JP2002241710A - 薄膜接着方法及びそれを利用した光ディスクの接着方法並びにその装置 - Google Patents

薄膜接着方法及びそれを利用した光ディスクの接着方法並びにその装置

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Abstract

(57)【要約】 【課題】 光ディスクの薄膜を、空気のトラップを発生
させず、均一厚さに接着し得る、薄膜接着方法及びそれ
を利用した光ディスクの接着方法並びにその装置を提供
する。 【解決手段】 第１基板４４の表面に接着剤４６を塗布
し、第２基板４８を接着剤層４６上に安着させ、第１基
板４４の表面及び第２基板４８に、流体を利用した圧力
を時間の経過に連れそれら基板４４、４８の中心部から
外周縁側に印加しながらそれら４４、４８間の接着を漸
次的に進行させた後、接着剤４６を硬化させて、薄膜の
接着を行う。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、薄膜の接着方法に
係るもので、詳しくは、光ディスクの製造の際に用いら
れる薄膜の接着方法及びそれを利用した光ディスク接着
方法並びにその装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】最近、光記録媒体として一般化されたコ
ンパクトディスク（ＣＤ）に続いてデジタル多用途ディ
スク（ＤＶＤ）の規格が提案されて標準化され、ＤＶＤ
−ＲＯＭ、ＤＶＤ−ＲＡＭ、ＤＶＤ−Ｒ、ＤＶＤ−ＲＷ
及びＤＶＤ＋ＲＷなどの多様な製品が一般化されてい
る。
【０００３】それらＤＶＤは既存のＣＤよりも記録密度
が著しく向上しており、普及が拡大される展望である。
例えば、ＤＶＤの容量は、片面単層（Single-sided sin
glelayer）を基準として約４．７ギガバイト（ＧＢ）程
度で、ＶＨＳ級の画質で約２時間分の映画を録画するこ
とができる。
【０００４】このような光記録媒体中、再生専用の場合
は、図６に示したように、ピットパターンの形成された
情報記録層及び反射膜を含む第１基板２と、第１基板２
の上部に塗布される接着剤４を介して第１基板２に接合
される第２基板６とにより構成されている。
【０００５】そして、第１基板２は、光透過層であっ
て、通常、ポリカーボネートなどのような高分子物質に
より形成され、０．６ｍｍ程度の厚さを有する。
【０００６】第１基板２の一方の面がピットパターンま
たは案内溝などを形成して情報を記録する情報記録層と
して利用されている。情報記録層の上面（図面上）には
第１基板２を介して入射されるレーザービームＬＢを反
射するための反射膜が形成されている。
【０００７】且つ、第２基板６は、ダミー基板であっ
て、第１基板２と同一材質により形成されて、第１基板
２の変形及び反射膜の劣化を防止する保護層としての役
割を果たしている。
【０００８】第２基板６も第１基板２と同様の０．６ｍ
ｍ程度の厚さで、接着剤４により第１基板２の反射膜上
に接合されている。
【０００９】従って、保護層としての機能を果たす第２
基板６と、情報が記録される第１基板２とが接合された
構造となっている光記録媒体は、厚さ１．２ｍｍ、直径
１２ｃｍの円板形状に形成される。
【００１０】このような光記録媒体においては、情報を
記録するか、または、媒体上の情報をリードするために
光ピックアップ（未図示）から発生するレーザービーム
ＬＢが第１基板２を透過して情報記録層上に照射され
る。
【００１１】この場合、光記録媒体の記録密度を決定す
る情報記録層上に形成されるビームスポットの大きさ
は、光ピックアップに含まれた光源の波長に比例し、対
物レンズ（ＯＬ）の開口数（ＮＡ）に反比例する。
【００１２】従って、光記録媒体の記録密度を向上させ
るためには、与えられた光透過層、即ち、第１基板２の
厚さに対して短波長の光源及び開口数の大きい対物レン
ズを使用することが必須である。
【００１３】然し、対物レンズの開口数を増加させる
と、光ディスクのチルトに対するコマ収差が開口数の３
乗（ＮＡ3)に比例して著しく増加するため、記録された
光情報の信頼性が低下するという問題点がある。
【００１４】コマ収差は、図７（Ａ）（Ｂ）に示したよ
うに、光が透過される各透明基板１０、１２の厚さの４
乗（ｔ4）に比例して増加する。
【００１５】ここで、コマ収差について説明する。対物
レンズＯＬを介して集束されるレーザービームＬＢが、
図７（Ａ）の厚い第１基板１０と図７（Ｂ）の薄い第１
基板１２を透過する場合を考える。それらのチルト角
（θ１）が同一であるとすると、同一の材質により形成
される各基板の内部での屈折角（θ２）が同じであるの
で、同一位置に焦点が形成されるが、各基板１０、１２
の厚さが異なる場合は、像が形成される焦点の位置
（ｆ）が各基板１０、１２の厚さによって変化する。
【００１６】従って、透過する基板の厚さに敏感なレー
ザービームＬＢは、傾斜された薄い第１基板１２を透過
する時の位置偏差（δ２）よりも厚い第１基板１０を透
過する時の位置偏差（δ１）が大きくなる。
【００１７】このようにレーザービームＬＢが第１基板
１２を通過して照射される位置が正常の位置から外れる
と、フォーカス制御やトラックキング制御に悪影響を及
ぼして、情報記録及び再生に致命的なエラーが発生す
る。
【００１８】そこで、一つの光ディスクが約２０ＧＢ以
上の高記録容量を有する光記録媒体においては、高開口
数の対物レンズ及び薄い光透過層基板を有する光記録媒
体の導入が提案された。
【００１９】その改善された提案において、光ディスク
は、図８に示したように、保護層を形成する厚い第１基
板１４と、情報記録用の薄い第２基板１８とによい構成
される。これらが接着剤１６を介して接合される。第２
基板１８には、先の例と同様に、ピットパターンの形成
された情報記録層及び反射膜を備えている。
【００２０】レーザービームＬＢが透過する第２基板１
８は、コマ収差の基板厚さに対する依存性を最小化する
ために、０．１ｍｍの厚さとした。
【００２１】一方、接着剤１６を介して第２基板１８と
接合される第１基板１４は、保護層であって、１．２ｍ
ｍの厚さを有する既存の光ディスクとの互換性を有する
ために１．１ｍｍの厚さを有する。
【００２２】然し、このように光透過層として薄い第２
基板１８を備える光ディスクは、コマ収差の発生を最小
化し得るというメリットはあるが、第２基板１８が薄す
ぎるため、生産性が著しく低下して実用化され難いとい
う問題点があった。それは極度に薄い第２基板１８を第
１基板１４に接着することが容易でないからである。
【００２３】以下、従来の光ディスクの接着方法に対
し、図９及び図１０に基づいて説明する。先ず、光ディ
スク接着装置１９は中心に回転軸１７を備え、その先端
に円板形状の光ディスク支持部１５が取り付けられてい
る。その支持部１５の上に厚い第１基板１４を載せる、
すなわち安着させる（Ｓ２０）。
【００２４】次いで、光ディスク支持部１５上に載せら
れた第１基板１４を回転させながら、紫外線により硬化
される液状接着剤を第１基板１４上に塗布して接着剤層
１６を形成する（Ｓ２２）。その接着剤層１６上に反射
膜を含む薄い第２基板１８を載せる（Ｓ２４）。
【００２５】次いで、第２基板１８の全面に一気に圧力
を加え、その力を利用して接着剤１６である紫外線硬化
樹脂を第１基板１４と第２基板１８間の境界面に満遍な
く拡散させる（Ｓ２６）。次いで、紫外線を照射して接
着剤層１６を硬化させて（Ｓ２８）、光ディスクの接着
を終了する。
【００２６】
【発明が解決しようとする課題】然るに、このような従
来光ディスクの接着方法においては、第２基板１８の全
面を一気に加圧するため、第１基板１４と第２基板１８
間に空気が捕らえられるトラップが発生するか、接着剤
層１６の厚さが不均一になるという不都合な点があっ
た。
【００２７】第１基板１４と第２基板１８間にトラップ
された空気中大きい気泡は、光ディスクの記録密度向上
条件の一つである光ディスクの平面度を悪化させ、ま
た、小さい気泡も温度変化によって膨脹して光ディスク
の平面度を悪化させるという問題点があった。
【００２８】このような光ディスクの平面度低下は、光
ディスクのたわみ、チルトまたは振動及び光スポットの
にじみを誘発して、情報の記録及び再生動作に悪影響を
及ぼすという問題点があった。
【００２９】本発明は、このような従来の課題に鑑みて
なされたもので、薄膜を均一に接着することができる薄
膜接着方法を提供することを目的とする。本発明の他の
目的は、光ディスクに用いる薄膜に空気のトラップを発
生せず、均一厚さに接着することができる光ディスクの
接着方法及びその装置を提供しようとするものである。
【００３０】
【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
る本発明に係る薄膜接着方法は、（Ａ）ターゲットの表
面に接着剤を塗布し、薄膜をその接着剤上に載せる段階
と、（Ｂ）ターゲットの表面及び薄膜に、流体を利用し
た圧力を時間の経過に連れそれら薄膜及びターゲットの
表面の中心部から外周縁側に加えながらそれら間の接着
を漸次的に進行させる段階と、（Ｃ）接着剤を硬化させ
る段階と、を順次行うことを特徴とする。
【００３１】本発明に係る光ディスクの薄膜接着方法
は、（Ａ）第１基板上に接着剤を介して薄膜を載せる段
階と、（Ｂ）第１基板及び第１基板に載せられた薄膜を
回転させながら、流体圧力を、時間の経過に連れ第１基
板及び薄膜の中心部から外周縁側に順次加えて、それら
間の接合を螺旋状に進行させる段階と、（Ｃ）接着剤を
硬化させる段階とを順次行うことを特徴とする。
【００３２】本発明に係る光ディスクの薄膜接着装置
は、回転力を発生する駆動モータに一体に結合された回
転軸と、回転軸の一端側に結合され、上面に厚い第１基
板を載せることができるディスク支持部と、ディスク支
持部に載せられた第１基板の上面に接着剤を供給するた
めに、ディスク支持部の上側に配置された第１ノズル
と、接着剤を介して第１基板上に載せられた薄膜に、流
体圧力を時間の経過に連れ第１基板と薄膜の中心部から
外周縁側に加えて、それら間の接着を螺旋状に進行させ
る圧力供給手段とを備えることを特徴とする。
【００３３】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態に対
し、図面を用いて説明する。本発明に係る光ディスク接
着装置の第１実施形態においては、図１に示したよう
に、回転力を発生する駆動モータ（未図示）に一体に結
合された回転軸４０と、回転軸４０の一端に結合されて
上面に厚い第１基板４４が載せられるディスク支持部４
２と、紫外線により硬化される接着剤４６を第１基板４
４の上面に供給するために、ディスク支持部４２の上側
に所定間隔を保って配置される第１ノズル５０と、第１
基板４４上に接合される薄い第２基板４８の上面に磁性
懸濁液を供給するために、ディスク支持部４２の上側に
所定間隔を保って配置される第２ノズル５２と、ディス
ク支持部４２の下面に隣接して位置される電磁石５４
と、電磁石５４が含まれ、電磁石５４がディスク支持部
４２の半径方向を沿って移動できるように形成されたガ
イドレール５６とを備えている。
【００３４】ここで、電磁石５４の代わり永久磁石を使
用して、接着装置の電気的構成を簡単にすることもでき
る。
【００３５】以下、図１の接着装置を利用した光ディス
クの接着方法に対し、図２に基づいて説明する。先ず、
ディスク支持部４２の上面に厚い第１基板４４を載せる
（Ｓ３０）。この時、ディスク支持部４２の上面に載せ
られた第１基板４４は、ディスク支持部４２の所定部位
に穿孔形成された複数の真空吸入口４１から発生する真
空吸入力によってディスク支持部４２に瞬間的に固定さ
れる。
【００３６】次いで、駆動モータ（未図示）の回転によ
ってディスク支持部４２の上面に載せられた第１基板４
４を回転させながら、第１基板４４の上方中央部に位置
する第１ノズル５０を利用して液状接着剤４６を供給す
る（Ｓ３２）。
【００３７】この時、液状接着剤４６は、第１基板４４
の回転による遠心力及び自体の粘性によって第１基板４
４の中心部から外周縁側に広がって所定厚さに塗布され
る。ここで、液状接着剤層４６の厚さは、第１基板４４
の回転速度、接着剤４６の粘性及び回転時間などの組合
せによって決定される。
【００３８】次いで、接着剤４６の塗布された第１基板
４４の上面に薄い第２基板４８を載せる（Ｓ３４）。
【００３９】次いで、駆動モータ（未図示）の回転によ
って第１基板４４の上面に載せられた第２基板４８を回
転させながら、第２基板４８の上方中央部に配置した第
２ノズル５２を利用して磁性微粒子を含む磁性懸濁液ま
たは磁性流体を供給する（Ｓ３６）。その結果、回転し
ている第２基板４８の上面に磁性懸濁液または磁性流体
が均一に塗布される。
【００４０】次いで、段階（Ｓ３６）での回転を継続的
に維持しながら、ディスク支持部４２の下面に隣接して
位置する電磁石５４をガイドレール５６を利用してディ
スク支持部４２の中心部から外周縁側に直線的に移動さ
せる（Ｓ３８）。
【００４１】この過程で、電磁石５４及び、第２基板４
８上に塗布された磁性懸濁液または磁性流体によって発
生する磁力が第１基板４４及び第２基板４８に垂直に作
用する。したがって、第１基板４４と第２基板４８間に
は、第２基板４８の上面とディスク支持部４２の下側と
の間で発生する磁力による押圧力が作用するので、その
圧力によって第１基板４４と第２基板４８との接着が堅
固に維持される。
【００４２】特に、ガイドレール５６に沿ってディスク
支持部４２の中心部から外周縁側に直線的に移動する電
磁石５４の磁力によって発生する押圧力は、支持部４２
が回転しているので、ディスク支持部４２の中心部から
外周縁側に螺旋状に進む。したがって、第１基板４４と
第２基板４８間に塗布された接着剤層４６にトラップさ
れた空気若しくは気泡を接着剤層４６の外部であるディ
スク支持部４２の外周縁側に押し出すことができるの
で、第１基板４４と第２基板４８とは空気トラップが発
生せずに高速に堅固に接合される。
【００４３】次いで、このような第１基板４４と２基板
４８との接合が終了すると、第２基板４８の上面に塗布
された磁性懸濁液または磁性流体を除去する（Ｓ４
０）。
【００４４】ここで、第２基板４８の上面に塗布された
磁性懸濁液または磁性流体の除去は、電磁石５４をディ
スク支持部４２の外側に完全に移動させて、ディスク支
持部４２と各基板４４、４８間に形成された磁場を除去
して行われる。
【００４５】このように電磁石５４を移動させると、磁
性懸濁液または磁性流体が流動性を有するので、ディス
ク支持部４２を回転させて発生する遠心力によって迅速
に除去される。また、このように除去された磁性懸濁液
または磁性流体は、別途の容器に回収されてリサイクル
される。
【００４６】次いで、第２基板４８の上方側に形成され
た紫外線放出ランプ（未図示）を介して紫外線を照射し
て、第１基板４４と第２基板４８間の接着剤４６を硬化
させて（Ｓ４２）、光ディスクの接着を終了する。
【００４７】このように本発明に係る光ディスク接着装
置及びその方法によると、磁性懸濁液または磁性流体及
び、電磁石または永久磁石を利用した磁力による押圧力
が、時間の経過に連れてディスクの中心部から外周縁側
に加えられるので、第１基板４４と第２基板４８間の接
着剤層４６に存在する空気トラップが除去されて、空気
トラップによるディスクの平面度低下を防止することが
できる。
【００４８】なお、図１及び図２に示した本発明に係る
光ディスク接着装置及びその方法においては、第１基板
４４に一枚の第２基板４８を接着する方法に限定され
ず、多層膜の接着方法としても容易に適用することが可
能である。すなわち、上述したような方法によって多層
膜の間々に接着剤を塗布し、最上位層に磁性懸濁液また
は磁性流体を塗布した後、大きい磁場を発生させる電磁
石または永久磁石を利用して、磁力による押圧力を基板
の中心部から外周縁側に印加させることによって接着さ
せることができる。
【００４９】一方、本発明に係る光ディスク接着装置の
第２実施形態においては、図３に示したように、回転力
を発生する駆動モータ（未図示）に一体に結合された回
転軸６０と、回転軸６０の一端に結合され、上面に第１
基板４４が載せられるディスク支持部６２と、紫外線に
より硬化される接着剤４６を第１基板４４の上面に供給
するために、ディスク支持部６２の上側に所定間隔を保
って配置される第１ノズル６４と、第１基板４４の上面
に接合される第２基板４８の上面中心部から外周縁側に
空気圧を供給するために、ディスク支持部６２の上側に
所定間隔を保って配置される第２ノズル６６とを備えて
いる。
【００５０】以下、図３の接着装置を利用した光ディス
クの接着方法の１実施形態に対し、図４に基づいて説明
する。
【００５１】先ず、ディスク支持部６２の上面に厚い第
１基板４４を載せる（Ｓ５０）。この時、ディスク支持
部６２の上面に載せられた第１基板４４は、ディスク支
持部６２の所定部位に形成された複数個の真空吸入口６
１から発生する真空吸入力によってディスク支持部６２
に瞬間的に固定される。
【００５２】次いで、駆動モータ（未図示）の回転によ
ってディスク支持部６２の上面に載せられた第１基板４
４を低速回転させながら、第１基板４４の上方中央部に
位置する第１ノズル６４を利用して液状接着剤４６を供
給する（Ｓ５２）。
【００５３】この時、液状接着剤４６は、第１基板４４
の回転による遠心力及び自体の粘性によって第１基板４
４の中心部から外周縁側に広がって所定厚さに塗布され
る。ここで、液状接着剤層４６の厚さは、第１基板４４
の回転速度、接着剤４６の粘性及び回転時間などの組合
せによって決定される。
【００５４】次いで、接着剤４６が塗布された第１基板
４４の上面に薄い第２基板４８を載せる（Ｓ５４）。
【００５５】次いで、載せられた第２基板４８を高速回
転させながら第２ノズル６４を利用して圧縮空気を加え
て、第２基板４８を加圧させる（Ｓ５６）。
【００５６】その際合、圧縮空気を加える第２ノズル６
４を光ディスクの中心部から外周縁側に直線的に移動さ
せる。ディスク支持部６２の高速回転によって、圧縮空
気による圧力が第２基板４８の上面に螺旋状に加えられ
て行く。このように螺旋状に進みながら加えられる圧縮
空気圧によって、第１基板４４と第２基板４８間の接着
剤層４６にトラップされていた空気または気泡が接着剤
層４６の外部であるディスク支持部６２の外周縁側に押
し出されるので、第１基板４４と第２基板４８間は空気
のトラップが発生せずに高速に堅固に接合される。
【００５７】空気トラップを效果的に除去するために
は、加えられる空気圧の一部分は先に印加された部分と
部分的に重畳されることが好ましく、それを実現するた
めにディスク支持部６２の回転速度及び第２ノズル６６
の移動速度を適切に制御する。
【００５８】光ディスクの中心部及び外周縁側に空気圧
を均一に印加するために、所定線速度（ＣＬＶ）方式で
ディスク支持部６２を回転させる駆動モータ（未図示）
の回転速度を制御する。
【００５９】次いで、圧縮空気により加えられる空気圧
が第２基板４８の外周縁側に到達した後、高圧の圧縮空
気を利用して第２基板４８の全面を瞬間的に加圧する
（Ｓ５８）。これは必要に応じて行えばよい。次いで、
第２基板４８の上方側に形成された紫外線放出ランプ
（未図示）を利用して紫外線を照射して、第１基板４４
と第２基板４８間の接着剤４６を硬化させて（Ｓ６
０）、光ディスクの接着を終了する。
【００６０】圧力発生流体として、空気の代りに窒素を
使用することも可能で、この場合、接着剤４６である紫
外線硬化樹脂の酸化を防止して、紫外線による接着剤４
６の硬化を效果的に行うことができるという効果があ
る。
【００６１】以上のように、本実施形態に係る光ディス
ク接着装置及びその方法においては、空気圧による圧力
が時間の経過に連れディスクの中心部から外周縁側に加
えられるので、第１基板４４と第２基板４８間の接着剤
層４６に存在する空気トラップを効果的に除去すること
ができる。
【００６２】以下、図３の接着装置を利用した光ディス
クの接着方法の他の実施形態に対し、図５に基づいて説
明する。
【００６３】先ず、別々のディスク接着装置に具備され
た各ディスク支持部の上面に厚い第１基板４４及び第２
基板をそれぞれ載せる（Ｓ６２、Ｓ６８）。次いで、そ
れぞれのディスク接着装置の各駆動モータ（未図示）の
回転によって各ディスク支持部の上面に載せられた第１
基板４４及び第２基板４８を低速回転させながら、第１
基板４４と第２基板４８の上方中央部にそれぞれ位置す
る第１ノズルを利用して液状接着剤４６を供給する（Ｓ
６４、Ｓ７０）。
【００６４】次いで、接着剤４６の塗布された第１基板
４４及び第２基板４８をそれぞれ高速回転させる（Ｓ６
６、Ｓ７２）。
【００６５】この時、液状接着剤４６は、各基板４４、
４８の回転による遠心力及び自体の粘性によって第１基
板４４及び第２基板４８の中心部から外周縁側に広がっ
て所定の厚さに塗布される。ここで、液状接着剤層４６
の厚さは、第１基板４４及び第２基板４８の回転速度、
接着剤４６の粘性及び回転時間などの組合せによって決
定される。
【００６６】次いで、接着剤４６の塗布された第２基板
４８を、やはり接着剤４６の塗布された第１基板４４の
上面に載せた後、第１基板４４と第２基板４８とを接合
させる（Ｓ７４）。
【００６７】次いで、接合された第１基板４４及び第２
基板４８を高速回転させながら第２ノズルを利用して圧
縮空気を加えて、第２基板４８を加圧させる（Ｓ７
６）。
【００６８】この場合、圧縮空気を加える第２ノズルを
ディスクの中心部から外周縁側に直線的に移動させる
と、ディスク支持部６２の高速回転によって第２基板４
８の上面に形成される圧縮空気の圧力の分布が螺旋状と
なる。このように螺旋状に進みながら加えられる圧縮空
気圧によって第１基板４４と第２基板４８間の接着剤層
４６にトラップされた空気または気泡は、接着剤層４６
の外部であるディスク支持部６２の外周縁側側に押し出
される。したがって、第１基板４４と第２基板４８とは
空気のトラップが発生せずに高速に堅固に接合される。
【００６９】空気トラップを效果的に除去するために、
加えられる空気圧の一部分は先に印加された部分と部分
的に重畳されることが好ましく、そのためにディスク支
持部の回転速度及び第２ノズルの移動速度を適切に制御
する。
【００７０】光ディスクの中心部及び外周縁側に空気圧
を均一に印加するために、所定線速度（ＣＬＶ）方式で
ディスク支持部を回転させる駆動モータ（未図示）の回
転速度を制御する。
【００７１】次いで、圧縮空気によって加えられる空気
圧が第２基板４８の外周縁側に到達した後、別の高圧の
圧縮空気を利用して第２基板４８の全面を瞬間的に加圧
させる（Ｓ７８）。
【００７２】次いで、第２基板４８の上方側に形成され
た紫外線放出ランプ（未図示）を介して紫外線を照射し
て、第１基板４４と第２基板４８間の接着剤４６を硬化
させて（Ｓ８０）、光ディスクの接着を終了する。
【００７３】圧力発生流体としては、空気の代りに窒素
を使用することも可能である。その場合、接着剤４６で
ある紫外線硬化樹脂の酸化を防止して、紫外線による接
着剤４６の硬化を效果的に行うことができるという効果
がある。更に、ディスクを冷却させると、紫外線の照射
時、ディスクの温度上昇によるディスクの変形を防止す
ることができる。
【００７４】以上説明したように、図５に示した光ディ
スクの接着方法は、図４に示した接着方法において、第
１基板４４と第２基板４８の安着段階（Ｓ５０、Ｓ５
２）を順次に行わず、別々のディスク接着装置を利用し
て第１基板４４の安着工程（Ｓ６２）及び第２基板４８
の安着工程（Ｓ６８）をそれぞれ進行させた後、それら
第１基板４４と第２基板４８との接着工程を行うことが
特徴である。
【００７５】上述した本発明に係る光ディスクの接着方
法においては、空気圧による押圧力が時間の経過と共に
ディスクの中心部から外周縁側に加えられるので、第１
基板４４と第２基板４８間の接着剤層４６に存在する空
気トラップが除去されて、空気トラップによるディスク
の平面度低下を防止することが可能である。また、ディ
スク全面を均一な高圧力によりさらに加圧すると、ディ
スクの平面性を一層向上させることができる。
【００７６】上記の二つの例においてはいずれも光ディ
スクを例としてあげているが、光ディスクに限らず、薄
膜状の物体すなわち薄膜を任意の平坦な物体すなわちタ
ーゲットに接着することに利用することができる。
【００７７】
【発明の効果】以上説明したように、本発明に係る薄膜
接着方法及びそれを利用した光ディスクの接着方法並び
にその装置においては、薄膜接合時に流体または磁力を
有する流体を利用した押圧力が、時間の経過に連れディ
スクの中心部から外周縁側に螺旋状に進むように加えら
れるので、接着剤層に存在する空気トラップを效果的に
除去して、空気トラップによるディスクの平面度低下を
防止し得るという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明に係る光ディスク接着装置の第１実施
形態を示した断面概略図である。
【図２】 図１の接着装置を利用した光ディスクの接着
方法を示したフローチャートである。
【図３】 本発明に係る光ディスク接着装置の第２実施
形態を示した断面概略図である。
【図４】 図３の接着装置を利用した光ディスクの接着
方法の１実施形態を示したフローチャートである。
【図５】 図３の接着装置を利用した光ディスクの接着
方法の他の実施形態を示したフローチャートである。
【図６】 一般の光ディスクを示した概略図である。
【図７】 （Ａ）（Ｂ）、光ディスクから発生するコマ
収差の基板厚さに対する依存性を示したもので、（Ａ）
は、基板が厚い場合、（Ｂ）は、基板が薄い場合、をそ
れぞれ示した模式図である。
【図８】 光ディスクから発生するコマ収差を解消させ
るために提案された光ディスクの構造を示した概略図で
ある。
【図９】 図８に示した光ディスクの接着装置を示した
概略図である。
【図１０】 図８に示した光ディスクの接着方法を示し
たフローチャートである。
【符号の説明】
４０、６０：回転軸、６２：ディスク支持部、４４：第
１基板、４６：接着剤、４８：第２基板、５０、６４：
第１ノズル、５２、６６：第２ノズル、５４：電磁石、
５６：ガイドレール。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ジョン，タエ・ヒー 大韓民国・ギュンギ−ド・ソンナム・ブン ダン−ク・ジョンギア−ドン・（番地な し）・ハンソル−ジュゴン アパートメン ト・509−1003 Ｆターム(参考） 4J040 MB05 NA17 NA21 PA33 5D121 AA07 FF01 FF11 FF18 FF20

Claims (16)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 任意のターゲットの表面に接着剤を利用
    して薄膜を接着させる方法であって、 （Ａ）ターゲットの表面に接着剤を塗布し、薄膜を前記
    接着剤上に載せる段階と、 （Ｂ）前記ターゲットの表面及び薄膜に、圧力を時間の
    経過に連れ薄膜とターゲットの表面の中心部から外周縁
    側に加えながらそれら間の接着を漸次的に進行させる段
    階と、 （Ｃ）前記接着剤を硬化させる段階と、を包含すること
    を特徴とする薄膜接着方法。
  2. 【請求項２】 前記（Ｂ）段階は、 （Ｂ１）前記薄膜上に磁性微粒子を含む磁性懸濁液を塗
    布する段階と、 （Ｂ２）前記ターゲットの表面及び薄膜を回転させなが
    ら、前記ターゲットの表面の下部に隣接して位置されて
    直径方向に移動可能に設置された磁力発生手段によって
    時勢微粒子との間で発生する押圧力を、前記薄膜及びタ
    ーゲットの表面の中心部から外周縁側に直線的に移動さ
    せながらそれら間の接着を漸次的に進行させる段階と、 （Ｂ３）前記塗布された磁性懸濁液を除去する段階と、
    を包含することを特徴とする請求項１記載の薄膜接着方
    法。
  3. 【請求項３】 前記（Ｂ）段階は、 （Ｂ１）前記ターゲットの表面及び薄膜を高速回転させ
    ながら、それらの直径方向に移動可能に設置された流体
    供給手段を利用して、流体圧力を前記薄膜及びターゲッ
    トの表面の上面中心部から外周縁側に加えて前記接着を
    漸次的に進行させる段階を包含することを特徴とする請
    求項１記載の薄膜接着方法
  4. 【請求項４】 第１基板上に薄膜を接着させる光ディス
    クの接着方法であって、 （Ａ）第１基板上に接着剤を介して薄膜を載せる段階
    と、 （Ｂ）前記第１基板及び該第１基板に載せられた薄膜を
    回転させながら、圧力を時間の経過に連れ前記第１基板
    及び薄膜の中心部から外周縁側に加えて、それら間の接
    合を螺旋状に進行させる段階と、 （Ｃ）前記接着剤を硬化させる段階と、 を包含することを特徴とする光ディスクの薄膜接着方
    法。
  5. 【請求項５】 前記（Ｂ）段階は、 （Ｂ１）前記薄膜上に磁性微粒子を含む磁性懸濁液を塗
    布する段階と、 （Ｂ２）前記薄膜及び第１基板を回転させながら、前記
    第１基板の下部に隣接して位置されて直径方向に移動可
    能に設置された磁力発生手段によって磁性微粒子との間
    に発生する押圧力を、前記薄膜及び第１基板の中心部か
    ら外周縁側に直線的に移動させることによってそれら間
    の接着を漸次的に進行させる段階と、 （Ｂ３）前記磁性懸濁液を除去する段階と、 を包含することを特徴とする請求項４記載の光ディスク
    の薄膜接着方法。
  6. 【請求項６】 前記（Ｂ）段階は、 （Ｂ１）前記第１基板及び薄膜を高速回転させながら、
    それらの直径方向に移動可能に設置された流体供給手段
    を利用して、流体圧力を前記薄膜及び第１基板の上面中
    心部から外周縁側に加えることによってそれら間の接着
    を漸次的に進行させる段階を包含することを特徴とする
    請求項４記載の光ディスクの薄膜接着方法。
  7. 【請求項７】 前記第１基板及び薄膜が所定線速度を維
    持するように回転されることを特徴とする請求項６記載
    の光ディスクの薄膜接着方法。
  8. 【請求項８】 前記流体圧力源として、空気が利用され
    ることを特徴とする請求項６記載の光ディスクの薄膜接
    着方法。
  9. 【請求項９】 前記流体圧力源として、窒素が利用され
    ることを特徴とする請求項６記載の光ディスクの薄膜接
    着方法。
  10. 【請求項１０】 前記第１基板上に載せられる薄膜に
    は、別々の工程により前記接着剤層が均一に塗布される
    ことを特徴とする請求項４記載の光ディスクの薄膜接着
    方法
  11. 【請求項１１】 回転力を発生する駆動モータに一体に
    結合された回転軸と、 前記回転軸の一端に結合され、上面に厚い第１基板を載
    せることができるディスク支持部と、 前記ディスク支持部に載せられた前記第１基板の上面に
    接着剤を供給するために、前記ディスク支持部の上側に
    配置された第１ノズルと、 前記接着剤を介して前記第１基板上に載せられる薄膜
    に、圧力を時間の経過に連れ前記第１基板及び薄膜の中
    心部から外周縁側に加えて、それら間の接着を螺旋状に
    進行させる圧力供給手段と、を備えて構成されることを
    特徴とする光ディスクの薄膜接着装置。
  12. 【請求項１２】 前記圧力供給手段は、 前記薄膜上に磁性微粒子を含む磁性懸濁液を供給するた
    めの第２ノズルと、 前記第１基板の下部に隣接して移動可能に設置されて、
    磁性押圧力を回転する前記第１基板と薄膜間に印加する
    ための磁力発生手段と、 前記磁力発生手段が前記第１基板の直径方向に移動でき
    るように案内するガイドレールと、により構成されるこ
    とを特徴とする請求項１１記載の光ディスクの薄膜接着
    装置。
  13. 【請求項１３】 前記圧力供給手段は、 前記薄膜上に、その直径方向に移動可能に設置されて、
    流体圧力を高速回転する前記薄膜の上面中心部から外周
    縁側に加えるための第２ノズルを具備することを特徴と
    する請求項１１記載の光ディスクの薄膜接着装置。
  14. 【請求項１４】 前記駆動モータは、前記第１基板及び
    薄膜に前記流体圧力を印加するとき、前記ディスク支持
    部が所定線速度を維持するように回転することを特徴と
    する請求項１１記載の光ディスクの薄膜接着装置。
  15. 【請求項１５】 前記流体圧力源として、空気が利用さ
    れることを特徴とする請求項１３記載の光ディスクの薄
    膜接着装置。
  16. 【請求項１６】 前記流体圧力源として、窒素が利用さ
    れることを特徴とする請求項１３記載の光ディスクの薄
    膜接着装置。
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