部）となる。

【００１０】サイドボディ11の右側面（図５では上側
面）には、第３当接部（サイドボディ11の右側当接部）
33Ａと皿状の第３凹部（サイドボディ11の右側凹部）33
Ｂとが形成され、またサイドボディ11の右側面の後方上
部にはバルブボディ用の嵌合部33Ｃが形成されている。
サイドプレート13の左側面（図５では下側面）には、第
４当接部（サイドプレート13の左側当接部）34Ａ及び第
４凹部（サイドプレート13の左側凹部）34Ｂが形成され
ており、第４凹部34Ｂの中央部には環状突起34Ｃが一体
に形成されている。第４当接部34Ａの面上であって第４
凹部34Ｂに隣接した部分に、脈動減衰器用ダイヤフラム
（第３ダイヤフラム）15Ｃを挟持するための第６挟持部
（サイドプレート13の左側挟持部）34Ｄが形成されてい
る。サイドプレート13の後方上部（図７では左上部）に
はバルブボディ39がボルト30Ｄにより連結されており、
バルブボディ39の凹部39Ａにはダイヤフラム位置検出レ
バー46の先端が挿入され、ダイヤフラム位置検出レバー
46の基端はダイヤフラムシェル28Ｃに連結されている。

【００１１】ポンプ駆動用の制御装置が内装され、かつ
第１ダイヤフラム15Ａ・第２ダイヤフラム15Ｂが装着さ
れたセンタープレート10が、サイドカバー12の嵌合用凹
部16に嵌合されている。センタープレート10の前端部
（図３・図５では右端部）がサイドカバー12の嵌合部31
Ｄに近接しており、センタープレート10の左側面（図５
では下側面）がサイドカバー12の第１Ａ当接部31Ｃに当
接されている。図１・図５から分かるように、サイドボ
ディ11、センタープレート10及びサイドカバー12の３グ
ループを相互に当接させ連結した状態で、サイドカバー
12の左側からサイドカバー12の挿通孔19Ａ及びセンター
プレート10の挿通孔19Ｂに六角穴付の８本の長ボルト17
が挿通され、長ボルト17がサイドボディ11の左側のねじ
孔35に螺合される。こうして、サイドボディ11、センタ
ープレート10及びサイドカバー12が連結される。なお、
センタープレート10には不図示の位置決めピンの凸部が
形成され、サイドボディ11及びサイドカバー12には不図
示の位置決めピンの凹部が形成されており、この凸部を
凹部に係合させて位置決めを行った後に前記の連結が行
われる。このとき、サイドカバー12の第１当接部31Ａが
サイドボディ11の第２当接部32Ａに当接され、サイドカ
バー12の第１Ａ当接部31Ｃがセンタープレート10の左側
面及び第１ダイヤフラム15Ａ外面の外周部に当接されて
いる。

【００１２】サイドボディ11にサイドプレート13を当接
した状態で、サイドプレート13の右側からサイドプレー
ト13の挿通孔19Ｃに六角穴付の６本の短ボルト18が挿通
され、短ボルト18がサイドボディ11の右側面のねじ孔に
螺合されている。こうして、サイドボディ11にサイドプ
レート13も連結されることとなる。サイドプレート13の
左側面の第６挟持部34Ｄには不図示のＶ字溝が形成され
ており、第３ダイヤフラム15Ｃの外周部が第６挟持部34
Ｄに当接されている。第３ダイヤフラム15Ｃの中央部
は、２個のダイヤフラムシェル28Ｃ・29Ｃによって挟持
され、挟持されたものにボルト30Ｃが挿通され、ボルト
30Ｃはガイドシャフト36のねじ部に螺合されている。サ
イドプレート13の環状突起34Ｃの内周に軸受26Ｃが装着
されており、ガイドシャフト36は軸受26Ｃに摺動自在に
支持されている。

【００１３】サイドボディ11、センタープレート10及び
サイドカバー12の連結により、第１ダイヤフラム15Ａの
外周部がサイドカバー12の右側面の第１Ａ当接部31Ｃの
第１挟持部とセンタープレート10の左側面の第２挟持部
22Ａによって挟持され、また第２ダイヤフラム15Ｂの外
周部がサイドボディ11の左側面の第２当接部32Ａの第４
挟持部とセンタープレート10の右側面の第３挟持部22Ｂ
によって挟持されている。センタープレート10の左右両
面と第１ダイヤフラム15Ａ・第２ダイヤフラム15Ｂとの
間に、気密状態の第１駆動室（左駆動室）37Ａ・第２駆
動室（右駆動室）37Ｂがそれぞれ形成されている。サイ
ドカバー12の第１凹部31Ｂと第１ダイヤフラム15Ａとの
間に第１ポンプ室（左ポンプ室）38Ａが形成され、サイ
ドボディ11の第２凹部32Ｂと第２ダイヤフラム15Ｂとの
間に第２ポンプ室（右ポンプ室）38Ｂが形成されてい
る。サイドボディ11及びサイドプレート13の連結によ
り、第３ダイヤフラム15Ｃの外周部がサイドプレート13
の左側面の第６挟持部34Ｄとサイドボディ11の右側面の
第５挟持部（サイドボディ11の右側挟持部）によって挟
持され、またバルブボディ39がサイドボディ11の右側面
のバルブボディ嵌合部33Ｃに嵌合される。サイドボディ
11の第３凹部33Ｂと第３ダイヤフラム15Ｃとの間に脈動
減衰室97Ａが形成され、サイドプレート13の第４凹部34
Ｂと第３ダイヤフラム15Ｃとの間に脈動減衰器の空気室
97Ｂが形成されている。

【００１４】図２(b),(d) で見て、サイドカバー12及び
サイドボディ11の右端部の肉厚部には、図１・図４〜図
６に示されているように、下端が開口され垂直方向に向
いた吸込側第１段付挿入穴44Ａ・吸込側第２段付挿入穴
44Ｂが形成され、また上端が開口され垂直方向に向いた
吐出側第１段付挿入穴45Ａ・吐出側第２段付挿入穴45Ｂ
が形成されている。吸込側第１段付挿入穴44Ａ・吸込側
第２段付挿入穴44Ｂは開口側（下側）が大径で、上側が
小径であり、吸込側第１段付挿入穴44Ａ・吸込側第２段
付挿入穴44Ｂの小径部はそれぞれ吸込側第１通路47Ａ・
吸込側第２通路47Ｂを介して第１ポンプ室38Ａ・第２ポ
ンプ室38Ｂに連通されている。吐出側第１段付挿入穴45
Ａ・吐出側第２段付挿入穴45Ｂは開口側（上側）が大径
で、下側が小径であり、吐出側第１段付挿入穴45Ａ・吐
出側第２段付挿入穴45Ｂの小径部はそれぞれ吐出側第１
通路48Ａ・吐出側第２通路48Ｂを介して第１ポンプ室38
Ａ・第２ポンプ室38Ｂに連通されている。

【００１５】吸込側第１段付挿入穴44Ａ・吸込側第２段
付挿入穴44Ｂには、Ｏリング43、チェック弁体53、吸入
側弁座体50Ａ・50Ｂ、Ｏリング42が挿入され、次いでチ
ェック弁カバー52によって各挿入穴44Ａ・44Ｂがそれぞ
れ閉鎖されている。吸入側弁座体50Ａ・50Ｂの下端部内
面に小径の弁座が形成され、弁座の上部にチェック弁体
53が載置されている。同様に、吐出側第１段付挿入穴45
Ａ・吐出側第２段付挿入穴45Ｂには、Ｏリング43、吐出
側弁座体51Ａ・51Ｂ、チェック弁体53、Ｏリング42が挿
入され、次いでチェック弁カバー52によって各挿入穴45
Ａ・45Ｂがそれぞれ閉鎖されている。吐出側弁座体51Ａ
・51Ｂの下端部内面に小径の弁座が形成され、弁座の上
部にチェック弁体53が載置されている。各チェック弁カ
バー52のフランジ部の挿通孔にボルト30Ｅを挿通し、ボ
ルト30Ｅをサイドカバー12・サイドボディ11のねじ孔に
螺合して、各チェック弁カバー52がサイドカバー12・サ
イドボディ11に固定されている。

【００１６】吸入側弁座体50Ａ・50Ｂとチェック弁体53
とチェック弁カバー52とにより吸入側第１チェック弁94
Ａ・吸入側第２チェック弁94Ｂが構成され、同様にチェ
ック弁カバー52とチェック弁体53と吐出側弁座体51Ａ・
51Ｂとにより吐出側第１チェック弁93Ａ・吐出側第２チ
ェック弁93Ｂが構成されている。各弁座体50Ａ・50Ｂ・
51Ａ・51Ｂの内方端と各挿入穴44Ａ・44Ｂ・45Ａ・45Ｂ
の段部との間は、Ｏリング43によって密封され、各挿入
穴44Ａ・44Ｂ・45Ａ・45Ｂの開口端とチェック弁カバー
52の大径部との間はＯリング42によって密封されてい
る。なお、吸込側第１段付挿入穴44Ａ・吸込側第２段付
挿入穴44Ｂの小径部には、上方からストッパー55Ａ・55
Ｂが突設され、チェック弁体53の第１ポンプ室38Ａ・第
２ポンプ室38Ｂ側への流入を阻止している。

【００１７】図１・図４〜図６に示されているように、
サイドカバー12の前端面の下方部に吸込口40が開口さ
れ、サイドボディ11の前端面の下方部に吐出口41が開口
されている。吸込口40はサイドカバー12に形成された吸
込側通路56Ａ及びチェック弁カバー52の連通口54を通し
て、吸込側第１チェック弁94Ａの流入側の吸込側第１段
付挿入穴44Ａに連通され（図には明示されていないが、
連通口54は各通路と各挿入穴との間を連通させる）、吸
込側通路56Ａはサイドボディ11に形成された吸込側通路
56Ｂ及びチェック弁カバー52の連通口54を通して吸込側
第２チェック弁94Ｂの流入側の吸込側第２段付挿入穴44
Ｂに連通されている。吐出口41はサイドボディ11に形成
された吐出側通路60を通して脈動減衰室97Ａの下端部に
連通され、脈動減衰室97Ａの上端部は吐出側通路57Ｃ及
びチェック弁カバー52の連通口54を通して吐出側第２チ
ェック弁93Ｂの出口側の吐出側第２段付挿入穴45Ｂに連
通されている。そして、吐出側第２チェック弁93Ｂの出
口側の吐出側第２段付挿入穴45Ｂは、チェック弁カバー
52の連通口54、サイドボディ11に形成された吐出側通路
57Ｂ、サイドカバー12に形成された吐出側通路57Ａ及び
チェック弁カバー52の連通口54を通して吐出側第１チェ
ック弁93Ａの出口側の吐出側第１段付挿入穴45Ａに連通
されている。

【００１８】図２(a) ・図３(a),(b) に示されているよ
うに、水平方向に向いたエア供給口62及びエア排気口63
がセンタープレート10に形成されており、エア供給口62
及びエア排気口63はセンタープレート10の後端面（図３
では左側）のやや上方部及びやや下方部に開口されてい
る。センタープレート10の上方部に長手方向に向けて形
成された、段付の切換弁挿入孔65が形成され、挿入孔65
の開口は嵌合用凹部16内に位置し、挿入孔65の他方端に
は壁部があり、他方端は供給通路83Ａ、フィルタ85を介
してエア供給口62に連通されている。

【００１９】切換弁挿入孔65の小径部には、第１スペー
サ68Ａ及びスリーブ67が挿入され、第１スペーサ68Ａの
内面には後方から小径部、中径部、大径部が順次に形成
されている。スリーブ67内にスプール66が摺動可能に挿
通され、第１スペーサ68Ａの大径部とスプール66との間
に復帰スプリング75が介装されている。挿入孔65の大径
部には、環状の第２スペーサ68Ｂが段部に当接する位置
まで挿入され、スリーブ67は第１スペーサ68Ａの前端と
第２スペーサ68Ｂの後端とによって位置決めされてい
る。有底円筒状の切換弁キャップ70の開口端が第２スペ
ーサ68Ｂに当接する位置に挿入されており、切換弁キャ
ップ70の内部のシリンダに弁ピストン78が摺動自在に嵌
合されている。弁ピストン78のロッドは第２スペーサ68
Ｂの内部を通ってスプール66の後端に接触しており、弁
ピストン78の外周の環状溝にピストンパッキンが装着さ
れている。

【００２０】センタープレート10の挿入孔65の大径部の
上方には、垂直方向の挿入孔71が形成されており、挿入
孔71にはマニュアルピン73が挿入されている。マニュア
ルピン73の下端には小径孔が開口され、マニュアルピン
73の外周の環状溝にはＯリングが装着されており、マニ
ュアルピン73の外面と挿入孔71の内面との間が密封され
ている。マニュアルピン73の小径孔と挿入孔71の底部と
の間にスプリング72が装着されており、スプリング72の
弾発力によりマニュアルピン73は上方に付勢され、不図
示のピンにより上限が規定されている。そして、マニュ
アルピン73の上端はセンタープレート10の上面から所定
長さだけ突出しており、マニュアルピン73の上端は樹脂
カバー14により覆われている。

【００２１】第１スペーサ68Ａとスプール66との間に第
１パイロット室76Ａが形成され、スプール66の後端には
第１パイロット室76Ａの空気圧が作用している。弁ピス
トン78の前端面と切換弁キャップ70の内部のシリンダの
前方部とにより、第２パイロット室76Ｂが構成され、弁
ピストン78の前端面にパイロット圧が作用し得るように
なっている。切換弁キャップ70の外周には環状溝70Ｂが
形成されており、第２パイロット室76Ｂは連通路により
環状溝70Ｂに連通され、環状溝70Ｂはパイロット通路84
Ａに連通されている。

【００２２】スプール66の後端に作用する力（パイロッ
ト圧×受圧面積＋復帰スプリング75の弾発力）は、弁ピ
ストン78の前端に作用する力（パイロット圧×受圧面
積）よりも小さくなるように設定されている。センター
プレート10のスリーブ67の上方には排気室79が形成され
ており、排気室79の上方は排気カバー80及びガスケット
81により閉鎖されている。

【００２３】挿入孔65とスリーブ67との間に、後端側か
ら順次にＲポート、Ｂポート、Ｐポート、Ａポート及び
R'ポートが形成されており、ＲポートとR'ポートとは排
気室79を介して相互に連通されている。図３(a),(b) の
切換弁64の機能は、図８に２位置５ポートの切換弁64と
して示されているとおりである。Ｐポートは供給通路83
Ｃ・83Ｂ・83Ａを通してエア供給口62に連通され、Ｒポ
ート・R'ポートは排気室79、サイレンサ58、排気通路82
Ｂ・82Ａを通してエア排気口63に連通されている。Ａポ
ートは第１エア通路86Ａを通して第１駆動室37Ａに連通
され、Ｂポートは第２エア通路86Ｂを通して第２駆動室
37Ｂに連通されている。第１パイロット室76Ａは第１ス
ペーサ68Ａの内孔及び供給通路83Ａを通してエア供給口
62に連通されている。第２パイロット室76Ｂは、環状溝
70Ｂ、パイロット通路84Ａを通して第１パイロット弁87
Ａの出口に連通され、同時にパイロット通路84Ａ・84Ｂ
を通して第２パイロット弁87Ｂの入口に連通されてい
る。第１パイロット弁87Ａの入口は供給通路83Ｂ・83Ａ
を通してエア供給口62に連通され、第２パイロット弁87
Ｂの出口は排気通路82Ｃ・82Ａを通してエア排気口63に
連通されている。

【００２４】切換弁64のスプール66とスリーブ67の間で
塵の噛み込みが生じたとき、マニュアルピン73を押し、
不図示の機構を介し、復帰スプリング75と協動させてマ
ニュアルピン73とスプール66を往復動させる。この動作
により、塵が破壊され除去されることが多い。それでも
塵が破壊されないときは、樹脂カバー14及びセンタープ
レート10を外し、切換弁キャップ70・弁ピストン78・第
２スペーサ68Ｂ・スプール66・スリーブ67を外して、塵
を除き整備する。

【００２５】図５・図７(a),(b) ・図８に示されている
ように、バルブボディ39には脈動減衰器用の吸気弁88及
び排気弁89が配設されている。吸気弁88及び排気弁89の
構造は同一であり、ポペット88Ｂ・89Ｂに連結されたプ
ッシュロッド88Ａ・89Ａが、バルブボディ39の凹部39Ａ
内に突出している。吸気弁88のプッシュロッド88Ａ及び
排気弁89のプッシュロッド89Ａの先端は、ダイヤフラム
位置検出レバー46の先端部にそれぞれ右側及び左側から
対向する位置に配置されている。吸気弁88及び排気弁89
の通路は、スプリングの弾発力により常時は遮断（閉）
され、スプリングの弾発力に抗してポペット88Ｂ・89Ｂ
を移動させることにより連通（開）される。吸気弁88の
入口ポートは供給通路83Ｄ・83Ａを通してエア供給口62
に連通されており、吸気弁88の出口ポートは供給通路83
Ｅを通して脈動減衰器の空気室97Ｂに連通されている。
同様に、排気弁89の入口ポートは排気通路82Ｅを通して
空気室97Ｂに連通されており、排気弁89の出口ポートは
排気通路82Ｄ・82Ａを通してエア排気口63に連通されて
いる。なお、本発明の実施の形態のダイヤフラムポンプ
の各部材の材料は、移送流体に応じて最適のものを使用
することとし、使用材料の限定はない。

【００２６】次に本発明の脈動減衰器付ダイヤフラムポ
ンプの実施の形態の機能について説明する。例えば、吸
込口40を配管によって移送流体の貯槽に連通させ、吐出
口41を配管によって移送先に連通させる。エア供給口62
を空気圧源に連通させ、エア排気口63を大気に開放し、
エア供給口62に圧縮空気を供給する。このとき、切換弁
64のスプール66は、復帰スプリング75により押圧され
て、図３・図８に示す初期位置（図８では位置Ｉ）にあ
る。圧縮空気（エア）はエア供給口62からフィルタ85、
供給通路83Ａ・83Ｂ・83Ｃ、切換弁64のポートＰ・ポー
トＢ、第２エア通路86Ｂを通って第２駆動室37Ｂに供給
され、第１駆動室37Ａ内のエアは第１エア通路86Ａ、切
換弁64のポートＡ・ポートR'、排気室79、サイレンサ5
8、排気通路82Ｂ・82Ａ、エア排気口63を通って大気に
排気される。第１ダイヤフラム15Ａと第２ダイヤフラム
15Ｂとは連結部材23によって連結されているので、エア
の圧力により第２駆動室37Ｂが膨張し、第１駆動室37Ａ
が収縮する。それに伴い、第２ポンプ室38Ｂは収縮し、
第１ポンプ室38Ａは膨張する。従って、図４(a) に示す
ように、第２ポンプ室38Ｂ内の移送流体は吐出側第２通
路48Ｂ、吐出側第２チェック弁93Ｂ、吐出側通路57Ｃ、
脈動減衰室97Ａ、吐出側通路60、吐出口41を通って吐出
される。貯槽内の移送流体は、吸込口40、吸込側通路56
Ａ、吸込側第１チェック弁94Ａ、吸込側第１通路47Ａを
通って第１ポンプ室38Ａに吸い込まれ流入する。

【００２７】第１駆動室37Ａが十分に収縮すると、第１
パイロット弁87Ａのプッシュロッド96Ａが内側ダイヤフ
ラムシェル28Ａによって押圧され、第１パイロット弁87
Ａが切り換えられ、第１パイロット弁87Ａの入口と出口
とが連通する。エア供給口62からのエアは、供給通路83
Ａ・83Ｂ、第１パイロット弁87Ａの入口・出口、パイロ
ット通路84Ａを通って第２パイロット室76Ｂに流入す
る。スプール66の後方端に作用する力（復帰スプリング
75の弾発力及びパイロット圧による力）よりも、スプー
ル66の前方端に作用する力（弁ピストン78の受圧面積×
パイロット圧）の方が大きいので、切換弁64は位置IIに
切り換えられ（図３ではスプール66が左方に移動す）
る。

【００２８】エアは供給通路83Ａ・83Ｂ・83Ｃ、切換弁
64のポートＰ・ポートＡ、第１エア通路86Ａを通って第
１駆動室37Ａに供給され、第２駆動室37Ｂ内のエアは第
２エア通路86Ｂ、切換弁64のポートＢ・ポートＲ、排気
室79、サイレンサ58、排気通路82Ｂ・82Ａ、エア排気口
63を通って大気に排気される。エアの圧力により第１駆
動室37Ａが膨張し、第２駆動室37Ｂが収縮する。それに
伴い、第２ポンプ室38Ｂは膨張し、第１ポンプ室38Ａは
収縮する。従って、図４に示すように、第１ポンプ室38
Ａ内の移送流体は吐出側第１通路48Ａ、吐出側第１チェ
ック弁93Ａ、吐出側通路57Ａ・57Ｂ、吐出側第２チェッ
ク弁93Ｂのチェック弁カバー52、吐出側通路57Ｃ、脈動
減衰室97Ａ、吐出側通路60、吐出口41を通って吐出され
る。貯槽内の移送流体は、吸込口40、吸込側通路56Ａ・
56Ｂ、吸込側第２チェック弁94Ｂ、吸込側第２通路47Ｂ
を通って第２ポンプ室38Ｂに吸い込まれ流入する。第１
駆動室37Ａが所定量だけ膨張すると、内側ダイヤフラム
シェル28Ａが第１パイロット弁87Ａのプッシュロッド96
Ａから離れ、第１パイロット弁87Ａが初期位置に切り換
えられる。第１パイロット弁87Ａの入口と出口とが遮断
され、第２パイロット室76Ｂへのエアの供給は遮断され
るが、第２パイロット室76Ｂに蓄積されたエアによって
スプール66の位置が維持される。

【００２９】第２駆動室37Ｂが十分に収縮すると、第２
パイロット弁87Ｂのプッシュロッド96Ｂが内側ダイヤフ
ラムシェル28Ｂによって押圧され、第２パイロット弁87
Ｂが切り換えられ、第２パイロット弁87Ｂの入口と出口
とが連通する。第２パイロット室76Ｂ内のエアは、環状
溝70Ｂ、パイロット通路84Ａ・84Ｂ、第２パイロット弁
87Ｂの入口・出口、排気通路82Ｃ・82Ａ、エア排気口63
を通って大気に排気される。切換弁64は、位置Ｉに切り
換えられ（図３ではスプール66が右方に移動し）、図３
・図８に示す初期位置に戻る。以上のようにして、第１
駆動室37Ａ及び第２駆動室37Ｂに対するエアの給排が交
互に行われ、第１ポンプ室38Ａ及び第２ポンプ室38Ｂに
おける移送流体の吸込・吐出が交互に行われる。

【００３０】脈動減衰室97Ａには第１ポンプ室38Ａ及び
第２ポンプ室38Ｂから交互に移送流体が供給され、脈動
減衰室97Ａへの流入量が多いときは、第３ダイヤフラム
15Ｃにより空気室97Ｂが圧縮され、脈動減衰室97Ａが膨
張して脈動減衰室97Ａ内の圧力上昇が抑制される。脈動
減衰室97Ａへの流入量が少ないときは、空気室97Ｂが膨
張し、第３ダイヤフラム15Ｃにより脈動減衰室97Ａが加
圧されて収縮し、脈動減衰室97Ａ内の流体が吐出口41に
流れ、圧力降下が緩和される。このようにして、移送流
体の圧力が平滑化される。

【００３１】脈動減衰室97Ａ内の圧力が設定値以上に上
昇したときは、ダイヤフラム位置検出レバー46が吸気弁
88のプッシュロッド88Ａを押圧し、吸気弁を開く。エア
がエア供給口62、供給通路83Ａ・83Ｄ・吸気弁88・供給
通路83Ｅを通って空気室97Ｂに流入され、空気室97Ｂ内
の圧力が上昇する。従って、吐出口41から移送される流
体の移送先の圧力が高い場合でも、空気室97Ｂ内の圧力
を上昇させることにより脈動減衰器の機能を発揮するこ
とができる。また、脈動減衰室97Ａ内の圧力が設定値以
上に下降したときは、ダイヤフラム位置検出レバー46が
排気弁89のプッシュロッド89Ａを押圧し、排気弁を開
く。空気室97Ｂのエアは供給通路83Ｅ・排気弁89・排気
通路82Ｄ・82Ａ、エア排気口63を通って流出され、空気
室97Ｂ内の圧力が下降する。従って、吐出口41から移送
される流体の移送先の圧力が低い場合でも、空気室97Ｂ
内の圧力を下降させることにより脈動減衰器の機能を発
揮することができる。このように、本発明の実施の形態
第１のポンプは、吐出圧力の範囲が広く、圧力に応じて
脈動減衰器が機能を発揮する。

【００３２】図９は、本発明の脈動減衰器付ダイヤフラ
ムポンプの実施の形態の変形例の要部を示す。この変形
例においては、嵌合用凹部95がサイドボディ11に形成さ
れ、吸込口40及び吐出口41がサイドボディ11の前端面に
開口された点に特徴がある。サイドボディ11の左側面
（図９では下側面）には、センタープレート10を嵌合す
るための嵌合用凹部95が形成され、嵌合用凹部95の左側
面が開口されている。嵌合用凹部95は、開口端で前端部
（図９では右端部）の第２当接部（サイドボディ11の左
側当接部）99Ａに対して垂直方向に連続した嵌合部99Ｄ
と、嵌合部99Ｄに対して垂直な第２Ａ当接部（サイドボ
ディ11の左側Ａ当接部）99Ｃから構成され、第２Ａ当接
部99Ｃには第２凹部（サイドボディ11の左側凹部）32Ｂ
が形成されている。

【００３３】サイドカバー12の右側面（図９では上側
面）には、第１当接部（サイドカバー12の右側当接部）
98Ａと皿状の第１凹部（サイドカバー12の右側凹部）31
Ｂとが形成され、第１当接部98Ａの前端部（図９では右
端部）はサイドボディ11の第２当接部99Ａに当接される
部分である。第１当接部98Ａ及び第２Ａ当接部99Ｃの平
面で、第１凹部31Ｂ及び第２凹部32Ｂに隣接する環状面
は第１ダイヤフラム15Ａ及び第２ダイヤフラム15Ｂの為
の第１挟持部（サイドカバー12の右側挟持部）及び第４
挟持部（サイドボディ11の左側挟持部）となる。ポンプ
駆動用の制御装置が内装され、かつ第１ダイヤフラム15
Ａ・第２ダイヤフラム15Ｂが装着されたセンタープレー
ト10が、サイドボディ11の嵌合用凹部95に嵌合されてい
る。センタープレート10の前端部（図９では右端部）が
サイドボディ11の嵌合部99Ｄに接近しており、センター
プレート10の右側面（図９では上側面）がサイドボディ
11の第２Ａ当接部99Ｃに当接されている。

【００３４】図９・図１０から分かるように、サイドボ
ディ11の前端面の下方部には、左側に吸込口40が開口さ
れ、右側に吐出口41が開口されている。吸込口40は、サ
イドボディ11に形成された吸込側通路 156Ｂ、サイドカ
バー12の吸込側通路 156Ａ及びチェック弁カバー52の連
通口54を通して、吸込側第１チェック弁94Ａの流入側の
吸込側第１段付挿入穴44Ａに連通され、同時に吸込側通
路 156Ｂ、チェック弁カバー52の連通口54を通して吸込
側第２チェック弁94Ｂの流入側の吸込側第２段付挿入穴
44Ｂに連通されている。吐出口41はサイドボディ11に形
成された吐出側通路60を通して脈動減衰室97Ａの下端部
に連通され、脈動減衰室97Ａの上端部は吐出側通路57Ｃ
及びチェック弁カバー52の連通口54を通して吐出側第２
チェック弁93Ｂの出口側の吐出側第２段付挿入穴45Ｂに
連通されている。そして、吐出側第２チェック弁93Ｂの
出口側の吐出側第２段付挿入穴45Ｂは、チェック弁カバ
ー52の連通口54、サイドボディ11に形成された吐出側通
路 157Ｂ、サイドカバー12に形成された吐出側通路 157
Ａ及びチェック弁カバー52の連通口54を通して吐出側第
１チェック弁93Ａの出口側の吐出側第１段付挿入穴45Ａ
に連通されている。実施の形態の変形例のその他のこと
は、実施の形態と同様であるので、実施の形態の説明及
び図面を援用することとする。ただし、図１・図２・図
４の図面については、図９及び図１０を基にして変形例
の図面に適宜訂正し、参酌することとする。

【００３５】

【発明の効果】請求項１に記載された脈動減衰器付ダイ
ヤフラムポンプは、サイドカバーとサイドプレートとの
間にセンタープレート及びサイドボディが挟持されてお
り、これらの４部材を連結することにより脈動減衰器付
ダイヤフラムポンプが組み立てられている。そして、従
来例のように脈動制御器ハウジング、制御ブロック及び
上下の密封カバーを組み立てる必要がない。従って、従
来例に比べて組み立てる部材が少なく、密封箇所も少な
いので、漏れに対して有利である。請求項２に記載され
た脈動減衰器付ダイヤフラムポンプは、吸込口とポンプ
室と吐出口とを連通する通路がサイドボディとサイドカ
バーに配設されているので、通路の長さが短く全体がコ
ンパクトになる。請求項３に記載された脈動減衰器付ダ
イヤフラムポンプは、第１ダイヤフラム及び第２ダイヤ
フラムがサイドカバー、センタープレート及びサイドボ
ディにより挟持され長ボルトにより連結されており、ま
た第３ダイヤフラムがサイドボディとサイドプレートと
により挟持され短ボルトにより連結されている。消耗品
であるダイヤフラムの交換や点検をするときには、サイ
ドボディからサイドカバーとセンタープレートを外せ
ば、すぐに第１ダイヤフラム及び第２ダイヤフラムを取
り出して交換や点検をすることができる。また、サイド
ボディからサイドプレートを外せば、すぐに第３ダイヤ
フラムを取り出して交換や点検をすることができる。従
来例の制御ブロック及び上下の密封カバーがないので、
それだけ交換や点検に要する手数が少ない。請求項４に
記載された脈動減衰器付ダイヤフラムポンプは、チェッ
ク弁の交換や点検をしたいときには、サイドカバー、セ
ンタープレート、サイドボディ及びサイドプレートが連
結された儘の状態で、該当するチェック弁が装着された
チェック弁カバーを外し、必要なチェック弁の弁座体及
びチェック弁体を取り出すことができる。請求項５〜７
に記載された脈動減衰器付ダイヤフラムポンプは、チェ
ック弁、吸込口、吐出口、エア供給口、エア排気口、切
換弁等の部材が合理的に配置され、脈動減衰器付ダイヤ
フラムポンプの体積を小さく、高さを低くして、小形で
吐出容量を多くすることができた。請求項８，９に記載
された脈動減衰器付ダイヤフラムポンプは、脈動減衰器
の空気室の圧力が脈動減衰室の圧力に応じて上下に変更
することができるので、吐出圧力の広い範囲について、
脈動減衰器が機能を発揮する。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１は、本発明の実施の形態の脈動減衰器付ダ
イヤフラムポンプの主要部を示す分解斜視図である。

【図２】本発明の実施の形態の脈動減衰器付ダイヤフラ
ムポンプの外形を示し、図２(a) は左側面図、図２(b)
は正面図、図２(c) は右側面図、図２(d) は上面図、図
２(e) は背面図である。

【図３】図３(a) は図２(d) のＡ−Ａ線断面図であり、
図３(b) は図３(a) の要部拡大図である。

【図４】図４(a) は図２(b) のＢ−Ｂ’−Ｏ−Ｂ’−Ｂ
線断面図であり、図４(b) はチェック弁部の詳細図であ
る。

【図５】図２(b) のＣ−Ｃ線断面図である。

【図６】図２(d) のＤ−Ｄ線断面図である。

【図７】図７(a) は図２(d) のＥ−Ｅ線断面図であり、
図７(b) は図２(b) のＦ−Ｆ線断面図である。

【図８】本発明の実施の形態の脈動減衰器付ダイヤフラ
ムポンプの空気圧回路図である。

【図９】本発明の実施の形態の変形例を示し、実施の形
態の図５に対応する断面図である。

【図１０】本発明の実施の形態の変形例を示し、実施の
形態の図６に対応する断面図である。

【符号の説明】

10 センタープレート 11 サイドボディ 12 サイドカバー 13 サイドプレート 15Ａ 第１ダイヤフラム 15Ｂ 第２ダイヤフラム 15Ｃ 第３ダイヤフラム 16 嵌合用凹部 23 連結部材 37Ａ 第１駆動室 37Ｂ 第２駆動室 38Ａ 第１ポンプ室 38Ｂ 第２ポンプ室 40 吸込口 41 吐出口 93Ａ 吐出側第１チェック弁 93Ｂ 吐出側第２チェック弁 94Ａ 吸込側第１チェック弁 94Ｂ 吸込側第２チェック弁 95 嵌合用凹部

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 センタープレートとその両側のサイドカ
   バー及びサイドボディとによって構成された空所が、第
   １ダイヤフラム及び第２ダイヤフラムによって内側の左
   右の駆動室と外側の左右のポンプ室とにそれぞれ区分さ
   れ、センタープレートの挿通孔に挿通された連結部材に
   よって第１ダイヤフラムと第２ダイヤフラムとが連結さ
   れ、制御装置によって左右の駆動室が相互に給排気さ
   れ、吸込口と左右のポンプ室とがチェック弁を介して連
   通され、左右のポンプ室と吐出口とがチェック弁を介し
   て連通されたダイヤフラムポンプにおいて、サイドカバ
   ー又はサイドボディに形成された嵌合用凹部にセンター
   プレートが嵌合され、サイドカバー及びセンタープレー
   トの右側部にサイドボディの左側部が当接され、サイド
   ボディの右側部とサイドプレートの左側部とによって構
   成された空所が第３ダイヤフラムによって脈動減衰器の
   脈動減衰室と空気室とに区分され、サイドカバーとサイ
   ドプレートとの間にセンタープレート及びサイドボディ
   が挟持され、左右のポンプ室と吐出口とが脈動減衰室に
   連通されていることを特徴とする脈動減衰器付ダイヤフ
   ラムポンプ。
2. 【請求項２】 吸込口と左右のポンプ室とを連通する通
   路、左右のポンプ室と脈動減衰室とを連通する通路及び
   脈動減衰室と吐出口とを連通する通路が、サイドボディ
   及びサイドカバー内に配設され、前記制御装置がセンタ
   ープレート内に配設された請求項１記載の脈動減衰器付
   ダイヤフラムポンプ。
3. 【請求項３】 第１ダイヤフラムの外周部がサイドカバ
   ーの右側挟持部とセンタープレートの左側挟持部とによ
   って挟持され、かつ第２ダイヤフラムの外周部がセンタ
   ープレートの右側挟持部とサイドボディの左側挟持部と
   によって挟持されて、サイドカバー、センタープレート
   及びサイドボディが長ボルトにより連結され、第３ダイ
   ヤフラムがサイドボディの右側挟持部とサイドプレート
   の左側挟持部とによって挟持されて、サイドプレートと
   サイドボディとが短ボルトにより連結された請求項１又
   は２記載の脈動減衰器付ダイヤフラムポンプ。
4. 【請求項４】 サイドカバー及びサイドボディに、その
   上面及び下面に開口する段付挿入穴が形成され、各段付
   挿入穴にチェック弁が挿入され、各段付挿入穴がチェッ
   ク弁カバーによって閉鎖され、吸込口が左右の吸込側チ
   ェック弁を介して左右のポンプ室に連通され、左右のポ
   ンプ室が左右の吐出側チェック弁を介して脈動減衰室に
   連通された請求項１ないし３のいずれかに記載された脈
   動減衰器付ダイヤフラムポンプ。
5. 【請求項５】 吸込口及び吐出口がサイドカバー及びサ
   イドボディのそれぞれの前端面に開口され、又は吸込口
   及び吐出口がサイドボディの前端面に開口され、サイド
   カバー及びサイドボディの前端部にチェック弁が配設さ
   れ、吸込口が左右の吸込側チェック弁の流入側に連通さ
   れ、脈動減衰室が左右の吐出側チェック弁の流出側に連
   通された請求項４記載の脈動減衰器付ダイヤフラムポン
   プ。
6. 【請求項６】 チェック弁が略円筒状の弁座体、チェッ
   ク弁体及びチェック弁カバーにより構成され、チェック
   弁カバーの側部には連通口が形成され、吸込側のチェッ
   ク弁カバーは弁座体の下側に配置され、吐出側のチェッ
   ク弁カバーは弁座体の上側に配置され、吸込側チェック
   弁の連通口は吸込側通路を通して吸込口に連通され、吐
   出側チェック弁の連通口は吐出側通路を通して脈動減衰
   室に連通された請求項５記載の脈動減衰器付ダイヤフラ
   ムポンプ。
7. 【請求項７】 エア供給口とエア排気口とがセンタープ
   レートの後端面に開口され、センタープレートに制御装
   置の切換弁が配設され、切換弁のスプールの後端にスプ
   リングの弾発力及び空気圧が常に作用し、スプールの前
   端にパイロット空気圧が作用するように構成された請求
   項１ないし６のいずれかに記載された脈動減衰器付ダイ
   ヤフラムポンプ。
8. 【請求項８】 脈動減衰器の空気室が、吸気弁を介して
   エア供給口に連通されるとともに排気弁を介してエア排
   気口に連通され、前記脈動減衰室の圧力が所定値以上に
   上昇されるときにのみ吸気弁が開かれ、前記脈動減衰室
   の圧力が所定量以下に下降されるときにのみ排気弁が開
   かれるように構成された請求項１ないし７のいずれかに
   記載された脈動減衰器付ダイヤフラムポンプ。
9. 【請求項９】 第３ダイヤフラムにダイヤフラム位置検
   出レバーが連結され、ダイヤフラム位置検出レバーの先
   端の右側の対向位置に吸気弁のプッシュロッドが配置さ
   れ、ダイヤフラム位置検出レバーの先端の左側の対向位
   置に排気弁のプッシュロッドが配置された請求項８記載
   の脈動減衰器付ダイヤフラムポンプ。