JPH02112981U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH02112981U JPH02112981U JP1960389U JP1960389U JPH02112981U JP H02112981 U JPH02112981 U JP H02112981U JP 1960389 U JP1960389 U JP 1960389U JP 1960389 U JP1960389 U JP 1960389U JP H02112981 U JPH02112981 U JP H02112981U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pump
- flow rate
- microflow
- electromagnetic
- calculator
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 2
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims 1
Landscapes
- Reciprocating Pumps (AREA)
Description
第１図は本考案に係るダイヤフラム型の電磁ポ
ンプを用いた微流量ポンプの側面断面図、第２図
はプランジヤ型の電磁ポンプを用いた微流量ポン
プの側面断面図である。 １３：ダイヤフラム、１５：蓄圧器、２３：抵
抗板、２５：ノズル、２６：出口、２７：検出コ
イル、２８：磁性ロツド、３０：電子制御装置、
３１：流量センサ、４３，６５：電磁コイル、４
７：シリンダ、５０，６２：アマチユア、５１，
６８：電磁ポンプ、５３，５５，７０，７４：逆
止弁、６１：アクチユエータ、７１：ダイヤフラ
ム、７３：ポンプ室。
ンプを用いた微流量ポンプの側面断面図、第２図
はプランジヤ型の電磁ポンプを用いた微流量ポン
プの側面断面図である。 １３：ダイヤフラム、１５：蓄圧器、２３：抵
抗板、２５：ノズル、２６：出口、２７：検出コ
イル、２８：磁性ロツド、３０：電子制御装置、
３１：流量センサ、４３，６５：電磁コイル、４
７：シリンダ、５０，６２：アマチユア、５１，
６８：電磁ポンプ、５３，５５，７０，７４：逆
止弁、６１：アクチユエータ、７１：ダイヤフラ
ム、７３：ポンプ室。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 流体を吸引し吐き出すポンプと、ポンプの
吐出流量を電気的に検出する流量センサと、流量
センサの検出信号と流量設定値の信号とを比較演
算する演算器と、演算器の出力を増幅してポンプ
の駆動電源とする増幅器とを一体に備えた微流量
ポンプにおいて、前記ポンプが電磁ポンプである
ことを特徴とする微流量ポンプ。 (2) 前記電磁ポンプがダイヤフラム型のポンプ
である実用新案登録請求の範囲(1)に記載の微流
量ポンプ。 (3) 前記電磁ポンプがプランジヤ型のポンプで
ある実用新案登録請求の範囲(1)に記載の微流量
ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1960389U JPH02112981U (ja) | 1989-02-23 | 1989-02-23 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1960389U JPH02112981U (ja) | 1989-02-23 | 1989-02-23 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02112981U true JPH02112981U (ja) | 1990-09-10 |
Family
ID=31235259
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1960389U Pending JPH02112981U (ja) | 1989-02-23 | 1989-02-23 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02112981U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2004076862A1 (ja) * | 2003-02-27 | 2004-09-10 | Shinano Kenshi Kabushiki Kaisha | 電磁式ダイアフラムポンプ |
| WO2007049503A1 (ja) * | 2005-10-25 | 2007-05-03 | Nitto Kohki Co., Ltd. | 低振動ポンプ |
-
1989
- 1989-02-23 JP JP1960389U patent/JPH02112981U/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2004076862A1 (ja) * | 2003-02-27 | 2004-09-10 | Shinano Kenshi Kabushiki Kaisha | 電磁式ダイアフラムポンプ |
| WO2007049503A1 (ja) * | 2005-10-25 | 2007-05-03 | Nitto Kohki Co., Ltd. | 低振動ポンプ |
| JP2007120338A (ja) * | 2005-10-25 | 2007-05-17 | Nitto Kohki Co Ltd | 低振動ポンプ |
| EP1950416A1 (en) * | 2005-10-25 | 2008-07-30 | Nitto Kohki Co., Ltd. | Low vibration pump |
| JP4565564B2 (ja) * | 2005-10-25 | 2010-10-20 | 日東工器株式会社 | 低振動ポンプ |
| EP1950416A4 (en) * | 2005-10-25 | 2011-05-18 | Nitto Kohki Co | VIBRATION PUMP |
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