WO2007032147A1 - 流体制御装置 - Google Patents

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Ichiro Tokuda
Michio Yamaji
Tsutomu Shinohara
Kenji Tsubota
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Fujikin Incorporated
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Definitions

  • the present invention relates to a fluid control device used in a semiconductor manufacturing apparatus or the like, and more specifically, an integrated fluid control that is assembled so that a fluid control device can be taken out independently during maintenance inspection. Relates to the device.
  • Patent Document 1 discloses that a single line force is formed by a plurality of fluid control devices arranged at the upper stage and a plurality of joint members arranged at the lower stage. What is disclosed.
  • one having two ports and one having three ports are used as fluid control devices, and one having two openings as a joint member and one having one port.
  • a fluid control device with two ports is placed across two joint members with two openings, and a flow control device with three ports is two
  • a joint member is disposed so as to straddle two joint members having openings, and has one opening between the two joint members and constitutes an inter-line connection means.
  • a gasket constituting the seal portion is interposed, and each fluid control device uses two bolts per one seal portion.
  • the fluid control device with 2 ports is attached with 4 bolts, and the fluid control device with 3 ports is attached with 6 bolts.
  • Patent Document 1 Japanese Patent Laid-Open No. 2003-322127
  • An object of the present invention is to provide a fluid control device that can be miniaturized without reducing the diameter of the bolt or the passage.
  • the fluid control device In the fluid control device according to the present invention, a plurality of fluid control devices arranged in the upper stage and a plurality of joint member forces arranged in the lower stage and connecting them are arranged in parallel, and a predetermined line
  • the flow control apparatus has an inlet port and an outlet port arranged in the line direction, and an inter-line connection port located between these line directions.
  • the fluid control device is supported by a pair of joint members, and a step is formed on the upper surface of the opposing portion of both joint members. The connection between the lines of the fluid control device spans the step of these joint members.
  • An interline connection passage forming member that has an upward opening passage that communicates with the port and constitutes the interline connection means is supported.
  • the fluid control device arranged in the upper stage includes a mass flow controller, an on-off valve, a regulator, various valves, a filter, a passage block, various joints, etc., and the joint member arranged in the lower stage is V-shaped. , U-shaped and L-shaped passages are formed in the rectangular parallelepiped block.
  • the line forming passage forming member is arranged in the lower stage so that the upper surface of the joint member is flush with the joint member.
  • the line forming passage forming member is clamped between the fluid control device and the joint member by fastening a screw member for fixing the fluid control device to the joint member.
  • the conventional line connecting passage forming member is connected to the fluid control device by the two bolts (screw members), but this bolt can be reduced.
  • the inter-line connection passage forming member opens at both ends in a direction orthogonal to the line and is above
  • An L-shaped passage forming member having a T-shaped passage forming member having a T-shaped passage that is also open, and an L-shaped passage having one end closed in the direction orthogonal to the line and opened to the other end and upward
  • the inter-line connecting means is configured by interposing at least one saddle-shaped channel forming member between two L-shaped channel forming members.
  • Each inter-line connecting passage forming member is formed, for example, in a cylindrical body having a square cross-sectional flange portion supported by the step of the joint member, and the upward opening passage includes a flange portion. It is provided to penetrate. An annular projection for holding a gasket for forming a seal portion is formed in the opening.
  • a fluid control device having an inter-line connection port is an on-off valve having an inlet port and an outlet port arranged in the line direction via the inter-line connection port.
  • a passage leading to the inlet port is formed in one of the adjacent joint members to be supported, and a passage leading to the outlet port is formed in the other, and the inlet port of the on-off valve and the line indirect connection port are always in communication. It is said.
  • the passage forming member constituting the inter-line connecting means is provided so as to straddle the step formed in the joint member, the length in the line direction is not increased. It is possible to provide an interline connecting means, and the size can be reduced.
  • FIG. 1 is a longitudinal sectional view showing a first embodiment of a fluid control apparatus according to the present invention.
  • FIG. 2 is a plan view of the same.
  • FIG. 3 is a plan view of the joint member arranged in the lower stage.
  • FIG. 4 is a view showing an example of an inter-line connection passage forming member.
  • FIG. 5 is a view showing another example of a line forming passage forming member.
  • FIG. 6 is a longitudinal sectional view showing an essential part of another embodiment of the fluid control apparatus according to the present invention.
  • FIGS. 1 to 3 show a first embodiment of a fluid control apparatus according to the present invention.
  • One line (1) of the fluid control device includes a plurality of fluid control devices (2) (3), one inlet passage forming joint (4), and one outlet passage forming joint arranged in the upper stage. (5), and a plurality of joint members (6) (7) and a passage forming member for interline connection (9X10) arranged in the lower stage and supporting the fluid control device (2) (3), As shown in Fig. 2 and Fig. 3, a plurality of lines (1) are arranged in parallel with their inlets in the front and outlets in the rear, and the flow paths of a given line (1) are connected between the lines. The whole fluid control device is formed by being connected by the connecting means (8). [0019] As shown in Fig.
  • the fluid control device (2) (3) has two ports (inlet port (2a) and outlet port (2b)) used for connection in the line direction only.
  • the passage block is shown in the figure) (2) and three ports (inlet port (3a), outlet port (3b) and interline connection port that can also be connected between lines in the direction perpendicular to the line direction) (3c)) (the passage block is shown in the figure) (3) is used.
  • the inlet port (2a) (3a) and the outlet port (2b) (3b) are provided at predetermined intervals in the line direction, and the inter-line connection port (3c) is connected to the inlet port (3a) and the outlet port. It is located in the center of the port (3b).
  • the inlet passage forming joint (4) and the outlet passage forming joint (5) include a vertical cylindrical portion (4a) (5a) that is abutted with an opening of the joint member via a seal portion (20), It consists of L-shaped cylindrical parts (4b) and (5b) welded to the vertical cylindrical parts (4a) and (5a).
  • Each fluid control device (2) (3) is supported across a pair of joint members (6) (7) adjacent in the line direction.
  • inter-line connection passage forming members 9X10
  • at least one (1 in the figure) T-shaped passage forming member (9) is interposed between the two L-shaped passage forming members (10).
  • (8) is formed.
  • the T-shaped passage forming member (9) has a square flange section supported at the step (7a) of the joint member (7) at the central portion of the cylindrical body (11). (12) is formed, and the upward opening passage (14) that penetrates the flange portion (12) is formed, so that it opens at both ends in the direction perpendicular to the line and opens upward.
  • a T-shaped passage (13) is formed as a passage between lines.
  • An annular gasket pressing projection (20a) constituting the seal portion (20) is provided in the opening portion of the upward opening passage (14).
  • the L-shaped passage forming member (10) has, on one side of the cylindrical body (16), a flange portion having a square cross section supported by the step (7a) of the joint member (7). 17) formed with flange An upward opening passage (19) penetrating through the section (17) is formed, and the outer portion of the upward opening passage (19) is closed to close one end in the direction perpendicular to the line.
  • An L-shaped passage (18) is formed as an interline passage that opens to the other end and upward.
  • An annular gasket pressing projection (20a) constituting the seal portion (20) is provided at the opening of the upward opening passage (19).
  • inter-line connecting passage forming members (9X10) constituting the inter-line connecting means (7) are joined together by welding.
  • each joint member (6) (7) is formed with a V-shaped passage (21) having two upward openings (21a) (2 lb) arranged in the line direction. Yes.
  • each joint member (6) (7) further includes two through holes (22) arranged in a direction perpendicular to the line direction via a V-shaped passage (21), and 4 Four internal thread parts (23) arranged at the corners are formed.
  • Each joint member (6) (7) is fixed to the base member by a bolt inserted into each through hole (22), and each fluid control device (2) (3) Is fixed to the joint member (6) (7) by a bolt (screw member) (24) screwed into the female thread part (23) of the corresponding joint member (6) (7). .
  • the inter-line connecting passage forming member (9X10) constituting the inter-line connecting means (8) is formed between the bottom surface of the fluid control device (3) and the step (7a) bottom surface of the joint member (7).
  • the bolt (24) which is interposed between them and which fixes the fluid control device (3) to the joint member (7) is clamped between them. That is, the passage forming member (9) (10) itself is not provided with a female thread, and the passage forming member (9) is provided by four bolts (24) for fixing the three-port fluid control device (3). (10) is fixed.
  • the number of bolts (24) used is four for both the two-port fluid control device (2) and the three-port fluid control device (3).
  • Step (7a) of the joint member (7) and passage type so that a predetermined pressure is applied to the seal part (20) between the The machining accuracy of the component members (9) and (10) is set, and this ensures sealing accuracy without tightening the passage formation members (9) and (10) with bolts.
  • the passage forming member that performs the line-to-line connection is interposed between the fluid control device and the base member in the same manner as the other joint members.
  • the number of bolts used is the same for four fluid control devices with two ports, but three bolts are used. Six fluid control devices with ports were required.
  • the inter-line connecting passage forming member (9X10) is disposed across the step (7a) of the pair of joint members (7).
  • the fluid control device (31) arranged in the upper stage has an inlet port (31a) and an outlet port (31b) arranged in the line direction via the inter-line connection port (31c).
  • the inlet port (31a) leads to the V-shaped passage (21) of one joint member (7) that supports the on-off valve (31), and the outlet port (31b) It communicates with the V-shaped passage (21) of the other joint member (7) that supports the on-off valve (31).
  • the on-off valve (31) is configured such that the inlet port (31a) is shut off and opened by its actuator (not shown).
  • the inlet port (31a) of the on-off valve (31) Both are always in communication with the line connection port (31c).
  • the fluid control device includes an on-off valve having two ports, a mass flow controller, a regulator, etc.
  • the fluid control device (2X3) can be replaced by these fluid control devices
  • a fluid control device that is also lightweight can be obtained.
  • the passage (21) formed in the joint member (6) (7) is V-shaped, but it is needless to say that it may be U-shaped.
  • the present invention provides a fluid control apparatus used in a semiconductor manufacturing apparatus or the like. According to the present invention, the fluid control device can be downsized without degrading its performance.

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Abstract

　ボルト径や通路径を小さくすることなく、小型化できる流体制御装置を提供する。 　ライン方向に並ぶ入口ポート31aおよび出口ポート31bとこれらのライン方向中間に位置するライン間接続用ポート31cとを有する流体制御機器31が１対の継手部材7にまたがって支持されており、両継手部材7の対向部分の上面にそれぞれ段差7aが形成され、これらの継手部材7の段差7aにまたがって、流体制御機器31のライン間接続用ポート31cに連通するライン間通路13,18を有しライン間接続手段8を構成するライン間接続用通路形成部材9,10が支持されている。

Description

明 細 書
流体制御装置
技術分野
[0001] この発明は、半導体製造装置等に使用される流体制御装置に関し、より詳しくは、 保守点検時に流体制御機器を単独で上方に取り出すことができるように組み立てら れた集積ィヒ流体制御装置に関する。
[0002] この明細書において、上下については、図 1の上下を上下というものとする。この上 下は便宜的なもので、前後が逆になつたり、上下が左右になったりして使用されること もめる。
背景技術
[0003] 半導体製造装置に使用される流体制御装置として、特許文献 1には、 1つのライン 力 上段に配置された複数の流体制御機器と、下段に配置された複数の継手部材と によって形成されて 、るものが開示されて 、る。
[0004] この流体制御装置では、流体制御機器として、 2つのポートを有するものと 3つのポ ートを有するものとが使用されており、継手部材として、 2つの開口を有するものと 1つ の開口を有するものとが使用されており、 2つのポートを有する流体制御機器は、 2つ の開口を有する 2つの継手部材にまたがって配置され、 3つのポートを有する流体制 御機器は、 2つの開口を有する 2つの継手部材にまたがって配置されるとともに、これ らの 2つの継手部材間に 1つの開口を有しライン間接続手段を構成する継手部材が 配置されている。流体制御機器の通路と継手部材の通路との突き合わせ部には、シ 一ル部を構成するガスケットが介在され、各流体制御機器は、 1つのシール部に付き 2本のボルトが使用され、したがって、 2つのポートを有する流体制御機器は、 4本の ボルトにより、 3つのポートを有する流体制御機器は、 6本のボルトにより取り付けられ ている。
特許文献 1：特開 2003— 322127号公報
発明の開示
発明が解決しょうとする課題 [0005] 上記特許文献 1の流体制御装置によると、各流体制御機器がチューブを介さずに 接続されることで集積ィ匕が実現されているが、このような集積ィ匕流体制御装置では、 さらなる小型化が求められている。小型化は、ボルト径ゃ通路径を小さくすることによ つて可能であるが、ボルト径を小さくすると、強度や推力が不足するという問題があり 、通路径を小さくすると、流量が制限されるという問題がある。
[0006] この発明の目的は、ボルト径ゃ通路径を小さくすることなぐ小型化できる流体制御 装置を提供することにある。
課題を解決するための手段
[0007] この発明による流体制御装置は、上段に配置された複数の流体制御機器および下 段に配置されてこれらを接続する複数の継手部材力 なるラインが並列状に配置さ れ、所定のラインの流路同士がライン間接続手段により接続されている流体制御装 置にぉ 、て、ライン方向に並ぶ入口ポートおよび出口ポートとこれらのライン方向中 間に位置するライン間接続用ポートとを有する流体制御機器が 1対の継手部材にま たがって支持されており、両継手部材の対向部分の上面にそれぞれ段差が形成され 、これらの継手部材の段差にまたがって、流体制御機器のライン間接続用ポートに連 通する上向き開口通路を有しライン間接続手段を構成するライン間接続用通路形成 部材が支持されて 、ることを特徴とするものである。
[0008] 上段に配置される流体制御機器としては、マスフローコントローラ、開閉弁、レギュ レータ、各種弁、フィルタ、通路ブロック、各種継手などがあり、下段に配置される継 手部材は、 V字状、 U字状、 L字状などの通路が直方体ブロックに形成されたものとさ れる。、ライン間接続用通路形成部材は、継手部材と上面が面一になるように下段に 配置される。
[0009] ライン間接続用通路形成部材は、流体制御機器を継手部材に固定するためのねじ 部材が締め付けられることによって、流体制御機器と継手部材との間に挟持されてい ることが好ましい。このようにすると、従来のライン間接続用通路形成部材が 2本のボ ルト（ねじ部材）によって流体制御機器と接続されていたのに対し、このボルトを削減 することができる。
[0010] ライン間接続用通路形成部材は、ラインと直交する方向の両端に開口しかつ上方 にも開口している T字状通路を有する T型通路形成部材と、ラインと直交する方向の 一端が閉鎖されその他端および上方に開口している L字状通路を有する L型通路形 成部材とからなり、 2つの L型通路形成部材の間に少なくとも 1つの Τ型通路形成部 材が介在させられることによってライン間接続手段が構成されていることが好ましい。
[0011] 各ライン間接続用通路形成部材は、例えば、円筒体に、継手部材の段差に支持さ れる断面方形のフランジ部が形成されたものとされ、その上向き開口通路は、フラン ジ部を貫通するように設けられる。この開口部には、シール部を構成するためのガス ケット押さえ用の環状突起が形成される。
[0012] 例えば、ライン間接続用ポートを有する流体制御機器は、ライン間接続用ポートを 介してライン方向に並ぶ入口ポートおよび出口ポートを有して 、る開閉弁であり、この 流体制御機器を支持する隣り合う継手部材の一方に入口ポートに通じる通路が、同 他方に出口ポートに通じる通路が形成されており、開閉弁の入口ポートとライン間接 続用ポートとが常時連通させられているものとされる。
発明の効果
[0013] この発明の流体制御装置によると、ライン間接続手段を構成する通路形成部材が 継手部材に形成された段差にまたがるように設けられているので、ライン方向の長さ を増加させることなぐライン間接続手段を設けることが可能となり、小型化することが できる。
図面の簡単な説明
[0014] [図 1]図 1は、この発明による流体制御装置の第 1実施形態を示す縦断面図である。
[図 2]図 2は、同平面図である。
[図 3]図 3は、下段に配置された継手部材の平面図である。
[図 4]図 4は、ライン間接続用通路形成部材の一例を示す図である。
[図 5]図 5は、ライン間接続用通路形成部材の他の例を示す図である。
[図 6]図 6は、この発明による流体制御装置の他の実施形態の要部を示す縦断面図 である。
符号の説明
[0015] (1) ライン (2X3) 流体制御機器
(3a) 入口ポート
(3b) 出口ポート
(3c) ライン間接続用ポート
(6)(7) 継手部材
(7a) 段差
(8) ライン間接続手段
(9X10) ライン間接続用通路形成部材
(13) T字状通路
(14) 上向き開口通路
(18) L字状通路
(19) 上向き開口通路
(21) 通路
(24) ボルト
(31) 開閉弁 (流体制御機器）
(31a) 入口ポート
(31b) 出口ポート
(31c) ライン間接続用ポート
発明を実施するための最良の形態
[0016] この発明の実施の形態を、以下図面を参照して説明する。
[0017] 図 1から図 3までは、この発明による流体制御装置の第 1実施形態を示している。
[0018] 流体制御装置の 1つのライン (1)は、上段に配置された複数の流体制御機器 (2)(3)、 1つの入口通路形成用継手 (4)および 1つの出口通路形成用継手 (5)と、下段に配置 されかつ流体制御機器 (2)(3)を支持する複数の継手部材 (6)(7)およびライン間接続用 通路形成部材 (9X10)とによって形成されており、複数のライン (1)が、図 2および図 3に 示すように、その入口を前方に、出口を後方に向けて並列状に配置され、所定のライ ン (1)の流路同士がライン間接続手段 (8)により接続されることにより、流体制御装置の 全体が形成されている。 [0019] 流体制御機器 (2)(3)としては、図 1に示すように、ライン方向だけの接続に使用され る 2つのポート（入口ポート (2a)および出口ポート (2b))を有するもの（図示は通路ブロ ック) (2)と、さらにライン方向に直交する方向のライン間接続も行うことができる 3つの ポート (入口ポート (3a)、出口ポート (3b)およびライン間接続用ポート (3c))を有するも の（図示は通路ブロック） (3)とが使用されて 、る。入口ポート (2a)(3a)および出口ポート (2b)(3b)は、ライン方向に所定間隔をおいて設けられており、ライン間接続用ポート (3 c)は、入口ポート (3a)と出口ポート (3b)とのちようど中央に設けられて 、る。
[0020] 入口通路形成用継手 (4)および出口通路形成用継手 (5)は、継手部材の開口部に シール部 (20)を介して突き合わせられる垂直状筒部 (4a)(5a)と、垂直状筒部 (4a)(5a)に 溶接された L字状筒部 (4b)(5b)とからなる。
[0021] 各流体制御機器 (2)(3)は、ライン方向に隣り合う 1対の継手部材 (6)(7)にまたがって 支持されている。
[0022] 3つのポート (3a)(3b)(3C)を有する流体制御機器 (3)を支持して 、る 1対の継手部材 (7 )には、両継手部材 (7)の対向部分の各上面に段差 (7a)が形成されており、これらの段 差 (7a)にまたがって、ライン間接続手段 (8)を構成するライン間接続用通路形成部材（ 9)(10)が両継手部材 (7)と上面同士面一になるように支持されている。
[0023] ライン間接続用通路形成部材 (9X10)としては、 T字状通路を有する T型通路形成部 材 (9)と、 L字状通路を有する L型通路形成部材 (10)の 2種類のものが使用されており 、 2つの L型通路形成部材 (10)の間に少なくとも 1つ（図示は 1つ）の T型通路形成部 材 (9)が介在させられることによってライン間接続手段 (8)が形成されている。
[0024] T型通路形成部材 (9)は、図 4に詳しく示すように、円筒体 (11)の中央部分に、継手 部材 (7)の段差 (7a)に支持される断面方形のフランジ部 (12)が形成されたもので、フラ ンジ部 (12)を貫通する上向き開口通路 (14)が形成されることによって、ラインと直交す る方向の両端に開口しかつ上方にも開口しているライン間通路としての T字状通路 (1 3)が形成されている。上向き開口通路 (14)の開口部には、シール部 (20)を構成する環 状のガスケット押さえ用突起 (20a)が設けられている。
[0025] L型通路形成部材 (10)は、図 5に詳しく示すように、円筒体 (16)の片側に、継手部材 (7)の段差 (7a)に支持される断面方形のフランジ部 (17)が形成されたもので、フランジ 部 (17)を貫通する上向き開口通路 (19)が形成されるとともに、上向き開口通路 (19)が ある部分よりも外側の部分が閉鎖されることによって、ラインと直交する方向の一端が 閉鎖されその他端および上方に開口しているライン間通路としての L字状通路 (18)が 形成されている。上向き開口通路 (19)の開口部には、シール部 (20)を構成する環状 のガスケット押さえ用突起 (20a)が設けられて 、る。
[0026] ライン間接続手段 (7)を構成するライン間接続用通路形成部材 (9X10)同士は、溶接 により結合されている。通路形成部材 (9X10)は、それぞれ 1種類だけとされており（長 さが異なる仕様のものはなく）、隣り合う通路形成部材 (9)(10)間には、必要に応じて、 各通路形成部材 (9X10)の円筒体 (11X16)と同じ径の長さ調整用チューブが介在させ られる。
[0027] 図 1に示すように、各継手部材 (6)(7)には、ライン方向に並ぶ 2つの上向き開口 (21a) (2 lb)を有する V字状通路 (21)が形成されている。各継手部材 (6)(7)には、さらに、図 3 に示すように、 V字状通路 (21)を介してライン方向と直交する方向に並ぶ 2つの貫通 孔 (22)と、その 4隅に配された 4つのめねじ部 (23)とが形成されている。そして、各継手 部材 (6)(7)は、各貫通孔 (22)に挿通されるボルトによってベース部材に固定されるよう になされており、各流体制御機器 (2)(3)は、これを上方から貫通して対応する継手部 材 (6)(7)のめねじ部 (23)にねじ込まれたボルト（ねじ部材) (24)によって継手部材 (6)(7) に固定されている。
[0028] ライン間接続手段 (8)を構成して 、るライン間接続用通路形成部材 (9X10)は、流体 制御機器 (3)の下面と継手部材 (7)の段差 (7a)底面との間に介在させられるとともに、 流体制御機器 (3)を継手部材 (7)に固定するボルト (24)が締め付けられることによって、 両者間に挟持されている。すなわち、通路形成部材 (9)(10)自体にはめねじ部は設け られておらず、 3ポートの流体制御機器 (3)を固定する 4本のボルト (24)によって、通路 形成部材 (9)(10)が固定されている。この結果、 2ポートの流体制御機器 (2)に対しても 3ポートの流体制御機器 (3)に対しても、ボルト (24)の使用本数は 4本となっている。な お、 3ポートの流体制御機器 (3)のボルト (24)を締め付けた場合に、通路形成部材 (9)( 10)の上向き開口通路 (14X19)と流体制御機器 (3)のライン間接続用ポート (3c)との間 のシール部 (20)に所定の圧力が力かるように、継手部材 (7)の段差 (7a)および通路形 成部材 (9)(10)の加工精度が設定され、これにより、通路形成部材 (9)(10)をボルトで締 め付けなくても、シール精度が確保される。
[0029] 従来の流体制御装置では、ライン間接続を行う通路形成部材につ 、ても、他の継 手部材と同様に、流体制御機器とベース部材との間に介在させて、流体制御機器を 上方から貫通して継手部材のめねじ部にねじ込まれたボルトによって固定されている ため、ボルトの使用本数は、 2つのポートを有する流体制御機器では、 4本で同じで あるが、 3つのポートを有する流体制御機器では、 6本必要であった。これに対し、こ の発明の流体制御装置では、上述のように、 1対の継手部材 (7)の段差 (7a)にまたが つてライン間接続用通路形成部材 (9X10)が配置されていることで、ライン間接続用通 路形成部材 (9X10)を設けるのに必要なライン方向の長さが短くなつて、小型化が果た されており、さらに、ボルト (24)の使用本数が削減されることで、コストおよび組立て時 の手間が削減されているとともに、軽量化も果たされている。
[0030] 上記実施形態では、流体制御機器 (2)(3)として、 2つまたは 3つのポート (2a)(2b)(3a)( 3b)(3c)を有する通路ブロックが図示されている力 3つのポートを有する流体制御機 器として、 3つのポート (31a)(31b)(31c)を有する開閉弁 (31)を使用することもできる。こ れを図 6に示す。なお、以下の説明において、第 1実施形態と同じ構成には、同じ符 号を付し、その説明を省略する。
[0031] 図 6において、上段に配置されている流体制御機器 (31)は、ライン間接続用ポート（ 31c)を介してライン方向に並ぶ入口ポート (31a)および出口ポート (31b)を有している開 閉弁であり、その入口ポート (31a)が開閉弁 (31)を支持する一方の継手部材 (7)の V字 状通路 (21)に通じており、その出口ポート (31b)が開閉弁 (31)を支持する他方の継手 部材 (7)の V字状通路 (21)に通じている。開閉弁 (31)は、そのァクチユエータ（図示略） によって、入口ポート (31a)が遮断 *開放されるようになされており、開閉弁 (31)の入口 ポート (31a)は、出口ポート (31b)ともライン間接続用ポート (31c)とも常時連通させられ ている。
[0032] 流体制御機器としては、 3つのポート (31a)(31b)(31c)を有する開閉弁 (31)のほかに、 2つのポートを有する開閉弁、マスフローコントローラ、レギユレータなどがあり、図 1の 流体制御機器 (2X3)が適宜これらの流体制御機器で置き換えられることにより、小型 でかつ軽量化も図られた流体制御装置を得ることができる。
[0033] なお、上記において、継手部材 (6)(7)に形成されている通路 (21)は、 V字状であるが 、 U字状としてもよいことはもちろんである。
産業上の利用可能性
[0034] 本発明は、半導体製造装置等に使用される流体制御装置を提供する。本発明によ れば、流体制御装置をその性能を低下させることなく小型化することができる。

Claims

請求の範囲
[1] 上段に配置された複数の流体制御機器および下段に配置されてこれらを接続する 複数の継手部材力 なるラインが並列状に配置され、所定のラインの流路同士がライ ン間接続手段により接続されている流体制御装置において、
ライン方向に並ぶ入口ポートおよび出口ポートとこれらのライン方向中間に位置す るライン間接続用ポートとを有する流体制御機器が 1対の継手部材にまたがって支 持されており、両継手部材の対向部分の上面にそれぞれ段差が形成され、これらの 継手部材の段差にまたがって、流体制御機器のライン間接続用ポートに連通する上 向き開口通路を有しライン間接続手段を構成するライン間接続用通路形成部材が支 持されて!ヽることを特徴とする流体制御装置。
[2] ライン間接続用通路形成部材は、流体制御機器を継手部材に固定するためのねじ 部材が締め付けられることによって、流体制御機器と継手部材との間に挟持されてい る請求項 1の流体制御装置。
[3] ライン間接続手段を構成する通路形成部材は、ラインと直交する方向の両端に開 口しかつ上方にも開口している T字状通路を有する T型通路形成部材と、ラインと直 交する方向の一端が閉鎖されその他端および上方に開口している L字状通路を有 する L型通路形成部材とからなり、 2つの L型通路形成部材の間に少なくとも 1つの T 型通路形成部材が介在させられることによってライン間接続手段が構成されている請 求項 1の流体制御装置。
[4] ライン間接続用ポートを有する流体制御機器は、ライン間接続用ポートを介してライ ン方向に並ぶ入口ポートおよび出口ポートを有している開閉弁であり、この流体制御 機器を支持する隣り合う継手部材の一方に入口ポートに通じる通路力 同他方に出 口ポートに通じる通路が形成されており、開閉弁の入口ポートとライン間接続用ポー トとが常時連通させられている請求項 1、 2または 3の流体制御装置。
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