WO2005122241A1

WO2005122241A1 - 容器開閉装置及びその容器載置位置調整方法

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Publication number: WO2005122241A1
Application number: PCT/JP2004/008670
Authority: WO
Inventors: Noriyoshi Toyoda
Original assignee: Hirata Corp
Current assignee: Hirata Corp
Priority date: 2004-06-14
Filing date: 2004-06-14
Publication date: 2005-12-22
Anticipated expiration: 2006-12-14
Also published as: JPWO2005122241A1; JP4526535B2; US20080019804A1

Abstract

　少なくとも、半導体ウエハ14を複数枚収納可能な容器10を載置して位置決めするドックプレート31と、ドッグプレート31を容器受渡位置と容器ドア13が着脱される作業位置との間で移動させるドック移動機構30と、容器ドア13を着脱・保持する着脱・保持機構を有するポートドア23と、ポートドア23を水平に移動させるポートドア進退機構と、容器ドア13を格納するためにポートドア23が容器ドア13を保持した状態でポートドアを垂直に移動させるポートドア昇降機構と、ポートドア23により閉塞される開口部を有するポートプレート21とからなる容器開閉装置１において、ドック移動機構30は、ドックプレート31の停止位置を所望の位置に変更可能とする停止位置可変手段を備えている。

Description

明細書容器開閉装置及びその容器載置位置調整方法技術分野

本願の発明は、半導体ウェハを所定の間隔で、水平に、複数枚収納して搬送する密閉可能な容器を開閉するための容器開閉装置及びその容器載置位置調整方法に関し、特に容器を受け渡す載置部において、容器の載置位置を所望の位置に変更可能とするその機構と方法とに関する。背景技術

近年、大規模なクリーンルームに対する投資の削減と工程の自動化を目的として、ミニエンバイロンメントと呼ばれる局所的なクリーンルームを使用した設備が増加してきている。ミニエンバイロンメント方式のプロセスでは、高い清浄状態に保たれた設備を部分的に設け、その設備内でのウェハのハンドリングを行なう。そして、ウェハ搬送時には、密閉型のウェハキャリア（F O U P： Front Opening Unified Pod ) を利用し、ウェハをパ一ティクルから保護する。

ミニエンバイロンメント環境で利用されるウェハキャリアは、ロヅク機構によって搬送中に簡単に開かないようになつており、その開閉を自動で行なうには、 F O U Pォ一ブナと呼ばれる専用の容器開閉装置を必要とする。そして、ウェハキャリアは、天井搬送装置や移載装置などの搬送装置で他の工程から搬送され、 F O U Pオーブナの載置部上部に搬送され、載置部との間で移載される。

F O U Pオーブナは通常、プロセス装置へのウェハ入出口に設置されており、その寸法は、 S E M I (Semiconductor Equipment Materials International) によって規格化されている。同様に、ウェハキャリアの寸法も S E M I規格で規定されており、 F O U Pォ一ブナの載置部位置の位置決めピンとウェハキャリアの位置決め溝とがー致して確実に F 0 U Pォ一ブナの載置位置にウェハキャリアが載置されるようになっている。そのため、ゥェハキャリアの位置決め溝は、必要最小限の溝穴となっており、容易に位置決めできるように円錐状に加工している。そうすることで、天井搬送装置や移載装置によって搬送されてきたウェハキャリアが F O U Pオーブナの載置部と搬送装置との間で正確に移載される。一方、天井搬送装置や移載装置などの搬送装置は、停止位置に多少のばらつきがあり、 F 0 U Pオーブナの載置部と移載装置との間でウェハキャリアを移載するために、 X · Y 方向の位置合わせを行なわなくてはならない。このとき、天井搬送装置や移載装置の X方向（走行方向）は、停止位置の修正により比較的調整し易いが、 Y方向については、走行軌道の調整や、 F 0 U Pォ一ブナの設置位置調整又は F 0 U Pオーブナが設置されているプロセス装置全体の位置調整をしなくてはならない。

その解決策として、移載装置のウェハキャリア保持部にアーム型の機構を構成して、ゥェハキャリアを任意の方向に移動し、載置部に載置するようにしている（特開 2 0 0 3— 0 5 1 5 2 7号公報参照）。発明の開示

しかしながら、キャリア保持部へアーム型機構を構成して、 F O UPォ一ブナの載置部と移載装置との間でウェハキャリアを移載するようになると、アームの旋回範囲の確保が必要になる。また、移載装置支持部からウェハキャリア保持部までの距離が長くなり、移載機構の水平動作の位置決め時にウェハキヤリアの振動が発生し、発生した振動が停止するまで、その場で待機しなくてはならなくなり、ウェハキャリアの移載時間に影響が出る。また、移載装置にアーム型機構などの追加機構を備えると、大掛かりな装置となり、コストアップとなる。

本願の発明は、従来の容器開閉装置（F O U Pオーブナ）及びその容器載置位置調整方法が有する前記のような問題点を解決して、容器開閉装置に備わるドックプレートの位置と、容器に備わるドックプレートへの位置決め溝とのずれを調節し、スムースにドックプレートの容器載置位置と容器の位置決め溝との位置合わせをすることが可能な容器開閉装置及びその容器載置位置調整方法を提供することを課題とする。本願の発明によれば、このような課題は、次のような容器開閉装置及びその容器載置位置調整方法により解決される。

すなわち、その容器開閉装置は、少なくとも、半導体ウェハを所定の間隔で水平に複数枚収納可能な容器を載置して位置決めするドックプレートと、前記ドッグプレートを容器受渡位置と容器ドアが着脱される作業位置との間で移動させることが可能なドック移動機構と、前記容器ドアを着脱する着脱機構と前記容器ドアを保持する保持機構とを有するポ —トドアと、前記ポートドアを水平に移動させるポートドア進退機構と、前記容器ドアを格納するために前記ポートドアが前記容器ドアを保持した状態で前記ポートドアを垂直に移動させるポートドア昇降機構と、前記ポートドアにより閉塞される開口部を有するポートプレートとからなり、前記ドヅグ移動機構は、前記ドックプレートの停止位置を所望の位置に変更可能とする停止位置可変手段を備えていることを特徴としている。

好ましい実施形態では、前記停止位置可変手段は、ドックプレートの停止位置を数値制御により所望の位置に変更する制御手段を備えている。

別の好ましい実施形態では、前記停止位置可変手段は、容器ドアの取り外しを行なう方向へのドックプレートの移動方向を X方向とし、該 X方向と直交する方向を Y方向とするとき、ドックプレートの停止位置を X方向の所望の位置に変更可能とする。

さらに別の好ましい実施形態では、前記停止位置可変手段は、容器ドアの取り外しを行なう方向へのドックプレートの移動方向を X方向とし、該 X方向と直交する方向を Y方向とするとき、ドックプレートの停止位置を X方向及び Y方向の所望の位置に変更可能とする。

前記のように、ドッグ移動機構が容器開閉装置のドックプレートの停止位置を所望の位置に変更可能とする停止位置可変手段を備えることで、容器を搬送装置と容器開閉装置の容器載置部（ドックプレートに備えられる）との間で受渡をするとき、の容器載置位置を所望の位置に容易に柔軟に位置決めすることができ、異なる容器や搬送装置と容器開閉装置の容器載置部とのずれに個別に、容易に対応することが可能になり、さらに、これを数値制御により行なうことで、自動で正確に容器の受渡移載をすることができるとともに、停止位置確認をする特別な機構を設けなくてもよい。また、その容器開閉装置は、少なくとも、半導体ウェハを所定の間隔で水平に複数枚収納可能な容器を載置して位置決めするドックプレートと、前記ドックプレートを容器受渡位置と容器ドアが着脱される作業位置との間で移動させることが可能なドッグ移動機構と、前記容器ドアを着脱する着脱機構と前記容器ドア保持する保持機構とを有するポートドアと、前記ポートドアを水平に移動させるポートドア進退機構と、前記容器ドアを格納するために前記ポートドアが前記容器ドアを保持した状態で前記ポートドアを垂直に移動させるポートドア昇降機構と、前記ポートドアにより閉塞される開口部を有するポートプレー卜とからなり、前記ドヅグ移動機構は、前記ドックプレートの停止位置を確認する停止位置確認手段と、前記停止位置確認手段の設置位置を所望の位置に変更可能とする設置位置可変手段とを備えていることを特徴としている。

好ましい実施形態では、前記設置位置可変手段は、停止位置確認手段の設置位置を数値制御により所望の位置に変更する制御手段を備えている。

別の好ましい実施形態では、前記設置位置可変手段は、容器ドアの取り外しを行なう方向へのドックプレートの移動方向を X方向とし、該 X方向と直交する方向を Y方向とするとき、停止位置確認手段の設置位置を X方向の所望の位置に変更可能とする。

さらに別の好ましい実施形態では、前記設置位置可変手段は、容器ドアの取り外しを行なう方向への前記ドックプレートの移動方向を X方向とし、前記 X方向と直交する方向を Y方向とするとき、停止位置確認手段の設置位置を X方向及び Y方向の所望の位置に変更可能とする。

前記のように、ドヅグ移動機構が容器開閉装置のドヅクプレートの停止位置を確認する停止位置確認手段を備え、この停止位置確認手段の設置位置を所望の位置に変更可能とする設置位置可変手段をさらに備えることで、容器を搬送装置と容器開閉装置の容器載置部

(ドックプレートに備えられる）との間で受渡をするとき、ドックプレートの停止位置を正確に確実に確認した上で、これに基づいてドックプレート上の容器載置位置を所望の位置に容易に柔軟に位置決めすることができ、異なる容器や搬送装置と容器開閉装置の容器載置部とのずれに個別に、正確かつ確実に、容易に対応することが可能になり、さらに、これを数値制御により行なうことで、自動でさらに正確に容器の受渡移載をすることができる。また、その容器開閉装置の容器載置位置調整方法は、少なくとも、半導体ウェハを所定の間隔で水平に複数枚収納可能な容器を載置して位置決めするための容器載置手段と、前記容器載置手段を容器受渡位置と容器ドアが着脱される作業位置との間で移動可能にするための移動手段と、前記移動手段により前記作業位置に移動させられた前記容器載置手段に載置された前記容器の容器ドアを着脱するための着脱手段とを備えた容器開閉装置の容器載置位置調整方法であって、前記移動手段は、前記容器載置手段の停止位置を所望の位置に変更可能とすることを特徴としている。

好ましい実施形態では、前記移動手段は、容器載置手段の停止位置を数値制御により所望の位置に変更する。

前記のような容器載置位置調整方法としているので、移動手段が容器載置手段の停止位置を所望の位置に変更可能とすることで、容器を搬送装置と容器開閉装置の容器載置部（容器載置手段に備えられる）との間で受渡をするとき、容器載置部を所望の位置に容易に柔軟に位置決めすることができ、異なる容器や搬送装置と容器開閉装置の容器載置部とのずれに個別に、容易に対応することが可能になり、さらに、これを数値制御により行なうことで、自動で正確に容器の受渡移載をすることができるとともに、停止位置確認をする特別な機構を設けなくてもよい。さらに、その容器開閉装置の容器載置位置調整方法は、少なくとも、半導体ウェハを所定の間隔で水平に複数枚収納可能な容器を載置して位置決めするための容器載置手段と、前記容器載置手段を容器受渡位置と容器ドアが着脱される作業位置との間で移動可能にするための移動手段と、前記移動手段により前記作業位置に移動させられた前記容器載置手段に載置された前記容器の容器ドアを着脱するための着脱手段とを備えた容器開閉装置の容器載置位置調整方法において、前記移動手段は、前記容器載置手段の停止位置を確認する位置を所望の位置に変更可能とすることを特徴としている。

好ましい実施形態では、前記移動手段は、容器載置手段の停止位置を確認する位置を数値制御により所望の位置に変更する。

前記のような容器載置位置調整方法としているので、移動手段が容器載置手段の停止位置を確認する位置を所望の位置に変更可能とすることで、容器を搬送装置と容器開閉装置の容器載置部（容器載置手段に備えられる）との間で受渡をするとき、移動手段が容器載置手段の停止位置を正確に確実に確認した上で、これに基づいて容器開閉装置の容器載置部を所望の位置に容易に柔軟に位置決めすることができ、異なる容器や搬送装置と容器開閉装置の容器載置部とのずれに個別に、正確かつ確実に、容易に対応することが可能になり、さらに、これを数値制御により行なうことで、自動でさらに正確に容器の受渡移載をすることができる。以上のような本願の発明の容器開閉装置及びその容器載置位置調整方法の構成によれば、大掛かりな装置を必要とせずに、多種の容器や搬送装置と容器開閉装置の容器載置部との誤差に対応することが可能になり、搬送装置と容器開閉装置との間で正確に容器の受渡移載をすることができる。図面の簡単な説明

図 1は、本願の発明の第 1の実施例（実施例 1 ) の容器開閉装置に相当する F 0 U Pォ —ブナの概観図である。

図 2は、同 FO UPオーブナの概略図であって、（a) は縦断面図、（b) は部分正面図、（c) は平面図である。

図 3は、本願の発明の第 2の実施例（実施例 2) における FOUPオーブナの概略図であって、（a) は縦断面図、（b) は部分正面図、（c) は平面図である。

図 4は、本実施例 1とその変形例におけるドヅク位置調整機構（ドック移動機構）の概' 略図である。

図 5は、本実施例 2とその変形例におけるドック位置調整機構（ドック移動機構）の概略図である。

図 6は、本実施例 1において、 FOUPが作業位置まで前進して、 FOUPドアがポートドアの係合面に接触した基本状態を示す動作図である。

図 7は、本実施例 1において、ドックプレートと FOUPとの位置合わせする状態を示す動作図である。

図 8は、本実施例 2において、ドヅクプレートと FOUPとの位置合わせする状態を示す動作図である。

図 9は、本実施例 1における F OUPオーブナの概略制御構成図である。

図 10は、本実施例 2における FOUPオーブナの概略制御構成図である。

図 11は、従来例において、ドックプレートと FOUP搬送装置との位置合わせを行なう場合の概略フローチヤ一ト図である。

図 12は、本実施例 2において、ドックプレートと FOUP搬送装置との位置合わせを行なう場合の概略フローチャート図である。

図 13は、本実施例 2とその変形例における検出センサ移動機構の他の実施形態を示す概略図である。

図 1 4は、本実施例 1とその変形例におけるドック移動機構の他の実施形態を示す概略図である。発明を実施するための最良の形態

少なくとも、半導体ウェハを所定の間隔で水平に複数枚収納可能な容器を載置して位置決めするドックプレートと、該ドッグプレートを容器受渡位置と容器ドアが着脱される作業位置との間で移動させることが可能なドック移動機構と、容器ドアを着脱する着脱機構と該容器ドアを保持する保持機構とを有するポートドアと、該ポートドアを水平に移動させるポートドア進退機構と、容器ドアを格納するためにポートドアが容器ドアを保持した状態でポートドアを垂直に移動させるポートドア昇降機構と、ポートドアにより閉塞される開口部を有するポートプレートとからなる容器開閉装置において、ドヅグ移動機構は、ドヅクプレートの停止位置を所望の位置に変更可能とする停止位置可変手段を備えるものとする。

この停止位置可変手段は、ドヅクプレ一トの停止位置を数値制御により所望の位置に変更する制御手段を備えるものとし、さらに、容器ドアの取り外しを行なう方向へのドックプレートの移動方向を X方向とし、 X方向と直交する方向を Y方向とするとき、ドックプレートの停止位置を少なくとも X方向の所望の位置に変更可能とする。なお、ドックプレートの停止位置を確認■検出するために、停止位置確認手段を具備せしめるのがよい。実施例 1

次に、本願の発明の第 1の実施例（実施例 1 )を、図面を参照しつつ、詳細に説明する。図 1は、本実施例 1の容器開閉装置に相当する F O U Pオーブナの概観図、図 2は、同 F O U Pオーブナの概略図であって、（a) は縦断面図、（b ) は部分正面図、（c ) は平面図、図 4は、本実施例 1とその変形例におけるドヅク位置調整機構（ドヅク移動機構 ) の概略図、図 6は、本実施例 1において、 F O U Pが作業位置まで前進して、 F O U P ドアがポートドアの係合面に接触した状態を示す動作図、図 7は、本実施例 1において、ドヅクプレ一トと F O U Pとの位置合わせする状態を示す動作図、図 9は、本実施例 1における F O U Pオーブナの概略制御構成図、図 1 1は、従来例において、ドヅクプレ一トと搬送装置との位置合わせを行なう場合の概略フローチャート図、図 12は、本実施例 1 において、ドックプレートと搬送装置との位置合わせを行なう場合の概略フロ一チヤ一ト図である。

図 1及び図 2において、 011?ォ一プナ1は、 FOUP10内のウェハ 14の転送のために、外部汚染空間 300の雰囲気にウェハ 14を曝すことなく FOUPドア 13を開放して、 F OUP内第 1制御空間 100 と第 2制御空間 200 とを連通させる役割を担う。そのため、 F OUP10は、 FOUPオーブナ 1の定められた位置に確実に載置される必要がある。そこで、本実施例 1においては、このような課題がどのようにして解決されているかを、以下に説明する。

本実施例 1における FOUPオーブナ 1の構成要素は、図 2および図 4 (a) に図示されるように、少なくとも、半導体ウェハ 14を所定の間隔で、水平に、複数枚収納した F〇 UP10と、 FOUP10を載置して位置決めするドックプレート 31と、ドックプレート 31を FOUP受渡位置と FOUPドア 13が着脱される作業位置との間で移動させるドック移動機構 30と、 FOUPドア 13を着脱する着脱機構と FOUPドア 13を保持する保持機構とを内蔵して有するポートドア 23と、ポートドア 23を水平に移動させるポートドア進退機構 40 と、 FOUPドア 13を格納するために、ポートドア 23が FOUPドア 13を保持した状態で、ポートドア 23を垂直に移動させるポートドア昇降機構 50と、ポートドア 23により閉塞される開口部を有するポートプレート 21とからなっている。

FOUP10は、 FOUPフレーム 11と FOUPドア 13とからなり、 FOUPドア 13は、 F 0 U Pフレーム 11の前方開口 12を開閉する蓋体をなす。

ドック移動機構 30は、 FOUP10に形成されている位置決め溝 15と容易に一致するように位置決め溝 15より若干小さい位置決めピン 32が、位置決め溝 15と略同じ間隔で取り付け固定されるドックプレート 31と、ドックプレート 31の下方に配置されるベース 321と、ベ —ス 321の上面に固定して取り付けられ、嵌合溝が形成されたレール 322 と、一定間隔を空けてレール 322の嵌合溝に摺動可能に嵌合する二つの摺動部材 323 と、ドックプレート 31の下方に配置されるベース 311 と、ベース 311上に配置されるドックプレート 31を移動させるための駆動源となるドック移動モー夕 312と、ドック移動モータ 312の出力軸の回転とともに回転可能にベース 311上に取り付けられて支持され、ネジ溝が形成されたボールネジ 313 と、ボ一ルネジ 313の回転時にボールネジ 313のネジ溝に螺合して水平移動する伝達部材 314と、ドックプレート 31の下面に設けられ、ドックプレート 31が移動するときドヅクプレ一ト 31とともに移動して、ドックプレート 31上に載置された F◦ U P 10がドヅクプレート 31上から落下しないようにドックプレート 31上に F 0 U P 10を一時的に固定するロック機能を備えたロック機構 330 とから構成される。

ロヅク機構 330は、回転動力を出力するロックモ一夕 332と、ロックモー夕 332の出力軸に接続されて回転出力を伝達することを可能とするドックプレート 31の下面に取り付け固定された伝達機構 333 と、ドックプレート 31の下面に取り付け固定されて軸受を備えた支持部材 335 と、支持部材 335 の軸受に回転可能に支持されて一方の端部を伝達機構 333 に接続した伝達部材 334と、伝達部材 334の一部に取り付け固定され、伝達部材 334が動作するとともに動作するロックへヅド 336 とから構成されている。

さらに、ドヅク移動機構 30は、ドックプレート 31を検出する検出確認機構 340をドックプレート 31の下方に備える。検出確認機構 340は、検出センサ 343a、 343bを備え、これらの検出センサ 343a、 343bは、取付部材 342a、 342bへそれそれ取り付け固定される。取付部材 342a、 342bは、ドックプレート 31の下方に配置されるベース 331の上部に取り付け固定された固定部材 341a、 341bにそれそれ取り付け固定される。実施例 1の変形例

次に、本実施例 1の変形例について、図 4 ( a )、 ( b ) を参照しつつ、詳細に説明する。

なお、図 4 ( a ) と図 4 ( b ) との違いは、ドック移動機構部分の構造に関し、図 4 ( b ) に図示されるドック移動機構 30は、 X · Y方向の 2方向にドックプレート 31を移動する構成となっている点で異なる。その他の点については変わりがないので、これらについては、同じ名称と符号とを用いることとし、その詳細な説明を省略する。

図 4 ( a ) のドック移動機構 30では、摺動部材 323の取付面にドックプレート 31が取り付けられているが、図 4 ( b )のドヅク移動機構 30では、摺動部材 323の取付面に、ドヅクプレ一ト 31の移動方向を X · Y方向の 2方向にするために、ドックプレート 31に代えて補助プレート 31aが取り付けられている。補助プレート 31aの上面には、ポートドア 23の面と略平行になるようにして、 2本のレール 372が一定間隔をおいて略平行に取り付け固定されている。そして、それぞれのレール 372に沿って摺動可能に摺動部材 373がそれそれのレール 372に 2本ずつ取り付けられている。摺動部材 373の上面には、ドックプレート 31が取り付け固定されている。

また、 2本のレール 372の間には、ドヅクプレート 31を Y方向に移動するためのドックプレート移動機構 360が備えられている。ドックプレート移動機構 360は、駆動源としてドック移動モー夕 362 と、ドック移動モー夕 362の出力軸から出力される回転力を伝達するボールネジ 363 と、ボールネジ 363のネジ溝に螺合するとともに、ボールネジ 363の回転に伴って水平摺動する伝達部材 364とにより構成されている。そして、伝達部材 364がドックプレート 31の下面の一部に取り付け固定されることにより、ドックプレート 31を Y 方向へ移動可能にしている。

また、ドックプレート 31の Y方向への移動を検知して制限する検出センサ 383a、 383bが取付部材 382a、 382bへそれそれ取り付けられている。取付部材 382a、 382bは、補助プレート 31 aの上面端部の一部に取り付けられた固定部材 381a、 381bへそれそれ取り付けられ、 Y方向へ移動するドックプレート 31を検出センサ 383a、 383bが検出できるように、ドックプレート 31の 2個所の移動端にそれそれ対応させて取り付け固定されている。これらは、 Y方向へ移動するドヅクプレート 31を検出する検出確認機構をなしている。実施例 1の FOUP受取動作

次に、本実施例 1における F 0 U P 10の受け取りから F 0 U P 10の作業位置への移動までの動作について、図 6 (a) 〜（d) をもとに説明する。

ドックプレート 31は、 FOUP10がドヅクプレート 31上に載置されていない場合は、 F OUP受渡位置（ポートプレート 21から離れた位置）に待機している。このときの検出センサ 343a、 343bは、ドックプレート 31の動作範囲限界を定めるとともに、その停止位置を確認するためのドックプレート 31の確認手段として使用されている（図 6 (a) ) 。次に、図示されない搬送装置により FOUP10が FOUPォ一ブナ 1上に搬送され、搬送装置がドックプレート 31の略上方に停止する。停止後、搬送装置と FOUPオーブナ 1 との間で信号通信による遣り取りが行なわれ、 FOUP 10の位置決め溝 15とドックプレート 31上に設けられている位置決めピン 32とが合うように、 FOUP10がドヅクプレート 31 上に移載される（図 6 (b) ) 。

ドックプレート 31上に載置された FOUP10は、ロック機構 330のロヅク動作により、ドックプレート 31上に一時的に受け取られ固定される（図 6 (c) ) 。

FOUP10がドックプレート 31上にロックされると、 FOUP 10は、ドック移動機構 30 の作動により作業位置（ポートプレート 21に接近した位置）に移動させられる（図 6 (d

) ) o

作業位置に移動した FOUP10は、ポートドア 23に内蔵された FOUPドア開閉機構により FOUPドア 13のロックが解除され、 FOUPフレーム 11から FOUPドア 13が取り外される。その後、 FOUPドア 13は、ポートドア 23に保持され、ポートドア進退機構 40 により所定の位置まで水平移動が行なわれ、ポートドア昇降機構 50により所定の位置まで下降する。

以上が、 FOUP10が図示されていない搬送装置により搬送され、 FOUPオーブナ 1 で受け取られ、 FOUPドア 13が外されるまでの概略動作である。なお、 FOUPドア 13 の取付けから搬送装置への移載までは、受け取り動作の逆の順序で行なわれる。実施例 1の位置合わせ動作

次に、本実施例 1において、 FOUP10とドックプレート 31との間で、 FOUP10の位置決め溝 15とドックプレート 31の位置きめピン 32とを位置合わせする動作を図 7、図 9により説明する。

図示されない搬送装置により FOUP10が FOUPオーブナ 1の上方に到達すると、搬送装置と FOUPオーブナ 1との間で信号の確認が行なわれる。

確認した信号に基づいて、記憶部 61に記憶されているドヅクプレ一ト 31の受渡位置のデ —夕（後に説明される F 0 U Pォ一ブナ 1の設置時に記憶される搬送装置毎のドヅクプレ —ト 31の受渡位置デ一夕）を読み出す。

読み出したデータをもとに制御手段 60がドック移動機構 30のドック移動モー夕 312を回転制御して、ドックプレート 31を受渡位置に移動させる。

これらドック移動モー夕 312、ドック移動モ一夕 312の回転によりボールネジ機構を介してドックプレート 31を受渡位置へ移動させる機構及び制御手段 60は、ドックプレート 31 の停止位置可変手段をなしている。この停止位置可変手段は、ドックプレート 31の停止位置を X方向の所望の位置に変更可能である。

ドヅクプレート 31が受渡位置に移動を完了後、搬送装置が FOUP10を下降させて、 F 0 U P 10を F 0 U Pオーブナ 1へ渡す。

以上が本実施例 1の搬送装置とドックプレート 31との FOUP 10の受渡動作である。実施例 2

次に、本願の発明の第 2の実施例（実施例 2) を図 3、図 5 (a) を参照しつつ説明する。なお、ここでは、検出センサ移動機構 350の構成のみ説明する。その他の構成、すなわち、 FO UPオーブナ 1の基本構成、 FOUP10の構成、ロック機構 330の構成、ドヅク移動機構 30の構成等については、実施例 1と同様であるので、説明を省略する。

本実施例 2において、ドックプレート 31の位置を検出する検出センサ 343aを所望の位置に移動させるための検出センサ移動機構 350 は、次のようにして構成されている。

図 3及び図 5 (a) に図示されるように、ベース 331の上面端部付近に検出センサ移動機構 350のベース 351 を取り付け固定し、ベース 351の上面にレール 356を取り付け固定する。そして、レール 356に嵌合し、これに沿って摺動可能な摺動部材 355を設ける。摺動部材 355には、固定部材 341aが取り付け固定され、この固定部材 341aの一部に伝達部材 354が連結されている。

また、固定部材 341aの上面には、検出センサ 343aの取付部材 342aが取り付け固定されており、この取付部材 342aに検出センサ 343aが、摺動部材 355がレール 356上を摺動することにより、わずかに位置調整可能に取り付けられている。

伝達部材 354は、検出センサ駆動モ一夕 352の作動により検出センサ駆動モ一夕 352の出力軸が回転するに伴ってボールネジ 353が回転動作すると、ボールネジ 353に螺合してネジ方向に水平移動することが可能に、固定部材 341aに取り付けられている。

他方、 FOUPドア外し位置（作業位置）側には、ドックプレート 31が作業位置に到達したことを確認する検出センサ 343bが取付部材 342bへ取り付け固定され、この取付部材 34 2bは、ペース 331の端部の上部に取り付け固定された固定部材 341bへ取り付け固定されている。検出セン夕一343bは、 X方向におけるドックプレート 31の基準位置として使用されている。

実施例 2の変形例

次に、本実施例 2の変形例について、図 5 (a) 、 (b) をもとに説明する。なお、図 5 (a) と図 5 (b) との違いは、ドック移動機構部分の構造に関し、図 5 (b) のドヅク移動機構 30は、 X · Y方向の 2方向にドックプレート 31を移動する構成を備えている点で異なる。その他の点については変わりがないので、これらについては、同じ名称と符号とを用いることとし、その詳細な説明を省略する。

図 5 ( a ) のドック移動機構 30では、摺動部材 323の取付面にドックプレート 31が取り付けられているが、図 5 ( b )のドック移動機構 30では、摺動部材 323の取付面に、ドヅクプレ一ト 31の移動方向を X■ Y方向の 2方向にするために、ドックプレート 31に代えて補助プレート 31aが取り付けられている。補助プレート 31aの上面には、ポートドア 23の面と略平行になるようにして、 2本のレール 372が一定間隔をおいて略平行に取り付け固定されている。そして、それそれのレール 372に沿って摺動可能に摺動部材 373がそれそれのレール 372に 2本ずつ取り付けられている。摺動部材 373の上面には、ドックプレート 31が取り付け固定されている。

また、 2本のレール 372の間には、ドックプレート 31を Y方向に移動するためのドヅクプレート移動機構 360が備えられている。ドックプレート移動機構 360は、駆動源としてドック移動モ一夕 362 と、ドック移動モー夕 362の出力軸から出力される回転力を伝達するボールネジ 363 と、ボールネジ 363のネジ溝に螺合するとともに、ボールネジ 363の回転に伴って水平摺動する伝達部材 364とにより構成されている。そして、伝達部材 364がドックプレート 31の下面の一部に取り付け固定されることにより、ドックプレート 31を Y 方向へ移動可能にしている。

また、ドックプレート 31の Y方向への移動を制限し、 Y方向への位置決め位置を検知する検出センサ 393aを所望の位置に移動させるための検出センサ移動機構 400が備えられている。この検出センサ移動機構 400 は、次のようにして構成されている。

図 5 ( b ) に図示されるように、補助プレート 31aの上面端部の一部に検出センサ移動機構 400のベース 401 を取り付け固定し、ペース 401の上面にレール 406を取り付け固定する。そして、レール 406に嵌合し、これに沿って摺動可能な摺動部材 405を設ける。摺動部材 405には、固定部材 391aが取り付け固定され、この固定部材 391aの一部に伝達部材 404が連結されている。

また、固定部材 391aの上面には、検出センサ 393aの取付部材 392aが取り付け固定されており、この取付部材 392aに検出センサ 393aが、摺動部材 405がレール 406上を摺動することにより、わずかに位置調整可能に取り付けられている。この検出センサ 393aは、ドックプレート 31の Y方向移動時の FOUP受取位置を検出する。

伝達部材 404は、検出センサ駆動モー夕 402の作動により検出センサ駆動モ一夕 402の出力軸が回転するに伴ってボールネジ 403が回転動作すると、ボールネジ 403に螺合してネジ方向に水平移動することが可能に、固定部材 391aに取り付けられている。

他方、ドヅクプレート 31の Y方向への基準位置を検知する検出センサ 393bが取付部材 39 2bへ取り付けられている。この取付部材 392bは、補助プレート 31aの上面端部の一部に取り付けられた固定部材 391bへ取り付けられ、 Y軸方向移動時のドックプレート 31の基準位置を検出できるように、補助プレート 31aの端部に取り付け固定されている。実施例 2の FOUP受取動作

次に、本実施例 2における F 0 U P 10の受け取りから F 0 U P 10の作業位置への移動までの動作について、実施例 1で説明した図 6 (a) 〜（d) をもとに説明する。

ドックプレート 31は、 FOUP10がドックプレート 31上に載置されていない場合には、 FOUP受渡位置（ポートプレート 21から離れた位置）に待機している。このときの検出センサ 343a、 343bは、ドックプレート 31の F OUP受渡位置を定めるためのドックプレート 31の停止位置確認手段として使用されている（図 6 (a) ) 。

次に、図示されない搬送装置により: FOUP10が FOUPォ一ブナ 1上に搬送され、搬送装置がドックプレート 31の略上方に停止する。停止後、搬送装置と FOUPオーブナ 1 との間で信号通信による遣り取りが行なわれ、 FOUP 10の位置決め溝 15とドックプレート 31上に設けられている位置ぎめピン 32とが合うように、 FOUP10がドックプレート 31 上に移載される（図 6 (b) ) 。ここで、実施例 1では、ドックプレート 31が記憶部 61 ( 図 9参照）に記憶されているデ一夕をもとに受取位置へ移動したが、本実施例 2では、記憶部 61 (図 10参照）に記憶されているデ一夕をもとに検出センサ移動機構 350が検出確認機構 340 を受渡位置に移動させてから、ドックプレート 31が受渡位置に移動する。

ドックプレート 31上に載置された FOUP 10は、口ック機構 330の口ヅク動作により、ドックプレート 31上に一時的に受け取られ固定される（図 6 (c) ) 。

FOUP10がドックプレート 31上にロックされると、 FOUP10は、ドヅク移動機構 30 の作動により作業位置（ポートプレート 21に接近した位置）に移動させられる（図 6(d))。作業位置に移動した FOUP 10は、ポートドァ 23に構成された F 0 U Pドァ開閉機構により FOUPドア 13のロックが解除され、 FOUPフレーム 11から FOUPドア 13が取り外される。その後、 FOUPドア 13は、ポートドア 23に保持され、ポートドア進退機構 40 により所定の位置まで水平移動が行なわれ、ポートドア昇降機構 50により所定の位置まで下降する。

以上が、 FOUP10が図示されていない搬送装置により搬送され、 FOUPオーブナ 1 で受け取られ、 FOUPドア 13が外されるまでの概略動作である。なお、 FOUPドア 13 の取付けから搬送装置への移載までは、受け取り動作の逆の順序で行なわれる。実施例 2の位置合わせ動作

次に、本実施例 2において、 FOUP10とドックプレート 31との間で、 FOUP10の位置ぎめ溝 15とドックプレート 31の位置ぎめピン 32とを位置合わせする動作を図 8 (a) 〜 (c) 、図 10により説明する。

ドックプレート 31は、 FOUP 10がドヅクプレート 31上に載置されていない場合には、 FOUP受渡位置（ポートプレート 21から離れた位置）に待機している。このときの検出センサ 343a、 343bは、ドックプレート 31の F 0 U P受渡位置と作業位置との位置確認を行なう検出センサとして使用されている。

次に、図示されない搬送装置により FOUP10が FOUPオーブナ 1に搬送され、搬送装置がドックプレート 31の略上方に停止する。停止後、搬送装置と FOUPオーブナ 1との間で信号通信による遣り取りが行なわれ、受渡しを行なう搬送装置に一致したドックプレート 31の位置デ一夕（後に説明する F 0 UPオーブナ 1設置時に記憶される搬送装置毎のドックプレート 31の受渡位置デ一夕）を言 3憶部 61から読み出す（図 8 (a) ) 。

次に、読み出したデ一夕をもとに制御手段 60が検出センサ移動機構 350の検出センサ駆動モ一夕 352を回転制御して、検出センサ 343aをドックプレート 31の受渡位置に対応する所定の位置に移動させる（図 8 (b) ) 。

これら検出センサ駆動モ一夕 352、検出センサ駆動モー夕 352の回転によりボールネジ機構を介して検出センサ 343aを所定の位置に移動させる機構及び制御手段 60は、検出センサ 343aの設置位置可変手段をなしている。この設置位置可変手段は、検出センサ 343aの設置位置を X方向の所望の位置に変更可能である。

検出センサ 343aが所定の位置に移動を完了後、ドックプレート 31が、ドックプレート移動機構 30により FOUPIOの受渡位置へ移動し、検出センサ 343aにより検出されて、停止する。その後、 FOUP10がドックプレート 31上に載置される。

以上が、 F 0 U P 10が図示されていない搬送装置により F 0 U Pオーブナ 1上方に搬送され、検出センサ移動機構 350の作動により、ドックプレート 31が FOUP10の受渡位置へ移動するまでの概略動作である。

FOUPオーブナの設置

次に、 FOUPオーブナ 1の設置に関して、従来の設置方法と本願の発明の設置方法とを図 11、図 12により説明する。従来の設置方法（図 11)

図示されないプロセス装置のィン夕一フェース部に従来の FOUPオーブナ（ドックプレートの停止位置が固定されているもの）を設置するとき、規格で決められた位置に FO UPオーブナを仮に取り付け、次に、 FOUPを搬送する搬送装置を FOUPォ一ブナの上方に仮に待機させる（ステップ 500) 。

次にステヅプ 500で設置した FOUPオーブナ又は搬送装置の位置調整を行なう（ステップ 501) 。

次に、手動により FOUPを保持した搬送装置の保持部を、 FOUPの位置決め溝とドヅクプレ一卜の位置決めピンとの位置が確認できる位置まで徐々に近づける。また、搬送装置の保持部で保持している F 0 U Pの位置決め溝とドックプレートの位置決めピンとの位置が確認できる位置まで、ドックプレートを移動する（ステップ 502) 。

次に、移動した FOUPの位置決め溝とドヅクプレートの位置決めピンとが略一致する範囲内である（FOUP受渡位置が所定の範囲内にある）か確認を行なう（ステップ 50 3) 。

ステップ 503で FOUP受渡位置が所定の範囲外のときは、 FOUPォ一ブナの設置位置の再設置又は、搬送装置の停止位置の再設定を行なう（ステップ 506)。

その後、再び FOUPオーブナと搬送装置とを手動で動作させ、 FOUPの位置決め溝とドヅクプレートの位置決めピンとの位置確認を手動により行なう（ステップ 507)。以後、これらの両位置のずれが所定の範囲内になるまで、すなわち、 FOUP受渡位置が所定の範囲内にあるようになるまで、ステップ 503、ステップ 506、ステップ 507 を繰り返し行なう。

次に、 FOUP受渡位置が所定の範囲内にあるようになったら、その他の搬送装置と F OUPォ一ブナとの間での FOUP受渡位置の確認を行なう（ステップ 504) 。そして、ステップ 501、 502、 503、 504、 506、 507の作業を繰り返す。このようにして、複数の搬送装置と F 0 U Pオーブナとの間での F OUP受渡位置の確認ができたら、 FOUPォ一ブナの設置が完了となる（505) 。本願の発明の設置方法（図 12 )

次に、本願の発明の FOUPオーブナ 1の設置方法を図 12により説明する。

図示されないプロセス装置のィン夕一フェース部に本願の発明の FOUPオーブナ 1 ( ドックプレート 31の停止位置が可変にされているもの）を設置するとき、規格で決められた位置に FOUPオーブナ 1を仮に取り付け、次に、 FOUP10を搬送する搬送装置を F 0 UPオーブナ 1の上方に仮に待機させる（ステップ 600) 。

次に、ステップ 600で設置した FOUPオーブナ 1又は搬送装置の位置調整を行なう (ステップ 601) 。

次に、手動により FOUP10を保持した搬送装置の保持部を、 FOUP10の位置決め溝 15とドックプレート 31の位置決めビン 32との位置が確認できる位置まで徐々に近づける。また、位置決め溝 15と位置決めピン 32との位置が確認できる位置まで、ドックプレート 31 を移動する（ステップ 602) 。

次に、移動した FOUP10の位置決め溝 15とドヅクプレート 31の位置決めピン 32とが略一致する範囲内にある（FOUP受渡位置が所定の範囲内にある）か確認を行なう（60 3)

ステップ 603で FOUP受渡位置が所定の範囲外の（位置決め溝 15と位置決めピン 32 とが略一致しない）ときは、手動によりドックプレート 31を再度動作させ、 FOUP10の位置決め溝 15とのドックプレート 31の位置決めピン 32とが略一致するように調整を行なう (ステップ 606) 。

次に、 FOUP受渡位置が所定の範囲内にあるようになったら（位置決め溝 15と位置決めピン 32とが略一致したら）、図 10に図示されるように、入力手段 70によりドヅクプレート 31の位置データを制御手段 60に入力し、その後、位置データを記憶部 61に記憶する（ステップ 6 1 0、 6 1 1 ) 。このとき、搬送装置を識別可能な識別番号などで管理できるように行なうことにより、搬送装置毎に対応したドックプレート 31の位置データを記憶することができる。

次に、その他の搬送装置と F 0 U Pオーブナとの間での F 0 U P受渡位置の確認を行なう（ステップ 6 0 4 ) 。そして、ステップ 6 0 2、 6 0 3、 6 0 6、 6 1 0、 6 1 1の作業を繰り返す。このようにして、複数の搬送装置と F O U Pオーブナ 1との間での F O U P受渡位置の確認ができたら、 F O U Pオーブナ 1の設置が完了となる（6 0 5 )。実施例 2の検出センサ移動機構の変形例

次に、実施例 2の検出センサ移動機構 350、 400の変形例について説明する。実施例 2 の検出センサ移動機構 350、 400においては、いずれも検出センサ 343a、 393aを移動させるためにボールネジ 353、 403が使用されたが、これらのボールネジに代えて、カム機構が使用されてもよい。図 1 3には、図 5 ( b ) に図示される検出センサ移動機構 400が、そこで使用されていたボールネジ 403がカム機構によって置換されることによって変形された検出センサ移動機構の例（検出センサ移動機構 420 ) が図示されている。

図 1 3に図示される検出センサ移動機構 420 は、次のようにして構成されている。図 1 3 ( a ) において、検出センサ駆動モー夕 402の出力軸には、アーム状の伝達部材 423の一端部が固着されており、この伝達部材 423の他端部には、カムフォロア 424が転動自在に取り付けられている。このカムフォロア 424は、伝達部材 423が検出センサ駆動モー夕 402の出力軸の回転により回動されるとき、固定部材 391aの一半側に形成された力ム溝 427内を転動しながら摺動する。それと同時に、固定部材 391aは、カムフォロア 424 によりレール 406に沿った方向の押圧作用を受けて、摺動部材 405 とともにレール 406に沿って移動する。これにより、検出センサ 393aのレール 406に沿った方向（Y方向）における位置調整が可能になる。図 1 3 ( b ) は、伝達部材 423の長手方向がレール 406に直交する位置にまで伝達部材 423が回動された時点において、検出センサ 393aが占める調整位置を示している。

固定部材 391aは、図 5 ( b ) に図示される検出センサ移動機構 400における固定部材 39 laと伝達部材 404とが一体ィ匕されたものに相当している。カムフォロア 424の伝達部材 42 3に対する取付位置は、伝達部材 423に形成された調整溝 428内でカムフォロア 424を適切に動かして固定することにより、種々に調整が可能であり、これにより、検出センサ 39 3aの最大位置調整量を可変にすることができる。

その他の点は、図 5 ( b ) に図示される検出センサ移動機構 400と同様であるので、同じ名称と符号とを用いることとして、その詳細な説明を省略する。実施例 3

次に図 1 3に示されるカム機構がドヅクプレートの移動機構として使用された実施例を、実施例 3として、図 1 4を参照しつつ、詳細に説明する。

この実施例 3の実施例 1 (図 2参照）との違いは、ドック移動機構 30に使用されている移動機構部分がボ一ルネジを使用した構成から力ム機構を使用した構成となっている点にある。その他の点については変わりがないので、これらについては、同じ名称と符号とを用いることとし、その詳細な説明を省略する。

図 1 4のドック移動機構 30においては、ベース 311 の下面にドヅク移動モーター 512 が取り付け固定され、ベース 311 の一部には、該ドック移動モー夕一 512 の出力軸 513 が上下方向に貫通するようにして、図示されない切り欠き孔が形成されている。出力軸 513 には、アーム状の伝達部材 514の一端部が固着されており、この伝達部材 514の他端部には、カムフォロア 516が転動自在に取り付けられている。このカムフォロア 516は、伝達部材 5 14がドック移動モー夕 512 の出力軸 513 の回転により回動されるとき、固定部材 515 の一部に形成されたカム溝 517内を転動しながら摺動する。それと同時に、固定部材 515 は、カムフォロア 516 によりレール 322 に沿った方向の押圧作用を受けて、摺動部材 323 とともにレール 322 に沿って移動する。これにより、ドックプレート 31のレール 322 に沿った方向における動作が可能になる。

カムフォロア 516 の伝達部材 514 に対する取付位置は、伝達部材 514 に形成された調整溝 518 内でカムフォロア 516 を適切に動かして固定することにより、種々に調整が可能であり、これにより、ドックプレート 31の最大位置調整量を可変にすることができる。その他の点は、図 2に図示されるドック移動機構 30 と同様であるので、同じ名称と符号とを用いることとして、その詳細な説明を省略する。制御手段、モ一夕の変形例

制御手段 60によるドック移動モー夕 312、512、検出センサ駆動モ一夕 352等の制御は、これらのモー夕としてサーボモー夕を使用し、これらのモー夕の制御を数値制御により行なうように構成することもできる。これにより、自動でより正確な制御が可能になる。産業上の利用可能性

以上述べたように、本願の発明の容器開閉装置及びその容器載置位置調整方法は、 F O U Pオーブナを設置するにあたり、搬送装置との位置合わせを容易にすばやく確実にすることが可能である。また、 F O U Pを確実に F O U Pオーブナの載置部に載置することができ、産業上の利用可能性がきわめて大である。

Claims

請求の範囲

1 . 少なくとも、半導体ウェハを所定の間隔で水平に複数枚収納可能な容器を載置して位置決めするドックプレートと、

前記ドッグプレートを容器受渡位置と容器ドアが着脱される作業位置との間で移動させることが可能なドヅク移動機構と、

前記容器ドァを着脱する着脱機構と前記容器ドァを保持する保持機構とを有するポートドアと、

前記ポートドアを水平に移動させるポートドア進退機構と、

前記容器ドアを格納するために前記ポートドアが前記容器ドアを保持した状態で前記ポートドアを垂直に移動させるポートドア昇降機構と、

前記ポートドアにより閉塞される開口部を有するポートプレートと

からなる容器開閉装置において、

前記ドヅグ移動機構は、前記ドックプレートの停止位置を所望の位置に変更可能とする停止位置可変手段を備えている

ことを特徴とする容器開閉装置。

2 . 前記停止位置可変手段は、前記ドックプレートの停止位置を数値制御により所望の位置に変更する制御手段を備えていることを特徴とする請求項 1に記載の容器開閉装置。

3 . 前記停止位置可変手段は、前記容器ドアの取り外しを行なう方向への前記ドックプレートの移動方向を X方向とし、前記 X方向と直交する方向を Y方向とするとき、前記ドックプレ一トの停止位置を X方向の所望の位置に変更可能とすることを特徴とする請求項 1 又は請求項 2に記載の容器開閉装置。

4 . 前記停止位置可変手段は、前記容器ドアの取り外しを行なう方向への前記ドックプレ —卜の移動方向を X方向とし、前記 X方向と直交する方向を Y方向とするとき、前記ドックプレートの停止位置を X方向及び Y方向の所望の位置に変更可能とすることを特徴とする請求項 1又は請求項 2に記載の容器開閉装置。

5 . 少なくとも、半導体ウェハを所定の間隔で水平に複数枚収納可能な容器を載置して位置決めするドックプレートと、

前記ドヅクプレートを容器受渡位置と容器ドアが着脱される作業位置との間で移動させることが可能なドッグ移動機構と、

前記容器ドアを着脱する着脱機構と前記容器ドァ保持する保持機構とを有するポ一ドァと、

前記容器ドアを格納するために前記ポートドァが前記容器ドァを保持した状態で前記ポートドアを垂直に移動させるポートドア昇降機構と、

前記ポ一トドアにより閉塞される開口部を有するポートプレートと

からなる容器開閉装置において、

前記ドヅグ移動機構は、前記ドックプレートの停止位置を確認する停止位置確認手段と、前記停止位置確認手段の設置位置を所望の位置に変更可能とする設置位置可変手段とを備えている

ことを特徴とする容器開閉装置。

6 . 前記設置位置可変手段は、前記停止位置確認手段の設置位置を数値制御により所望の位置に変更する制御手段を備えることを特徴とする請求項 5に記載の容器開閉装置。

7 . 前記設置位置可変手段は、前記容器ドアの取り外しを行なう方向への前記ドックプレ —トの移動方向を X方向とし、前記 X方向と直交する方向を Y方向とするとき、前記停止位置確認手段の設置位置を X方向の所望の位置に変更可能とすることを特徴とする請求項 5又は請求項 6に記載の容器開閉装置。

8 . 前記設置位置可変手段は、前記容器ドアの取り外しを行なう方向への前記ドックプレートの移動方向を X方向とし、前記 X方向と直交する方向を Y方向とするとき、前記停止位置確認手段の設置位置を X方向及び Y方向の所望の位置に変更可能とすることを特徴とする請求項 5又は請求項 6に記載の容器開閉装置。

9 . 少なくとも、半導体ウェハを所定の間隔で水平に複数枚収納可能な容器を載置して位置決めするための容器載置手段と、

前記容器載置手段を容器受渡位置と容器ドアが着脱される作業位置との間で移動可能にするための移動手段と、

前記移動手段により前記作業位置に移動させられた前記容器載置手段に載置された前記容器の容器ドアを着脱するための着脱手段と

を備えた容器開閉装置の容器載置位置調整方法において、前記移動手段は、前記容器載置手段の停止位置を所望の位置に変更可能とすることを特徴とする容器開閉装置の容器載置位置調整方法。

1 0 . 前記移動手段は、前記容器載置手段の停止位置を数値制御により所望の位置に変更することを特徴とする請求項 9に記載の容器開閉装置の容器載置位置調整方法。

1 1 . 少なくとも、半導体ウェハを所定の間隔で水平に複数枚収納可能な容器を載置して位置決めするための容器載置手段と、

前記移動手段により前記作業位置に移動させられた前記容器載置手段に載置された前記容器の容器ドァを着脱するための着脱手段と

を備えた容器開閉装置の容器載置位置調整方法において、

前記移動手段は、前記容器載置手段の停止位置を確認する位置を所望の位置に変更可能とする

ことを特徴とする容器開閉装置の容器載置位置調整方法。

1 2 . 前記移動手段は、前記容器載置手段の停止位置を確認する位置を数値制御により所望の位置に変更することを特徴とする請求項 1 1に記載の容器開閉装置の容器載置位置調整方法。