WO2005093738A1 - 光ディスクにおける接着剤の延展方法 - Google Patents

Abstract

　本発明の目的は、光ディスクの貼合わせ工程において、接着剤（通常、紫外線硬化樹脂）を２枚のディスク基板間で膜厚に偏りがなく均一に延展することができる接着剤の延展方法を提供すること。 　中心穴を有する２枚のディスク基板（Ｄ１，Ｄ２）間に接着剤Ｒを介在させ、該ディスク基板を回転させて接着剤Ｒを延展する光ディスクにおける接着剤の延展方法であって、延展の際、ディスク基板の外周端部上面を押圧する接着剤の延展方法。 　また、前記ディスク基板の外周端部上面の押圧は、エアーを吹き付けるものである。

Description

明 細 書

光ディスクにおける接着剤の延展方法

技術分野

[0001] 本発明は、光ディスクを貼合わせる際における接着剤の延展方法に関し、更に詳し くは、 DVD-ROM, DVD-R, DVD— RW及び次世代ディスク HD— DVD等の 高密度記録媒体用の光ディスクを貼合わせる際における接着剤の延展方法に関す る。

特に、 2枚のディスク基板間に介在する接着剤を均一に延展するための接着剤の 延展方法に関する。

背景技術

[0002] 従来、 DVD—ROM、 DVD-R,及び DVD— RW等の光ディスクは、それを構成 する円盤状の榭脂性のディスク基板の厚さが 0. 6mm,外形が 120mm、及び中心 穴の内径が 15mm、と規定されている。

このようなディスク基板が 2枚合体されることにより機械的強度が十分担保された 1. 2mm厚の光ディスクが形成される。

[0003] 光ディスクの貼合わせ工程における接着剤 (通常、紫外線硬化榭脂）の延展方法と しては、図 7の工程図に示すような方法が知られている（例えば、特許文献 1参照)。

この方法は、ディスク基板同士を貼合わせて一体とするために、次の一連の工程を 経る。

[0004] すなわち工程 1 (載置工程)では、基板面に反射膜ならびに保護膜をコーティングし た第 1ディスク基板 D1が、スピンナー 3の上に載置され均一に吸着保持される。 工程 2 (塗布工程)では、第 1ディスク基板 D1に接着剤 Rが塗布される。 詳しくは、第 1ディスク基板 D1を載置したスピンナー 3を低速回転させながら、吐出 ノズル Nより紫外線硬化榭脂である接着剤 Rを静かに吐出させ、第 1ディスク基板 D1 の上に塗布する。

吐出する接着剤 Rは、吐出ノズル Nの移動の仕方により第 1ディスク基板 D1の上に 吐出される軌跡は異なる力 例えば、図に示すようにドーナツ状の軌跡にする場合に は、吐出ノズル Nを移動させる必要はない。

[0005] 工程 3 (重ね合わせ工程)では、接着剤 Rが塗布された第 1ディスク基板 D1の上に 第 2ディスク基板 D2が載置される。

ここで、第 2ディスク基板 D2は、情報信号が印加されてない透明なもの、又は情報 信号が印加されたもの (この場合、反射膜を有するので、通常、透明ではない）がある

[0006] 工程 4 (延展工程)では、両ディスク基板 Dl, D2間に介在する接着剤 Rが満遍なく 均一に基板上に行き渡るように延展が行われる。

この延展は、 2枚のディスク基板 Dl, D2が合体した合体円形榭脂基板、すなわち 貼合わせディスク Dがスピンナー 3上に載置された状態において、スピンナー 3を高 速回転 (通常、回転数は数千 rpm以上、回転時間は数秒程度）させることで行う。 この回転により、貼合わされた両ディスク基板 Dl, D2間に存在する余分な接着剤 Rは延展と共に外部に放出され、同時に両ディスク基板 Dl, D2間に閉じ込められた 空気 (空気の泡等）は外部に排出される。

[0007] 工程 5 (硬化工程)では、貼合わせディスク D、（すなわち貼り合わされて一体となつ た第 1ディスク基板 D1と第 2ディスク基板 D2)を回転 (例えば、 60rpm程度)させた状 態又は回転させな!/ヽ状態で、紫外線を照射させ接着剤 Rを硬化させる。

具体的には、背面に反射鏡を有する紫外線光源体 Lにより貼合わせディスク Dを照 射し、効率よく硬化がなされる。

なお、硬化工程は、使用する接着剤 Rの種類により異なるもので、使用する接着剤 Rの特性に合致した硬化方法が採用されることは言うまでもない。

以上のようにして貼合わせ工程が終了する。

[0008] ところで、上記貼合わせ全工程のうち、工程 4 (延展工程）は、接着剤 Rを満遍なく 基板上に均一に行き渡らせるところであり、全工程の中でも極めて重要な工程となつ ている。

光ディスクに記録できる情報の高密度化を達成するためには、貼合わせディスク D の平坦度を良くすることが有効であり、そのためには接着剤 Rの均一な延展が行われ ることが重要であるカゝらである。 [0009] し力し、上述したような従来の延展装置では膜厚のばらつき力 ± (10 /z m〜15 m)にも達する。

因みに、この接着層のばらつきは、光ディスクに情報を記録したりこの情報を読み 取ったりする時のレーザー光の光路にも影響を与え、記録、再生機能が十分に発揮 されないなどの原因となる重要な要素である。

DVD+R9 (片面 2層で 8. 5GB)と力、、次世代ディスクである HD— DVD (AOD— Advanced Optical Disc：片面 15GB)においては、厳しい膜厚の規格が求められて おり（例えば、 DVD+R9では ± 5 m、 HD— DVDでは ± 3 mのばらつきしか許 されて 、な 、）、これをクリア一することは極めて難し 、ものとなって!/、る。

参考までに、従来の DVD— ROM (再生専用）の規格は ± 15 μ mである。

[0010] 特許文献 1 :特開平 9 245386号公報

発明の開示

発明が解決しょうとする課題

[0011] ところで、上述したような光ディスクにおける接着剤の延展方法では、両ディスク基 板 Dl, D2間に接着剤 Rを介在させ、これをスピンナー 3の上で回転させ、接着剤 R を遠心力で延展しても、実際には、ディスク基板外周端部の位置にある接着剤 Rの厚 さ（すなわち膜厚）が、他の部分に比べて幾分厚くなるという欠点は回避できていない 極端に言うと、膜厚に偏りが生じて、両ディスク基板 Dl, D2は、図 8に示すような形 状となる。

このような場合、膜厚のばらつきは士（10 m〜15 m)に達してしまうことが多ぐ ± 3 m以内に収めることは相当困難である。

[0012] 力かるディスク基板外周端部の膜厚が厚くなる理由は、遠心力と表面張力とのバラ ンスに起因するものと考えられる。

すなわち、接着剤 Rが遠心力で次第にドーナツ状のディスク基板の内周端側から 外周端側に移動するが、表面張力より遠心力が大きい運動エネルギーを持つ接着 剤 Rだけが外周端部から飛び出すことになる。

しかし、表面張力の方が遠心力より大きい場合は、接着剤 Rが外周端部から飛び出 すことができず、両ディスク基板 Dl, D2間の外周端部に溜まってしまうのである。 そのために、外周端部の膜厚が厚くなる。

[0013] 本発明は、力かる背景技術をもとになされたもので、上記の背景技術の問題点を克 服するためになされたものである。

すなわち、本発明は、光ディスクの貼合わせ工程において、接着剤 (通常、紫外線 硬化榭脂)を 2枚のディスク基板間で膜厚に偏りがなく均一に延展することができる接 着剤の延展方法を提供することを目的とする。

課題を解決するための手段

[0014] 力べして、本発明者は、このような課題背景に対して鋭意研究を重ねた結果、延展 の際、ディスク基板の外周端部上面を積極的に押圧することにより、上述した問題点 を解決することができることを見出し、この知見に基づいて本発明を完成させたもの である。

[0015] すなわち、本発明は、 (1)、中心穴を有する 2枚のディスク基板間に接着剤を介在 させ、該ディスク基板を回転させて接着剤を延展する光ディスクにおける接着剤の延 展方法であって、延展の際、ディスク基板の外周端部上面を押圧する接着剤の延展 方法に存する。

[0016] また、本発明は、（2)、前記ディスク基板の外周端部上面の押圧は、エアーを吹き 付けることにより行う上記（1)記載の接着剤の延展方法に存する。

[0017] また、本発明は、（3)、エアーを吹き付ける際にディスク基板に当たる半径方向の位 置によって吹き付け圧力を変えるものである上記（2)記載の接着剤の延展方法に存 する。

[0018] また、本発明は、（4)、延展の際、前記ディスク基板の外周端部の端面側力も接着 剤を吸引する上記（1)記載の接着剤の延展方法に存する。

[0019] また、本発明は、（5)、前記接着剤の吸引は、ディスク基板の周囲に沿って吸引装 置を配置し、該吸引装置により接着剤を吸引することにより行う上記 (4)記載の接着 剤の延展方法に存する。

[0020] また、本発明は、（6)、前記延展の際、ディスク基板の内周端側から外周端側に向 けて温度が高くなるように、ディスク基板の上面に、温熱風を吹き付ける上記（1)記載 の接着剤の延展方法に存する。

[0021] また、本発明は、（7)、前記温熱風を吹き付ける操作は、複数のドライヤをディスク 基板半径方向に沿って並べて、該ドライヤ力 噴射される温風の温度を変更すること により行う上記 (6)記載の接着剤の延展方法に存する。

[0022] また、本発明は、（8)、前記延展の際、ディスク基板の内周端側から外周端側に向 けて流量が大きくなるようにディスク基板の上面に温熱風を吹き付ける上記（1)記載 の接着剤の延展方法に存する。

[0023] また、本発明は、（9)、前記温熱風を吹き付ける操作は、複数のドライヤをディスク 基板半径方向に沿って並べて、該ドライヤ力 噴射される温風の流量を変更すること により行う上記 (8)記載の接着剤の延展方法存する。

[0024] なお、本発明の目的に添ったものであれば、上記（1)から（9)を適宜組み合わせた 構成も当然採用可能である。

発明の効果

[0025] 本発明によれば、延展の際、貼合わせディスクの外周端部上面を押圧するので、 両ディスク基板の間の外周端部の位置にある接着剤が外部へ押し出され、外周端部 に多く溜まってしまうのを防ぐことができる。

その結果、紫外線硬化榭脂を 2枚のディスク基板間で均一に延展することができる 例えば、外周端部上面の押圧をエアーを吹き付けることにより行えば、ディスク基板 と非接触で押圧することができ、ディスク基板を傷めな 、。

[0026] 更に、ディスク基板の周囲を覆うように吸引装置を配置し、延展の際、ディスク基板 の外周端部の端面側から接着剤を吸引すれば、更に確実に接着剤を 2枚のディスク 基板間で均一に延展することができる。

[0027] また、延展の際、ディスク基板の内周端側カゝら外周端側に向けて温度が高くなるよ うに、ディスク基板の上面に、温熱風を吹き付ければ、ディスク基板間の接着剤の粘 度が外周端側の方が低くなりディスク基板の外周端部から接着剤が飛び出し易くな る。

そのため、ディスク基板の外周端側の接着剤の層の厚さが厚くなる現象を防止する ことができ、確実に接着剤を 2枚のディスク基板間で均一に延展することができる。

[0028] また、温熱風の温度勾配でなぐ温熱風の流量をディスク基板の外周端側が大きく なるように制御しても同様の効果が得られる。

この場合、両ディスク基板の間の外周端部の位置にある接着剤を外部へ押し出す 効果もある。

発明を実施するための最良の形態

[0029] 以下、本発明を実施するための最良の形態を図面に基づいて説明する。

(第 1実施形態）

図 1は、本発明の接着剤 (通常、紫外線硬化榭脂)の延展方法の第 1実施形態に 使用する装置を示している。

図 1 (A)は膜厚安定ィ匕装置 1及び貼合わせディスク Dを含む平面図であり、図 1 (B )は正面図である。

[0030] 図に示すように、スピンナー 3は、回転軸 31と貼合わせディスク Dを載置するための 円盤状の回転保持台 32とを有している。

回転保持台 32の中央には、先端側が細くなる略円錐台状のボス 33が突設されて いる。

[0031] 貼合わせディスク Dは、例えば、ポリカーボネート榭脂を使って成形された中心穴を 有する円盤状の第 1ディスク基板 D1と、この第 1ディスク基板 D1と同様に成形された 円盤状の第 2ディスク基板 D2とを有して 、る。

この第 1ディスク基板 D1と第 2ディスク基板 D2との間には、接着剤 例えば紫外 線硬化樹脂が介在している。

第 1ディスク基板 D1への接着剤 Rの塗布は、前述した光ディスクの貼合わせ工程 における工程 2 (塗布工程)のように行われる。

スピンナー 3の近傍には、第 2ディスク基板 D2の外周端部上面をエアーで押圧す るために膜厚安定ィ匕装置 1が設置されている。

[0032] 膜厚安定化装置 1は、コンプレッサー 13を有しており、このコンプレッサー 13で圧 縮されたエアーが HEPAフィルターを通って清浄化され、エアー導入管 12を通って エアー吹付け部 11から第 2ディスク基板 D2に向かって勢い良く吹き出される。 このエアーの吹き付け圧力により第 2ディスク基板 D2の外周端部上面を押圧する。 なお、膜厚安定ィ匕装置 1には、コンプレッサー 13を用いずに、例えば、ブロワ一を 用いて第 2ディスク基板 D2の外周端部上面を押圧しても効果がある。

要するに、エアーを使って非接触によって外周端部上面を押圧し、貼り合わされた ディスク基板 Dの外周端部に存在する接着剤 Rを外部へ押し出すことができれば良 い。

[0033] エアー吹付け部 11は、長尺状に形成され、その長手方向を貼合わせディスク Dの 径方向に沿わせて配置されて!、る。

またエアー吹付け部 11には、図示しない多数の吹付け穴が形成され、この吹付け 穴から下方に向力つてエアーが吹き出される。

この吹付け穴から吹き出されるエアーは、矢印で示すように、外周端側に行くに従 つて徐々に勢 、のあるエアーとすることも可能である〔図 2 (A)参照〕。

言い換えれば、エアーを吹き付ける際に、ディスク基板に当たる半径方向の位置に よって吹き付け圧力を変えることも可能である。

また、エアーを外方に傾斜して吹き出すようにすることも可能である〔図 2 (B)参照〕

[0034] 貼合わせディスク Dをスピンナー 3の回転保持台 32上に載置した状態で高速回転 、例えば 3000rpmで回転させ、且つ第 2ディスク基板 D2の外周端部上面を膜厚安 定ィ匕装置 1から吹き出すエアーにより押圧すると、第 1ディスク基板 D1と第 2ディスク 基板 D2との間に介在され外周端部に存在する接着剤 Rは、外周端部の端面側から 外方に吹き飛ばされる。

そして、エアー吹付け部 11からの吹き付け圧力により外周端部が下方に押圧され るため外周端部の盛り上がりが解消される。

このようにして、接着剤 Rの膜厚は偏りがなく均一な厚さを保持することとなる。 そして、貼り合わされた第 1ディスク基板 D1と第 2ディスク基板 D2も全体的に厚み が一定となり、高品質の光ディスクとなる。

[0035] また、外周端部上面の押圧をエアーを吹き付けることにより行うので、第 2ディスク基 板 D2の外周端部上面を非接触状態で押圧することができ、第 2ディスク基板上面を 傷付けてしまうことがない。

[0036] (第 2実施形態）

図 3は、本発明の接着剤の延展方法の第 2実施形態に使用する装置を示している この第 2実施形態では、第 1実施形態の装置に加え、貼合わせディスク Dの周囲に 沿って吸弓 I装置 2を配置した。

そのため、第 1実施形態と同一の構成要素には同一の符号を付し、その説明を省 略する。

[0037] 図 3 (A)は膜厚安定化装置 1、貼合わせディスク D、及び吸引装置 2を含む平面図 であり、図 3 (B)は正面図である。

図に示すように、スピンナー 3に載置された貼合わせディスク Dの周囲に沿って吸 引装置 2が配置されている。

この吸引装置 2は、貼合わせディスク Dの周囲に沿って取り囲むように配置された環 状吸引部 2Aとその基部 2Bとを有している。

[0038] 環状吸引部 2Aの内部には、断面円状の流路 21が形成されている。

この流路 21には、環状吸引部 2Aの内側の全周に渡って一定の幅を持つ吸引スリ ット 22が形成されている。

スリットにしたのは穴と異なり、穴の無い部分に遠心力によって吹き飛ばされた接着 剤尺が当たってはね返りディスクに付着する問題を回避するためである。

この流路 21を負圧とすることで吸引スリット 22から貼合わせディスク Dの外周端部の 接着剤 Rが吸引される。

そのため、延展時には、遠心力に加えて吸引力が作用し、貼合わせディスク Dの外 周端部に存在する接着剤 Rは、より確実に外方に吹き飛ばされる。

この吸引の際、吸引スリット 22から吸引された接着剤 Rは流路 21に流入し、この円 弧状の流路 21を通って基部 2Bから別所に排出される。

[0039] この第 2実施形態では、貼合わせディスク Dの周囲に沿って吸引装置 2、詳しくは、 環状吸引部 2Aを配置し、延展の際、膜厚安定ィ匕装置 1から貼合わせディスク Dの外 周端部上面にエアーを吹き付けて押圧すると同時に、貼合わせディスク Dの外周端 部の端面側力 接着剤 Rを吸引することにより、 2枚のディスク基板間に介在する接 着剤 Rを偏りなく均一に延展することができる。

[0040] (第 3実施形態）

図 4は、本発明の紫外線硬化樹脂の延展方法の第 3実施形態に使用する装置を 示している。

この第 3実施形態は、第 1実施形態と比べて、第 1実施形態のエアー吹付け部 11を 改良した点でのみ異なる。

そのため、第 1実施形態と同一の構成要素には同一の符号を付し、その説明を省 略する。

[0041] この第 3実施形態に用いられる膜厚安定ィ匕装置 1Aは、エアー吹付け部 11Aに備 えられたドライヤ 1 la〜： L Ifから温熱風（室温以上の温度の風）を送風する装置であ る。

ドライヤ l la〜l lf内にはそれぞれ加熱コイルが設けられており、この加熱コイルは エアー導入管 12から送られてきたエアーを加熱して温熱風にする。

[0042] 温熱風を貼合わせディスク Dに吹き付ける第 1の方法としては、貼合わせディスク D の内周端側力も外周端側に向けて温度が高くなるように、ドライヤ 11a〜： L lfを設定 する。

この設定は、加熱コイルへの通電量を変更することによって行うことができる。

[0043] このように設定された膜厚安定ィ匕装置 1Aから、貼合わせディスク半径方向に沿つ て温度勾配を設けると、接着剤延展中の第 1ディスク基板 D1と第 2ディスク基板 D2と の間の接着剤 Rの粘度は外周端側の方が低くなり、貼合わせディスク Dの外周端部 力 接着剤 Rが飛び出し易くなる。

そのため、貼合わせディスク Dの外周端側の接着剤 Rの層の厚さが厚くなる現象を 防止することができ、確実に接着剤 Rを 2枚のディスク基板間で均一に延展すること ができる。

[0044] 温熱風を貼合わせディスク Dに吹き付ける第 2の方法がある。

この方法は、貼合わせディスク Dに温熱風を吹き付ける点で第 1の方法と同様であ る力 温度勾配を設けるのではなぐ第 2ディスク基板 D2に吹き付けられる温熱風の 流量を第 2ディスク基板 D2の外周端側が大きくなるようにする方法である（図 5参照） 温熱風の流量を大きくすることにより、第 2ディスク基板 D2に伝達される熱量が大き くなるからである。

また、エアーの吹き付け圧力が貼合わせディスク Dの半径方向に沿って外周端側 が大きくなるように変化すると 、う効果もある。

[0045] もちろん、第 1の方法も第 2の方法も接着剤 Rの粘度が外周端側の方が小さくなるよ うにするのが目的であるが、外周端側に行くに連れて周速度が大きいため、その分も 加味して温度設定や流量設定を行う必要がある。

なお、第 1の方法と第 2の方法を組み合わせるのも有効な方法であることは言うまで もない。

[0046] 以上、本発明を説明してきたが、本発明は上述した実施形態にのみ限定されるもの ではなぐその本質を逸脱しない範囲で、他の種々の変形が可能であることは言うま でもない。

上述した第 1実施形態では、膜厚安定化装置 1のエアー吹付け部 11の形状を長尺 状にして、その長手方向が貼合わせディスク Dの径方向に沿うように配置し、貼合わ せディスク Dの延展中にエアーを吹き付けた例について説明した力 本発明はこれ に限定されない。

[0047] 例えば、図 6に示すように、貼合わせディスク Dの周方向全体の外周端部上面にェ ァーを吹き付けることができるように、エアー吹付け部 11の形状を環状に形成するこ とも可能である。

すなわち、環状に形成したエアー吹付け部 11から貼合わせディスク Dの外周端部 の周方向全体に同時にエアーを吹き付けることも可能である。

[0048] また、長尺状のエアー吹付け部 11を用いる場合は、貼合わせディスク Dの周方向 の接着剤 Rの厚さのばらつきを抑えるために、スピンナー 3の起動中、すなわち貼合 わせディスク Dの回転中にのみエアーを吹き付けることが好まし!/、。

貼合わせディスク Dの回転前の状態力 エアーを吹き付けてもばらつきが発生し難 V、ように、環状のエアー吹付け部 11を用いても良!、。 [0049] また、上述した第 2実施形態では、吸引装置 2を環状にして貼合わせディスク Dの 周囲全体を覆った例について説明したが、例えば、半周だけ覆うようにすることも可 能である。

[0050] また、上述した第 3実施形態では、ドライヤ l la〜l Ifを一列に並べた例について 説明したが、各ドライヤ l la〜l lfは、半径方向の位置をずらせば良ぐ周方向の位 置はあまり問題とならない。

すなわち、一列に並べなくても良ぐ例えば、貼合わせディスク Dの中心周りに 60度 間隔でドライヤ 11 a〜 1 Ifを配置しても良 、。

このような構成にすれば、ドライヤ l la〜l Ifの大きさの制限が大幅に緩められ、十 分な送風出力を得ることができる。

またドライャを加熱コイルで熱するのではなぐ個々のドライヤを別々の熱風源に連 結して、それぞれ独立してドライヤから温熱風を導入するようにしても当然ょ 、。 産業上の利用可能性

[0051] 本発明は、光ディスクを貼合わせる際の接着剤の延展方法に関するものであるが、 その原理に沿うものである限り、他の分野、例えば、半導体分野における薄膜同士を 貼り合わせる際の接着剤の延展等にも適用可能であり、その応用範囲は広い。 図面の簡単な説明

[0052] [図 1]図 1は、本発明の接着剤の延展方法の第 1実施形態に使用する装置を示す説 明図であり、図 1 (A)は平面図、及び図 1 (B)は正面図である。

[図 2]図 2は、エアー吹付け部の吹付け穴力 吹き付けられるエアーの状態を示す説 明図であり、図 2 (A)は、ディスク基板の外周端側に行くに従って徐々に勢いのある エアーを示し、図 2 (B)は、外方に傾斜して吹き出されたエアーを示す。

[図 3]図 3は、本発明の接着剤の延展方法の第 2実施形態に使用する装置を示す説 明図であり、図 3 (A)は平面図、及び図 3 (B)は正面図である。

[図 4]図 4は、本発明の接着剤の延展方法の第 3実施形態に使用する装置を示す説 明図である。

[図 5]図 5は、本発明の接着剤の延展方法の第 3実施形態に使用する装置の変形例 を示す説明図である。 [図 6]図 6は、本発明の接着剤の延展方法の第 1実施形態に用いる膜厚安定化装置 の変形例を示す説明図である。

[図 7]図 7は、従来の光ディスクの貼合わせ工程における紫外線硬化樹脂の延展方 法を示す工程図である。

[図 8]図 8は、従来の光ディスクの貼合わせ工程における延展後の接着剤の形状を示 す説明図である。

符号の説明

I, 1A 膜厚安定化装置

I I, 11A エアー吹付け部

l la〜l lf ドライヤ

12 エアー導入管

13 コンプレッサー

2 吸引装置

2A 環状吸引部

2B 基部

21 流路

22 吸引スリット

3 スピンナー

31 回転軸

32 回転保持台

33 ボス

D 貼合わせディスク

D1 第 1ディスク基板

D2 第 2ディスク基板

L 紫外線光源体

N 吐出ノズル

R 接着剤

Claims

請求の範囲

[1] 中心穴を有する 2枚のディスク基板間に接着剤を介在させ、該ディスク基板を回転 させて接着剤を延展する光ディスクにおける接着剤の延展方法であって、延展の際

、ディスク基板の外周端部上面を押圧することを特徴とする接着剤の延展方法。

[2] 前記ディスク基板の外周端部上面の押圧は、エアーを吹き付けることにより行うこと を特徴とする請求項 1記載の接着剤の延展方法。

[3] エアーを吹き付ける際にディスク基板に当たる半径方向の位置によって吹き付け圧 力を変えるものであることを特徴とする請求項 2記載の接着剤の延展方法。

[4] 前記延展の際、前記ディスク基板の外周端部の端面側力 接着剤を吸引すること を特徴とする請求項 1記載の接着剤の延展方法。

[5] 前記接着剤の吸引は、ディスク基板の周囲に沿って吸引装置を配置し、該吸引装 置により接着剤を吸引することにより行うことを特徴とする請求項 4記載の接着剤の延 展方法。

[6] 前記延展の際、ディスク基板の内周端側から外周端側に向けて温度が高くなるよう に、ディスク基板の上面に、温熱風を吹き付けることを特徴とする請求項 1記載の接 着剤の延展方法。

[7] 前記温熱風を吹き付ける操作は、複数のドライヤをディスク基板半径方向に沿って 並べて、該ドライヤ力 噴射される温風の温度を変更することにより行うことを特徴と する請求項 6記載の接着剤の延展方法。

[8] 前記延展の際、ディスク基板の内周端側から外周端側に向けて流量が大きくなるよ うにディスク基板の上面に温熱風を吹き付けることを特徴とする請求項 1記載の接着 剤の延展方法。

[9] 前記温熱風を吹き付ける操作は、複数のドライヤをディスク基板半径方向に沿って 並べて、該ドライヤ力 噴射される温風の流量を変更することにより行うことを特徴と する請求項 8記載の接着剤の延展方法。