WO2003004133A1 - Procede et dispositif de pretraitement de gaz d'echappement et dispositif de depoussierage associe - Google Patents

Description

明 細 排ガス除害方法及び排ガス除害装置及びそれに用いる除塵装置 技術分野

本発明は、 排ガス除害方法及び排ガス除害装置及びそれに用いる 除塵装置に関し、 詳し く は、 半導体や液晶ディ スプレイ のモジユ ー ルの製造工程ない しは成膜工程で使用 さ れる排ガス を除害化する のに有効な方法及び装置に関する。 背景技術

従来、 半導体や液晶ディ スプレイ のモジュールの成膜工程で使用 されるガス と しては、 例えば、 成膜用のシラ ン （ S i H ₄ ) 及びァ ンモニァ （ N H ₃ ) 、 ク リ ーニング用のフ ッ素系ガスがある。 シラ ンゃア ンモニア等の成膜用ガス （可燃系ガス と もい う） は、 例えば チャ ンバ一内においてプラズマ放電される こ と によっ て、 基板上に S i 膜や S i N膜を形成し、 ク リ ーニング用の N F ₃等のフ ッ 素系 ガス （支燃系ガス と もい う） は、 チャ ンバ一内に残留する S i を S i F ₄ と して系外へ放出する こ とができる。

このよ う な成膜ガスゃク リ ーニング用ガスを含む排ガスは、 従来 第 5 図に示すよ う に、 成膜装置の真空チヤ ンバーの後段に備え られ る、 燃焼式除害手段、 洗浄式集塵手段によって順に処理されている 燃焼式除害手段の前段であっ て真空チ ヤ ンバーの直後には、 ク リ 一 二ング排ガスか ら S i F ₄ を除去する手段が備え られる こ と も多 い。 S i F ₄除去手段は、 成膜用のチャ ンバ一か ら のガス排出 口付 近に備え られ、 排ガス に水分を補給して、 3 1 ₄ を 3 1 〇 ₂ (シ リ カ） と して捕集し、 さ ら に、 ろ過する こ とによ り 、 S i F ₄を排 ガス系から排除する ものである。

排ガスの燃焼式除害手段では、 可燃系ガスや支燃系ガス を燃焼に よ り酸化してそれぞれ式 [ 1 ] ~ [ 3 ] に示すよ う な化学反応を生 じさせるよ う にする。

S i H ₄ + 2 0₂→ S i 0₂ + 2 H ₂ 0 - - - - [ 1 ]

4 N H ₃ + 7 0₂→ 4 N 0₂ + 6 H ₂0 - · · · [ 2 ]

2 N F ₃ + 2 0₂→ 2 N 0₂ + 3 F ₂ [ 3 ]

さ ら に、 洗浄式集塵手段では、 この燃焼ガス をアルカ リ を添加し た水によ り 中和洗浄しつつ集塵する こ と によ り 、 S i 〇 ₂ を捕集す る と と もに、 酸性成分 （ 1^ 〇 ₂ゃ ？ ₂ ) を廃液と して分離するよ う になっている。

しか しながら、 従来、 前記 S i 〇 ₂捕集手段やそれ以降の配管の 他、 洗浄式集塵手段やその後段の配管において析出物が生成し、 配 管の閉塞や洗浄装置内での 目詰ま り を起こ していた。 このため、 頻 繁に洗浄式集塵手段の洗浄や配管洗浄な どを要していた。 また、 こ れらの析出物は、 フ ッ酸を用いて洗浄する ので安全性に留意する必 要があった。 さ ら に、 かかる洗浄などのメイ ンテナンス作業のため に工程の稼働率が低下する とい う 問題も生 じていた。

本発明は、 このよ う な成膜装置等の半導体あるいは液晶モジユ ー ルの製造装置において発生する排ガスの除害工程において、 メイ ン テナンス作業を抑制 し、 あるいはその作業の安全性を向上させる こ と を 目的してなされたものである。 発明の開示

本発明者らが、 上記した排ガス処理工程における析出物を分析し たと こ ろ、 それは、 洗浄式集塵手段以降では、 主と してケィ フ ッ化 カルシウム （ C a S i F ₆ ) であ り 、 成膜装置か ら燃焼式除害手段 までの経路において析出される、 析出物は、 主と してケィ フ ッ化ァ ンモニゥム （ （ N H ₄ ) ₂ S i F ₆ ) である こ とがわかった。

さ ら にかかる析出物の析出原因を探索したと こ ろ、 ゲイ フ ッ化力 ルシゥムは、 排ガスや燃焼ガス中に含まれる S i 〇 ₂ と、 燃焼時等 に発生する フ ッ酸と、 洗浄水や工程水に利用する水に含まれるカル シゥムに起因する こ と もわかっ た。 また、 ケィ フ ッ化アンモニゥム は、 排ガス 中の S i 0 ₂ と フ ッ酸 （ H F ) とア ンモニアガス に起因 する こ と もわかった。

これらの析出物は、 いずれも、 排ガス 中 に含まれる S i 0 ₂であ る こ とか ら 、 洗浄式集塵手段では、 S i 〇 ₂が効率よ く 捕集されず に内部に残留している こ と、 燃焼式除害手段の前段においては、 S i F ₄除去手段が有効に機能してお らず、 水との化学反応によ り 生 成した S i O ₂が捕集されきれずに排ガス 中に もれている こ とがわ かっ た。 特に、 洗浄式集塵手段では、 粒径が 0 . 1 ~ 1 m程度の 微粒子の S i O ₂が残留しやすく 、 集塵率が 5 0 %程度しかない こ と もわかっ た。

排ガス処理工程において、 成膜装置直後の S i 除去手段と燃焼式 除害手段直後の洗浄式集塵手段を備えながら、 S i 成分 （ S i H ₄ 、 S i F ₄ 、 S i 〇 ₂な ど） の捕集が有効に機能 していない こ と は当 業者においては予想外の こ とであっ た。 また、 本発明者ら は、 工程 水中の C a 濃度が高 く 析出物の生成が促進された こ と によ って、 S i 成分の残留をはじめて検知する こ とができた。

以上の こ とか ら、 本発明者 ら は、 上記した本発明の課題は、 洗浄 式集塵手段の前段に除塵 （装置） 手段を設ける こ とによ り解決され る こ と を見出 した。 また、 本発明の課題は、 成膜装置か ら燃焼式除 害手段に至る配管内部を 当該部位で析出 し う る析出物が析出 しな い温度に維持する こ と によ っ て解決さ れる こ と を見出 して本発明 に至っ た。

すなわち、 本発明の要旨は次ぎのとお り である。

( 1 ) S i 成分を含有する排ガス除害方法であって、

排ガスの燃焼処理工程と、

燃焼処理によ っ て生成 した燃焼排ガスか ら S i 含有粉塵を除塵 する除塵工程と、

除塵した燃焼排ガスを水性洗浄する洗浄工程、

と を備える排ガス除害方法。

( 2 ) 前記除塵工程では、 除塵 （装置） 手段と してバグフ ィ ル夕 一を用いる こ とを特徴とする （ 1 ) 記載の排ガス除害方法。

( 3 ) 前記除塵 （装置） 手段はその除塵経路にフィ ルターを有 し 前記除塵 （装置） 手段の粉塵の粉塵払い落と し工程において、 前記 フ ィ ルタ一に対して圧縮ガス を供給する と同時に、 前記フ ィ ルター の外部に対して、 前記フ ィ ルタ一表面近傍か ら粉塵排出側を指向す るガス流を付与する こ と を特徴とする （ 2 ) 記載の排ガス除害方法

( 4 ) 前記除塵工程には、 少な く と も m台 （ mは 3 以上の整数で ある） の除塵手段を備えるよ う に し、 それぞれの除塵 （装置） 手段 は、 少な く と も 1 台の除塵 （装置） 手段で粉塵払い落と し工程を実 施し、 最大で （m— 1 ) 台の除塵 （装置） 手段で集塵工程を実施す る よ う に切替使用する こ と を特徴とする （ 2 ) 又は （ 3 ) に記載の 排ガス除害方法。

( 5 ) 前記除塵工程で除塵されたガス を、 当該ガスの排出圧力に 応じた風量で排出する こ と を特徴とする （ 1 ) 〜 （ 5 ) のいずれか に記載の排ガス除害方法。

( 6 ) 前記洗浄工程で洗浄用に導入される水は、 純水〜硬度 0 の 水を用いる こ と を特徴とする （ 1 ) 〜 （ 5 ) のいずれかに記載の排 ガス除害方法。

( 7 ) 前記燃焼処理工程に導入される前記排ガスは、 前記燃焼処 理工程よ り も前の段階で析出する可能性のあ る析出物が析出 しな い温度に維持されている （ 1 ) 〜 （ 6 ) のいずれかに記載の排ガス 除害方法。

( 8 ) S i 成分を含有する排ガス除害方法であっ て、

排ガスの燃焼処理工程と、

燃焼処理によ っ て生成 し た燃焼排ガスか ら S i 含有粉塵を除塵 する工程とを備え、

前記燃焼処理工程に導入される前記排ガスは、 前記燃焼処理工程 よ り も前の段階で析出する可能性のあ る析出物が析出 しない温度 に維持されている排ガス除害方法。

( 9 ) S i 成分を含有する排ガス除害装置であっ て、

排ガスの燃焼処理手段と、

燃焼処理によ っ て生成 し た燃焼排ガスか ら S i 含有粉塵を除塵 する除塵手段と、

除塵した燃焼排ガス を水性洗浄する洗浄手段、

と を備える排ガス除害装置。 ( 1 0 ) 前記除塵工程では、 除塵手段と してバグフ ィ ルターを用 いる こ と を特徴とする （ 9 ) 記載の排ガス除害装置。

( 1 1 ) 前記バグフ ィ ルタ一の粉塵払い落と し手段と して、 前記 バグフ ィ ルターの経路に フ ィ ルター部を設け前記フ ィ ルター に対 して圧縮ガスを供給する と同時に、 前記フ ィ ルタ一の外部に対して 前記フ ィ ルター表面近傍か ら粉塵排出側を指向する ガス流を付与 するガス導入手段を備える こ と を特徴とする （ 1 0 ) 記載の排ガス 除害装置。

( 1 2 ) 前記除塵手段は、 少なく と も m台 （mは 3 以上の整数で ある） の除塵手段が備え られてお り 、 それぞれの除塵手段は、 少な く と も 1 台の除塵手段で粉塵払い落と し工程を実施し、 最大で （m - 1 ) 台の除塵 （装置） 手段で集塵工程を実施するよ う に切替可能 に設けられている こ と を特徴とする （ 1 0 ) 又は （ 1 1 ) 記載の排 ガス除害装置。

( 1 3 ) 前記洗浄手段で洗浄用 に導入される水は、 純水か ら硬度

0 の範囲までの水を用 いる こ と を特徴とする （ 9 ) 〜 （ 1 2 ) のい ずれかに記載の排ガス除害装置。

( 1 4 ) 前記燃焼処理手段に導入される前記排ガス を、 前記燃焼 処理手段よ り も前の段階で析出する可能性のあ る析出物が析出 し ない温度に維持する手段を備える こ と を特徴とする （ 9 ) 〜 （ 1 3 ) のいずれかに記載の排ガス除害装置。

( 1 5 ) 前記除塵手段か ら排出されるガスの圧力に応じて風量を 変量可能な排気手段を備える こ と を特徴とする （ 9 ) 〜 （ 1 4 ) の いずれかに記載の排ガス除害装置。

( 1 6 ) S i 成分を含有する排ガス除害装置であっ て、 排ガスの燃焼処理手段と、

燃焼処理によ っ て生成 した燃焼排ガスか ら S i 含有粉塵を除塵 する手段とを備え、

前記燃焼処理手段に導入される前記排ガス を、 前記燃焼処理手段 よ り も前の段階で析出する可能性のあ る析出物が析出 しない温度 に維持する手段を備える こ とを特徴とする排ガス除害装置。

( 1 7 ) S i 含有粉塵用の除塵装置であっ て、 前記除塵装置はバ グフ ィ ルターか ら成り 、 さ ら に前記バグフ ィ ルターの一構成部にフ ィ ルターを備え、 前記フ ィ ルタ一の粉塵払い落と し手段と して、 前 記フ ィ ルターに対して圧縮ガス を供給する と同時に、 前記フ ィ ルタ 一の外部に対して、 前記フ ィ ルタ一表面近傍か ら粉塵排出側を指向 する ガス流を付与する ガス導入手段を備え る こ と を特徴 とする除

( 1 8 ) 前記除塵装置の粉塵排出口は、 開閉式バルブを備えてお り 、 前記フィ ルタ一への粉塵集塵時においては閉 口 されてお り 、 前記圧縮ガス及びガス流が付与されて粉塵払い落 と し時におい ては開 口 されるよ う になっ ている こ と を特徴とする （ 1 7 ) 記載の 除塵装置。

前記 （ 1 ) ~ ( 7 ) ない し （ 9 ) 〜 （ 1 5 ) に係る発明によれば 除塵工程ない し除塵手段によ り S i 含有粉塵が除去されるため、 洗 浄工程ない し手段で析出物の析出が抑制される。 このため、 安定的 に工程ない し装置が稼働され、 メイ ンテナンス作業は軽減される。 また、 大量の洗浄水を要する こ とな く 洗浄工程を実施できる。 特に、 除塵工程ない し除塵手段でバグフ ィ ルターを用いる こ と に よ り 0 . 1 〜 1 m程度の微細な S 1 〇 ₂ 粒子を効率的に捕捉でき る。 さ ら に、 フ ィ ルターの粉塵払い落と し工程を、 圧縮ガスの供給 に加えて、 前記ガス流を付与する こ とによ り 、 圧縮ガスによ り粉塵 手段内部の雰囲気に浮遊する微細な粉塵を効果的に集塵 · 排出する こ とができる。 また、 当該ガス流の付与によ り 、 除塵手段内を雰囲 気ガス に置換 して S i 含有粉塵が捕捉さ れやすい環境が形成さ れ る。 さ ら に、 当除塵後のガスの排出圧力に応じた風量で排出する こ と によ り 、 常に除塵工程ない し手段での圧力損失に応じた適切な排 出量が確保される。

洗浄工程ない し手段では、 洗浄用 と して純水か ら硬度 0 までの範 囲の水を用いる こ と によ り 、 洗浄工程ない し手段ある いはそれ以後 の工程ない し手段において S i 含有析出物の生成を抑制し、 安定的 に稼動可能とな り 、 メイ ンテナンス作業が簡略化される。

また、 前記 （ 7 ) 及び （ 8 ) ないし （ 1 5 ) 及び （ 1 6 ) に係る 発明によれば、 燃焼処理工程ない し手段に導入される排ガスが、 燃 焼処理工程ない し手段よ り も前の段階で析出する可能性のある析 出物が析出 しない温度に維持される こ とによ り 、 燃焼処理工程ない し手段までの排ガス配管における S i 含有析出物の生成が回避さ れ、 安定した排ガス除害工程を実施できる。

また、 本発明のバグフ ィ ルタ一によれば、 ノ グフ ィ ルタ一のハウ ジング内に浮遊する微細な粒径 （特に、 0 . 1 〜 ： L m程度） の S i 含有粉塵を効果的に除塵できる。 図面の簡単な説明

第 1 図は本発明に係る排ガス除害装置及び排ガス除害方法を説 明するための図、 第 2 図は本発明に係るバグフ イ リレターを示す図、 第 3 図は本発明の第 2 の実施形態に係る排ガス除害装置の概略を 示す図、 第 4 図は本発明の第 3 の実施形態に係る排ガス除害装置の 概略を示す図、 第 5 図は従来の排ガス除害工程を示す図である。 発明を実施するための最良の形態

以下、 本発明の実施の形態について詳細に説明する。

本発明の排ガス除害方法、 排ガス除害装置及び除塵装置は、 いず れも S i 成分含有排ガスに適用する こ とができる。 通常このよ う な 排ガスは、 半導体あるいは液晶モジュールの製造工程ない し装置、 特に成膜工程ない し成膜装置において発生する。 したがっ て、 本発 明の排ガス除害方法及び排ガス除害装置並びに除塵装置は こ のよ う な工程又は装置に適用 される こ とが好ま しい。 特に、 成膜工程に おいて、 C V D、 プラズマ C V D等の気相蒸着工程ないし装置で発 生する排ガスに適用する とその効果は顕著に現れる。

(実施形態 1 )

第 1 図は、 本発明の一実施の形態に係る排ガス除害装置及び排ガ ス除害工程の概略図を示す。

除害装置 2 は、 燃焼処理手段 4 と、 除塵 （装置） 手段 1 4 と、 洗 浄手段 4 4 と を備えている。 なお、 第 1 図には、 本除害装置が装着 ある いは配設さ れる薄膜等の製造装置が付随 して記載さ れている が、 本形態においては特にプラズマ C V D の成膜装置である。 燃焼処理手段 4 は、 従来公知の酸化燃焼装置を利用できる。 燃焼 用ガス と して酸素を外部か ら供給し、 かつバーナー等で火焰を供給 して高熱で排ガス成分を燃焼し酸化するよ う にする。 燃焼処理手段 4 においては、 前述のよ う に、 各種可燃系ガス （シラ ン、 ア ンモニ ァ、 ホス フ ィ ン等） や支燃系ガス （三 フ ッ 化窒素等） の排ガス は、 それぞれ、 S i 〇 ₂ ( シ リ カ ） や、 N 0 ₂等の対応する元素の酸化物 や、 水あ る いは フ ッ 素等を 生 じ る。 し たがっ て、 燃焼排ガス は、 S 1 〇 ₂粒子の他、 こ れ ら の各種燃焼排ガス を含んでい る。

燃焼処理手段 4 か ら 排出 さ れる燃焼排ガス は、 除塵 （装置） 手段

1 4 に導入さ れる よ う にな っ て いる。 除塵 （装置） 手段 1 4 は、 従 来公知の各種の除塵装置を使用する こ とができ る 。 例えば、 遠心分 離、 ス ク ラ ノ — 、 ノ 'グフ ィ ルタ 一等を用 い る こ とができ る が、 好 ま し く は、 ノ ダフ イ リレタ ーであ る 。 バグフ ィ ルタ 一 は、 特に、 0 . 1 〜 1 m程度の微粒子の除塵効果が高 いか ら であ る。

ノ グフ ィ ル夕 一 に は、 従来各種方式の も のがあ る。 通常は、 フ ィ ルタ ーか ら の粉塵の払い落 と し機構に よ り 、 機械的振動方式、 逆流 洗浄方式、 超音波洗浄方式、 リ バース ジェ ッ ト 方式、 パルス エアー 方式な どの各種形態があ り 、 こ れ ら の う ち か ら 設計事項に応 じて所 要の も の を採用する こ とができ る。 好 ま し く は、 パルスエアー方式 のノヽ'グフ ィ ルタ ーであ る。

第 2 図に 、 本発明 において使用する の に好ま し いバグフ イ リレタ ー の一例 を示す。 通常、 パルス エア一方式のバグフ ィ ルタ一 は、 フ ィ ルタ ー 1 8 を保持するハ ウ ジ ン グ 1 6 と 、 ノヽ ウ ジ ング上部にお いて 区画さ れて備え られる ト ッ ププレナム 2 0 と 、 ノヽ ウ ジ ング下部に備 え ら れる集塵部 3 0 と を備えて いる。 さ ら に、 本発明の除塵 （装置） 手段 1 4 は、 ガス導入手段 4 0 を備えてい る。

ノ、 ウ ジ ン グ 1 6 内 には、 フ ィ ルター 1 8 が適数本保持さ れてお り フ ィ ルタ一 1 8 は、 通常、 円筒形等の筒状に形成さ れて い る。 フ ィ ルタ ー 1 6 内部は、 チュー ブシー ト 2 1 を介 して ト ッ ププ レナム 2 0 内部に連通されている。

ハウジング 1 6 のフ ィ ルター 1 8 の保持部位には、 外部か ら処理 すべき燃焼排ガスが導入される導入部を供えている。 導入部 1 9 は 排ガス導入時には開 口 されているが、 粉塵払い落と し時には、 閉 口 されるよ う になつている。

ト ッ ププレナム 2 0 は、 ノヽウジング 1 6 とチューブシー ト 2 1 を 介して備え られてお り 、 フ ィ ルター 1 6 内部と連通される こ とによ り 、 フ ィ ルター 1 8 を介して清浄化ガスが導入されるよ う になっ て いる と と も に、 フィ ルタ一 1 8 内部に圧縮ガス を導入できるよ う に なっている。 すなわち、 フ ィ ルター 1 8 で除塵された清浄化ガス を 排出する排出部 2 2 と、 フ ィ ルター 1 8 への圧縮ガスの噴射装置 2 4 とを備えている。

排出部 2 2 は、 排ガスが導入されて除塵が実施されている間は開 口 されているが、 粉塵払い落と し時には閉口 されるよ う になってい る。 また、 圧縮ガスの噴射装置 2 4 には、 外部か ら圧縮ガス （圧縮 空気） が供給されるよ う になっている。 圧縮ガスの供給経路にはパ ルス弁が備え られてお り 、 パルス弁の開閉によ り 瞬間的に圧縮ガス をフィ ルタ一 1 8 内部に対して供給できるよ う になつている。 さ ら に、 図示はしないが、 フ イ リレター 1 8 内部には、 圧縮ガス供給と同 じ に フ ィ ルター 1 8 を膨張さ せる誘引ガス を導入でき る よ う にな つ ている。

さ ら に、 ノヽウジング 1 6 の下部には、 下方に向かって徐々 に 口径 が小さ く なるテーパー状の集塵部 3 0 が形成されている。 集塵部 3 0 の一部、 好ま し く は底部には、 粉塵排出部 3 2 を備え、 粉塵排出 経路 3 6 に連絡されている。 粉塵排出部 3 2 は、 その開閉を手動あるいは自動に制御できるよ う になつ ている。 通常は、 開閉式バルブ 3 4 が備え られている。 粉塵排出部 3 2 は、 燃焼排ガスが導入されている間は閉 口 されて お り 、 粉塵払い落と し時には、 開 口 されるよ う になっ ている。 また 粉塵払い落と し時には、 粉塵排出経路 3 6 には、 搬送用のガス （空 気） が排出方向に向けて導入されるよ う になっている。

このため、 粉塵払い落と し時に粉塵排出部 3 2 が開 口 される と、 ハウ ジン グ 1 6 内の雰囲気ガスが一気に当該排出部 3 2 か ら排出 経路 3 6 側に抜けるよ う になつている。 すなわち、 ノ、ウジング 1 6 内か ら粉塵排出方向を指向する ガス流がフ ィ ルタ一 1 8 の表面近 傍に付与されやすく なつている。

さ ら に、 除塵 （装置） 手段 1 4 は、 ガス導入手段 4 0 を備えてい る。 ガス導入手段 4 0 は、 ノヽウジング 1 6 内部に外部か らガス を導 入できるガス導入装置である。 構成は特に限定しない。 ガス導入量 及びガス導入時間等を調整できる こ とが好ま しい。

ガス導入手段 4 0 は、 ハウジング 1 6 内の、 好ま し く は、 フ ィ ル 夕一 1 8 設置部位に対応して設けられてお り 、 当該部位にガス を供 給できるよ う になつている。 すなわち、 フ ィ ルター 1 8 の外側か ら ガス を供給できるよ う になつている。 なお、 フィ ルタ一 1 8 に対し ては、 その側方か らでも上方か らでも、 フ ィ ルタ一 1 8 の外方か ら ガス を導入できるよ う になっていればよい。 装置の構成上か ら は、 フ ィ ルタ一 1 8 の側方か ら ガス を導入でき る よ う になつ ている こ とが好ま しい。

ガス導入手段 4 0 は、 粉塵払い落と し時に作動するよ う になって お り 、 粉塵排出部 3 2 が開 口状態であっ て、 圧縮ガス噴射装置 2 4 によ る圧縮ガス の噴射と ほぼ同時期にガス を導入するよ う になつ ている。 ガスの導入は、 特に限定しないが、 開閉制御可能な開閉式 バルブの作動によってコ ン ト ロールされるよ う になっ ている。 導入 するガスは、 特に限定しないが、 好ま し く は空気である。

洗浄手段 4 4 は、 従来公知の排ガスの液洗浄装置を使用できる。 通常は、 排ガス中の有害成分を溶解可能な洗浄媒体 （水性） を利用 して有害成分を洗浄媒体に溶解させて除害し、 清浄化したガス を排 出できるよ う になつている。

かかる排ガス処理手段と しては各種利用できる。 排ガス と洗浄媒 体との接触形態は各種採用する こ とができる。 洗浄媒体の入っ た洗 浄槽に排ガスを導入する方式、 排ガスに対してシ ャ ヮー形式で洗浄 媒体を供給する方式を採用する こ と もできる。

本発明においては、 好ま し く は、 排ガス中の粉塵も除去できる手 段を用いる こ とが好ま しい。 これによ り 、 よ り 一層後段の手段ある いは工程において安定的な稼動が確保されるか らである。 かかる洗 浄集塵手段と しては、 具体的には、 洗浄集塵装置 （ス ク ラバー） が ある。 排ガス と洗浄媒体との接触形態か ら各種採用する こ とができ る。 好ま し く は、 排ガスに対してシ ャ ワー形式で洗浄媒体を供給す る方式 （ジェ ッ トスク ラバー、 スプレー塔、 口一 ト ク ロ ン、 ベンチ ユ リ スク ラバー） 、 所定の担体が充てんされたカ ラムにガス と洗浄 媒体と を導入する形式 （典型的には充てん塔） 等を採用できるが、 好ま し く は、 充てん塔である。

洗浄手段 4 4 には、 洗浄媒体と して水が使用 される こ とが好ま し い。 よ り 好ま し く は硬度 1 0 以下の軟水であ り 、 特に好ま し く は、 純水か ら硬度 0 までの範囲の水である。 かかる水であれば、 洗浄手 段 4 4 内において S i 成分を含有していても、 S i 含有析出物の生 成が回避される。 当該析出物は、 S i 成分 （典型的にはシ リ カ） と 燃焼排ガスで生成する フ ッ酸の他、 カルシウムを初め とする周期表 1 族〜 2 族の金属元素イ オンが存在しない と生成 しないか ら であ る。 かかる金属元素イ オンは、 カルシウム、 ナ ト リ ウム、 カ リ ウム 等であ り 、 典型的にはカルシウムである。 なお、 硬度は、 水 1 0 0 c m ² 中に酸化カルシウム と して l m g を含むとき 1 度とする。 また、 通常、 フ ッ酸等が燃焼排ガスに生成しているために、 洗浄 媒体は、 水酸化ナ ト リ ゥム等のアル力 リ の水溶液と と もに供給され るよ う になっている こ とが好ま しい。

次に、 このよ う な洗浄手段 4 4 によ り実施する排ガスの除害工程 について説明する。 まず、 成膜装置に供給された可燃系ガスや支燃 系ガスは、 そのまま、 ある いは、 水分が供給されて S i 〇 ₂ を生成 させ、 S i 0 ₂ を捕集する フ ィ ルターを介した後、 排ガス用配管を 通じて燃焼処理手段 4 に導入されて、 燃焼処理工程が実施される。

燃焼処理手段 4 では、 燃焼性ガスゃ火焰等による高温が供給され て、 排ガス中の可燃性ガスや支燃系ガスは燃焼される。

次に、 燃焼排ガスは、 除塵 （装置） 手段 1 4 に導入されて除塵ェ 程が実施される。 除塵 （装置） 手段 1 4 によって除塵が実施された ガスは、 従来に比して粉塵量の低い状態で洗浄手段 4 4 に導入され 洗浄工程が実施される。

除塵工程で効果的に除塵されていれば、 洗浄手段 4 4では、 除塵 を実施しな く てよい場合も あ り う る。 洗浄手段において同 じに除塵 も実施すればよ り効果的である。

洗浄工程において、 洗浄媒体と して、 純水か ら硬度 0 までの範囲 の水を用いる こ とによ り 、 洗浄工程において S i 成分が存在してい ても、 析出物の生成が有効に回避され、 メイ ンテナンス作業は回避 され安定的運転が確保される。

以下、 第 2 図に示す除塵 （装置） 手段を用いた除塵工程について 特に説明する。

まず、 除塵工程は、 集塵工程と粉塵払い落と し工程とか らなる。 燃焼排ガス導入時には、 排ガス導入部 1 9 が開 口 される と と もに 排出部 2 2 も開 口状態とされる。 一方、 粉塵排出部 3 2 においては バルブ 3 4 が閉 じ られて、 閉口状態となっ ている。

このよ う な状態で導入された燃焼排ガスは、 フ ィ ルター 1 8 の外 面か ら 内方へと通過し、 フ ィ ルター 1 8 内部、 及び ト ッ ププレナム 2 0 内部を介して、 排出部 2 2 か ら清浄化されて排出される。

ハウジング 1 6 内においては、 集塵部 3 0 の粉塵排出部 3 2 が閉 口状態なので、 微細な粒子状の粉塵 （典型的には、 0 . l 〜 l ^ m 程度のシ リ カ粒子） の多く はハウジング内で浮遊した状態が形成さ れている。

排出部 2 2 か らの排出ガスの排出圧力が一定以下、 あるいは圧力 損失が一定以上となっ た場合、 集塵工程を停止し、 除塵工程を開始 する。 除塵工程に先立って、 燃焼排ガスの導入を停止し、 導入部 1 9 及び排出部 2 2 を閉 口する。

除塵工程は、 まず、 排出バルブ 3 4 を開いて、 集塵部 3 0 の粉塵 排出部 3 2 を開 口 させる。 この とき、 粉塵排出経路 3 6 では、 粉塵 の排出方向へとガスが供給されている。 したがっ て、 ハウジング 1 6 内を下方へ向かう ガス流が形成され、 あるいはされやすく なっ て いる。 すなわち、 フ ィ ルター 1 8 の表面近傍か ら粉塵排出方向へ向 かう ガス流が付与されやすい状態が形成されている。

次いで、 圧縮ガス噴射装置のバルブ調整によ り 、 フ ィ ルター 1 8 に圧縮ガス をパルス状に供給する。 圧縮ガスのフ ィ ルタ一 1 8 への 供給と同時に、 ある いはこれよ り 少しタイ ム ラグをおいて、 ガス導 入手段 4 0 を作動させて、 フ ィ ルター 1 8 の表面に対して、 その外 方か ら外部ガス を供給する。

本来ハウ ジング 1 6 内は粉塵排出方向へ向か う ガス流が形成さ れやすく なるよ う に構成しているが、 さ ら に このガスの供給によ つ て、 よ り強力にそのよ う なガス流が形成される こ とになる。 特に、 フ ィ ルター 1 8 の表面近傍においてはそのよ う な方向性を有する 安定したガス流が形成される こ とになる。

このよ う なガス流によ り 、 ハウジング内に浮遊する微粒粉塵が集 塵部 3 0 の排出部 3 2 か ら排出されるよ う になる。 かかるガス流に よ り 、 ハウジング内の雰囲気ガスに置換され、 かつ雰囲気ガスか ら 微粒粉塵が排出される。

除塵 （装置） 手段 1 4では、 燃焼排ガス導入時には、 排出部 3 2 が閉 口状態であ り 、 ハウジング内に浮遊する微粒粉塵を排出する能 力は低く 、 浮遊粉塵は集塵工程中蓄積するが、 粉塵払い落と し工程 において、 フ ィ ル夕一 1 8 に付着した粉塵も ろ と もハウジング 1 6 内か ら排出される。 このよ う な排出形態と した こ とによ り 、 相乗的 に フ ィ ルタ 一 1 8 及び雰囲気か ら 良好に粉塵が排出 される よ う に なる。

このよ う な除塵 （装置） 手段 1 4 によれば、 効果的に燃焼排ガス か ら除塵する こ とができ。 除塵 （装置） 手段 1 4 や工程のみな らず 後段の処理手段や工程におけるメイ ンテナンス作業を軽減し、 安定 稼動を確保できるよ う になる。 特に、 微細シ リ カ粒子を排除できる ため、 除塵 （装置） 手段 1 4 における フ ィ ルターの長寿命化も達成 される と と もに、 後段の洗浄手段や工程における析出物生成を効果 的に回避させる こ とができる。

なお、 実施形態 1 の除塵 （装置） 手段又は工程において分離排出 された粉塵は、 別途、 集塵手段ない し工程によ り 、 集塵される。 集 塵は、 従来公知の方法によ って実施する こ とができる。

また、 除塵 （装置） 手段又は工程か らの清浄化ガス の圧力を検知 して、 この検知 した圧力に基づいて、 排出手段、 典型的には排出用 ブロ アの風量を調整する こ とが好ま しい。 フ ィ ル夕一の圧力損失に 応じた風量を供給 して清浄化ガス を排出する よ う にする こ と によ り 、 集塵工程の運転コス トおよび設置コス 卜 の少なく とも一方の省 力化を図る こ とができる。 また、 清浄化ガスの組成も安定化する。

(実施形態 2 )

次に、 本発明の別の実施形態について説明する。

実施形態 2 の排ガス除害装置又は工程は、 特に、 成膜装置か ら燃 焼処理手段に導入する排ガスに関連する ものである。

成膜装置内の残留ケィ 素 （ S i ) は、 成膜後に、 N F ₃ 等のク リ 一二ングガスが供給されて S i F ₄等と される場合がある。 かかる ガスは、 そのまま排ガス と して、 あるいは排ガス系か ら除去される よ う に構成される場合もある。

実施形態 2 では、 かかるガスが排ガス と と もに排出されるか、 あ るいは系外に排出されるか否かにかかわ らず、 ク リ ーニング手段な い し は工程を備える成膜装置ない し は工程に適用できる ものであ る。 実施形態 2 の一例を第 3 図に基づいて説明する。 ク リ ーニング手 段を備える成膜装置では、 ク リ ーニング工程によって生じた S i F ₄等のク リ ーニング排ガスが、 そのま まある いは系外排出手段を介 して燃焼処理手段に導入されるよ う になっている。 第 3 図に示す成 膜装置 5 2 においては、 系外排出手段 5 4 を備える形態が示されて ているが、 本形態は必ずし も当該排出手段 5 4 を備えている こ と を 要しない。

系外排出手段 5 4 は、 成膜装置 5 2 のチャ ンバ一か ら吸引 したク リ ーニング排ガスに冷却水を供給して、 S i F ₄等と水と を反応さ せて S i 〇 ₂ さ ら にはケィ フ ッ化水素化合物を析出させて、 これら をフ ィ ルターで捕捉しょ う とする ものである。

しかしながら、 このよ う な手段 5 4 を備えていても、 完全にはこ れらの析出物は捕捉しえず、 また、 同時に生成する フ ッ酸や S i F ₄ 自体がそのま ま フ ィ ルターを通過する こ と もある。

なお、 かかる排出手段 5 4 を備えていなく ても、 成膜装置 5 2 か ら排出されて燃焼処理手段 6 4 に至る間に、 排ガスが冷却されて水 蒸気が液化する こ とによ り 、 同様の析出物がフ ッ酸が生成する こ と あある。

実施形態 2 では、 第 3 図に示すよ う に、 成膜装置 5 2 か ら燃焼処 理手段 6 4 に至る配管 5 5 内を、 析出する可能性のある析出物が析 出 しない温度に維持する手段 5 6 を備えている。 こ こ で析出する可 能性のある析出物とは、 排ガスの種類等か ら 当該成膜系において予 測される析出物を意味する。

当該手段 5 6 は、 配管を積極的に加温する手段であってもよい し また排ガス の温度を保温する こ と によ り 一定温度を維持する手段 であってもよい。 ある いはこれ らの双方であっ てもよい。

加温手段と しては、 配管 5 5 内に加温したガス を供給する手段や 配管 5 5 の外部あるいは内部に設けられる加温手段を例示できる。 第 3 図に示す形態においては、 配管 5 5 内に加温したガス を供給す る手段 5 6 と配管 5 5 の周囲に備え られた加温手段 5 7 と を示す。 配管 5 5 内に加温ガス を供給する手段 5 6 には、 ガスは不活性ガ スである必要があ り 、 典型的には窒素ガス を用 いる。 また、 外部加 温手段 5 7 と しては、 加熱源のみでもよ く 、 また、 加熱源と保温部 材との双方を兼ね備えていてもよい。 加熱源や保温部材は特に限定 しないで使用できる。

また、 排出されたガスの温度の保温手段を採用する場合における 保温部材も特に限定しないで各種使用できる。

これ ら の加温手段な い し は保温手段によ っ て配管 5 5 内を維持 する温度は、 予測される析出物の析出を回避するのに有効な温度で ある。

予測される析出物は、 排ガス成分や、 ク リ ーニングガス によって も異なるが、 S i 膜生成において発生する S i 成分含有排ガスの場 合には、 典型的にはゲイ フ ッ化化合物である。 特に、 可燃系ガス と してシラ ン、 ア ンモニアが使用 され、 支燃系ガス と して N F ₃ のフ ッ素系ガスが使用される場合には、 ケィ フ ッ化ア ンモニゥム （ （ N H ₄ ) ₂ S i F ₆ ) が予測される。

ゲイ フ ッ化アンモニゥムの析出 （昇華） 温度は、 1 3 7 T:である ため、 これを超える温度に配管 5 5 内を維持する こ と によ り 、 本化 合物の析出を回避できる。 好ま し く は、 1 5 0 で以上とする。

なお、 成膜装置 5 4 か ら燃焼処理手段 6 4 に至る配管 5 5 は、 好 ま し く は、 その全体が温度維持手段に よ り 温度維持さ れて い る こ と が好 ま し い。 特 に、 成膜装置か ら排出 さ れる部位及びその近傍の配 管部位は、 急激に排ガス温度が低下する 部位であ る ので、 当該部位 を含めて温度維持する こ と が好 ま し い。

実施形態 2 の排ガス 除害装置又は工程 に よれば、 成膜装置 5 4 か ら 燃焼処理手段 6 4 に至 る 配管 に温度維持手段 を備 えて い る た め に、 当該配管部位で析出物の析出が抑制 さ れてお り 、 メ イ ンテナ ン ス作業が軽減さ れ、 ま た、 危険が洗浄剤の使用 も 回避され安全性が 向上さ れて い る 。

さ ら に、 燃焼処理手段な い し工程の後段に備え ら れる除塵 （装置） 手段ない し は工程にお ける 、 除塵除去の負担を軽減できる。

なお、 実施形態 2 では、 特に、 成膜手段 5 4 か ら燃焼処理手段 6 4 と の間の配管、 な い し は燃焼処理工程に供給さ れる排ガス につ い て説明 したが、 本形態は、 第 1 の実施形態で包含 さ れる各種形態の 装置 2 や工程 に も 当然に適用する こ とができ る も のである 。 特に、 バグフ ィ ルタ ーの除塵手段や除塵装置、 なかで も 、 ガス導入手段 4 0 に よ る粉塵払 い落 と し 工程 を 実施で き る バ グ フ ィ ル夕 一 を 除塵 装置や除塵手段 と して用 い る場合には、 成膜装置 5 4 に系外排出手 段を備えて いな く て も 、 燃焼処理手段に至る までに析出が有効に防 止さ れ、 さ ら に除塵 （装置） 手段によ り 効果的 に除塵 される よ う に なる 。

(実施形態 3 )

次 に、 本発明の実施形態 3 につ いて説明する 。

実施形態 3 では、 特に、 除塵手段な い し は工程にお いて、 少な く と も m台 （ m は 3 以上の整数であ る） の除塵手段 を備える よ う に し それぞれの除塵手段は、 少なく と も 1 台の除塵手段で粉塵払い落と し工程を実施し、 最大で （ m— 1 ) 台の除塵手段で集塵工程を実施 するよ う に切替使用するよ う に構成されている。 なお、 mは、 好ま し く は 6 台以下であ り よ り好ま し く は 3 台である。

実施形態 3 の一例について、 第 4 図を参照して説明する。

第 4 図には、 除塵手段 7 2 と して 3 台の除塵手段 7 4 、 7 6 及び 7 8 を備える構成が示されている。

実施形態 3 においては、 除塵手段 7 4 、 7 6 及び 7 8 は、 公知の 除塵装置をそれぞれ使用する こ とができるが、 好ま し く は、 全ての 除塵手段は、 バグフ ィ ルター形式であ り 、 よ り好ま し く は、 粉塵払 い落と し手段がパルスエアー方式のバグフィ ルタ一である、 さ ら に 好ま し く は、 フィ ルタ一に対して圧縮ガスを供給する と同時に、 フ ィ ルターの外部に対して、 フ ィ ル夕一表面近傍か ら粉塵排出側を指 向するガス流を形成可能なバグフ ィ ルターである。 本形態において 適用する最も好ま しい形態は、 実施形態 1 において明示される形態 である。

少な く と も 3 台の除塵手段 7 4 、 7 6 及び 7 8 は、 燃焼排ガスの 供給経路に対して並列に配列されている。 そ して、 燃焼処理手段に 連結される燃焼排ガスの供給経路は各除塵手段 7 4 、 7 6 及び 7 8 に対応して分岐され、 分岐された配管には、 燃焼排ガスの供給量な い しは供給の有無を調節するバルブ 8 4 、 8 6 及び 8 8 が備え られ ている。 さ ら に、 除塵手段 7 4 、 7 6 及び 7 8 か ら清浄化されたガ スの排出用配管がそれぞれ備え られてお り 、 排出を調節するバルブ 9 4 、 9 6 及び 9 8 が備え られてレゝる。

各除塵手段 7 4 、 7 6 及び 7 8 は、 いずれか 1 台が粉塵払い落と し工程ない しはメイ ンテナンス を実施していても、 残 り の 2 台ある いは 1 台で必要除塵能力が確保できるよ う になっている。

備え られる m台の各除塵手段は、 それぞれが同 じ除塵能力、 すな わち、 同 じろ過面積を有している こ とが好ま しい。 本形態において は、 各除塵手段 7 4 、 7 6 及び 7 8 は、 それぞれが同 じ除塵能力、 すなわち、 同 じろ過面積を有するよ う に設計されている。

同時に、 最大で （m— 1 ) 台で （好ま し く は （m— 1 ) 台で） 必 要な除塵能力、 すなわち、 必要な全ろ過面積を確保できるよう に設 計されている こ とが好ま しい。 したがっ て、 本形態においては、 各 除塵手段は、 必要な除塵能力 （ろ過面積） を 1 とする と、 それぞれ 0 . 5 の除塵能力 （ろ過面積） を備え、 全体と して 1 . 5 の除塵能 力 （ろ過面積） を備えるよ う になつている。 すなわち、 2 台 （m = 3 の ときの （m— l ) である） で必要な除塵能力を備えている。 次に、 このよ う に構成した除塵 （装置） 手段 3 2 を使用 して実施 する燃焼排ガスの除塵工程について説明する。

第 3 図では、 燃焼処理手段か ら導入される燃焼排ガスは、 除塵手 段 7 6 、 7 8 に導入されて除塵工程が実施される。 このためバルブ 8 4 、 9 4 は閉状態であ り 、 バルブ 8 6 、 8 8 、 9 6 及び 9 8 が開 状態となっ ている。

この場合、 除塵手段 7 6 、 7 8 は、 それぞれあるいは協働して所 要の除塵能力が備え られるため、 適切な除塵工程が実施される。 い ずれか一方の除塵 （装置） 手段で必要な除塵能力を備えている場合 には、 1 台の稼動でもよい。

一方、 除塵 （装置） 手段 7 4 の使用は、 必要な除塵能力を超えて いるため、 必要に応じて、 当該除塵 （装置） 手段 7 4 においては粉 塵払い落と し工程やメイ ンテナンスを実施できる。

さ ら に、 除塵 （装置） 手段 7 6 及び 7 8 のいずれかが所定の圧力 損失を超えるなどの稼働の停止を要する事態が発生した ら、 その除 塵手段への燃焼排ガスの導入を停止し、 粉塵払い落と し工程ない し はメイ ンテナンスを実施し、 除塵 （装置） 手段 7 4 への燃焼排ガス の導入を開始 して、 除塵工程を実施するよ う にする。

このよ う に、 除塵手段を複数備え、 その一部において必要な除塵 能力を備えるよ う にする と、 残部の除塵手段を、 粉塵払い落と しェ 程等に使用する こ とによ り 、 従来、 除塵手段の圧力損失の許容範囲 まで運転を継続し、 粉塵払い落と し工程やメイ ンテナンス にかかる 時間をできるだけ少な く するよ う に しな く ても、 必要に応じて容易 に粉塵払い落と し工程やメイ ンテナンス を実施できる。 このため、 常に圧力損失が低い状態で安定運転が可能とな り 、 さ らには、 安定 した除塵が達成され、 安定した組成の清浄化ガス を排出できるよ う になっ ている。

特に、 実施形態 3 においては、 全除塵手段 m台を全て同 じ除塵能 力 と し、 （ m — 1 ) 台で必要除塵能力を備えるよ う にしたために、 全体 と して最小限の全除塵能力で効率的な除塵工程の実施が可能 となっ ている。 すなわち、 少な く と も 1 台の除塵手段で粉塵払い落 と し工程を実施し、 最大で （ m — 1 ) 台の除塵手段で集塵工程を実 施するよ う に切 り替え使用する こ とによ り 、 圧力損失を低く 維持し つつ、 効率的かつ良好な除塵工程を実施する こ とができる。

なお、 当然のこ とではあるが、 必要に応じて、 除塵能力 を超えて 存在する除塵手段を用 いて他の除塵手段 と 同時に除塵工程を実施 する こ と もできる。 実施形態 3 では、 特に、 除塵手段ない しは工程について説明 した が、 実施形態 3 の除塵手段ない しは工程は、 実施形態 1 又は実施形 態 2 に包含される各種態様に適用する こ とができる。

特に、 実施形態 2 で説明 した、 除塵手段か ら排出される清浄化ガ スの圧力 に対応 して風量を変化可能な排出用 ブロ ア を備え る こ と によ り 、 最適な圧力状態での除塵工程、 特に、 集塵工程を省コス ト で実施する こ とができる。

以上、 各種実施形態について説明 したが、 本発明はこれらの実施 形態に限定される こ となく 、 請求の範囲に記載した範囲内の態様を 包含する ものである。 また、 請求の範囲内において包含される態様 における各手段や工程は、 上記実施形態において具体的に説明され る態様を包含する ものである。 産業上の利用可能性

本発明によれば、 半導体あるいは液晶モジュール等の製造装置に おいて発生する排ガスの除害工程において、 メイ ンテナンス作業を 軽減し、 あるいはその作業の安全性を向上させる こ とができるので その工業的価値は大きい。

Claims

請 求 の 範 囲

1 . S i 成分を含有する排ガスの除害方法であって、

排ガスの燃焼処理工程と、

燃焼処理によ っ て生成 した燃焼排ガスか ら S i 含有粉塵を除塵 する除塵工程と、

除塵した燃焼排ガス を水性洗浄する洗浄工程、

とを備える こ と を特徴とする排ガス除害方法。

2 . 請求の範囲第 1 項において、 前記除塵工程での除塵手段と し てバグフ ィ ルタ一を用 いる こ と を特徴とする排ガス除害方法。

3 . 請求の範囲第 2 項において、 前記除塵手段はその除塵経路に フ ィ ルターを有し、 前記除塵手段の粉塵払い落と し工程において、 前記フ ィ ルターに対して圧縮ガスを供給する と同時に、 前記フ ィ ル ターの外部に対して、 前記フ ィ ルター表面近傍か ら粉塵排出側を指 向するガス流を付与する こ と を特徴とする排ガス除害方法。

4 . 請求の範囲第 2 項又は第 3 項において、 前記除塵工程には、 少な く と も m台 （mは 3 以上の整数である） の除塵手段を備えるよ う に し、 それぞれの除塵手段は、 少な く と も 1 台の除塵 （装置） 手 段で粉塵払い落と し工程を実施し、 最大で （m— 1 ) 台の除塵手段 で集塵工程を実施する よ う に切替使用する こ と を特徴とする排ガ ス除害方法。

5 . 請求の範囲第 1 項か ら第 4項までのいずれかにおいて、 前記 除塵工程で除塵されたガス を、 当該ガスの排出圧力に応じた風量で 排出する こ と を特徴とする排ガス除害方法。

6 . 請求の範囲第 1 項か ら第 5 項までのいずれかにおいて、 前記 洗浄工程で洗浄用に導入される水は、 純水か ら硬度 0 までの範囲の 水を用いる こ と を特徴とする排ガス除害方法。

7 . 請求の範囲第 1 項か ら第 6 項までのいずれかにおいて、 前記 燃焼処理工程に導入される前記排ガスは、 前記燃焼処理工程よ り も 前の段階で析出する可能性のあ る析出物が析出 しな い温度に維持 されている こ と を特徴とする排ガス除害方法。

8 . S i 成分を含有する排ガスの除害方法であって、

排ガスの燃焼処理工程と、

燃焼処理によ っ て生成 した燃焼排ガスか ら S i 含有粉塵を除塵 する除塵工程と を備え、

前記燃焼処理工程に導入される前記排ガスは、 前記燃焼処理工程 よ り も前の段階で析出する可能性のあ る析出物が析出 し ない温度 に維持されている こ とを特徴とする排ガス除害方法。

9 . S i 成分を含有する排ガス除害装置であって、

排ガスの燃焼処理手段と、

燃焼処理によ っ て生成 した燃焼排ガスか ら S 1 含有粉塵を除塵 する除塵手段と、

除塵した燃焼排ガスを水性洗浄する手段、

とを備える排ガス除害装置。

1 0 . 請求の範囲第 9 項において、 除塵手段と してバグフ ィ ル夕 一を用いる こ と を特徴とする排ガス除害装置。

1 1 . 請求の範囲第 1 0 項において、 前記除塵手段はその除塵経 路にフ ィ ルターを備え、 前記除塵手段の粉塵払い落と し手段と して 前記フ ィ ル夕一に対して圧縮ガス を供給する と同時に、 前記フ ィ ル ターの外部に対 して、 前記フ ィ ルター表面近傍か ら粉塵排出側を指 向する ガス流を付与する ガス導入手段を備える こ と を特徴とする 排ガス除害装置。

1 2 . 請求の範囲第 1 0 項又は第 1 1 項において、 前記除塵手段 は、 少なく と も m台 （mは 3 以上の整数である。 ） の除塵手段を備 え られてお り 、 それぞれの除塵手段は、 少なく と も 1 台の除塵手段 で粉塵払い落と し工程を実施し、 最大で （m— 1 ) 台の除塵手段で 集塵工程を実施する よ う に切替可能に設け ら れている こ と を特徴 とする排ガス除害装置。

1 3 . 請求の範囲第 9 項か ら第 1 2 項までのいずれかにおいて、 前記洗浄手段で洗浄用に導入される水は、 純水か ら硬度 0 までの範 囲の水を用 いる こ と を特徴とする排ガス除害装置。

1 4 . 請求の範囲第 9 項か ら第 1 3 項までのいずれかにおいて、 前記燃焼処理手段に導入される前記排ガスを、 前記燃焼処理手段よ り も前の段階で析出する可能性のあ る析出物が析出 しない温度に 維持する手段を備える こ と を特徴とする排ガス除害装置。

1 5 . 請求の範囲第 9 項か ら第 1 4 項までのいずれかにおいて、 前記除塵手段か ら排出さ れる ガス の圧力 に応 じて風量を変量可能 な排気手段を備える こ と を特徴とする排ガス除害装置。

1 6 . S i 成分を含有する排ガス除害装置であっ て、

排ガスの燃焼処理手段と、

燃焼処理によ っ て生成 した燃焼排ガスか ら S i 含有粉塵を除塵 する除塵手段と を備え、

前記燃焼処理手段に導入される前記排ガスを、 前記燃焼処理手段 よ り も前の段階で析出する可能性のあ る析出物が析出 しない温度 に維持する手段を備える こ とを特徴とする排ガス除害装置。

1 7 . S i 含有粉塵用の除塵装置であっ て、 前記除塵装置はバグ フ ィ ル夕一か ら成 り 、 さ ら に前記バグフ ィ ルターの一構成部にフ ィ ル夕一を備え、 前記フ ィ ルターの粉塵払い落と し手段と して、 前記 フ ィ ル夕一に対して圧縮ガスを供給する と同時に、 前記フ ィ ルター の外部に対して、 前記フィ ルタ一表面近傍か ら粉塵排出側を指向す るガス流を付与する ガス導入手段を備える こ と を特徴とする除塵 装置。

1 8 . 請求の範囲第 1 7 項において、 前記除塵装置の粉塵排出口 は、 開閉式バルブを備えてお り 、 前記フ ィ ル夕一への粉塵集塵時に おいては閉口 されてお り 、

前記圧縮ガス及びガス流が付与さ れて粉塵払い落と し時におい ては開 口 されるよ う になっている こ と を特徴とする除塵装置。