WO2007032146A1 - 流体制御装置 - Google Patents

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WO2007032146A1
WO2007032146A1 PCT/JP2006/314466 JP2006314466W WO2007032146A1 WO 2007032146 A1 WO2007032146 A1 WO 2007032146A1 JP 2006314466 W JP2006314466 W JP 2006314466W WO 2007032146 A1 WO2007032146 A1 WO 2007032146A1
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WO
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passage
valve
inlet
outlet
port
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PCT/JP2006/314466
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Inventor
Mutsunori Koyomogi
Original Assignee
Fujikin Incorporated
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    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K27/00—Construction of housing; Use of materials therefor
    • F16K27/003—Housing formed from a plurality of the same valve elements
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K27/00—Construction of housing; Use of materials therefor
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T137/00—Fluid handling
    • Y10T137/8593—Systems
    • Y10T137/87571—Multiple inlet with single outlet
    • Y10T137/87676—With flow control
    • Y10T137/87684—Valve in each inlet

Definitions

  • the present invention has a fluid passage provided with a first inlet, a second inlet, and a common outlet.
  • the first fluid flows in from the first inlet and flows out from the common outlet.
  • the present invention relates to a fluid control device that shuts and opens a fluid passage so that it can be used in a use state and a second use state in which a second fluid flows in and a second fluid flows in and a common outlet force flows out.
  • a first inlet (Al) through which the first fluid flows in, a second inlet (A2) through which the second fluid flows in, and a common outlet (A3) through which the first and second fluids flow out are provided.
  • the basic structure of the fluid control device that shuts off and opens the fluid passages is a T-shape, that is, three passage parts (T1) (T2) (T3) force
  • the first and second on-off valves (Vl) (V2) are provided in the first and second passage portions (T1XT2), respectively.
  • the first on-off valve (VI) is opened, the second on-off valve (V2) is closed, and the first fluid flows into the first inlet (A1) force first inlet passage (T1), Drain from the common outlet (A3) via the common outlet passage (T3), then close the first on-off valve (VI) and open the second on-off valve (V2) to allow the second fluid to enter the second inlet (A2) is allowed to flow into the second inlet passage (T2), through the common outlet passage (T3) and discharged from the common outlet (A3).
  • the first fluid for example, process gas
  • the second fluid for example, purge gas
  • the second inlet passage (T2) force When flowing, the first inlet passage section (Tl) is dedicated to either one of the fluids (if different fluids are flown, they are not flow paths for the fluids,
  • V a part of the fluid that accumulates and is not easily replaced. This is referred to as a “dead volume”. This dead volume reduces the purity of the fluid and is used for replacement. In order to increase time, it should be reduced as much as possible.
  • Patent Document 1 Japanese Patent Laid-Open No. 09-303308
  • the relative lengths of the first inlet passage portion (T1) and the second inlet passage portion (T2) are different, or the first inlet passage portion ( Considering the angle between T1) and the second inlet passage (T2), the replaceability is improved to some extent, but the basic configuration always includes the dead volume. There was a limit to the decrease.
  • An object of the present invention is to provide a fluid control device without a dead volume.
  • a fluid control apparatus includes a first inlet through which a first fluid flows, a second inlet through which a second fluid flows, and a common outlet through which the first and second fluids flow out.
  • the fluid passage includes a loop-shaped passage portion, and a first inlet passage portion that leads from a predetermined portion of the loop-shaped passage portion to the first inlet, the second inlet, and the common outlet,
  • a first on-off valve that opens and closes the first inlet passage and a second on-off valve that opens and closes the second inlet passage is provided with a second inlet passage and a common outlet passage.
  • the on-off valve may have two ports (an inlet port and an outlet port) or two ports (an inlet port, an outlet port, and a communication port).
  • the on-off valve may be an automatic valve or a manual valve.
  • Each of the first on-off valve and the second on-off valve has three ports including an inlet port, an outlet port, and a communication port, and the inlet port and the outlet port are built in the on-off valve. It is made to be opened and closed by the valve actuator!
  • the communication ports communicate with each other regardless of the position of the valve actuator via the outlet port and the valve internal communication passage, and these valve internal communication passages communicate with each other via the valve external communication passage. It is preferable that they communicate with each other.
  • valve internal communication passage portion always communicates with the same port provided inside the on-off valve, and the valve external communication passage portion is provided on one on-off valve.
  • the connected port and the port provided on the other on-off valve are always in communication.
  • the external valve communication passage may be applied only to the internal communication passage provided in the main body to which the valve actuator is attached.
  • the internal communication passage provided in the main body to which the valve actuator is attached is connected to the main body. It may consist of a joint passage in a joint provided in a joint to be connected.
  • the fluid control device such as the so-called block valve in which the first and second on-off valves are attached to one block-shaped main body and the first and second on-off valves arranged in the upper stage It becomes easy to apply to a so-called integrated fluid control device that is arranged in the lower stage and includes a plurality of joint members such as block joints that support the fluid control device.
  • a valve external communication passage portion that communicates the communication port of the first on-off valve and the communication port of the second on-off valve is formed.
  • the valve external communication passage has a plurality of block-like joints arranged at the lower stage and supporting the first and second on-off valves arranged at the upper stage.
  • the part may be formed by a plurality of internal communication passages provided in the body of each on-off valve and an internal communication passage provided in a joint connected to the main body.
  • the lock joint includes a first inlet passage, a first outlet passage, a common outlet passage, a second inlet passage, and a valve external communication passage.
  • what kind of passage is formed in each block joint is appropriately determined according to the relationship with the adjacent fluid control device. The invention's effect
  • the fluid passage is formed in a loop shape, and the fluid flowing in from each inlet flows into the loop-shaped passage portion in two hands and then flows out to the common outlet force. Therefore, it is possible to eliminate a passage dedicated to either one of the fluids, that is, a dead volume.
  • FIG. 1 is a schematic diagram showing a basic configuration (principle) of a fluid control apparatus according to the present invention.
  • FIG. 2 is a diagram showing an embodiment in which the present invention is applied to a so-called block valve.
  • FIG. 3 is a view in which the port and passage portion of FIG. 2 are extracted.
  • FIG. 4 is a diagram showing an embodiment in which the present invention is applied to a so-called integrated fluid control apparatus.
  • FIG. 5 is a diagram in which the port and passage portion of FIG. 4 are extracted.
  • FIG. 6 is a schematic diagram showing a basic configuration (principle) of a conventional fluid control device.
  • FIG. 7 is a view showing a conventional block valve corresponding to FIG. 2.
  • FIG. 8 is a view showing a conventional block valve corresponding to FIG.
  • Second on-off valve (13a) (14a) Inlet port (13b) (14b) Outlet port (13c) (14c) Communication port (13d) (14d) Internal valve passage
  • Second body internal communication passage (valve external communication passage)
  • left and right and top and bottom refer to left and right and top and bottom of the figure.
  • fluid passage those that do not appear in the same plane are also schematically shown in the same plane.
  • FIG. 1 shows the basic configuration (principle) of the fluid control device according to the present invention! /
  • the fluid control device includes a first inlet (Al) through which the first fluid flows, a second inlet (A2) through which the second fluid flows, and a common outlet through which the first and second fluids flow out.
  • the fluid passage having the outlet (A3) is shut off and opened.
  • the fluid passage includes a loop passage portion (L) and a predetermined portion (P1) of the loop passage portion (L) (P1) ( First inlet passage (Bl), second inlet passage (B2), and common outlet passage leading from P2) (P3) to the first inlet (Al), second inlet (A2), and common outlet (A3), respectively
  • a first on-off valve (Vl) that opens and closes the first inlet passage (B1)
  • a second on-off valve (V2) that opens and closes the second inlet passage (B2).
  • the first inlet (A1) force flows into the loop-shaped passage section (L) and the first fluid flows into the loop-shaped passage section (L) and the second inlet (A2) flows into the loop-shaped passage section (L).
  • Each of the second fluids flows in two loops through the loop passage (L) and is then discharged from the common outlet (A3).
  • the first on-off valve (VI) is opened, the second on-off valve (V2) is closed, and the first fluid (G1) is applied to the first inlet (A1) force to the first inlet passage (B1).
  • the first fluid (G1) flows only in the passage portion (L1) closer to the common outlet (A3) in the loop passage portion (L), as indicated by the solid line arrow in the figure.
  • the farther part (L3XL2) passes through to the common outlet passage (B3) and is discharged from the common outlet (A3).
  • the second fluid (G2) is As shown by the dashed arrows in the figure, the loop-shaped passage part (L) passes through the part (L3XL1) farther away from only the passage part (L2) closer to the common outlet (A3). It reaches the exit passage (B3) and is discharged from the common outlet (A3).
  • FIG. 2 and 3 show an embodiment in which the principle of the fluid control device is applied to a so-called block valve
  • FIG. 7 shows a prior art of this block valve.
  • a conventional block valve (fluid control device) (61) includes a block-shaped main body (62) whose left and right sides of the upper surface are inclined, and a right and left of the block-shaped main body (62).
  • a first and second on-off valve (63X64) provided on each of the inclined surfaces, and a first and second inlet joint (65X66) provided on a central portion of the left and upper surfaces of the block-shaped body (62), And an outlet joint (67) provided on the right surface of the block-shaped body (62).
  • the first and second on-off valves (63X64) are diaphragm valves each having two ports, that is, an inlet port (63a) (64a) and an outlet port (63b) (64b). These inlet ports (63a) and (64a) and outlet ports (63b) and (64b) are opened and closed by valve actuators (not shown).
  • the block-shaped body (62) is provided with a first inlet joint (65).
  • First inlet (65a) force First inlet passage leading to the inlet port (63a) of the first on-off valve (63) Section (71), first outlet passage section (72), first outlet facing the common outlet (67a) provided with the outlet joint (67) from the outlet port (63b) of the first on-off valve (63)
  • a second outlet (66a) that is connected to the outlet passage (72) and reaches a common outlet (67a) that is provided with an outlet joint (67) and a second inlet joint (66) )
  • the second outlet passage portion (74) is formed in communication with the common outlet passage portion (75) by joining with (72).
  • the first on-off valve (63) is opened, the second on-off valve (64) is closed, and the first fluid is also applied to the first inlet joint (65).
  • the first fluid flows into the first inlet (65a) , 1st inlet passage (71), 1st on-off valve (63) inlet port (63a), 1st on-off valve (63) outlet port (63b), 1st outlet passage (72), common It is discharged from the outlet joint (67) through the outlet passage (75) and the common outlet (67a).
  • the block valve (fluid control device) (11) includes a block-shaped body (12) whose left and right sides of the upper surface are inclined surfaces, and a block-shaped body (12).
  • the first and second on-off valves (13X14) provided on the left and right inclined surfaces of the block, and the first and second inlet joints (15X16) provided on the left surface and the center of the top surface of the block-shaped body (12) And an outlet joint (17) provided on the right surface of the block-shaped body (12).
  • the first and second on-off valves (13X14) are diaphragm valves, each having three ports: an inlet port (13a) (14a), an outlet port (13b) (14b), and a communication port (13c). ) (14c), and the inlet port (13a) (14a) and the outlet port (13b) (14b) are built in and opened and closed by a valve actuator (not shown).
  • the communication ports (13c) (l4c) are communicated with the outlet ports (13b) (14b) via the valve internal communication passages (13d) (14d).
  • the first inlet passage (15a) in which the first inlet joint (15) is provided in the block-shaped main body (12) is also connected to the first inlet passage (13a) of the first on-off valve (13). Part (21), directing force from outlet port Kl3b) of first on-off valve (13) to common outlet (17a) provided with outlet joint (17) First outlet passage part (22), first outlet passage part
  • the second inlet (16a) force is connected to the common outlet passage (25) and the second inlet joint (16) to the common outlet (17a) where the outlet joint (17) is provided.
  • the second outlet passage (24) and the outside of the valve that connects the communication port (13c) of the first on-off valve (13) and the communication port (14c) of the second on-off valve (14) A communication passage portion (26) is formed.
  • FIG. 3 shows the ports (13a) (13b) (13c) (14a) (14b) (14c) and passages (13d) (14d) (21) (22) (23) (24) of FIG. (25) (26) is extracted, and as shown in this figure, the block valve (11) of the present invention has a first outlet passage portion (22) and a second outlet passage portion (24).
  • the internal valve passage (14d) of the second on-off valve (14), the external valve passage (26), and the internal valve passage (13d) of the first on-off valve (13). L) is formed.
  • the first on-off valve (13) is opened, the second on-off valve (14) is closed, and the first fluid is supplied from the first inlet joint (15).
  • a part of the first fluid flows into the first inlet (15a), the first inlet passage (21), the inlet port (13a) of the first on-off valve (13), the first on-off valve (13 ) Outlet port (13b), first outlet passage part (22), common outlet passage part (25) and common outlet (17a), and outlet joint (17) force is discharged (this is the one in Fig.
  • the second on-off valve Branched at the outlet port (14b) of 13), the internal valve passage (14d) of the second on-off valve (14), the communication port (14c), the external valve passage (internal connection) (Passage part) (26), communication port (13c) of the first on-off valve (13), internal connection passage part (13d), outlet port (13b) and first outlet passage part (22) It joins the outlet passage (25) and the outlet joint (17) is discharged.
  • FIG. 4 and FIG. 5 show an embodiment in which the principle of the fluid control device described above is applied to a shut-off device of a so-called integrated fluid control device.
  • FIG. 8 shows the prior art of this shut-off device. Show.
  • a conventional circuit breaker (fluid control device) (81) includes a first valve body (83) and a first valve actuator (84), a first on-off valve (82) and a second valve.
  • a valve body (86) and a second valve actuator (87) a second on-off valve (85) that also has force, a block joint (88) with an inlet joint that supports the left part of the first valve body (83), A communication block joint (89) that supports the right part of the first valve body (83) and the left part of the second valve body (86), and an inlet block that supports the center part of the second valve body (86).
  • a block-like joint (91) with an outlet joint that supports the right portion of the second valve body (86).
  • the first on-off valve (82) is a manual 2-port diaphragm valve having an inlet port (82a) and an outlet port (82b).
  • the first valve body (83) has a block with an inlet joint.
  • the first inlet passage (92) communicating with the L-shaped passage (88a) of the joint (88) and the first outlet passage communicating with the V-shaped passage (89a) of the communication block joint (89) (93) is formed.
  • the second on-off valve (85) is a manually operated three-port diaphragm valve having an inlet port (85a), an outlet port (85b) and a communication port (85c).
  • the communication port (85c) The outlet port (85b) communicates with the valve internal communication passage (85d).
  • the second valve body (86) has an internal communication passage (94) communicating with the V-shaped passage (89a) of the communication block joint (89), and an L-shape of the inlet block joint (90).
  • a second inlet passage portion (95) communicating with the cylindrical passage (90a) and a second outlet passage portion (96) communicating with the L-shaped passage (91a) of the block joint (91) with an outlet joint are formed. Yes.
  • the second outlet passage portion (96) also serves as an outlet passage portion for the first fluid and serves as a common outlet passage portion.
  • the first on-off valve (82) is opened, the second on-off valve (85) is closed, and the first fluid is supplied to the block-like joint with an inlet joint (88 )
  • the first fluid reaches the inlet port (82a) of the first on-off valve (82) via the first inlet passage portion (92), from which the first on-off valve (82) Outlet port (82b), first outlet passage (93), V-shaped passage (89a) of communication block joint (89), internal communication passage (94) of second on-off valve (85), Same communication port (85c) It is discharged to the outside via the L-shaped passage (91a) of the valve internal communication passage (85d), outlet port (85b), second outlet passage (96) and block joint with outlet joint (91).
  • the first on-off valve (82) When the first on-off valve (82) is closed, the second on-off valve (85) is opened, and the second fluid is caused to flow in the L-shaped passageway (90a) of the inlet block joint (90), the first on-off valve (82) is opened.
  • the second fluid reaches the inlet port (85a) of the second on-off valve (85) via the second inlet passage portion (95), and from there, the outlet port (85b) of the second on-off valve (85) It is discharged to the outside through the second outlet passage (96) and the L-shaped passage (91a) of the block joint (91) with outlet joint.
  • the circuit breaker (fluid control device) (31) includes a first valve body (33) and a first valve actuator (34), a first on-off valve (32) A second on-off valve (35) consisting of a second valve body (36) and a second valve actuator (37), and a block joint for the first inlet that supports the left part of the first valve body (33) ( 38), the right block of the first valve body (33) and the left block of the second valve body (36), and the communication block joint (39) and the center of the second valve body (36).
  • the first on-off valve (32) is a manually operated type having an inlet port (32a) located in the center, an outlet port (32b) located on the left side, and a communication port (32c) located on the right side. It is a 3-port diaphragm valve.
  • the second on-off valve (35) is a manually operated 3 having an inlet port (35a) located in the center, an outlet port (35b) located on the right side, and a communication port (35c) located on the left side. It is a port diaphragm valve.
  • the communication ports (32c) and (35c) communicate with the outlet ports (32b) and (35b) via the valve internal communication passages (32d) and (35d).
  • the first valve body (33) has a first inlet passage (42) that opens directly below the inlet port (32a) force and opens downward, and the outlet port (32b) force also extends diagonally to the left and downward.
  • the first outlet passage portion (43) that is open and the communication port (32c) force are also formed in the first main body internal passage portion (44) that opens obliquely downward to the right and downward.
  • the second valve body (36) has a second inlet opening directly below the inlet port (35a) force. Passage section (45), outlet port (35b) force is also opened diagonally to the lower right and the second outlet passage section (46), and communication port (35c) force is also opened diagonally to the lower left and opened downward.
  • a second main body internal communication passage portion (47) is formed.
  • the first inlet block joint (38) includes an L-shaped joint inlet passage portion (48) communicating with the first inlet passage portion (42) (as viewed from the left), and a first joint.
  • An L-shaped in-joint outlet passage portion (49) is formed which is connected to the lower end opening of the one outlet passage portion (43) and feeds it to the surface facing the communicating block joint (39).
  • the communication block-shaped joint (39) includes a V-shaped joint communication passage portion (50) that communicates the first body communication passage portion (44) and the second body communication passage portion (47). ) And the joint inlet / outlet passage portion (49) of the first inlet block joint (38), which is fed to the surface facing the second inlet block joint (40). Part (51) is formed.
  • the second inlet block joint (40) is connected to an L-shaped (as viewed from the left) inlet passage section (52) in communication with the second inlet passage section (45).
  • a linear joint outlet passage portion (53) is formed which is connected to the joint outlet passage portion (51) of the common block joint (39) and feeds it to the surface facing the outlet block joint (41).
  • the outlet block joint (41) is connected to the outlet passage portion (53) in the joint of the second inlet block joint (40) and has an outlet passage portion (54) in the joint that flows out to the outside.
  • a joint outlet passage portion (55) for joining the second outlet passage portion (46) to the joint outlet passage portion (54) is formed.
  • the outlet passage portion (54) in the joint that flows out to the outside has a common outlet passage portion that is common to the first and second fluids at the outflow portion.
  • FIG. 5 shows the ports (32a) (32b) (32c) (35a) (35b) (35c) and passage portions (32d) (33) (35d) (36) (42) (43) of FIG. (44) (45) (46) (47) (51) (52) (53) (54) (55) which was extracted as Ru component force from the figure, shutoff-opening device (31 of the present invention ) Include the first outlet passage (43) of the first valve body (33), the outlet passage (49) in the joint of the first inlet block joint (38), and the block joint (39) for communication.
  • a loop-shaped passage portion (L) is formed by the passage portion (44) and the valve internal communication passage portion (32d) of the first on-off valve (32).
  • first internal communication passage portion (44), the internal communication passage portion (50) of the communication block joint (39) and the second internal communication passage portion (47) are connected to the first on-off valve (32 ) Communication port (32c) and the communication port (35c) of the second on-off valve (35) are constantly connected to each other.
  • the first on-off valve (32) is opened, the second on-off valve (35) is closed, and the first fluid is supplied to the first inlet block joint ( 38) In the joint inlet passage part (48) force, the first fluid reaches the inlet port (32a) of the first on-off valve (32) via the first inlet passage part (42).
  • the first on-off valve (32) is closed, the second on-off valve (35) is opened, and the second fluid is passed through the joint inlet passage portion (40) of the second inlet block joint (40) ( 52)
  • the second fluid reaches the inlet port (35a) of the second on-off valve (35) via the second inlet passage portion (45), from which the second on-off valve (35) )
  • Outlet port (35b) second outlet passage portion (46) and outlet block-like joint (41) outlet passage portion (55X54) and discharged outside (this is the same as in FIG.
  • the shape of the on-off valve (32X35), the number of block joints (38X39X40X41), the contour shape, and the shape of each passage portion in the joint are not limited to those described above.
  • the first on-off valve (32) or the second on-off valve (35) is appropriately changed depending on the relationship between the adjacent fluid control device and the like.
  • the present invention provides a fluid control apparatus having a fluid passage provided with a first inlet, a second inlet, and a common outlet, and blocking and opening the fluid passage. According to the present invention, the dead volume of the fluid passage can be eliminated.

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Abstract

　デッドボリュームのない流体制御装置を提供する。 　流体通路は、ループ状通路部Lと、ループ状通路部Lの所定箇所P1,P2,P3から第１入口A1、第２入口A2および共通出口A3にそれぞれ通じる第１入口通路部B1、第２入口通路部B2および共通出口通路部B3とからなる。第１入口通路部B1を開閉する第１開閉弁V1、および第２入口通路部B2を開閉する第２開閉弁V2がそれぞれ設けられている。第１入口A1から流入してループ状通路部Lに至った第１の流体および第２入口A2から流入してループ状通路部Lに至った第２の流体は、いずれも、ループ状通路部Lを二手に分かれて流れた後、共通出口A3から排出されようになされている。

Description

明 細 書
流体制御装置
技術分野
[0001] この発明は、第 1入口、第 2入口および共通出口が設けられた流体通路を有してお り、第 1入口から第 1の流体を流入させて共通出口から流出させる第 1の使用状態と、 第 2入口力 第 2の流体を流入させて共通出口力 流出させる第 2の使用状態とで使 用可能なように、流体通路の遮断 ·開放を行う流体制御装置に関する。
背景技術
[0002] 例えば、半導体の製造に際し、プロセスガスをプロセスガス入口カゝら流入させて、ガ ス出ロカ 排出させた後、パージガスをパージガス入口力 流入させて同じガス出口 力も排出させることがよく行われて 、る。このように 2種類のガスを異なる入口から順 次切り換えながら流入させて共通の出口力 流出させる装置では、いわゆるデッドボ リュームの減少および置換特性の向上が課題となっており、特許文献 1には、置換特 性を向上させた流体制御装置が開示されている。
[0003] 通常、第 1の流体を流入させる第 1入口 (Al)、第 2の流体を流入させる第 2入口 (A2) 、ならびに第 1および第 2の流体を流出させる共通出口 (A3)を有する流体通路の遮 断 ·開放を行う流体制御装置の基本構成は、図 6に示すように、流体通路を T字状す なわち 3つの通路部 (T1)(T2)(T3)力 構成するとともに、第 1および第 2の開閉弁 (Vl)( V2)を第 1および第 2の通路部 (T1XT2)にそれぞれ設けたものとなる。
[0004] そして、第 1開閉弁 (VI)を開、第 2開閉弁 (V2)を閉として、第 1の流体を第 1入口 (A1) 力 第 1入口通路部 (T1)に流入させ、共通出口通路部 (T3)を経て共通出口 (A3)から 排出させ、次に、第 1開閉弁 (VI)を閉、第 2開閉弁 (V2)を開として、第 2の流体を第 2 入口 (A2)から第 2入口通路部 (T2)に流入させ、共通出口通路部 (T3)を経て共通出口 (A3)から排出させ、これを繰り返すことで、第 1の流体 (例えばプロセスガス）と第 2の 流体 (例えばパージガス）とが順次切り換えられてマスフローコントローラ等の下流側 の機器に流出させられる。
[0005] 上記において、第 1の流体を流す場合には、第 2入口通路部 (T2)力 第 2の流体を 流す場合には、第 1入口通路部 (Tl)がそれぞれいずれか一方の流体専用となる通 路 (異なる流体が流された場合に、その流体の通路ではないために、前に流されて
V、た流体がたまって 、て容易に置換されな 、部分であり、これを「デッドボリューム」と 称す）となっており、このデッドボリュームは、流体の純度を低下させるとともに、置換 のための時間を増加させるため、極力減少すべきものである。
特許文献 1：特開平 09— 303308号公報
発明の開示
発明が解決しょうとする課題
[0006] 上記特許文献 1の流体制御装置によると、第 1入口通路部 (T1)および第 2入口通路 部 (T2)の相対的な長さが異なるようにしたり、第 1の入口通路部 (T1)と第 2の入口通路 部 (T2)とがなす角度を考慮したりすることにより、ある程度置換性は向上するものの、 その基本構成が必ずデッドボリュームを含むようになつているため、デッドボリューム の減少には限界があった。
[0007] この発明の目的は、デッドボリュームのない流体制御装置を提供することにある。
課題を解決するための手段
[0008] この発明による流体制御装置は、第 1の流体を流入させる第 1入口、第 2の流体を 流入させる第 2入口、ならびに第 1および第 2の流体を流出させる共通出口を有する 流体通路の遮断'開放を行う流体制御装置であって、流体通路は、ループ状通路部 と、ループ状通路部の所定箇所から第 1入口、第 2入口および共通出口にそれぞれ 通じる第 1入口通路部、第 2入口通路部および共通出口通路部とからなり、第 1入口 通路部を開閉する第 1開閉弁、および第 2入口通路部を開閉する第 2開閉弁がそれ ぞれ設けられており、第 1入口力 流入してループ状通路部に至った第 1の流体およ び第 2入口力 流入してループ状通路部に至った第 2の流体は、いずれも、ループ 状通路部を二手に分かれて流れた後、共通出口力 排出されようになされていること を特徴とするものである。
[0009] 開閉弁は、 2つのポート（入口ポートおよび出口ポート）を有していてもよぐ 3つのポ ート (入口ポート、出口ポートおよび連通用ポート）を有していてもよい。また、開閉弁 は、自動弁であってもよぐ手動弁であってもよい。 [0010] 第 1開閉弁および第 2開閉弁は、それぞれ入口ポート、出口ポートおよび連通用ポ ートからなる 3つのポートを有しており、入口ポートと出口ポートとが開閉弁に内蔵さ れて 、る弁ァクチユエータによって開閉されるようになされて！/、るとともに、各連通用 ポートは、出口ポートと弁内部連通路部を介して弁ァクチユエータの位置に関係なく 連通させられており、この弁内部連通路部同士が弁外部連通路部を介して連通させ られていることが好ましい。
[0011] ここで、弁内部連通路部は、上述のように、開閉弁内部に設けられているポート同 士を常時連通するものであり、弁外部連通路部は、一方の開閉弁に設けられたポー トと他方の開閉弁に設けられたポートとを常時連通するものである。弁外部連通路部 は、弁ァクチユエータが取り付けられた本体に設けられる本体内連通路部だけ力 な ることがあり、弁ァクチユエータが取り付けられた本体に設けられる本体内連通路部と 、この本体に接続される継手に設けられる継手内連通路部とからなることがある。
[0012] このようにすると、第 1および第 2開閉弁が 1つのブロック状本体に取り付けられたい わゆるブロックバルブや、上段に配置された第 1および第 2開閉弁などの流体制御機 器と下段に配置されて流体制御機器を支持する複数のブロック状継手などの継手部 材とからなるいわゆる集積ィ匕流体制御装置に適用しやすいものとなる。
[0013] ブロックバルブに適用する場合には、例えば、ブロック状本体に、第 1入口継手が 設けられている第 1入口力 第 1開閉弁の入口ポートに至る第 1入口通路部、第 1開 閉弁の出口ポートから出口継手が設けられている共通出口に向力 第 1出口通路部 、第 1出口通路部に連なり出口継手が設けられて 、る共通出口に至る共通出口通路 部、第 2入口継手が設けられて 、る第 2入口から第 2開閉弁の入口ポートに至る第 2 入口通路部、第 2開閉弁の出口ポートから出て共通出口通路部に連通している第 2 出口通路部、および第 1開閉弁の連通用ポートと第 2開閉弁の連通用ポートとを連通 する弁外部連通路部が形成されて 、るようにすればょ 、。
[0014] 集積化流体制御装置に適用する場合には、下段に配置されて上段に配置された 第 1および第 2開閉弁を支持する複数のブロック状継手を有しており、弁外部連通路 部は、各開閉弁の本体に設けられた本体内連通路部と、この本体に接続される継手 に設けられた継手内連通路部とによって形成されているものとすればよぐ複数のブ ロック状継手には、第 1入口通路部、第 1出口通路部、共通出口通路部、第 2入口通 路部および弁外部連通路部が形成される。ここで、各ブロック状継手にどのような通 路を形成するかは、隣り合う流体制御機器との関係などに応じて適宜決定される。 発明の効果
[0015] この発明の流体制御装置によると、流体通路をループ状とし、各入口から流入した 流体は、ループ状の通路部を二手に分かれて流れた後、共通の出口力 流出させら れるので、いずれか一方の流体専用となる通路すなわちデッドボリュームをなくすこと ができる。
図面の簡単な説明
[0016] [図 1]図 1は、この発明による流体制御装置の基本構成 (原理)を示す模式図である。
[図 2]図 2は、この発明をいわゆるブロックバルブに適用した実施形態を示す図である
[図 3]図 3は、図 2のポートと通路部を抜き出した図である。
[図 4]図 4は、この発明をいわゆる集積ィ匕流体制御装置に適用した実施形態を示す 図である。
[図 5]図 5は、図 4のポートと通路部を抜き出した図である。
[図 6]従来の流体制御装置の基本構成 (原理)を示す模式図である。
[図 7]図 7は、図 2に対応する従来のブロックバルブを示す図である。
[図 8]図 8は、図 4に対応する従来のブロックバルブを示す図である。
符号の説明
(R) 流体通路
(A1) 第 1入口
(A2) 第 2入口
(A3) 共通出口
(D ループ状通路部
(B1) 第 1入口通路部
(B2) 第 2入口通路部
(B3) 共通出口通路部 (VI) 第 1開閉弁 (V2) 第 2開閉弁
(12) ブロック状本体
(13) 第 1開閉弁
(14) 第 2開閉弁 (13a)(14a) 入口ポート (13b)(14b) 出口ポート (13c)(14c) 連通用ポート (13d)(14d) 弁内部連通路部
(15) 第 1入口継手
(15a) 第 1入口
(16) 第 2入口継手
(16a) 第 2入口
(17) 出口継手
(17a) 共通出口
(21) 第 1入口通路部
(22) 第 1出口通路部
(23) 第 2入口通路部
(24) 第 2出口通路部
(25) 共通出口通路部
(26) 本体内連通路部
(32) 第 1開閉弁
(35) 第 2開閉弁
(32a)(35a) 入口ポート (32b)(35b) 出口ポート (32c)(35c) 連通用ポート (32d)(35d) 弁内部連通路部 (42) 第 1入口通路部 (44) 第 1本体内連通路部 (弁外部連通路部）
(45) 第 2入口通路部
(47) 第 2本体内連通路部 (弁外部連通路部）
(49) 第 1出口通路部
(50) 継手内連通路部 (弁外部連通路部）
(54) 共通出口通路部
(55) 第 2出口通路部
発明を実施するための最良の形態
[0018] この発明の実施の形態を、以下図面を参照して説明する。以下の説明において、 左右および上下は、図の左右および上下をいうものとする。なお、流体通路について は、同一面内に表われないものも同一面に表した模式的なものとなっている。
[0019] 図 1は、この発明による流体制御装置の基本構成 (原理)を示して！/、る。
[0020] この流体制御装置は、第 1の流体を流入させる第 1入口 (Al)、第 2の流体を流入さ せる第 2入口 (A2)、ならびに第 1および第 2の流体を流出させる共通出口 (A3)を有す る流体通路の遮断，開放を行うものであって、流体通路は、ループ状通路部 (L)と、ル ープ状通路部 (L)の所定箇所 (P1)(P2)(P3)から第 1入口 (Al)、第 2入口 (A2)および共 通出口 (A3)にそれぞれ通じる第 1入口通路部 (Bl)、第 2入口通路部 (B2)および共通 出口通路部 (B3)とからなり、第 1入口通路部 (B1)を開閉する第 1開閉弁 (Vl)、および 第 2入口通路部 (B2)を開閉する第 2開閉弁 (V2)がそれぞれ設けられて 、る。これによ り、第 1入口 (A1)力 流入してループ状通路部 (L)に至った第 1の流体および第 2入口 (A2)から流入してループ状通路部 (L)に至った第 2の流体は、いずれも、ループ状通 路部 (L)を二手に分かれて流れた後、共通出口 (A3)から排出されようになされている。
[0021] したがって、第 1開閉弁 (VI)を開、第 2開閉弁 (V2)を閉として、第 1の流体 (G1)を第 1 入口 (A1)力 第 1入口通路部 (B1)に流入させると、第 1の流体 (G1)は、図に実線の矢 印で示すように、ループ状通路部 (L)のうちの共通出口 (A3)に近い方の通路部分 (L1) だけでなぐ遠い方の部分 (L3XL2)も通って、共通出口通路部 (B3)に至り共通出口 (A 3)から排出させられる。また、第 1開閉弁 (VI)を閉、第 2開閉弁 (V2)を開として、第 2の 流体 (G2)を第 2入口 (A2)から第 2入口通路部 (B2)に流入させると、第 2の流体 (G2)は 、図に破線の矢印で示すように、ループ状通路部 (L)のうちの共通出口 (A3)に近い方 の通路部分 (L2)だけでなぐ遠い方の部分 (L3XL1)も通って、共通出口通路部 (B3)に 至り共通出口 (A3)から排出させられる。
[0022] これにより、第 1の流体 (G1)を流す場合に、図 6に (T2)で示す通路に対応する部分（ L2)がデッドボリュームになることはなぐ第 2の流体 (G2)を流す場合に、図 6に (T1)で 示す通路に対応する部分 (L1)がデッドボリュームになることがなぐデッドボリュームの な ヽ流体制御装置が得られて 、る。
[0023] 図 2および図 3は、上記の流体制御装置の原理をいわゆるブロックバルブに適用し た実施形態を示すもので、図 7は、このブロックバルブの従来技術を示している。
[0024] 図 7にお 、て、従来のブロックバルブ (流体制御装置） (61)は、上面の左右両側が傾 斜面とされたブロック状本体 (62)と、ブロック状本体 (62)の左右の傾斜面にそれぞれ 設けられた第 1および第 2の開閉弁 (63X64)と、ブロック状本体 (62)の左面および上面 中央部に設けられた第 1および第 2の入口継手 (65X66)と、ブロック状本体 (62)の右面 に設けられた出口継手 (67)とを備えている。
[0025] 第 1および第 2の開閉弁 (63X64)は、ダイヤフラム弁で、それぞれ 2つのポートすなわ ち入口ポート (63a)(64a)および出口ポート (63b)(64b)を有しており、これらの入口ポート (63a)(64a)と出口ポート (63b)(64b)とが内蔵されている弁ァクチユエータ（図示略）によ つて開閉されるようになされて!ヽる。
[0026] ブロック状本体 (62)には、第 1入口継手 (65)が設けられている第 1入口 (65a)力 第 1 開閉弁 (63)の入口ポート (63a)に至る第 1入口通路部 (71)、第 1開閉弁 (63)の出口ポー ト (63b)から出口継手 (67)が設けられている共通出口 (67a)に向力う第 1出口通路部 (72 )、第 1出口通路部 (72)に連なり出口継手 (67)が設けられている共通出口 (67a)に至る 共通出口通路部 (75)、第 2入口継手 (66)が設けられている第 2入口 (66a)力 第 2開閉 弁 (64)の入口ポート (64a)に至る第 2入口通路部 (73)、および第 2開閉弁 (64)の出口ポ ート (64b)から出て第 1出口通路部 (72)に合流することで共通出口通路部 (75)に連通 して 、る第 2出口通路部 (74)が形成されて 、る。
[0027] この従来のブロックバルブ (61)によると、第 1開閉弁 (63)を開、第 2開閉弁 (64)を閉と して、第 1の流体を第 1入口継手 (65)力も流入させると、第 1の流体は、第 1入口 (65a) 、第 1入口通路部 (71)、第 1開閉弁 (63)の入口ポート (63a)、第 1開閉弁 (63)の出口ポ ート (63b)、第 1出口通路部 (72)、共通出口通路部 (75)および共通出口 (67a)を経て、 出口継手 (67)から排出させられる。また、第 1開閉弁 (63)を閉、第 2開閉弁 (64)を開と して、第 2の流体を第 2入口継手 (66)力 流入させると、第 2の流体は、第 2入口 (66a) 、第 2入口通路部 (73)、第 2開閉弁 (64)の入口ポート (64a)、第 2開閉弁 (64)の出口ポ ート (64b)、第 2出口通路部 (74)、共通出口通路部 (75)および共通出口 (67a)を経て、 出口継手 (67)力 排出させられる。したがって、第 1の流体が流される場合には、第 2 出口通路部 (74)がデッドボリュームとなり、第 2の流体が流される場合には、第 1出口 通路部 (72)がデッドボリュームとなって 、る。
[0028] 図 2に示すように、この発明によるブロックバルブ (流体制御装置)（11)は、上面の左 右両側が傾斜面とされたブロック状本体 (12)と、ブロック状本体 (12)の左右の傾斜面 にそれぞれ設けられた第 1および第 2の開閉弁 (13X14)と、ブロック状本体 (12)の左面 および上面中央部に設けられた第 1および第 2の入口継手 (15X16)と、ブロック状本 体 (12)の右面に設けられた出口継手 (17)とを備えている。
[0029] 第 1および第 2の開閉弁 (13X14)は、ダイヤフラム弁で、それぞれ 3つのポートすなわ ち入口ポート (13a)(14a)、出口ポート (13b)(14b)および連通用ポート (13c)(14c)を有して おり、入口ポート (13a)(14a)と出口ポート (13b)(14b)とが内蔵されて 、る弁ァクチユエ一 タ（図示略）によって開閉されるようになされているとともに、その連通用ポート (13c)(l 4c)は、出口ポート (13b)(14b)と弁内部連通路部 (13d)(14d)を介して連通させられてい る。
[0030] ブロック状本体 (12)には、第 1入口継手 (15)が設けられている第 1入口 (15a)力も第 1 開閉弁 (13)の入口ポート (13a)に至る第 1入口通路部 (21)、第 1開閉弁 (13)の出口ポー Kl3b)から出口継手 (17)が設けられている共通出口 (17a)に向力 第 1出口通路部 (22 )、第 1出口通路部 (22)に連なり出口継手 (17)が設けられている共通出口 (17a)に至る 共通出口通路部 (25)、第 2入口継手 (16)が設けられて 、る第 2入口 (16a)力 第 2開閉 弁 (14)の入口ポート (14a)に至る第 2入口通路部 (23)、第 2開閉弁 (14)の出口ポート (14 b)から出て共通出口通路部 (25)に連通している第 2出口通路部 (24)、および第 1開閉 弁 (13)の連通用ポート (13c)と第 2開閉弁 (14)の連通用ポート (14c)とを連通する弁外部 連通路部 (26)が形成されて 、る。
[0031] 図 3は、図 2のポート (13a)(13b)(13c)(14a)(14b)(14c)と通路部 (13d)(14d)(21)(22)(23)( 24)(25)(26)を抜き出したもので、この図から分力るように、この発明のブロックバルブ (1 1)には、第 1出口通路部 (22)、第 2出口通路部 (24)、第 2開閉弁 (14)の弁内部連通路 部 (14d)、弁外部連通路部 (26)および第 1開閉弁 (13)の弁内部連通路部 (13d)力 なる ループ状通路部 (L)が形成されて 、る。
[0032] この発明のブロックバルブ (11)によると、第 1開閉弁 (13)を開、第 2開閉弁 (14)を閉と して、第 1の流体を第 1入口継手 (15)から流入させると、第 1の流体の一部は、第 1入 口 (15a)、第 1入口通路部 (21)、第 1開閉弁 (13)の入口ポート (13a)、第 1開閉弁 (13)の 出口ポート (13b)、第 1出口通路部 (22)、共通出口通路部 (25)および共通出口 (17a)を 経て、出口継手 (17)力 排出させられるとともに (これは図 7のものと同じ）、第 1の流 体の残部は、第 1開閉弁 (13)の出口ポート (13b)において分岐して、第 1開閉弁 (13)の 弁内部連通路部 (13d)、第 1開閉弁 (13)の連通用ポート (13c)、弁外部連通路部 (26)、 第 2開閉弁 (14)の連通用ポート (14c)、同弁内部連通路部 (14d)、同出口ポート (14b)お よび第 2出口通路部 (24)を経て共通出口通路部 (25)に合流し、出口継手 (17)力 排 出させられる。
[0033] また、第 1開閉弁 (13)を閉、第 2開閉弁 (14)を開として、第 2の流体を第 2入口継手 (1 6)力も流入させると、第 2の流体の一部は、第 2入口 (16a)、第 2入口通路部 (23)、第 2 開閉弁 (14)の入口ポート (14a)、同出口ポート (14b)、第 2出口通路部 (24)、共通出口 通路部 (25)および共通出口 (17a)を経て、出口継手 (17)力も排出させられるとともに（こ れは図 7のものと同じ）、第 2の流体の残部は、第 2開閉弁 (13)の出口ポート (14b)にお いて分岐して、第 2開閉弁 (14)の弁内部連通路部 (14d)、同連通用ポート (14c)、弁外 部連通路部 (本体内連通路部） (26)、第 1開閉弁 (13)の連通用ポート (13c)、同弁内部 連通路部 (13d)、同出口ポート (13b)および第 1出口通路部 (22)を経て共通出口通路 部 (25)に合流し、出口継手 (17)力 排出させられる。
[0034] すなわち、ループ状通路部 (LH22)(24)(14d)(26)(13d)が形成されている結果、図 7 に示すものにおいてデッドボリュームとなる第 1出口通路部 (72)および第 2出口通路 部 (74)に相当する部分 (22X24)は、デッドボリュームになることがなぐデッドボリューム のな 、流体制御装置が得られて 、る。
[0035] 図 4および図 5は、上記の流体制御装置の原理をいわゆる集積化流体制御装置の 遮断開放器に適用した実施形態を示すもので、図 8は、この遮断開放器の従来技術 を示している。
[0036] 図 8において、従来の遮断開放器 (流体制御装置) (81)は、第 1弁本体 (83)および第 1弁ァクチユエータ (84)力 なる第 1開閉弁 (82)と、第 2弁本体 (86)および第 2弁ァクチ ユエータ (87)力もなる第 2開閉弁 (85)と、第 1弁本体 (83)の左部を支持する入口継手付 きブロック状継手 (88)と、第 1弁本体 (83)の右部および第 2弁本体 (86)の左部を支持 する連通用ブロック状継手 (89)と、第 2弁本体 (86)の中央部を支持する入口用ブロッ ク状継手 (90)と、第 2弁本体 (86)の右部を支持する出口継手付きブロック状継手 (91)と を備えている。
[0037] 第 1開閉弁 (82)は、入口ポート (82a)および出口ポート (82b)を有する手動式の 2ポー トダイアフラム弁であり、第 1弁本体 (83)には、入口継手付きブロック状継手 (88)の L字 状通路 (88a)に連通する第 1入口通路部 (92)、および連通用ブロック状継手 (89)の V 字状通路 (89a)に連通する第 1出口通路部 (93)が形成されて 、る。
[0038] 第 2開閉弁 (85)は、入口ポート (85a)、出口ポート (85b)および連通用ポート (85c)を有 する手動式の 3ポートダイアフラム弁であり、連通用ポート (85c)は、出口ポート (85b)と 弁内部連通路部 (85d)を介して連通させられている。第 2弁本体 (86)には、連通用ブ ロック状継手 (89)の V字状通路 (89a)に連通する本体内連通路部 (94)、入口用ブロック 状継手 (90)の L字状通路 (90a)に連通する第 2入口通路部 (95)、および出口継手付き ブロック状継手 (91)の L字状通路 (91a)に連通する第 2出口通路部 (96)が形成されて いる。この第 2出口通路部 (96)は、第 1の流体の出口通路部を兼ねており、共通出口 通路部となっている。
[0039] この従来の遮断開放器 (81)によると、第 1開閉弁 (82)を開、第 2開閉弁 (85)を閉とし て、第 1の流体を入口継手付きブロック状継手 (88)力 流入させると、第 1の流体は、 第 1入口通路部 (92)を介して第 1開閉弁 (82)の入口ポート (82a)に達し、ここから、第 1 開閉弁 (82)の出口ポート (82b)、同第 1出口通路部 (93)、連通用ブロック状継手 (89)の V字状通路 (89a)、第 2開閉弁 (85)の本体内連通路部 (94)、同連通用ポート (85c)、同 弁内部連通路部 (85d)、同出口ポート (85b)、同第 2出口通路部 (96)および出口継手 付きブロック状継手 (91)の L字状通路 (91a)を経て外部に排出させられる。また、第 1 開閉弁 (82)を閉、第 2開閉弁 (85)を開として、第 2の流体を入口用ブロック状継手 (90) の L字状通路 (90a)力も流入させると、第 2の流体は、第 2入口通路部 (95)を介して第 2 開閉弁 (85)の入口ポート (85a)に達し、ここから、第 2開閉弁 (85)の出口ポート (85b)、同 第 2出口通路部 (96)および出口継手付きブロック状継手 (91)の L字状通路 (91a)を経 て外部に排出させられる。したがって、第 1の流体が流される場合には、デッドボリュ ームが存在していないが、第 2の流体が流される場合には、第 1開閉弁 (82)の第 1出 口通路部 (93)、連通用ブロック状継手 (89)の V字状通路 (89a)および第 2開閉弁 (85)の 本体内連通路部 (94)がデッドボリュームとなっている。
[0040] 図 4に示すように、この発明による遮断開放器 (流体制御装置) (31)は、第 1弁本体（ 33)および第 1弁ァクチユエータ (34)力 なる第 1開閉弁 (32)と、第 2弁本体 (36)および 第 2弁ァクチユエータ (37)からなる第 2開閉弁 (35)と、第 1弁本体 (33)の左部を支持す る第 1入口用ブロック状継手 (38)と、第 1弁本体 (33)の右部および第 2弁本体 (36)の左 部を支持する連通用ブロック状継手 (39)と、第 2弁本体 (36)の中央部を支持する第 2 入口用ブロック状継手 (40)と、第 2弁本体 (36)の右部を支持する出口用ブロック状継 手 (41)とを備えている。
[0041] 第 1開閉弁 (32)は、中央に位置する入口ポート (32a)、左方に位置する出口ポート (3 2b)および右方に位置する連通用ポート (32c)を有する手動式の 3ポートダイアフラム 弁とされている。第 2開閉弁 (35)は、同様に、中央に位置する入口ポート (35a)、右方 に位置する出口ポート (35b)および左方に位置する連通用ポート (35c)を有する手動 式の 3ポートダイアフラム弁とされている。そして、各連通用ポート (32c)(35c)は、出口 ポート (32b)(35b)と弁内部連通路部 (32d)(35d)を介して連通させられている。
[0042] 第 1弁本体 (33)には、入口ポート (32a)力 真下にのび下方に開口している第 1入口 通路部 (42)、出口ポート (32b)力も左斜め下にのび下方に開口している第 1出口通路 部 (43)、および連通用ポート (32c)力も右斜め下にのび下方に開口している第 1本体 内連通路部 (44)が形成されて 、る。
[0043] 第 2弁本体 (36)には、入口ポート (35a)力 真下にのび下方に開口している第 2入口 通路部 (45)、出口ポート (35b)力も右斜め下にのび下方に開口している第 2出口通路 部 (46)、および連通用ポート (35c)力も左斜め下にのび下方に開口している第 2本体 内連通路部 (47)が形成されて 、る。
[0044] 第 1入口用ブロック状継手 (38)には、第 1入口通路部 (42)に連通する L字状 (左方か ら見て)の継手内入口通路部 (48)と、第 1出口通路部 (43)の下端開口に連なってこれ を連通用ブロック状継手 (39)に対向する面まで送る L字状の継手内出口通路部 (49)と が形成されている。
[0045] 連通用ブロック状継手 (39)には、第 1本体内連通路部 (44)と第 2本体内連通路部 (47 )とを連通する V字状の継手内連通路部 (50)と、第 1入口用ブロック状継手 (38)の継手 内出口通路部 (49)に連なりこれを第 2入口用ブロック状継手 (40)に対向する面まで送 る直線状の継手内出口通路部 (51)とが形成されて 、る。
[0046] 第 2入口用ブロック状継手 (40)には、第 2入口通路部 (45)に連通する L字状 (左方か ら見て）の継手内入口通路部 (52)と、連通用ブロック状継手 (39)の継手内出口通路部 (51)に連なりこれを出口用ブロック状継手 (41)に対向する面まで送る直線状の継手内 出口通路部 (53)とが形成されて 、る。
[0047] 出口用ブロック状継手 (41)には、第 2入口用ブロック状継手 (40)の継手内出口通路 部 (53)に連なりこれを外部に流出させる継手内出口通路部 (54)と、この継手内出口通 路部 (54)に第 2出口通路部 (46)を合流させる継手内出口通路部 (55)とが形成されて いる。外部に流出させる方の継手内出口通路部 (54)は、その流出部分が第 1および 第 2の流体に共通の共通出口通路部となっている。
[0048] 図 5は、図 4のポート (32a)(32b)(32c)(35a)(35b)(35c)と通路部 (32d)(33)(35d)(36)(42)( 43)(44)(45)(46)(47)(51)(52)(53)(54)(55)を抜き出したもので、この図から分力るように、 この発明の遮断開放器 (31)には、第 1弁本体 (33)の第 1出口通路部 (43)、第 1入口用 ブロック状継手 (38)の継手内出口通路部 (49)、連通用ブロック状継手 (39)の継手内出 口通路部 (51)、第 2入口用ブロック状継手 (40)の継手内出口通路部 (53)、出口用プロ ック状継手 (41)の継手内出口通路部 (54X55)、第 2弁本体 (36)の第 2出口通路部 (46) 、第 2開閉弁 (35)の弁内部連通路部 (35d)、第 2弁本体 (36)の第 2本体内連通路部 (47 )、連通用ブロック状継手 (39)の継手内連通路部 (50)、第 1弁本体 (33)の第 1本体内連 通路部 (44)および第 1開閉弁 (32)の弁内部連通路部 (32d)によって、ループ状通路部 (L)が形成されている。ここで、第 1本体内連通路部 (44)、連通用ブロック状継手 (39) の継手内連通路部 (50)および第 2本体内連通路部 (47)は、第 1開閉弁 (32)の連通用 ポート (32c)と第 2開閉弁 (35)の連通用ポート (35c)とを常時連通する弁外部連通路部 を形成している。
[0049] この発明の遮断開放器 (31)によると、第 1開閉弁 (32)を開、第 2開閉弁 (35)を閉とし て、第 1の流体を第 1入口用ブロック状継手 (38)の継手内入口通路部 (48)力 流入さ せると、第 1の流体は、第 1入口通路部 (42)を介して第 1開閉弁 (32)の入口ポート (32a) に達し、ここから、第 1開閉弁 (32)の連通用ポート (32c)、第 1本体内連通路部 (44)、連 通用ブロック状継手 (39)の継手内連通路部 (50)、第 2本体内連通路部 (47)、第 2開閉 弁 (35)の連通用ポート (35c)、同出口ポート (35b)、第 2出口通路部 (46)および出口用 ブロック状継手 (41)の継手内出口通路部 (55X54)を経て外部に排出させられるととも に（これは図 8のものと略同じ）、第 1開閉弁 (32)の出口ポート (32b)、第 1出口通路部 (4 3)、第 1入口用ブロック状継手 (38)の継手内出口通路部 (49)、連通用ブロック状継手（ 39)の継手内出口通路部 (51)、第 2入口用ブロック状継手 (40)の継手内出口通路部 (5 3)および出口用ブロック状継手 (41)の継手内出口通路部 (54)を経て外部に排出させ られる。
[0050] また、第 1開閉弁 (32)を閉、第 2開閉弁 (35)を開として、第 2の流体を第 2入口用プロ ック状継手 (40)の継手内入口通路部 (52)力 流入させると、第 2の流体は、第 2入口 通路部 (45)を介して第 2開閉弁 (35)の入口ポート (35a)に達し、ここから、第 2開閉弁 (3 5)の出口ポート (35b)、第 2出口通路部 (46)および出口ブロック状継手 (41)の出口通路 部 (55X54)を経て外部に排出させられるとともに (これは図 8のものと同じ)、第 2開閉 弁 (35)の連通用ポート (35c)、第 2本体内連通路部 (47)、連通用ブロック状継手 (39)の 継手内連通路部 (50)、第 1本体内連通路部 (44)、第 1開閉弁 (32)の連通用ポート (32c) 、同出口ポート (32b)、第 1出口通路部 (43)、第 1入口用ブロック状継手 (38)の継手内 出口通路部 (49)、連通用ブロック状継手 (39)の継手内出口通路部 (51)、第 2入口用ブ ロック状継手 (40)の継手内出口通路部 (53)および出口用ブロック状継手 (41)の出口 通路部 (54)を経て外部に排出させられる。 [0051] すなわち、ループ状通路部 (LH43)(49)(51)(53)(54)(55)(35d)(47)(50)(44)(32d)が形 成されている結果、図 8に示すものにおいてデッドボリュームとなっている第 1開閉弁 ( 82)の出口通路部 (93)、連通用ブロック状継手 (89)の継手内連通路部 (89a)および第 2 開閉弁 (85)の本体内連通路部 (94)に相当する通路部分 (44X50X47)は、第 1および第 2のいずれの流体も流れるために、デッドボリュームになることがなぐまた、図 8に示 すものに対して、新たに追加された通路部 (43)(49)((51X53X54)についても、第 1およ び第 2のいずれの流体も流れるために、デッドボリュームになることがなぐデッドボリ ユームのな 、遮断開放器 (31)が得られて 、る。
[0052] なお、図 4の開閉弁 (32X35)の形状やブロック状継手 (38X39X40X41)の数、輪郭形 状および継手内の各通路部の形状については、上記のものに限られるものではなく 、第 1開閉弁 (32)または第 2開閉弁 (35)と隣り合う流体制御機器との関係などに応じて 適宜変更される。
産業上の利用可能性
[0053] 本発明は、第 1入口、第 2入口および共通出口が設けられた流体通路を有しており 、その流体通路の遮断，開放を行う流体制御装置を提供する。本発明によれば、流 体通路のデッドボリュームをなくすことができる。

Claims

請求の範囲
[1] 第 1の流体を流入させる第 1入口、第 2の流体を流入させる第 2入口、ならびに第 1 および第 2の流体を流出させる共通出口を有する流体通路の遮断'開放を行う流体 制御装置であって、流体通路は、ループ状通路部と、ループ状通路部の所定箇所 から第 1入口、第 2入口および共通出口にそれぞれ通じる第 1入口通路部、第 2入口 通路部および共通出口通路部とからなり、第 1入口通路部を開閉する第 1開閉弁、お よび第 2入口通路部を開閉する第 2開閉弁がそれぞれ設けられており、第 1入口から 流入してループ状通路部に至った第 1の流体および第 2入口から流入してループ状 通路部に至った第 2の流体は、いずれも、ループ状通路部を二手に分かれて流れた 後、共通出口力 排出されようになされていることを特徴とする流体制御装置。
[2] 第 1開閉弁および第 2開閉弁は、それぞれ入口ポート、出口ポートおよび連通用ポ ートからなる 3つのポートを有しており、入口ポートと出口ポートとが開閉弁に内蔵さ れて 、る弁ァクチユエータによって開閉されるようになされて！/、るとともに、各連通用 ポートは、出口ポートと弁内部連通路部を介して弁ァクチユエータの位置に関係なく 連通させられており、この弁内部連通路部同士が弁外部連通路部を介して連通させ られていることを特徴とする請求項 1の流体制御装置。
[3] 第 1および第 2開閉弁は、 1つのブロック状本体に取り付けられており、ブロック状本 体には、第 1入口継手が設けられている第 1入口力 第 1開閉弁の入口ポートに至る 第 1入口通路部、第 1開閉弁の出口ポートから出口継手が設けられている共通出口 に向力う第 1出口通路部、第 1出口通路部に連なり出口継手が設けられている共通 出口に至る共通出口通路部、第 2入口継手が設けられて 、る第 2入口から第 2開閉 弁の入口ポートに至る第 2入口通路部、第 2開閉弁の出口ポートから出て共通出口 通路部に連通している第 2出口通路部、および第 1開閉弁の連通用ポートと第 2開閉 弁の連通用ポートとを連通する弁外部連通路部が形成されている請求項 2の流体制 御装置。
[4] 下段に配置されて上段に配置された第 1および第 2開閉弁を支持する複数のブロッ ク状継手を有しており、弁外部連通路部は、各開閉弁の本体に設けられた本体内連 通路部と、この本体に接続される継手に設けられた継手内連通路部とによって形成 されて 、る請求項 2の流体制御装置。
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