JPH0727043A - 送液ポンプ - Google Patents
送液ポンプInfo
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- JPH0727043A JPH0727043A JP16946693A JP16946693A JPH0727043A JP H0727043 A JPH0727043 A JP H0727043A JP 16946693 A JP16946693 A JP 16946693A JP 16946693 A JP16946693 A JP 16946693A JP H0727043 A JPH0727043 A JP H0727043A
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【目的】 液圧調整手段を組み込んだ送液ポンプに関
し、液圧調整手段の配設工事及び配設スペースを不要に
すると共に、吐出液の高純度化を図る。 【構成】 本発明の第１の手段は、往復動する摺動軸22
に固定されたダイヤフラム23,23 ′と、ダイヤフラム2
3,23 ′によって空気室27とポンプ室28に分割され摺動
軸22の駆動によって空気室27とポンプ室28との容積比が
変動するチャンバー室 26,26′と、ポンプ室28に連通し
摺動軸22の駆動によって容積が拡張するときポンプ室28
に吸入される液体が通過する逆止吸入弁31と、ポンプ室
28に連通し摺動軸22の駆動によって容積が圧縮するポン
プ室28から吐出される液体が通過する逆止吐出弁32と、
ポンプ室28の容積変動に伴うポンプ室28の内圧の低下ま
たは増大によってベルジャー33が伸縮しその伸縮によっ
て容積が変動する液圧調整手段35とを具える。
し、液圧調整手段の配設工事及び配設スペースを不要に
すると共に、吐出液の高純度化を図る。 【構成】 本発明の第１の手段は、往復動する摺動軸22
に固定されたダイヤフラム23,23 ′と、ダイヤフラム2
3,23 ′によって空気室27とポンプ室28に分割され摺動
軸22の駆動によって空気室27とポンプ室28との容積比が
変動するチャンバー室 26,26′と、ポンプ室28に連通し
摺動軸22の駆動によって容積が拡張するときポンプ室28
に吸入される液体が通過する逆止吸入弁31と、ポンプ室
28に連通し摺動軸22の駆動によって容積が圧縮するポン
プ室28から吐出される液体が通過する逆止吐出弁32と、
ポンプ室28の容積変動に伴うポンプ室28の内圧の低下ま
たは増大によってベルジャー33が伸縮しその伸縮によっ
て容積が変動する液圧調整手段35とを具える。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、液体を送り出すポン
プ、特に、駆動体の往復動によって液体を送出する容量
式ポンプの脈動抑制構成に関する。
プ、特に、駆動体の往復動によって液体を送出する容量
式ポンプの脈動抑制構成に関する。
【０００２】
【従来の技術】例えば、半導体装置を製造するウエーハ
プロセスにおいて、弗酸や硝酸等の液体が広く使用され
ており、そのような液体は製造コスト低減等のため繰り
返し使用される。その場合、塵埃等の混入物を除去する
ためにフィルタを通した清浄化処理を行っている。
プロセスにおいて、弗酸や硝酸等の液体が広く使用され
ており、そのような液体は製造コスト低減等のため繰り
返し使用される。その場合、塵埃等の混入物を除去する
ためにフィルタを通した清浄化処理を行っている。
【０００３】往復動する駆動体によりダイヤフラムまた
はベルジャーを動作せしめ、前記弗酸や硝酸等の液体を
送出するポンプにおいて、送出圧の周期的変動に伴う脈
動の吸収手段は、ポンプに接続した吐出管に設ける構成
であった。
はベルジャーを動作せしめ、前記弗酸や硝酸等の液体を
送出するポンプにおいて、送出圧の周期的変動に伴う脈
動の吸収手段は、ポンプに接続した吐出管に設ける構成
であった。
【０００４】図５は従来の脈動吸収構成の説明図であ
る。図５(イ) において、ダイヤフラム２を利用したダン
パー（脈動吸収手段）１はポンプ３の吐出管４に接続
し、ダイヤフラム２によって仕切られたエアー室５の圧
力調整は、エアー室５にエアー（または窒素ガス等）を
注入するバルブ７にて行う。
る。図５(イ) において、ダイヤフラム２を利用したダン
パー（脈動吸収手段）１はポンプ３の吐出管４に接続
し、ダイヤフラム２によって仕切られたエアー室５の圧
力調整は、エアー室５にエアー（または窒素ガス等）を
注入するバルブ７にて行う。
【０００５】従って、ポンプ３より吐出された液体８の
脈動は、液体８がダンパー１のポンプ室６を通るとき吸
収されるようになる。図５(ロ) において、脈動吸収手段
９は搬送すべき液体８の貯留槽10に、図示しないポンプ
に接続する吸込み管11，所望装置に液体８を送出する吐
出管12, 窒素ガス等を注入する注入管13を接続し、注入
管13に設けたバルブ14は、貯留槽10に注入する窒素ガス
等の注入圧調整用である。
脈動は、液体８がダンパー１のポンプ室６を通るとき吸
収されるようになる。図５(ロ) において、脈動吸収手段
９は搬送すべき液体８の貯留槽10に、図示しないポンプ
に接続する吸込み管11，所望装置に液体８を送出する吐
出管12, 窒素ガス等を注入する注入管13を接続し、注入
管13に設けたバルブ14は、貯留槽10に注入する窒素ガス
等の注入圧調整用である。
【０００６】従って、ポンプより送出された液体８は、
一時的に貯留槽10に貯留されたのち、貯留槽10に注入さ
れた貯留ガス15の圧力によって吐出管12より送出され、
ポンプより送出されたときの脈動は、貯留槽10に貯留さ
せることによって吸収されるようになる。
一時的に貯留槽10に貯留されたのち、貯留槽10に注入さ
れた貯留ガス15の圧力によって吐出管12より送出され、
ポンプより送出されたときの脈動は、貯留槽10に貯留さ
せることによって吸収されるようになる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】ダイヤフラムまたはベ
ルジャーを利用した従来の容量式ポンプは、液体を吐出
する際に脈動が生じる。例えば、2.2kgf/cm2の吐出圧に
対し0.3kgf/cm2程度の圧力変動による前記脈動は、ポン
プの吐出側のフィルターに捕捉された塵埃等の不純物粒
子を二次側にリークさせたり、継手や配管から液漏れを
起こし易くするという不都合がある。
ルジャーを利用した従来の容量式ポンプは、液体を吐出
する際に脈動が生じる。例えば、2.2kgf/cm2の吐出圧に
対し0.3kgf/cm2程度の圧力変動による前記脈動は、ポン
プの吐出側のフィルターに捕捉された塵埃等の不純物粒
子を二次側にリークさせたり、継手や配管から液漏れを
起こし易くするという不都合がある。
【０００８】そして、図５を用いて説明した従来の脈動
吸収手段は、ポンプの外に配設するためそのスペースを
確保する必要があり、ポンプ設置工事と共に脈動吸収手
段の設置工事も必要である。
吸収手段は、ポンプの外に配設するためそのスペースを
確保する必要があり、ポンプ設置工事と共に脈動吸収手
段の設置工事も必要である。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明の第１の手段はそ
の実施例を示す図１によれば、往復動する摺動軸22に固
定されたダイヤフラム23,23 ′と、ダイヤフラム23,23
′によって空気室27とポンプ室28に分割され摺動軸22
の駆動によって空気室27とポンプ室28との容積比が変動
するチャンバー室 26,26′と、ポンプ室28に連通し摺動
軸22の駆動によって容積が拡張するときポンプ室28に吸
入される液体８が通過する逆止吸入弁31と、ポンプ室28
に連通し摺動軸22の駆動によって容積が圧縮するポンプ
室28から吐出される液体８が通過する逆止吐出弁32と、
ポンプ室28の容積変動に伴うポンプ室28の内圧の低下ま
たは増大によってベルジャー33が伸縮しその伸縮によっ
て容積が変動する液圧調整手段 (ダンパー) 35とを具え
たことを特徴とし構成する。
の実施例を示す図１によれば、往復動する摺動軸22に固
定されたダイヤフラム23,23 ′と、ダイヤフラム23,23
′によって空気室27とポンプ室28に分割され摺動軸22
の駆動によって空気室27とポンプ室28との容積比が変動
するチャンバー室 26,26′と、ポンプ室28に連通し摺動
軸22の駆動によって容積が拡張するときポンプ室28に吸
入される液体８が通過する逆止吸入弁31と、ポンプ室28
に連通し摺動軸22の駆動によって容積が圧縮するポンプ
室28から吐出される液体８が通過する逆止吐出弁32と、
ポンプ室28の容積変動に伴うポンプ室28の内圧の低下ま
たは増大によってベルジャー33が伸縮しその伸縮によっ
て容積が変動する液圧調整手段 (ダンパー) 35とを具え
たことを特徴とし構成する。
【００１０】本発明の第２の手段はその実施例を示す図
２によれば、往復動する摺動軸22に固定されたダイヤフ
ラム 23,23′と、ダイヤフラム 23,23′によって第１の
ポンプ室43と第２のポンプ室44とに分割され摺動軸22の
駆動によってポンプ室43とポンプ室44との容積比が変動
するチャンバー室 42,42′と、ポンプ室43に連通し摺動
軸22の駆動によって容積が拡張するときポンプ室43に吸
入される液体８が通過する逆止吸入弁31と、ポンプ室43
に連通し摺動軸22の駆動によって容積が圧縮するときポ
ンプ室43から吐出される液体８が通過する第１の逆止吐
出弁32と、ダイヤフラム 23,23′に装着しポンプ室43の
内圧が所定値以上になると開いてポンプ室43をポンプ室
44に連通させる第２の逆止吐出弁46と、ポンプ室44に連
通しポンプ室44の容積が圧縮するときポンプ室44の液体
８を吐出させる第３の逆止吐出弁47とを具えたことを特
徴とし構成する。
２によれば、往復動する摺動軸22に固定されたダイヤフ
ラム 23,23′と、ダイヤフラム 23,23′によって第１の
ポンプ室43と第２のポンプ室44とに分割され摺動軸22の
駆動によってポンプ室43とポンプ室44との容積比が変動
するチャンバー室 42,42′と、ポンプ室43に連通し摺動
軸22の駆動によって容積が拡張するときポンプ室43に吸
入される液体８が通過する逆止吸入弁31と、ポンプ室43
に連通し摺動軸22の駆動によって容積が圧縮するときポ
ンプ室43から吐出される液体８が通過する第１の逆止吐
出弁32と、ダイヤフラム 23,23′に装着しポンプ室43の
内圧が所定値以上になると開いてポンプ室43をポンプ室
44に連通させる第２の逆止吐出弁46と、ポンプ室44に連
通しポンプ室44の容積が圧縮するときポンプ室44の液体
８を吐出させる第３の逆止吐出弁47とを具えたことを特
徴とし構成する。
【００１１】本発明の第３の手段はその実施例を示す図
３によれば、往復動する仕切り板58の一方に形成された
第１のポンプ室 59,59′と、仕切り板58の他方に形成さ
れ仕切り板58の往復動に伴って容積が増減する第２のポ
ンプ室 61,61′と、第２のポンプ室 61,61′に連通し仕
切り板58の駆動によって容積が拡張する第２のポンプ室
61,61′に吸入される液体８が通過する逆止吸入弁55
と、ポンプ室 61,61′に連通し仕切り板58の駆動によっ
て容積が圧縮するときポンプ室 61,61′から吐出される
液体８が通過する第１の逆止吐出弁56と、仕切り板58に
設けポンプ室 61,61′の内圧が所定値以上になると開い
てポンプ室 61,61′の液体８をポンプ室 59,59′に吐出
させる第２の逆止吐出弁46と、ポンプ室 59,59′に連通
しポンプ室59,59′の液体８を吐出させる第３の逆止吐
出弁63とを具えたことを特徴とし構成する。
３によれば、往復動する仕切り板58の一方に形成された
第１のポンプ室 59,59′と、仕切り板58の他方に形成さ
れ仕切り板58の往復動に伴って容積が増減する第２のポ
ンプ室 61,61′と、第２のポンプ室 61,61′に連通し仕
切り板58の駆動によって容積が拡張する第２のポンプ室
61,61′に吸入される液体８が通過する逆止吸入弁55
と、ポンプ室 61,61′に連通し仕切り板58の駆動によっ
て容積が圧縮するときポンプ室 61,61′から吐出される
液体８が通過する第１の逆止吐出弁56と、仕切り板58に
設けポンプ室 61,61′の内圧が所定値以上になると開い
てポンプ室 61,61′の液体８をポンプ室 59,59′に吐出
させる第２の逆止吐出弁46と、ポンプ室 59,59′に連通
しポンプ室59,59′の液体８を吐出させる第３の逆止吐
出弁63とを具えたことを特徴とし構成する。
【００１２】
【作用】上記手段によれば、従来技術においてポンプ外
に配設した脈動吸収手段を、ポンプ内に取り込み可能と
し、ポンプを少しだけ大型にすることによって、脈動吸
収手段を配設する工事および脈動吸収手段配設スペース
が不要になると共に、ポンプの吐出口の外に配設するフ
ィルターより手前に脈動吸収手段が位置するため、該フ
ィルターに捕捉された不純物粒子の送出をなくすことが
できる。
に配設した脈動吸収手段を、ポンプ内に取り込み可能と
し、ポンプを少しだけ大型にすることによって、脈動吸
収手段を配設する工事および脈動吸収手段配設スペース
が不要になると共に、ポンプの吐出口の外に配設するフ
ィルターより手前に脈動吸収手段が位置するため、該フ
ィルターに捕捉された不純物粒子の送出をなくすことが
できる。
【００１３】
【実施例】図１は本発明の第１の実施例による送液ポン
プの主要構成図、図２は本発明の第２の実施例による送
液ポンプの主要構成図、図３は本発明の第３の実施例に
よる送液ポンプの主要構成図、図４は図２および３に示
す逆止弁の説明図である。
プの主要構成図、図２は本発明の第２の実施例による送
液ポンプの主要構成図、図３は本発明の第３の実施例に
よる送液ポンプの主要構成図、図４は図２および３に示
す逆止弁の説明図である。
【００１４】図１において、二連ダイヤフラムポンプ
（送液ポンプ）21は、圧縮空気によって左右方向に往復
動する摺動軸22の両端部にダイヤフラム23, 23′を固定
し、摺動軸22を支持する支持体24を固定したポンプ本体
25には、一対のチャンバー室26, 26′と液体吸入路29お
よび液体送出路30を形成し、周縁部をポンプ本体25に固
定したダイヤフラム23, 23′は、チャンバー室26, 26′
を空気室27とポンプ室28に分割する。
（送液ポンプ）21は、圧縮空気によって左右方向に往復
動する摺動軸22の両端部にダイヤフラム23, 23′を固定
し、摺動軸22を支持する支持体24を固定したポンプ本体
25には、一対のチャンバー室26, 26′と液体吸入路29お
よび液体送出路30を形成し、周縁部をポンプ本体25に固
定したダイヤフラム23, 23′は、チャンバー室26, 26′
を空気室27とポンプ室28に分割する。
【００１５】チャンバー室26, 26′と吸入路29との接続
部には、ポンプ室28に吸入する液体８が通過しその逆流
を防止する吸入弁31を設け、チャンバー室26, 26′と送
出路30との接続部には、ポンプ室28に充填され吐出され
る液体８が通過しその逆流を防止する吐出弁32を設け、
ポンプ室28に充填された液体８の圧力変動により容積が
変動するダンパー (液圧調整手段)35,35′は、ポンプ室
28内のベローズ33と蓋材34によって構成する 図示のポンプ21は摺動軸22が右方向に摺動した状態であ
り、チャンバー室26のポンプ室28とチャンバー室26′の
空気室27の容積が拡張されると共に、チャンバー室26の
空気室27とチャンバー室26′のポンプ室28の容積は圧縮
される。
部には、ポンプ室28に吸入する液体８が通過しその逆流
を防止する吸入弁31を設け、チャンバー室26, 26′と送
出路30との接続部には、ポンプ室28に充填され吐出され
る液体８が通過しその逆流を防止する吐出弁32を設け、
ポンプ室28に充填された液体８の圧力変動により容積が
変動するダンパー (液圧調整手段)35,35′は、ポンプ室
28内のベローズ33と蓋材34によって構成する 図示のポンプ21は摺動軸22が右方向に摺動した状態であ
り、チャンバー室26のポンプ室28とチャンバー室26′の
空気室27の容積が拡張されると共に、チャンバー室26の
空気室27とチャンバー室26′のポンプ室28の容積は圧縮
される。
【００１６】従って、チャンバー室26′のポンプ室28に
充填された液体８は、吐出弁32を通りポンプ本体25の吐
出口36より吐出されると共に、チャンバー室26のポンプ
室28には、吸入弁31を通った液体８が充填されるように
なる。
充填された液体８は、吐出弁32を通りポンプ本体25の吐
出口36より吐出されると共に、チャンバー室26のポンプ
室28には、吸入弁31を通った液体８が充填されるように
なる。
【００１７】そして、圧縮されたチャンバー室26′のポ
ンプ室28の液体圧が上昇すると、ダンパー35′は容積が
圧縮され、そのことによって吐出液８の脈動を抑制、例
えば吐出圧2.2kgf/cm2における0.3kgf/cm2の脈動圧を0.
15kgf/cm2 程度に抑制する。
ンプ室28の液体圧が上昇すると、ダンパー35′は容積が
圧縮され、そのことによって吐出液８の脈動を抑制、例
えば吐出圧2.2kgf/cm2における0.3kgf/cm2の脈動圧を0.
15kgf/cm2 程度に抑制する。
【００１８】次いで、摺動軸22が左方向に摺動すると、
チャンバー室26のポンプ室28とチャンバー室26′の空気
室27とは容積が圧縮されると共に、チャンバー室26の空
気室27とチャンバー室26′のポンプ室28とは容積が拡張
される。
チャンバー室26のポンプ室28とチャンバー室26′の空気
室27とは容積が圧縮されると共に、チャンバー室26の空
気室27とチャンバー室26′のポンプ室28とは容積が拡張
される。
【００１９】従って、チャンバー室26のポンプ室28に充
填された液体８は、吐出弁32を通りポンプ本体25の吐出
口36より吐出されると共に、チャンバー室26′のポンプ
室28には、吸入弁31を通った液体８が充填されるように
なると、チャンバー室26のポンプ室28の液体圧が上昇し
ダンパー35の容積が圧縮され、かかるダンパー35は前述
のダンパー35′と同様に、吐出液の脈動を抑制するよう
になる。
填された液体８は、吐出弁32を通りポンプ本体25の吐出
口36より吐出されると共に、チャンバー室26′のポンプ
室28には、吸入弁31を通った液体８が充填されるように
なると、チャンバー室26のポンプ室28の液体圧が上昇し
ダンパー35の容積が圧縮され、かかるダンパー35は前述
のダンパー35′と同様に、吐出液の脈動を抑制するよう
になる。
【００２０】図１と共通部分に同一符号を使用した図２
において、二連ダイヤフラムポンプ（送液ポンプ）41
は、圧縮空気によって左右方向に往復動する摺動軸22の
両端部にダイヤフラム23, 23′を固定し、摺動軸22を支
持する支持体24を固定したポンプ本体25には、一対のチ
ャンバー室42, 42′と液体吸入路29と液体送出路30およ
び液体送出路45を設け、周縁部をポンプ本体25に固定し
たダイヤフラム23, 23′は、チャンバー室42, 42′を第
１のポンプ室43と第２のポンプ室44に分割する。
において、二連ダイヤフラムポンプ（送液ポンプ）41
は、圧縮空気によって左右方向に往復動する摺動軸22の
両端部にダイヤフラム23, 23′を固定し、摺動軸22を支
持する支持体24を固定したポンプ本体25には、一対のチ
ャンバー室42, 42′と液体吸入路29と液体送出路30およ
び液体送出路45を設け、周縁部をポンプ本体25に固定し
たダイヤフラム23, 23′は、チャンバー室42, 42′を第
１のポンプ室43と第２のポンプ室44に分割する。
【００２１】チャンバー室42, 42′のポンプ室43と吸入
路29との接続部には、ポンプ室43に吸入する液体８が通
過しその逆流を防止する吸入弁31を設け、チャンバー室
42,42′のポンプ室43と送出路30との接続部には、ポン
プ室43に充填された液体８を吐出せしめその逆流を防止
する吐出弁 (第１の逆止吐出弁）32を設け、ダイヤフラ
ム23, 23′には、ポンプ室43に充填された液体８の圧力
が所定値以上になると開いてポンプ室43からポンプ室44
に液体８を流す吐出弁 (第２の逆止吐出弁）46を設け
る。
路29との接続部には、ポンプ室43に吸入する液体８が通
過しその逆流を防止する吸入弁31を設け、チャンバー室
42,42′のポンプ室43と送出路30との接続部には、ポン
プ室43に充填された液体８を吐出せしめその逆流を防止
する吐出弁 (第１の逆止吐出弁）32を設け、ダイヤフラ
ム23, 23′には、ポンプ室43に充填された液体８の圧力
が所定値以上になると開いてポンプ室43からポンプ室44
に液体８を流す吐出弁 (第２の逆止吐出弁）46を設け
る。
【００２２】例えば図４に示す如く、合成樹脂にて形成
し一方の端部46a をダイヤフラム23に溶接 (接着) し他
方の端部46b が合成樹脂の弾性で開閉する吐出弁46は、
ポンプ室43から送出路30に吐出された液体８の脈動を抑
制する圧力、例えば吐出弁32の開放圧より0.1kgf/cm2程
度高い開放圧で開くように設定し、そのことによって、
吐出弁46を設けない従来の二連ダイヤフラムポンプにお
いて0.3kgf/cm2程度あった脈動は、0.15kgf/cm2 程度に
低下する。
し一方の端部46a をダイヤフラム23に溶接 (接着) し他
方の端部46b が合成樹脂の弾性で開閉する吐出弁46は、
ポンプ室43から送出路30に吐出された液体８の脈動を抑
制する圧力、例えば吐出弁32の開放圧より0.1kgf/cm2程
度高い開放圧で開くように設定し、そのことによって、
吐出弁46を設けない従来の二連ダイヤフラムポンプにお
いて0.3kgf/cm2程度あった脈動は、0.15kgf/cm2 程度に
低下する。
【００２３】他方、ポンプ室44に連通する送出路45と配
管48との接続部に設けた吐出弁47の開放圧は吐出弁46の
開放圧より少し低く、例えば吐出弁46の開放圧が2.2kgf
/cm2のとき2.0kgf/cm2程度であり、配管48を通って貯留
槽49に貯留された液体８は、配管50を通って吸入路29に
還流するようになる。
管48との接続部に設けた吐出弁47の開放圧は吐出弁46の
開放圧より少し低く、例えば吐出弁46の開放圧が2.2kgf
/cm2のとき2.0kgf/cm2程度であり、配管48を通って貯留
槽49に貯留された液体８は、配管50を通って吸入路29に
還流するようになる。
【００２４】図示のポンプ41は摺動軸22が右方向に摺動
した状態であり、チャンバー室42のポンプ室43とチャン
バー室42′のポンプ室44の容積が拡張されると共に、チ
ャンバー室42のポンプ室44とチャンバー室42′のポンプ
室43は容積が圧縮される。
した状態であり、チャンバー室42のポンプ室43とチャン
バー室42′のポンプ室44の容積が拡張されると共に、チ
ャンバー室42のポンプ室44とチャンバー室42′のポンプ
室43は容積が圧縮される。
【００２５】従って、チャンバー室42′のポンプ室43に
充填された液体８は、吐出弁32を通りポンプ本体25の吐
出口36から吐出されると共に、チャンバー室42のポンプ
室43には、吸入弁31を通った液体８が充填されるように
なる。
充填された液体８は、吐出弁32を通りポンプ本体25の吐
出口36から吐出されると共に、チャンバー室42のポンプ
室43には、吸入弁31を通った液体８が充填されるように
なる。
【００２６】そのとき、チャンバー室42′のポンプ室44
には、ダイヤフラム23′の吐出弁46を通った液体８が注
入され、そのことによって吐出口36から吐出する液体８
の脈動圧は、例えば吐出圧 2.2kgf/cm2 における0.3kgf
/cm2程度の脈動圧は、0.15kgf/cm2 程度に減少すると共
に、チャンバー室42のポンプ室44の液体８は、送出路4
5, 逆止吐出弁 (第３の吐出弁)47,配管48を通って貯留
槽49に送られるようになる。
には、ダイヤフラム23′の吐出弁46を通った液体８が注
入され、そのことによって吐出口36から吐出する液体８
の脈動圧は、例えば吐出圧 2.2kgf/cm2 における0.3kgf
/cm2程度の脈動圧は、0.15kgf/cm2 程度に減少すると共
に、チャンバー室42のポンプ室44の液体８は、送出路4
5, 逆止吐出弁 (第３の吐出弁)47,配管48を通って貯留
槽49に送られるようになる。
【００２７】次いで、摺動軸22が左方向に摺動すると、
チャンバー室42のポンプ室43とチャンバー室42′のポン
プ室44とは容積が圧縮されると共に、チャンバー室42の
ポンプ室44とチャンバー室42′のポンプ室43とは容積が
拡張される。
チャンバー室42のポンプ室43とチャンバー室42′のポン
プ室44とは容積が圧縮されると共に、チャンバー室42の
ポンプ室44とチャンバー室42′のポンプ室43とは容積が
拡張される。
【００２８】すると、チャンバー室42のポンプ室43に充
填された液体８は、吐出弁32を通りポンプ本体25の吐出
口36から吐出されると共に、チャンバー室42′のポンプ
室43には吸入弁31を通った液体８が充填され、チャンバ
ー室42′のポンプ室44に流入した液体８は配管48を通っ
て貯留槽49に送られるようになる。
填された液体８は、吐出弁32を通りポンプ本体25の吐出
口36から吐出されると共に、チャンバー室42′のポンプ
室43には吸入弁31を通った液体８が充填され、チャンバ
ー室42′のポンプ室44に流入した液体８は配管48を通っ
て貯留槽49に送られるようになる。
【００２９】図３に示す複動式ベローズポンプ（送液ポ
ンプ）51において、固定部材52には液体８の吸入路53と
液体８の送出路54を設け、圧縮空気によって左右方向に
往復動する摺動筐体57には、仕切り板58によって区切ら
れた一対の第２のポンプ室59, 59′と、一端が仕切り板
58に密着し他端を部材52に密着するベローズ60を設け、
部材52, 仕切り板58, ベローズ60が第１のポンプ室61,
61′を構成する。
ンプ）51において、固定部材52には液体８の吸入路53と
液体８の送出路54を設け、圧縮空気によって左右方向に
往復動する摺動筐体57には、仕切り板58によって区切ら
れた一対の第２のポンプ室59, 59′と、一端が仕切り板
58に密着し他端を部材52に密着するベローズ60を設け、
部材52, 仕切り板58, ベローズ60が第１のポンプ室61,
61′を構成する。
【００３０】ポンプ室61, 61′内に分岐し開口する吸入
路53の開口部には、ポンプ室61, 61′に液体８を注入す
る吸入弁55を設け、ポンプ室61, 61′に開口する送出路
54の分岐開口端には、ポンプ室61, 61′に充填された液
体８を吐出しその逆流を防止する吐出弁（第１の吐出
弁）56を設ける。
路53の開口部には、ポンプ室61, 61′に液体８を注入す
る吸入弁55を設け、ポンプ室61, 61′に開口する送出路
54の分岐開口端には、ポンプ室61, 61′に充填された液
体８を吐出しその逆流を防止する吐出弁（第１の吐出
弁）56を設ける。
【００３１】仕切り板58には、ポンプ室61, 61′内の液
体をポンプ室59, 59′に逃がす逆止吐出弁 (第２の吐出
弁）46を設ける。吐出弁46の開放圧は、吐出弁56の開放
圧より適当に高く、例えば吐出弁56の開放圧力が2.0kgf
/cm2のとき2.1kgf/cm2程度とする。
体をポンプ室59, 59′に逃がす逆止吐出弁 (第２の吐出
弁）46を設ける。吐出弁46の開放圧は、吐出弁56の開放
圧より適当に高く、例えば吐出弁56の開放圧力が2.0kgf
/cm2のとき2.1kgf/cm2程度とする。
【００３２】ポンプ室59には可撓管62, 可撓管62からの
液体８を送出する逆止吐出弁 (第３の吐出弁）63, 配管
64が接続し、配管64の終端部は貯留槽49に開口し、貯留
槽49の液体８は配管65を通って吸入路53に還流するよう
に構成する。吐出弁63の開放圧は吐出弁56のそれより適
当に低く、例えば吐出弁56の開放圧が2.0kgf/cm2のとき
1.8kgf/cm2とする。
液体８を送出する逆止吐出弁 (第３の吐出弁）63, 配管
64が接続し、配管64の終端部は貯留槽49に開口し、貯留
槽49の液体８は配管65を通って吸入路53に還流するよう
に構成する。吐出弁63の開放圧は吐出弁56のそれより適
当に低く、例えば吐出弁56の開放圧が2.0kgf/cm2のとき
1.8kgf/cm2とする。
【００３３】図示する如く摺動筐体57が右方向に摺動し
たとき、ポンプ室61の容積が圧縮されると共に、ポンプ
室61′の容積が拡張するようになる。その結果、ポンプ
室61に充填された液体８は吐出弁56を通って送出路54よ
り吐出されると共に、ポンプ室61′には液体８が充填さ
れるようになる。
たとき、ポンプ室61の容積が圧縮されると共に、ポンプ
室61′の容積が拡張するようになる。その結果、ポンプ
室61に充填された液体８は吐出弁56を通って送出路54よ
り吐出されると共に、ポンプ室61′には液体８が充填さ
れるようになる。
【００３４】その際、圧縮に伴って吐出弁56の開放圧以
上となったポンプ室61の液体８の一部がポンプ室59に吐
出し、そのことによって送出路54より吐出する液体８の
脈動は、吐出弁46を設けない従来装置の１／２程度（例
えば0.3kgf/cm2→0.15kgf/cm 2 程度) に低下し、ポンプ
室59の液体８は吐出弁63を通って貯留槽49に送られる。
次いで、摺動軸22が左方向に摺動すると、ポンプ室6
1′の容積が圧縮されると共にポンプ室61の容積が拡張
され、ポンプ室61′に充填された液体８が吐出弁56を通
り送出路54から吐出されると共に、ポンプ室61には液体
８が充填され、ポンプ室59′に吐出された液体８は吐出
弁63を通って貯留槽49に送られるようになり、ポンプ室
61′から送出路54に吐出した液体８の脈動は、ポンプ室
61からのそれと同様に抑制される。
上となったポンプ室61の液体８の一部がポンプ室59に吐
出し、そのことによって送出路54より吐出する液体８の
脈動は、吐出弁46を設けない従来装置の１／２程度（例
えば0.3kgf/cm2→0.15kgf/cm 2 程度) に低下し、ポンプ
室59の液体８は吐出弁63を通って貯留槽49に送られる。
次いで、摺動軸22が左方向に摺動すると、ポンプ室6
1′の容積が圧縮されると共にポンプ室61の容積が拡張
され、ポンプ室61′に充填された液体８が吐出弁56を通
り送出路54から吐出されると共に、ポンプ室61には液体
８が充填され、ポンプ室59′に吐出された液体８は吐出
弁63を通って貯留槽49に送られるようになり、ポンプ室
61′から送出路54に吐出した液体８の脈動は、ポンプ室
61からのそれと同様に抑制される。
【００３５】なお、前記実施例において液体８が薬液で
あるとき、液体８が接するポンプ構成部品または該構成
部品の薬液接触面には、その薬液に対する耐性材料を使
用する。
あるとき、液体８が接するポンプ構成部品または該構成
部品の薬液接触面には、その薬液に対する耐性材料を使
用する。
【００３６】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、ポ
ンプを少しだけ大型にすることによって、脈動吸収手段
を配設する工事および脈動吸収手段配設スペースを不要
にすると共に、ポンプの吐出口に設けたフィルターに捕
捉された不純物粒子の送出をなくし、吐出液の純度が改
善されるようになる。
ンプを少しだけ大型にすることによって、脈動吸収手段
を配設する工事および脈動吸収手段配設スペースを不要
にすると共に、ポンプの吐出口に設けたフィルターに捕
捉された不純物粒子の送出をなくし、吐出液の純度が改
善されるようになる。
【図１】 本発明の第１の実施例による送液ポンプの主
要構成図
要構成図
【図２】 本発明の第２の実施例による送液ポンプの主
要構成図
要構成図
【図３】 本発明の第３の実施例による送液ポンプの主
要構成図
要構成図
【図４】 図２および３に示す逆止弁の説明図
【図５】 従来の脈動吸収構成の説明図
８は液体22は摺動軸 23, 23′はダイヤフラム 26, 26′,42,42′はチャンバー室 27は空気室 28,43,44,59,59′,61,61′はポンプ室 31,55 は逆止吸入弁 32,46,47,56,63は逆止吐出弁 33,60 はベルジャー 35は液圧調整手段 (ダンパー) 58は仕切り板
Claims (3)
- 【請求項１】 往復動する摺動軸(22)に固定されたダイ
ヤフラム(23,23′)と、該ダイヤフラムによって空気室
(27)とポンプ室(28)に分割され該摺動軸の駆動によって
該空気室とポンプ室との容積比が変動するチャンバー室
(26,26′) と、該ポンプ室に連通し該摺動軸の駆動によ
って容積が拡張するとき該ポンプ室に吸入される液体
(8) が通過する逆止吸入弁(31)と、該ポンプ室に連通し
該摺動軸の駆動によって容積が圧縮する該ポンプ室から
吐出される液体(8) が通過する逆止吐出弁(32)と、該ポ
ンプ室の容積変動に伴う該ポンプ室の内圧の低下または
増大によってベルジャー(33)が伸縮しその伸縮によって
容積が変動する液圧調整手段(35)とを具えたこと、を特
徴とする送液ポンプ。 - 【請求項２】 往復動する摺動軸(22)に固定されたダイ
ヤフラム(23,23′)と、該ダイヤフラムによって第１の
ポンプ室(43)と第２のポンプ室(44)とに分割され該摺動
軸の駆動によって該第１のポンプ室と第２のポンプ室と
の容積比が変動するチャンバー室(42,42′) と、該第１
のポンプ室に連通し該摺動軸の駆動によって容積が拡張
するとき該第１のポンプ室に吸入される液体(8) が通過
する逆止吸入弁(31)と、該第１のポンプ室に連通し該摺
動軸の駆動によって容積が圧縮するとき該第１のポンプ
室から吐出される液体(8) が通過する第１の逆止吐出弁
(32)と、該ダイヤフラムに装着し該第１のポンプ室の内
圧が所定値以上になると開いて該第１のポンプ室を該第
２のポンプ室に連通させる第２の逆止吐出弁(46)と、該
第２のポンプ室に連通し該第２のポンプ室の容積が圧縮
するとき該第２のポンプ室の液体を吐出させる第３の逆
止吐出弁(47)とを具えたこと、を特徴とする送液ポン
プ。 - 【請求項３】 往復動する仕切り板(58)の一方に形成さ
れた第１のポンプ室(59,59′) と、該仕切り板の他方に
形成され該仕切り板の往復動に伴って容積が増減する第
２のポンプ室(61,61′) と、該第２のポンプ室に連通し
該仕切り板の駆動によって容積が拡張する該第２のポン
プ室に吸入される液体(8) が通過する逆止吸入弁(55)
と、該第２のポンプ室に連通し該仕切り板の駆動によっ
て容積が圧縮するとき該第２のポンプ室から吐出される
液体(8) が通過する第１の逆止吐出弁(56)と、該仕切り
板に設け該第２のポンプ室の内圧が所定値以上になると
開いて該第２のポンプ室の液体を該第１のポンプ室に吐
出させる第２の逆止吐出弁(46)と、該第１のポンプ室に
連通し該第１のポンプ室の液体を吐出させる第３の逆止
吐出弁(63)とを具えたこと、を特徴とする送液ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16946693A JPH0727043A (ja) | 1993-07-09 | 1993-07-09 | 送液ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16946693A JPH0727043A (ja) | 1993-07-09 | 1993-07-09 | 送液ポンプ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0727043A true JPH0727043A (ja) | 1995-01-27 |
Family
ID=15887090
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16946693A Withdrawn JPH0727043A (ja) | 1993-07-09 | 1993-07-09 | 送液ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0727043A (ja) |
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH10306779A (ja) * | 1997-05-08 | 1998-11-17 | Fujikoshi Mach Corp | 熱交換器兼用ポンプ装置 |
| JP2005083265A (ja) * | 2003-09-09 | 2005-03-31 | Kioritz Corp | ポンプ及びポンプ構成部品 |
| JP2008124462A (ja) * | 2006-11-13 | 2008-05-29 | Asml Netherlands Bv | リソグラフィ装置用の導管システム、リソグラフィ装置、ポンプ、及び、導管システム内の振動を実質的に低減する方法 |
| JP2009299484A (ja) * | 2008-06-10 | 2009-12-24 | Tacmina Corp | ポンプ |
| US8162635B2 (en) | 2005-10-25 | 2012-04-24 | Nitto Kohki Co., Ltd. | Low vibration pump |
| JP2016035258A (ja) * | 2014-08-05 | 2016-03-17 | 国立大学法人茨城大学 | 陰圧発生防止機構及びその陰圧発生防止機構を備えた容積ポンプ |
| US9700398B2 (en) | 1998-08-12 | 2017-07-11 | Maquet Cardiovascular Llc | Vessel harvester |
| US10299770B2 (en) | 2006-06-01 | 2019-05-28 | Maquet Cardiovascular Llc | Endoscopic vessel harvesting system components |
| US10507012B2 (en) | 2000-11-17 | 2019-12-17 | Maquet Cardiovascular Llc | Vein harvesting system and method |
| CN112302915A (zh) * | 2020-10-27 | 2021-02-02 | 浙江大学 | 一种内置阻尼器的波纹管泵 |
-
1993
- 1993-07-09 JP JP16946693A patent/JPH0727043A/ja not_active Withdrawn
Cited By (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| US11141055B2 (en) | 2006-06-01 | 2021-10-12 | Maquet Cardiovascular Llc | Endoscopic vessel harvesting system components |
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| CN112302915A (zh) * | 2020-10-27 | 2021-02-02 | 浙江大学 | 一种内置阻尼器的波纹管泵 |
| CN112302915B (zh) * | 2020-10-27 | 2021-08-31 | 浙江大学 | 一种内置阻尼器的波纹管泵 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20001003 |