TWI660123B - Diaphragm pump - Google Patents

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Abstract

一種能夠有效抑制起因於擺動隔膜的運作的液體移送量的定量性降低的隔膜泵1，其中包含一外殼2、一活塞3、一軸件4、一擺動隔膜5、一驅動裝置、一導引構件7及一限制機構8，該擺動隔膜5具有一蓋部35，構成為該蓋部35與該活塞同步進行往復運動，該驅動裝置將一馬達部30的旋轉移動轉換為直線移動，使該軸件自該輸出軸31得到動力，該導引構件，配置於該外殼內的較該活塞更向軸心方向的另一側且安裝於該外殼，導引該軸件在軸心方向為可移動。該限制機構，設置於該外殼內的該導引構件及該軸件之間，容許該軸件向軸心方向的往復移動的同時限制其環繞軸心的旋轉。

Description

隔膜泵
本發明關於一種具有擺動隔膜的隔膜泵。
於半導體、液晶、有機電致發光、太陽能電池及發光二極體的製程等中，作為用於供給藥液等液體的隔膜泵係已知例如專利文獻1所述的隔膜泵。
此種隔膜泵係具有一汽缸、一活塞、一擺動隔膜及一線性驅動器(驅動裝置)，其中該汽缸(外殼)收容有該活塞而該活塞於其軸心方向可往復移動，該擺動隔膜係構成為對應該活塞的往復移動而可運作，該線性驅動器(驅動裝置)係具有一輸出軸，該輸出軸係用以完成馬達部及活塞的功能而由一連結於該活塞的螺紋軸所構成。
該線性驅動器安裝於該汽缸，構成為能夠將該馬達部的旋轉移動轉換為直線移動，而自該輸出軸輸出至該活塞，以使該活塞於軸心方向往復移動。該輸出軸與該活塞為同軸配置，且以螺絲結合以連結，而成為與該活塞整體地於軸心方向為可往復移動。
但是，該隔膜中，該線性驅動器的輸出軸，於此線性驅動器的本體中自朝向汽缸的對向面至插入該汽缸內後螺絲連結於該活塞之間，並不受到任何構件所支承，亦不被導引至向軸心方向的往復移動。該輸出軸僅為在該線性驅動器本體與該活塞之間移動。
因此，該活塞伴隨該輸出軸的輸出而往復移動時，將有發生此活塞在汽缸的徑向方向(與軸心方向垂直相交或相交的方向)停頓，而使該擺動隔膜的扭轉或彎曲，使此擺動隔膜無法正常運作(變形)的風險。也就是說，將損及該隔膜泵的液體移送量的定量性。
除此之外，由於在該隔膜泵中，於與該線性驅動器的輸出軸螺絲結合的該活塞與該氣缸之間，具有容許該活塞的往復移動而限制旋轉的如下防止旋轉機構，因此該活塞將進一步停頓，更容易損及該隔膜泵的液體移送量的定量性。
也就是說，該防止旋轉機構，係由於該汽缸的側壁沿軸心方向形成的長孔，與為了通過此長孔而自該活塞的外周面向半徑向方向突出的卡合銷所構成。並且該卡合銷的突出端部通過該長孔而位於該汽缸外部，受此長孔導引的同時與該活塞可整體地往復移動。
因此，於該防止旋轉機構中，該卡合銷與該長孔的嵌合變得越來越鬆。因此，在該活塞往復移動時，將有發生自該輸出軸接受旋轉輸入的該活塞將在該汽缸的圓周方向停頓，而使該擺動隔膜產生扭轉或彎曲，使此擺動隔膜無法正常運作(變形)的風險。也就是說，將容易損及該隔膜泵的液體移送量的定量性。
〔先前技術文獻〕 〔專利文獻〕
專利文獻1：日本特開2007-23923號公報
本發明有鑒於如此情況，目的在於提供一種能夠有效抑制起因於擺動隔膜的運作的液體移送量的定量性降低的隔膜泵。
請求項1的發明係關於一種隔膜泵，包含：一外殼；一活塞，設置於該外殼內且相對於該外殼為同軸設置，而於該外殼的軸心方向可往復移動；一軸件，經組構而在連接於該活塞的軸心方向的一端的狀態下與該活塞為連動；一擺動隔膜，具有一蓋部，一開放端部以及一彎折部，該蓋部係配置於該活塞的軸心方向的一端，該開放端部安裝於該外殼，該彎折部配置於該蓋部及該開放端部之間，該擺動隔膜經組構使該蓋部與該活塞相對於由該外殼所固定位置的該開放端部而進行往復移動；一泵室，藉由該擺動隔膜而區劃於該外殼內的較該擺動隔膜更向軸心方向的一側，且經組構而使該泵室內的容積為可變；一驅動裝置，具有一馬達部及一輸出軸，該輸出軸與該軸件為同軸配置且連接於該軸件的軸心方向的另一端，該驅動裝置安裝於該外殼的軸心方向的另一側，該驅動裝置將透過該軸件驅使該活塞於軸心方向進行往復移動的該馬達部的旋轉移動轉換為直線移動，使該軸件自該輸出軸得到動力；一導引構件，配置於該外殼內的較該活塞更向軸心方向的另一側且安裝於該外殼，導引該軸件在軸心方向為可移動；以及 一限制機構，設置於該外殼內的該導引構件及該軸件之間，容許該軸件向軸心方向的往復移動的同時限制其環繞軸心的旋轉。
依照此構成，該軸件為經該導引構件導引的同時而可往復移動。因此，可於該軸件往復移動時，使該軸件及與該軸件連動的該活塞在該外殼的徑向方向(與軸心方向垂直相交或相交的方向)較不易停頓，使該擺動隔膜不會扭轉或歪曲而較容易正常地運作(變形)。因此，能夠有效地抑制因該擺動隔膜的運作而起的液體移送量的定量性降低。
請求項2的發明係關於如請求項1所述的隔膜泵，其中該限制機構係由一花鍵軸及一滾珠花鍵所構成，該花鍵軸由該軸件所構成，該滾珠花鍵具有一筒狀構件，經支承而對於固定於該導引構件的該花鍵軸為無法相對旋轉的同時而導引成於軸心方向為可滑動。
依照此構成，可於該軸件往復移動時，使該軸件及與該活塞在該外殼的徑向方向更加不易停頓。因此，能夠更加有效地抑制液體移送量的定量性降低。
請求項3的發明係關於如請求項2所述的隔膜泵，更包含一連結構件，經組構而透過夾持該軸件的軸心方向的另一端部且夾持該輸出軸的軸心方向的一端部，使該軸件與該輸出軸連接。
依照此構成，該軸件與該驅動裝置的輸出軸的組裝及分離變得較容易。因此，能夠達成該隔膜泵的維修的簡便化。
請求項4的發明係關於如請求項1至3中任一項所述的隔膜泵，其中該活塞具有一凹部，該凹部係向該擺動隔膜的蓋側部為開口，該擺動隔膜具有一 與該凹部可嵌合的突起部，而以該突起部與該凹部為嵌合的狀態下安裝於該活塞。
依照此構成，由該隔膜泵的吸入步驟等對該泵室內的液體施加衝擊時，能夠使該擺動隔膜對該活塞變得較不易變形。又能以該突起部與該凹部的嵌合進行該擺動隔膜與該活塞的中心校準，能夠更加有效地抑制液體移送量的定量性降低。
請求項5的發明係關於如請求項1所述的隔膜泵，其中該限制機構設置於較該導引構件更向軸心方向的另一端。
請求項6的發明係關於如請求項5所述的隔膜泵，其中該限制機構係由一直線導件部所構成，該直線導件部具有一軌道狀的導引構件及一滑動構件，該軌道狀的導引構件係於該外殼沿軸心方向延設，該滑動構件固定於該軸件且裝設於該軌道狀的導引構件而相對於該軌道狀的導引構件為可移動。
依照此構成，能夠於該軸件往復移動時，使該軸件及該活塞於該外殼的徑向方向更不易停頓。因此能夠更加有效地抑制液體移送量的定量性降低。
請求項7係關於如請求項6所述的隔膜泵，其中該滑動構件係透過夾持該軸件的軸心方向另一端部且夾持該輸出軸的軸心方向的一端部，以連接該軸件及該輸出軸。
依照此構成，該軸件與該驅動裝置的輸出軸的組裝及分離變得較容易。因此，能夠達成該隔膜泵的維修的簡便化。又能夠使該軸心及該輸出軸維持安定的連結狀態而移動於軸心方向。
請求項8的發明係關於如請求項6所述的隔膜泵，其中該活塞具有一嵌合凹部，該嵌合凹部經組構而嵌合該軸件的軸心方向的一端部，透過該軸件的軸心方向的一端部為可離開地接觸嵌合該嵌合凹部的同時，而與該軸件相連動。
依據此構成，該活塞與該軸件的組裝及分離變得較容易。因此，能夠達成該隔膜泵的維修的簡便化。又能達成防止因該活塞及該軸件的連結而起的該活塞的變形。
請求項9的發明係關於如請求項6中任一項所述的隔膜泵，其中該活塞具有一凹部，該凹部係向該擺動隔膜的蓋部側為開口，該擺動隔膜具有一與該凹部可嵌合的突起部，而以該突起部與該活塞的凹部為嵌合的狀態下安裝於該活塞。
依據此構成，由該隔膜泵的吸入步驟等對該泵室內的液體施加衝擊時，能夠使該擺動隔膜對該活塞變得較不易變形。又能以該突起部與該凹部的嵌合進行該擺動隔膜與該活塞的中心校準，能夠更加有效地抑制液體移送量的定量性降低。
依照本發明，可提供一種能夠有效地抑制因該擺動隔膜的運作而起的液體移送量的定量性降低的隔膜泵。
1、101‧‧‧隔膜泵
2、102‧‧‧外殼
3、103‧‧‧活塞
4、104‧‧‧軸件
5、105‧‧‧擺動隔膜
6、106‧‧‧驅動裝置
7、107‧‧‧導引構件
8、108‧‧‧限制機構
11、111‧‧‧汽缸
12、112‧‧‧泵頭
14、114‧‧‧通氣口
15、115‧‧‧吸入口
16、116‧‧‧吐出口
17‧‧‧大徑部
18‧‧‧小徑部
19‧‧‧填料
21、121‧‧‧凹部(第一凹部)
22‧‧‧第二凹部
23‧‧‧螺孔
26‧‧‧花鍵軸
27‧‧‧螺絲部
28‧‧‧軸件的軸心方向另一端
30、130‧‧‧馬達部
31、131‧‧‧輸出軸
32、132‧‧‧輸出軸的軸心方向一端部(圓桿狀部)
33、133‧‧‧螺軸部
34、134‧‧‧螺母
35、135‧‧‧蓋部
36、136‧‧‧開放端部
37、137‧‧‧彎折部
38、138‧‧‧內筒部
39、139‧‧‧外筒部
51、151‧‧‧泵室
52、152‧‧‧驅動室
53、153‧‧‧減壓室
60‧‧‧花鍵軸
61‧‧‧筒狀構件
62‧‧‧筒狀構件
63‧‧‧軌道溝
64‧‧‧連結構件
65、165‧‧‧安裝孔
66、166‧‧‧狹縫
67、167‧‧‧緊固部
68、168‧‧‧緊固件
71、171‧‧‧突起部
123‧‧‧嵌合凹部
127‧‧‧軸件的軸心方向一端部
128‧‧‧軸件的軸心方向另一端
141‧‧‧套管
142‧‧‧填料
143‧‧‧填料壓制件
145‧‧‧導引構件本體
146‧‧‧轂部
147‧‧‧限制構件
151‧‧‧泵室
152‧‧‧驅動室
153‧‧‧減壓室
161‧‧‧導引構件
162‧‧‧滑動構件
163‧‧‧滑動部
164‧‧‧連結部
第1圖係顯示關於本發明的第一實施例的隔膜泵的側面剖面圖。
第2圖係顯示關於本發明的第一實施例的隔膜泵的部分放大側面剖面圖。
第3圖係顯示關於本發明的第一實施例的隔膜泵的側面剖面圖。
第4a圖及第4b圖係關於本發明的第一實施例的隔膜泵中軸件與驅動裝置的輸出軸間的連結部分示意圖，第4a圖為側面圖，第4b圖為俯視圖。
第5圖係顯示關於本發明的第二實施例的隔膜泵的側面剖面圖。
第6圖係顯示關於本發明的第二實施例的隔膜泵的部分放大側面剖面圖。
第7圖係顯示關於本發明的第二實施例的隔膜泵的正面剖面圖。
第8圖係顯示關於本發明的第二實施例的隔膜泵的側面剖面圖。
第9a圖及第9b圖係關於本發明的第二實施例的隔膜泵中軸件與驅動裝置的輸出軸間的連結部分示意圖，第9a圖為側面圖，第9b圖為俯視圖。
參照圖面說明關於本發明的第一實施例。
第1圖係顯示關於本發明的第一實施例的隔膜泵1的側面剖面圖。第2圖係隔膜泵1的部分放大側面剖面圖。
如第1圖、第2圖所示，該隔膜泵1係具有一外殼2、一活塞3、一軸件4、一擺動隔膜5、一驅動裝置6、一導引構件7及一限制機構8。本實施例中，該隔膜泵1係以其長邊方向配置為上下方向。
該外殼2於本實施例中，具有一汽缸11及一泵頭12。該汽缸11形成為圓筒狀，將軸心方向配置為上下方向。該汽缸11係以例如SUS304等的不鏽鋼所構成。該汽缸11係設置有貫通與其軸心方向垂直相交或相交的方向的一通氣口14。此通氣口14連接有真空泵或抽氣機等減壓裝置。
該泵頭12係形成為有蓋圓筒狀，安裝於該汽缸11的軸心方向的一端側(上側)而使其開口閉塞。該泵頭12係具有與該汽缸11約略相同的內徑。與該汽缸11一同構成能夠收容該活塞3的收容空間。。該泵頭12係以聚四氟乙烯(Polytetrafluoroethene,PTFE)等含氟樹脂所構成。
該泵頭12的周壁部設置有貫通與軸心方向垂直相交的方向的一吸入口15。此吸入口15係透過吸入側逆止閥連接於儲存藥液等液體的液體槽(圖中未示)。該吸入側逆止閥構成為容許液體自該液體槽朝向該吸入口15的流動而阻止液體向反方向的流動。
於該泵頭12的蓋部，貫通軸心方向的一吐出口16設置於該蓋部的中心部(軸心部)。此吐出口16透過吐出側逆止閥連接於液體供給部(圖中未示)。該吐出側逆止閥構成為容許液體自該吐出口16朝向該液體供給部的流動而阻止液體向反方向的流動。
該活塞3設置成於該外殼2內相對於該外殼2為同軸配置，而於該外殼2的軸心方向(上下方向)為可往復移動。於本實施例中，該活塞3形成為直徑較該外殼2(該汽缸11及該泵頭12)的內徑為小的圓柱狀，外周面配置為相對於該外殼2(該汽缸11或該泵頭12)的內周面。該活塞3以例如鋁合金所構成。
該活塞3於軸心方向另一側(下側)具有與該外殼2的內周面鄰接或是略鄰接的大徑部17，於軸心方向的一側(上側)具有與該外殼2的內周面之間形成預定縫隙的小徑部18，該大徑部17的外周面為沿著該外殼2的內周面而受到於軸心方向上的導引。該活塞3的大徑部17的外周面與該外殼2的內周面之間設有O型環等填料19。此填料19以例如含氟樹脂等材料所構成。
該活塞3如第2圖所示，具有朝軸心方向的一端側(上側)開口的第一凹部21的同時，具有朝軸心方向的另一端側(下側)開口的第二凹部22。該第一凹部21及第二凹部22係分別設置於該活塞3的軸心部，互相為同軸配置。在此，該第一凹部21不連通於該第二凹部22。
該活塞3又具有形成母螺紋的螺孔23。該螺孔23係配置於該第一凹部21與該第二凹部22之間的該活塞3的軸心部，與該第二凹部22為同軸配置。該螺孔23直徑較該第二凹部22為小，於該活塞3的軸心方向另一端側(下側)開口而正對該第二凹部22內。
該軸件4係構成為連接於該活塞3的軸心方向的一端側的狀態下連動，於本實施例中，該軸件4係構成為與該活塞3為個別單體構件，且具有圓桿狀部(後述的花鍵軸)26、以及將該軸件4與該圓桿狀部26連結為一體的螺絲部27。該軸件4係延設於軸心方向，與該外殼2及該活塞3為同軸配置。該軸件4以例如高碳鉻軸承鋼等淬火鋼所構成。但是，關於該圓桿狀部26，亦可以麻田散鐵系不鏽鋼等不鏽鋼所構成。
該軸件4的軸心方向一端部(上端部)備有該螺絲部27，該螺絲部27形成有一公螺絲而能夠與該活塞3的螺孔23螺合。並且該軸件4透過將該螺絲部27螺合於該活塞3的螺孔23而與該活塞3螺合，使該活塞3能夠與該軸件4連動。
又該驅動裝置6具有一馬達部30及一輸出軸31，該輸出軸31係與該軸件4為同軸配置，且連結於該軸件4的軸心方向的另一端側。該驅動裝置6係安裝於該外殼2的軸心方向另一側(下側)，為了透過該軸件4使該活塞3於軸心方向 (上下方向)往復移動而構成使該馬達部30的旋轉運動轉換為直線運動而獲得自該輸出軸31對該軸件4的動力輸出。
本實施例中，該驅動裝置6係以線性驅動器(馬達)所構成，為於該外殼2內使活塞3在最接近的最後退位置(參照第1圖)及最遠離的最前進位置(參照第3圖)之間於軸心方向往復移動。此驅動裝置6具有作為該馬達部30的多相步進馬達部及將此馬達部30的旋轉運動變換為直線運動而得到動力輸出的直動機構部。
該驅動裝置6的輸出軸31具有一圓桿狀部32及與該圓桿狀部32連結為一體的一螺軸部33，此螺軸部33及與其螺合的螺母34一同包含於該直動機構部。該輸出軸31自面向該驅動裝置6的本體中的汽缸11內的對向面，向著該汽缸11內朝上方突出而設置。並且該輸出軸31係與該軸件4同軸配置，並以該突出端部(上端部)側，即該圓桿狀部32連結該軸件4的軸心方向另一端部(下端部)28。
另外，於本實施例中，該線性驅動器實質上具有與習知的線性驅動器相同的構造，因此省略該線性驅動器的其他構造的說明。
該擺動隔膜5具有一蓋部35、一開放端部36及一彎折部37，該蓋部35係配置於該活塞3的軸心方向一側，該開放端部36安裝於該外殼2，該彎折部37配置於該蓋部35與該開放端部36之間。並且該擺動隔膜5係構成為該蓋部35與該活塞3對於以該外殼2所固定的該開放端部36同步往復移動。
於本實施例中，該擺動隔膜5係以聚四氟乙烯(Polytetrafluoroethene,PTFE)等含氟樹脂所構成，與該活塞3為同軸配置。該擺動隔膜5於軸心方向另一側(下側)形成有向外側彎折的有蓋筒狀，於軸心方向一側 (上側)端部備有圓板狀的該蓋部35。該蓋部35具有與該活塞3同等的直徑，配置於該擺動隔膜5的中央部。
該擺動隔膜5於下側具有開口，該開口周圍具有斷面形狀為U字形的該彎折部37。該彎折部37的內周側端部與該蓋部35之間設置有於軸心方向延伸的圓筒狀的內筒部38，該彎折部37與該開放端部36之間設置有與該內筒部38同軸延伸的圓筒狀的外筒部39。該開放端部36係於該外筒部39的上端部的徑向方向外側設置為法蘭狀。
在此，該內筒部38、該彎折部37及該外筒部39為了具備可撓性，形成為例如厚度在1mm以下，0.1mm以上的薄片(薄膜)。該蓋部35及該開放端部36為了具備剛性，形成為較該內筒部38、該彎折部37及該外筒部39更厚的厚片。
並且，該擺動隔膜5在收容於該外殼2內的狀態下透過該開放端部36為強力夾持於該汽缸11與該泵頭12的接合面間，使該開放端36位置固定並安裝於該外殼2。
又該擺動隔膜5，以該蓋部35及該內筒部38為覆蓋該活塞3而設置，使該蓋部35與該活塞3互相對接接觸。並且，該擺動隔膜5係配置為在該彎折部37面對後述減壓室53的狀態下位於該外殼2的內周面與該活塞3的外周面之間。
該導引構件7配置於該外殼2內較該活塞3更向軸心方向的另一側(下側)處且安裝於該外殼2，而構成為導引該軸件4於軸心方向可移動。於本實施例中，該導引構件7作為分隔該外殼2內的隔壁而發揮功效，且由該軸件4所貫通。該導引構件7形成為具有沿著該外殼2的內周面的外周面的板狀，其外周面無縫隙地連結於該外殼2的內周面。該導引構件7與該汽缸11構為一體。
該導引構件7設置為於該外殼2內，當該活塞3移動至該最後退位置時與該活塞3的下面鄰接或略為鄰接。該導引構件7於其軸心部受該軸件4貫通於軸心方向，能夠以軸心方向的一部分(下側部分)直接導引，並於其他部分承持該限制機構8的筒狀構件61(後述)。
並且，該隔膜泵1中，該外殼2內以該活塞3、該擺動隔膜5及該導引構件7等而分隔形成用以填充液體的泵室51、驅動室52及該減壓室53。
具體而言，該泵室51由該擺動隔膜5劃分於該外殼2內的較該擺動隔膜5更向軸心方向的一端(上側)，而構成為室內的容積為可變更。於本實施例中，該泵室51係由該擺動隔膜5與該外殼2的該泵頭12所圍起而形成，分別連通於該吸入口15及該吐出口16。該泵室51為透過伴隨該活塞3的往復移動的該擺動隔膜的運作(變形)而改變室內的體積。
該驅動室52由該導引構件7劃分於該外殼2內的較該導引構件7更向軸心方向的另一端(下側)。於本實施例中，該驅動室52係由該導引構件7與該外殼2的該汽缸11及該驅動裝置6所圍起而形成。該驅動室52分別收容有該驅動裝置6的輸出軸31以及該軸件4的一部分。
該減壓室53藉由該擺動隔膜5及該活塞3，而於該外殼2內隔著該擺動隔膜5被劃分於該泵室51的軸心方向的反向側。於本實施例中，該減壓室53係由該活塞3(該填料19)與該擺動隔膜5與該外殼2(該汽缸11)所包圍所形成，並連通於該通氣口14。
該限制機構8於該外殼內設置於該導引構件7與該軸件4之間，構成為能夠容許該軸件向軸心方向的往復移動的同時限制繞著軸心的旋轉。於本實施 例中，該限制機構8係由能夠使沿著延伸的軌道體的移動體進行相對移動的滾珠花鍵所構成。
詳細而言，該限制機構8具有一花鍵軸(移動體)60及一筒狀構件(軌道體)61，該花鍵軸60係由該軸件4所構成，該筒狀構件61固定於該導引構件7，使該花鍵軸60不能相對旋轉而支承的同時導引該花鍵軸60使其向軸心方向可滑動。該花鍵軸60於其外周面具有沿軸心方向延伸的複數個軌道溝62。該筒狀構件61具有對應該軌道溝62的另外的軌道溝，以在由螺絲63固定位置而不旋轉的狀態下維持於該導引構件7。
並且，該花鍵軸60貫通該導引構件7的同時，插通自該導引構件7朝向該活塞3側突出一部分的該筒狀構件61。該筒狀構件61的軌道溝與該花鍵軸60的軌道溝62之間設置有複數個滾珠，該花鍵軸60透過這些滾珠與該筒狀構件61嵌合為能夠相對移動且不能相對旋轉。如此，該花鍵軸60便能夠相對於該筒狀構件61不停頓而移動。
於以上構成中，為了驅動該隔膜泵1而運作該驅動裝置6時，透過該輸出軸31伴隨著螺母34的旋轉而在軸方向進行直線運動而使該軸件4向軸心方向往復移動，交互進行該軸件4向下方回縮移動的吸入步驟及該軸件4向上前進移動的吐出步驟。藉此能夠將儲存於該液體槽的液體定量且定流量地供給至該液體供給部。
也就是說，該吸入步驟中，該活塞3及該擺動隔膜5的蓋部35追隨該軸件4的回縮移動向下方回縮移動(自第3圖所示的狀態變化為第1圖所示的狀態)。經由此過程，該擺動隔膜5於軸心方向，該內筒部38的長度變短且該外筒部 39的長度變長，又於該外殼2的內周面及該活塞3的外周面之間的縫隙使該彎折部37變位至下方而擺動。隨此該泵室51的容積擴大，因此該液體槽內的液體通過該吸入口15被吸入泵室51。
又於該吐出步驟中，該活塞3及該擺動隔膜5的蓋部35追隨該軸件4的前進移動向上方前進移動(自第1圖所示的狀態變化為第3圖所示的狀態)。經由此過程，該擺動隔膜5的該內筒部38的長度變長且該外筒部39的長度變短，又於該外殼2的內周面及該活塞3的外周面之間的縫隙使該彎折部37變位至上方而擺動。隨此該泵室51的容積縮小，因此該泵室51內的液體透過該吐出口16被吐出。
該吸入步驟及該吐出步驟中，該減壓室53由透過該通氣口14而連接的該減壓裝置減壓至成為預定的壓力(負壓)。因此，使該擺動隔膜5的蓋部35的下面與該活塞3的上面，該內筒部38的內面與該活塞3的外周面及該外筒部39的外面與該外殼2內周面各自確實緊密貼合。
又該吸入步驟及該吐出步驟中，該軸件4在該外殼2內的該驅動裝置6的本體與該活塞3之間，以該導引構件7所導引並往復移動。並且透過該限制機構8，成為容許該軸件4向軸心方向的往復移動，而限制軸件4繞軸心的轉動的狀態。
因此，該隔膜泵1中，於該軸件4的往復移動時，該軸件4及與其連動的該活塞3在該外殼2(該汽缸11、該泵頭12)的徑向方向(與軸心方向垂直相交或交叉的方向)不易停頓，使該擺動隔膜5不會扭轉或彎曲而容易正常運作(變形)。因此能夠有效的抑制起因於該擺動隔膜5的運作的液體移送量的定量性降低。
特別是於本實施例中，由於該限制機構8係由具有該軸件4所構成的該花鍵軸60及該筒狀構件61的滾珠花鍵所構成，因此該軸件4藉由該筒狀構件61也會在被導引的同時於軸心方向順暢地往復移動。因此該軸件4往復移動時，使該軸件4及該活塞3在該外殼2的徑向方向更不易停頓。因而更加有效的抑制液體移送量的定量性降低。
於第4a圖及第4b圖分別顯示該軸件4與該驅動裝置6的輸出軸31的連接部分的側視圖及平面圖。
如第4a圖及第4b圖所示，於本實施例中，該隔膜泵1具有一連結構件64。該連結構件64藉由夾持該軸件4的軸心方向另一端部(下端部)28且夾持該驅動裝置6的輸出軸31的軸心方向一端部(上端部)，即夾持該圓桿狀部32，構成為該軸件4及該輸出軸31連結。
具體而言，該連結構件64具有一安裝孔65、一對緊固部67及一緊固件68，該安裝孔65用以供該軸件4的下端部28及該輸出軸31的上端部(該圓桿狀部32)插入安裝，該一對緊固部67於彼此間形成該安裝孔65與外部連接的特定寬度的狹縫66，該緊固件68係能夠緊縮該一對的緊固部67的螺絲等，用以將該一對的緊固部67間(該狹縫66)的間隔距離縮小。
並且，該連結構件64藉由將該軸件4的下端部28及該輸出軸31的圓桿狀部32插入該安裝孔65而略無縫隙地外嵌的狀態下以該緊固件68緊縮該一對的緊固部，夾持該軸件4的下端部及該輸出軸31的圓桿狀部32，使彼等互相連結。
藉由如此構成，該軸件4及該驅動裝置6的輸出軸31的安裝及分離變得較容易。因此，能夠達成該隔膜泵的維修的簡便化。
又關於本實施例的驅動裝置的輸出軸，雖作為使用該連結構件64而連結於該軸件4的輸出軸31，但並不限於此，亦可作為例如與由限制機構的作用而旋轉受限制的軸件連結而可相對旋轉的輸出軸。
又於本實施例中，該活塞3如前述，具有於該擺動隔膜5的蓋部35側開口的該第一凹部21。並且如第2圖所示，該擺動隔膜5具有能夠與該第一凹部21嵌合的一突起部71，並以使此突起部71以嵌合於該活塞3的第一凹部21的狀態安裝於該活塞3。
該擺動隔膜5的突起部71設置為自該蓋部35的軸心部向下方突出，且與該第一凹部21為同軸配置。該突起部71具有沿著該第一凹部21的外周面而略無縫隙地嵌入該第一凹部21。
透過如此構成，能夠使以該隔膜泵1的吸入步驟等對該泵室51內的液體施加衝擊時，該擺動隔膜5對於該活塞3較不易變形。又能夠以該突起部71與該第一凹部21的嵌合以進行該擺動隔膜5與該活塞3的中心校準，能夠有效地抑制流體移送量的定量性降低。
接著參照圖式並說明本發明的第二實施例。
第5圖係顯示關於本發明的第二實施例的隔膜泵101的側面剖面圖。第6圖係顯示關於本發明的第二實施例的隔膜泵101的部分放大剖面圖。第7圖係顯示關於本發明的第二實施例的隔膜泵101的正面剖面圖。
如第5圖、第6圖、第7圖所示，該隔膜泵101具有一外殼102、一活塞103、一軸件104、一擺動隔膜105、一驅動裝置106、一導引構件107及一限制 機構108。於本實施例中，該隔膜泵101以其長邊方向(軸心方向)為上下方向而配置。
該外殼102於本實施例中，具有汽缸111及泵頭112。該汽缸111形成為圓筒狀，以軸心方向為上下方向而配置。該汽缸111係以例如SUS304等的不鏽鋼所構成。該汽缸111設置有貫通與其軸心方向交叉的方向的通氣口114。此通氣口114連接有真空泵或抽汽機等減壓裝置。
該泵頭112係形成為有蓋圓筒狀，安裝於該汽缸111的軸心方向的一端側(上側)而使其開口閉塞。該泵頭112係具有與該汽缸111約略相同的內徑。與該汽缸111一同構成能夠收容該活塞103的收容空間。該泵頭112係以聚四氟乙烯(Polytetrafluoroethene,PTFE)等含氟樹脂所構成。
該泵頭112的周壁部設置有貫通與軸心方向垂直相交或交叉的方向的一吸入口115。此吸入口15係透過吸入側逆止閥連接於儲存藥液等液體的液體槽(圖中未示)。該吸入側逆止閥構成為容許液體自該液體槽朝向該吸入口115的流動而阻止液體向反方向的流動。
該泵頭112的蓋部設置有貫通軸心方向的一吐出口116於該蓋部的中心部(軸心部)。此吐出口16透過吐出側逆止閥連接於液體供給部(圖中未示)。該吐出側逆止閥構成為容許液體自該吐出口16朝向該液體供給部的流動而阻止液體向反方向的流動。
該活塞103於該外殼102內相對於該外殼102為同軸配置，而於該外殼102的軸心方向(上下方向)為可往復移動。於本實施例中，該活塞103形成為直徑較該外殼102(該汽缸111及該泵頭112)的內徑為小的圓柱狀，外周面為自與此相 對的汽缸111或該泵頭112的內周面間隔指定間隔而配置。該活塞103以例如鋁合金所構成。
該活塞103如第6圖所示，具有朝軸心方向的一端側(上側)開口的第一凹部121的同時，具有朝軸心方向的另一端側(下側)開口的第二凹部122。該第一凹部121及第二凹部122係分別設置於該活塞103的軸心部，互相為同軸配置。在此，該第一凹部121不連通於該第二凹部122。
該活塞103又具有嵌合該軸件104的軸心方向的一端部的嵌合凹部123。該嵌合凹部123於該第一凹部121與該第二凹部122之間，而設置於該活塞103的軸心部，與該第二凹部122為同軸配置。該嵌合凹部123直徑較該第二凹部122為小，與該第二凹部122內相面對而向該活塞103的離心方向另一端側(下側)開口。
該活塞103更具有以貫通軸心方向的直線狀貫通孔所構成的空氣通路125(參照第7圖)。該空氣通路125設置有複數個，於該活塞103的徑向方向(與軸心方向垂直相交的方向)在較該第一凹部121及第二凹部122更外側且以軸心為中心的圓周上間隔預定間隔而配置。
該軸件104係構成為連接於該活塞3的軸心方向的一端側的狀態下可連動，於本實施例中，該軸件104係構成為與該活塞103為個別單體構件，且包含具有沿著該嵌合凹部123的內周面的外周部的軸心方向的一端部(上端部)127。該軸件104具有與該活塞103的嵌合凹部123略相同或略小的直徑，形成為圓棒狀。該軸件104係於軸心方向延設，而與該外殼102及該活塞103為同軸配置。該軸件104以例如經淬火的高碳鉻軸承鋼等鋼材或是麻田散鐵系不鏽鋼等不鏽鋼所構成。
如此，於本實施例中，透過使該活塞103於該嵌合凹部123將該軸件104的上端部127能夠分離而嵌入，構成為該軸件104於軸心方向的一端側經連接的狀態而可同步運動。該軸件104成為僅自該活塞103的嵌合凹部123的下部嵌入。
透過如此構成，該活塞103與該軸件104的組裝及分離變得較為容易，能夠達成該隔膜泵101的維修的簡便化。又能夠達成防止因該活塞103及該軸件104的連結而起的該活塞103的變形。
又該驅動裝置106具有一馬達部130及一輸出軸131，該輸出軸131係與該軸件104為同軸配置，且連結於該軸件104的軸心方向的另一端側。該驅動裝置106係安裝於該外殼102的軸心方向另一側(下側)，為了透過該軸件104使該活塞103於軸心方向(上下方向)往復移動而構成為軸件104自該馬達部130的旋轉運動轉換為直線運動的該輸出軸131獲得動力輸出。
本實施例中，該驅動裝置106係以線性驅動器(馬達)所構成，為於該外殼102內使活塞103在最接近的最後退位置(參照第5圖)及最遠離的最前進位置(參照第8圖)之間於軸心方向往復移動。此驅動裝置106具有作為該馬達部130的多相步進馬達部及將此馬達部130的旋轉運動變換為直線運動而得到動力輸出的直動機構部。
該驅動裝置106的輸出軸131具有一圓桿狀部132及與該圓桿狀部132連結為一體的一螺軸部133，此螺軸部133及與其螺合的螺母134一同包含於該直動機構部。該輸出軸131自面向該驅動裝置106的本體中的汽缸111內的對向面，向著該汽缸111內朝上方突出而設置。並且該輸出軸131係與該軸件104同軸 配置，並以該突出端部(上端部)側，即該圓桿狀部132連結該軸件104的軸心方向另一端部(下端部)128。
另外，於本實施例中，該線性驅動器實質上具有與已知的線性驅動器相同的構造，因此省略關於該線性驅動器的詳細構造的說明。
該擺動隔膜5具有一蓋部135、一開放端部136及一彎折部137，該蓋部135係配置於該活塞103的軸心方向一側，該開放端部136安裝於該外殼102，該彎折部137配置於該蓋部135與該開放端部136之間。並且該擺動隔膜105係構成為該蓋部135與該活塞103相對於以該外殼102所固定的該開放端部136而一體往復移動。
於本實施例中，該擺動隔膜105係以聚四氟乙烯(Polytetrafluoroethene,PTFE)等含氟樹脂所構成，與該活塞103為同軸配置。該擺動隔膜105形成有於軸心方向另一側(下側)向外側彎折的有蓋筒狀，於軸心方向一側(上側)端部備有圓板狀的該蓋部135。該蓋部135具有與該活塞103同等的直徑，配置於該擺動隔膜105的中央部。
該擺動隔膜105於下側具有開口，該開口周圍具有斷面狀為U字形的該彎折部137。該彎折部137的內周側端部與該蓋部135之間設置有於軸心方向延伸的圓筒狀的內筒部138，該彎折部137與該開放端部136之間設置有與該內筒部138同軸延伸的圓筒狀的外筒部139。該開放端部136係於該外筒部139的上端部的徑向方向外側設置為法蘭狀。
在此，該內筒部138、該彎折部137及該外筒部139為了具備可撓性，形成為例如厚度在1mm以下，0.1mm以上的薄片(薄膜)。該蓋部135及該開 放端部136為了具備剛性，形成為較該內筒部138、該彎折部137及該外筒部139更厚的厚片。
並且，該擺動隔膜105在收容於該外殼102內的狀態下透過該開放端部136為強力夾持於該汽缸111與該泵頭112的接合面間，將該開放端部136的位置固定並安裝於該外殼102。
又該擺動隔膜105，以該蓋部135及該內筒部138為覆蓋該活塞103而設置，使該蓋部135與該活塞103互相接觸。並且，該擺動隔膜105係在該彎折部137面對後述減壓室153的狀態下位於該外殼102的內周面與該活塞103的外周面之間而配置。
該導引構件107配置於該外殼102內較該活塞103更向軸心方向的另一側(下側)處且安裝於該外殼102，而構成為可導引該軸件104於軸心方向可移動。於本實施例中，該導引構件107作為分隔該外殼102內的隔壁而發揮功效。該導引構件107形成為具有沿著該外殼102的內周面的外周面的板狀，以其外周面毫無縫隙地連結於該汽缸111的內周面。該導引構件7導引貫通軸心部的該軸件104，而與該汽缸11構為一體。
該導引構件107於軸心部受該軸件104於軸心方向貫通而以軸心方向另一側(下側)直接導引的同時，於軸心方向一側(上側)透過設置於此軸心部的套管141支承該軸件104。此套管141以例如碳鋼、不鏽鋼、黃銅、含氟樹脂或尼龍等樹脂所構成。又該導引構件107及該軸件間設有O型環等填料142。此填料142以例如含氟樹脂等材料所構成。並且一填料壓制件143設置於該導引構件107的下側而與此填料142相對向。此填料壓制件143由例如SUS304等不鏽鋼所構成。
該導引構件107於該外殼102內配置於靠近該活塞103處，具有一導引構件本體145及自此導引構件本體145的軸心部向上側突出的一轂部146。該轂部146形成為能夠在該活塞103移動到該最後退位置或是其附近位置時嵌入該第二凹部122並導引該活塞103為可移動。本實施例中，自該導引構件本體145至該轂部146延設有該套管141。
於本實施例中進一步隔著該導引構件本體145，於該轂部146的反向側(該導引構件107的下側)設置有一限制構件147。此限制構件147係用以限制後述的一滑動構件162向上方的滑動。此限制構件147以例如SUS304等不鏽鋼所構成。此處，該限制構件147與該套管141為同軸設置而設置為能夠支承該軸件104。又該限制構件147可與該填料壓制件構成為一體。
並且，該隔膜泵101中，該外殼102內以該擺動隔膜105及該導引構件107等分隔以形成用以填充液體的泵室151、驅動室152及該減壓室153。
具體而言，該泵室151由該擺動隔膜105劃分於該外殼102內的較該擺動隔膜105更向軸心方向的一端(上側)，而構成為室內的容積為可變更。於本實施例中，該泵室151係由該擺動隔膜105與該外殼102的該泵頭112所圍起而形成，分別連通於該吸入口115及該吐出口116。該泵室151為透過伴隨該活塞103的往復移動的該擺動隔膜的運作(變形)而改變室內的體積。
該驅動室152由該導引構件107劃分於該外殼102內的較該導引構件107更向軸心方向的另一端(下側)。於本實施例中，該驅動室152係由該導引構件107與該外殼102的該汽缸111及該驅動裝置106所圍起而形成。該驅動室152分別收容有該驅動裝置6的輸出軸131以及該軸件104的一部分。
該減壓室153由該活塞103、該擺動隔膜105及該導引構件107，於該外殼102內劃分該外殼102內的該泵室151及該驅動室152。於本實施例中，該減壓室153係由該活塞103與該擺動隔膜105與該導引構件107及該外殼102的該汽缸111所包圍所形成，並連通於該通氣口114。
並且該減壓室153構成為在該擺動隔膜泵101運作時，由透過該通氣口114所連接的該減壓裝置減壓至成為預定的壓力(負壓)。該減壓室153透過設置於該活塞103的該複數的空氣通路125，連通互相接觸的該活塞103的上面與該擺動隔膜105的蓋部135的下面之間。
該限制機構108以該外殼102內更向軸心方向另一側而設置於該外殼102與該軸件104之間，並構成為能夠在容許該軸件104往軸心方向的往復移動的同時限制繞著軸心的旋轉。於本實施例中，該限制機構108設置於該驅動室152內，且由能夠使沿著延設的軌道的移動體進行相對移動的直線導件所構成。
詳細而言，該限制機構108，具有軌道狀的一導引構件(軌道體)161及該滑動構件(移動體)162，該導引構件161面對該驅動室內而於該外殼102的軸心方向延設，該滑動構件固定於該軸件104且裝著於該導引構件161而相對於該導引構件161可相對移動。該滑動構件162內部具有複數的滾珠(轉動體)，透過這些滾珠而對於該導引構件161可相對移動地嵌合。如此，該滑動構件162變得對於該導引構件161能夠不停頓地滑動。
該滑動構件162具有一滑動部163及固定於此滑動部163的連結部164。該滑動部163係自該外殼102的軸心側跨伸而裝設於該導引構件161，並在透過此導引構件161引導的同時於軸心方向可滑動。該連結部164外嵌於該軸件 104，固定為隨著該軸件104的往復移動而一體移動。另外移動至該連結部164的上方時，由於頂抵到該限制構件147，而限制該滑動構件162整體向上方的移動(參照第8圖)。
於以上構成中，當運作該驅動裝置106以驅動該隔膜泵101時，該軸件104由於該輸出軸131伴隨該螺母134的旋轉而於軸方向的直線運動而進行軸心方向的往復運動，而使該軸件104向下方向回縮移動的吸入步驟及該軸件104往上方向前進運動的吐出步驟重覆交替進行。藉此能夠將儲存於該液體槽的液體定量且定流量地供給至該液體供給部。
也就是說，該吸入步驟中，該活塞103及該擺動隔膜105的蓋部135追隨該軸件104的回縮移動向下方回縮移動(自第8圖所示的狀態變化為第5圖所示的狀態)。經由此過程，該擺動隔膜105，於軸心方向的該內筒部138的長度變短且該外筒部139的長度變長，又於該外殼102的內周面及該活塞103的外周面之間的縫隙使該彎折部137經擺動而變位至下方。從而該泵室151的容積擴大，該液體槽內的液體經由該吸入口115被吸入泵室151。
又於該吐出步驟中，該活塞103及該擺動隔膜105的蓋部135追隨該軸件104的前進移動向上方前進移動(自第5圖所示的狀態變化為第8圖所示的狀態)。經由此過程，該擺動隔膜105的該內筒部138的長度變長且該外筒部139的長度變短，又於該外殼102的內周面及該活塞103的外周面之間的縫隙使該彎折部137經擺動而變位至上方。從而該泵室151的容積縮小，因此該泵室151內的液體透過該吐出口116被吐出。
該吸入步驟及該吐出步驟中，該減壓室153由透過該通氣口114而連接的該減壓裝置減壓至成為預定的壓力(負壓)。因此，使該擺動隔膜105的蓋部135的下面與該活塞103的上面；該內筒部138的內面與該活塞103的外周面；該外筒部139的外面與該外殼102內周面各自確實緊密貼合。
特別是如前述互相接觸的該擺動隔膜105的蓋部135的下面與該活塞103的上面之間，由於藉由設置於該活塞的該複數空氣通路125而連通於該減壓室，因此該擺動隔膜105的蓋部135與該活塞103能夠進一步確實的緊密貼合。
又該吸入步驟及該吐出步驟中，該軸件104在該外殼102內的該驅動裝置6的本體與該活塞3之間，特別是在靠近該活塞103的位置以該導引構件7導引的同時而往復移動。並且此時藉由該限制機構108，成為容許該軸件104向軸心方向的往復移動，而限制軸件104繞軸心的轉動的狀態。
因此，該隔膜泵101中，使該軸件104往復移動時該軸件104及與其連動的該活塞103在該外殼102(該汽缸111、該泵頭112)的徑向方向(與軸心方向垂直相交或交叉的方向)不易停頓，使該擺動隔膜105不會扭轉或彎曲而容易正常運作(變形)。因此能夠有效的抑制因該擺動隔膜105的運作而起的液體移送量的定量性降低。
特別是於本實施例中，由於該限制機構108，係由具有該導引構件161及該滑動構件162的直線導件所構成，因此該軸件104為利用該滑動構件162的滑動且由該導引構件161導引的同時向軸心方向順暢地往復移動。因此該 軸件104往復移動時，使該軸件104及該活塞103在該外殼102的徑向方向更不易停頓。因而更加有效的抑制液體移送量的定量性降低。
於第9a圖及第9b圖分別顯示該軸件104與該驅動裝置106的輸出軸131的連接部分的側視圖及俯視圖。
如第9a圖及第9b圖所示，於本實施例中，該限制機構108的滑動構件162藉由夾持該軸件104的軸心方向另一端部(下端部)128且夾持該輸出軸131的軸心方向一端部(上端部)，即夾持該圓桿狀部132，構成為該軸件104及該輸出軸131連結。
具體而言，該連結部164具有一安裝孔165、一對緊固部67及一緊固件168，該安裝孔165用以供該軸件104的下端部128及該輸出軸31的上端部(該圓桿狀部132)插入安裝，該一對緊固部167於彼此間形成有與該安裝孔165及外部連接的特定寬度的狹縫166，該緊固件168係用以將該一對的緊固部167間(該狹縫166)的間隔距離縮小，為能夠緊縮該緊固部167的螺絲等。
並且，該連結部164藉由將該軸件104的下端部128及該輸出軸131的圓桿狀部132插入該安裝孔165而略無縫隙地外嵌的狀態下以該緊固件168緊縮該一對的緊固部，夾持該軸件104的下端部及該輸出軸131的圓桿狀部132，使彼等互相連結。
藉由如此構成，該軸件104及該驅動裝置106的輸出軸131的安裝及分離變得較容易。因此，能夠達成該隔膜泵的維修的簡便化。又能夠使該軸件104及該輸出軸131在維持安定的連結狀態下於軸心方向移動。
又關於本實施例的驅動裝置的輸出軸，雖作為使用該限制機構108的滑動構件162(該連結部164)而連結於該軸件104的輸出軸131，但並不限於此，亦可作為例如與由限制機構的作用而旋轉受限制的軸件連結而可相對旋轉的輸出軸。
又於本實施例中，該活塞103如前述，具有於該擺動隔膜105的蓋部35側開口的該第一凹部121。並且如第6圖所示，該擺動隔膜105具有能夠與該第一凹部121嵌合的一突起部171，並以使此突起部171嵌合於該活塞103的第一凹部121的狀態安裝於該活塞103。
該擺動隔膜105的突起部171設置為自該蓋部135的軸心部向下方突出，而與該第一凹部121為同軸配置。該突起部171具有沿著該第一凹部121的外周面，而略無縫隙地嵌入該第一凹部121。另外，該第一凹部121，形成為較該第二凹部122為淺(軸心方向的寬度較小)。
透過如此構成，能夠使以該隔膜泵101的吸入步驟等對該泵室151內的液體施加衝擊時，該擺動隔膜105相對於該活塞103較不易變形。又能夠以該突起部171與該第一凹部121的嵌合以進行該擺動隔膜105與該活塞103的中心校準，能夠更有效地抑制流體移送量的定量性降低。

Claims (6)

  1. 一種隔膜泵，包含：一外殼；一活塞，設置於該外殼內且相對於該外殼為同軸設置，而於該外殼的軸心方向可往復移動；一軸件，經組構而在連接於該活塞的軸心方向的一端的狀態下與該活塞為連動；一擺動隔膜，具有一蓋部，一開放端部以及一彎折部，該蓋部係配置於該活塞的軸心方向的一端，該開放端部安裝於該外殼，該彎折部配置於該蓋部及該開放端部之間，該擺動隔膜經組構使該蓋部與該活塞相對於由該外殼所固定位置的該開放端部而進行往復移動；一泵室，藉由該擺動隔膜而區劃於該外殼內的較該擺動隔膜更向軸心方向的一側，且經組構而使該泵室內的容積為可變；一驅動裝置，具有一馬達部及一輸出軸，該輸出軸與該軸件為同軸配置且連接於該軸件的軸心方向的另一端，該驅動裝置安裝於該外殼的軸心方向的另一側，該驅動裝置將透過該軸件驅使該活塞於軸心方向進行往復移動的該馬達部的旋轉移動轉換為直線移動，使該軸件自該輸出軸得到動力；一導引構件，配置於該外殼內的較該活塞更向軸心方向的另一側且安裝於該外殼，導引該軸件在軸心方向為可移動；以及一限制機構，設置於該外殼內的該導引構件及該軸件之間，容許該軸件向軸心方向的往復移動的同時限制其環繞軸心的旋轉，其中該限制機構係由一花鍵軸及一滾珠花鍵所構成，該花鍵軸由該軸件所構成，該滾珠花鍵具有一筒狀構件，經支承而對於固定於該導引構件的該花鍵軸為無法相對旋轉的同時而導引成於軸心方向為可滑動。
  2. 如請求項1所述的隔膜泵，更包含一連結構件，經組構而透過夾持該軸件的軸心方向的另一端部且夾持該輸出軸的軸心方向的一端部，使該軸件與該輸出軸連接。
  3. 如請求項1至2中任一項所述的隔膜泵，其中該活塞更具有一凹部，該凹部係向該擺動隔膜的蓋側部為開口，該擺動隔膜具有一與該凹部可嵌合的突起部，而以該突起部與該凹部為嵌合的狀態下安裝於該活塞。
  4. 一種隔膜泵，包含：一外殼；一活塞，設置於該外殼內且相對於該外殼為同軸設置，而於該外殼的軸心方向可往復移動；一軸件，經組構而在連接於該活塞的軸心方向的一端的狀態下與該活塞為連動；一擺動隔膜，具有一蓋部，一開放端部以及一彎折部，該蓋部係配置於該活塞的軸心方向的一端，該開放端部安裝於該外殼，該彎折部配置於該蓋部及該開放端部之間，該擺動隔膜經組構使該蓋部與該活塞相對於由該外殼所固定位置的該開放端部而進行往復移動；一泵室，藉由該擺動隔膜而區劃於該外殼內的較該擺動隔膜更向軸心方向的一側，且經組構而使該泵室內的容積為可變；一驅動裝置，具有一馬達部及一輸出軸，該輸出軸與該軸件為同軸配置且連接於該軸件的軸心方向的另一端，該驅動裝置安裝於該外殼的軸心方向的另一側，該驅動裝置將透過該軸件驅使該活塞於軸心方向進行往復移動的該馬達部的旋轉移動轉換為直線移動，使該軸件自該輸出軸得到動力；一導引構件，配置於該外殼內的較該活塞更向軸心方向的另一側且安裝於該外殼，導引該軸件在軸心方向為可移動；以及一限制機構，設置於該外殼內的該導引構件及該軸件之間，容許該軸件向軸心方向的往復移動的同時限制其環繞軸心的旋轉，如請求項6所述的隔膜泵，其中該限制機構設置於較該導引構件更向軸心方向的另一端，且該限制機構由一直線導件部所構成，該直線導件部具有一軌道狀的導引構件及一滑動構件，該軌道狀的導引構件係於該外殼沿軸心方向延設，該滑動構件固定於該軸件且裝設於該軌道狀的導引構件而相對於該軌道狀的導引構件為可移動，該滑動構件係透過夾持該軸件的軸心方向另一端部且夾持該輸出軸的軸心方向的一端部，以連接該軸件及該輸出軸。
  5. 如請求項4所述的隔膜泵，其中該活塞具有一嵌合凹部，該嵌合凹部經組構而嵌合該軸件的軸心方向的一端部，透過該軸件的軸心方向的一端部為可離開地接觸嵌合該嵌合凹部的同時，而與該軸件相連動。
  6. 如請求項4所述的隔膜泵，其中該活塞具有一凹部，該凹部係向該擺動隔膜的蓋部側為開口，該擺動隔膜具有一與該凹部可嵌合的突起部，而以該突起部與該活塞的凹部為嵌合的狀態下安裝於該活塞。
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