JP2008047587A - 光検出装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 受光層3を含むエピタキシャル積層構造を持つ受光素子10が、複数個、共通の半導体基板51上に配置された、基板側が光の入射面である光検出装置50であって、光入射側の表面に、各受光素子10をメッシュ状に区分けるように位置するセラミックハニカム15を備える。
【選択図】 図1
Description
図1は、本発明の実施の形態1の光検出装置50を説明するための図である。本実施の形態における特色は、光入射面側にセラミックハニカムの遮光性立壁15を配置した点にある。その遮光性立壁15の説明をする前に、この光検出装置の全体の構造について説明する。共通のn型InP基板51に形成されたエピタキシャル積層構造がフリップチップ(エピダウン)実装されている。エピタキシャル積層構造は、InP基板51上に位置するn型InPバッファ層2と、そのn型InPバッファ層2の上に形成された受光層3と、その受光層3の上に形成されたInP窓層4とで構成される。受光層3は、InGaAs、GaInNAs、GaInNAsSb、GaInNAsPなどによって形成することができる。窓層3もInPに限定されず、InAlAsなどで形成してもよい。
図6は、本発明の実施の形態2における光検出装置50を示す図である。本実施の形態では、セラミックハニカム15とともに、そのセラミックハニカム15の開口部に透明な樹脂16を充填配置する点に特徴がある。樹脂16の屈折率n1は、空気の屈折率n0より大きい。このため、図6に示すように、大きな入射角で樹脂16に入射した光は、スネルの法則により、実質的に小さい入射角で樹脂16内を伝播する。このため、p側電極7などで反射されても、隣の受光素子の受光層に到達する可能性を小さくすることができる。このような樹脂16と、図5で説明した反射率の高い材質で形成したセラミックハニカム15とを組み合わせることにより、各受光素子で受ける光量を大きくした上でクロストークを抑えることが可能となる。
Claims (9)
- 受光層を含むエピタキシャル積層構造を有する受光素子が、複数個、共通の半導体基板上に配置された、基板側が光の入射面である光検出装置であって、
前記光検出装置の光入射側の表面に、各受光素子をメッシュ状に区分けるように位置する遮光性立壁を備えることを特徴とする、光検出装置。 - 前記遮光性立壁をセラミックハニカムとすることを特徴とする、請求項1に記載の光検出装置。
- 前記遮光性立壁に囲まれた中に樹脂が配置されていることを特徴とする、請求項1または2に記載の光検出装置。
- 前記樹脂は、中心線に沿うように貫通穴があいているかまたは凸レンズ形状になっていることを特徴とする、請求項3に記載の光検出装置。
- 前記複数の受光素子間には分離溝がないことを特徴とする、請求項1〜4のいずれかに記載の光検出装置。
- 前記半導体基板であるn型半導体基板上に位置し、全面にわたって同じ厚みである、n型バッファ層、受光層および窓層を備え、前記受光素子ごとに設けられている、前記窓層から受光層に届くp型領域およびそのp型領域に電気的に接続するp側電極を備えることを特徴とする、請求項1〜5のいずれかに記載の光検出装置。
- 各受光素子に共通のn側電極を1つ備え、そのn側電極が、前記バッファ層またはn型半導体基板に電気的に接続されていることを特徴とする、請求項6に記載の光検出装置。
- 前記受光素子がバンドギャップ波長1.65μm〜3.0μmの受光層を有することを特徴とする、請求項1〜7のいずれかに記載の光検出装置。
- 前記受光層が、GaInNAs、GaInNAsSbおよびGaInNAsPのいずれか、またはその組み合わせから形成されることを特徴とする、請求項7に記載の光検出装置。
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Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010232448A (ja) * | 2009-03-27 | 2010-10-14 | Toppan Printing Co Ltd | 固体撮像素子及びその製造方法 |
WO2011118399A1 (ja) * | 2010-03-25 | 2011-09-29 | 住友電気工業株式会社 | 受光素子、受光素子アレイ、ハイブリッド型検出装置、光学センサ装置、および受光素子アレイの製造方法 |
JP2017143211A (ja) * | 2016-02-12 | 2017-08-17 | 凸版印刷株式会社 | 固体撮像素子及びその製造方法 |
CN110275286A (zh) * | 2018-03-15 | 2019-09-24 | 亚德诺半导体无限责任公司 | 光学隔离的微机电(mems)开关和相关方法 |
CN110364590A (zh) * | 2019-07-09 | 2019-10-22 | 武汉光谷量子技术有限公司 | 一种高增益带宽积的光探测器及其制造方法 |
Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59188171A (ja) * | 1983-04-08 | 1984-10-25 | Fujitsu Ltd | 冷却型光電変換装置 |
JPH09219563A (ja) * | 1996-02-09 | 1997-08-19 | Hitachi Ltd | 半導体光素子とそれを用いた応用システム |
JP2000019357A (ja) * | 1998-06-30 | 2000-01-21 | Toshiba Corp | 光アレイモジュール及び反射鏡アレイ |
JP2000507048A (ja) * | 1996-09-07 | 2000-06-06 | フィリップス エレクトロニクス ネムローゼ フェンノートシャップ | イメージセンサ |
JP2001061109A (ja) * | 1999-08-20 | 2001-03-06 | Japan Science & Technology Corp | 画像入力装置 |
JP2002520819A (ja) * | 1998-06-30 | 2002-07-09 | ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング | 電磁ビームを検出するための装置 |
JP2003069001A (ja) * | 2001-08-29 | 2003-03-07 | Sharp Corp | 固体撮像素子およびその製造方法 |
JP2005072662A (ja) * | 2003-08-25 | 2005-03-17 | Sharp Corp | 透光板および透光板の製造方法、並びに透光板を用いた画像入力装置 |
JP2005251890A (ja) * | 2004-03-03 | 2005-09-15 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 上面入射型受光素子アレイ |
JP2005260118A (ja) * | 2004-03-15 | 2005-09-22 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 受光素子およびその製造方法 |
WO2005107243A1 (ja) * | 2004-04-28 | 2005-11-10 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | 撮像装置及び微小レンズアレイの製造方法 |
-
2006
- 2006-08-11 JP JP2006219274A patent/JP2008047587A/ja active Pending
Patent Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59188171A (ja) * | 1983-04-08 | 1984-10-25 | Fujitsu Ltd | 冷却型光電変換装置 |
JPH09219563A (ja) * | 1996-02-09 | 1997-08-19 | Hitachi Ltd | 半導体光素子とそれを用いた応用システム |
JP2000507048A (ja) * | 1996-09-07 | 2000-06-06 | フィリップス エレクトロニクス ネムローゼ フェンノートシャップ | イメージセンサ |
JP2000019357A (ja) * | 1998-06-30 | 2000-01-21 | Toshiba Corp | 光アレイモジュール及び反射鏡アレイ |
JP2002520819A (ja) * | 1998-06-30 | 2002-07-09 | ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング | 電磁ビームを検出するための装置 |
JP2001061109A (ja) * | 1999-08-20 | 2001-03-06 | Japan Science & Technology Corp | 画像入力装置 |
JP2003069001A (ja) * | 2001-08-29 | 2003-03-07 | Sharp Corp | 固体撮像素子およびその製造方法 |
JP2005072662A (ja) * | 2003-08-25 | 2005-03-17 | Sharp Corp | 透光板および透光板の製造方法、並びに透光板を用いた画像入力装置 |
JP2005251890A (ja) * | 2004-03-03 | 2005-09-15 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 上面入射型受光素子アレイ |
JP2005260118A (ja) * | 2004-03-15 | 2005-09-22 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 受光素子およびその製造方法 |
WO2005107243A1 (ja) * | 2004-04-28 | 2005-11-10 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | 撮像装置及び微小レンズアレイの製造方法 |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010232448A (ja) * | 2009-03-27 | 2010-10-14 | Toppan Printing Co Ltd | 固体撮像素子及びその製造方法 |
WO2011118399A1 (ja) * | 2010-03-25 | 2011-09-29 | 住友電気工業株式会社 | 受光素子、受光素子アレイ、ハイブリッド型検出装置、光学センサ装置、および受光素子アレイの製造方法 |
JP2011204920A (ja) * | 2010-03-25 | 2011-10-13 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 受光素子、受光素子アレイ、ハイブリッド型検出装置、光学センサ装置、および受光素子アレイの製造方法 |
US8921829B2 (en) | 2010-03-25 | 2014-12-30 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Light receiving element, light receiving element array, hybrid-type detecting device, optical sensor device, and method for producing light receiving element array |
JP2017143211A (ja) * | 2016-02-12 | 2017-08-17 | 凸版印刷株式会社 | 固体撮像素子及びその製造方法 |
CN110275286A (zh) * | 2018-03-15 | 2019-09-24 | 亚德诺半导体无限责任公司 | 光学隔离的微机电(mems)开关和相关方法 |
US11228310B2 (en) | 2018-03-15 | 2022-01-18 | Analog Devices Global Unlimited Company | System comprising a package having optically isolated micromachined (MEMS) switches with a conduit to route optical signal to an optical receiver and related methods |
CN110364590A (zh) * | 2019-07-09 | 2019-10-22 | 武汉光谷量子技术有限公司 | 一种高增益带宽积的光探测器及其制造方法 |
CN110364590B (zh) * | 2019-07-09 | 2024-05-10 | 武汉光谷量子技术有限公司 | 一种高增益带宽积的光探测器及其制造方法 |
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