WO2006033225A1 - Ｘ線透視装置 - Google Patents

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optical image
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    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N23/00—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00
    • G01N23/22—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by measuring secondary emission from the material
    • G01N23/223—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by measuring secondary emission from the material by irradiating the sample with X-rays or gamma-rays and by measuring X-ray fluorescence
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    • G01N2223/00—Investigating materials by wave or particle radiation
    • G01N2223/07—Investigating materials by wave or particle radiation secondary emission
    • G01N2223/076—X-ray fluorescence

Definitions

  • the present invention relates to an industrial X-ray fluoroscopy device, and more particularly to an X-ray fluoroscopy device suitable for observing an internal defect such as an aluminum case without breaking it.
  • an inspection object (perspective object) is fixed between an X-ray source and an X-ray detector.
  • An X-ray fluoroscopic apparatus in which a sample stage that moves and rotates is known (see, for example, Patent Document 1).
  • the position and orientation of the fluoroscopic object based on the position and rotation angle of the sample stage are generally determined by an operator while viewing an X-ray fluoroscopic image, or provided on an apparatus cover or the like.
  • the sample stage drive mechanism is operated while confirming the position and orientation of the actual fluoroscopic object through the observation window.
  • Patent Document 1 Japanese Patent Laid-Open No. 2003-279502
  • the present invention has been made in view of such a situation, and in addition to the fluoroscopic direction of the fluoroscopic object without performing operations such as confirming the fluoroscopic position and the fluoroscopic direction by reducing the magnification, the fluoroscopic position
  • the challenge is to provide an X-ray fluoroscopy system that is always intuitive and easy to grasp.
  • an X-ray source and an X-ray detector are arranged to face each other, and a sample stage for fixing the fluoroscopic object is interposed between them.
  • the sample stage is provided with an X-ray fluoroscopy device provided with a drive mechanism that moves and rotates the sample stage relative to the pair of the X-ray source and the X-ray detector.
  • the state of the fluoroscopic object viewed from the X-ray fluoroscopic direction from the plurality of optical images stored in the storage means based on the position and rotation state of the sample stage when observing the X-ray fluoroscopic image Select the optical image closest to the It characterized by that it comprises an optical image display means.
  • the optical image display means superimposes the optical image of the fluoroscopic object on the screen of the display so as to be at least one of the position and direction of the X-ray optical axis.
  • a configuration that displays a marker representing one of the above can be suitably employed.
  • the optical image display means captures from a direction orthogonal to the X-ray fluoroscopic direction in addition to the optical image closest to the state of the fluoroscopic object viewed from the X-ray fluoroscopic direction. It is possible to adopt a configuration in which the shaded optical image is displayed on the display unit simultaneously or in a switchable manner.
  • the relationship between the X-ray optical axis and the fluoroscopic object is moved by moving a marker representing the position and Z or direction of the X-ray optical axis on the display. It is also possible to adopt a configuration provided with a control means for automatically driving the drive mechanism so as to coincide with the position and z or direction of the last best one.
  • the optical (appearance image) of the fluoroscopic object is photographed and stored from a plurality of directions before the fluoroscopic (inspection) work by the optical camera provided in the apparatus.
  • an optical image closest to the state of the fluoroscopic object viewed from the X-ray fluoroscopic direction is displayed on the display at that time. In this way, the operator can always confirm the appearance of the fluoroscopic object viewed from the X-ray fluoroscopic direction during fluoroscopic work, and can intuitively determine from which direction the fluoroscopic object is being viewed. it can.
  • a device that displays a marker representing the position and Z or direction of the X-ray optical axis on the optical image displayed on the display device.
  • a marker representing the position and Z or direction of the X-ray optical axis on the optical image displayed on the display device.
  • the X-ray fluoroscopic apparatus in addition to the above-described optical image, if an optical image taken from a direction orthogonal to the optical image is displayed simultaneously or switchably, the front and back can be distinguished.
  • the fluoroscopic direction can be easily determined even for difficult fluoroscopic objects, and the X-ray optical axis direction can be easily displayed in combination with the marker display in the X-ray fluoroscopic apparatus.
  • an optical image of the fluoroscopic object viewed from the X-ray fluoroscopic direction is displayed on the display device, so that the operator confirms the fluoroscopic direction and position by reducing the fluoroscopic magnification as in the past. Therefore, it is possible to intuitively know from which direction the fluoroscopic object is always being seen.
  • a marker representing the position and z or direction of the X-ray optical axis is superimposed on the optical image viewed from the X-ray fluoroscopic direction. For example, it is possible to intuitively grasp not only the perspective direction but also the center of the visual field of the perspective.
  • the X-ray fluoroscopic direction can be obtained by displaying an optical image taken from a direction orthogonal to the optical image in which the X-ray fluoroscopic force is also viewed.
  • the marker can be easily displayed on the X-ray fluoroscopic apparatus.
  • the relationship between the actual fluoroscopic object and the X-ray optical axis coincides with the relationship between the moved marker and the optical image due to the movement of the marker on the optical image.
  • the sample stage is configured to automatically drive and control, it is possible to intuitively change the fluoroscopic direction and Z or fluoroscopic position of the fluoroscopic object.
  • FIG. 1 is a configuration diagram of an embodiment of the present invention, showing a schematic diagram showing a mechanical configuration and a block diagram showing a system configuration.
  • FIG. 2 is a diagram showing an example of an optical image obtained by photographing the appearance of a fluoroscopic object W by the CCD camera 5 in the embodiment of the present invention.
  • FIG. 3 is an explanatory diagram of a display example of the display device 13 in the embodiment of the present invention.
  • FIG. 4 is an explanatory diagram of a display example of a display according to another embodiment of the present invention.
  • FIG. 5 is a diagram showing the relationship between the fluoroscopic object W and the X-ray optical axis L in the display state of FIG. Explanation of symbols
  • FIG. 1 is a configuration diagram of an embodiment of the present invention, which shows a schematic diagram showing a mechanical configuration and a block diagram showing a system configuration.
  • An X-ray detector 2 is disposed horizontally facing the X-ray source 1, and a fluoroscope is interposed therebetween.
  • a sample stage 3 for mounting the object W is arranged.
  • the sample stage 3 has a moving mechanism for moving in the X-ray optical axis direction (X-axis direction) from the X-ray source 1, the y-axis direction orthogonal to the X-axis direction on the horizontal plane, and the vertical z-axis direction.
  • Each of these mechanisms is driven and controlled by a drive signal from a 5-axis control device 4 placed under the control of the personal computer 11.
  • the X-ray detector 2 is a combination of an image intensifier and a CCD, or a panel type detector, and its output is incorporated in the personal computer 11 and taken into the capsule board 12a.
  • the live image is displayed on the display 13 as an X-ray fluoroscopic image.
  • a CCD camera 5 is arranged adjacent to the X-ray source 1!
  • the optical axis of this CCD camera 5 is set on the same horizontal plane as the X-ray optical axis L from the X-ray source 1, and the X-ray optical axis L force is also shifted on the horizontal plane by a known angle ⁇ .
  • This CCD camera 5 is for photographing the fluoroscopic object W on the sample stage 3 from a plurality of directions prior to the X-ray fluoroscopic as shown below, and its output is incorporated in the personal computer 11.
  • An optical image (appearance image) of the fluoroscopic object W taken in from another direction and captured from another direction is stored in the storage device 14.
  • the sample stage 3 After placing the fluoroscopic object W on the sample stage 3, prior to the X-ray fluoroscopy, the sample stage 3 is driven to sequentially change the posture of the fluoroscopic object W, as shown in FIG. To photograph appearance images of a plurality of postures. This photographing operation is automatically performed by giving a command to that effect to the personal computer 11. That is, for example, when the sample stage 3 is located at the origin position, ⁇ is rotated around the rotation axis R over 360 °, for example, at intervals of several degrees to several tens of degrees.
  • the appearance of the fluoroscopic object W is photographed by tilting ⁇ around the tilting axis T in several steps in increments of several degrees at each angle of ⁇ , and stored in these storage devices 14.
  • the optical image may be too large or too small. This can be dealt with by providing the CCD camera 5 with a zoom function or by providing a digital zoom function with the personal computer 11.
  • the display 13 includes an X-ray fluoroscopic image of the fluoroscopic object W and an optical image (appearance image) of the fluoroscopic object W stored in the storage device 14.
  • the optical image O closest to the fluoroscopic object W viewed from the X-ray fluoroscopic direction is selected and displayed. This selection is based on the rotation angle ⁇ of the sample stage 3 and the current rotation angle ⁇ is corrected by the angle ( ⁇ - ⁇ ) of the X-ray detector 2 side of the optical axis of the CCD camera 5 with respect to the X-ray optical axis L. This is done by selecting an optical image taken at the same tilt angle as the tilt angle ⁇ of the sample stage 3 at the current point.
  • the position of the X-ray optical axis L is displayed by the marker ⁇ in such a manner as to be superimposed on such an optical image ⁇ .
  • This marker ⁇ is always located at the center of the screen of the optical image ⁇ , and when the sample table 3 is moved in the y and z axis directions from the origin position, the optical image O of the fluoroscopic object W is scrolled by the corresponding dimension. Move on the screen.
  • the optical image O may be fixed and the position of the marker M may be moved.
  • the operator can cause the specimen stage 3 to approach the X-ray source 1 side in the X-axis direction and see through the fluoroscopic object W under a high fluoroscopic magnification.
  • the operator can cause the specimen stage 3 to approach the X-ray source 1 side in the X-axis direction and see through the fluoroscopic object W under a high fluoroscopic magnification.
  • it is possible to sensuously grasp which part of the fluoroscopic object W is viewed through the center of the visual field.
  • an optical image stored in advance in the storage device an image obtained by changing two parameters ⁇ and ⁇ to a plurality of values is photographed.
  • ⁇ is 5 °. If the images are taken at different intervals, 72 images are needed by themselves, and if the ⁇ is changed at each angle, the required number of optical images O becomes enormous. To avoid this, the parameter is only ⁇ , and ⁇ can be dealt with in the way the marker is displayed.
  • FIG. 4 is an explanatory diagram of the display example, and this display corresponds to a state in which the fluoroscopic object W is inclined by ⁇ as shown in FIG. That is, in this example, light
  • the optical image Ol viewed from the X-ray fluoroscopic direction similar to the previous example and the directional force orthogonal to the optical image 02 as shown in the previous example are displayed as the academic image, and X-ray light is displayed on each of these optical images Ol, 02.
  • Markers Ml and M2 representing the axis are displayed in a superimposed manner.
  • the marker Ml superimposed on the optical image Ol is a point representing the position of the X-ray optical axis L as in the previous example, and the marker M2 superimposed on the optical image 02 is given an angle corresponding to the tilt angle ⁇ shown in FIG. Line.
  • optical images Ol, 02 orthogonal to each other are simultaneously displayed is shown.
  • these optical images Ol, 02 are selectively switched. It can be configured to display.
  • the force shown in the example in which the tilt mechanism is provided on the sample stage 3 For this tilt, the X-ray source 1 and the X-ray detector 2 are integrally held by a C-shaped frame or the like.
  • the CCD camera 5 may also be tilted with respect to the sample stage 3.
  • the CCD camera 5 and the X-ray source 1 may be held together by a frame or the like.

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Abstract

　透視倍率を下げて透視位置や透視方向等を確認する等の作業を行うことなく、 透視対象物の透視方向や透視位置を常に直感的にかつ容易に把握することのできるＸ線透視装置を提供する。 　試料ステージ３上の透視対象物Ｗを撮影する光学カメラ５を設けるとともに、その光学カメラ５により、透視作業に先立って試料ステージ３を駆動して複数の姿勢で透視対象物Ｗを撮影して記憶装置１４に記憶しておき、透視作業中には、記憶装置１４に記憶している光学像のなかから、現時点において透視方向から見た透視対象物Ｗの像に最も近い光学像Ｏを選択して表示器１３に表示することで、透視方向を直感的に把握することを可能とし、光学像Ｏに加えて、Ｘ線光軸Ｌの位置を表すマーカーＭを重畳表示することにより、透視位置を直感的に把握することをも可能とする。  

Description

明 細 書
X線透視装置
技術分野
[0001] 本発明は、産業用の X線透視装置に関し、特にアルミ铸物などの内部欠陥を非破 壊のもとに観察するのに適した X線透視装置に関する。
背景技術
[0002] アルミ铸物などの物品の内部欠陥を非破壊のもとに検査する装置として、従来、 X 線源と X線検出器の間に、被検査物 (透視対象物）を固定して移動並びに回動させ る試料ステージを配置した X線透視装置が知られて ヽる (例えば特許文献 1参照)。
[0003] この種の装置においては、一般に、試料ステージの位置や回動角度に基づく透視 対象物の位置や姿勢は、オペレータが X線透視画像を見ながら行うか、あるいは装 置カバー等に設けられている観察窓から実際の透視対象物の位置や姿勢を確認し ながら試料ステージの駆動機構を操作する。
特許文献 1：特開 2003 - 279502号公報
発明の開示
発明が解決しょうとする課題
[0004] ところで、以上のような X線透視装置にぉ ヽては、例えば高!ヽ倍率で透視をして!/ヽ る状態などにおいて、それが透視対象物をどの方向力 透視しているの力 更にはど の位置を透視して 、るのかが判らな 、場合、 X線源と透視対象物間の距離を変える ことにより透視倍率を下げて、例えば透視対象物の全体の透視像から、透視方向や 視野中心の位置などを確認したうえで、再度倍率を上げて透視するという作業手順 が一般的に行われており、このことが作業効率を低下させる一因となっている。
[0005] 本発明はこのような実情に鑑みてなされたもので、倍率を下げて透視位置や透視 方向等を確認する等の作業を行うことなぐ透視対象物の透視方向を、加えて透視 位置を常に直観的かつ容易に把握することのできる X線透視装置の提供をその課題 としている。
課題を解決するための手段 [0006] 上記の課題を解決するため、本発明の X線透視装置は、 X線源と X線検出器とが対 向配置され、これらの間に透視対象物を固定するための試料ステージが設けられて いるとともに、その試料ステージを上記 X線源と X線検出器との対に対して相対的に 移動および回動させる駆動機構を備えた X線透視装置にぉ 、て、上記試料ステージ 上の透視対象物を撮影する光学カメラと、あらかじめ上記試料ステージを駆動して透 視対象物を複数の方向カゝら上記光学カメラで撮影した複数の光学像を記憶する記 憶手段を備え、 X線の透視画像の観察時に、上記試料ステージの位置および回動 状態に基づき、上記記憶手段に記憶している複数の光学像のなかから、 X線透視方 向から見た透視対象物の状態に最も近い光学像を選択して表示器に表示する光学 像表示手段を備えていることによって特徴づけられる。
[0007] ここで、本発明にお 、ては、上記光学像表示手段が、上記表示器の画面上に透視 対象物の光学像に重畳させて X線光軸の位置および方向の少なくともどちらか一方 を表すマーカーを表示する構成を好適に採用することができる。
[0008] また、本発明においては、上記光学像表示手段が、 X線透視方向から見た透視対 象物の状態に最も近い光学像に加えて、前記 X線透視方向に直交する方向から撮 影した光学像を上記表示器に同時もしくは切り換え可能に表示する構成を採用する ことができる。
[0009] 更に、本発明にお 、ては、上記表示器上で X線光軸の位置および Zまたは方向を 表すマーカーを移動させることにより、 X線光軸と透視対象物との関係が移動後のマ 一力一の位置および zまたは方向に一致するよう、上記駆動機構を自動的に駆動す る制御手段を備えた構成を採用することもできる。
[0010] 上記 X線透視装置の構成によれば、装置内に設けた光学カメラにより透視 (検査） 作業の前に複数の方向から透視対象物の光学 (外観像)を撮影して記憶しておき、 透視作業中の試料ステージの位置や姿勢に応じて、その時点にぉ 、て X線透視方 向から見た透視対象物の状態に最も近い光学像を表示器に表示する。これにより、 透視作業中においてオペレータは常に X線透視方向から見た透視対象物の姿を確 認することができ、直感的にどの方向から透視対象物を透視しているのかを判断する ことができる。 [0011] また、上記 X線透視装置によれば、上記の構成に加えて、表示器に表示されている 光学像に、 X線光軸の位置および Zまたは方向を表すマーカーを重畳表示する機 能を持たせると、透視対象物の透視方向に加えて透視の視野中心をも直感的に把 握することができる。
[0012] 更に、上記 X線透視装置によれば、上記した光学像に加えて、その光学像と直交 する方向から撮影した光学像を同時もしくは切り換え可能に表示すれば、表裏の判 別がつきにくい透視対象物でも透視方向を容易に判断することができ、また、上記 X 線透視装置におけるマーカー表示との組み合わせにおいて、 X線光軸方向の表示 が容易となる。
[0013] 上記 X線透視装置によれば、光学像とともに表示されているマーカーを移動させる ことにより、透視対象物と X線光軸の位置および Zまたは方向の関係が、移動後のマ 一力一と透視対象物の位置および Zまたは方向と一致するように、試料ステージを 自動的に駆動するように構成すれば、透視方向'位置の変更をも直感的に行うことが 可能となる。
発明の効果
[0014] 本発明によれば、 X線透視方向から見た透視対象物の光学像が表示器に表示さ れるので、オペレータは従来のように透視倍率を低下させて透視方向や位置を確認 することなく、常にどの方向カゝら透視対象物を透視しているのかを直感的に把握する ことができる。
[0015] また、上記 X線透視装置のように、 X線透視方向カゝら見た光学像に対して、 X線光 軸の位置および zまたは方向を表すマーカーを重畳表示するように構成すれば、透 視方向のみならず透視の視野中心をも直感的に把握することができる。
[0016] 上記 X線透視装置のように、 X線透視方向力も見た光学像にカ卩えて、それに直交 する方向から撮影した光学像を同時または切り換え可能に表示すれば、 X線の透視 方向をより確実に把握することができ、上記 X線透視装置におけるマーカーの表示も 容易となる。
[0017] そして、上記 X線透視装置のように、光学像上のマーカーの移動により、実際の透 視対象物と X線光軸との関係が移動後のマーカーと光学像の関係と一致するように 試料ステージを自動的に駆動制御するように構成すれば、透視対象物の透視方向 および Zまたは透視位置の変更をも直感的に行うことが可能となる。
図面の簡単な説明
[0018] [図 1]本発明の実施の形態の構成図で、機械的構成を表す模式図とシステム構成を 表すブロック図とを併記して示す図である。
[図 2]本発明の実施の形態における CCDカメラ 5による透視対象物 Wの外観を撮影 した光学像の例を示す図である。
[図 3]本発明の実施の形態における表示器 13の表示例の説明図である。
[図 4]本発明の他の実施の形態における表示器の表示例の説明図である。
[図 5]図 4の表示状態における透視対象物 Wと X線光軸 Lの関係を示す図である。 符号の説明
[0019] 1 X線源
2 X線検出器
3 試料ステージ
4 5軸制御装置
5 CCDカメラ
11 パーソナルコンピュータ
12a, 12b キヤプチヤーボード
3 表 ¾：
14 記憶装置
R 回転中心軸
T 傾動中心軸
W 透視対象物
発明を実施するための最良の形態
[0020] 以下、図面を参照しつつ本発明の実施の形態について説明する。
図 1は本発明の実施の形態の構成図で、機械的構成を表す模式図とシステム構成 を表すブロック図とを併記して示す図である。
[0021] X線源 1に水平方向に対向して X線検出器 2が配置されており、これらの間に透視 対象物 Wを搭載するための試料ステージ 3が配置されている。試料ステージ 3は、 X 線源 1からの X線光軸方向（X軸方向）、水平面上でその X軸方向に直交する y軸方向 、および鉛直の z軸方向に移動のための移動機構を内蔵しているとともに、 z軸に平 行な回転中心軸 Rの回りの回転（ φ )のための回転機構と、 y軸に平行な傾動中心軸 Tの回りの傾動（ Θ )のための傾動機構をも内蔵している。これらの各機構は、パーソ ナルコンピュータ 11の制御下に置かれている 5軸制御装置 4からの駆動信号によつ て駆動制御される。
[0022] X線検出器 2はイメージインテンシファイアと CCDとを組み合わせたもの、もしくはパ ネル型検出器であって、その出力はパーソナルコンピュータ 11に組み込まれて 、る キヤプチヤーボード 12aに取り込まれ、表示器 13に X線透視画像としてライブ表示さ れる。
[0023] X線源 1に隣接して CCDカメラ 5が配置されて!、る。この CCDカメラ 5の光軸は、 X 線源 1からの X線光軸 Lと同じ水平面上に位置し、かつ、その水平面上で X線光軸 L 力も既知の角度 αだけずれた位置に設定されている。この CCDカメラ 5は、以下に 示すように X線透視に先立って試料ステージ 3上の透視対象物 Wを複数の方向から 撮影するためのものであって、その出力はパーソナルコンピュータ 11に組み込まれ ている別のキヤプチヤーボード 12bに取り込まれ、各方向から撮影した透視対象物 W の光学像 (外観像）は記憶装置 14に格納される。
[0024] 次に、以上の構成力 なる本発明の実施の形態の使用方法並びに動作について 述べる。透視対象物 Wを試料ステージ 3に載せた後、その X線透視に先立ち、試料 ステージ 3を駆動して透視対象物 Wの姿勢を逐次変更しながら、図 2に例示するよう に、 CCDカメラ 5により複数の姿勢の外観像を撮影する。この撮影動作はパーソナル コンピュータ 11にその旨の指令を与えることによって自動的に行われる。すなわち、 例えば、試料ステージ 3が原点位置に位置している状態で、回転軸 Rの回りに φを例 えば数 ° 〜十数 ° 間隔で 360° にわたつて回転させて透視対象物 Wの外観を撮影 し、また、 φの各角度において傾動軸 Tの回りに Θを数 ° 刻みで数段階に傾動させ て透視対象物 Wの外観を撮影し、これらの記憶装置 14に記憶する。ここで、透視対 象物 Wの大きさによっては光学像が過大もしくは過小となる可能性がある力 これは CCDカメラ 5にズーム機能を持たせる力、あるいはパーソナルコンピュータ 11により デジタルズーム機能を備えることによって対処することができる。
[0025] 以上の外観像の撮影が終了した後、 X線透視を行う。このとき、表示器 13には、図 3に例示するように、透視対象物 Wの X線透視像とともに、記憶装置 14に記憶してい る透視対象物 Wの光学像 (外観像)のなかから、 X線透視方向から見た透視対象物 Wに最も近い光学像 Oが選択されて表示に供される。この選択は、試料ステージ 3の 回転角度 φについては、現時点における回転角度 φを X線光軸 Lに対する CCD力 メラ 5の光軸の X線検出器 2側の角度（π— α )分を補正したものを用い、また、現時 点における試料ステージ 3の傾動角度 Θと同じ傾動角度で撮影した光学像を選択す ること〖こよって行われる。
[0026] そして、このような光学像 Οに重畳させて、 X線光軸 Lの位置をマーカー Μによって 表示する。このマーカー Μは常に光学像 Οの画面の中心に位置するものとし、試料 テーブル 3を原点位置から y, z軸方向に移動させたときには、透視対象物 Wの光学 像 Oをスクロールにより該当寸法だけ画面上で移動させる。あるいは、光学像 Oは固 定してマーカー Mの位置を移動させてもよい。なお、試料ステージ 3を X軸方向に移 動させて透視拡大率を変化させた場合には、光学像およびマーカー Mは移動させ ない。
[0027] 以上のような光学像の表示により、オペレータは試料ステージ 3を X線源 1側に X軸 方向に接近させて高透視倍率のもとに透視対象物 Wを透視して ヽても、透視対象物 Wのどの部位を視野中心として透視しているかを感覚的に把握することができる。
[0028] ここで、以上の実施の形態においては、あらかじめ記憶装置に記憶する光学像とし て、 2つのパラメータ φおよび Θをそれぞれ複数に変化させたものを撮影したが、例 えば φを 5° 間隔で変化させて撮影した場合にはそれだけで 72枚の画像が必要と なり、その各角度において Θを変化させたものを撮影すると、光学像 Oの必要枚数が 多大なものとなる。これを避けるために、パラメータは φだけとし、 Θについてはマー カーの表示の仕方で対処することができる。
[0029] 以下にその例を示す。図 4はその表示例の説明図であり、この表示は、図 5に示す ように透視対象物 Wを Θだけ傾けた状態に対応している。すなわち、この例では、光 学像として、先の例と同様の X線透視方向から見た光学像 Olと、それに直交する方 向力 撮影した光学像 02を表示し、これらの各光学像 Ol, 02に、 X線光軸を表す マーカー Ml, M2を重畳表示する。光学像 Olに重畳するマーカー Mlは先の例と 同様に X線光軸 Lの位置を表すポイントとし、光学像 02に重畳するマーカー M2は、 図 5に示す傾動角度 Θに対応する角度を付与した線とする。これにより、試料ステー ジ 3を 0だけ傾動させたとき、それに対応する光学像を表示することなぐマーカー M 2の姿勢により透視方向が Θだけ傾いていることをオペレータに知らしめることができ る。
[0030] また、以上のようなマーカー Mあるいは Ml, M2を光学像 Oあるいは Ol, 02上で マウス等を用いて移動させたとき、その移動後の光学像とマーカーとの関係に、実際 の透視対象物 Wと X線光軸 Lとの関係が一致するように、 5軸制御装置 4に対してパ 一ソナルコンピュータ 11から制御指令を発生して試料ステージ 3を自動的に移動さ せることができる。具体的には、マーカー Mないしは Mlを画面上で y, z方向へ移動 させたとき、それに追随して光学像 Oないしは Ol, 02がスクロールしてマーカー M, Mlは画面中央に戻ると同時に、試料ステージ 3がそのスクロール量に対応する量だ け y, z方向に移動する。また、マーカー M2の角度を変化させたとき、その変化量に 応じた角度だけ試料ステージ 3を傾動させる。このような機能を持たせることにより、ォ ペレータは光学像の画面を見ながら透視方向や透視位置を直感的に変化させること が可能となる。
[0031] なお、図 4の例では、互いに直交する光学像 Ol, 02を同時に表示した例を示した 力 表示エリアに制約がある場合などはこれらの光学像 Ol, 02を選択的に切り換え て表示するように構成してもよ ヽ。
また、以上の実施の形態においては、試料ステージ 3に傾動機構を設けた例を示し た力 この傾動については、 X線源 1と X線検出器 2を C形のフレーム等で一体に保 持し、これらの対を試料ステージ 3に対して傾動させることによって実現することもでき る。この場合、 CCDカメラ 5も、試料ステージ 3に対して傾動させてもよい。 CCDカメラ 5と X線源 1とを、フレーム等で一体に保持してもよい。 本発明を詳細にまた特定の 実施態様を参照して説明したが、本発明の精神と範囲を逸脱することなく様々な変 更ゃ修正を加えることができることは当業者にとって明らかである。
本出願は、 2004年 9月 22日出願の日本特許出願 (特願 2004— 275240)に基づくも のであり、その内容はここに参照として取り込まれる。

Claims

請求の範囲
[1] X線源と X線検出器とが対向配置され、これらの間に透視対象物を固定するための 試料ステージが設けられているとともに、その試料ステージを上記 X線源と X線検出 器との対に対して相対的に移動および回転させる駆動機構を備えた X線透視装置に おいて、
上記試料ステージ上の透視対象物を撮影する光学カメラと、あらカゝじめ上記試料ス テージを駆動して透視対象物を複数の方向カゝら上記光学カメラで撮影した複数の光 学像を記憶する記憶手段を備え、 X線の透視画像の観察時に、上記試料ステージの 位置および回動状態に基づき、上記記憶手段に記憶して!/、る複数の光学像のなか から、 X線透視方向カゝら見た透視対象物の状態に最も近い光学像を選択して表示器 に表示する光学像表示手段を備えていることを特徴とする X線透視装置。
[2] 上記光学像表示手段は、上記表示器の画面上に透視対象物の光学像に重畳させ て X線光軸の位置および方向の少なくともどちらか一方を表すマーカーを表示するこ とを特徴とする請求項 1に記載の X線透視装置。
[3] 上記光学像表示手段は、 X線透視方向から見た透視対象物の状態に最も近い光 学像に加えて、前記 X線透視方向に直交する方向から撮影した光学像を上記表示 器に同時もしくは切り換え可能に表示することを特徴とする請求項 1または 2に記載 の X線透視装置。
[4] 上記表示器上で X線光軸の位置および方向の少なくともどちらか一方を表すマー カーを移動させることにより、 X線光軸と透視対象物との関係が移動後のマーカーの 位置および方向の少なくともどちらか一方に一致するよう、上記駆動機構を自動的に 駆動する制御手段を備えていることを特徴とする請求項 2または 3に記載の X線透視 装置。
[5] 対向配置された X線源と X線検出器、およびこれらの間に設けられた透視対象物を 固定するための試料ステージを有する X線透視装置における X線透視方法であって 前記試料ステージを前記 X線源と前記 X線検出器との対に対して相対的に移動お よび回転させて駆動しながら、あらかじめ前記透視対象物を複数の方向から光学カメ ラで撮影し取得した複数の光学像を記憶し、
X線の透視画像の観察時に、前記試料ステージの位置および回動状態に基づき、 記憶して 、る複数の光学像の中から、 X線透視方向から見た前記透視対象物の状 態に最も近い光学像を選択して表示器に表示することを特徴とする。
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