JP5419008B2

JP5419008B2 - ポンプ装置

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Publication number: JP5419008B2
Application number: JP2009108592A
Authority: JP
Inventors: 喜弘深野; 貴光鈴木
Original assignee: SMC Corp
Current assignee: SMC Corp
Priority date: 2009-04-28
Filing date: 2009-04-28
Publication date: 2014-02-19
Anticipated expiration: 2029-04-28
Also published as: US20100272589A1; DE102009048721A1; DE102009048721B4; US8382451B2; JP2010255578A

Description

本発明は、駆動部の駆動作用下に変位機構を介して流体を、常に一定量で吐出することが可能なポンプ装置に関する。

従来から、半導体等の製造装置、塗装用装置、医療用機器等において一定量の薬液、塗料、洗浄液等を供給するための定量吐出ポンプが採用されている。

本出願人は、流体が吸入される吸引ポートと流体が吐出される吐出ポートとを有するボディの内部にポンプ室が形成され、パイロット圧の作用下に前記ボディ内の第１室に沿ってピストンが変位すると共に、前記ピストンによって非圧縮性流体からなる間接媒体が押圧され、該間接媒体と隣接するように設けられたダイヤフラムが撓曲し、前記ポンプ室に充填された流体を押圧して吐出させるポンプ装置を提案している（特許文献１参照）。

特開２００６−２９３０２号公報

本発明は、前記の提案に関連してなされたものであり、間接媒体内への気泡の進入を防止し、より一層高精度に一定量の流体を吐出することが可能なポンプ装置を提供することを目的とする。

前記の目的を達成するために、本発明は、流体の吸入・排出されるポートと、該ポートに連通したポンプ室とを有するボディと、
前記ボディの内部に設けられ、軸線方向に沿って変位自在な変位体を有する変位機構と、
前記ボディの端部に設けられ、通電作用下に前記変位機構を軸線方向に沿って変位させる駆動部と、
前記変位体と前記ボディとの間に介装されるベローズと、
非圧縮性流体からなり、前記ボディの充填室及び該充填室に連通した前記ベローズの内部に充填される間接媒体と、
前記ボディの内部において、前記ポンプ室と前記間接媒体との間に設けられ、前記変位機構の変位作用下に該ポンプ室内の流体を吐出させるダイヤフラムと、
を備えることを特徴とする。

本発明によれば、ポートを有したボディの内部に、変位体を有する変位機構が設けられ、該ボディの端部に装着された駆動部が通電作用下に駆動することによって前記変位体を軸線方向に沿って変位させると共に、前記変位体と該ボディとの間にベローズを介装し、該ベローズの内部と前記ボディの充填室に、非圧縮性流体からなる間接媒体が充填されている。そして、変位体が変位することによってベローズが圧縮され、その内部に充填された間接媒体が充填室側へと移動し、該充填室に設けられたダイヤフラムを押圧することにより、前記ダイヤフラムに隣接したポンプ室に吸入されている流体がポートから吐出される。

従って、通電作用下に駆動部を駆動させて変位体を変位させることが可能なポンプ装置において、間接媒体がベローズ内に充填され、その液密が保持されているため、該間接媒体内への空気の進入を阻止することができ、該空気の進入による流体の吐出精度の低下を防止することができる。その結果、流体を一定量で高精度に吐出することができる。

また、変位機構は、駆動部の駆動作用下に回転するシャフトと、前記シャフトに螺合された変位体と、前記変位体と前記ボディとの間に介装され、内部に前記間接媒体の充填されたベローズと、から構成するとよい。

さらに、変位体とボディとの間には、該変位体を前記ダイヤフラムから離間させる方向に付勢するスプリングを設けるとよい。これにより、駆動部の駆動作用下にシャフトに螺合された変位体を直線変位させる際、前記シャフトと前記変位体との螺合部位にバックラッシが生じることを防止できる。その結果、変位体を、駆動部の回転量に応じてより高精度に軸線方向に沿って変位させることを可能とし、より一層高精度に流体を一定量で吐出することができる。

さらにまた、本発明は、流体の吸入・排出されるポートと、該ポートに連通したポンプ室とを有するボディと、
前記ボディの内部に設けられ、軸線方向に沿って変位自在な変位体を有する変位機構と、
パイロット圧の供給作用下に前記ボディの内部に設けられた前記変位機構を軸線方向に沿って変位させるエア駆動部と、
前記変位体と前記ボディとの間に介装されるベローズと、
非圧縮性流体からなり、前記ボディの充填室及び該充填室に連通した前記ベローズの内部に充填される間接媒体と、
前記ボディの内部において、前記ポンプ室と前記間接媒体との間に設けられ、前記変位機構の変位作用下に該ポンプ室内の流体を吐出させるダイヤフラムと、
を備えることを特徴とする。

本発明によれば、ポートを有したボディの内部に、変位体を有する変位機構が設けられ、パイロット圧の供給作用下にエア駆動部によって前記変位体を軸線方向に沿って変位させると共に、前記変位体と該ボディとの間にベローズを介装し、該ベローズの内部と前記ボディの充填室に、非圧縮性流体からなる間接媒体が充填されている。そして、変位体が変位することによってベローズが圧縮され、その内部に充填された間接媒体が充填室側へと移動し、該充填室に設けられたダイヤフラムを押圧することにより、前記ダイヤフラムに隣接したポンプ室に吸入されている流体がポートから吐出される。

従って、パイロット圧の供給作用下に変位体を変位させることが可能なポンプ装置において、間接媒体がベローズ内に充填され、その液密が保持されているため、該間接媒体内への空気の進入を阻止することができ、該空気の進入による流体の吐出精度の低下を防止することができる。その結果、流体を一定量で高精度に吐出することができる。

本発明によれば、以下の効果が得られる。

すなわち、ボディの内部に、変位体を有する変位機構を設け、前記変位体と該ボディとの間にベローズを介装し、該ベローズの内部と前記ボディの充填室に非圧縮性流体からなる間接媒体を充填することにより、前記ベローズ内において前記間接媒体の液密が確実に保持され、該間接媒体内への空気の進入が阻止されるため、該空気の進入による流体の吐出精度の低下を防止することができる。その結果、流体を一定量で高精度に吐出することができる。

本発明の第１の実施の形態に係る定量吐出ポンプの全体断面図である。図１に示す定量吐出ポンプが用いられるポンプユニットの概略構成図である。図１に示される定量吐出ポンプのポンプヘッドの正面図である。図３に示すポンプヘッドの断面斜視図である。図１に示す定量吐出ポンプにおいて流体がポンプ室内に吸入された状態を示す全体断面図である。図５に示す定量吐出ポンプにおいて流体がポンプ室から吐出される状態を示す全体断面図である。本発明の第２の実施の形態に係る定量吐出ポンプの全体断面図である。本発明の第３の実施の形態に係る定量吐出ポンプの全体断面図である。本発明の第４の実施の形態に係る定量吐出ポンプの全体断面図である。

本発明に係るポンプ装置について好適な実施の形態を挙げ、添付の図面を参照しながら以下詳細に説明する。

図１において、参照符号１０は、本発明の第１の実施の形態に係る定量吐出ポンプ（ポンプ装置）を示す。

この定量吐出ポンプ１０は、図１〜図６に示されるように、中空状のハウジング（ボディ）１２と、該ハウジング１２の一端部に設けられる回転駆動源（駆動部）１４と、前記ハウジング１２の他端部に連結されるポンプヘッド（ボディ）１６と、前記回転駆動源１４の駆動作用下にハウジング１２の内部に沿って軸線方向に変位する変位機構１８と、前記変位機構１８の変位によって流体Ｓを吐出する吐出機構２０とを含む。

ハウジング１２は、例えば、金属製材料から形成され、その開口した一端部に回転駆動源１４の一部が挿入されて連結されると共に、他端部が、半径外方向に略直角に折曲されて拡径した後、一端部側（矢印Ａ方向）に向かって再び略直角に折曲されて所定長さで延在した折返部２２が形成される。換言すれば、折返部２２は、断面略Ｕ字状でハウジング１２の周方向に沿って環状に形成される。

回転駆動源１４は、例えば、ステッピングモータからなり、コントローラＣ（図２参照）からの出力信号に基づいて回転する駆動軸（シャフト）２４を備えている。この駆動軸２４は、回転駆動源１４の軸線上に設けられ、該回転駆動源１４がハウジング１２の一端部に連結された状態において、該ハウジング１２の内部に所定長さだけ挿入されるように設けられる。また、駆動軸２４の外周面には、ねじ２６が刻設されて後述する変位機構１８を構成する変位ナット（変位体）２８が螺合される。

ポンプヘッド１６は、ハウジング１２の開口した他端部に装着され、例えば、オイル等の非圧縮性流体からなる間接媒体３０が充填される充填室３２を有した第１ブロック３４と、該第１ブロック３４の端面に連結され、前記充填室３２を閉塞する第２ブロック３６とからなり、前記第１ブロック３４と第２ブロック３６との間には、後述する吐出機構２０を構成するダイヤフラム３８が挟持されている。この充填室３２は、第２ブロック３６側が最も幅広に形成され、ハウジング１２側が前記第２ブロック３６側に対して段付状で幅狭に形成される。

また、第２ブロック３６には、第１ブロック３４の充填室３２に臨むようにポンプ室４０が形成される。このポンプ室４０は、第２ブロック３６の端面に対して第１ブロック３４から離間する方向に向かって略半球面４２状に窪んだ半球面４２を有し、該第２ブロック３６の外側面に設けられた流体ポート４４と連通路４１を介して連通している。

この半球面４２は、第２ブロック３６の中央部、すなわち、定量吐出ポンプ１０の軸線上が最も深く窪んで形成され、その内壁面には、図３及び図４に示されるように、半球面４２の中心から連通路４１に向かって一直線上に延在する第１溝部４６と、該中心から半径外方向に向かって放射線状に延在する複数（例えば、７本）の第２溝部４８とが形成される。この第１及び第２溝部４８は、半球面４２の表面に対してさらに所定深さで窪んで形成されると共に、前記第１溝部４６は、第２ブロック３６の端面と略平行となる深さで形成され、前記第２溝部４８は、前記半球面４２の表面に対して一定深さで形成されると共に、互いに所定角度離間するように形成される。

換言すれば、第１溝部４６は、半球面４２の表面に対して連通路４１側に向かって徐々に深さが深くなるように形成され、一方、第２溝部４８は、半球面４２の半径外方向に向かって一定深さで延在している。

一方、流体ポート４４は、第２ブロック３６の外側面に形成され、図示しない接続プラグを介してチューブ５０が接続される。そして、チューブ５０には、例えば、３ポート弁等の切換弁５２が接続され、該切換弁５２には、例えば、図示しない半導体のコーティング液供給源を接続すると共に、図示しないコーティング液滴下装置を接続し、互いに切換可能としている。すなわち、流体ポート４４に対して流体Ｓを供給する場合には、切換弁５２の切換作用下に前記コーティング液供給源と流体ポート４４とを連通させ、一方、前記流体ポート４４からコーティング液滴下装置へと前記流体Ｓを吐出する場合には、前記切換弁５２の切換作用下に前記流体ポート４４と前記コーティング液滴下装置を連通させるようにする。

換言すれば、切換弁５２は、コーティング液供給源からの流体ポート４４への流体Ｓの供給と、ポンプ室４０からコーティング液滴下装置への前記流体Ｓの吐出とを切り換えている。

変位機構１８は、ハウジング１２の内部に設けられ、駆動軸２４に螺合される変位ナット２８と、前記変位ナット２８の端部に螺合され、該変位ナット２８及び駆動軸２４の一部を覆うように設けられた有底筒状の筒体５４と、前記筒体５４の外周側に設けられたブロック体５６とを含む。そして、回転駆動源１４の駆動作用下に駆動軸２４が回転することにより、変位ナット２８が筒体５４及びブロック体５６と共にハウジング１２の内部において軸線方向（矢印Ａ、Ｂ方向）に沿って変位する。

吐出機構２０は、第１ブロック３４と第２ブロック３６との間に設けられるダイヤフラム３８と、該第１ブロック３４の端部と変位機構１８との間に介在されるベローズ５８とを備え、前記ベローズ５８の内部が充填室３２と連通するように接続される。

ダイヤフラム３８は、例えば、樹脂製材料やゴム等の弾性材料からなり、本体部６０と、該本体部６０の半径外方向に形成され、該本体部６０に対して薄く形成された周縁部６２とを有し、前記周縁部６２がポンプヘッド１６における第１ブロック３４と第２ブロック３６との間に挟持される。換言すれば、ダイヤフラム３８の本体部６０は、周縁部６２に対して厚く形成される。なお、周縁部６２は、第２ブロック３６側に向かって折曲された突部６４を備え、前記突部６４が前記第２ブロック３６の端面に設けられた凹溝に挿入される。

ベローズ５８は、例えば、金属製材料から円筒状に形成され、その外周面が軸線方向に沿って半径方向に凹凸状に折曲された蛇腹状に形成される。そして、ベローズ５８の一端部が、第１ブロック３４の中心に設けられ、充填室３２と連通した開口部６８に固着されると共に、他端部が、筒体５４のフランジ部７０に対して固着される。このベローズ５８は、例えば、第１ブロック３４及び筒体５４に対して溶接等によって固着される。

そして、ベローズ５８は、その内部が第１ブロック３４の充填室３２と連通するように接続されているため、該充填室３２内に充填された間接媒体３０が前記ベローズ５８の内部にも充填される。すなわち、ダイヤフラム３８、充填室３２及びベローズ５８によって間接媒体３０の充填される空間部が構成される。

本発明の第１の実施の形態に係る定量吐出ポンプ１０は、基本的には以上のように構成されるものであり、次にその動作並びに作用効果について説明する。なお、図５に示されるように、ポンプ室４０には既に所定量の流体Ｓが吸引され、ダイヤフラム３８が回転駆動源１４側に凹状に窪み、且つ、変位ナット２８が回転駆動源１４側（矢印Ａ方向）に移動した状態を初期位置として説明する。

先ず、コントローラＣ（図２参照）から回転駆動源１４に対して制御信号を出力し、該回転駆動源１４を回転駆動させることによって駆動軸２４が回転し、変位ナット２８がポンプヘッド１６側（矢印Ｂ方向）へと移動する。これに伴って、変位ナット２８と共に筒体５４及びブロック体５６が一体的にポンプヘッド１６側（矢印Ｂ方向）へと移動する。そして、筒体５４及びブロック体５６によってベローズ５８の他端部がポンプヘッド１６側（矢印Ｂ方向）に向かって押圧されることにより、その内部に充填された間接媒体３０が充填室３２側（矢印Ｂ方向）に向かって押圧され、該充填室３２内に導入されてダイヤフラム３８をポンプ室４０側に向かって押圧することによって撓曲させる（図６参照）。

これにより、ダイヤフラム３８が、半球状に形成されたポンプ室４０の半球面４２に当接するように変形し、該ポンプ室４０の内部に吸引されていた流体Ｓが、第１溝部４６を通じて連通路４１側へと導かれ、流体ポート４４から所定量だけ外部に吐出される。

この結果、変位機構１８の変位が非圧縮性流体からなる間接媒体３０を通じてダイヤフラム３８に伝達されることにより、変位ナット２８、筒体５４及びブロック体５６の変位量と、ダイヤフラム３８によって押圧されてポンプ室４０から流体ポート４４を介して吐出される流体Ｓの流量（吐出量）とが比例関係となるように設定される。

ポンプ室４０の内部の流体Ｓが、チューブ５０を介して流体ポート４４に接続された切換弁５２の切換作用下にコーティング液滴下装置へと吐出され、常に一定量の流体Ｓ（例えば、コーティング液）が半導体ウェハに対して滴下される。すなわち、流体ポート４４から吐出される流体Ｓの流量が、変位機構１８の変位量に対応して常に一定となるように高精度な流体Ｓの流量制御を行うことができる。

以上のように、第１の実施の形態では、変位機構１８における筒体５４とポンプヘッド１６との間にベローズ５８を介装させ、間接媒体３０の充填された充填室３２と前記ベローズ５８の内部とを連通させる構成としているため、前記変位機構１８によってベローズ５８を圧縮して前記間接媒体３０をダイヤフラム３８側へと押圧することが可能となる。すなわち、従来の定量吐出ポンプで懸念されていた間接媒体３０内への空気の進入を阻止することができ、該空気の進入による流体Ｓの吐出精度の低下を防止することができる。その結果、流体Ｓを一定量で高精度に吐出することが可能となる。

換言すれば、ベローズ５８を、変位機構１８を構成する筒体５４とポンプヘッド１６の第１ブロック３４との間に介装し、その内部に間接媒体３０を充填させることにより、該ベローズ５８の内部に外部から空気が進入することが阻止され、前記ベローズ５８における間接媒体３０の液密が確実に保持される。

また、ポンプ室４０を構成する第２ブロック３６には、ダイヤフラム３８に臨む半球面４２に放射線状の第１及び第２溝部４６、４８が形成されているため、前記ポンプ室４０内の流体Ｓが前記ダイヤフラム３８による押圧作用下に吐出される際、前記流体Ｓを前記第１及び第２溝部４６、４８に沿って流通させることが可能となる。その結果、流体Ｓを確実且つ効率的にポンプ室４０から流体ポート４４へと吐出することができる。

次に、第２の実施の形態に係る定量吐出ポンプ１００を図７に示す。なお、上述した第１の実施の形態に係る定量吐出ポンプ１０と同一の構成要素には同一の参照符号を付して、その詳細な説明を省略する。

この第２の実施の形態に係る定量吐出ポンプ１００では、ハウジング１２の内部にスプリング１０２を備えている点で、第１の実施の形態に係る定量吐出ポンプ１０と相違している。

この定量吐出ポンプ１００は、図７に示されるように、ハウジング１２の内部に筒状のスプリングガイド１０４を備え、前記スプリングガイド１０４が第１ブロック３４の端面に固定されると共に、ベローズ５８の外周側を覆うように設けられる。スプリング１０２は、例えば、コイルスプリングからなり、スプリングガイド１０４の外周側に設けられると共に、その一端部が、第１ブロック３４に固定されたスプリングガイド１０４の端部に装着され、他端部が、変位機構１８を構成するブロック体５６の端部に装着される。そして、スプリング１０２の弾発力は、ブロック体５６を含む変位機構１８を、ポンプヘッド１６から離間させる方向（矢印Ａ方向）に付勢している。

このように第２の実施の形態では、回転駆動源１４の回転駆動力を、変位機構１８によって軸線方向（矢印Ａ、Ｂ方向）に沿った直線運動へと変換する際、駆動軸２４と、該駆動軸２４に螺合された変位ナット２８との間にバックラッシが生じることが懸念されるが、スプリング１０２によってブロック体５６を軸線方向に沿って押圧する構成としているため、前記バックラッシを防止することができる。その結果、ブロック体５６と連結された変位ナット２８を、回転駆動源１４の回転量に応じてより高精度に軸線方向（矢印Ａ、Ｂ方向）に沿って変位させることが可能となり、第１の実施の形態に係る定量吐出ポンプ１０と比較し、より一層高精度に流体Ｓを一定量で吐出することができる。

次に、第３の実施の形態に係る定量吐出ポンプ１２０を図８に示す。なお、上述した第１及び第２の実施の形態に係る定量吐出ポンプ１０、１００と同一の構成要素には同一の参照符号を付して、その詳細な説明を省略する。

この第３の実施の形態に係る定量吐出ポンプ１２０では、ポンプヘッド１６の流体ポート４４に対して切換弁１２２を直接装着している点で、第１〜第３の実施の形態に係る定量吐出ポンプ１０、１００、１２０と相違している。

このように第３の実施の形態では、流体ポート４４に対する流体Ｓの吸入と吐出とを切換可能な切換弁１２２を直接設けているため、該切換弁１２２とポンプヘッド１６とを接続するチューブを不要とすることができると共に、定量吐出ポンプ１２０に隣接して設けられているため、この切換弁１２２が前記定量吐出ポンプ１２０に対して離間した位置に設けられた場合と比較してメンテナンス性を良好とすることができる。また、従来技術のように、流体が吸入される吸入ポートと、該流体が吐出される吐出ポートとをそれぞれ別個に設けた場合には、それぞれ流体の流れを規制するチェック弁を設ける必要があるため、その部品点数が増大してしまうと共に、前記チェック弁を接続するための配管が複雑となり、メンテナンスが煩雑になることが懸念される。これに対して、本願発明の定量吐出ポンプ１２０では、チューブを不要とすることによって配管の接続を簡素化し、且つ、部品点数及びコストの削減を図ると共に、メンテナンス性の向上を図ることが可能となる。

最後に、第４の実施の形態に係る定量吐出ポンプ１５０を図９に示す。なお、上述した第１〜３の実施の形態に係る定量吐出ポンプ１０、１００、１２０と同一の構成要素には同一の参照符号を付して、その詳細な説明を省略する。

この第４の実施の形態に係る定量吐出ポンプ１５０では、通電作用下に駆動する回転駆動源１４の代わりに、圧力流体を供給することによって変位機構１５２を変位させている点で、第１及び第２の実施の形態に係る定量吐出ポンプ１０、１００、１２０と相違している。

この定量吐出ポンプ１５０は、図９に示されるように、ハウジング１２の一端部に、第１及び第２パイロットポート１５４、１５６を有したポートブロック１５８が装着され、その内部には、軸線方向に沿って変位自在にピストン１６０が設けられる。

このポートブロック１５８は、断面略Ｕ字状に形成され、ハウジング１２の一端部を覆うように装着されると共に、外部に連通した第１及び第２パイロットポート１５４、１５６が軸線方向（矢印Ａ、Ｂ方向）に沿って所定間隔離間して形成される。また、ポートブロック１５８の内部には、第１及び第２パイロットポート１５４、１５６を通じてパイロット圧の供給されるピストン室１６２が形成され、該ピストン室１６２にピストン１６０が設けられる。

ピストン１６０は、変位機構１５２を構成するものであり、その外周面にはピストンパッキン１６４が設けられ、ピストン室１６２の内周面に摺接し、前記ピストン１６０の一端部には、アダプタ１６６が螺合されて連結される。

アダプタ１６６は、ピストン１６０に連結されるロッド部１６８と、該ロッド部１６８に対して半径外方向に拡径し、ハウジング１２の内部に変位自在に設けられるベース部１７０とからなり、前記ロッド部１６８が前記ハウジング１２の一端部に形成されたロッド孔１７２に挿通され、該ロッド孔１７２に装着されたロッドパッキン１７４によって外周面が囲繞される。

また、ベース部１７０は、ハウジング１２内に設けられたベローズ５８に臨むように設けられ、その端部には、前記ベローズ５８の他端部を保持する保持部材１７６が装着される。これにより、ベローズ５８が、ポンプヘッド１６を構成する第１ブロック３４と保持部材１７６との間に介装され、その内部に間接媒体３０が充填される。

そして、第１パイロットポート１５４に圧力流体を供給し、ピストン室１６２内に供給された前記圧力流体によってピストン１６０がポンプヘッド１６側（矢印Ｂ方向）へと押圧される。これにより、ベローズ５８の他端部が、ポンプヘッド１６側（矢印Ｂ方向）へと押圧され、その内部の間接媒体３０が共に前記ポンプヘッド１６側（矢印Ｂ方向）へと押圧されることにより、該間接媒体３０によってダイヤフラム３８がポンプ室４０側に向かって押圧されて撓曲する。その結果、ダイヤフラム３８が、半球状に形成されたポンプ室４０の半球面４２に当接するように変形し、該ポンプ室４０の内部に吸引されていた流体Ｓが、第１溝部４６を通じて連通路４１側へと導かれ、流体ポート４４を介して所定量だけ外部に吐出される。

このように第４の実施の形態では、第１及び第２パイロットポート１５４、１５６に供給される圧力流体によってピストン１６０を変位させ、アダプタ１６６とポンプヘッド１６との間に介装されたベローズ５８内の間接媒体３０をダイヤフラム３８側へと押圧して流体Ｓをポンプ室４０から外部へと高精度に吐出することが可能となる。

なお、本発明に係るポンプ装置は、上述の実施の形態に限らず、本発明の要旨を逸脱することなく、種々の構成を採り得ることはもちろんである。

１０、１００、１２０、１５０…定量吐出ポンプ
１２…ハウジング１４…回転駆動源
１６…ポンプヘッド１８、１５２…変位機構
２０…吐出機構２４…駆動軸
２８…変位ナット３０…間接媒体
３２…充填室３８…ダイヤフラム
４０…ポンプ室４４…流体ポート
５２、１２２…切換弁５４…筒体
５６…ブロック体５８…ベローズ
６０…本体部６２…周縁部
１０２…スプリング１０４…スプリングガイド
１５８…ポートブロック１６０…ピストン
１６２…ピストン室１６６…アダプタ

Claims

流体の吸入・排出されるポートと、該ポートに連通したポンプ室とを有するボディと、
前記ボディの内部に設けられ、軸線方向に沿って変位自在な変位体を有する変位機構と、
前記ボディの端部に設けられ、通電作用下に前記変位機構を軸線方向に沿って変位させる駆動部と、
前記変位体と前記ボディとの間に介装されるベローズと、
非圧縮性流体からなり、前記ボディの充填室及び該充填室に連通した前記ベローズの内部に充填される間接媒体と、
前記ボディの内部において、前記ポンプ室と前記間接媒体との間に設けられ、前記変位機構の変位作用下に該ポンプ室内の流体を吐出させるダイヤフラムと、
前記ポンプ室における半球面状の内壁面に形成された複数の溝部と、
を備え、
前記ポートは前記ボディの外側面に形成され、
前記変位機構は、前記駆動部の駆動作用下に回転するシャフトと、前記シャフトに螺合された変位体と、前記変位体に連結され変位ナット及び駆動軸の一部を覆い、且つ、前記ベローズの内部に挿入された有底筒状の筒体とを有し、前記ベローズの端部が前記筒体に保持されると共に、前記溝部が、前記内壁面の最も窪んだ中心から前記ポート側に向かって一直線上に延在し、該ポートに向かって前記内壁面に対する深さが深くなるように変化する第１溝部と、前記中心において前記第１溝部と連通し、前記内壁面に沿って放射状に一定深さで延在する複数の第２溝部とからなり、前記第１溝部が前記ポートと連通することを特徴とするポンプ装置。
請求項１記載のポンプ装置において、
前記変位体とボディとの間には、該変位体を前記ダイヤフラムから離間させる方向に付勢するスプリングが設けられることを特徴とするポンプ装置。