JP3207782B2 - マニホールドバルブ - Google Patents

マニホールドバルブ

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JP3207782B2 JP11525597A JP11525597A JP3207782B2 JP 3207782 B2 JP3207782 B2 JP 3207782B2 JP 11525597 A JP11525597 A JP 11525597A JP 11525597 A JP11525597 A JP 11525597A JP 3207782 B2 JP3207782 B2 JP 3207782B2
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    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K11/00—Multiple-way valves, e.g. mixing valves; Pipe fittings incorporating such valves
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    • F16K11/20—Multiple-way valves, e.g. mixing valves; Pipe fittings incorporating such valves with two or more closure members not moving as a unit operated by separate actuating members
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K27/00—Construction of housing; Use of materials therefor
    • F16K27/003—Housing formed from a plurality of the same valve elements
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    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
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    • Y10T137/87571—Multiple inlet with single outlet
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  • Mechanical Engineering (AREA)
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  • Multiple-Way Valves (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、主流体に副流体
の供給を適宜行うためのマニホールドバルブに関する。
【０００２】
【従来の技術】たとえば、工場等で、配管に純水等の主
流体を流し、所定の作業場所へ供給する場合がある。そ
の際、目的とする作業や製品に応じて，必要となる薬品
等の副流体を適宜切り換えて所定流量で主流体に供給す
るため、配管の途中に図４およびその５−５断面を示す
図５のようなマニホールドバルブ３０を接続することが
なされている。なお、理解を容易とするために、図５の
断面図は図４において弁装置４０の弁体４１を上下動さ
せるエア流通口４３，４４を通るように切断したもの
で、図中の切断線の位置における切断とは若干異なって
いる。
【０００３】前記マニホールドバルブ３０は、略直方体
の本体ブロック３１と弁装置４０を備える副ブロック３
６よりなる。前記本体ブロック３１には、その長手方向
に所定間隔でもって複数の本体側連通流路３２が本体ブ
ロック３１の上面から本体ブロック３１内に下向きに形
成されている。該本体側連通流路３２の下端位置には本
体ブロック３１の長手方向に沿う水平方向の主流路３３
が形成されており、前記主流路３３の壁面上部に形成さ
れた供給用開口３４を介して本体側連通流路３２と主流
路３３とが通じるようになっている。なお、前記主流路
３３の両端には配管等との接続口３５が設けられてい
る。
【０００４】一方、副ブロック３６は、前記本体ブロッ
ク３１の上面に複数個設けられている。それぞれの副ブ
ロック３６の下部には、図５に示すような、前記本体側
連通流路３２の上端と一連に通じる副ブロック側連通流
路３７が上下方向に形成されると共に、該副ブロック側
連通流路３７の上端と弁装置４０の下部を介して通じる
副流体流入口３８が副ブロック３６の側面から水平方向
に形成されている。また、前記弁装置４０はエアーによ
り上昇しスプリング４５により下降する弁体４１を備え
る公知のもので、前記弁体４１が副ブロック側連通流路
３７の上端を開閉するように設けられている。符号４２
はダイアフラムである。なお、図では一の本体ブロック
３１に五つの副ブロック３６を設けてある。
【０００５】前記構造のマニホールドバルブ３０は、主
流体が流れる配管の途中に前記主流路３３の両端が接続
され、また副流体流入口３８に薬品等の供給装置が接続
される。そして、図６左側に示すように、必要に応じて
副ブロック３６の弁装置４０を適宜作動させて前記副ブ
ロック側連通流路３７の上端３７ａを開放すれば、所定
量の副流体（薬品等）を副ブロック側連通流路３７およ
び本体ブロック側連通流路３２を通して上方から主流路
３３内に供給できる。また複数の副流体（薬品等）を切
り替えて主流体中に供給する場合には、該当する他の副
ブロック側連通流路の上端をそれと対応する弁装置４０
の作動によって開ければよい。
【０００６】なお、図６では、後で説明する図１のマニ
ホールドバルブ１０と対応させるため、本体ブロック３
１の長さ方向に沿って所定長切除し本体ブロック３１に
三つの副ブロックが存在する図で示した。また、これら
三つの弁装置４０は副流体供給時の異なる時点のものを
同時に示しているが、それらの実際の作動は個々の弁装
置４０において独立しており、各弁装置が同時に同じ作
動をする場合もあり、また供給する副流体の量や供給タ
イミングなどによって異ならせる場合もある。
【０００７】しかしながら、前記マニホールドバルブ３
０にあっては、副流体が主流路３３内に供給された後、
図６中央に示すように、前記弁装置４０の作動によって
副ブロック側連通流路３７の上端３７ａを閉じて副流体
の供給を停止すると、当該上端３７ａから供給用開口３
４までの間が液溜まり部３９となって、それまで主流路
３３へ供給されていた副流体が溜まることが往々にして
ある。しかも、その液溜まり部３９は、副ブロック側連
通流路３７の上端３７ａが弁体４１によって密閉されて
いるため、前記液溜まり部３９内の副流体が表面張力等
によって速やかに落下せず、同図右に示すように、その
後徐々に滴下して、主流路３３を流れる主流体に混入す
るようになる。従って、純粋な主流体が必要な場合や所
望の配合からなる流体が必要な場合にも暫くの間は不純
物の混ざった流体しか得られず、効率が良いものではな
かった。
【０００８】また、主流体を一の流体から他の流体に変
更する場合には、適宜時間他の流体を主流路３３に流し
てバルブ内を洗浄する必要があるが、前記液溜まり部３
９は図のように主流路３３の壁面に対し窪んだ形状であ
るため、洗浄されるべき流体が液溜まり部３９から除去
されにくく、完全に洗浄するには多くの時間や労力及び
多量の流体を要し経済的ではなかった。加えて、液溜ま
り部３９に残存した薬液が化学反応を起こし、時に固形
化するなど弊害を生じることがあった。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】本発明はこのような問
題点に鑑みて提案されたものであって、主流体へ供給し
ていた所望の副流体についてその供給を停止した時に
は、その後主流体内に副流体が混入するのを効率よく防
いで、主流体の成分の配合や濃度などの精度を高く保つ
ことができるのみならず、主流体の変更時にも洗浄作業
を簡略にできるマニホールドバルブを提供しようとする
ものである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】すなわち、請求項１の発
明は、副流体流入口と、該副流体流入口と連通する上向
きの連通流路と、該連通流路の上端を開閉する弁装置
と、前記連通流路の上端が位置する流路壁面の下側に供
給用開口が形成された主流路とを備え、前記副流体流入
口から前記連通流路および供給用開口を通って上向きに
主流路へ供給される副流体を、前記連通流路上端の開閉
により主流路内への供給および供給停止を行うようにし
たマニホールドバルブにおいて、前記弁装置が下部に弁
室および該弁室内を上下可能とされた弁体を備え、前記
弁室内を主流路が貫通するとともに当該弁室の下端に供
給用開口が形成されていることを特徴とする。
【００１１】また、請求項２の発明は、副流体流入口
と、該副流体流入口と連通する上向きの連通流路と、該
連通流路の上端を開閉する弁装置と、前記連通流路の上
端が位置する流路壁面の下側に供給用開口が形成された
主流路とを備え、前記副流体流入口から前記連通流路お
よび供給用開口を通って上向きに主流路へ供給される副
流体を、前記連通流路上端の開閉により主流路内への供
給および供給停止を行うようにしたマニホールドバルブ
において、一の主流路に複数の供給用開口を有し、該複
数の供給用開口に対応する複数の連通流路、弁装置およ
び副流体流入口を備えることを特徴とする。
【００１２】さらに、請求項３の発明は、副流体流入口
と、該副流体流入口と連通する上向きの連通流路と、該
連通流路の上端を開閉する弁装置と、前記連通流路の上
端が位置する流路壁面の下側に供給用開口が形成された
主流路とを備え、前記副流体流入口から前記連通流路お
よび供給用開口を通って上向きに主流路へ供給される副
流体を、前記連通流路上端の開閉により主流路内への供
給および供給停止を行うようにしたマニホールドバルブ
において、前記弁装置が下部に弁室および該弁室内を上
下可能とされた弁体を備え、前記弁室内を主流路が貫通
するとともに当該弁室の下端に供給用開口が形成され、
かつ一の主流路に複数の供給用開口を有し、該複数の供
給用開口に対応する複数の連通流路、弁装置および副流
体流入口を備えることを特徴とする。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下添付の図面に従ってこの発明
を詳細に説明する。図１はこの発明の一例を示す正面
図、図２は図１を２−２線で切断し一部を側面とした断
面図、図３は本発明の作動を示す断面図である。
【００１４】図１および図２に示すように、この発明の
マニホールドバルブ１０は、副流体流入口１３から供給
される副流体を、連通流路１５の上端の供給用開口１６
の開閉により主流路１４内に供給および供給の停止を行
うようにしたもので、主流路１４を有する本体ブロック
１１と、副流体を前記主流路１４へ供給する弁装置２０
を備えた副ブロック１２とからなる。なお、図２は図１
の２−２断面図であるが、理解を容易にするために、副
ブロック１２を弁装置２０のエア流入口２３，２４を通
って切断している。
【００１５】本体ブロック１１は、図のような略直方体
に形成され、主流路１４が当該本体ブロック１１の長手
方向を貫通して略水平に設けられている。前記主流路１
４の下側には副流体流入口１３に通じる複数の連通流路
１５が上下方向に沿って設けられている。
【００１６】副流体流入口１３は、前記主流路１４の下
側に当該主流路１４と直交する略水平方向に形成され、
一端がバルブ外に開口し図示しない副流体供給装置等に
連結されて、副流体を前記連通流路１５を介して主流路
１４に上向きに供給するようになっている。
【００１７】連通流路１５の上端は、副流体の供給用開
口１６として主流路１４下側壁面に開口しているととも
に、副ブロック１２に設けられた弁装置２０により開閉
可能とされて開時に副流体を主流路１４内に上向きに供
給する。なお、図中の符号１７は、他の配管等との接続
口で、主流路１４の両端に設けられバルブ外に開口して
いる。
【００１８】副ブロック１２は、弁装置２０が本体ブロ
ック１１の主流路１４の上部を覆い、また弁装置２０下
部の弁室１８が主流路１４内に突出するよう、すなわち
主流路１４が弁室１８内を貫通するようにして、本体ブ
ロック１１の上面に設けられている。この弁装置２０は
副流体の供給用開口１６に対応して設けられており、弁
室１８内の弁体２１がエアーなどで上昇し、弁室１８外
上方に設けられたスプリングＳにより下降する公知の構
造のものが好適である。符号２２はダイアフラム、２
３，２４は弁体２１を上下動させるエア流通口である。
前記弁装置２０は、適当な制御装置（図示せず）と連結
されており、主流体への副流体の所要供給量に合わせて
前記弁体２１が主流路１４を横切って上下動し、前記供
給用開口１６を主流路１４の内側から開閉し、副流体流
入口１３から流入する副流体を主流路１４内へ供給しま
たは供給を停止する。
【００１９】なお、この弁装置２０を備える副ブロック
１２は、複数の副流体の供給にも対応できるようにする
ため、一の本体ブロック１１に複数設けるのが好まし
い。さらには複数の副流体の切り替え供給や供給量の増
減にも対応できるようそれぞれの弁装置２０を互いに独
立して作動できるようにしたり、あるいは複数の副流体
の同時供給や交互供給の場合などに対応できるよう複数
の弁装置２０を関連させて作動できるようにしてもよ
い。このように複数の弁装置２０を関連させて作動させ
る一方法としては、図示しないコンピュータ制御装置な
どを介してエアー供給装置を前記エア流通口２３と接続
する方法がある。
【００２０】前記本体ブロック１１、副ブロック１２お
よび弁体２１やダイアフラム２２など流体と接触する部
分の材質は、主流体および前記主流体へ供給される副流
体の種類によって適宜に選択されるが、酸やアルカリな
どに対する耐性を有するＰＴＦＥ（ポリテトラフルオロ
エチレン）などが好適である。
【００２１】次に、かかる構造のマニホールドバルブ１
０の作動について図３を用いて説明する。なお、前記し
たように、副流体供給時の異なる時点の作動を一度に視
覚的に確認できるようにするため、図ではマニホールド
バルブ１０の三つの弁装置２０，２０，２０が副流体供
給時の異なった時点の位置を同時に示しているが、それ
らの実際の作動は個々の弁装置２０においてそれぞれ行
われる。
【００２２】まず、図３の左側に示すように、副流体流
入口１３からマニホールドバルブ１０内に入った副流体
は、連通流路１５を満たす。次いで、同図中央に示すよ
うに、弁装置２０の作動で弁体２１が上昇し、供給用開
口１６が開くと所定量の副流体が連通流路１５を通って
上向きに主流路１４内に供給される。
【００２３】そして、同図右に示すように、弁装置２０
のエアーの切換により弁体２１がスプリングＳのバネ弾
性によって下降すると、供給用開口１６が弁体２１の下
端で主流路１４内側から閉じられ、副流体の主流路への
供給が停止し、主流路１４内に主流体のみが流れるよう
になる。その際、前記主流路１４下側壁面の供給用開口
１６が弁体２１によって主流路１４内側から閉じられ、
しかも供給用開口１６が連通流路１５の上端にあること
から、主流路１４と連通流路１５間に液溜まり部が形成
されない。したがって、主流体への副流体の供給および
その停止が確実であるだけでなく、供給停止状態では前
記液溜まり部の副流体が主流路内の主流体に混入するお
それがない。しかも、前記弁室１８内を主流路１４が貫
通していて、その弁室１８の弁体２１が主流路１４を横
切って位置するため、主流体と主流路１４内に供給され
る副流体とのミキシング効果が高くなり、移送する流体
（薬液）の濃度や配合の精度を良好に保つことができ
る。
【００２４】また、前記副流体の供給停止時には主流路
１４下側壁面の供給用開口１６が閉じていて前記液溜ま
り部（従来例の図６における液溜まり部３９）に相当す
る窪み部分が主流路１４の壁面に存在しないため、主流
体を別のものに交換する場合でも主流路１４の洗浄が容
易で作業を効率的にかつ経済的に行うことができる。さ
らに、弁室１８も主流路１４と直線状に配置できるた
め、主流路１４の洗浄時に容易かつ効率よく洗浄でき
る。
【００２５】また、前記副流体流入口１３へ流す副流体
を別のものに交換する場合には、副流体流入口１３と連
通流路１５のみの洗浄でよく、弁装置２０まで洗浄しな
くてもよいため、作業が簡単である。しかも連通流路１
５が副流体流入口１３に対して上向きに連通しているた
め、前記主流体への副流体供給停止時には連通流路１５
内の副流体が自重によって副流体流入口側へ移動し易
く、前記副流体交換時の副流体流入口および連通流路の
洗浄が容易に行えるようになる。
【００２６】
【発明の効果】以上図示し説明したように、この発明の
マニホールドバルブによれば、主流路の供給用開口を弁
装置で閉じた際に主流路の壁面に液溜まり部が形成され
ないので、バルブを閉じて主流路に主流体のみを流通さ
せる場合でも前記液溜まり部の副流体が主流体に混入す
ることがなく、流体の濃度や配合を高い精度で保つこと
ができる。また、前記供給用開口を閉じた際の主流路内
の形状が単純であるので、バルブ内の洗浄も簡単かつ確
実で、主流体の交換作業が効率的かつ経済的に行えるだ
けでなく、交換前の流体が流路内に残存して化学反応す
るなどの弊害を防ぐことができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の一例を示す正面図である。
【図２】図１を２−２線で切断し一部を側面とした断面
図である。
【図３】本発明の作動を示す断面図である。
【図４】一般的なマニホールドバルブの一例を示す正面
図である。
【図５】図４を５−５線で切断し一部を側面とした断面
図である。
【図６】その作動を示す断面図である。
【符号の説明】
１０ マニホールドバルブ １１ 本体ブロック １２ 副ブロック １３ 副流体流入口 １４ 主流路 １５ 連通流路 １６ 供給用開口 ２０ 弁装置 ２１ 弁体
フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭63−9785（ＪＰ，Ａ) 実開 昭59−19686（ＪＰ，Ｕ) 特公 平２−61678（ＪＰ，Ｂ２) 特公 平６−27557（ＪＰ，Ｂ２) 実公 平３−32857（ＪＰ，Ｙ２) 実公 平４−42913（ＪＰ，Ｙ２) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) F16K 27/00 - 27/12 F16K 11/00 - 11/24

Claims (3)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 副流体流入口と、該副流体流入口と連通
    する上向きの連通流路と、該連通流路の上端を開閉する
    弁装置と、前記連通流路の上端が位置する流路壁面の下
    側に供給用開口が形成された主流路とを備え、前記副流
    体流入口から前記連通流路および供給用開口を通って上
    向きに主流路へ供給される副流体を、前記連通流路上端
    の開閉により主流路内への供給および供給停止を行うよ
    うにしたマニホールドバルブにおいて、 前記弁装置が下部に弁室および該弁室内を上下可能とさ
    れた弁体を備え、前記弁室内を主流路が貫通するととも
    に当該弁室の下端に供給用開口が形成されていることを
    特徴とするマニホールドバルブ。
  2. 【請求項２】 副流体流入口と、該副流体流入口と連通
    する上向きの連通流路と、該連通流路の上端を開閉する
    弁装置と、前記連通流路の上端が位置する流路壁面の下
    側に供給用開口が形成された主流路とを備え、前記副流
    体流入口から前記連通流路および供給用開口を通って上
    向きに主流路へ供給される副流体を、前記連通流路上端
    の開閉により主流路内への供給および供給停止を行うよ
    うにしたマニホールドバルブにおいて、 一の主流路に複数の供給用開口を有し、該複数の供給用
    開口に対応する複数の連通流路、弁装置および副流体流
    入口を備えることを特徴とするマニホールドバルブ。
  3. 【請求項３】 副流体流入口と、該副流体流入口と連通
    する上向きの連通流路と、該連通流路の上端を開閉する
    弁装置と、前記連通流路の上端が位置する流路壁面の下
    側に供給用開口が形成された主流路とを備え、前記副流
    体流入口から前記連通流路および供給用開口を通って上
    向きに主流路へ供給される副流体を、前記連通流路上端
    の開閉により主流路内への供給および供給停止を行うよ
    うにしたマニホールドバルブにおいて、 前記弁装置が下部に弁室および該弁室内を上下可能とさ
    れた弁体を備え、前記弁室内を主流路が貫通するととも
    に当該弁室の下端に供給用開口が形成され、かつ一の主
    流路に複数の供給用開口を有し、該複数の供給用開口に
    対応する複数の連通流路、弁装置および副流体流入口を
    備えることを特徴とするマニホールドバルブ。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009180333A (ja) * 2008-01-31 2009-08-13 Ckd Corp 薬液供給装置及び薬液供給弁
US7644725B2 (en) 2005-12-16 2010-01-12 Advance Electric Japan Kabushiki Kaisha Mixing valve and mixing device

Families Citing this family (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002085950A (ja) * 2000-09-18 2002-03-26 Horiba Ltd 流体混合装置
US6889709B2 (en) 2001-06-21 2005-05-10 Asahi Organic Chemicals Industry Co., Ltd. Manifold valve
JP4902911B2 (ja) * 2001-06-21 2012-03-21 旭有機材工業株式会社 マニホールドバルブ
KR20040071690A (ko) * 2001-12-06 2004-08-12 아사히 유키자이 고교 가부시키가이샤 매니폴드 밸브
CN100339629C (zh) * 2002-10-21 2007-09-26 喜开理株式会社 集成气阀
CN100360845C (zh) * 2003-04-03 2008-01-09 阿洛伊斯·施瓦茨 用于控制液体或气体介质流动的装置
US7198063B2 (en) * 2004-06-14 2007-04-03 Surpass Industry Co., Ltd. Multi-path joint and manufacturing method thereof
JP4742762B2 (ja) * 2005-09-12 2011-08-10 株式会社フジキン 流体制御装置
US20070193637A1 (en) * 2006-02-23 2007-08-23 Micron Technology, Inc. Systems and methods for controlling fluid flow
JP2007327542A (ja) * 2006-06-07 2007-12-20 Surpass Kogyo Kk 流体機器ユニット構造
US8726935B2 (en) * 2006-07-14 2014-05-20 Entrgeris, Inc. Valve manifold assembly
JP4903063B2 (ja) * 2007-02-02 2012-03-21 旭有機材工業株式会社 マニホールド弁
JP4995853B2 (ja) * 2009-03-04 2012-08-08 シーケーディ株式会社 マニホールドバルブ
US9062793B2 (en) * 2011-08-11 2015-06-23 Fisher Controls International, Llc Actuators for use with fluid control devices having multiple fluid flow control members
US20150053375A1 (en) * 2013-08-20 2015-02-26 Noah Precision, Llc Multi-loop temperature control system for a semiconductor manufacture process
JP6751552B2 (ja) * 2015-06-04 2020-09-09 サーパス工業株式会社 流体機器
US10443747B2 (en) * 2016-01-13 2019-10-15 Hydra-Flex Inc. Manifold with integrated valve
JP7061794B2 (ja) * 2018-08-10 2022-05-02 アドバンス電気工業株式会社 ダイヤフラム部材
JP7393788B2 (ja) 2020-01-08 2023-12-07 アドバンス電気工業株式会社 弁構造体

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3572366A (en) * 1967-10-20 1971-03-23 Gyromat Corp Control valves for supplying paint in paint spray installations
CH524091A (de) * 1970-05-26 1972-06-15 Sulzer Ag Vorrichtung zum Absperren eines Arbeitsmittels
US3797524A (en) * 1972-06-15 1974-03-19 Reedmer Plastics Inc Fluid metering device
US3838707A (en) * 1972-11-22 1974-10-01 Alloy Prod Corp Valve with leak detecting seal and diaphragm assembly
US4290442A (en) * 1978-03-01 1981-09-22 Sparkle Wash, Inc. Mobile cleaning unit
FR2455923A1 (fr) * 1979-05-11 1980-12-05 Carrier Dispositif de distribution de peintures, solvants, vernis ou analogues
US4335744A (en) * 1980-04-07 1982-06-22 Control Components, Inc. Quiet safety relief valve
US4819691B1 (en) * 1986-10-21 1997-09-23 Steridose Systems Ab Valve device
ATE82156T1 (de) * 1987-05-09 1992-11-15 Walter Schweikert Fluessigkeitsmischbatterie.

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7644725B2 (en) 2005-12-16 2010-01-12 Advance Electric Japan Kabushiki Kaisha Mixing valve and mixing device
JP2009180333A (ja) * 2008-01-31 2009-08-13 Ckd Corp 薬液供給装置及び薬液供給弁

Also Published As

Publication number Publication date
JPH10292871A (ja) 1998-11-04
US6192932B1 (en) 2001-02-27

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