JPH0296487U - - Google Patents

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JPH0296487U
JPH0296487U JP591589U JP591589U JPH0296487U JP H0296487 U JPH0296487 U JP H0296487U JP 591589 U JP591589 U JP 591589U JP 591589 U JP591589 U JP 591589U JP H0296487 U JPH0296487 U JP H0296487U
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Japan
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diaphragm
storage chamber
pressure chamber
communicating
pressurized air
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【図面の簡単な説明】
添付図面は本考案の実施例を示し、第1図は第
1実施例の断面図、第2図は第2実施例の断面図
である。 1:ボデイ、4,45:吸吐用ダイヤフラム、
6,58:吸吐用圧力室、7:貯留室、8:吸入
口、14:吐出口、22:真空発生装置、24:
加圧空気供給装置、30,46:移動体、41,
53:検知装置、55:制御装置。

Claims (1)

  1. 【実用新案登録請求の範囲】 ボデイに、真空発生装置及び加圧空気供給装置
    に接続した圧力室と、吸入口及び吐出口に連通す
    る貯留室とをダイヤフラムで仕切ることによつて
    形成し、前記圧力室を前記真空発生装置に連通さ
    せて前記ダイヤフラムを前記貯留室の容積が増大
    するように弾性変形させることにより該貯留室内
    に被供給流体を吸入し、前記圧力室を前記加圧空
    気供給装置に連通させて前記ダイヤフラムを前記
    貯留室の容積が減少するように弾性変形させるこ
    とにより該貯留室内の被供給流体を吐出するよう
    にしたダイヤフラムポンプにおいて、 前記ダイヤフラムに、該ダイヤフラムの弾性変
    形にともなつて一体的に移動する移動体を取り付
    け、前記ボデイに、前記移動体の変位量を検知す
    る検知装置を固設し、該検知装置を、該検知装置
    からの検知信号によつて前記圧力室への加圧空気
    の供給を制御する制御装置に接続したことを特徴
    とするダイヤフラムポンプ。
JP591589U 1989-01-20 1989-01-20 Pending JPH0296487U (ja)

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JPH0296487U true JPH0296487U (ja) 1990-08-01

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JP (1) JPH0296487U (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11324923A (ja) * 1998-05-15 1999-11-26 Ckd Corp ダブルポンプ
WO2006120881A1 (ja) * 2005-05-13 2006-11-16 Ckd Corporation 薬液供給システム及び薬液供給ポンプ

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11324923A (ja) * 1998-05-15 1999-11-26 Ckd Corp ダブルポンプ
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