WO2005107243A1

WO2005107243A1 - 撮像装置及び微小レンズアレイの製造方法

Info

Publication number: WO2005107243A1
Application number: PCT/JP2005/007864
Authority: WO
Inventors: Michihiro Yamagata; Kenichi Hayashi; Hiroaki Okayama
Original assignee: Matsushita Electric Industrial Co., Ltd.
Priority date: 2004-04-28
Filing date: 2005-04-26
Publication date: 2005-11-10
Also published as: US20090141361A1; CN1860780A; JPWO2005107243A1; US7894139B2

Abstract

　光電変換機能を有する複数の画素（３ａ）を備える撮像素子（３）と、この複数の画素（３ａ）に被写体像を結像させる複数の微小レンズ（１ａ）が縦横方向に配列された微小レンズアレイ（１）とが対向して配置されている。微小レンズアレイ（１）は隣り合う微小レンズ（１ａ）間に格子状の溝（２０）を備えている。溝（２０）の深さは微小レンズアレイ（１）の厚みの半分よりも深い。これにより、製造が容易で、装置構成が簡素化され、迷光の影響やクロストークが十分に低減された、鮮明な画像撮影が可能な撮像装置を実現できる。

Description

撮像装置及び微小レンズアレイの製造方法

技術分野

[0001] 本発明は撮像装置に関する。特に、多数の画素を有する撮像素子の被写体側に、複数の微小レンズを配列した微小レンズアレイを配置した撮像装置に関する。更に、本発明はこの微小レンズアレイの製造方法に関する。

背景技術

[0002] 近年市場規模が大きくなりつつあるデジタルスチルカメラの巿場においては、より携帯性に優れた小型 ·薄型のカメラに対するニーズが高まってきている。信号処理を担う LSI等の回路部品は、配線パターンの微細化などにより高機能で小型化が進んでいる。また、記録メディアも小型 '大容量のものが廉価にて入手できるようになつてきている。し力しながら、レンズと CCDや CMOSなどの固体撮像素子とで構成される撮像系の小型化は未だ十分とは言えず、より携帯性に優れたカメラを実現するためにも小型の撮像系の開発が要望されている。

[0003] 撮像系の小型化を実現するための構成として、平面上に複数の微小レンズを配列したレンズアレイ光学系を用いたものが知られて、る。レンズアレイ光学系を用いることにより撮像系を光軸方向に薄くでき、かつ個々の微小レンズ径が小さいため収差を比較的小さく抑えることが可能である。

[0004] このようなレンズアレイを用いた撮像系が特公昭 59— 50042号公報に開示されている。この撮像系は、被写体側から順に、複数の微小レンズが平面内に配列された微小レンズアレイと、微小レンズと一対一に対応する複数のピンホールが平面内に形成されたピンホールマスクと、各ピンホールを通過した光が結像する像平面とを備える。各微小レンズはピンホールマスク上にそれぞれ被写体の縮小像を形成し、各ピンホールはこの縮小像の互いに異なる部分の光を通過（サンプリング）させる。その結果、像平面上に被写体像が形成される。

[0005] し力しながら、上記特公昭 59— 50042号公報の撮像系では、像平面上に形成される被写体像の解像度は微小レンズ (即ちピンホール)の個数および密度によって決まるため、高画質ィ匕は困難であった。つまり、対をなす微小レンズとピンホールとからなる構成単位の配置が、得られる画像のサンプリング点の配置を決定するので、高画質化のためには、上記構成単位の個数を多くしてサンプリング点数を増やすとともに、個々の微小レンズを小型化して上記構成単位の配列ピッチを小さくする必要がある。ところが、微小レンズの小型化には限界があるため、高解像度化は困難であつた。また、ピンホールによって像平面に達する光束を制限しているため、光量ロスも大きく感度の面でも課題があった。

[0006] 上記の課題を解決する別のレンズアレイを用いた撮像系が特開 2001— 61109号公報に開示されている。この撮像装置は、図 12に示すように、被写体側から順に、複数の微小レンズ 11 laが同一平面内に配列された微小レンズアレイ 111と、各微小レンズ 11 laからの光信号が互いに混信しな、ように分離するための格子枠状の隔壁 1 12aからなる隔壁層 112と、多数の光電変換素子 113aが同一平面内に配置された受光素子アレイ 113とを備える。 1つの微小レンズ 11 laと、これに対応する、隔壁 11 2aによって分離された 1つの空間と、複数の光電変換素子 113aとが、 1つの結像ュニット 115を構成する。個々の結像ユニット 115において、微小レンズ 11 laが、対応する複数の光電変換素子 113a上に被写体像を結像する。これにより、結像ユニット 115ごとに撮影画像が得られる。この撮影画像の解像度は 1つの結像ユニット 115を構成する光電変換素子 113aの数 (画素数）に依存する。被写体に対する個々の微小レンズ 11 laの相対的位置が異なることにより、複数の光電変換素子 113a上に形成される被写体像の結像位置が結像ユニット 115ごとに異なる。その結果、得られる撮影画像は結像ユニット 115ごとに異なる。この互いに異なる複数の撮影画像を信号処理することにより、一つ画像を得ることができる。

[0007] この撮像装置では、個々の結像ユニット 115を構成する画素数は少な、ため、個々の結像ユニット 115から得られる撮影画像の画質は低、が、複数の結像ユニット 115 におヽてそれぞれ得られる、互いに少しずつずれた撮影画像を用いて信号処理して画像を再構築することにより、多数の光電変換素子で撮影した場合と同様の画質の映像を得ることができる。

発明の開示発明が解決しょうとする課題

[0008] 図 12に示した撮像装置では、微小レンズ 11 laからの光がこの微小レンズ 11 laと対応しない隣の結像ユニット 115の光電変換素子 113aに入射する（この現象を「クロストーク」と呼ぶ)と、迷光が発生して高画質の画像を再構築できな力つたり、光損失を生じたりする。隔壁層 112はこのクロストークを防止するために設けられて、る。

[0009] ところが、隔壁 112aの厚み (光電変換素子 113aが配列された面と平行な方向における厚み）が厚、と 1つの結像ユニット 115に含まれる光電変換素子 113aの数が減り画質が低減する。従って、隔壁 112aの厚みは薄いことが好ましい。

[0010] し力しながら、隔壁 112aの厚み薄くすると隔壁層 112の製造や撮像装置の組立が困難となる。

[0011] 本発明は、上記の従来の問題を解決し、製造が容易な撮像装置を提供することを目的とする。

課題を解決するための手段

[0012] 本発明の撮像装置は、光電変換機能を有する複数の画素を備える撮像素子と、前記撮像素子の複数の画素に被写体像を結像させる複数の微小レンズが縦横方向に配列された微小レンズアレイとを有する。そして、前記微小レンズアレイは隣り合う前記微小レンズ間に格子状の溝を備え、前記溝の深さは前記微小レンズアレイの厚みの半分よりも深いことを特徴とする。

[0013] 本発明の撮像装置の第 1の製造方法は、一方の面に球面又は非球面を有する複数の微小レンズを備え、他方の面が平面である微小レンズアレイを榭脂成形により得る工程と、前記微小レンズアレイの前記他方の面力光を照射して前記他方の面に格子状に溝を形成する工程とを備えることを特徴とする。

[0014] 本発明の撮像装置の第 2の製造方法は、一方の面に球面又は非球面を有する複数の微小レンズを備え、他方の面に格子状の溝を備え、前記他方の面が前記溝を除、て平面である微小レンズアレイを得る工程と、黒色塗料を溶媒に溶力した溶液を前記溝に注入して前記溝の側面に黒色加工を施す工程とを備えることを特徴とする発明の効果 [0015] 本発明によれば、従来の隔壁と同様の作用を有する部分を微小レンズアレイ内に備えるため、製造が容易で、装置構成が簡素化され、迷光の影響やクロストークが十分に低減された、鮮明な画像撮影が可能な撮像装置を実現できる。

図面の簡単な説明

[0016] [図 1]図 1は、本発明の実施の形態 1に係る撮像装置の一部切欠斜視図である。

[図 2]図 2は、本発明の実施の形態 1に係る撮像装置に使用される微小レンズアレイを固体撮像素子側の面力見た斜視図である。

[図 3]図 3は、本発明の実施の形態 1において、図 2の III— III線に沿った微小レンズァレイの矢視断面図である。

[図 4]図 4は、微小レンズアレイの溝の深さが微小レンズアレイの厚みの半分である場合にぉ、て、迷光が発生する様子を示した断面図である。

[図 5]図 5は、微小レンズアレイの溝の深さが微小レンズアレイの厚みの 70%である場合にお、て、迷光が抑制される様子を示した断面図である。

[図 6]図 6は、本発明の実施の形態 1に係る撮像装置に使用される別の微小レンズァレイの断面図である。

[図 7]図 7は、本発明の実施の形態 2に係る撮像装置に使用される微小レンズアレイの断面図である。

[図 8]図 8は、本発明の実施の形態 2に係る撮像装置に使用される別の微小レンズァレイの断面図である。

[図 9]図 9は、本発明の実施の形態 3に係る撮像装置の一部切欠斜視図である。

[図 10]図 10は、本発明の実施の形態 3に係る撮像装置に使用される微小レンズァレィの断面図である。

[図 11A]図 11Aは、本発明の微小レンズアレイの製造方法の一例の一工程を示した断面図である。

[図 11B]図 11Bは、本発明の微小レンズアレイの製造方法の一例の一工程を示した断面図である。

[図 11C]図 11Cは、本発明の微小レンズアレイの製造方法の一例の一工程を示した断面図である。 [図 11D]図 11Dは、本発明の微小レンズアレイの製造方法の一例の一工程を示した断面図である。

[図 12]図 12は、従来の撮像装置の概略構成を示した分解斜視図である。

発明を実施するための最良の形態

[0017] 上記の本発明の撮像装置において、前記微小レンズアレイの材料が光透過性の榭脂からなることが好ましい。これにより、光損失が少なぐ鮮明な画像の撮影が可能である。また、榭脂材料を用いることにより、製造が容易である。

[0018] また、上記の本発明の撮像装置において、前記微小レンズアレイは一方の面に前記微小レンズが形成された平凸のレンズアレイであって、前記溝は他方の面に形成され、前記他方の面が前記撮像素子に対向していることが好ましい。これにより、制限された厚みの範囲内で迷光の影響やクロストークを十分に低減することができる。

[0019] また、上記の本発明の撮像装置において、前記溝の側面には吸光性材料が付与されていることが好ましい。これにより、迷光及びクロストークを一層低減できる。

[0020] この場合において、前記吸光性材料は黒色であることが好ましい。これにより、迷光及びクロストークを一層低減できる。

[0021] また、上記の本発明の撮像装置において、前記溝の幅は前記撮像素子に近づくにしたがって大きくなつていることが好ましい。これにより、微小レンズアレイを金型で成形した場合に、金型抜けが良好となり、生産性が向上する。

[0022] また、上記の本発明の撮像装置において、前記微小レンズアレイを構成する第 1材料より小さな光の透過率を有する第 2材料が前記溝に充填されていることが好ましい

。これにより、迷光及びクロストークを一層低減できる。また、溝に第 2材料が充填されていることにより、微小レンズアレイの強度が向上する。

[0023] この場合にお、て、前記第 2材料が吸光作用を有する材料を含むことが好ま、。

これにより、第 2材料に入射した光がこれから出射するのを防止できるので、迷光及びクロストークを一層低減できる。

[0024] また、前記第 2材料は前記第 1材料よりも大きな屈折率を有することが好ま、。これにより、第 1材料と第 2材料との界面で全反射が起こりにくくなり、第 1材料力もこの界面に入射した光は第 2材料に入射しやすくなる。その結果、光が界面で反射することにより発生する迷光を防止できる。

[0025] また、上記の本発明の撮像装置において、前記微小レンズアレイが榭脂成形により製造されていることが好ましい。これにより、微小レンズアレイの製造を効率良く行うことがでさる。

[0026] また、上記の本発明の撮像装置の第 1の製造方法において、更に、黒色塗料を溶媒に溶カゝした溶液を前記溝に注入して前記溝の側面に黒色加工を施す工程を備えることが好ましい。これにより、溝の側面への黒色塗装を簡単且つ効率よく行うことができる。

[0027] 以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。

[0028] (実施の形態 1)

図 1は本発明の実施の形態 1に係る撮像装置の一部切欠斜視図である。 1は球面又は非球面を有する複数の微小レンズ laが同一平面内に縦横方向に配列された微小レンズアレイ、 3は光電変能を有する多数の画素 3aが同一平面内に縦横方向に配列された固体撮像素子 (例えば CCD)である。 1つの微小レンズ laに複数の画素 3aが対応し、これらが 1つの結像ユニット 5を構成する。個々の結像ユニット 5において、微小レンズ laが、対応する複数の画素 3a上に被写体像を結像する。微小レンズ laは微小レンズアレイ 1の固体撮像素子 3とは反対側 (被写体側）の面に形成されている。

[0029] 図 2は、微小レンズアレイ 1を固体撮像素子側の面力見た斜視図である。図 3は、図 2の III— III線に沿った微小レンズアレイ 1の矢視断面図である。微小レンズアレイ 1 は、光透過性の榭脂からなり、一方の面 (被写体側の面）には複数の微小レンズ laが形成され、他方の面（固体撮像素子 3側の面）はほぼ平面である平凸のレンズアレイである。この他方の面には、隣り合う結像ユニット 5の境界に沿って格子状にスリット溝 20が形成されている。格子状の溝 20によって柱部 22が形成されている。微小レンズ laと柱部 22とは一対一に対応する。被写体からの光は、微小レンズ laによって集光され、柱部 22の内部を伝達し、微小レンズ laと対向する射出部 23から射出され、射出部 23に対向する固体撮像素子 3に入射する。

[0030] 柱部 22の側面（即ち、溝 20の側面。これは微小レンズアレイ 1の上記他方の面に垂直である）には吸光性を有する黒色塗装 25が施されている。この側面に入射した迷光は黒色塗装 25に吸収されるので、通過して隣の柱部 22に入射することはない。

[0031] 溝 20の深さ（柱部 22の高さ）は微小レンズアレイ 1の厚みの半分よりも深い。これにより、微小レンズ laを通過した光力この微小レンズ laに対応しない柱部 22の射出部 23から出射する現象、即ちクロストークを防止することができる。

[0032] 以下、これを詳説する。

[0033] 図 4は微小レンズアレイ 1の溝 20の深さ Dが微小レンズアレイ 1の厚み Hの半分である場合にぉ、て、迷光が発生する様子を示した断面図である。

[0034] 図 4において、微小レンズ laに対して斜めに入射する光束 L1は、溝 20でほとんどけられることなぐ入射した微小レンズ laに対応しない柱部 22の射出部 23に達する。従って、光束 L1の入射角方向に高輝度物体が存在する場合には、迷光の発生が問題となる可能'性がある。

[0035] 光束 L1より入射角が小さな光束 L2が微小レンズ laに対して斜めに入射した場合、光束 L2の一部が溝 20でけられ、残りは入射した微小レンズ laに対応しない柱部 22 の射出部 23に達する。従って、この場合は、上記光束 L1が入射した場合に比べて、光束が入射した微小レンズ laに対応しない画素に入射する光の強度は弱い。よって、迷光の発生が低減される。

[0036] 光束 L1より入射角が大きな光束（図示せず）が微小レンズ laに対して斜めに入射した場合、この光束は、その全てが溝 20でけられるため、入射した微小レンズ laに対応しない画素に直接入射することはない。よって、迷光の発生はほぼ抑えられる。

[0037] 図 5は微小レンズアレイ 1の溝 20の深さ Dが微小レンズアレイ 1の厚み Hの 70%である場合にぉ、て、迷光が抑制される様子を示した断面図である。

[0038] 図 5において、図 4に示した光束 L1と同じ入射角の光束 L3が入射した場合、光束 L3の約半分が溝 20でけられる。従って、この場合は、図 4において光束 L1が入射した場合に比べて、光束が入射した微小レンズ laに対応しない画素に入射する光の強度は弱い。よって、迷光の発生が低減される。

[0039] 光束 L3より入射角が小さな光束 L4が微小レンズ 1に対して斜めに入射した場合、光束 L4のうち半分以上は溝 20でけられ、残りのごく僅かが、入射した微小レンズ la に対応しない柱部 22の射出部 23に達する。従って、この場合は、光束が入射した微小レンズ laに対応しない画素に入射する光の強度は大幅に弱められる。よって、迷光の発生がより低減される。

[0040] 光束 L3より入射角が大きな光束（図示せず）が微小レンズ 1に対して斜めに入射した場合、この光束は、その全てが溝 20でけられるため、入射した微小レンズ laに対応しない画素に直接入射することはない。よって、迷光の発生はほぼ抑えられる。

[0041] 図 5において迷光の発生の可能性が最も大きいのは光束 L3が入射した場合である力この場合に発生する迷光は、図 4において光束 L1が入射した場合に比べて、大幅に低減される。

[0042] 以上のように、溝 20の深さ Dを微小レンズアレイ 1の厚み Hの半分よりも深くする（D

>0. 5 X H)ことにより、実質的に十分な遮光効果を得ることができる。なお、本発明において、微小レンズアレイ 1の厚み Hは、図 4及び図 5に示したように、微小レンズ 1 aの突出部分を除いた微小レンズアレイ 1の厚みにより定義される。

[0043] 本実施の形態の撮像装置では、溝 20が、図 12に示した従来の撮像装置の隔壁 1 12aの機能を備えるので、従来の隔壁層 112が不要である。したがって、製造が容易で、構成が簡素化できる。

[0044] なお、本実施の形態では溝 20の側面に黒色塗装 25を施した例を説明したが、黒色塗装 25に代えて、溝 20の側面に吸光作用や光を減衰させる作用を有する加工を施しても良ぐその場合も同様に十分な遮蔽効果を得ることができる。また、溝 20の側面に上記のような特別な加工を施して、なくても、溝 20の側面 24が必要十分な粗面であれば図 6のように単に溝 20を設けただけでも迷光の影響を低減することが出来る。

[0045] 結像ユニット 5ごとに、微小レンズ laは被写体像を固体撮像素子 3上に形成する。

固体撮像素子 3の各画素 3aは入射した光を光電変換する。結像ユニット 5ごとに得られる画像は、被写体に対する微小レンズ la及び画素 3aの相対位置が結像ユニット 5 ごとに異なるために、わずかに異なっている。これらの結像ユニット 5ごとに得た複数の画像を例えば上記特開 2001— 61109号公報に記載された方法により合成することにより、 1つの結像ユニット 5に含まれる画素 3aの数をはるかに超えた高解像度の画像を得ることができる。

[0046] (実施の形態 2)

図 7は、本実施の形態 2に係る撮像装置に使用される微小レンズアレイ 1の断面図である。実施の形態 1と同一の構成要素には同一の符号を付してそれらについての説明を省略する。

[0047] 本実施の形態 2は、微小レンズアレイ 1に形成された格子状の溝 20の幅 (微小レンズ laが配列された面と平行な方向における寸法）が、微小レンズ la側から固体撮像素子 3に対向する面側にいくに従って徐々に大きくなつている点で、溝 20の幅がほぼ一定である実施の形態 1と異なる。溝 20の幅を本実施の形態のように変化させることにより、微小レンズアレイ 1を榭脂成形で作成するときに金型力も抜けやすくなり生産性が向上する。

[0048] 溝 20の側面には吸光性の黒色塗装 25が施されている点は図 3の微小レンズアレイ 1と同様である。

[0049] 溝 20の幅を本実施の形態のように変化させた場合には、図 8に示すように溝 20の側面 24の黒色塗装を省略することができる。柱部 22から溝 20内に出射した迷光が隣の柱部 22の側面 24に入射したとき、その入射角が大きくなるため、柱部 22に入射せずに反射される可能性が高くなるので、迷光の影響を十分に低減できるからである

[0050] (実施の形態 3)

図 9は本発明の実施の形態 3に係る撮像装置の一部切欠斜視図である。図 10は、本実施の形態 3に係る撮像装置に使用される微小レンズアレイ 1の断面図である。実施の形態 1と同一の構成要素には同一の符号を付してそれらについての説明を省略する。

[0051] 本実施の形態 3では、微小レンズアレイ 1の固体撮像素子 3側の面の、隣り合う結像ユニット 5の境界に沿って格子状に形成されたスリット溝 20内に黒色の榭脂 30が充填されて、る。榭脂 30は微小レンズ laを含む微小レンズアレイ 1の材料よりも小さな光の透過率を有する材料からなる。

[0052] 微小レンズ laを通過した後、この溝 20に入射した光は黒色榭脂 30で吸収されるので、黒色榭脂 30を通過して隣の柱部 22に入射することはない。

[0053] また、溝 20内に榭脂 30を埋め込むことにより、微小レンズアレイ 1の強度が増すため、装置組み立て時にも取り扱いがしゃすくなる。

[0054] また、榭脂 30の材料の屈折率が微小レンズアレイ 1の材料の屈折率よりも大きい場合には、柱部 22から柱部 22と榭脂 30との界面に入射した光はこの界面で全反射されに《なり、迷光が榭脂 30に吸収されやすくなるので、迷光の影響を一層低減できる。

[0055] なお、図 10では溝 20 (又は黒色榭脂 30)の幅が厚さ方向において均一である場合を説明したが、実施の形態 2 (図 7、図 8)と同様に、微小レンズ la側カゝら固体撮像素子 3に対向する面側にいくに従って徐々に大きくなつていても良ぐその場合には実施の形態 2で説明したのと同様の効果を奏する。

[0056] 上記以外は実施の形態 1と同様である。

[0057] (実施の形態 4)

図 11A〜図 11Dは本発明の微小レンズアレイ 1の製造方法の一例を工程順に示した断面図である。これを用いて微小レンズアレイ 1の製造方法を説明する。

[0058] まず、図 11Aに示すように、一方の面に複数の微小レンズ laを備え、他方の面が平面 lbである平凸形状の微小レンズアレイ 1を榭脂成形 (例えば射出成形）により形成する。

[0059] 次いで、図 11Bに示すように、平面 lb側からレーザカ卩ェにより格子状に溝 20をカロェする。

[0060] 次いで、図 11Cに示すように、溝 20内に黒色塗料を溶媒に溶力した溶液 27を流し込む。

[0061] 溶液 27を乾燥させると、図 11Dに示すように、溝 20の側面に黒色塗装 25が完成する。

[0062] 図 11Cにおいて溶液 27中の黒色塗料の含有量を多くすることにより、及び Z又は図 11C及び図 11Dの工程を複数回繰り返すことにより、実施の形態 3に示したように、溝 20内が樹脂で充填された微小レンズアレイ 1を得ることができる。

[0063] なお、溝 20の加工は、レーザカ卩ェではなぐ微小レンズ laの成形と同時に榭脂成形で行うこともできる。

[0064] 以上に説明した実施の形態は、いずれもあくまでも本発明の技術的内容を明らかにする意図のものであって、本発明はこのような具体例にのみ限定して解釈されるものではなぐその発明の精神と請求の範囲に記載する範囲内でいろいろと変更して実施することができ、本発明を広義に解釈すべきである。

産業上の利用可能性

[0065] 本発明の利用分野は特に制限はないが、カード状のカメラ装置など薄型の撮像装置に好ましく用いることが出来る。

Claims

請求の範囲

[I] 光電変換機能を有する複数の画素を備える撮像素子と、前記撮像素子の複数の画素に被写体像を結像させる複数の微小レンズが縦横方向に配列された微小レンズアレイとを有する撮像装置であって、

前記微小レンズアレイは隣り合う前記微小レンズ間に格子状の溝を備え、前記溝の深さは前記微小レンズアレイの厚みの半分よりも深いことを特徴とする撮像装置。

[2] 前記微小レンズアレイの材料が光透過性の榭脂からなる請求項 1に記載の撮像装置。

[3] 前記微小レンズアレイは一方の面に前記微小レンズが形成された平凸のレンズァレイであって、前記溝は他方の面に形成され、前記他方の面が前記撮像素子に対向して！/ヽる請求項 1に記載の撮像装置。

[4] 前記溝の側面には吸光性材料が付与されて！ヽる請求項 1に記載の撮像装置。

[5] 前記吸光性材料は黒色である請求項 4に記載の撮像装置。

[6] 前記溝の幅は前記撮像素子に近づくにしたがって大きくなつて、る請求項 1に記載の撮像装置。

[7] 前記微小レンズアレイを構成する第 1材料より小さな光の透過率を有する第 2材料が前記溝に充填されて、る請求項 1に記載の撮像装置。

[8] 前記第 2材料が吸光作用を有する材料を含む請求項 7に記載の撮像装置。

[9] 前記第 2材料は前記第 1材料よりも大きな屈折率を有する請求項 7に記載の撮像装置。

[10] 前記微小レンズアレイが榭脂成形により製造されて、る請求項 1に記載の撮像装置。

[II] 一方の面に球面又は非球面を有する複数の微小レンズを備え、他方の面が平面である微小レンズアレイを榭脂成形により得る工程と、

前記微小レンズアレイの前記他方の面から光を照射して前記他方の面に格子状に溝を形成する工程と

を備えることを特徴とする微小レンズアレイの製造方法。

[12] 更に、黒色塗料を溶媒に溶力した溶液を前記溝に注入して前記溝の側面に黒色加工を施す工程を備える請求項 11に記載の微小レンズアレイの製造方法。

一方の面に球面又は非球面を有する複数の微小レンズを備え、他方の面に格子状の溝を備え、前記他方の面が前記溝を除、て平面である微小レンズアレイを得る工程と、

黒色塗料を溶媒に溶カゝした溶液を前記溝に注入して前記溝の側面に黒色加工を施す工程と

を備えることを特徴とする微小レンズアレイの製造方法。