WO2001042024A1

WO2001042024A1 - Tete a jet d'encre et imprimante

Info

Publication number: WO2001042024A1
Application number: PCT/JP1999/006959
Authority: WO
Inventors: Yoshiaki Sakamoto; Shuji Koike; Tomohisa Shingai
Original assignee: Fujitsu Limited
Priority date: 1999-12-10
Filing date: 1999-12-10
Publication date: 2001-06-14
Also published as: EP1258356A1; US20020149652A1; JP4570308B2; KR100481901B1; EP1258356A4; US6715861B2; EP1258356B1; KR20020086462A

Description

明細書インクジェットヘッドおよび印刷装置技術分野

本発明は、インク供給部品から供給されたィンクを吐出する複数のノズルを有するインクジエツトへッドに関し、例えばインクジエツトプリン夕の印字へッドに用いて好適なインクジェットヘッド、および、そのインクジェットヘッドをそなえた印刷装置に関する。背景技術

図 3 3および図 3 4はともに従来のインクジエツ卜ヘッド（特開平 7-148921 号公報）の構成を説明するための図であり、図 3 3はその要部構成を示す分解斜視図、図 3 4はその要部構成を示す縦断面図である。

従来のインクジエツ卜ヘッドは、これらの図 3 3および図 3 4に示すように、圧力発生ュニッ卜 3 2 0と流路ュニット 3 4 0とをそなえて構成されている。圧力発生ュニット 3 2 0は、連通路基板 3 0 1，圧力室形成基板 3 0 2，振動板 3 0 4をそなえて構成されており、圧力室形成基板 3 0 2の一面側（図 3 3，図 3 4中では上側）に振動板 3 0 4を、又、圧力室形成基板 3 0 2の他面側（図 3 3，図 3 4中では下側）に連通路基板 3 0 1をそれぞれ貼着して形成されている。

圧力室形成基板 3 0 2には圧力室 3 0 3となる部分がパンチングにより複数形成されており、又、連通路基板 3 0 1には、圧力室形成基板 3 0 2における各圧力室 3 0 3と後述するィンク供給路形成基板 3 1 3に形成されたィンク供給路 3 1 4とを連通する複数の連通路 3 0 9が穿孔されて形成されている。更に、連通路基板 3 0 1には、圧力室形成基板 3 0 2における各圧力室 3 0 3に対応するように複数のノズル連通孔 3 1 8 aが穿孔されている。

振動板 3 0 4における圧力室形成基板 3 0 2に貼着される面とは反対側の面（図 3 3，図 3 4中では上側）には、圧力室形成基板 3 0 2における各圧力室 3 0 3に対応するように、複数の圧力素子 3 0 6がそれぞれ下部電極 3 0 5を介して配設されている。又、圧力素子 3 0 6における下部電極 3 0 5とは反対側（図 3 3，図 3 4中では上側）には図示しない上部電極が形成されている。

流路ユニット 3 4 0は、リザ一バ室形成基板 3 1 2，インク供給路形成基板 3 1 3およびノズル形成基板 3 1 1をそなえて構成されており、リザーバ室形成基板 3 1 2の一面側（図 3 3，図 3 4中では上側）にはインク供給路形成基板 3 1 3が、又、その他面側（図 3 3，図 3 4中では下側）にはノズル形成基板 3 1 1 がそれぞれ貼着されている。

ノズル形成基板 3 1 1には複数のノズル 3 1 6が形成されており、リザ一バ室形成基板 3 1 2には、 V字型のインクリザーバ室 3 1 5がパンチング等の手法により形成されているとともに、ノズル形成基板 3 1 1に形成された各ノズル 3 1 6に対応する各位置にそれぞれノズル連通路 3 1 8 cが穿孔されている。

インク供給路形成基板 3 1 3には、インクリザ一バ室 3 1 5と連通路基板 3 0 1における各連通路 3 0 9とを連通接続する複数のインク供給路 3 1 4が形成されているほか、リザーバ室形成基板 3 1 2に形成された各ノズル連通路 3 1 8 c に対応する各位置にノズル連通路 3 1 8 bがそれぞれ穿孔されている。又、インク供給路形成基板 3 1 3には、図示しないインクタンクとインクリザーバ室 3 1 5とを連通接続する開口部 3 1 7が形成されている。

また、圧力発生ュニット 3 2 0と流路ュニット 3 4 0とは接着剤等により貼着されるようになつており、これにより、図 3 4に示すように、連通路基板 3 0 1 におけるノズル連通路 3 1 8 aと、インク供給路形成基板 3 1 3におけるノズル連通路 3 1 8 bと、リザーバ室形成基板 3 1 2におけるノズル連通路 3 1 8 cとが、ノズル形成基板 3 1 1に形成されている各ノズル 3 1 6と連通し、更に、圧力室 3 0 3とインクリザ一バ室 3 1 5とはィンク供給路 3 1 4および連通路 3 0 9を介して連通するようになっている。

このような構成により、図示しないインクタンクから供給されるインクが開口部 3 1 7を介してインクリザーバ室 3 1 5に供給され、更に、インク供給路 3 1 4および連通路 3 0 9を介して圧力室 3 0 3に供給される。

そして、図示しない駆動回路によって、上部電極（図示省略）と下部電極 3 0 5とに駆動信号を供給することにより各圧電素子 3 0 6を変形させ、これにより振動板 3 0 4を変位させて各圧力室 3 0 3のインク圧力を高めることによって、ノズル連通路 3 1 8 a〜 3 1 8 cを介してノズル 3 1 6からィンク滴を吐出して記録媒体上に画像を形成する。

このような従来のインクジェットヘッドにおいては、図示しないインクタンクからインクリザーバ室 3 1 5に開口部 3 1 7を介してインクを供給している力インクジェットヘッドにおいて消費するインク量が多い程、この開口部 3 1 7を大きくする必要があるので、ノズル形成基板 3 1 1に形成されたノズル 3 1 6の数が多いほど大きな開口面積を有する開口部 3 1 7が必要になり、これにより、インクジェットヘッドの集積度を高めることができず、インクジェットヘッドを小型化できないために製造コストも高くなるという課題がある。

また、インクジェットプリン夕における印刷品質を向上させるためには、各ノズル 3 1 6からのインク噴射特性を均一にする必要があり、インク供給経路における上流側のノズル 3 1 6と下流側のノズル 3 1 6とのインク噴射を均一にするためには安定したィンク供給が必要であり、各ノズル毎のィンク供給経路におけるィンクの流体抵抗を下げ、且つ均一にする必要がある。

上述した従来のインクジエツトへッドにおいては、インクジエツトへッドを形成する基板内において、開口部 3 1 7から供給されたィンクを各圧力室 3 0 3に供給するためのインクリザーバ室 3 1 5を形成し、このインクリザ一バ室 3 1 5 にインク供給路 3 1 4および連通路 3 0 9を介して各圧力室 3 0 3を連通接続している。

一般に、インクジェットヘッドを小型化するために、その厚さを薄く形成することが行なわれているが、インクリザーバ室 3 1 5におけるインクの抵抗を下げるためには、インクの供給経路長を短くするとともに、その断面積を大きくしなければならず、従って、インクリザーバ室 3 1 5の断面形状を幅広にする必要があるので、これによつてもインクジエツトへッドの集積度向上 Z小型化が妨げられ、製造コストも高くなるという課題がある。

本発明は、このような課題に鑑み創案されたもので、各圧力室へのインク供給路の形状等に工夫をほどこすことにより、各圧力室へのインク供給を均一にするとともに、インクジェットヘッドの集積度を上げることができるようにして、ィンクジエツトへッドひいては印刷装置を小型化することを目的とする。発明の開示

上記の目的を達成するために、本発明のインクジェットヘッドは、インク供給部品から供給されたインクを吐出する複数のノズルを有するインクジェットへッドであって、ノズル毎にそなえられそれぞれィンクを充塞される複数の圧力室と、これらの圧力室毎にそなえられそれぞれ圧力室を加圧して圧力室内のィンクをノズルから吐出させる複数の加圧部とを含むへッド本体部をそなえ，これらのへッド本体部とインク供給部品との間に、インク供給部品からのインクを一時的に滞留させるインク溜まり空間が形成されるとともに、ヘッド本体部に、インク溜まり空間と複数の圧力室とをそれぞれ連通する複数のインク供給路が、それぞれ、一端側をへッド本体部の外面においてィンク溜まり空間に開口させるとともに他端側を各圧力室に開口させて形成されていることを特徴としている。

また、本発明の印刷装置は、インク供給部品から供給されたインクを吐出する複数のノズルを有するインクジエツ卜へッドをそなえた印刷装置であって、インクジエツトへッドが、ノズル毎にそなえられそれぞれインクを充塞される複数の圧力室と、これらの圧力室毎にそなえられそれぞれ圧力室を加圧して圧力室内のィンクをノズルから吐出させる複数の加圧部とを含むへッド本体部をそなえて構成され、ヘッド本体部とインク供給部品との間に、インク供給部品からのインクを一時的に滞留させるインク溜まり空間が形成されるとともに、へッド本体部に、ィンク溜まり空間と複数の圧力室とをそれぞれ連通する複数のィンク供給路が、それぞれ、一端側をヘッド本体部の外面においてインク溜まり空間に開口させるとともに他端側を各圧力室に開口させて形成されていることを特徴としている従って、本発明のインクジェットヘッドおよび印刷装置によれば、インク溜まり空間と各圧力室とをインク供給路により連通することにより、インク供給部品からのインクを各圧力室に直接的に供給することができ、へッド本体部において専用のィンク供給口が不要なので、インクジエツトへッドの集積度を向上させて、インクジェットヘッドひいては印刷装置を小型化することができ、製造コストの削減にも寄与する利点があるほか、各圧力室へのインクの供給を均一にすることができ、印刷品質を向上させることができる利点がある。

なお、ヘッド本体部に、枠部材が、ヘッド本体部の外面における複数のインク供給路の開口を環囲するように突設され、枠部材とヘッド本体部とインク供給部品とによりインク溜まり空間が形成されてもよく、これにより、ヘッド本体部の剛性を上げることができるとともに、インク溜まり空間を容易に形成することができる利点がある。

また、ヘッド本体部が基板上に形成されたものであり、基板をヘッド本体部から部分的に除去することにより、枠部材が、ヘッド本体部上の基板の残存部として形成されてもよく、これにより、基板の形成過程において枠部材を容易に且つ確実に形成することができるので製造コストを低減することができる利点があるさらに、枠部材を、インク供給部品をヘッド本体に接合するための接合部として用いてもよく、これにより、インク供給部品を容易に且つ確実にヘッド本体部に接合することができるほか、へッド本体部にインク供給部品を接着剤等を用いて接着する場合にも、はみ出した接着剤等がへッド本体部の加圧部等に付着するおそれがないので、ヘッド本体部に接着しろを形成する必要がなく、インクジェットへッドの集積度を上げることができる利点がある。

なお、加圧部が、圧力室の一面を成し且つ圧力室とインク溜まり空間とを区画する振動板と、圧力室の外側で振動板上に積層形成され振動板を駆動して圧力室を加圧する圧電素子とをそなえてもよく、これにより、加圧部を確実に構成することができ、インクジェットへッドの製造容易性を向上させることができる利点がある。

また、インク供給路を、圧電素子の積層領域以外の領域において振動板を貫通するように形成してもよく、これにより、インクが圧電素子に接触することがないので、圧電素子がィンクによる影響を受けるおそれがないという利点がある。さらに、インク供給路を、圧電素子の積層領域において圧電素子および振動板を貫通するように形成してもよく、これにより、ヘッド本体部上にインク供給路の開口のための専用のスペースを設ける必要がないので、ィンクジエツトへッドの集積度をさらに向上させて、インクジエツトへッドひいては印刷装置がより小型化され、製造コストのさらなる削減に寄与する利点がある。

またさらに、インク供給路を、圧力室において振動板の成す面以外の面で開口するように形成してもよく、又、インク供給路を、圧力室において振動板の成す面に対向する面で開口するように形成してもよく、これらにより、圧力室において加圧部が開口による影響を受けることがないので、圧力室の剛性を維持することができるほか、その加圧動作が安定するという利点がある。図面の簡単な説明

図 1は本発明の第 1実施形態としてのインクジェットへッドの全体構成を示す分解斜視図である。

図 2は本インクジエツトへッドをそなえたインクジエツトプリン夕の構成を示す斜視図である。

図 3は図 1の C部を拡大して示す平面図である。

図 4は図 3の A— A矢視断面図である。

図 5は図 4の B— B矢視断面図である。

図 6は本発明の第 1実施形態としてのィンクジェットヘッドにインクタンクを接合した状態を示す縦断面図である。

図 7は本発明の第 1実施形態としてのインクジエツトへッドの配線パターンの要部を拡大して示す平面図である。

図 8は図 7の A— A線に沿う断面図である。

図 9は図 7の B— B線に沿う断面図である。

図 1 0は本発明の第 1実施形態としてのィンクジエツトへッドの製造方法を説明するための図である。

図 1 1および図 1 2は本発明の第 1実施形態としてのインクジエツトヘッドの製造方法を説明するためのフローチヤ一トである。

図 1 3 ( a ) は本発明の第 1実施形態の第 1変形例としてのインクジェットへある。

図 1 3 ( b ) は本発明の第 1実施形態の第 1変形例としてのインクジェットへッドのへッド本体部の構成を示す斜視図である。

図 1 4は本発明の第 1実施形態の第 2変形例としてのインクジエツ卜へッドにおける配線パターンの要部を拡大して示す平面図である。

図 1 5は図 1 4の A— A線に沿う断面図である。

図 1 6は図 1 4の B— B線に沿う断面図である。

図 1 7は本発明の第 1実施形態の第 3変形例としてのインクジエツトへッドにおける配線パターンの要部を拡大して示す平面図である。

図 1 8は図 1 7の A— A線に沿う断面図である。

図 1 9は図 1 7の B— B線に沿う断面図である。

図 2 0は本発明の第 1実施形態の第 4変形例としてのインクジエツトヘッドのへッド本体部の構成を示す斜視図である。

図 2 1は図 2 0の A矢視図である。

図 2 2は図 2 0の B部を拡大して示す平面図である。

図 2 3は図 2 2の A— A線に沿う断面図である。

図 2 4は図 2 1の C部を拡大して示す平面図である。

図 2 5は図 2 2の B— B線に沿う断面図である。

図 2 6は本発明の第 1実施形態の第 5変形例としてのインクジエツトへッドのへッド本体部の構成を示す斜視図である。

図 2 7は本発明の第 1実施形態の第 6変形例としてのインクジエツトヘッドの要部構成を示す斜視図である。

図 2 8 ( a ) は本発明の第 2実施形態としてのインクジェットヘッドにおける配線パターンの要部を拡大して示す平面図である。

図 2 8 ( b ) は図 2 8 ( a ) の A— A線に沿う断面図である。

図 2 9 ( a ) は本発明の第 3実施形態としてのインクジェットヘッドにおける配線パターンの要部を拡大して示す平面図である。

図 2 9 ( b ) は図 2 9 ( a ) の A— A線に沿う断面図である。

図 3 0 ( a ) は本発明の第 4実施形態としてのインクジェットヘッドにおける配線パターンの要部を拡大して示す平面図である。

図 3 0 ( b ) は図 3 0 ( a ) の A— A線に沿う断面図である。

図 3 1は本発明の第 5実施形態としてのインクジエツトへッドの全体構成を示す分解斜視図である。

図 3 2は本発明の第 5実施形態としてのィンクジエツトヘッドにインクタンクを接合した状態を示す縦断面図である。

図 3 3は従来のインクジエツトへッドの要部構成を示す分解斜視図である。図 3 4は従来のィンクジェットへッドの要部の構成を示す縦断面図である。発明を実施するための最良の形態

(A ) 第 1実施形態の説明

以下、図面を参照して本発明の実施の形態を説明する。

図 1は本発明の第 1実施形態としてのインクジエツトへッドの全体構成を示す分解斜視図、図 2は本第 1実施形態のィンクジェットヘッドをそなえたインクジエツトプリン夕の構成を示す斜視図である。

ィンクジエツトプリン夕 1は、印刷用紙 2 0 0にィンクを吐出することによつてその表面に画像を形成する印刷装置であって、ハウジング 1 0内に、プラテン 1 2，キャリッジ 1 8 , ノズル保守機構 3 6，インクジェットヘッドユニット 2 4 , 2 6およびインクタンク 2 8， 3 0 , 3 2， 3 4をそなえて構成されている。

プラテン 1 2は、本ィンクジエツトプリン夕 1における印刷用紙 2 0 0の搬送方向と直交するようにハウジング 1 0に回転自在に取り付けられている。又、プラテン 1 2は、駆動モー夕 1 4により間欠的に回転駆動されるようになっており、これにより、印刷用紙 2 0 0を所定の送りピッチで図 2中の矢印 W方向に間欠的に搬送するようになっている。

また、ハウジング 1 0内におけるプラテン 1 2の上方には、プラテン 1 2と平行に案内ロッド 1 6が配設されており、更に、この案内ロッド 1 6にはキヤリツジ 1 8が摺動可能に取り付けられている。

このキャリッジ 1 8は、案内ロッド 1 6と平行に配設された無端駆動ベルト 2 0に取り付けられ、又、この無端駆動ベルト 2 0は駆動モータ 2 2によって駆動されるようになつており、これによりキヤリッジ 1 8はプラテン 1 2に沿って往復移動するようになっている。そして、このキャリッジ 1 8にはインクジェットへッドュニット 2 4， 2 6がそれぞれ着脱自在に取り付けられるようになつている。

インクジェットへッドュニット 2 4， 2 6はインクジェットヘッド 1 0 0にィンクタンク 2 8 , 3 0 , 3 2， 3 4をそれぞれ接合されている。ここで、インクジエツトへッドュニット 2 4には黒色のィンクが収容されたィンクタンク 2 8が取り付けられており、又、インクジェットヘッドユニット 2 6には、イエロ一のインクが収容されたインクタンク 3 0 , マゼン夕のインクが収容されたインク夕ンク 3 2およびシアンのィンクが収容されたィンクタンク 3 4が取り付けられている。

そして、キャリッジ 1 8がプラテン 1 2に沿って往復移動される間に、インクジェットヘッドユニット 2 4 , 2 6力図示しないパーソナルコンピュータ等の上位装置から得られる画像デ一夕に基づいて駆動され、これにより印刷用紙 2 0 0上に所定の文字，画像等が形成されて印刷が行なわれる。

また、印刷停止時においては、キャリッジ 1 8 (インクジェットヘッド 2 4 , 2 6 ) はノズル保守機構 3 6が配設されている位置（ホームポジション）に移動されるようになっている。

ノズル保守機構 3 6は、可動吸引キャップ（図示せず）と、この可動吸引キヤップに接続された吸引ポンプ（図示せず）とをそなえて構成されており、インクジェットヘッドユニット 2 4 , 2 6がホームポジションに移動された時に、各ィンクジェットヘッドユニット 2 4 , 2 6にノズル板（後述する）に吸引キャップが吸着して、吸引ポンプを駆動することにより、各ノズル板のノズルが吸引されノズルの目詰まりが未然に防止されるようになつている。

次に、図 1 , 図 3〜図 6を用いて本発明の第 1実施形態としてのインクジエツトヘッド 1 0 0の構成について説明する。

図 3は図 1の C部を拡大して示す図、図 4は図 3の A— A矢視断面図、図 5は図 4の B— B矢視断面図、図 6は本発明の第 1実施形態としてのインクジエツトへッドにィンクタンクを接合した状態を示す縦断面図である。

本第 1実施形態のインクジェットヘッド 1 0 0は、インクタンク（インク供給部） 5 0から供給されたインクを吐出する複数のノズル 1 2 0 (図 4参照）を有するものであって、図 1に示すように、ヘッド本体部 3および枠部材（接合部） 8をそなえて構成されている。

ヘッド本体部 3は、図 3〜図 5に示すように、その内部に、複数のノズル 1 2 0のそれぞれに、圧力室 1 1 2および加圧部 1 4 0をそなえて構成されている。なお、本第 1実施形態のインクジェットヘッド 1 0 0のヘッド本体部 3は、図 4に示すように、ドライフィルムレジスト 1 0 3，振動板 1 0 4 , ステンレス板 1 0 5 , ポリイミド 1 2 6 , 個別電極 1 0 9およびノズル板 1 0 6等の複数の層を積層して構成されるものであるが、この積層による製造工程については後述する。

圧力室 1 1 2は、インクを充塞するものであって、ノズル 1 2 0に導通路 1 1 6を介して連通接続されている。

加圧部 1 4 0は、圧力室 1 1 2を加圧してこの圧力室 1 1 2内のインクをノズル 1 2 0から吐出するためのものであって、振動板 1 0 4と圧電素子 1 0 8とによって構成されている。

振動板 1 0 4は、例えば、クロムやニッケル等の導電性をそなえるとともにある程度の剛性を有する弾性変形可能な金属薄膜（数 m 程度の厚さ）により形成されており、圧力室 1 1 2の一部、具体的には、圧力室 1 1 2における導通路 1 1 6が形成されている面と対向する面を成している。

また、振動板 1 0 4における圧力室 1 1 2とは反対側の面には薄膜状の圧電素子 1 0 8が形成されている。この圧電素子 1 0 8はピエゾセラミック等により構成されており、これらの振動板 1 0 4と圧電素子 1 0 8とによりバイモルフ積層体が形成されている。

また、圧電素子 1 0 8における振動板 1 0 4とは反対側の面には個別電極 1 0 9が形成されており、図示しない駆動回路から振動板 1 0 4と個別電極 1 0 9とに駆動信号を供給することにより各加圧部 1 4 0において圧電素子 1 0 8が変形して、圧力室 1 1 2を加圧するようになっている。すなわち、各圧力室 1 1 2毎に各加圧部 1 4 0を駆動するための個別電極 1 0 9をそなえているのである。そして、第 1実施形態のインクジエツトへッド 1 0 0では、各圧力室 1 1 2において、導通路 1 1 6が形成されている面に対向する面、すなわち、振動板 1 0 4の成す面には、圧電素子 1 0 8の積層領域以外の領域において振動板 1 0 4 ( およびポリイミド 1 2 6 ) を貫通するように、 1つのインク供給路 1 2 9が形成されている。すなわち、インク供給路 1 2 9はその一端側を各圧力室 1 1 2に開口するとともに、その他端側をへッド本体部 3の外面においてィンク溜まり空間 1 3 0 (図 6を参照しながら後述）に開口しているのである。以下、図中インク溜まり空間 1 3 0におけるこのィンク供給路 1 2 9の開口を符号 1 2 9 aを用いて示す。

なお、各圧力室 1 1 2におけるインク供給路 1 2 9の数は 1に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができるまた、インク供給路 1 2 9は、圧力室 1 1 2の急激な内部圧力変動を吸収するようにインクの流体抵抗が調節されており、又、圧力室 1 1 2が収縮加圧されてインクを吐出した後、復帰する際にインク供給路 1 2 9を介して圧力室 1 1 2に必要量のインクを供給するようになっている。なお、かかるインクの供給についてもインクの流体抵抗の調節に基づいて行なわれるようになつている。

インクタンク 5 0は、適当な負圧を維持しながらヘッド本体部 3のノズル 1 2 0にインクを供給するインク供給部品であって、図 6に示すように、インク室 5 2，フィル夕 5 3およびィンク供給口 5 1をそなえて構成されている。

ィンク室 5 2はィンクを保持するための空間であり、このィンク室 5 2中には例えばスポンジが装填され、これにより適正な負圧が維持されるようになつている。

また、インクタンク 5 0の下部にはインク供給口 5 1が形成されており、インク室 5 2に保持されたインクがこのインク供給口 5 1からへッド本体部 3側へ供給されるようになっている。又、インク室 5 2とインク供給口 5 1との間にはフィルタ 5 3が配設されている。

そして、このインクタンク 5 0をヘッド本体部 3の枠部材 8 (後述）に接着剤等を用いて接着することにより、へッド本体部 3と枠部材 8とィンクタンク 5 0 との間に、インクタンク 5 0からのインクを一時的に滞留させるインク溜まり空間 1 3 0が形成されるようになっている。

また、各圧力室 1 1 2とインク溜まり空間 1 3 0とはインク供給路 1 2 9を介して連通接続されており、インク供給路 1 2 9はその一端をヘッド本体部 3の外面においてインク溜まり空間 1 3 0に開口している。

なお、各圧力室 1 1 2は図 3および図 5の矢印 C方向に整列するように配設されている。

枠部材（接合部） 8は、図 1に示すように、ヘッド本体部 3におけるノズル 1 2 0が形成されている側とは反対側（へッド本体部 3における個別電極 1 0 9が形成されている側）の面に突出して形成されており、又、ヘッド本体部 3の外面における複数のインク供給路 1 2 9の開口 1 2 9 aが形成された面上においてこれらのィンク供給路 1 2 9の開口 1 2 9 aおよび個別電極 1 0 9を環囲するように形成されている。

すなわち、枠部材 8は、個別電極 1 0 9，接点部（後述）および配線パターン

(後述）を形成された面上において、個別電極 1 0 9およびインク供給路 1 2 9 の開口 1 2 9 aを環囲するように形成されているのである。

この枠部材 8は、後述するごとく、酸化マグネシウム（M g O) により生成された基板をフォトエッチング処理によりヘッド本体部 3から部分的に除去することにより、ヘッド本体部 3上の基板の残存部として形成されている。そして、図 6に示すように、この枠部材 8に接着剤等を用いてインクタンク（インク供給部品） 5 0を接合することにより、ヘッド本体部 3にインクタンク 5 0 (インクタンク固定用部材）を接合するのである。

なお、この枠部材 8に接合するのは上述のごときインクタンク 5 0に限定するものではなく、例えば、インクタンク 5 0を着脱自在にそなえることができる部材（インクタンク固定用部材；図示せず）であってもよい。

また、この枠部材 8は、図 4および図 6に示すように、上方に行くほどの幅が狭くなるような断面形状を有しており、これによりインクタンク 5 0等との接着面からはみ出した接着剤がその斜面により保持され、はみ出した接着剤がへッド本体部 3に到達することを防ぐことができるようになつている。

そして、この枠部材 8にインクタンク 5 0を接合することにより、図 6に示すように、インクタンク 5 0とヘッド本体部 3との間に、インクタンク 5 0からのィンクを一時的に滞留させるィンク溜まり空間 1 3 0が形成されるようになっており、具体的には、インクタンク 5 0のインク供給口 5 1，ヘッド本体部 3および枠部材 8により形成される空間がインク溜まり空間 1 3 0として機能するのである。

へッド本体部 3における個別電極 1 0 9や開口 1 2 9 aが形成された面上において、ヘッド本体部 3の外縁部付近、具体的には枠部材 8よりも外側には、複数の接点部 1 2 1が形成されている。

これらの接点部 1 2 1は個別電極 1 0 9毎に形成されており、更に、これらの接点部 1 2 1と個別電極 1 0 9とは、それぞれ薄膜形成された配線パターン 1 2 3により電気的に接続されている。

そして、これらの接点部 1 2 1は、加圧部 1 4 0を制御するための信号を供給する F P C (Flexible Printed Circuit Board：外部接続配線部材） 2に、 T A B (Tape Automated Bonding) 方式により電気的に接続されるようになっている。

なお、振動板 1 0 4上における圧電素子 1 0 8や個別電極 1 0 9不在の領域には、ポリイミド 1 2 6を配設して電気的に絶縁している。

次に、各個別電極 1 0 9と接点部 1 2 1とを電気的に接続する配線パターン 1

2 3の形状について、図 7〜図 9を用いて説明する。

図 7〜図 9はそれぞれ配線パターン 1 2 3の形状を説明するための図であり、図 7は本発明の第 1実施形態としてのインクジェットへッドの配線パターンの要部を拡大して示す平面図、図 8は図 7の A— A線に沿う断面図、図 9は図 7の B — B線に沿う断面図である。

なお、図 8および図 9中においては、便宜上、ドライフィルムレジスト 1 0 3 やステンレス板 1 0 5等による積層構造の図示を省略している。

各接点部 1 2 1は、図 7に示すように、ヘッド本体部 3における個別電極 1 0 9等が形成されている面上において、枠部材 8よりも外側（周縁側）に形成されており、これらの接点部 1 2 1と各個別電極 1 0 9とは、それぞれ配線パターン 1 2 3により電気的に接続されている。

配線パターン 1 2 3は、後述する如く、へッド本体部 3上に個別電極 1 0 9および接点部 1 2 1とともにパ夕一ニングにより形成されており、これにより個別電極 1 0 9および接点部 1 2 1と同一面上に同一材料により一体的に薄膜形成されている。

そして、これらの配線パターン 1 2 3は、図 7〜図 9に示すように、それぞれ各個別電極 1 0 9の長手方向（図 7中では左右方向）とほぼ平行に、各個別電極 1 0 9 (圧力室 1 1 2 ) どうしの間を通るように配設されており、更に、各配線パターン 1 2 3は、図 8に示すように、枠部材 8の下側、すなわち、ヘッド本体部 3と枠部材 8との間を通過するように配設されている。

また、ヘッド本体部 3においては、図 7に示すように、ヘッド本体部 3における個別電極 1 0 9等が形成されている側の面上において、枠部材 8よりも外側であってへッド本体部 3の隅部付近に振動板 1 0 4が露出しており、これにより接点部 1 2 7を形成している。

そして、これらの接点部 1 2 1 , 1 2 7に F P C 2が T A B等の方式によって電気的に接続されるようになっており、これにより、図 6に示すように枠部材 8 にインクタンク 5 0 (インクタンク固定用部材）を接合した場合にもその影響を受けることなく、加圧部 1 4 0を制御するための信号を供給する F P C 2に各個別電極 1 0 9および振動版 1 0 4を電気的に接続することができるようになっている。

なお、この接点部 1 2 7においては、他の接点部 1 2 1よりも圧電素子 1 0 8 および個別電極 1 0 9の分だけ低くなつているが、例えば、圧電素子 1 0 8の厚さは 2〜 3 /x m程度であり、又、個別電極 1 0 9の厚さは 0 . 2 m程度と十分に薄いので F P C 2等を圧着接続するうえで影響はない。

次に、図 1 0〜図 1 2を用いて本発明のィンクジエツトへッドの製造方法について説明する。図 1 0は本第 1実施形態のインクジエツトへッドの製造方法を説明するための図、図 1 1および図 1 2はその製造方法を説明するためのフローチャ一卜ある。さて、本第 1実施形態のインクジェットヘッド 1 00は、ドライフィルムレジストを用いたパターニング手法を用いて製造するものであって、 2層を別々に形成してからこれらをキュアすることにより製造する（図 1 1のステップ A 10〜 A 30 なお、図 1 0中においては、便宜上隣接する 2つの圧力室の部分のみを図示する。又、図 1 1に示すステップ A 10〜A 30の各行程については、それぞれ他のステップに先立って行なってもよく、又、並行して行なってもよい。先ず、図 10 (A) に示すように、ノズル 120を穿孔されたノズル板 1 06 ((A) 層）をステンレス（SUS) 等の金属によりマイクロプレス加工により形成する（ステップ A 1 0)。各ノズル 1 20は、ピンを使用したパンチ（図示せず）等により、好ましくは、ノズル板 106の前面 106 aから（ステンレス板 105に接合される）後面 1 06 bに向かって広がる円錐状（断面的にテーパ —状）に加工する。

次に、図 10 (B) に示すような、バイモルフ積層体とドライフィルムレジストとをラミネートして形成される（B) 層を形成する（図 1 1のステップ A20 )。

(B) 層は、ドライフィルムレジストを 1層そなえて構成されており、図 1 1 のステップ A20は、より詳細には図 1 2に示すステップ C 10〜C 50からなる。

まず、図 10 (B) ①に示すように、 1^8〇基板1 22上に個別電極 1 09, 接点部 12 1および配線パターン 123をパターニングした後（図 12のステツプ C 1 0)、その上に、圧電素子 1 08と振動板 1 04とからなるバイモルフ積層体 1 25を形成する（図 1 2のステップ C 20)。

具体的には、 MgO基板 1 22の格子方向に単層である圧電素子 1 08を、スパッタリングによって MgO基板 1 22の一面に亘つて成長させる手法により薄膜状に形成した後、圧電素子 1 08上に、その一面に亘つてクロム膜を、例えばスパッタリング又はメツキ等によって成長させる手法によりバイモルフ積層体 1 25を形成する。

このとき、 1^80基板1 22の全面に形成した圧電素子 1 08上にレジストを塗布した後、各圧力室 1 12に対応する圧電素子 1 08の加工パターン（インク供給路 1 2 9パターンを含む）をパターニングし、更に、不要な圧電素子 1 0 8 をエッチング等により除去する。

そして、 ^1 8〇基板1 2 2における圧電素子 1 0 8が形成された面全体にわたつて感光性液状ポリイミドを塗布した後、 1^ 8〇基板1 2 2における圧電素子 1 0 8が形成されている面とは反対側の面からインク供給路 1 2 9パターンを遮光するガラスマスク等を用いて全面に露光することにより M g O基板 1 2 2直上のポリイミドのみを感光する。

その後、感光性液状ポリイミドを現像して、圧電素子 1 0 8上およびインク供給路 1 2 9部分の未露光のポリイミドを除去することにより、振動板 1 0 4上における圧電素子 1 0 8および個別電極 1 0 9が不在の領域にのみポリイミド 1 2 6を配置する。

続いて、インク供給路 1 2 9部にレジストを形成し、全面にクロム膜をスパッ夕形成した後、レジスト除去してインク供給路 1 2 9およびバイモルフ積層体 1 2 5を形成する。

なお、 M g O基板 1 2 2上に圧電素子 1 0 8および振動板 1 0 4を形成することにより、バイモルフ積層体 1 2 5を安定して形成することができるほか、後述するドライフィルムレジスト 1 0 3を安定して形成することができる。

また、圧電素子 1 0 8として積層構造を有する圧電素子を使用する場合には、例えば、複数枚のグリーンシートの各々をセラミックの粉末等の溶剤に混練してペースト状にした後、ドクターブレードにより 5 0 m程度に薄膜構成することにより形成する。ここで、圧電素子 1 0 8の材質として、一般に圧電素子の材料である B a， T i 0 ₃， P b T i〇₃ , ( N a K) N b〇 ₃等の強誘電体を用いてもよい。

この場合、複数枚（例えば 1 2枚）のグリーンシートのうち 3枚のグリーンシ —卜の一面に、それぞれ第 1の内部電極パターンを印刷 ·形成する一方で、これらのグリーンシ一卜とは別の 3枚のグリーンシートの一面に、それぞれ第 2の内部電極パターンを印刷 ·形成する。なお、第 1および第 2の内部電極の印刷は、銀とパラジウムの合金を粉状にしたものに溶剤を混ぜてペースト状にしたものを塗布して、パターン形成することにより行なわれる。そして、第 1の内部電極を形成した 3枚のグリーンシートと、第 2の内部電極を形成した 3枚のグリーンシートとを交互に張り合わせた後、 6枚の内部電極を形成しないグリーンシートを張り合わせることにより、圧電素子の積層構造を形成し、これらのグリーンシートを積層した状態で焼成するのである。この場合において、内部電極を有しないグリーンシートが基板部として機能する。

次に、図 1 0 (B) ②に示すように、振動板 1 04上にドライフィルムレジスト 103をラミネートした後、圧力室 1 1 2に相当する部分をマスク処理により露光する（図 12のステップ C 30)。

次に、図 10 (B) ③に示すように、現像を行ない（図 1 2のステップ C 40 )、 MgO基板1 22上に、図 4における圧電素子 1 08〜ドライフィルムレジスト 1 03をラミネートして形成された積層体を形成した後、図 1 0 (B) ④に示すように、予め導通路 1 1 6に相当する部分をエッチングにより除去したステンレス板 1 05をドライフィルムレジスト 1 03上に接合する（図 12のステツプ C 50)。

そして、（A) 層と（B) 層とを接合してキュアする（図 1 1のステップ A3

0)。

その後、加圧加熱することによりドライフィルムレジスト 1 03を硬化して、 ?^80基板122からノズル板 106までを一体化する。

そして、 Mg〇面にレジストを塗布して枠部材 8の形状に合わせた所定の形状でパ夕一ニング露光を行なった後このレジストを現像し、更に、 MgO基板 1 2 2のうち不要な部分を除去することにより、枠部材 8をへッド本体部 3上の Mg 〇基板（基板） 122の残存部として形成する。

このようにして形成したヘッド本体部 3における接点部 1 2 1， 127を、 F PC 2と A uバンプにより結線することにより電気的に接続した後、樹脂モールド等により形成されたインクタンク（インク供給部品） 50もしくはインクタンク固定用部材を枠部材 8に接着剤等を用いて接着 ·硬化させてインクジエツ卜へッド 100を完成させる。

なお、 MgO基板 1 22を除去して枠部材 8を形成する工程については、（A ) 層と（B) 層とを接合してキュアした後に限定されるものではなく、例えば、 (B) 層を形成した後に行なってもよく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。

本第 1実施形態としてのインクジエツトへッド 1 00における各部の寸法としては、例えば、以下のようなものが挙げられる。ここで、 Lは長さを、又、 Wは幅を、 tは厚さをそれぞれ示すものとする。

• 個別電極： L XWX t二 1 700 ( /m) X 7 0 (^m) X 0. 2 (； m) • 配線パターン： WX t = 5 ( m) X 0. 2 (um)

(ただし、長さは各素子毎で異なる）

• 圧電素子（ピエゾ）： L XWX t = 1 700 (urn) X 7 0 ( rn) X 3 m)

• 振動板： t = 2 ( rn)

• 圧力室： L XWX t = 1 700 ( rn) X 1 00 (urn) X 1 30 (^m)

• ノズル： Φ 20 (^m) X 20 (urn)

• 1^ 〇基板： \¥ 1; = 20 (mm) X 0. 3 (mm)

· M g Oエッチングテ一パ角 ·· 45 (d e g)

(ただし、この値はエッチング条件によって異なるものであり、本第 1実施形態においてはリン酸 5 0 %溶液にて 8 0°CX (h) を適用し、同値を得た

• ノズルピッチ： 1 Z 1 50 ( i n c h)

· ノズル数： 64 (個）

本発明の第 1実施形態としてのインクジエツ卜へッド 1 00は上述のごとく構成されているので、印刷を行なう場合には、インクタンク 50に保持されているインクを、インク供給口 5 1を介してインク溜まり空間 1 30に供給し、更に、このインク溜まり空間 1 30からインク供給路 1 2 9を介して各圧力室 1 1 2にインクを供給する。

そして、 F P C 2を介して図示しない駆動回路等により作成した駆動信号を接点部 1 2 1， 1 2 7に送信し、インク加圧部 1 40によって圧力室 1 1 2を加圧することによりノズル 1 2 0から噴出し、これにより印刷用紙 200への印刷を行なう。このように、本発明の第 1実施形態のインクジエツトヘッド 1 0 0およびインクジェットヘッド 1 0 0をそなえたインクジェットプリン夕（印刷装置） 1によれば、インク溜まり空間 1 3 0と各圧力室 1 1 2とをインク供給路 1 2 9により連通することにより、インクタンク 5 0からのインクを各圧力室 1 1 2に直接的に供給することができ、ヘッド本体部 3において専用のインク供給口を設ける必要がないので、インクジェットヘッド 1 0 0の集積度を向上させて、インクジェットヘッド 1 0 0ひいては印刷装置（インクジェットプリン夕 1 ) を小型化でき、製造コストを大幅に削減することができ、更に、各圧力室 1 1 2へのインクの供給を均一にすることができ、印刷品質を向上させることができる。

また、ヘッド本体部 3に、枠部材 8が、ヘッド本体部 3の外面における複数のインク供給路 1 2 9の開口 1 2 9 aを環囲するように突設され、更に、枠部材 8 とへッド本体部 3とインクタンク 5 0とによりインク溜まり空間 1 3 0が形成されているので、これにより、ヘッド本体部 3の剛性を上げることができるとともに、インク溜まり空間を容易に形成することができる。

さらに、枠部材 8によりヘッド本体部 3の剛性を上げることができるので、ィンクジェットヘッド 1 0 0の製造に際しても、ヘッド本体部 3が破損し難く、その生産性を向上することができる。

またさらに、加圧部 1 4 0を、圧力室 1 1 2の一面を成し且つ圧力室 1 1 2とインク溜まり空間 1 3 0とを区画する振動板 1 0 4と、圧力室 1 1 2の外側で振動板 1 0 4上に積層形成され振動板 1 0 4を駆動して圧力室 1 1 2を加圧する圧電素子 1 0 8とをそなえて構成しているので、加圧部 1 4 0を確実に構成することができ、インクジエツトへッド 1 0 0の製造容易性を向上させることができるなお、ィンク供給路 1 2 9を、圧電素子 1 0 8の積層領域以外の領域において振動板 1 0 4を貫通するように形成しているので、インク溜まり空間 1 3 0から圧力室 1 1 2へインクを供給する際に、インクが圧電素子 1 0 8に接触することがないので、圧電素子 1 0 8がインクによる影響を受けるおそれがない。

また、枠部材 8を、インクタンク 5 0をヘッド本体部 3に接合するための接合部として用いているので、へッド本体部 3にインクタンク 5 0もしくはインク夕ンク固定用部材に容易に接合することができる。

さらに、個別電極 1 0 9と接点部 1 2 1とを薄膜形成した配線パターン 1 2 3 により電気的に接続しているので、これらをワイヤボンディング等による空中配線等を行なう必要がなく、これにより、ノズルの実装密度を上げることができ、ィンクジエツトへッドを小型化することができるとともに、ワイヤボンディング時にヘッド本体部 3を損傷させるおそれもなく、更に、配線間に短絡が生じるおそれもない。

またさらに、枠部材 8を、ヘッド本体部 3における個別電極 1 0 9，接点部 1 2 1， 1 2 7、および配線パターン 1 2 3が形成された面上において、個別電極 1 0 9を環囲するような枠状に形成するとともに、接点部 1 2 1 , 1 2 7を枠部材 8よりも外側に配置することにより、 F P C 2と個別電極 1 0 9とを容易に且つ確実に電気的に接続することができる。

また、へッド本体部 3にィンクタンク 5 0もしくはィンクタンク固定用部材を接合する場合に、その接着しろを小さくすることができるので、ヘッド本体部 3 を小さくすることができインクジェットヘッド、ひいては印刷装置（インクジェットプリン夕）を小型化することができる。

さらに、各個別電極 1 0 9と接点部 1 2 1との間の電気的接続に際して、配線パターン 1 2 3を枠部材 8とへッド本体部 3との間通過するように配設しているので、枠部材 8の影響を受けることなく、加圧部 1 4 0を制御するための信号を供給する F P Cに各個別電極 1 0 9を電気的に接続することができる。

また、ヘッド本体部 3を M g〇基板 1 2 2上に形成するとともに、この M g O 基板 1 2 2をへッド本体部 3から部分的に除去することによりインク溜まり空間 1 3 0を形成し、更に、枠部材 8をヘッド本体部 3上の M g O基板 1 2 2の残存部として形成しているので、枠部材 8を容易に且つ安価に作成することができる

( B ) 第 1実施形態の第 1変形例の説明

図 1 3は第 1実施形態におけるインクジェットへッドの第 1変形例を説明するための図であり、図 1 3 ( a ) は本発明の第 1実施形態の第 1変形例としてのィンクジエツトへッドにおけるィンクタンクの形状を説明すべくそのィンクタンクを示す斜視図、図 1 3 ( b ) は本発明の第 1実施形態の第 1変形例としてのインクジエツトへッドのへッド本体部の構成を示す斜視図である。

なお、図中、既述の符号と同一の符号は同一もしくはほぼ同一の部分を示しているので、その詳細な説明は省略する。

図 1 3 ( a )，（b ) に示すように、本第 1変形例のインクジェットヘッド 1 0

0 aは、複数色（本変形例ではイェロー，マゼン夕，シアンの 3色）のインクを用いてカラ一印刷を行なうためのものであって、各色のインクを吐出するためのノズル（図示せず）をそれぞれ有するものであり、ヘッド本体部 3 aおよび枠部材 8 aをそなえて構成されている。

ヘッド本体部 3 aは、複数のノズル（図示省略）のそれぞれに、圧力室（図示省略）と加圧部 1 4 0とをそなえて構成されている。

そして、このインクジエツトヘッド 1 0 0 aは、枠部材 8 aを介して、イエロ ―，マゼン夕，シアンの 3色のインクを保持するインクタンク（インク供給部品 ) 5 0 aに接合されるようになっている。

インクタンク 5 0 aは、図 1 3 ( a ) に示すように、使用するインクの数に応じた数（本第 1変形例では 3つ）のインク室 5 2—：！〜 5 2— 3をそなえて形成されている。これらの各インク室 5 2—：！〜 5 2— 3の間は隔壁により仕切られており、各インク室 5 2— 1〜 5 2— 3には、それぞれ異なる種類（色）のインクが充填されている。本第 1変形例においては、例えば、インク室 5 2— 1にィエロ一、インク室 5 2— 2にマゼン夕、インク室 5 2— 3にはシアンのインクがそれぞれ充填されている。

また、各インク室 5 2—：！〜 5 2— 3はインクを供給するためのインク供給口 5 1 aをそれぞれそなえている。

インクジェットヘッド 1 0 0 aのヘッド本体部 3 aには、図 1 3 ( b ) に示すように、ヘッド本体部 3 aの縦方向（図 1 3 ( b ) 中においては F P C 2が接続されている側面と直行する方向）にわたつて 6列の圧力室（個別電極 1 0 9 ) が形成されており、これらの圧力室はへッド本体部 3 aにおいて一方方向に整列するように配設されており、図 1 3 ( b ) に示すように、各圧力室は互いに平行に配設されている。そして、各圧力室においては、上述した第 1実施形態のインクジェットヘッド 1 0 0における圧力室 1 1 2と同様に、ヘッド本体部 3 aの上面（外面）に開口 1 2 9 aを有するインク供給路が形成されている。

また、ヘッド本体部 3 aは、その外面における複数のインク供給路の開口 1 2 9 aを環囲するように突設された枠部材（接合部） 8 aをそなえている。

この枠部材 8 aは、図 1 3 ( b ) に示すように、ヘッド本体部 3 aにおけるノズルが形成されている側とは反対側（へッド本体部 3 aにおける個別電極 1 0 9 が形成されている側）の面に突出して形成されており、又、ヘッド本体部 3 aにおける個別電極 1 0 9を形成された面上においてこれらの個別電極 1 0 9や開口 1 2 9 aを環囲するように形成されている。

また、枠部材 8 aは、 6列の圧力室の列のうち隣合う 2列ずつの各加圧部 1 4 0やへッド本体部 3 a上に形成された開口 1 2 9 aを、枠部材 8 aによりインクタンク 5 0 aのインク室 5 2—：！〜 5 2— 3に対応して区画するようになっている。

そして、この枠部材 8 aにインクタンク 5 0 aもしくはインクタンク固定用部材を接合することにより、ヘッド本体部 3 aとインクタンク 5 0 aとの間に、ィンクタンク 5 0 aからのインクを一時的に滞留させるインク溜まり空間 1 3 0 a 〜 1 3 0 cが形成されるようになっており、これらのインク溜まり空間 1 3 0 a 〜 1 3 0 cは互いに枠部材 8 aの一部によって仕切られている。

なお、本第 1変形例においては、インク溜まり空間 1 3 0 aにインク室 5 2—

1のインクが、インク溜まり空間 1 3 0 bにインク室 5 2— 2のインク力インク溜まり空間 1 3 0 cにィンク室 5 2— 3のィンクがそれぞれインク供給口 5 1 aから供給されるようになっている。

また、枠部材 8 aも第 1実施形態のィンクジエツ卜へッド 1 0 0における枠部材 8と同様に上方に行くほどその幅が狭くなるような形状を有しており、これにより接着面からはみ出した接着剤がその斜面により保持され、はみ出した接着剤がへッド本体部 3 aに到達することを防ぐことができるようになつている。さらに、この枠部材 8 aは、前述した第 1実施形態のインクジェットヘッド 1 0 0における枠部材 8等と同様に、酸化マグネシウム（M g〇）により生成された基板をフォトエッチング処理によりへッド本体部 3 aから部分的に除去することにより、へッド本体部 3 a上の基板の残存部として形成されている。

また、へッド本体部 3 aにおける開口 1 2 9 aが形成された面上において、へッド本体部 3の外縁部付近、具体的には枠部材 8 aよりも外側には、第 1実施形態のインクジエツトへッド 1 0 0におけるへッド本体部 3と同様に、複数の接点部が形成されている。

本発明の第 1実施形態の第 1変形例としてのインクジエツトへッド 1 0 0 aは上述のごとく構成されているので、先ず、枠部材 8 aにインクタンク 5 0 aを接着剤等を用いて接合した後、インクタンク 5 0 aの各インク供給口 5 1 aから各インク溜まり空間 1 3 0 a〜 1 3 0 cに各色のインクをそれぞれ供給すると、これらのィンクがィンク供給路を介して各圧力室に供給される。

そして、図示しない駆動回路等によって F P C 2を介して各個別電極 1 0 9に駆動信号を供給することにより、加圧部 1 4 0によって圧力室を加圧して各ノズルからィンクを吐出するのである。

このように、本発明の第 1実施形態の第 1変形例によっても上述した第 1実施形態と同様の作用効果を得ることができる他、複数色のィンクを用いて印刷を行なう場合においても、各ノズルから吐出されるィンクの吐出量等を均一にすることができるので印刷品質を向上させることができる。

また、枠部材 8 aにより隣合うインク溜まり空間 1 3 0 a〜l 3 0 cを仕切るようになっているので、これにより、多色印刷可能なマルチノズルインクジエツトヘッド（インクジェットヘッド 1 0 0 a ) において各ノズルの位置精度を高く形成することができるとともに、これらのノズルを高密度に形成でき、インクジエツトヘッドひいては印刷装置（インクジェットプリン夕）を小型化することができる。

( C ) 第 1実施形態の第 2変形例の説明

図 1 4〜図 1 6は本発明の第 1実施形態の第 2変形例としてのインクジエツトへッドにおける配線パターンの構成を説明するための図であり、図 1 4は本発明の第 1実施形態の第 2変形例としてのインクジェットヘッドにおける配線パ夕一ンの要部を拡大して示す平面図、図 1 5は図 1 4の A— A線に沿う断面図、図 1 6は図 1 4の B _ B線に沿う断面図である。

本発明の第 1実施形態の第 2変形例としてのインクジエツトへッド 1 0 0 bは、第 1実施形態のインクジェットヘッド 1 0 0における配線パターン 1 2 3に代えて、配線パターン 1 2 3 aをそなえるものであり、以下、図 1 4〜図 1 6を用いてその詳細な説明を行なう。

図 1 4〜図 1 6に示すように、本第 2変形例のィンクジエツトへッド 1 0 0 b も、上述した第 1実施形態のインクジェットヘッド 1 0 0と同様に、図示しないインクタンク（インク供給部）から供給されたインクを吐出する複数のノズル 1 2 0を有するものであって、へッド本体部 3 bおよび枠部材 8をそなえて構成されている。

また、本第 2変形例のインクジェットヘッド 1 0 0 bも、上述したインクジェットヘッド 1 0 0と同様に、ドライフィルムレジスト 1 0 3やステンレス板 1 0 5等の複数の層を積層して構成されるものであるが、図 1 5および図 1 6中においては、便宜上、その積層構造の図示を省略している。

ヘッド本体部 3 b上には、図 1 4〜図 1 6に示すように、配線パターン 1 2 3 aが個別電極 1 0 9および接点部 1 2 1とともにパ夕一ニングにより形成されており、これにより配線パターン 1 2 3 aは個別電極 1 0 9および接点部 1 2 1と同一面上に同一材料により一体的に薄膜形成されている。

これらの配線パターン 1 2 3 aは、図 1 4に示すように、それぞれ各個別電極 1 0 9の長手方向（図 1 4中では左右方向）とほぼ平行に、それらの間を通るように配設されており、更に、各配線パターン 1 2 3 aは、図 1 6に示すように、枠部材 8の下側、すなわち、ヘッド本体部 3 bと枠部材 8との間を通過するように配設されている。

また、ヘッド本体部 3 bにおいては、図 7に示すインクジェットヘッド 1 0 0 と同様に、へッド本体部 3 bにおける個別電極 1 0 9等が形成されている側の面において、枠部材 8よりも外側、すなわち、ヘッド本体部 3 bの隅部付近に振動板 1 0 4が露出しており、これにより接点部 1 2 7を形成している。そして、これらの接点部 1 2 1 , 1 2 7に？。（外部接続配線部材；図 1 4 〜図 1 6では図示省略）を T A B等の方式によって電気的に接続するのである。また、本第 2変形例のインクジェットヘッド 1 0 0 bも、第 1実施形態のインクジエツトヘッド 1 0 0と同様に、ドライフィルムレジスト 1 0 3を用いたパ夕一二ング手法により形成されるようになっており、又、配線パターン 1 2 3 aもへッド本体部 3 b上に個別電極 1 0 9および接点部 1 2 1とともにパ夕一ニングにより形成され、個別電極 1 0 9および接点部 1 2 1と同一面上に同一材料により一体的に薄膜形成されている。

上述の構成により、接点部 1 2 1， 1 2 7に F P Cを T A B等の方式によって電気的に接続した後、図示しない駆動回路等によって F P Cを介して各個別電極 1 0 9に駆動信号を供給することにより、加圧部 1 4 0によって圧力室 1 1 2を加圧して各ノズル 1 2 0からインクを吐出する。

このように、本発明の第 1実施形態の第 2変形例としてのィンクジェットへッド 1 0 0 bによっても、各個別電極 1 0 9と接点部 1 2 1との間の電気的接続に際して枠部材 8の影響を受けることなく、加圧部 1 4 0を制御するための信号を供給する F P Cに各個別電極 1 0 9を電気的に接続することができ、上述した第 1実施形態と同様の作用効果を得ることができる。

(D ) 第 1実施形態の第 3変形例の説明

図 1 7〜図 1 9は本発明の第 1実施形態の第 3変形例としてのインクジエツトヘッド 1 0 0 cにおける配線パターンの構成を説明するための図であり、図 1 7 は本発明の第 1実施形態の第 3変形例としてのインクジェットヘッドにおける配線パターンの要部を拡大して示す平面図、図 1 8は図 1 7の A— A線に沿う断面図、図 1 9は図 1 7の B— B線に沿う断面図である。

本発明の第 1実施形態の第 3変形例としてのィンクジェットヘッド 1 0 0 cは、図 1 4に示すィンクジエツトへッド 1 0 0 b等における配線パターンに代えて配線パターン 1 2 3 bをそなえるものであり、その構成について図 1 7〜図 1 9 を用いて説明する。なお、本第 3変形例は、具体的には図 1 3 ( a ) , ( b ) に示すようなインクジエツトヘッド 1 0 0 aに適用されるものである。

図 1 7〜図 1 9に示すように、本第 3変形例のインクジエツトヘッド 1 0 0 c も、上述したィンクジエツトへッド 1 0 0 a， 1 0 0 bと同様に、インクタンク (インク供給部；図 1 7〜図 1 9では図示省略）から供給されたインクを吐出する複数のノズル 1 2 0を有するものであって、へッド本体部 3 cおよび枠部材 8 aをそなえて構成されている。

また、本第 3変形例のインクジェットヘッド 1 0 0 cも、上述したインクジェットへッド 1 0 0と同様に、ドライフィルムレジスト 1 0 3やステンレス板 1 0 5等の複数の層を積層して構成されるものであるが、図 1 8および図 1 9中においては、便宜上、その積層構造の図示を省略している。

さらに、本第 3変形例のインクジェットヘッド 1 0 0 cも、前述したインクジエツトへッド 1 0 0と同様に、ドライフィルムレジスト 1 0 3を用いたパ夕一二ング手法により形成されるようになっており、又、配線パターン 1 2 3 bもへッド本体部 3 c上に個別電極 1 0 9および接点部 1 2 1とともにパターニングにより形成され、個別電極 1 0 9および接点部 1 2 1と同一面上に同一材料により一体的に薄膜形成されている。

これらの配線パターン 1 2 3 bは、図 1 7および図 1 8に示すように、枠部材 8 aの下側、すなわちへッド本体部 3 cと枠部材 8 aとの間を、枠部材 8 aに沿つて敷設され、接点部 1 2 1に近接する位置において枠部材 8 aから離れて接点部 1 2 1と接続するようになっている。

また、ヘッド本体部 3 cにおいては、図 1 7および図 1 8に示すように、へッド本体部 3 cにおける個別電極 1 0 9等が形成されている面上において、枠部材 8 aよりも外側、すなわち、へッド本体部 3 cの隅部付近に振動板 1 0 4が露出しており、これにより接点部 1 2 7を形成している。

そして、これらの接点部 1 2 1， 1 2 7に？？じ（外部接続配線部材；図 1 7 〜図 1 9では図示省略）を T A B等の方式によって電気的に接続するのである。上述の構成により、接点部 1 2 1， 1 2 7に F P Cを T A B等の方式によって電気的に接続した後、図示しない駆動回路等によって F P Cを介して各個別電極 1 0 9に駆動信号を供給することにより、加圧部 1 4 0によって圧力室 1 1 2を加圧して各ノズル 1 2 0からインクを吐出する。

このように、本発明の第 1実施形態の第 3変形例としてのィンクジェットへッド 1 0 0 cによっても、各個別電極 1 0 9と接点部 1 2 1との間の電気的接続に際して枠部材 8 aの影響を受けることなく、加圧部 1 4 0を制御するための信号を供給する F P Cに各個別電極 1 0 9を電気的に接続することができ、上述した第 2変形例と同様の作用効果を得ることができるほか、配線パターン 1 2 3 が枠部材 8 aとへッド本体部 3 cとの間に配設されているので、配線パターン 1 2 3 bが外部に露出することなく、これにより配線パターン 1 2 3 bを保護することができ、例えば、配線パターン 1 2 3 bの断線等を防止することができる。

( E ) 第 1実施形態の第 4変形例の説明

図 2 0〜図 2 5は本発明の第 1実施形態の第 4変形例としてのインクジエツトへッドの構成を説明するためのもので、図 2 0は本発明の第 1実施形態の第 4変形例としてのインクジエツトへッドのへッド本体部の構成を示す斜視図、図 2 1 は図 2 0の A矢視図、図 2 2は図 2 0の B部を拡大して示す平面図、図 2 3は図 2 2の A— A線に沿う断面図、図 2 4は図 2 1の C部を拡大して示す平面図、図 2 5は図 2 2の B— B線に沿う断面図である。

本発明の第 1実施形態の第 4変形例としてのインクジエツトヘッド 1 0 0 dは

、図 1に示すィンクジエツトヘッド 1 0 0における枠部材 8に代えて枠部材 8 b をそなえるとともに、この枠部材 8 b上に接点部 1 2 1をそなえるものであり、その構成について図 2 0〜図 2 5を用いて説明する。

図 2 0に示すように、本第 1実施形態の第 4変形例のインクジエツトへッド 1 0 0 dも、上述した第 1実施形態の 1 0 0と同様に、インクタンク（インク供給部；図 2 0〜図 2 5では図示省略）から供給されたインクを吐出する複数のノズル 1 2 0を有するものであって、図 2 0〜図 2 5に示すように、ヘッド本体部 3 dおよび枠部材 8 bをそなえて構成されている。

なお、本第 4変形例のインクジェットヘッド 1 0 0 dも、上述したインクジェットヘッド 1 0 0と同様、ドライフィルムレジスト 1 0 3やステンレス板 1 0 5等の複数の層を積層して構成されるものであるが、図 2 3および図 2 5中においては、便宜上、その積層構造の図示を省略している。

ヘッド本体部 3 dは、複数のノズル 1 2 0のそれぞれに、圧力室 1 1 2および加圧部 1 4 0をそなえて構成されている。

枠部材 8 bは、図 2 0〜図 2 5に示すように、ヘッド本体部 3 dにおけるノズル 1 2 0が形成されている側とは反対側（へッド本体部 3 dにおける開口 1 2 9 aが形成されている側）の面に突出して形成されており、又、ヘッド本体部 3 d における開口 1 2 9 aを形成された面上においてこれらの開口 1 2 9 aを環囲するように形成されていて、更に、この枠部材 8 bは、図 2 3 , 図 2 5に示すように、へッド本体部 3 dの周縁よりも外方へ突出するように形成されている。具体的には、本第 4変形例においては、枠部材 8 bは、ヘッド本体部 3 dの周縁に沿って、へッド本体部 3 dの周縁と平行にそのほぼ半分の部分を外部に突出するように形成されている。

この枠部材 8 bは、前述した図 1に示すインクジェットヘッド 1 0 0の枠部材

8と同様に、酸化マグネシウム（M g〇）により生成された基板をフォトエッチング処理によりへッド本体部 3から部分的に除去することにより、へッド本体部 3 d上の基板の残存部として形成されている。そして、この枠部材 8 bに接着剤等を用いてインクタンク（インク供給部品；図示省略）を接合することにより、ヘッド本体部 3 dにインクタンクを接合するのである。

なお、本第 4変形例のインクジェットヘッド 1 0 0 dの枠部材 8 bも、図 2 3 に示すように、上方に行くほどの幅が狭くなるような断面形状を有しており、これによりインクタンクとの接着面からはみ出した接着剤がその斜面により保持され、はみ出した接着剤がヘッド本体部 3 d (加圧部 1 4 0 ) に到達することを防ぐことができるようになつている。

また、この枠部材 8 bにおけるへッド本体部 3 dの周縁よりも外方へ突出した部分であって、インクタンクが接合される側とは反対側（図 2 1中の上側）の面 (以下、この面を接点部形成面 1 2 8と称する）には、接点部 1 2 1 a， 1 2 7 aが形成されている。なお、本第 4変形例においては、この接点部形成面 1 2 8における各隅部にそれぞれ接点部 1 2 7 aが形成されており、これらの接点部 1 2 7 aは、図 2 5に示すように、振動板 1 0 4と一体に形成されている。

また、接点部形成面 1 2 8における各接点部 1 2 7 aの間にはそれぞれ複数の接点部 1 2 1 aが形成されている。なお、接点部 1 2 1 aは個別電極 1 0 9毎に形成されている。

なお、これらの接点部 1 2 1 a， 1 2 7 aの位置はこれに限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。さらに、これらの接点部 1 2 1 aと個別電極 1 0 9とは薄膜形成された配線パターン 1 2 3により電気的に接続されている。

すなわち、本第 4変形例においては、接点部 1 2 1 aは、枠部材 8 b側においてヘッド本体部 3 dの周縁よりも外方に配置されており、又、枠部材 8 bにおける接点部形成面 1 2 8に、個別電極 1 0 9毎に形成された接点部 1 2 1 aが配設され、図 2 1に示すように、これらの接点部 1 2 1 aに、加圧部 1 4 0を制御するための信号を供給する F P C 2が T A B方式等の手法により電気的に接続されるのである。

上述の構成により、各接点部 1 2 1 aおよび 1 2 7 aに、図 2 1に示すように F P Cを T A B等の方式によって電気的に接続した後、図示しない駆動回路等によって F P Cを介して各個別電極 1 0 9に駆動信号を供給することにより、加圧部 1 4 0によって圧力室 1 1 2を加圧して各ノズル 1 2 0からィンクを吐出するこのように、本発明の第 1実施形態の第 4変形例のインクジエツトへッド 1 0 0 dによっても、各個別電極 1 0 9と接点部 1 2 1 aとの間の電気的接続に際して枠部材 8 bの影響を受けることなく、加圧部 1 4 0を制御するための信号を供給する F P Cに各個別電極 1 0 9を電気的に接続することができ、上述した第 1 実施形態のインクジエツトへッド 1 0 0と同様の作用効果を得ることができるほか、ノズル 1 2 0を形成するへッド本体部 3 dを枠部材 8 bよりも小さく形成することができるので、インクジェットヘッド 1 0 0 dを小型化することができるまた、 F P C 2を接点部 1 2 1 a， 1 2 7 aに接続する際に、接点部形成面 1 2 8において、接点部 1 2 1 aと接点部 1 2 7 aとの高さが等しくなるので、 F P C 2の接続に際してより確実に電気的に接続することができる。

さらに、 F P C 2を接点部 1 2 1 a， 1 2 7 aに加圧して接続するに際して、 F P C 2の上面から接点部形成面 1 2 8を加圧するので、枠部材 8 bが接点部形成面 1 2 8を支持するので、その剛性が高くなり、これにより製造安定性を向上させることができる。

( F ) 第 1実施形態の第 5変形例の説明

図 2 6は本発明の第 1実施形態の第 5変形例としてのインクジエツトヘッドのヘッド本体部の構成を示す斜視図であり、本発明の第 1実施形態の第 5変形例としてのインクジェットヘッド 1 0 0 eも、図 2 6に示すように、上述した第 1変形例のインクジェットヘッド 1 0 0 aと同様に、インクタンク（インク供給部；図示省略）から供給されたインクを吐出する複数のノズル（図示省略）を有するものであって、ヘッド本体部 3 eおよび枠部材 8 cをそなえて構成されている。なお、図中、既述の符号と同一の符号は同一もしくはほぼ同一の部分を示しているので、その詳細な説明は省略する。

枠部材 8 cは、へッド本体部 3 e上におけるノズルが形成されている側とは反対側（図 2 6中では上側）であって、インク供給路の開口 1 2 9 aが形成されている面に突出して形成されており、又、この枠部材 8 cは、ヘッド本体部 3 eにおける開口 1 2 9 a，個別電極 1 0 9 , 接点部 1 2 1および配線パターン 1 2 3 を形成された面上において、複数の開口 1 2 9 aを環囲するように形成されている。

この枠部材 8 cは、酸化マグネシウム（M g〇）により生成された基板をフォトエッチング処理によりヘッド本体部 3 eから部分的に除去することにより、へッド本体部 3 e上の基板の残存部として形成されている。そして、この枠部材 8 cに接着剤等を用いてインクタンク（インク供給部品）もしくはインクタンク固定用部材を接合することにより、へッド本体部 3 eにインクタンク 5 0を接合するのである。

また、この枠部材 8 cは、上方に行くほどの幅が狭くなるような断面形状を有しており、これによりインクタンク 5 0との接着面からはみ出した接着剤がその斜面により保持され、はみ出した接着剤がへッド本体部 3 eに到達することを防ぐことができるようになつている。

さらに、枠部材 8 cにおいては、枠部材 8 cを形成する部材のうち対向する 1 対の部材が互いに平行に同一方向に突設しており、これにより位置決め部 8 2が形成されている。なお、以下、この位置決め部 8 2を形成する、枠部材 8 cから突設する 1対の部材を突設部と称し、符号 8 2 aを用いて示すこととする。位置決め部 8 2は、一対の突設部 8 2 aと、枠部材 8 cにおける一対の突設部 8 2 aが形成されている部分における外周面 8 2 bとにより構成されている。これら一対の突設部 8 2 aや枠部材 8 cも、前述した第 1実施形態のインクジエツトヘッド 1 0 0における枠部材 8等と同様に、酸化マグネシウム（M g〇）等により生成された基板をフォ卜エッチング処理によりへッド本体部 3 eから部分的に除去することにより、へッド本体部 3 e上の基板の残存部として形成されている。

また、へッド本体部 3 eにおける個別電極 1 0 9や配線パターン 1 2 3等が形成された面上であって、枠部材 8 cよりも外側で且つ一対の突設部 8 2 aの間には、複数の接点部 1 2 1， 1 2 7が形成されている。

このような構成により、 F P C (外部接続配線部材） 2の端面を一対の突設部

8 2 aの間において外周面 8 2 bに当接させて F P C 2の接点部 1 2 1に対する位置決めを行なった後、 F P C 2を接点部 1 2 1 , 1 2 7に T A B方式により電気的に接続する。

このように、本発明の第 1実施形態の第 5変形例としてのインクジェットへッド 1 0 0 eによれば、 F P C 2の端面を一対の突設部 8 2 aの間において外周面 8 2 bに当接させることにより、 F P C 2の接点部 1 2 1に対する位置決めを行なうことができるので、これにより F P C 2と接点部 1 2 1， 1 2 7とを確実に電気的に接続することができるほか、 F P C 2の位置決めをのための専用の部品が不要になるのでインクジエツ卜へッド 1 0 0 eを構成する部品点数を削減することができる。

( G) 第 1実施形態の第 6変形例の説明図 2 7は本発明の第 1実施形態の第 6変形例としてのインクジェットヘッドの要部構成を示す斜視図であり，本第 6変形例としてのインクジエツトへッド 1 0 0 f も、上述した第 5変形例のィンクジエツトへッド 1 0 0 eと同様に、ィンクタンク（インク供給部；図示省略）から供給されたインクを吐出する複数のノズル（図示省略）を有するものであって、図 2 7に示すように、ヘッド本体部 3 fおよび枠部材 8をそなえて構成されている。

図 2 7に示すように、本第 6変形例のインクジェットヘッド 1 0 0 f は、図 2 6に示したィンクジヱットへッド 1 0 0 eにおける枠部材 8 cに代えて枠部材 8 をそなえるほか、位置決め部 8 3をそなえて構成されている。

ヘッド本体部 3 f の周縁を形成する辺のうち少なくとも 1辺の隅部であり、枠部材 8よりも外側であって、且つ、その個別電極 1 0 9や配線パターン 1 2 3等が形成された面上には、それぞれほぼ円柱状の一対の位置決め部 8 3が形成されており、又、これら一対の位置決め部 8 3の間には、複数の接点部 1 2 1， 1 2 7が形成されている。

これら一対の位置決め部 8 3も、前述した第 1実施形態のインクジエツトへッド 1 0 0における枠部材 8等と同様に、酸化マグネシウム（M g〇）等により生成された基板をフォトエッチング処理によりへッド本体部 3 f から部分的に除去することにより、ヘッド本体部 3 f上の基板の残存部として形成されている。また、 F P C 2 aの端部付近における、前述の一対の位置決め部 8 3に対応する位置には、ぞれぞれ位置決め部 8 3の断面形状とほぼ同一の位置合わせ穴 2 b が形成されている。

このような構成により、 F P C (外部接続配線部材） 2 aに形成された位置合わせ穴 2 bの各々を位置決め部 8 3に嵌合させることにより、 F P C 2 aの接点部 1 2 1， 1 2 7に対する位置決めを行な行なった後、 F P C 2 aを接点部 1 2 1 , 1 2 7に T A B方式により電気的に接続する。

このように、本発明の第 1実施形態の第 6変形例としてのインクジェットへッド 1 0 0 f によれば、 F P C 2 aに形成された位置合わせ穴 2 bの各々を位置決め部 83に嵌合させることにより、 F P C 2 aの接点部 12 1， 127に対する位置決めを行なうことができ、これにより F P C 2と接点部 12 1， 127とを確実に電気的に接続することができる。

(H) 第 2実施形態の説明

図 28 (a), (b) はともに本発明の第 2実施形態としてのインクジェットへッドの構成を説明するためのもので、（a) はその配線パターンの要部を拡大して示す平面図、（b) は図 28 (a) の A— A線に沿う断面図である。

本発明の第 2実施形態としてのインクジェットヘッド 2 10においては、第 1 実施形態のインクジエツトヘッド 100とは異なる位置にインク供給路 129が形成されており、以下、図 28 (a), (b) を用いてその詳細な説明を行なう。図 28 (a), (b) に示すように、本第 2実施形態のインクジェットヘッド 2 1 0も、上述した第 1実施形態のインクジェットヘッド 1 00と同様に、図示しないインクタンク（インク供給部）から供給されたインクを吐出する複数のノズル 120を有するものであって、へッド本体部 3 gをそなえて構成されている。圧力室 1 12において、振動板 104の成す面以外の面であり、且つ、この振動板 104の成す面に対向する面以外の面であって、ノズル 120から最も遠くに位置する面には、インク供給路 129の一端側（以下、開口 1 29 bと称する ) が開口しており、又、ヘッド本体部 3 gの外面においてインク溜まり空間 1 3 0にインク供給路 129の他端側（開口 1 29 a) が開口している。

なお、本第 2実施形態のインクジェットヘッド 2 10も、上述したインクジェットヘッド 100と同様に、ドライフィルムレジスト 103 ( 103 a〜1 03 c) やステンレス板 1 05等の複数の層を積層して構成されるものであり、へッド本体部 3 gにおいては、 3層のドライフィルムレジスト 1 03 a〜 1 03 cをそなえて構成しており、これらのドライフィルムレジスト 1 03 a〜 103 c— 部を除去することにより圧力室 1 12を形成している。

そして、ドライフィルムレジスト 1 03 a， 1 03 bや、振動板 1 04, ポリイミド 1 26を部分的に除去することによりインク供給路 1 29が形成されている。

すなわち、本第 2実施形態においては、インク供給路 1 2 9が、圧力室 1 1 2 において振動板 1 0 4の成す面以外の面で開口するように形成されているのである。

ヘッド本体部 3 g上には、図 2 8 ( a ) に示すように、配線パターン 1 2 3が個別電極 1 0 9および接点部（図示省略）とともにパ夕一ニングにより形成されており、これにより配線パターン 1 2 3は個別電極 1 0 9および接点部と同一面上に同一材料により一体的に薄膜形成されている。

上述の構成により、図示しない枠部材にインクタンク（図示省略）を直接（もしくはインクタンク固定用部材を介して）接合した後、インクタンクのインク供給口からインク溜まり空間 1 3 0にインクを供給すると、このインク溜まり空間 1 3 0に一時的にインクが滞留し、その後、インク溜まり空間 1 3 0から各インク供給路 1 2 9から各圧力室 1 1 2へインクが供給される。

そして、接点部に F P Cを T A B等の方式によって電気的に接続した後、図示しない駆動回路等によって F P Cを介して各個別電極 1 0 9に駆動信号を供給することにより、加圧部 1 4 0によって圧力室 1 1 2を加圧して各ノズル 1 2 0からインクを吐出する。

このように、本発明の第 2実施形態としてのィンクジエツトへッドによれば、上述した第 1実施形態と同様の作用効果を得ることができる他、インク供給路 1 2 9が振動板 1 0 4の成す面以外の面で開口するように形成されているので、圧電素子 1 0 8や振動板 1 0 4が変形しても、インク供給路 1 2 9がこれらの圧電素子および振動板 1 0 4の変形による影響、例えば、圧力損失等を受けることがなく、圧力室 1 1 2の剛性を維持することができるほか、その加圧動作が安定する。

( I ) 第 3実施形態の説明

図 2 9 ( a ) , ( b ) はともに本発明の第 3実施形態としてのインクジェットへッドの構成を説明するためのもので、（a ) はその配線パターンの要部を拡大して示す平面図、（b ) は図 2 9 ( a ) の A— A線に沿う断面図である。

本発明の第 3実施形態としてのインクジエツトヘッド 2 2 0においても、第 2 実施形態のインクジエツトへッド 2 1 0とは異なる位置にインク供給路 1 2 9が形成されており、以下、図 2 9 ( a ) , ( b ) を用いてその詳細な説明を行なう。図 2 9 ( a ) , ( b ) に示すように、本第 3実施形態のインクジェットヘッド 2

2 0も、上述した第 2実施形態のインクジェットヘッド 2 1 0と同様に、図示しないインクタンク（インク供給部）から供給されたインクを吐出する複数のノズル 1 2 0を有するものであって、へッド本体部 3 hをそなえて構成されている。圧力室 1 1 2において、振動板 1 0 4の成す面以外の面であり、且つ、この振動板 1 0 4の成す面に対向する面に、インク供給路 1 2 9の一端側（以下、開口 1 2 9 bと称する）が開口しており、又、ヘッド本体部 3 hの外面においてインク溜まり空間 1 3 0にインク供給路 1 2 9の他端側（開口 1 2 9 a ) が開口している。

なお、本第 3実施形態のインクジェットヘッド 2 2 0も、上述したインクジェットヘッド 1 0 0と同様に、ドライフィルムレジスト 1 0 3やステンレス板 1 0 5等の複数の層を積層して構成されるものであり、へッド本体部 3 hにおいては、 1層のドライフィルムレジスト 1 0 3をそなえて構成しており、このドライフイルムレジスト 1 0 3の一部を除去することにより圧力室 1 1 2を形成しているそして、ドライフィルムレジスト 1 0 3や、ステンレス板 1 0 5 , 振動板 1 0

4，ポリイミド 1 2 6を部分的に除去することによりインク供給路 1 2 9が形成されている。

すなわち、本第 3実施形態においては、インク供給路 1 2 9が、圧力室 1 1 2 において振動板 1 0 4の成す面に対向する面で開口するように形成されているのである。

ヘッド本体部 3 h上には、図 2 9 ( a ) に示すように、配線パターン 1 2 3が個別電極 1 0 9および接点部（図示省略）とともにパターニングにより形成されており、これにより配線パターン 1 2 3は個別電極 1 0 9および接点部と同一面上に同一材料により一体的に薄膜形成されている。上述の構成により、図示しない枠部材にインクタンク（図示省略）を直接（もしくはインクタンク固定用部材を介して）接合した後、インクタンクのインク供給口からインク溜まり空間 1 30にインクを供給すると、このインク溜まり空間 1 30に一時的にインクが滞留し、その後、インク溜まり空間 1 30から各インク供給路 129から各圧力室 1 12へインクが供給される。

そして、接点部に F PCを TAB等の方式によって電気的に接続した後、図示しない駆動回路等によって F PCを介して各個別電極 1 09に駆動信号を供給することにより、加圧部 140によって圧力室 1 1 2を加圧して各ノズル 120からインクを吐出する。

そして、この際、インク供給路 1 29が振動板 104の成す面に対向する面で開口するように形成されているので、圧電素子 1 08や振動板 1 04が変形しても、インク供給路 129がこれらの圧電素子および振動板 1 04の変形による影響を受けることがなく、圧力室 1 12の剛性を維持することができるほか、その加圧動作が安定する。

このように、本発明の第 3実施形態としてのインクジェットヘッドによれば、上述した第 2実施形態と同様の作用効果を得ることができる他、へッド本体部 3 hを少なくとも 1層のドライフィルムレジスト 1 03をそなえて構成すればよいので、製造工程を簡略化することができる。

( J) 第 4実施形態の説明

図 30 (a), (b) はともに本発明の第 4実施形態としてのインクジェットへッドの構成を説明するためのもので、（a) はその配線パターンの要部を拡大して示す平面図、（b) は図 30 (a) の A— A線に沿う断面図である。

本発明の第 4実施形態としてのインクジェットヘッド 230においても、第 2 実施形態のインクジエツトへッド 2 1 0とは異なる位置にインク供給路 129が形成されており、以下、図 30 (a), (b) を用いてその詳細な説明を行なう。図 30 (a), (b) に示すように、本第 4実施形態のインクジェットヘッド 2 30も、上述した第 2実施形態のインクジェットヘッド 2 1 0と同様に、図示しないインクタンク（インク供給部）から供給されたインクを吐出する複数のノズル 1 2 0を有するものであって、へッド本体部 3 iをそなえて構成されている。圧力室 1 1 2において、振動板 1 0 4の成す面には、圧電素子 1 0 8と振動板 1 0 4との積層領域において、これらの圧電素子 1 0 8および振動板 1 0 4を貫通するようにインク供給路 1 2 9が形成されている。

なお、本第 4実施形態のインクジェットヘッド 2 3 0も、上述したインクジェットへッド 1 0 0と同様に、ドライフィルムレジスト 1 0 3やステンレス板 1 0 5等の複数の層を積層して構成されるものであり、ヘッド本体部 3 iにおいては、 1層のドライフィルムレジスト 1 0 3をそなえて構成しており、このドライフイルムレジスト 1 0 3の一部を除去することにより圧力室 1 1 2を形成しているそして、振動板 1 0 4の成す面において、圧電素子 1 0 8と振動板 1 0 4との積層領域において、これらの圧電素子 1 0 8および振動板 1 0 4を部分的に除去することによりインク供給路 1 0 9が形成されている。

ヘッド本体部 3 i上には、図 3 0 ( a ) に示すように、配線パターン 1 2 3が個別電極 1 0 9および接点部（図示省略）とともにパターニングにより形成されており、これにより配線パターン 1 2 3は個別電極 1 0 9および接点部と同一面上に同一材料により一体的に薄膜形成されている。

このように、本発明の第 4実施形態としてのィンクジエツトへッド 2 3 0によれば、上述した第 2実施形態と同様の作用効果を得ることができる他、インク供給路 1 2 9が圧電素子 1 0 8の積層領域において圧電素子 1 0 8および振動板 1 0 4を貫通するように形成されているので、ヘッド本体部 3 i上にインク供給路 1 2 9の開口 1 2 9 aのための専用のスペースを設ける必要がなく、ィンクジェットへッドを小型化できるほか、集積度を向上させることができる利点がある。

( K) 第 5実施形態の説明

図 3 1 , 図 3 2はともに本発明の第 5実施形態としてのインクジエツトへッドの構成を説明するためのもので、図 3 1は本発明の第 5実施形態としてのインクジエツトへッドの全体構成を示す分解斜視図、図 3 2は本発明の第 5実施形態としてのインクジエツトへッドにィンクタンクを接合した状態を示す縦断面図である。

本発明の第 5実施形態としてのインクジエツトへッド 2 4 0は、第 1実施形態のィンクジエツトへッド 1 0 0における、へッド本体部 3に代えてへッド本体部 3 ' をそなえるとともに、インクタンク 5 0に代えてインクタンク 5 0 ' をそなえるものであり、以下、図を用いてその詳細な説明を行なう。

本第 5実施形態のインクジエツトへッド 2 4 0も、上述した第 1実施形態のィンクジェットヘッド 1 0 0と同様に、インクタンク（インク供給部） 5 0 ' から供給されたインクを吐出する複数のノズル（図示省略）を有するものであって、ヘッド本体部 3 ' をそなえて構成されている。

ヘッド本体部 3 ' は、その内部に、複数のノズルのそれぞれに、圧力室および加圧部 1 4 0をそなえて構成されている。

なお、本第 5実施形態のインクジェットヘッド 2 4 0のヘッド本体部 3 ' も第 1実施形態のィンクジエツトへッド 1 0 0のへッド本体部 3と同様に、ドライフイルムレジスト，振動板，ステンレス板，ポリイミド，個別電極 1 0 9およびノズル板等の複数の層を積層して構成されるものであり、この積層による製造工程については省略する。

ヘッド本体部 3 ' は、枠部材 8をそなえていないほかは、第 1実施形態のインクジエツトヘッド 1 0 0のへッド本体部 3とほぼ同様の構成をそなえており、その内部に、複数のノズル 1 2 0のそれぞれに、圧力室（図示省略）および加圧部 1 4 0をそなえて構成されている。

そして、このヘッド本体部 3 ' における加圧部 1 4 0が形成されている面、すなわち、インク溜まり空間 1 3 0 ' (後述）に面する外面には、インク供給路 1 2 9の一端側（以下、開口 1 2 9 a ) が開口しており、又、インク供給路 1 2 9 の他端側は各圧力室に開口している。

インクタンク 5 0 ' も、第 1実施形態のインクジェットヘッド 1 0 0におけるインクタンク 5 0と同様に、適当な負圧を維持しながらヘッド本体部 3 ' のノズルにインクを供給するインク供給部品であって、図 3 2に示すように、インク室 5 2 , フィル夕 5 3およびインク供給口 5 1をそなえるほか、接合部 5 4をそなえて構成されている。

そして、このインクタンク 5 0 ' をその接合部 5 4に接着剤等を塗布した後、ヘッド本体部 3 ' に接合するのであるが、この際、接合部 5 4は、ヘッド本体部 3 ' の外面における複数のインク供給路 1 2 9の開口 1 2 9 aを環囲するようになっており、これらのインクタンク 5 0 ' の下面，接合部 5 4およびヘッド本体部 3 ' 上面によってインク溜まり空間 1 3 0 ' が形成されるようになっている。なお、本第 5実施形態のインクジェットヘッド 2 4 0も、上述したインクジェットへッド 1 0 0と同様に、ドライフィルムレジスト 1 0 3やステンレス板 1 0 5等の複数の層を積層して構成されるものであり、その詳細な説明は省略する。上述の構成により、図示しない枠部材にインクタンク 5 0 ' を直接接合した後

、ィンクタンク 5 0 ' のィンク供給口 5 1からィンク溜まり空間 1 3 0 ' にインクを供給すると、このインク溜まり空間 1 3 0 ' に一時的にインクが滞留し、その後、インク溜まり空間 1 3 0 ' から各インク供給路 1 2 9を通じて各圧力室 1 1 2へインクが供給される。

そして、接点部に F P Cを T A B等の方式によって電気的に接続した後、図示しない駆動回路等によって F P Cを介して各個別電極 1 0 9に駆動信号を供給することにより、加圧部 1 4 0によって圧力室 1 1 2を加圧して各ノズル 1 2 0からィンクを吐出する。

このように、本発明の第 5実施形態としてのィンクジエツトへッド 2 4 0によつても、第 1実施形態のインクジェットヘッド 100と同様に、ヘッド本体部 3 ' において専用のインク供給口を設ける必要がないので、インクジェットヘッド 240を小型化できるほか、集積度を向上させることができ、更に、各圧力室 1 12へのインクの供給を均一にすることができ、印刷品質を向上させることがでさる。

また、ヘッド本体部 3 ' にインクタンク 50 ' もしくはインクタンク固定用部材を接合する場合に、その接着しろを小さくすることができるので、ヘッド本体部 3 ' を小さくすることができインクジェットヘッド 240、ひいては印刷装置 (インクジエツトプリン夕）を小型化することができる。

(L) その他

なお、本発明は上述した各実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。

例えば、上記第 1実施形態のインクジェットヘッド 100は（A) 層および（ B) 層の 2層を接合して形成しているが、それに限定するものではなく、又、（ B) 層を所望の数の層をそなえて構成してもよく、更に、各層の厚さも所望の厚さを有して構成してもよい。

また、ステンレス板 105の代わりに、金属やセラミックス以外の材料、例えば、 PEN等の樹脂や FRP等のような複合樹脂からなる部材を配設してもよい。なお、これらの部材を配設して構成する場合においては、他のドライフィルムレジスト 103と類似の熱膨張係数を有するので、接合時等の加熱処理における熱残留応力を低減することができ、インクジエツトへッドの品質を向上させることができる。

さらに、各接点部 12 1， 127と FPC 2 (2 a) とを TAB方式で接続しているが、それに限定されるものではなく種々変形して実施することができる。また、上述した各実施形態および各変形例において、枠部材 8 (8 a〜8 c) の形状はそれに限定するものではなく、種々変形して実施することができる。さらに、上述した各実施形態および各変形例において、配線パターン 1 23の形状はそれに限定されるものではなく、例えば、第 1実施形態の第 2変形例や第 3変形例に示すような配線パターン 1 23 a (123 b) の形状をそなえてもよい。

なお、本発明の各実施形態が開示されていれば、当業者によって製造することが可能である。産業上の利用可能性

以上のように、本発明のインクジェットヘッドおよび印刷装置は、インク供給部品からのインクを各圧力室に直接的に供給することができるので、へッド本体部において専用のィンク供給口が不要であり、ィンクジエツトへッドを小型化できるとともに集積度を向上させることができる利点があるほか、各圧力室へのィンクの供給を均一にすることができ、印刷品質を向上させることができるので、特にインクジエツトへッドをそなえた印刷装置に適している。

Claims

請求の範囲

1. インク供給部品（50) から供給されたインクを吐出する複数のノズル（1 20) を有するインクジェットヘッドであって、

該ノズル（120) 毎にそなえられそれぞれインクを充塞される複数の圧力室 (1 1 2) と、該圧力室（1 12) 毎にそなえられそれぞれ該圧力室（1 12) を加圧して該圧力室（1 12) 内のインクを該ノズル（120) から吐出させる複数の加圧部 140とを含むヘッド本体部（3) をそなえ、

該ヘッド本体部（3) と該インク供給部品（50) との間に、該インク供給部品（50) からのインクを一時的に滞留させるインク溜まり空間（130) が形成されるとともに、

該ヘッド本体部（3) に、該インク溜まり空間（1 30) と該複数の圧力室（ 1 12) とをそれぞれ連通する複数のインク供給路（129) 、それぞれ、一端側を該ヘッド本体部（3) の外面において該インク溜まり空間（130) に開口させるとともに他端側を各圧力室（1 1 2) に開口させて形成されていることを特徴とする、インクジェットヘッド。

2. 該ヘッド本体部（3) に、枠部材（8) 力該ヘッド本体部（3) の外面における該複数のインク供給路（1 29) の開口（129 a) を環囲するように突設され、

該枠部材（8) と該ヘッド本体部（3) と該インク供給部品（50) とにより該インク溜まり空間（1 30) が形成されていることを特徴とする、請求の範囲第 1項記載のインクジエツトへッド。

3. 該ヘッド本体部（3) が基板（122) 上に形成されたものであり、該基板 ( 122) を該ヘッド本体部（3) から部分的に除去することにより、該枠部材

(8) 力該ヘッド本体部（3) 上の該基板（1 22) の残存部として形成されていることを特徴とする、請求の範囲第 2項記載のィンクジエツトへッド。

4. 該枠部材（8) が、該インク供給部品（50) を該ヘッド本体部（3) に接合するための接合部として用いられることを特徴とする、請求の範囲第 3項記載のィンクジェットヘッド。

5. 該加圧部 140力該圧力室（1 1 2) の一面を成し且つ該圧力室（1 12 ) と該インク溜まり空間（130) とを区画する振動板（104) と、該圧力室

(1 1 2) の外側で該振動板（104) 上に積層形成され該振動板（1 04) を駆動して該圧力室（1 12) を加圧する圧電素子（1 08) とをそなえて構成されていることを特徴とする、請求の範囲第 1項〜第 4項のいずれか 1項に記載のインクジエツ卜ヘッド。

6. 該インク供給路（129) 力該圧電素子（1 08) の積層領域以外の領域において該振動板（104) を貫通するように形成されていることを特徴とする、請求の範囲第 5項記載のインクジェットヘッド。

7. 該インク供給路（129) が、該圧電素子（1 08) の積層領域において該圧電素子（1 08) および該振動板（104) を貫通するように形成されていることを特徴とする、請求の範囲第 5項記載のインクジエツトへッド。

8. 該インク供給路（129) 力該圧力室（1 1 2) において該振動板（1 0 4) の成す面以外の面で開口するように形成されていることを特徴とする、請求の範囲第 5項記載のインクジエツトヘッド。

9. 該インク供給路（129) 力該圧力室（1 12) において該振動板（1 0 4) の成す面に対向する面で開口するように形成されていることを特徴とする、請求の範囲第 8項記載のインクジェットヘッド。

1 0. インク供給部品（50) から供給されたインクを吐出する複数のノズル（ 1 20) を有するインクジエツトへッドをそなえた印刷装置であって、

該ィンクジェットヘッドが、該ノズル（120) 毎にそなえられそれぞれインクを充塞される複数の圧力室 (1 12) と、該圧力室（1 12) 毎にそなえられそれぞれ該圧力室（1 12) を加圧して該圧力室（1 12) 内のィンクを該ノズル（120) から吐出させる複数の加圧部 140とを含むヘッド本体部（3) をそなえて構成され、

該ヘッド本体部（3) と該インク供給部品（50) との間に、該インク供給部品（50) からのインクを一時的に滞留させるインク溜まり空間（1 30) が形成されるとともに、

該ヘッド本体部（3) に、該インク溜まり空間（1 30) と該複数の圧力室（ 1 12) とをそれぞれ連通する複数のインク供給路（1 29) 力それぞれ、一端側を該ヘッド本体部（3) の外面において該インク溜まり空間（1 30) に開口（129 a) させるとともに他端側を各圧力室（1 12) に開口させて形成されていることを特徴とする、印刷装置。