JPH0325477Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 産業上の利用分野 本考案は、エアー駆動式開閉弁に関し、特に、
駆動用ピストンの摺動に伴つて生ずる粉塵や油分
が排出空気に混じつて周りの雰囲気中に放出され
るのを阻止し得るようにしたエアー駆動式開閉弁
に関する。

従来の技術及び考案が解決しようとする問題点 薬液や純水等の流体流路を開閉制御するのに用
いられるエアー駆動式開閉弁の一般的な構造は、
弁口に接離して開閉する弁体を収容した弁室とピ
ストンを摺動自由に嵌合した圧力室とを摺動孔の
前側と後側に連設し、その摺動孔に摺動自由に嵌
合したロツドの前端に弁体を、後端にピストン
を、夫々結合し、弁体をばねの弾力により閉弁方
向に付勢するとともに、圧力室のピストンの前面
側に加圧空気を供給することによりピストン及び
ロツドとともに弁体を後退させて開弁するように
なつている。

ところで、従来のエアー駆動式開閉弁では、圧
力室のピストンの前面側への加圧空気の供給によ
り、ピストン及びロツドとともに弁体が後退する
際に、圧力室のピストンの後面側の空気、及び、
弁体の周りに張設されたダイヤフラムにより前後
に気密に画成された弁室の後側の室の空気は、
夫々外部に開口して形成された排出口から、その
まま開閉弁の周りに排出されるようになつていた
ため、ピストン及びロツドの摺動に伴つて生ずる
摩耗粉や、ピストン及びロツドの外周面に嵌着さ
れたシール用のＯリングに塗つたグリースが、こ
れらの排出空気に混じつて放出されて開閉弁の周
りの雰囲気を汚すことから、特に、半導体製造室
のように高い清浄度が要求される場所では、使用
が制限される不具合があつた。

問題点を解決するための手段 上記の問題点を解決するための手段として、本
考案のエアー駆動式開閉弁は、弁口に接離して開
閉する弁体を収容した弁室とピストンを摺動自由
に嵌合した圧力室とを摺動孔の前側と後側に連設
し、該摺動孔に摺動自由に嵌合したロツドの前端
に前記弁体を、後端に前記ピストンを、夫々、結
合し、前記弁体をばねの弾力により閉弁方向に付
勢するとともに、前記圧力室の前記ピストンの前
面側に加圧空気を供給することにより前記ピスト
ン及びロツドとともに前記弁体を後退させて開弁
するようにしたエアー駆動式開閉弁において、前
記弁室の前側と後側を前記弁体の周りに張設した
ダイヤフラム、ベローズ等の可撓隔膜で気密に画
成するとともに、前記弁室の後側の室を前記ロツ
ド内に形成した通気孔によつて前記圧力室の前記
ピストンの後面側に連通し、該圧力室の後面側に
外気への放出管の接続口を設けた構成とした。

作用及び効果 本考案は上記の構成になり、圧力室のピストン
の前面側へ加圧空気を供給することにより、ピス
トン及びロツドとともに弁体が後退する際に、弁
室の後側の室の空気がロツドに形成した通気孔を
通つて圧力室のピストンの後面側に流れ込み、こ
の流れ込んだ空気が、圧力室のピストンの後面側
の空気とともに、圧力室のピストンの後面側に設
けた接続口に接続した放出管により外気へ排出さ
れるのであつて、ピストン及びロツドの摺動に伴
つて生ずる粉塵や潤滑油は、排出空気に混じつて
放出管を通つて外気に排出されるから、周りの雰
囲気が粉塵や油分で汚染されるのが確実に防止さ
れ、従つて、高い清浄度の要求される場所での使
用が可能となり、しかも、弁室の後側の室と圧力
室のピストンの後面側とをロツドに形成した通気
孔で連通して、両方の排出空気を圧力室のピスト
ンの後面側に接続した放出管で排出するようにし
たから、放出管が１本で済んで、配管に要するス
ペースを小さく抑えることができる効果がある。

実施例 以下、本考案の一実施例を第１図に基づいて説
明する。

図において、１は、左右両側面に流体の流入口
２と流出口３を形成したボデイであつて、流入口
２と流出口３に連通する通路４，５が、ボデイ１
の上面に穿設した孔６の底面に夫々開口し、流出
口３に連通する通路５の開口が弁口７となつてお
り、このボデイ１の上部に、下面及び上面に夫々
孔１０，１１を穿設し、その間に摺動孔１２を形
成したシリンダ９が取り付けられ、さらに、シリ
ンダ９の上面に蓋体１３が被着されており、ボデ
イ１の上面の孔６とシリンダ９の下面の孔１０の
間に弁室１５が、また、シリンダ９の上面の孔１
１と蓋体１３の間に圧力室１６が夫々形成されて
おり、前記した摺動孔１２に、外周面にＯリング
１９を嵌着したロツド１８が摺動自由に嵌合さ
れ、このロツド１８の弁室１５内に突出した下端
に、前記した弁口７の口縁に接離して弁口７を開
閉する合成樹脂からなる弁体２１が、その上面に
突設したねじ２２をロツド１８に形成したねじ穴
２３に螺合して結合され、この弁体２１の外周面
に一体に形成したダイヤフラム２４の外周縁が、
ボデイ１とシリンダ９の間に挟着されて、弁室１
５が上下に気密に画成されているとともに、ロツ
ド１８の圧力室１６内に突出した上端に、圧力室
１６に摺動自由に嵌合する外周面にＯリング２６
を嵌着したピストン２５がナツト２７で結合さ
れ、このピストン２５の上面と蓋体１３の下面の
間に圧縮コイルばね２８が装着され、その弾拡力
によりピストン２５及びロツド１８とともに、弁
体２１に閉弁方向の移動力が付勢されており、ま
た、シリンダ９の外周面に、圧力室１６のピスト
ン２５の下面側に連通する加圧空気の供給口３０
が形成されている。

前記したロツド１８の内部には、その上端面か
らねじ穴２３のすぐ上方に達する通気孔３１が形
成され、その通気孔３１の下端部が、通路３２に
よつてロツド１８の外周面に開口し、前記した摺
動孔１２の内周面の下端部に、その通路３２と弁
室１５の上側の室１５ａとを連通する溝３３が形
成されているとともに、蓋体１３の周面に、圧力
室１６のピストン２５の上面側に連通する接続口
３５が形成され、この接続口３５に、外気への放
出管３６がニツプル３７を介して接続されてい
る。

次に、本実施例の作動を説明する。

シリンダ９の供給口３０から、圧力室１６のピ
ストン２５の下面側に加圧空気を供給すると、ピ
ストン２５及びロツド１８が圧縮コイルばね２８
を弾縮しつつ上動し、これに伴つて弁体２１がダ
イヤフラム２４を弾性変形させながら上動して弁
口７を開き、供給口３０を大気に開放すると、圧
縮コイルばね２８の復元弾拡力でピストン２５及
びロツド１８が下動し、これにより弁体２１が弁
口７の口縁に押し付けられて弁口７が閉じ、上記
のピストン２５及びロツド１８とともに弁体２１
が上動する際、ダイヤフラム２４の上動により圧
縮された弁室１５の上側の室１５ａ内の空気は、
摺動孔１２の内周面の溝３３及びロツド１８の外
周面の通路３２からロツド１８内の通気孔３１に
入り込んで、この通気孔３１を通つて圧力室１６
のピストン２５の上面側に流れ込み、ピストン２
５の上動により圧縮されたピストン２５の上面側
の空気とともに、接続口３５から放出管３６を通
つて外気中に排出され、ピストン２５の外周面が
圧力室１６の内周面と擦り合い、また、ロツド１
８の外周面が摺動孔１２の内周面と擦り合うこと
によつて生ずる摩耗粉や、ピストン２５及びロツ
ド１８の外周面に嵌着したＯリング２６，１９に
塗つたグリースは、上記の排出空気中に混じつ
て、放出管３６を通つて外気中に放出される。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案の一実施例の断面図である。 ７……弁口、１２……摺動孔、１５……弁室、
１５ａ……弁室１５の上側の室、１６……圧力
室、１８……ロツド、２１……弁体、２４……ダ
イヤフラム、２５……ピストン、２８……圧縮コ
イルばね、３０……供給口、３１……通気孔、３
２……通路、３３……溝、３５……接続口、３６
……放出管。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 弁口に接離して開閉する弁体を収容した弁室と
   ピストンを摺動自在に嵌合した圧力室とを摺動孔
   の前側と後側に連設し、該摺動孔に摺動自由に嵌
   合したロツドの前端に前記弁体を、後端に前記ピ
   ストンを、夫々、結合し、前記弁体をばねの弾力
   により閉弁方向に付勢するとともに、前記圧力室
   の前記ピストンの前面側に加圧空気を供給するこ
   とにより前記ピストン及びロツドとともに前記弁
   体を後退させて開弁するようにしたエアー駆動式
   開閉弁において、前記弁室の前側と後側を前記弁
   体の周りに張設したダイヤフラム、ベローズ等の
   可撓隔膜で気密に画成するとともに、前記弁室の
   後側の室を前記ロツド内に形成した通気孔によつ
   て前記圧力室の前記ピストンの後面側に連通し、
   該圧力室の後面側に外気への放出管の接続口を設
   けたことを特徴とするエアー駆動式開閉弁。