JP2011204920A - 受光素子、受光素子アレイ、ハイブリッド型検出装置、光学センサ装置、および受光素子アレイの製造方法 - Google Patents
受光素子、受光素子アレイ、ハイブリッド型検出装置、光学センサ装置、および受光素子アレイの製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2011204920A JP2011204920A JP2010070993A JP2010070993A JP2011204920A JP 2011204920 A JP2011204920 A JP 2011204920A JP 2010070993 A JP2010070993 A JP 2010070993A JP 2010070993 A JP2010070993 A JP 2010070993A JP 2011204920 A JP2011204920 A JP 2011204920A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- type
- light
- light receiving
- receiving element
- layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 29
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 15
- 238000001514 detection method Methods 0.000 title claims description 41
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 72
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 claims abstract description 69
- 239000012535 impurity Substances 0.000 claims description 42
- 229910000530 Gallium indium arsenide Inorganic materials 0.000 claims description 35
- 239000011701 zinc Substances 0.000 claims description 28
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 23
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims description 13
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 11
- HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Zinc Chemical compound [Zn] HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 10
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 4
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 3
- 239000007787 solid Substances 0.000 claims description 2
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 abstract description 28
- 238000002329 infrared spectrum Methods 0.000 abstract description 3
- GPXJNWSHGFTCBW-UHFFFAOYSA-N Indium phosphide Chemical compound [In]#P GPXJNWSHGFTCBW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 46
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 33
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 21
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 14
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 13
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 12
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 10
- 230000005283 ground state Effects 0.000 description 9
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 8
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 8
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 7
- 239000000306 component Substances 0.000 description 7
- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 description 6
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 6
- 238000000862 absorption spectrum Methods 0.000 description 5
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 5
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 5
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 5
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 5
- WQZGKKKJIJFFOK-GASJEMHNSA-N Glucose Natural products OC[C@H]1OC(O)[C@H](O)[C@@H](O)[C@@H]1O WQZGKKKJIJFFOK-GASJEMHNSA-N 0.000 description 4
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 4
- 210000004369 blood Anatomy 0.000 description 4
- 239000008280 blood Substances 0.000 description 4
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 4
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 4
- 239000008103 glucose Substances 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 4
- 238000012806 monitoring device Methods 0.000 description 4
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 4
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 4
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 4
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000000295 emission spectrum Methods 0.000 description 3
- 238000001451 molecular beam epitaxy Methods 0.000 description 3
- 208000024891 symptom Diseases 0.000 description 3
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 102000008186 Collagen Human genes 0.000 description 2
- 108010035532 Collagen Proteins 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- JJWKPURADFRFRB-UHFFFAOYSA-N carbonyl sulfide Chemical compound O=C=S JJWKPURADFRFRB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920001436 collagen Polymers 0.000 description 2
- 210000004087 cornea Anatomy 0.000 description 2
- 230000001815 facial effect Effects 0.000 description 2
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 2
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 2
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 2
- 239000010813 municipal solid waste Substances 0.000 description 2
- 239000003921 oil Substances 0.000 description 2
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 2
- 239000004575 stone Substances 0.000 description 2
- JBQYATWDVHIOAR-UHFFFAOYSA-N tellanylidenegermanium Chemical compound [Te]=[Ge] JBQYATWDVHIOAR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 2
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 241000219112 Cucumis Species 0.000 description 1
- 235000015510 Cucumis melo subsp melo Nutrition 0.000 description 1
- 208000003556 Dry Eye Syndromes Diseases 0.000 description 1
- 206010013774 Dry eye Diseases 0.000 description 1
- 241000196324 Embryophyta Species 0.000 description 1
- 241001465754 Metazoa Species 0.000 description 1
- 241000206607 Porphyra umbilicalis Species 0.000 description 1
- 206010036790 Productive cough Diseases 0.000 description 1
- 239000006011 Zinc phosphide Substances 0.000 description 1
- FJJCIZWZNKZHII-UHFFFAOYSA-N [4,6-bis(cyanoamino)-1,3,5-triazin-2-yl]cyanamide Chemical compound N#CNC1=NC(NC#N)=NC(NC#N)=N1 FJJCIZWZNKZHII-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 description 1
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 210000000577 adipose tissue Anatomy 0.000 description 1
- 238000003491 array Methods 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 239000012503 blood component Substances 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 239000003245 coal Substances 0.000 description 1
- 239000000567 combustion gas Substances 0.000 description 1
- 230000000295 complement effect Effects 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 1
- 235000013365 dairy product Nutrition 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 239000003814 drug Substances 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 235000013399 edible fruits Nutrition 0.000 description 1
- 238000005538 encapsulation Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 230000004438 eyesight Effects 0.000 description 1
- 235000013305 food Nutrition 0.000 description 1
- 239000000446 fuel Substances 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 229930195733 hydrocarbon Natural products 0.000 description 1
- 150000002430 hydrocarbons Chemical class 0.000 description 1
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 1
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 1
- 210000004561 lacrimal apparatus Anatomy 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 210000003205 muscle Anatomy 0.000 description 1
- 229930014626 natural product Natural products 0.000 description 1
- 230000004297 night vision Effects 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000002524 organometallic group Chemical group 0.000 description 1
- 238000002161 passivation Methods 0.000 description 1
- HOKBIQDJCNTWST-UHFFFAOYSA-N phosphanylidenezinc;zinc Chemical compound [Zn].[Zn]=P.[Zn]=P HOKBIQDJCNTWST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 238000012372 quality testing Methods 0.000 description 1
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 1
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 description 1
- 235000014102 seafood Nutrition 0.000 description 1
- 210000003491 skin Anatomy 0.000 description 1
- 239000010802 sludge Substances 0.000 description 1
- 239000004071 soot Substances 0.000 description 1
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 1
- 208000024794 sputum Diseases 0.000 description 1
- 210000003802 sputum Anatomy 0.000 description 1
- 238000001356 surgical procedure Methods 0.000 description 1
- 210000001519 tissue Anatomy 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
- 238000000927 vapour-phase epitaxy Methods 0.000 description 1
- 229940048462 zinc phosphide Drugs 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
- H01L27/14601—Structural or functional details thereof
- H01L27/1464—Back illuminated imager structures
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
- H01L27/14643—Photodiode arrays; MOS imagers
- H01L27/14649—Infrared imagers
- H01L27/14652—Multispectral infrared imagers, having a stacked pixel-element structure, e.g. npn, npnpn or MQW structures
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/146—Imager structures
- H01L27/14683—Processes or apparatus peculiar to the manufacture or treatment of these devices or parts thereof
- H01L27/14694—The active layers comprising only AIIIBV compounds, e.g. GaAs, InP
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Light Receiving Elements (AREA)
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
Abstract
【解決手段】 受光素子アレイ55は、InP基板1上に位置するn型バッファ層2と、タイプ2型のMQWからなる受光層3と、受光層の上に位置するコンタクト層5と、受光層3を経てn型バッファ層2に至るp型領域6とを備え、選択拡散によるp型領域は、隣の受光素子におけるp型領域とは、選択拡散されていない領域により隔てられており、n型バッファ層内において、p型領域のp型キャリア濃度と該バッファ層のn型キャリア濃度との交差面がpn接合15を形成していることを特徴とする。
【選択図】 図2
Description
また、上記のInGaAs/GaAsSbのタイプ2型MQWを、ドーピングしないで成長させると、n導電型になることが報告されている(非特許文献3、4)。このような場合、pin型というよりはn型フォトダイオードと呼ぶべきかもしれないが、通常は、この場合もpin型フォトダイオードの範疇に入れている。
上記のpin型フォトダイオードは、豊富なデータ蓄積のあるp型不純物のZnを用いて、各受光素子に、容易にp型領域を形成して、上記のpin型フォトダイオードを得ることができる。
また、特許文献1、非特許文献2〜4の受光素子については、これまで、アレイ化して検出装置とした例はなく、ましてアレイ化された検出装置の感度などの測定がなされた例はない。
本発明における受光素子アレイでは、電子をn側電極に集めながら上記の正孔をコンタクト層表面に設けられたp側電極に集めて受光情報を得る。このため、MQW内で生じた正孔をコンタクト層表面まで移動させなければならない。しかし、MQWの価電子帯には多数の井戸障壁があるため、p側電極に到達する前に、途中で消滅するものが多かった。このため、たとえば基板の裏面から入射して、基板に近い位置のMQW内での受光によって生じた正孔は、相当多くの割合がp側電極に到達せず、この結果、受光感度が低下していた。MQW内の価電子帯を、a層からb層へと移動するには、a層の価電子帯トップのエネルギと、b層の価電子帯トップのエネルギとの差ΔEvを上がる必要がある。このエネルギ障壁ΔEvを越えなければ、正孔はa層からb層へと移動できない。
なお、バンド模型は電子に対して作成されるので、正孔については各帯(バンド)の上下は逆になる。したがって、a層の価電子帯トップは、正孔にとっては量子井戸内のボトムになる。
従来の受光素子等では、受光素子等はpin型フォトダイオードとして構成されていた。すなわち、p型領域のコンタクト層/i型(またはn−型)受光層/n型バッファ層(またはn型基板)、の積層構造を有していた。i型受光層の場合、受光層には、正孔は存在しない。また、n−型受光層の場合は、不純物由来の電子は受光層の伝導帯に存在するかもしれないが、正孔は存在しない。このため、a層の価電子帯とb層の価電子帯とで形成されるa層における正孔に対する量子井戸は、そのまま正孔にとって正味の量子井戸障壁となっていた。この結果、逆バイアス電界による駆動力を加えられたとしても、正孔のMQW内の移動を難しくしていた。
また、メサエッチング等をすることなく独立した受光素子を形成することができるので、暗電流を低くすることができる。また、生体成分等の吸収帯が位置する近赤外域において高い感度を確保できるので、これら生体成分等の検出精度を高くすることができる。
なお、電子に対するバンドを用いて正孔の状態を論じる場合、字義に拘泥すれば解釈が混乱する箇所が生じるかもしれないが、どのような場合においても、前後の文脈から明らかな本発明の趣旨に添って解釈すべきである。
なお、バッファ層は、フォトダイオードの部分としてはi型部分とみることができる。以後の説明においても、バッファ層は、そのキャリア濃度が低いこともあり、フォトダイオードのi型部分として説明する。
上記の場合、上述のa層がGaAsSb層であり、b層がInGaAs層となる。p型不純物由来の正孔による底上げ効果がないと、p側電極まで多くの量子井戸が介在する場合、受光で生成した正孔の多くは途中のMQW内で消滅する。
コンタクト層上の選択拡散マスクパターンは、SiN等で形成されるが、単なるパッシベーション膜もSiNで形成される場合もあるので、選択拡散マスクパターンとして用いられたものか否かは、(1)p型領域のコンタクト表面での開口部縁からの広がり代、または、(2)そのキャップ層に接する膜にZn等のp型不純物が含まれているか、を検査することで特定することができる)。
これによって、精度の高い検出装置を経済的に得ることができる。
上記の光学センサ装置は、光学素子、たとえば分光器、レンズ等の光学系と組み合わせたものであり、波長分布測定を遂行したり、撮像装置として用いたり、多くの有用な実用製品を得ることができる。また、当然、マイコンなど制御装置と組み合わせることが多くなる。上記の光学センサ装置の具体例としては、(i)視界支援もしくは監視をするための撮像装置、(ii)生体成分検査装置、水分検査装置、食品品質検査装置、などの検査装置、(iii)燃焼ガスの成分把握などのためのモニタリング装置、などを挙げることができる。要は、上記の受光素子、受光素子アレイ、もしくはハイブリッド型検出装置と、レンズ、フィルタ、光ファイバ、回折格子、分光レンズなどの光学素子とを組み合わせた装置であれば何でもよい。画面表示や判定をする場合は、さらにマイコンや画面表示装置が加わる。
上記の構成によって、受光素子アレイにおける上述の機構によって、近赤外域の長波長域に高い感度を有するフォトダイオードを得ることができる。
ここで説明する、近赤外域用のタイプ2型MQWを受光層とする本発明前の最新技術におけるハイブリッド型検出装置についての問題は未だ知られていない。
図18は、本発明前の最新技術における受光素子150を示す図である。受光素子150は次の積層構造を有する。
n型InP基板101/n型InP(またはInGaAs)バッファ層102/受光層103(InGaAs/GaAsSb)のタイプ2型MQW/InGaAs拡散濃度分布調整層104/InPコンタクト層105
光はInP基板101側から入射される。以下、基板入射と呼ぶ。これに対して、コンタクト層105の側からの入射をコンタクト層入射と呼ぶ。受光素子150またはフォトダイオードは、InPコンタクト層105の表面から選択拡散によって導入されたp型領域106の先端に位置するpn接合115を備え、選択拡散されていない領域によって端面から隔てられている。
受光素子のp側電極または画素電極111は、p型領域106にオーミック接触するように配置され、グランド電極112は、n型InP基板101にオーミック接触するように配置される。
受光の際には、pn接合115に逆バイアス電圧、すなわち画素電極111とグランド電極112との間に、グランド電極112の電位が画素電極111より高くなるように電圧を印加する。空乏層はタイプ2型のMQWの受光層103に拡がり、ここに到達した光によって電子正孔対が形成される。画素電極111はグランドより電位が低いので正孔を集めて、正孔の電荷が画素情報を形成する。この画素の電荷を所定時間ピッチで読み出すことで、画像または測定信号の強度分布等を形成することができる。
図19(a)と(b)とを比較して、基板入射の場合は、受光で生成した正孔hは、MQWの多数の障壁ΔEvを越えなければ画素電極111に到達できないが、コンタクト層入射では、受光は画素電極111に近いMQW内の位置で生じて、正孔hは画素電極111に到達するのに多くのMQWを越える必要はない。
(1)タイプ2型MQWを受光層とする受光素子に対して、コンタクト層入射の場合、近赤外光の量子効率は、0.3〜0.9を示す。この量子効率は、良好といえる。
(2)しかしながら、同じ受光素子アレイを基板入射とすると、近赤外域の量子効率は、0.05〜0.5という非常に低い値に低下してしまう。二次元の受光素子アレイを用いる場合、各画素に配線を設けるため、配線による光に対する妨害を避けるため、InP基板の裏面からの基板入射とせざるをえない。
本発明のポイントは次の点にある。受光素子または受光素子アレイは、タイプ2型MQW((InGaAs/GaAsSb))を受光層に含む。この受光素子または受光素子アレイにおいて、p型領域をコンタクト層から受光層を経てバッファ層に至る領域として、pn接合をバッファ層内に設けることがポイントである。画素電極はその受光層上のp型コンタクト層にオーミック接触するように配置する。本発明では、正孔を信号電荷に用いながら、p型領域を(コンタクト層/タイプ2型MQW受光層/バッファ層の一部)に形成することで、基板入射でもコンタクト層入射でも、受光感度または量子効率を高めることができる。そのメカニズムについてはこのあと詳しく説明する。
図1は、本発明の実施の形態1における受光素子50を示す図である。受光素子50またはフォトダイオードは、n型InP基板1/n型InPバッファ層2/タイプ2型MQW受光層3/拡散濃度分布調整層4/InPコンタクト層5、の積層体に形成されている。タイプ2型MQW受光層3は、InGaAs(上述のb層)/GaAsSb(上述のa層)、を積層することで形成されている。p型不純物の亜鉛(Zn)が選択拡散されてp型領域6が形成され、p型領域6の先端部にpn接合15が形成されている。画素Pを構成する受光素子の主体をなすp型領域6は、端面とは選択拡散されていない領域によって隔てられているため、メサエッチングすることなく、簡単な構造で暗電流の低い受光素子50を得ることができる。
受光層3が、上述のように、InGaAs/GaAsSbの積層体で形成される場合には、p型不純物である亜鉛(Zn)を拡散するとき、Zn濃度を所定レベル以下に抑制するために、拡散濃度分布調整層4をInPコンタクト層5とMQW受光層3との間に挿入してもよい。図1では、拡散濃度分布調整層4が表示されているが、この拡散濃度分布調整層4はなくてもよい。また、光が入射される入射面となるInP基板1の裏面にはSiON膜の反射防止膜35が配置されている。
本発明前のpin型フォトダイオードは、図18に示すように、p型領域106は、浅い範囲にとどまっており、InPコンタクト層105の表面からタイプ2型MQW受光層103に至る範囲に形成される。pn接合115はMQW受光層103内に位置する。
受光素子アレイ55において、各p型領域6は画素Pの主部分に対応しており、p側電極11は画素電極となる。すべての画素電極11に対するn側電極(グランド電極)12は、共通の接地電位に保持される。
図3は、図2に示す受光素子アレイ55の平面図である。画素ピッチは30μmであり、画素(受光素子)は320×256であり、チップサイズは横10mm×縦9mmである。
図5(b)に示すように、本発明前のMQW受光層では、真性半導体またはn−型半導体なので、受光されなければ正孔が存在せず、価電子帯における正孔の各準位はほとんど占有されていない。このため、価電子帯における基底状態の準位も、空席である。このような状態において、受光によって正孔hがGaAsSbの価電子帯に生成する(電子の挙動は今の議論に関係ないので省略する)。受光によって生じた正孔hは、逆バイアス電圧下、ドリフトしながら多数の量子井戸を越えてゆくうちに、価電子帯における正孔の準位を低い方から占めてゆく。基底状態の準位はエネルギ的に低く安定なので、優先的に占有される。上述のように、GaAsSbの価電子帯の正孔hの準位は、量子井戸の底近いレベルに位置する。図5(b)に示すように、GaAsSbの価電子帯トップとInGaAsの価電子帯トップとの差ΔEvが、GaAsSbの基底状態の正孔hに対する障壁として作用する。重い正孔hは、この障壁が高いために、井戸を抜け出して画素電極11に到達することが容易ではなくなる。量子井戸は数百ある。このため画素電極11に到達する前に、生成した正孔の多くが消滅すると考えられる。この結果、受光感度は低下する。
本発明が対象とする受光素子アレイ55は、近赤外域からその長波長側に受光感度を有することを追求するので、コンタクト層5には、MQW受光層3のバンドギャップエネルギより大きいバンドギャップエネルギの材料を用いるのが好ましい。このため、コンタクト層5には、通常、受光層よりもバンドギャップエネルギが大きく、格子整合がとりやすいInPを用いるのがよい。また、コンタクト層5には、InPとほぼ同じバンドギャップエネルギを有するInAlAsを用いてもよい。
図7は、図2に示す受光素子アレイ55の変形例であり、本発明の一つの実施の形態である。この受光素子アレイ55では、各画素に共通のグランド電極であるn側電極12が、n型InP基板1のおもて面側(エピタキシャル層側)に設けられている。このn側電極12の位置であっても、各画素のp側電極11との間に電圧を印加してpn接合15から空乏層を広げることができる。
図8は、図7に示す受光素子アレイ55を用いたハイブリッド型検出装置10を示す図であり、図4のハイブリッド型検出装置10の変形例である。言うまでもなく、図8に示すハイブリッド型検出装置10も本発明の一つの実施の形態である。CMOS70に対面するように位置するn側電極12から、接続電極12bが、エピタキシャル層側面を被覆する保護膜37eの上を伝ってCMOS側に延び出している。この接続電極12bと、CMOS70のグランド電極72との間に、接合バンプ31bが介在して、両者を導電接続している。
図7に示すようなn側電極12の配置をとることで、ハイブリッド型検出装置10に組み上げたとき、図8に示すようなコンパクトな配線構造を実現することができる。
<本発明例>
図6に示すように、石英管29中に、選択拡散マスクパターン36を形成した半導体ウエハ50aと、赤燐6sと、亜鉛線6wとを真空封入した。真空封入では、1×10−6torr程度に真空排気した。真空封入した石英管29を、600℃×30分間加熱した。
<比較例>
本発明前の受光素子では、石英管の中に、選択拡散マスクパターンを形成したInPウエハと、Zn3P2とを封入して、1×10−6torr程度に真空排気した。このあと、480℃×50分加熱して受光層に届くように選択拡散させた。
(1)選択拡散の加熱パターンが、本発明例では600℃×30分間であるのに比して、比較例では480℃×50分間である。
(2)選択拡散のp型不純物の原料が、本発明例では亜鉛線(線材)と、赤燐と、であるのに比して、比較例ではZn3P2である。本発明例における亜鉛線は、亜鉛片などでもかまわない。
上述のように、InPコンタクト層5の表面に形成したSiN選択拡散マスクパターン36を用いて、その開口部からZnを選択拡散してInGaAs/GaAsSb(またはInGaAsN/GaAsSb)MQW受光層3を経てバッファ層2に届くようにp型領域6を形成する。p型領域6のフロント先端部がバッファ層2内においてpn接合15を形成する。そして、pn接合15の近傍におけるZn濃度分布は、傾斜型接合を示すような分布になっている。
図10は、本発明の実施の形態2における光学センサ装置20である撮像装置または視界支援装置を示す図である。本視界支援装置は、自動車の夜間運転における運転者の前方の視界を支援するために、車両に搭載される。車両には、実施の形態1において説明した受光素子アレイ55と、図示しない、CMOSやレンズなど光学素子等とを含むハイブリッド型検出装置10と、撮像された画像を表示する表示モニタ61と、これらを駆動制御する制御装置60とが搭載される。また、図11は、自動車の夜間運転における運転者の後方の視界を支援するために、車両に搭載される、夜間後方の視界支援装置を示す図である。自動車の後部に後ろ向きに取り付けられた、実施の形態1の受光素子アレイ55、CMOS、レンズなど光学素子等を含むハイブリッド型検出装置10で撮像した画像は、運転者の上部前方の表示装置61に表示される。ハイブリッド型検出装置10(または受光素子アレイ55)および表示装置61は、制御装置60によって駆動制御される。
上記は自動車の視界支援装置であるが、その他、暗視装置、航海支援装置、侵入者監視装置、室内監視装置、高い位置に配置した都市火災監視装置等に利用することができる。
図12は、本発明の実施の形態3における光学センサ装置20である生体成分検出装置を示す図である。図12において、受光部に上述のハイブリッド型検出装置10を用い、グルコースの近赤外域の長波長域に位置する吸収帯を用いて濃度測定を行う。本実施の形態では、生体を透過した近赤外光を測定してグルコース濃度を求める。人体の反射光を用いてもよい。光は次の経路を通る。
光源63→照射用ファイバ64→検出部位(ユビ)→情報搭載光ファイバ65→回折格子(分光器)91→ハイブリッド型検出装置10→制御部85
上記の経路において、分光器91は、光源63と照明用ファイバ64との間に配置してもよい。
上記の構成により検出部位において血液成分の吸収スペクトルを得ることで、制御部85において血糖値の絶対値、またはその相対値もしくは大小を検出することができる。図12に示す例は、ヒトの指の透過光を受光するが、皮膚、筋肉、血液など多くの生体組織の情報を得ることができる。
上記は、ハイブリッド型検出装置10を光学センサ装置20に組み込み、人体透過光による血糖値の測定に用いた例であるが、その他、人体反射光による血糖値、体脂肪、眼の角膜のコラーゲン、顔面のコラーゲン分布像などの測定に用いることができる。
図13は、本発明の実施の形態4における光学センサ装置である、生体中の水分検出装置(眼の水分布像形成装置)を示す図である。眼の不具合には、乾き眼、なみだ眼、など水分と関連した症状が多い。このような症状が出たとき、図13に示すように、角膜Cだけでなく、眼Eの前面すべての水分布イメージをとることで、その症状を評価することができる。たとえば涙腺に対応する箇所で、水濃度が異常に高いなどを検出することが可能である。凹面鏡68は近赤外光に対する反射率が大きいものを用いるのがよく、たとえば金(Au)で形成したものを用いる。凹面鏡68は、眼の正面ではなく傍らに位置して、光源63から発して眼の各部からの光を反射して、眼の各部の像をハイブリッド型検出装置10による撮像装置に結像させるようにする。フィルタ69は、水の吸収帯に属する1.4μm付近の光または1.9μmの付近の光を透過させるものがよい。制御部85のマイクロコンピュータ85bは、ハイブリッド型検出装置10の画素の出力信号に基づいて、眼Eにおける水分布像を形成し、表示装置85cに表示する。本発明に係る撮像装置10は、暗電流が低く、長波長側にまで感度が高いため、S/N比の高い、鮮明な水分布像を得ることができる。このため、眼における水の果たす作用、水の動きなどの理解に役立つ。
上記は生体の部分である眼の水分検出装置の例であるが、このほか、自然産物の水分測定(メロンの水分測定(品質検定)、水分による籾混入率の測定、他の果物、海苔、魚介類、乳製品など)、角膜矯正手術における角膜水分測定、顔面肌など生体の水分測定、紙製品の水分測定、自動排油装置中の油中の水分測定、汚泥の脱水ケーキの水分測定、石炭の水分測定、衣類乾燥機における衣類の水分測定などに用いることができる。
図14は、本発明の実施の形態5における光学センサ装置20である、ごみの燃焼炉においてごみの温度分布を得るための温度分布測定装置である。気体中の成分濃度を検出するための環境モニタ装置の一具体例である。また図15は温度分布撮像装置20aを示す図である。ごみ燃焼炉では、炭素または炭化水素は塊状であり燃料に適した形態で存在するわけではないので、すすは少なく、また水分が多量に存在する。図16は、ごみ燃焼炉における近赤外スペクトルを示すが、水の発光スペクトル波長λ2,λ3が顕著である。本実施の形態においては、水の発光スペクトルが温度によって変化することを利用して、図17に示す水の吸収スペクトルと合わせて、水の濃度と温度とをモニタリングする。図17中、(K1)および(K2)は、それぞれ10mmおよび1mmのキュベットセルを用いて測定したものである。発光スペクトルの強度は、水の濃度にも比例するので、2つの発光ピーク波長だけでは、精度のよい測定が難しいので、吸収スペクトルも用いる。
温度分布撮像装置20aでは、干渉フィルタ10aが重要である。干渉フィルタ10aは、上記の水の発光ピーク波長λ2,λ3、および複数の吸収ピーク波長のそれぞれに透過波長をもつフィルタとする。たとえば吸収ピーク波長は、図17に示すように、近赤外域に2つの鋭いピークM2,M3をもつが、干渉フィルタ10aは、これらの波長の光を通すようにする。したがって、干渉フィルタ10aは、上記の2つの発光ピーク波長と合わせて全部で4種類、または4つの透過波長のフィルタを配置することになる。外部の操作によって自動的に、これら4種類の干渉フィルタを選択する自動選択機構を設けることが望ましい。レンズ等の光学系10cについても自動的にピントを合わせる自動焦点機構を設けるのがよい。たとえば、上記4種類の干渉フィルタに対応して、4つの波長の光について、ごみまたはその少し上方の撮像を行う。これによって4つの波長の像を得ることができる。
予め、水蒸気温度および水蒸気濃度を変えた空気について、上記の波長における光の強度を求め、温度の回帰式を求めておくことができる。この温度回帰式を制御部のマイコン85bに記憶させておく。上記の撮像によって、各位置において、波長ごとの強度を得ることができる。上記の温度回帰式を用いれば、各位置において、温度を求めることができる。このように、水の温度および濃度を両方ともモニタすることで、ごみの燃焼状態を精度よく検知することができる。
従来は、多くの温度センサをごみ焼却装置内に配置していたが、本実施の形態の装置を、焼却炉の上方部または頂部に配置することで、温度センサの数を削減することができる。
Claims (15)
- 化合物半導体の基板上に、複数の受光素子が配列された受光素子アレイであって、
前記基板上に位置するn型バッファ層と、
前記n型バッファ層上に位置する、タイプ2型の多重量子井戸構造からなる受光層と、
前記受光層の上に位置するコンタクト層と、
前記受光素子ごとに位置する、前記コンタクト層表面から前記受光層を経て前記n型バッファ層に至るp型領域とを備え、
前記p型領域は、p型不純物が深さ方向に選択拡散によって形成されており、隣の受光素子における前記p型領域とは、選択拡散されていない領域により隔てられており、
前記n型バッファ層内において、前記p型領域のp型キャリア濃度と該n型バッファ層のn型キャリア濃度との交差面がpn接合を形成していることを特徴とする、受光素子アレイ。 - 前記受光層、および前記コンタクト層は、前記p型領域以外はn型であり、前記p型領域は周囲をn型領域で囲まれていることを特徴とする、請求項1に記載の受光素子アレイ。
- 前記多重量子井戸構造の受光層における前記p型領域のp型キャリア濃度は、5e15cm−3以上、かつ1e17cm−3以下であることを特徴とする、請求項1または2に記載の受光素子アレイ。
- 前記n型バッファ層のn型キャリア濃度は、1e15cm−3以上、5e15cm−3以下であることを特徴とする、請求項1〜3のいずれか1項に記載の受光素子アレイ。
- 前記n型バッファ層の厚みが1μm以上、6μm以下であることを特徴とする、請求項1〜4のいずれか1項に記載の受光素子アレイ。
- 前記基板の裏面から光入射するように構成されていることを特徴とする、請求項1〜5のいずれか1項に記載の受光素子アレイ。
- 前記基板と逆側の前記コンタクト層側から光入射するように構成され、前記多重量子井戸構造の受光層の厚みが2μm以上であることを特徴とする、請求項1〜5のいずれか1項に記載の受光素子アレイ。
- 前記化合物半導体の基板がInP基板であり、かつ前記受光層を構成するタイプ2型の多重量子井戸構造が、(GaAsSb/InGaAs)、(GaAsSb/InGaAsN)、(GaAsSb/InGaAsNSb)、および(GaAsSb/InGaAsNP)のうちのいずれか1つの繰り返しであることを特徴とする、請求項1〜7のいずれか1項に記載の受光素子アレイ。
- 前記コンタクト層を被覆するように位置し、前記p型領域に開口部を有する選択拡散マスクパターンを備えることを特徴とする、請求項1〜8のいずれか1項に記載の受光素子アレイ。
- 請求項1〜9のいずれか1項に記載の受光素子アレイと、シリコンに形成された読み出し回路とを備えたハイブリッド型検出装置であって、前記受光素子アレイのp側電極ごとに、前記読み出し回路の読出電極とが導電接続されていることを特徴とする、ハイブリッド型検出装置。
- 前記受光素子アレイにおける基板の裏面から光を入射することを特徴とする、請求項10に記載のハイブリッド型検出装置。
- 請求項1〜9のいずれか1項に記載の受光素子アレイ、請求項10〜11のいずれか1項に記載のハイブリッド検出装置を用いたことを特徴とする、光学センサ装置。
- 化合物半導体の基板上に形成された受光素子であって、
前記基板上に位置するn型バッファ層と、
前記n型バッファ層上に位置する、タイプ2型の多重量子井戸構造からなる受光層と、
前記受光層の上に位置するコンタクト層と、
前記コンタクト層表面から前記受光層を経て前記n型バッファ層に至るp型領域と、
前記p型領域は、前記コンタクト層表面からp型不純物が深さ方向に選択拡散によって形成されており、周囲とは選択拡散されていない領域により隔てられており、
前記n型バッファ層内において、前記p型領域のp型キャリア濃度と該n型バッファ層のn型キャリア濃度との交差面がpn接合を形成していることを特徴とする、受光素子。 - 化合物半導体の基板上に、受光素子が配列された受光素子アレイを製造する方法であって、
前記基板上に、バッファ層を成長する工程と、
前記バッファ層上に、タイプ2型の多重量子井戸構造の受光層を成長する工程と、
前記受光層の上にコンタクト層を成長する工程と、
前記コンタクト層から前記受光素子ごとにp型不純物を選択的に拡散してp型領域を形成するために、開口部を有する選択拡散マスクパターンを該コンタクト層上に形成する工程と、
前記選択拡散マスクパターンの開口部からp型不純物を選択拡散して、前記コンタクト層表面から前記受光層を経て前記バッファ層に至る前記p型領域を形成する工程とを備えることを特徴とする、受光素子アレイの製造方法。 - 前記基板をInP基板とし、前記タイプ2型の多重量子井戸構造を、(GaAsSb/InGaAs)、(GaAsSb/InGaAsN)、(GaAsSb/InGaAsNSb)、および(GaAsSb/InGaAsNP)のうちのいずれか1つの繰り返しとして、前記p型不純物を選択拡散する工程では、容器中に、前記選択拡散マスクパターンを設けられた、製造途中の前記受光素子アレイと、固体状の亜鉛と、赤燐とを封入して、500℃〜650℃の範囲に加熱することを特徴とする請求項14に記載の受光素子アレイの製造方法。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010070993A JP5560818B2 (ja) | 2010-03-25 | 2010-03-25 | 受光素子、受光素子アレイ、ハイブリッド型検出装置、光学センサ装置 |
EP11759206.3A EP2551908A4 (en) | 2010-03-25 | 2011-03-10 | LIGHT RECEIVER ELEMENT, LIGHT RECEIVING ELEMENT ARRAY, HYBRID SENSING DEVICE, OPTICAL SENSOR DEVICE, AND METHOD FOR PRODUCING THE LIGHT RECEIVING ELEMENT ARRAY |
PCT/JP2011/055588 WO2011118399A1 (ja) | 2010-03-25 | 2011-03-10 | 受光素子、受光素子アレイ、ハイブリッド型検出装置、光学センサ装置、および受光素子アレイの製造方法 |
US13/520,007 US8921829B2 (en) | 2010-03-25 | 2011-03-10 | Light receiving element, light receiving element array, hybrid-type detecting device, optical sensor device, and method for producing light receiving element array |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010070993A JP5560818B2 (ja) | 2010-03-25 | 2010-03-25 | 受光素子、受光素子アレイ、ハイブリッド型検出装置、光学センサ装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011204920A true JP2011204920A (ja) | 2011-10-13 |
JP5560818B2 JP5560818B2 (ja) | 2014-07-30 |
Family
ID=44672961
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010070993A Active JP5560818B2 (ja) | 2010-03-25 | 2010-03-25 | 受光素子、受光素子アレイ、ハイブリッド型検出装置、光学センサ装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8921829B2 (ja) |
EP (1) | EP2551908A4 (ja) |
JP (1) | JP5560818B2 (ja) |
WO (1) | WO2011118399A1 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011258817A (ja) * | 2010-06-10 | 2011-12-22 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 受光素子、受光素子アレイ、ハイブリッド型検出装置、光学センサ装置、および受光素子アレイの製造方法 |
WO2019131134A1 (ja) * | 2017-12-28 | 2019-07-04 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 受光素子および電子機器 |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10158035B2 (en) * | 2015-04-22 | 2018-12-18 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Semiconductor stack, light-receiving device, and method for producing semiconductor stack |
JP6488855B2 (ja) * | 2015-04-22 | 2019-03-27 | 住友電気工業株式会社 | 半導体積層体、受光素子および半導体積層体の製造方法 |
JP6613923B2 (ja) * | 2016-01-27 | 2019-12-04 | 住友電気工業株式会社 | 半導体積層体、受光素子および半導体積層体の製造方法 |
CN106711289A (zh) * | 2017-01-22 | 2017-05-24 | 中国科学院半导体研究所 | 一种抑制锑化物超晶格红外探测器表面泄露电流的方法 |
KR20180090116A (ko) * | 2017-02-02 | 2018-08-10 | 삼성전자주식회사 | 광 필터 및 이를 포함하는 광 분광기 |
US10964737B2 (en) * | 2017-05-15 | 2021-03-30 | Sony Semiconductor Solutions Corporation | Photoelectric conversion device and imaging device |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04312986A (ja) * | 1991-03-26 | 1992-11-04 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体装置 |
JP2001007378A (ja) * | 1999-06-17 | 2001-01-12 | Fujitsu Ltd | 半導体受光装置及びその製造方法 |
JP2006165113A (ja) * | 2004-12-03 | 2006-06-22 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 燐を含むiii−v族化合物半導体ウエハに亜鉛を拡散させる方法およびフォトダイオードの作製方法 |
JP2007081331A (ja) * | 2005-09-16 | 2007-03-29 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 半導体受光素子、光モジュールおよび光モニタ部品 |
JP2008047587A (ja) * | 2006-08-11 | 2008-02-28 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 光検出装置 |
JP2010050417A (ja) * | 2008-08-25 | 2010-03-04 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 受光素子アレイ、その製造方法および検出装置 |
JP2010054457A (ja) * | 2008-08-29 | 2010-03-11 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 水分検出装置、生体中水分検出装置、自然産物中水分検出装置、および製品・材料中水分検出装置 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3650287T2 (de) * | 1985-09-24 | 1995-08-10 | Toshiba Kawasaki Kk | Halbleiter-Photodetektor mit einem zweistufigen Verunreinigungsprofil. |
JPH04111477A (ja) * | 1990-08-31 | 1992-04-13 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 受光素子 |
JP2005259829A (ja) | 2004-03-10 | 2005-09-22 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 裏面入射型受光素子アレイ |
JP4662188B2 (ja) | 2008-02-01 | 2011-03-30 | 住友電気工業株式会社 | 受光素子、受光素子アレイおよびそれらの製造方法 |
-
2010
- 2010-03-25 JP JP2010070993A patent/JP5560818B2/ja active Active
-
2011
- 2011-03-10 EP EP11759206.3A patent/EP2551908A4/en not_active Withdrawn
- 2011-03-10 WO PCT/JP2011/055588 patent/WO2011118399A1/ja active Application Filing
- 2011-03-10 US US13/520,007 patent/US8921829B2/en active Active
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04312986A (ja) * | 1991-03-26 | 1992-11-04 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体装置 |
JP2001007378A (ja) * | 1999-06-17 | 2001-01-12 | Fujitsu Ltd | 半導体受光装置及びその製造方法 |
JP2006165113A (ja) * | 2004-12-03 | 2006-06-22 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 燐を含むiii−v族化合物半導体ウエハに亜鉛を拡散させる方法およびフォトダイオードの作製方法 |
JP2007081331A (ja) * | 2005-09-16 | 2007-03-29 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 半導体受光素子、光モジュールおよび光モニタ部品 |
JP2008047587A (ja) * | 2006-08-11 | 2008-02-28 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 光検出装置 |
JP2010050417A (ja) * | 2008-08-25 | 2010-03-04 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 受光素子アレイ、その製造方法および検出装置 |
JP2010054457A (ja) * | 2008-08-29 | 2010-03-11 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 水分検出装置、生体中水分検出装置、自然産物中水分検出装置、および製品・材料中水分検出装置 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011258817A (ja) * | 2010-06-10 | 2011-12-22 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 受光素子、受光素子アレイ、ハイブリッド型検出装置、光学センサ装置、および受光素子アレイの製造方法 |
WO2019131134A1 (ja) * | 2017-12-28 | 2019-07-04 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 受光素子および電子機器 |
JPWO2019131134A1 (ja) * | 2017-12-28 | 2021-01-21 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 受光素子および電子機器 |
US11616093B2 (en) | 2017-12-28 | 2023-03-28 | Sony Semiconductor Solutions Corporation | Light receiving element and electronic apparatus |
JP7312115B2 (ja) | 2017-12-28 | 2023-07-20 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 受光素子および電子機器 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US8921829B2 (en) | 2014-12-30 |
US20120298957A1 (en) | 2012-11-29 |
WO2011118399A1 (ja) | 2011-09-29 |
JP5560818B2 (ja) | 2014-07-30 |
EP2551908A1 (en) | 2013-01-30 |
EP2551908A4 (en) | 2014-07-23 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5531744B2 (ja) | 半導体ウエハ、受光素子、受光素子アレイ、ハイブリッド型検出装置、光学センサ装置、および半導体ウエハの製造方法 | |
JP5560818B2 (ja) | 受光素子、受光素子アレイ、ハイブリッド型検出装置、光学センサ装置 | |
JP6080092B2 (ja) | 受光素子、半導体エピタキシャルウエハ、検出装置および受光素子の製造方法 | |
US9543458B2 (en) | Full color single pixel including doublet or quadruplet Si nanowires for image sensors | |
CN102265138B (zh) | 气体监测装置、燃烧状态监测装置、长期变化监测装置和杂质浓度监测装置 | |
US8022390B1 (en) | Lateral conduction infrared photodetector | |
US8293566B1 (en) | Strained layer superlattice focal plane array having a planar structure | |
JP5975417B2 (ja) | 受光素子の製造方法 | |
JPWO2007094493A1 (ja) | 光電界効果トランジスタ,及びそれを用いた集積型フォトディテクタ | |
JP2008153311A (ja) | 半導体受光素子、視界支援装置および生体医療装置 | |
US11723225B2 (en) | Imaging device and imaging system | |
DE102012214690A1 (de) | Hybrider Detektor zum Detektieren elektromagnetischer Strahlung | |
JP5691205B2 (ja) | 受光素子、受光素子アレイ、ハイブリッド型検出装置、光学センサ装置、および受光素子アレイの製造方法 | |
JP2011204919A (ja) | 半導体ウエハ、受光素子、受光素子アレイ、ハイブリッド型検出装置、光学センサ装置、および受光素子アレイの製造方法 | |
WO2008011152A2 (en) | Longwave infrared photodetector | |
JP2011258817A (ja) | 受光素子、受光素子アレイ、ハイブリッド型検出装置、光学センサ装置、および受光素子アレイの製造方法 | |
Rehm et al. | Status of mid-infrared superlattice technology in Germany | |
Goel et al. | Self-powered photodetectors: a device engineering perspective | |
D'Souza et al. | Visible to SWIR response of HgCdTe HDVIP detectors | |
WO2012073934A1 (ja) | 受光素子、半導体エピタキシャルウエハ、これらの製造方法および検出装置 | |
Krishna | Infrared focal plane arrays based on dots in a well and strained layer superlattices | |
JP2012243901A (ja) | 受光素子および検出装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20130225 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20131008 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20131129 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140513 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140526 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5560818 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |