JP3816993B2 - 脈動減衰器付ダイヤフラムポンプ - Google Patents

脈動減衰器付ダイヤフラムポンプ Download PDF

Info

Publication number
JP3816993B2
JP3816993B2 JP26508696A JP26508696A JP3816993B2 JP 3816993 B2 JP3816993 B2 JP 3816993B2 JP 26508696 A JP26508696 A JP 26508696A JP 26508696 A JP26508696 A JP 26508696A JP 3816993 B2 JP3816993 B2 JP 3816993B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
diaphragm
pulsation
port
valve
check valve
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP26508696A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH1089258A (ja
Inventor
剛 加々美
嘉宏 正野
弘之 三木
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
SMC Corp
Original Assignee
SMC Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by SMC Corp filed Critical SMC Corp
Priority to JP26508696A priority Critical patent/JP3816993B2/ja
Publication of JPH1089258A publication Critical patent/JPH1089258A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3816993B2 publication Critical patent/JP3816993B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、化学薬品、塗料、飲料等の各種流体を移送するための、エア駆動によるダイヤフラム式で脈動減衰器を内蔵したポンプに関する。
【0002】
【従来の技術】
従来の脈動減衰器付ダイヤフラムポンプは、2枚のダイヤフラムがセンタープレート(中央ハウジング)の上下両側と2個のハウジングカバーによってそれぞれ挟持され、この連結体の上下に密封カバーが連結され、連結体の前側部にポンプハウジングが連結され、連結体の後側部に脈動制御器ハウジング及び脈動制御器ハウジングカバーが連結され、連結体の右側部に制御ブロックが連結されている。上下両側のダイヤフラムとセンタープレートとの間の空間がそれぞれポンプ室となり、上下両側のダイヤフラムとハウジングカバーとの間の空間がそれぞれ駆動室となっている。流入側の各チェック弁は、センタープレートとポンプハウジングとの間に配設され、吐出側の各チェック弁はセンタープレートと脈動制御器ハウジングとの間に配設されている。また、脈動制御器ハウジングと脈動制御器ハウジングカバーとの間に脈動制御器用ダイヤフラムが挟持され、脈動制御器用ダイヤフラムの前側には吐出流体が作用し、脈動制御器用ダイヤフラムの後側には空気圧が作用するように構成されている。(例えば、特開平5−240161号公報参照)
【0003】
従来の脈動減衰器付ダイヤフラムポンプは、センタープレートの上下に各2部材、センタープレートの前・右に各1部材、センタープレートの後側に2部材が組み合わせてあり、組合せ時に位置決め(芯合わせ)をし、7つの組合せ個所で密封する必要がある。また、チェック弁を点検したり交換したりする場合には、センターハウジングの前後のポンプハウジング及び脈動制御器ハウジング・脈動制御器ハウジングカバーを取り外す必要がある。そして、ダイヤフラムの点検・交換には、センターハウジングから上下のハウジングカバー・密封カバーを取り外す必要がある。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、脈動減衰器付ダイヤフラムポンプにおいて、センタープレートに組み合わせる部材及び密封個所を少なくすることを第1の課題とし、チェック弁及びダイヤフラムの交換を容易にすることを第2の課題とし、更に脈動減衰器の機能を向上させることを第3の課題とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】
本発明は、前記課題を達成するために、センタープレートとその両側のサイドカバー及びサイドボディとによって構成された空所が、第1ダイヤフラム及び第2ダイヤフラムによって内側の左右の駆動室と外側の左右のポンプ室とにそれぞれ区分され、センタープレートの挿通孔に挿通された連結部材によって第1ダイヤフラムと第2ダイヤフラムとが連結され、制御装置によって左右の駆動室が交互に給排気され、吸込口と左右のポンプ室とがチェック弁を介して連通され、左右のポンプ室と吐出口とがチェック弁を介して連通されたダイヤフラムポンプにおいて、サイドカバー又はサイドボディに形成された嵌合用凹部にセンタープレートが嵌合され、サイドカバー及びセンタープレートの右側部にサイドボディの左側部が当接され、サイドボディの右側部とサイドプレートの左側部とによって構成された空所が第3ダイヤフラムによって脈動減衰器の脈動減衰室と空気室とに区分され、サイドカバーとサイドプレートとの間にセンタープレート及びサイドボディが挟持され、左右のポンプ室と吐出口とが脈動減衰室に連通されていることを特徴とする脈動減衰器付ダイヤフラムポンプとなしたことを第1の構成とする。
本発明は、第1の構成において、吸込口と左右のポンプ室とを連通する通路、左右のポンプ室と脈動減衰室とを連通する通路及び脈動減衰室と吐出口とを連通する通路が、サイドボディ及びサイドカバー内に配設され、前記制御装置がセンタープレート内に配設されたことを第2の構成とする。
本発明は、第1又は第2の構成において、第1ダイヤフラムの外周部がサイドカバーの右側挟持部とセンタープレートの左側挟持部とによって挟持され、かつ第2ダイヤフラムの外周部がセンタープレートの右側挟持部とサイドボディの左側挟持部とによって挟持されて、サイドカバー、センタープレート及びサイドボディが長ボルトにより連結され、第3ダイヤフラムがサイドボディの右側挟持部とサイドプレートの左側挟持部とによって挟持されて、サイドプレートとサイドボディとが短ボルトにより連結されたことを第3の構成とする。
本発明は、第1ないし第3のいずれかの構成において、サイドカバー及びサイドボディに、その上面及び下面に開口する段付挿入穴が形成され、各段付挿入穴にチェック弁が挿入され、各段付挿入穴がチェック弁カバーによって閉鎖され、吸込口が左右の吸込側チェック弁を介して左右のポンプ室に連通され、左右のポンプ室が左右の吐出側チェック弁を介して脈動減衰室に連通されたことを第4の構成とする。
本発明は、第4の構成において、吸込口及び吐出口がサイドカバー及びサイドボディのそれぞれの前端面に開口され、又は吸込口及び吐出口がサイドボディの前端面に開口され、サイドカバー及びサイドボディの前端部にチェック弁が配設され、吸込口が左右の吸込側チェック弁の流入側に連通され、脈動減衰室が左右の吐出側チェック弁の流出側に連通されたことを第5の構成とする。
本発明は、第5の構成において、チェック弁が略円筒状の弁座体、チェック弁体及びチェック弁カバーにより構成され、チェック弁カバーの側部には連通口が形成され、吸込側のチェック弁カバーは弁座体の下側に配置され、吐出側のチェック弁カバーは弁座体の上側に配置され、吸込側チェック弁の連通口は吸込側通路を通して吸込口に連通され、吐出側チェック弁の連通口は吐出側通路を通して脈動減衰室に連通されたことを第6の構成とする。
本発明は、第1ないし第6のいずれかの構成において、エア供給口とエア排気口とがセンタープレートの後端面に開口され、センタープレートに制御装置の切換弁が配設され、切換弁のスプールの後端にスプリングの弾発力及び空気圧が常に作用し、スプールの前端にパイロット空気圧が作用するように構成されたことを第7の構成とする。
本発明は、第1ないし第7のいずれかの構成において、脈動減衰器の空気室が、吸気弁を介してエア供給口に連通されるとともに排気弁を介してエア排気口に連通され、前記脈動減衰室の圧力が所定値以上に上昇されるときにのみ吸気弁が開かれ、前記脈動減衰室の圧力が所定量以下に下降されるときにのみ排気弁が開かれるように構成されたことを第8の構成とする。
本発明は、第8の構成において、第3ダイヤフラムにダイヤフラム位置検出レバーが連結され、ダイヤフラム位置検出レバーの先端の右側の対向位置に吸気弁のプッシュロッドが配置され、ダイヤフラム位置検出レバーの先端の左側の対向位置に排気弁のプッシュロッドが配置されたことを第9の構成とする。
【0006】
【発明の実施の形態】
図1〜図8は、本発明の脈動減衰器付ダイヤフラムポンプの実施の形態を示す。本発明の実施の形態の説明において、各部材の位置は図1の位置を基本にして称することとし、例えばサイドカバー12の左側面(外側面)・右側面・前端面・後端面、センタープレート10の左側面・右側面、サイドボディ11の左側面・右側面、サイドプレート13の左側面・右側面(外側面)ということとする。
図1は、樹脂カバーを除いた脈動減衰器付ダイヤフラムポンプの分解斜視図であり、脈動減衰器付ダイヤフラムポンプはセンタープレート10、サイドボディ11、サイドカバー12及びサイドプレート13の4グループに大別される。
なお、樹脂カバー14は、吸込口40、吐出口41、エア供給口62及びエア排気口63の近傍を除く大部分を覆っており、図3(a) ・図7以外の図面には樹脂カバー14は示されていない。ダイヤフラムポンプのエア駆動機構は、図8の回路図に示されるとおりであり、エア駆動機構はセンタープレート10に配設されている。
【0007】
図4、図5及び図8に示されているように、センタープレート10の中心部に中央孔20(挿通孔)が形成され、センタープレート10の両面に中央孔20を中心とした円周上に所定幅で環状の第2挟持部(センタープレート10の左側挟持部)22A及び第3挟持部(センタープレート10の右側挟持部)22Bが形成されている。第2挟持部22A及び第3挟持部22Bの表面には不図示の複数個のV字溝が形成されており、V字溝は第1ダイヤフラム15A及び第2ダイヤフラム15Bが挟持されたときの把持力を向上させるためのものである。第2挟持部22A及び第3挟持部22Bの半径方向内側には截頭円錐状の傾斜部24A・24B、段差部及び環状の平坦部25A・25Bが連続して形成され、平坦部25A・25Bの半径方向内側は中央孔20に接続されている。
【0008】
センタープレート10の中央孔20には長手方向の中央部に開口する環状溝が形成され、この環状溝に環状のパッキン21が装着されている。中央孔20に連結シャフト27が挿通され、中央孔20の長手方向の両端には軸受26A・26Bが装着されており、連結シャフト27は軸受26A・26Bにより摺動自在に支持され、またパッキン21によって中央孔20と連結シャフト27との間が密封状態に維持されている。第1ダイヤフラム15A及び第2ダイヤフラム15Bの中央部は、内側ダイヤフラムシェル28A・28B及び外側ダイヤフラムシェル29A・29Bによってそれぞれ挟持され、挟持されたものにボルト30A・30Bが挿通され、ボルト30A・30Bは連結シャフト27の両側のねじ部に螺合されている。連結シャフト27とボルト30A・30Bとにより、第1ダイヤフラム15Aと第2ダイヤフラム15Bとを連結する連結部材23が構成されている。連結シャフト27の両端の半径方向内側に環状の凹部が形成され、また内側ダイヤフラムシェル28A・28Bの内側中央部には環状の凸部が形成されており、連結シャフト27の環状の凹部と内側ダイヤフラムシェル28A・28Bの環状の凸部との間にOリングが挟持され密封されている。また、内側ダイヤフラムシェル28A・28Bの外側中央部には円錐状部が形成され、この円錐状部と外側ダイヤフラムシェル29A・29Bの半径方向内方端部の内側との間にOリングが挟持され密封されている。
【0009】
サイドカバー12の右側面(図5では上側面)には、センタープレート10を嵌合するための嵌合用凹部16が形成され、嵌合用凹部16の右側面が開口されている。嵌合用凹部16は、開口端で前端部(図5では右端部)の第1当接部(サイドカバー12の右側当接部)31Aに対して垂直方向に連続した嵌合部31Dと、嵌合部31Dに対して垂直な第1A当接部(サイドカバー12の右側A当接部)31Cとから構成され、第1A当接部31Cには皿状の第1凹部(サイドカバー12の右側凹部)31Bが形成されている。
サイドボディ11の左側面(図5では下側面)には、第2当接部(サイドボディ11の左側当接部)32Aと皿状の第2凹部(サイドボディ11の左側凹部)32Bとが形成され、第2当接部32Aの前端部(図5では右端部)はサイドカバー12の第1当接部31Aに当接される部分である。第1A当接部31C及び第2当接部32Aの平面で、第1凹部31B及び第2凹部32Bに隣接する環状面は第1ダイヤフラム15A及び第2ダイヤフラム15Bの為の第1挟持部(サイドカバー12の右側挟持部)及び第4挟持部(サイドボディ11の左側挟持部)となる。
【0010】
サイドボディ11の右側面(図5では上側面)には、第3当接部(サイドボディ11の右側当接部)33Aと皿状の第3凹部(サイドボディ11の右側凹部)33Bとが形成され、またサイドボディ11の右側面の後方上部にはバルブボディ用の嵌合部33Cが形成されている。
サイドプレート13の左側面(図5では下側面)には、第4当接部(サイドプレート13の左側当接部)34A及び第4凹部(サイドプレート13の左側凹部)34Bが形成されており、第4凹部34Bの中央部には環状突起34Cが一体に形成されている。第4当接部34Aの面上であって第4凹部34Bに隣接した部分に、脈動減衰器用ダイヤフラム(第3ダイヤフラム)15Cを挟持するための第6挟持部(サイドプレート13の左側挟持部)34Dが形成されている。サイドプレート13の後方上部(図7では左上部)にはバルブボディ39がボルト30Dにより連結されており、バルブボディ39の凹部39Aにはダイヤフラム位置検出レバー46の先端が挿入され、ダイヤフラム位置検出レバー46の基端はダイヤフラムシェル28Cに連結されている。
【0011】
ポンプ駆動用の制御装置が内装され、かつ第1ダイヤフラム15A・第2ダイヤフラム15Bが装着されたセンタープレート10が、サイドカバー12の嵌合用凹部16に嵌合されている。センタープレート10の前端部(図3・図5では右端部)がサイドカバー12の嵌合部31Dに近接しており、センタープレート10の左側面(図5では下側面)がサイドカバー12の第1A当接部31Cに当接されている。
図1・図5から分かるように、サイドボディ11、センタープレート10及びサイドカバー12の3グループを相互に当接させ連結した状態で、サイドカバー12の左側からサイドカバー12の挿通孔19A及びセンタープレート10の挿通孔19Bに六角穴付の8本の長ボルト17が挿通され、長ボルト17がサイドボディ11の左側のねじ孔35に螺合される。こうして、サイドボディ11、センタープレート10及びサイドカバー12が連結される。なお、センタープレート10には不図示の位置決めピンの凸部が形成され、サイドボディ11及びサイドカバー12には不図示の位置決めピンの凹部が形成されており、この凸部を凹部に係合させて位置決めを行った後に前記の連結が行われる。このとき、サイドカバー12の第1当接部31Aがサイドボディ11の第2当接部32Aに当接され、サイドカバー12の第1A当接部31Cがセンタープレート10の左側面及び第1ダイヤフラム15A外面の外周部に当接されている。
【0012】
サイドボディ11にサイドプレート13を当接した状態で、サイドプレート13の右側からサイドプレート13の挿通孔19Cに六角穴付の6本の短ボルト18が挿通され、短ボルト18がサイドボディ11の右側面のねじ孔に螺合されている。こうして、サイドボディ11にサイドプレート13も連結されることとなる。
サイドプレート13の左側面の第6挟持部34Dには不図示のV字溝が形成されており、第3ダイヤフラム15Cの外周部が第6挟持部34Dに当接されている。第3ダイヤフラム15Cの中央部は、2個のダイヤフラムシェル28C・29Cによって挟持され、挟持されたものにボルト30Cが挿通され、ボルト30Cはガイドシャフト36のねじ部に螺合されている。サイドプレート13の環状突起34Cの内周に軸受26Cが装着されており、ガイドシャフト36は軸受26Cに摺動自在に支持されている。
【0013】
サイドボディ11、センタープレート10及びサイドカバー12の連結により、第1ダイヤフラム15Aの外周部がサイドカバー12の右側面の第1A当接部31Cの第1挟持部とセンタープレート10の左側面の第2挟持部22Aによって挟持され、また第2ダイヤフラム15Bの外周部がサイドボディ11の左側面の第2当接部32Aの第4挟持部とセンタープレート10の右側面の第3挟持部22Bによって挟持されている。センタープレート10の左右両面と第1ダイヤフラム15A・第2ダイヤフラム15Bとの間に、気密状態の第1駆動室(左駆動室)37A・第2駆動室(右駆動室)37Bがそれぞれ形成されている。サイドカバー12の第1凹部31Bと第1ダイヤフラム15Aとの間に第1ポンプ室(左ポンプ室)38Aが形成され、サイドボディ11の第2凹部32Bと第2ダイヤフラム15Bとの間に第2ポンプ室(右ポンプ室)38Bが形成されている。
サイドボディ11及びサイドプレート13の連結により、第3ダイヤフラム15Cの外周部がサイドプレート13の左側面の第6挟持部34Dとサイドボディ11の右側面の第5挟持部(サイドボディ11の右側挟持部)によって挟持され、またバルブボディ39がサイドボディ11の右側面のバルブボディ嵌合部33Cに嵌合される。サイドボディ11の第3凹部33Bと第3ダイヤフラム15Cとの間に脈動減衰室97Aが形成され、サイドプレート13の第4凹部34Bと第3ダイヤフラム15Cとの間に脈動減衰器の空気室97Bが形成されている。
【0014】
図2(b),(d) で見て、サイドカバー12及びサイドボディ11の右端部の肉厚部には、図1・図4〜図6に示されているように、下端が開口され垂直方向に向いた吸込側第1段付挿入穴44A・吸込側第2段付挿入穴44Bが形成され、また上端が開口され垂直方向に向いた吐出側第1段付挿入穴45A・吐出側第2段付挿入穴45Bが形成されている。吸込側第1段付挿入穴44A・吸込側第2段付挿入穴44Bは開口側(下側)が大径で、上側が小径であり、吸込側第1段付挿入穴44A・吸込側第2段付挿入穴44Bの小径部はそれぞれ吸込側第1通路47A・吸込側第2通路47Bを介して第1ポンプ室38A・第2ポンプ室38Bに連通されている。吐出側第1段付挿入穴45A・吐出側第2段付挿入穴45Bは開口側(上側)が大径で、下側が小径であり、吐出側第1段付挿入穴45A・吐出側第2段付挿入穴45Bの小径部はそれぞれ吐出側第1通路48A・吐出側第2通路48Bを介して第1ポンプ室38A・第2ポンプ室38Bに連通されている。
【0015】
吸込側第1段付挿入穴44A・吸込側第2段付挿入穴44Bには、Oリング43、チェック弁体53、吸入側弁座体50A・50B、Oリング42が挿入され、次いでチェック弁カバー52によって各挿入穴44A・44Bがそれぞれ閉鎖されている。吸入側弁座体50A・50Bの下端部内面に小径の弁座が形成され、弁座の上部にチェック弁体53が載置されている。同様に、吐出側第1段付挿入穴45A・吐出側第2段付挿入穴45Bには、Oリング43、吐出側弁座体51A・51B、チェック弁体53、Oリング42が挿入され、次いでチェック弁カバー52によって各挿入穴45A・45Bがそれぞれ閉鎖されている。吐出側弁座体51A・51Bの下端部内面に小径の弁座が形成され、弁座の上部にチェック弁体53が載置されている。各チェック弁カバー52のフランジ部の挿通孔にボルト30Eを挿通し、ボルト30Eをサイドカバー12・サイドボディ11のねじ孔に螺合して、各チェック弁カバー52がサイドカバー12・サイドボディ11に固定されている。
【0016】
吸入側弁座体50A・50Bとチェック弁体53とチェック弁カバー52とにより吸入側第1チェック弁94A・吸入側第2チェック弁94Bが構成され、同様にチェック弁カバー52とチェック弁体53と吐出側弁座体51A・51Bとにより吐出側第1チェック弁93A・吐出側第2チェック弁93Bが構成されている。各弁座体50A・50B・51A・51Bの内方端と各挿入穴44A・44B・45A・45Bの段部との間は、Oリング43によって密封され、各挿入穴44A・44B・45A・45Bの開口端とチェック弁カバー52の大径部との間はOリング42によって密封されている。なお、吸込側第1段付挿入穴44A・吸込側第2段付挿入穴44Bの小径部には、上方からストッパー55A・55Bが突設され、チェック弁体53の第1ポンプ室38A・第2ポンプ室38B側への流入を阻止している。
【0017】
図1・図4〜図6に示されているように、サイドカバー12の前端面の下方部に吸込口40が開口され、サイドボディ11の前端面の下方部に吐出口41が開口されている。吸込口40はサイドカバー12に形成された吸込側通路56A及びチェック弁カバー52の連通口54を通して、吸込側第1チェック弁94Aの流入側の吸込側第1段付挿入穴44Aに連通され(図には明示されていないが、連通口54は各通路と各挿入穴との間を連通させる)、吸込側通路56Aはサイドボディ11に形成された吸込側通路56B及びチェック弁カバー52の連通口54を通して吸込側第2チェック弁94Bの流入側の吸込側第2段付挿入穴44Bに連通されている。
吐出口41はサイドボディ11に形成された吐出側通路60を通して脈動減衰室97Aの下端部に連通され、脈動減衰室97Aの上端部は吐出側通路57C及びチェック弁カバー52の連通口54を通して吐出側第2チェック弁93Bの出口側の吐出側第2段付挿入穴45Bに連通されている。そして、吐出側第2チェック弁93Bの出口側の吐出側第2段付挿入穴45Bは、チェック弁カバー52の連通口54、サイドボディ11に形成された吐出側通路57B、サイドカバー12に形成された吐出側通路57A及びチェック弁カバー52の連通口54を通して吐出側第1チェック弁93Aの出口側の吐出側第1段付挿入穴45Aに連通されている。
【0018】
図2(a) ・図3(a),(b) に示されているように、水平方向に向いたエア供給口62及びエア排気口63がセンタープレート10に形成されており、エア供給口62及びエア排気口63はセンタープレート10の後端面(図3では左側)のやや上方部及びやや下方部に開口されている。センタープレート10の上方部に長手方向に向けて形成された、段付の切換弁挿入孔65が形成され、挿入孔65の開口は嵌合用凹部16内に位置し、挿入孔65の他方端には壁部があり、他方端は供給通路83A、フィルタ85を介してエア供給口62に連通されている。
【0019】
切換弁挿入孔65の小径部には、第1スペーサ68A及びスリーブ67が挿入され、第1スペーサ68Aの内面には後方から小径部、中径部、大径部が順次に形成されている。スリーブ67内にスプール66が摺動可能に挿通され、第1スペーサ68Aの大径部とスプール66との間に復帰スプリング75が介装されている。挿入孔65の大径部には、環状の第2スペーサ68Bが段部に当接する位置まで挿入され、スリーブ67は第1スペーサ68Aの前端と第2スペーサ68Bの後端とによって位置決めされている。有底円筒状の切換弁キャップ70の開口端が第2スペーサ68Bに当接する位置に挿入されており、切換弁キャップ70の内部のシリンダに弁ピストン78が摺動自在に嵌合されている。弁ピストン78のロッドは第2スペーサ68Bの内部を通ってスプール66の後端に接触しており、弁ピストン78の外周の環状溝にピストンパッキンが装着されている。
【0020】
センタープレート10の挿入孔65の大径部の上方には、垂直方向の挿入孔71が形成されており、挿入孔71にはマニュアルピン73が挿入されている。マニュアルピン73の下端には小径孔が開口され、マニュアルピン73の外周の環状溝にはOリングが装着されており、マニュアルピン73の外面と挿入孔71の内面との間が密封されている。マニュアルピン73の小径孔と挿入孔71の底部との間にスプリング72が装着されており、スプリング72の弾発力によりマニュアルピン73は上方に付勢され、不図示のピンにより上限が規定されている。そして、マニュアルピン73の上端はセンタープレート10の上面から所定長さだけ突出しており、マニュアルピン73の上端は樹脂カバー14により覆われている。
【0021】
第1スペーサ68Aとスプール66との間に第1パイロット室76Aが形成され、スプール66の後端には第1パイロット室76Aの空気圧が作用している。弁ピストン78の前端面と切換弁キャップ70の内部のシリンダの前方部とにより、第2パイロット室76Bが構成され、弁ピストン78の前端面にパイロット圧が作用し得るようになっている。切換弁キャップ70の外周には環状溝70Bが形成されており、第2パイロット室76Bは連通路により環状溝70Bに連通され、環状溝70Bはパイロット通路84Aに連通されている。
【0022】
スプール66の後端に作用する力(パイロット圧×受圧面積+復帰スプリング75の弾発力)は、弁ピストン78の前端に作用する力(パイロット圧×受圧面積)よりも小さくなるように設定されている。センタープレート10のスリーブ67の上方には排気室79が形成されており、排気室79の上方は排気カバー80及びガスケット81により閉鎖されている。
【0023】
挿入孔65とスリーブ67との間に、後端側から順次にRポート、Bポート、Pポート、Aポート及びR'ポートが形成されており、RポートとR'ポートとは排気室79を介して相互に連通されている。図3(a),(b) の切換弁64の機能は、図8に2位置5ポートの切換弁64として示されているとおりである。Pポートは供給通路83C・83B・83Aを通してエア供給口62に連通され、Rポート・R'ポートは排気室79、サイレンサ58、排気通路82B・82Aを通してエア排気口63に連通されている。Aポートは第1エア通路86Aを通して第1駆動室37Aに連通され、Bポートは第2エア通路86Bを通して第2駆動室37Bに連通されている。第1パイロット室76Aは第1スペーサ68Aの内孔及び供給通路83Aを通してエア供給口62に連通されている。第2パイロット室76Bは、環状溝70B、パイロット通路84Aを通して第1パイロット弁87Aの出口に連通され、同時にパイロット通路84A・84Bを通して第2パイロット弁87Bの入口に連通されている。第1パイロット弁87Aの入口は供給通路83B・83Aを通してエア供給口62に連通され、第2パイロット弁87Bの出口は排気通路82C・82Aを通してエア排気口63に連通されている。
【0024】
切換弁64のスプール66とスリーブ67の間で塵の噛み込みが生じたとき、マニュアルピン73を押し、不図示の機構を介し、復帰スプリング75と協動させてマニュアルピン73とスプール66を往復動させる。この動作により、塵が破壊され除去されることが多い。それでも塵が破壊されないときは、樹脂カバー14及びセンタープレート10を外し、切換弁キャップ70・弁ピストン78・第2スペーサ68B・スプール66・スリーブ67を外して、塵を除き整備する。
【0025】
図5・図7(a),(b) ・図8に示されているように、バルブボディ39には脈動減衰器用の吸気弁88及び排気弁89が配設されている。吸気弁88及び排気弁89の構造は同一であり、ポペット88B・89Bに連結されたプッシュロッド88A・89Aが、バルブボディ39の凹部39A内に突出している。吸気弁88のプッシュロッド88A及び排気弁89のプッシュロッド89Aの先端は、ダイヤフラム位置検出レバー46の先端部にそれぞれ右側及び左側から対向する位置に配置されている。吸気弁88及び排気弁89の通路は、スプリングの弾発力により常時は遮断(閉)され、スプリングの弾発力に抗してポペット88B・89Bを移動させることにより連通(開)される。吸気弁88の入口ポートは供給通路83D・83Aを通してエア供給口62に連通されており、吸気弁88の出口ポートは供給通路83Eを通して脈動減衰器の空気室97Bに連通されている。同様に、排気弁89の入口ポートは排気通路82Eを通して空気室97Bに連通されており、排気弁89の出口ポートは排気通路82D・82Aを通してエア排気口63に連通されている。
なお、本発明の実施の形態のダイヤフラムポンプの各部材の材料は、移送流体に応じて最適のものを使用することとし、使用材料の限定はない。
【0026】
次に本発明の脈動減衰器付ダイヤフラムポンプの実施の形態の機能について説明する。
例えば、吸込口40を配管によって移送流体の貯槽に連通させ、吐出口41を配管によって移送先に連通させる。エア供給口62を空気圧源に連通させ、エア排気口63を大気に開放し、エア供給口62に圧縮空気を供給する。このとき、切換弁64のスプール66は、復帰スプリング75により押圧されて、図3・図8に示す初期位置(図8では位置I)にある。圧縮空気(エア)はエア供給口62からフィルタ85、供給通路83A・83B・83C、切換弁64のポートP・ポートB、第2エア通路86Bを通って第2駆動室37Bに供給され、第1駆動室37A内のエアは第1エア通路86A、切換弁64のポートA・ポートR'、排気室79、サイレンサ58、排気通路82B・82A、エア排気口63を通って大気に排気される。第1ダイヤフラム15Aと第2ダイヤフラム15Bとは連結部材23によって連結されているので、エアの圧力により第2駆動室37Bが膨張し、第1駆動室37Aが収縮する。それに伴い、第2ポンプ室38Bは収縮し、第1ポンプ室38Aは膨張する。従って、図4(a) に示すように、第2ポンプ室38B内の移送流体は吐出側第2通路48B、吐出側第2チェック弁93B、吐出側通路57C、脈動減衰室97A、吐出側通路60、吐出口41を通って吐出される。貯槽内の移送流体は、吸込口40、吸込側通路56A、吸込側第1チェック弁94A、吸込側第1通路47Aを通って第1ポンプ室38Aに吸い込まれ流入する。
【0027】
第1駆動室37Aが十分に収縮すると、第1パイロット弁87Aのプッシュロッド96Aが内側ダイヤフラムシェル28Aによって押圧され、第1パイロット弁87Aが切り換えられ、第1パイロット弁87Aの入口と出口とが連通する。エア供給口62からのエアは、供給通路83A・83B、第1パイロット弁87Aの入口・出口、パイロット通路84Aを通って第2パイロット室76Bに流入する。スプール66の後方端に作用する力(復帰スプリング75の弾発力及びパイロット圧による力)よりも、スプール66の前方端に作用する力(弁ピストン78の受圧面積×パイロット圧)の方が大きいので、切換弁64は位置IIに切り換えられ(図3ではスプール66が左方に移動す)る。
【0028】
エアは供給通路83A・83B・83C、切換弁64のポートP・ポートA、第1エア通路86Aを通って第1駆動室37Aに供給され、第2駆動室37B内のエアは第2エア通路86B、切換弁64のポートB・ポートR、排気室79、サイレンサ58、排気通路82B・82A、エア排気口63を通って大気に排気される。エアの圧力により第1駆動室37Aが膨張し、第2駆動室37Bが収縮する。それに伴い、第2ポンプ室38Bは膨張し、第1ポンプ室38Aは収縮する。従って、図4に示すように、第1ポンプ室38A内の移送流体は吐出側第1通路48A、吐出側第1チェック弁93A、吐出側通路57A・57B、吐出側第2チェック弁93Bのチェック弁カバー52、吐出側通路57C、脈動減衰室97A、吐出側通路60、吐出口41を通って吐出される。貯槽内の移送流体は、吸込口40、吸込側通路56A・56B、吸込側第2チェック弁94B、吸込側第2通路47Bを通って第2ポンプ室38Bに吸い込まれ流入する。第1駆動室37Aが所定量だけ膨張すると、内側ダイヤフラムシェル28Aが第1パイロット弁87Aのプッシュロッド96Aから離れ、第1パイロット弁87Aが初期位置に切り換えられる。第1パイロット弁87Aの入口と出口とが遮断され、第2パイロット室76Bへのエアの供給は遮断されるが、第2パイロット室76Bに蓄積されたエアによってスプール66の位置が維持される。
【0029】
第2駆動室37Bが十分に収縮すると、第2パイロット弁87Bのプッシュロッド96Bが内側ダイヤフラムシェル28Bによって押圧され、第2パイロット弁87Bが切り換えられ、第2パイロット弁87Bの入口と出口とが連通する。第2パイロット室76B内のエアは、環状溝70B、パイロット通路84A・84B、第2パイロット弁87Bの入口・出口、排気通路82C・82A、エア排気口63を通って大気に排気される。切換弁64は、位置Iに切り換えられ(図3ではスプール66が右方に移動し)、図3・図8に示す初期位置に戻る。
以上のようにして、第1駆動室37A及び第2駆動室37Bに対するエアの給排が交互に行われ、第1ポンプ室38A及び第2ポンプ室38Bにおける移送流体の吸込・吐出が交互に行われる。
【0030】
脈動減衰室97Aには第1ポンプ室38A及び第2ポンプ室38Bから交互に移送流体が供給され、脈動減衰室97Aへの流入量が多いときは、第3ダイヤフラム15Cにより空気室97Bが圧縮され、脈動減衰室97Aが膨張して脈動減衰室97A内の圧力上昇が抑制される。脈動減衰室97Aへの流入量が少ないときは、空気室97Bが膨張し、第3ダイヤフラム15Cにより脈動減衰室97Aが加圧されて収縮し、脈動減衰室97A内の流体が吐出口41に流れ、圧力降下が緩和される。このようにして、移送流体の圧力が平滑化される。
【0031】
脈動減衰室97A内の圧力が設定値以上に上昇したときは、ダイヤフラム位置検出レバー46が吸気弁88のプッシュロッド88Aを押圧し、吸気弁を開く。エアがエア供給口62、供給通路83A・83D・吸気弁88・供給通路83Eを通って空気室97Bに流入され、空気室97B内の圧力が上昇する。従って、吐出口41から移送される流体の移送先の圧力が高い場合でも、空気室97B内の圧力を上昇させることにより脈動減衰器の機能を発揮することができる。
また、脈動減衰室97A内の圧力が設定値以上に下降したときは、ダイヤフラム位置検出レバー46が排気弁89のプッシュロッド89Aを押圧し、排気弁を開く。空気室97Bのエアは供給通路83E・排気弁89・排気通路82D・82A、エア排気口63を通って流出され、空気室97B内の圧力が下降する。従って、吐出口41から移送される流体の移送先の圧力が低い場合でも、空気室97B内の圧力を下降させることにより脈動減衰器の機能を発揮することができる。
このように、本発明の実施の形態第1のポンプは、吐出圧力の範囲が広く、圧力に応じて脈動減衰器が機能を発揮する。
【0032】
図9は、本発明の脈動減衰器付ダイヤフラムポンプの実施の形態の変形例の要部を示す。この変形例においては、嵌合用凹部95がサイドボディ11に形成され、吸込口40及び吐出口41がサイドボディ11の前端面に開口された点に特徴がある。
サイドボディ11の左側面(図9では下側面)には、センタープレート10を嵌合するための嵌合用凹部95が形成され、嵌合用凹部95の左側面が開口されている。嵌合用凹部95は、開口端で前端部(図9では右端部)の第2当接部(サイドボディ11の左側当接部)99Aに対して垂直方向に連続した嵌合部99Dと、嵌合部99Dに対して垂直な第2A当接部(サイドボディ11の左側A当接部)99Cから構成され、第2A当接部99Cには第2凹部(サイドボディ11の左側凹部)32Bが形成されている。
【0033】
サイドカバー12の右側面(図9では上側面)には、第1当接部(サイドカバー12の右側当接部)98Aと皿状の第1凹部(サイドカバー12の右側凹部)31Bとが形成され、第1当接部98Aの前端部(図9では右端部)はサイドボディ11の第2当接部99Aに当接される部分である。第1当接部98A及び第2A当接部99Cの平面で、第1凹部31B及び第2凹部32Bに隣接する環状面は第1ダイヤフラム15A及び第2ダイヤフラム15Bの為の第1挟持部(サイドカバー12の右側挟持部)及び第4挟持部(サイドボディ11の左側挟持部)となる。
ポンプ駆動用の制御装置が内装され、かつ第1ダイヤフラム15A・第2ダイヤフラム15Bが装着されたセンタープレート10が、サイドボディ11の嵌合用凹部95に嵌合されている。センタープレート10の前端部(図9では右端部)がサイドボディ11の嵌合部99Dに接近しており、センタープレート10の右側面(図9では上側面)がサイドボディ11の第2A当接部99Cに当接されている。
【0034】
図9・図10から分かるように、サイドボディ11の前端面の下方部には、左側に吸込口40が開口され、右側に吐出口41が開口されている。吸込口40は、サイドボディ11に形成された吸込側通路 156B、サイドカバー12の吸込側通路 156A及びチェック弁カバー52の連通口54を通して、吸込側第1チェック弁94Aの流入側の吸込側第1段付挿入穴44Aに連通され、同時に吸込側通路 156B、チェック弁カバー52の連通口54を通して吸込側第2チェック弁94Bの流入側の吸込側第2段付挿入穴44Bに連通されている。
吐出口41はサイドボディ11に形成された吐出側通路60を通して脈動減衰室97Aの下端部に連通され、脈動減衰室97Aの上端部は吐出側通路57C及びチェック弁カバー52の連通口54を通して吐出側第2チェック弁93Bの出口側の吐出側第2段付挿入穴45Bに連通されている。そして、吐出側第2チェック弁93Bの出口側の吐出側第2段付挿入穴45Bは、チェック弁カバー52の連通口54、サイドボディ11に形成された吐出側通路 157B、サイドカバー12に形成された吐出側通路 157A及びチェック弁カバー52の連通口54を通して吐出側第1チェック弁93Aの出口側の吐出側第1段付挿入穴45Aに連通されている。
実施の形態の変形例のその他のことは、実施の形態と同様であるので、実施の形態の説明及び図面を援用することとする。ただし、図1・図2・図4の図面については、図9及び図10を基にして変形例の図面に適宜訂正し、参酌することとする。
【0035】
【発明の効果】
請求項1に記載された脈動減衰器付ダイヤフラムポンプは、サイドカバーとサイドプレートとの間にセンタープレート及びサイドボディが挟持されており、これらの4部材を連結することにより脈動減衰器付ダイヤフラムポンプが組み立てられている。そして、従来例のように脈動制御器ハウジング、制御ブロック及び上下の密封カバーを組み立てる必要がない。従って、従来例に比べて組み立てる部材が少なく、密封箇所も少ないので、漏れに対して有利である。
請求項2に記載された脈動減衰器付ダイヤフラムポンプは、吸込口とポンプ室と吐出口とを連通する通路がサイドボディとサイドカバーに配設されているので、通路の長さが短く全体がコンパクトになる。
請求項3に記載された脈動減衰器付ダイヤフラムポンプは、第1ダイヤフラム及び第2ダイヤフラムがサイドカバー、センタープレート及びサイドボディにより挟持され長ボルトにより連結されており、また第3ダイヤフラムがサイドボディとサイドプレートとにより挟持され短ボルトにより連結されている。消耗品であるダイヤフラムの交換や点検をするときには、サイドボディからサイドカバーとセンタープレートを外せば、すぐに第1ダイヤフラム及び第2ダイヤフラムを取り出して交換や点検をすることができる。また、サイドボディからサイドプレートを外せば、すぐに第3ダイヤフラムを取り出して交換や点検をすることができる。従来例の制御ブロック及び上下の密封カバーがないので、それだけ交換や点検に要する手数が少ない。
請求項4に記載された脈動減衰器付ダイヤフラムポンプは、チェック弁の交換や点検をしたいときには、サイドカバー、センタープレート、サイドボディ及びサイドプレートが連結された儘の状態で、該当するチェック弁が装着されたチェック弁カバーを外し、必要なチェック弁の弁座体及びチェック弁体を取り出すことができる。
請求項5〜7に記載された脈動減衰器付ダイヤフラムポンプは、チェック弁、吸込口、吐出口、エア供給口、エア排気口、切換弁等の部材が合理的に配置され、脈動減衰器付ダイヤフラムポンプの体積を小さく、高さを低くして、小形で吐出容量を多くすることができた。
請求項8,9に記載された脈動減衰器付ダイヤフラムポンプは、脈動減衰器の空気室の圧力が脈動減衰室の圧力に応じて上下に変更することができるので、吐出圧力の広い範囲について、脈動減衰器が機能を発揮する。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1は、本発明の実施の形態の脈動減衰器付ダイヤフラムポンプの主要部を示す分解斜視図である。
【図2】本発明の実施の形態の脈動減衰器付ダイヤフラムポンプの外形を示し、図2(a) は左側面図、図2(b) は正面図、図2(c) は右側面図、図2(d) は上面図、図2(e) は背面図である。
【図3】図3(a) は図2(d) のA−A線断面図であり、図3(b) は図3(a) の要部拡大図である。
【図4】図4(a) は図2(b) のB−B’−O−B’−B線断面図であり、図4(b) はチェック弁部の詳細図である。
【図5】図2(b) のC−C線断面図である。
【図6】図2(d) のD−D線断面図である。
【図7】図7(a) は図2(d) のE−E線断面図であり、図7(b) は図2(b) のF−F線断面図である。
【図8】本発明の実施の形態の脈動減衰器付ダイヤフラムポンプの空気圧回路図である。
【図9】本発明の実施の形態の変形例を示し、実施の形態の図5に対応する断面図である。
【図10】本発明の実施の形態の変形例を示し、実施の形態の図6に対応する断面図である。
【符号の説明】
10 センタープレート
11 サイドボディ
12 サイドカバー
13 サイドプレート
15A 第1ダイヤフラム
15B 第2ダイヤフラム
15C 第3ダイヤフラム
16 嵌合用凹部
23 連結部材
37A 第1駆動室
37B 第2駆動室
38A 第1ポンプ室
38B 第2ポンプ室
40 吸込口
41 吐出口
93A 吐出側第1チェック弁
93B 吐出側第2チェック弁
94A 吸込側第1チェック弁
94B 吸込側第2チェック弁
95 嵌合用凹部

Claims (9)

  1. センタープレートとその両側のサイドカバー及びサイドボディとによって構成された空所が、第1ダイヤフラム及び第2ダイヤフラムによって内側の左右の駆動室と外側の左右のポンプ室とにそれぞれ区分され、センタープレートの挿通孔に挿通された連結部材によって第1ダイヤフラムと第2ダイヤフラムとが連結され、制御装置によって左右の駆動室が相互に給排気され、吸込口と左右のポンプ室とがチェック弁を介して連通され、左右のポンプ室と吐出口とがチェック弁を介して連通されたダイヤフラムポンプにおいて、サイドカバー又はサイドボディに形成された嵌合用凹部にセンタープレートが嵌合され、サイドカバー及びセンタープレートの右側部にサイドボディの左側部が当接され、サイドボディの右側部とサイドプレートの左側部とによって構成された空所が第3ダイヤフラムによって脈動減衰器の脈動減衰室と空気室とに区分され、サイドカバーとサイドプレートとの間にセンタープレート及びサイドボディが挟持され、左右のポンプ室と吐出口とが脈動減衰室に連通されていることを特徴とする脈動減衰器付ダイヤフラムポンプ。
  2. 吸込口と左右のポンプ室とを連通する通路、左右のポンプ室と脈動減衰室とを連通する通路及び脈動減衰室と吐出口とを連通する通路が、サイドボディ及びサイドカバー内に配設され、前記制御装置がセンタープレート内に配設された請求項1記載の脈動減衰器付ダイヤフラムポンプ。
  3. 第1ダイヤフラムの外周部がサイドカバーの右側挟持部とセンタープレートの左側挟持部とによって挟持され、かつ第2ダイヤフラムの外周部がセンタープレートの右側挟持部とサイドボディの左側挟持部とによって挟持されて、サイドカバー、センタープレート及びサイドボディが長ボルトにより連結され、第3ダイヤフラムがサイドボディの右側挟持部とサイドプレートの左側挟持部とによって挟持されて、サイドプレートとサイドボディとが短ボルトにより連結された請求項1又は2記載の脈動減衰器付ダイヤフラムポンプ。
  4. サイドカバー及びサイドボディに、その上面及び下面に開口する段付挿入穴が形成され、各段付挿入穴にチェック弁が挿入され、各段付挿入穴がチェック弁カバーによって閉鎖され、吸込口が左右の吸込側チェック弁を介して左右のポンプ室に連通され、左右のポンプ室が左右の吐出側チェック弁を介して脈動減衰室に連通された請求項1ないし3のいずれかに記載された脈動減衰器付ダイヤフラムポンプ。
  5. 吸込口及び吐出口がサイドカバー及びサイドボディのそれぞれの前端面に開口され、又は吸込口及び吐出口がサイドボディの前端面に開口され、サイドカバー及びサイドボディの前端部にチェック弁が配設され、吸込口が左右の吸込側チェック弁の流入側に連通され、脈動減衰室が左右の吐出側チェック弁の流出側に連通された請求項4記載の脈動減衰器付ダイヤフラムポンプ。
  6. チェック弁が略円筒状の弁座体、チェック弁体及びチェック弁カバーにより構成され、チェック弁カバーの側部には連通口が形成され、吸込側のチェック弁カバーは弁座体の下側に配置され、吐出側のチェック弁カバーは弁座体の上側に配置され、吸込側チェック弁の連通口は吸込側通路を通して吸込口に連通され、吐出側チェック弁の連通口は吐出側通路を通して脈動減衰室に連通された請求項5記載の脈動減衰器付ダイヤフラムポンプ。
  7. エア供給口とエア排気口とがセンタープレートの後端面に開口され、センタープレートに制御装置の切換弁が配設され、切換弁のスプールの後端にスプリングの弾発力及び空気圧が常に作用し、スプールの前端にパイロット空気圧が作用するように構成された請求項1ないし6のいずれかに記載された脈動減衰器付ダイヤフラムポンプ。
  8. 脈動減衰器の空気室が、吸気弁を介してエア供給口に連通されるとともに排気弁を介してエア排気口に連通され、前記脈動減衰室の圧力が所定値以上に上昇されるときにのみ吸気弁が開かれ、前記脈動減衰室の圧力が所定量以下に下降されるときにのみ排気弁が開かれるように構成された請求項1ないし7のいずれかに記載された脈動減衰器付ダイヤフラムポンプ。
  9. 第3ダイヤフラムにダイヤフラム位置検出レバーが連結され、ダイヤフラム位置検出レバーの先端の右側の対向位置に吸気弁のプッシュロッドが配置され、ダイヤフラム位置検出レバーの先端の左側の対向位置に排気弁のプッシュロッドが配置された請求項8記載の脈動減衰器付ダイヤフラムポンプ。
JP26508696A 1996-09-17 1996-09-17 脈動減衰器付ダイヤフラムポンプ Expired - Fee Related JP3816993B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP26508696A JP3816993B2 (ja) 1996-09-17 1996-09-17 脈動減衰器付ダイヤフラムポンプ

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP26508696A JP3816993B2 (ja) 1996-09-17 1996-09-17 脈動減衰器付ダイヤフラムポンプ

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH1089258A JPH1089258A (ja) 1998-04-07
JP3816993B2 true JP3816993B2 (ja) 2006-08-30

Family

ID=17412410

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP26508696A Expired - Fee Related JP3816993B2 (ja) 1996-09-17 1996-09-17 脈動減衰器付ダイヤフラムポンプ

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3816993B2 (ja)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100291161B1 (ko) * 1998-08-14 2001-06-01 김성철 다이어프램펌프
JP4565564B2 (ja) 2005-10-25 2010-10-20 日東工器株式会社 低振動ポンプ

Also Published As

Publication number Publication date
JPH1089258A (ja) 1998-04-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100275913B1 (ko) 파일럿식 5포트 밸브
US5213485A (en) Air driven double diaphragm pump
CN100354784C (zh) 压力比例控制阀
JP4275135B2 (ja) 方向制御弁
JP3816988B2 (ja) プロセスポンプ
CN100458183C (zh) 先导式二通换向阀
CN112105855A (zh) 球式止回阀以及隔膜泵
JP4189711B2 (ja) 2ポート弁
KR20020022014A (ko) 진공배기밸브
US7063517B2 (en) Valve apparatus and pneumatically driven diaphragm pump incorporating same
EP0132913B1 (en) Diaphragm or piston pump
JP3816993B2 (ja) 脈動減衰器付ダイヤフラムポンプ
JPH08219027A (ja) ポンプ装置用の遮断弁ユニット
JP3300686B2 (ja) 多段ピストンアクチュエータ
US20050139061A1 (en) Stackable actuator housing
EP0965013A2 (en) Improved valve construction
KR102016852B1 (ko) 배관용 자동 밸브
JPH10267002A (ja) 増圧装置
JP7187011B2 (ja) アクチュエータ、バルブ、流体供給システム、および半導体製造装置
JP7426122B2 (ja) 発動機およびその発動機を備える油圧ポンプ装置
US6129521A (en) Safety valve apparatus for air pressure operable diaphragm pump
JP3294962B2 (ja) 真空バルブ
JP2000271800A (ja) 機械プレスの過負荷防止装置
TWI736153B (zh) 流體控制閥
JP3153119B2 (ja) 流路接続構造、電磁弁マニホールド

Legal Events

Date Code Title Description
A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20060419

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20060509

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20060609

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100616

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110616

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120616

Year of fee payment: 6

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees