JP4269136B2 - インクジェットヘッドおよびインクジェットヘッドの製造方法並びに印刷装置 - Google Patents

Description

技術分野
本発明は、インク供給部品から供給されたインクを吐出する複数のノズルを有するインクジェットヘッドに関し、例えばインクジェットプリンタの印字ヘッドに用いて好適な、インクジェットヘッドおよびその製造方法、並びに、そのインクジェットヘッドをそなえた印刷装置に関する。
背景技術
インクジェットプリンタは、複数のノズルを有するインクジェットヘッドによってインク滴を噴射させ、このインク滴を印刷用紙等の記録媒体に吐出して直接付着させる方式の印刷装置であり、例えば、インクジェットヘッドを印刷用紙の幅方向に往復移動させながら、このインクジェットヘッドの移動方向と直交する方向に印刷用紙を搬送することにより印刷用紙に印刷を行なうようになっている。
図３４は従来のインクジェットヘッドの要部構成を示す分解斜視図であり、従来のインクジェットヘッドは、この図３４に示すように、複数（図３４では１０個）のインク吐出部３１２が形成されたヘッド板３１０をそなえて構成されていて、インクタンク３２０を接合されるようになっている。
インクタンク３２０はその内部にインクを保持するとともに、そのインクをインク供給口３２２を介してヘッド板３１０に供給するものである。
ヘッド板３１０に形成された各インク吐出部３１２は、インクを吐出するノズルをそなえて構成されており、更に、各インク吐出部３１２は、ノズル毎にインクを充塞されるインク圧力室および圧力室内のインクを加圧するインク加圧部を有しており、各インク加圧部によってインク圧力室を加圧することにより、各ノズルからインク滴を吐出させるようになっている。
なお、このインク加圧部としては、例えば、ピエゾ等の圧電素子と振動板とにより構成されたバイモルフ積層体が知られている。
また、ヘッド板３１０の内部には図示しないインク共通路が形成されており、このインク共通路に、各インク吐出部３１２が、それぞれインク供給路（図示省略）を介して枝葉状に連通接続されている。
さらに、ヘッド板３１０にはインク供給口３１３が形成されており、このインク供給口３１３はインク共通路に連通接続されている。
また、ヘッド板３１０とインクタンク３２０とは、ヘッド板３１０の接着部３１１とインクタンク３２０の接着部３２１とを接着剤等で接着することにより接合されるようになっており、又、この際にインクタンク３２０のインク流出口３２２とヘッド板３１０のインク供給口３１３とが連通するようになっている。
このような構成により、インクタンク３２０に保持されているインクを、インク流出口３２２およびインク供給口３１３を介してインク共通路に供給し、更に、このインク共通路から各インク連通路を介して各インク吐出部３１２の圧力室にインクを供給する。
そして、各インク吐出部３１２において、インク加圧部によって圧力室を加圧することによりインクをノズルから噴出し、これにより印刷用紙への印刷を行なう。
しかしながら、このような従来のインクジェットヘッドにおいては、ヘッド板３１０の接着部３１１とインクタンク３２０の接着部３２１とに接着剤等を塗布して合着させることにより、ヘッド板３１０にインクタンク３２０を接着しているのであるが、この接着の際に各接着部３１１，３２１から接着剤がはみ出てインク吐出部３１２の電極等に干渉し、その動作に悪影響を与えるおそれがある。
従って、インクジェットヘッドの製造にあたり、ヘッド板３１０上において、接着部３１１とインク吐出部３１２との間に十分な距離（接着しろ）を確保する必要があり、これにより、ヘッド板３１０の高集積化が妨げられ、ヘッド板３１０すなわちインクジェットヘッドジェット（ひいてはインクジェットプリンタ）を小型化することができないという課題がある。
また、一般にヘッド板３１０は剛性が低く、特に圧電素子として薄膜ピエゾを用いた積層基板からなるヘッド板３１０はその厚さが０．２ｍｍ程度と薄いので破損し易く、特にこのヘッド板３１０にインクタンク３２０を接着する行程等において破損し易く、その取り扱いに十分な注意を要するという課題もある。
本発明は、このような課題に鑑み創案されたもので、その構造に工夫を施すことにより、ヘッド本体の集積度を向上させてインクジェットヘッドひいては印刷装置を小型化するとともに、ヘッド本体部の剛性を十分に確保できるようにすることを目的とする。
発明の開示
このため、本発明のインクジェットヘッドは、インク供給部品から供給されたインクを吐出する複数のノズルを有するインクジェットヘッドであって、ノズル毎にそなえられそれぞれインクを充塞される複数の圧力室と、これらの圧力室毎にそなえられそれぞれ圧力室を加圧して圧力室内のインクをノズルから吐出させる複数の加圧部と、インク供給部品からのインクを複数の圧力室に供給するインク供給路とを含むヘッド本体部と、このヘッド本体部にインク供給部品を接合すべくヘッド本体部から突設された接合部とをそなえ、ヘッド本体部が基板上に形成されたものであり、基板をヘッド本体部から部分的に除去することにより、インク供給路とインク供給部品のインク供給口とを連通接続するための連通路が基板に形成され、且つ、接合部が、ヘッド本体部上の基板の残存部として形成されていることを特徴としている。
また、本発明のインクジェットヘッドの製造方法によれば、インク供給部品から供給されたインクを吐出する複数のノズルを有するインクジェットヘッドの製造方法であって、ノズル毎にそなえられそれぞれインクを充塞される複数の圧力室と、これらの圧力室毎にそなえられそれぞれ圧力室を加圧して圧力室内のインクをノズルから吐出させる複数の加圧部と、インク供給部品からのインクを複数の圧力室に供給するインク供給路とを含むヘッド本体部を基板上に形成する工程と、基板をヘッド本体部から部分的に除去することにより、インク供給路とインク供給部品のインク供給口とを連通接続するための連通路を基板に形成し、且つ、ヘッド本体部上の基板の残存部を、ヘッド本体部にインク供給部品を接合するための接合部として成形する工程とを有することを特徴としている。
さらに、本発明の印刷装置によれば、インク供給部品から供給されたインクを吐出する複数のノズルを有するインクジェットヘッドをそなえた印刷装置であって、印刷装置が、ノズル毎にそなえられそれぞれインクを充塞される複数の圧力室と、これらの圧力室毎にそなえられそれぞれ圧力室を加圧して圧力室内のインクをノズルから吐出させる複数の加圧部と、インク供給部品からのインクを複数の圧力室に供給するインク供給路とを含むヘッド本体部と、ヘッド本体部にインク供給部品を接合すべくヘッド本体部から突設された接合部とをそなえて構成され、ヘッド本体部が基板上に形成されたものであり、この基板をヘッド本体部から部分的に除去することにより、インク供給路とインク供給部品のインク供給口とを連通接続するための連通路が基板に形成され、且つ、接合部が、ヘッド本体部上の該基板の残存部として形成されていることを特徴としている。
これにより、ヘッド本体部ひいてはインクジェットヘッドの剛性を十分に確保することができるほか、ヘッド本体部に直接インク供給部品のインク供給口を接続する必要がなく、ヘッド本体部にインク供給部品を接着剤等を用いて接着する場合にも、はみ出した接着剤がヘッド本体部の加圧部等に付着するおそれがないので、ヘッド本体部に接着しろを形成する必要がなく、集積度を向上させることができ、更に、インクジェットヘッドひいては印刷装置を小型化することができる利点がある。
また、ヘッド本体部の製造過程において用いられる基板部の一部（残存部）を用いてヘッド本体部にインク供給部品を接合するので、インクジェットヘッドを容易に且つ安価に製造することができ、製造コストを低減することができる利点もある。
さらに、ヘッド本体部にインク供給部品を接着剤等を用いて接着する場合にも、はみ出した接着剤がヘッド本体部の加圧部等に付着するおそれがないので、ヘッド本体部に接着しろを形成する必要がなく、集積度を向上させることができる他、インクジェットヘッドを小型化することができる利点がある。
なお、加圧部を、圧力室の一部を成す振動板と、この振動板を駆動して圧力室を加圧する圧電素子とをそなえて構成してもよく、これにより、加圧部を確実に構成することができ、インクジェットヘッドの製造容易性を向上させることができる利点がある。
さらに、基板を酸化マグネシウムにより形成してもよく、これにより、ヘッド本体部を確実に且つ容易に製造することができ、インクジェットヘッドの製造容易性を向上させることができるので製造コストを低減することができる利点がある。
また、フォトエッチング処理により基板を部分的に除去してもよく、これにより、確実に且つ容易に基板を除去することができるので、インクジェットヘッドの製造容易性を向上させることができるので製造コストを低減することができる利点がある。
発明を実施するための最良の形態
（Ａ）第１実施形態の説明
以下、図面を参照して本発明の実施の形態を説明する。
図１は本発明の第１実施形態としてのインクジェットヘッドの全体構成を示す分解斜視図、図２は本第１実施形態のインクジェットヘッドをそなえたインクジェットプリンタの構成を示す斜視図である。
インクジェットプリンタ１は、印刷用紙２００にインクを吐出することによってその表面に画像を形成する印刷装置であって、ハウジング１０内に、プラテン１２，キャリッジ１８，ノズル保守機構３６，インクジェットヘッドユニット２４，２６およびインクタンク２８，３０，３２，３４をそなえて構成されている。
プラテン１２は、本インクジェットプリンタ１における印刷用紙２００の搬送方向と直交するようにハウジング１０に回転自在に取り付けられている。又、プラテン１２は、駆動モータ１４により間欠的に回転駆動されるようになっており、これにより、印刷用紙２００を所定の送りピッチで図２中の矢印Ｗ方向に間欠的に搬送するようになっている。
また、ハウジング１０内におけるプラテン１２の上方には、プラテン１２と平行に案内ロッド１６が配設されており、更に、この案内ロッド１６にはキャリッジ１８が摺動可能に取り付けられている。
このキャリッジ１８は、案内ロッド１６と平行に配設された無端駆動ベルト２０に取り付けられ、又、この無端駆動ベルト２０は駆動モータ２２によって駆動されるようになっており、これによりキャリッジ１８はプラテン１２に沿って往復移動するようになっている。そして、このキャリッジ１８にはインクジェットヘッドユニット２４，２６がそれぞれ着脱自在に取り付けられるようになっている。
インクジェットヘッドユニット２４，２６はインクジェットヘッド１００にインクタンク２８，３０，３２，３４をそれぞれ接合されている。ここで、インクジェットヘッドユニット２４には黒色のインクが収容されたインクタンク２８が取り付けられており、又、インクジェットヘッドユニット２６には、イエローのインクが収容されたインクタンク３０，マゼンタのインクが収容されたインクタンク３２およびシアンのインクが収容されたインクタンク３４が取り付けられている。
そして、キャリッジ１８がプラテン１２に沿って往復移動される間に、インクジェットヘッドユニット２４，２６が、図示しないパーソナルコンピュータ等の上位装置から得られる画像データに基づいて駆動され、これにより印刷用紙２００上に所定の文字，画像等が形成されて印刷が行なわれる。
また、印刷停止時においては、キャリッジ１８（インクジェットヘッド２４，２６）はノズル保守機構３６が配設されている位置（ホームポジション）に移動されるようになっている。
ノズル保守機構３６は、可動吸引キャップ（図示せず）と、この可動吸引キャップに接続された吸引ポンプ（図示せず）とをそなえて構成されており、インクジェットヘッドユニット２４，２６がホームポジションに移動された時に、各インクジェットヘッドユニット２４，２６にノズル板（後述する）に吸引キャップが吸着して、吸引ポンプを駆動することにより、各ノズル板のノズルが吸引されノズルの目詰まりが未然に防止されるようになっている。
次に、図１，図３〜図７を用いて本発明の第１実施形態としてのインクジェットヘッド１００の構成について説明する。
図３は本第１実施形態のインクジェットヘッドのヘッド本体部の内部構成を説明するべく図１に示すヘッド本体部の水平断面を示す斜視図、図４は図１のＣ部を拡大して示す図、図５は図４のＡ−Ａ矢視断面図、図６は図５のＢ−Ｂ矢視断面図、図７はその接合部を示す断面図である。
本第１実施形態のインクジェットヘッド１００は、インクタンク（インク供給部）５０から供給されたインクを吐出する複数のノズル１２０（図５参照）を有するものであって、図１に示すように、ヘッド本体部３および接合部８をそなえて構成されている。
ヘッド本体部３は、図４〜図６に示すように、その内部にインク共通路１１０をそなえるとともに、複数のノズル１２０のそれぞれに、圧力室１１２，加圧部１４０およびインク供給路１１４をそなえて構成されている。
なお、本第１実施形態のインクジェットヘッド１００のヘッド本体部３は、図５に示すように、ドライフィルムレジスト１０３ａ〜１０３ｅ，振動板１０４，ステンレス板１０５ａ，１０５ｂ，ポリイミド１２６，個別電極１０９およびノズル板１０６等の複数の層を積層して構成されるものであるが、この積層による製造工程については後述する。
圧力室１１２は、インクを充塞するものであって、ノズル１２０に導通路１１６を介して連通接続されている。
加圧部１４０は、圧力室１１２を加圧してこの圧力室１１２内のインクをノズル１２０から吐出するためのものであって、振動板１０４と圧電素子１０８とによって構成されている。
振動板１０４は、例えば、クロムやニッケル等の導電性をそなえるとともにある程度の剛性を有する弾性変形可能な金属薄膜（数μｍ程度の厚さ）により形成されており、圧力室１１２の一部、具体的には、圧力室１１２における導通路１１６が形成されている面と対向する面を成している。
また、振動板１０４における圧力室１１２とは反対側の面には薄膜状の圧電素子１０８が形成されている。この圧電素子１０８はピエゾセラミック等により構成されており、これらの振動板１０４と圧電素子１０８とによりバイモルフ積層体が形成されている。
また、圧電素子１０８における振動板１０４とは反対側の面には個別電極１０９が形成されており、図示しない駆動回路から振動板１０４と個別電極１０９とに駆動信号を供給することにより各加圧部１４０において圧電素子１０８が変形して、圧力室１１２を加圧するようになっている。すなわち、各圧力室１１２毎に各加圧部１４０を駆動するための個別電極１０９をそなえているのである。
インク供給路１１４は、インクタンク５０から供給されるインクを圧力室１１２に供給するためのものであって、後述するインク共通路１１０と圧力室１１２とを連通接続するものであり、本第１実施形態においては各圧力室１１２毎に４本ずつ形成されている。
なお、このインク供給路１１４の数や配置位置についてはこれに限定するものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。
インク共通路１１０は、図３に示すように、ヘッド本体部３の内部に設けられたＵ字型の空間として形成されており、又、そのほぼ中心位置において連通路８１に連通接続されている。そして、このインク共通路１１０はインク供給路１１４およびインクタンク５０のインク供給口５１と連通接続されている。
また、インク共通路１１０およびインク供給路１１４は、圧力室１１２の急激な内部圧力変動を吸収するようにインクの流体抵抗が調節されており、又、圧力室１１２が収縮加圧されてインクを吐出した後、復帰する際にインク供給路１１４を介して圧力室１１２に必要量のインクを供給するようになっている。なお、かかるインクの供給についてもインクの流体抵抗の調節に基づいて行なわれるようになっている。
さらに、このインク共通路１１０に対して枝葉状に複数の圧力室１１２が配設されており、これらの圧力室１１２とインク共通路１１０とは前述したインク供給路１１４を介して連通接続されている。
なお、各圧力室１１２は図４および図６の矢印Ｃ方向に整列するように配設されている。
接合部８は、図１に示すように、ヘッド本体部３におけるノズル１２０が形成されている側とは反対側（ヘッド本体部３における個別電極１０９が形成されている側）の面に突出して形成されており、又、ヘッド本体部３における個別電極１０９を形成された面上においてこれらの個別電極１０９を環囲するように形成されている。
すなわち、接合部８は、個別電極１０９，接点部（後述）および配線パターン（後述）を形成された面上において、個別電極１０９を環囲するように形成されているのである。
この接合部８は、後述するごとく、酸化マグネシウム（ＭｇＯ）により生成された基板をフォトエッチング処理によりヘッド本体部３から部分的に除去することにより、ヘッド本体部３上の基板の残存部として形成されている。そして、図７に示すように、この接合部８に接着剤等を用いてインクタンク（インク供給部品）５０を接合することにより、ヘッド本体部３にインクタンク５０（インクタンク固定用部材）を接合するのである。
なお、この接合部８に接合するのは上述のごときインクタンク５０に限定するものではなく、例えば、インクタンク５０を着脱自在にそなえることができる部材（インクタンク固定用部材；図示せず）であってもよい。
また、この接合部８は、図５および図７に示すように、上方に行くほどの幅が狭くなるような断面形状を有しており、これによりインクタンク５０等との接着面からはみ出した接着剤がその斜面により保持され、はみ出した接着剤がヘッド本体部３に到達することを防ぐことができるようになっている。
ヘッド本体部３における個別電極１０９が形成された面上において、ヘッド本体部３の外縁部付近、具体的には接合部８よりも外側には、複数の接点部１２１が形成されている。
これらの接点部１２１は個別電極１０９毎に形成されており、更に、これらの接点部１２１と個別電極１０９とは、それぞれ薄膜形成された配線パターン１２３により電気的に接続されている。
そして、これらの接点部１２１は、加圧部１４０を制御するための信号を供給するＦＰＣ（Ｆｌｅｘｉｂｌｅ Ｐｒｉｎｔｅｄ Ｃｉｒｃｕｉｔ Ｂｏａｒｄ：外部接続配線部材）２に、ＴＡＢ（Ｔａｐｅ Ａｕｔｏｍａｔｅｄ Ｂｏｎｄｉｎｇ）方式により電気的に接続されるようになっている。
なお、振動板１０４上における圧電素子１０８や個別電極１０９不在の領域には、ポリイミド１２６を配設して電気的に絶縁している。
次に、各個別電極１０９と接点部１２１とを電気的に接続する配線パターン１２３の形状について、図８〜図１０を用いて説明する。
図８〜図１０はそれぞれ配線パターン１２３の形状を説明するための図であり、図８は本発明の第１実施形態としてのインクジェットヘッドの配線パターンの要部を拡大して示す平面図、図９は図８のＡ−Ａ線に沿う断面図、図１０は図８のＢ−Ｂ線に沿う断面図である。
なお、図９および図１０中においては、便宜上、ドライフィルムレジスト１０３ａ〜１０３ｅやステンレス板１０５ａ，１０５ｂ等による積層構造の図示を省略している。
各接点部１２１は図８に示すように、ヘッド本体部３における個別電極１０９等が形成されている面上において、接合部８よりも外側（周縁側）に形成されており、これらの接点部１２１と各個別電極１０９とは、それぞれ配線パターン１２３により電気的に接続されている。
配線パターン１２３は、後述する如く、ヘッド本体部３上に個別電極１０９および接点部１２１とともにパターニングにより形成されており、これにより個別電極１０９および接点部１２１と同一面上に同一材料により一体的に薄膜形成されている。
そして、これらの配線パターン１２３は、図８〜図１０に示すように、それぞれ各個別電極１０９の長手方向（図８中では左右方向）とほぼ平行に、各個別電極１０９（圧力室１１２）どうしの間を通るように配設されており、更に、各配線パターン１２３は、図９に示すように、接合部８の下側、すなわち、ヘッド本体部３と接合部８との間を通過するように配設されている。
また、ヘッド本体部３においては、図８に示すように、ヘッド本体部３における個別電極１０９等が形成されている側の面上において、接合部８よりも外側であってヘッド本体部３の隅部付近に振動板１０４が露出しており、これにより接点部１２７を形成している。
そして、これらの接点部１２１，１２７にＦＰＣ２がＴＡＢ等の方式によって電気的に接続されるようになっており、これにより、図７に示すように接合部８にインクタンク５０（インクタンク固定用部材）を接合した場合にもその影響を受けることなく、加圧部１４０を制御するための信号を供給するＦＰＣ２に各個別電極１０９および振動版１０４を電気的に接続することができるようになっている。
なお、この接点部１２７においては、他の接点部１２１よりも圧電素子１０８および個別電極１０９の厚さ分だけ低くなっているが、例えば、圧電素子１０８の厚さは２〜３μｍ程度であり、又、個別電極１０９の厚さは０．２μｍ程度と十分に薄いのでＦＰＣ２等を圧着接続するうえで影響はない。
次に、図１１〜図１４を用いて本発明のインクジェットヘッドの製造方法について説明する。図１１は本第１実施形態のインクジェットヘッドの製造方法を説明するための図、図１２〜図１４はその製造方法を説明するためのフローチャートである。
さて、本第１実施形態のインクジェットヘッド１００は、ドライフィルムレジストを用いたパターニング手法を用いて製造するものであって、３層を別々に形成してからこれらを約１５０℃で加熱して二重接合してキュアすることにより行なう（図１２のステップＡ１０〜Ａ４０）。なお、図１１中においては、便宜上隣接する２つの圧力室の部分のみを図示する。又、図１２に示すステップＡ１０〜Ａ４０の各行程については、それぞれ他のステップに先立って行なってもよく、又、並行して行なってもよい。
先ず、図１１（Ａ）および図５に示すように、ノズル１２０を穿孔されたノズル板１０６（（Ａ）層）をステンレス（ＳＵＳ）等の金属によりマイクロプレス加工により形成する（ステップＡ１０）。各ノズル１２０は、ピンを使用したパンチ（図示せず）等により、好ましくは、ノズル板１０６の前面１０６ａから（ステンレス板１０５ｂに接合される）後面１０６ｂに向かって広がる円錐状（断面的にテーパー状）に加工する。
ここで、ステンレス板１０５ｂとノズル板１０６とを一体的に構成せずにステンレス板１０５ｂにノズル板１０６を接合することにより、かかる円錐状のノズル１２０を形成することができる。
次に、図１１（Ｂ）に示すように、ステンレス板１０５ｂにドライフィルムレジストをラミネートした（Ｂ）層を形成する（図１２のステップＡ２０）。より詳細には、図１３に示すステップＢ１０〜Ｂ５０に従って（Ｂ）層が形成される。
まず、図１１（Ｂ）▲１▼に示すように、剛性のあるステンレス板１０５ｂをエッチングして導通路１１６およびインク共通路１１０を形成する（図１３のステップＢ１０）。なお、エッチングに必要な装置等は当業者には明らかであるのでその詳細な説明は省略する。
次に、図１１（Ｂ）▲２▼に示すように、ステンレス板１０５ｂに１層目のドライフィルムレジスト１０３（図５中のドライフィルムレジスト１０３ｅに相当）をラミネートして圧力室１１２とインク共通路１１０とに相当する部分をマスク処理により露光する（図１３のステップＢ２０）。
なお、ドライフィルムレジストのラミネートおよび露光を実現するための装置に関しては当業者にとって明らかであるのでその詳細な説明は省略する。
また、ドライフィルムレジスト１０３を用いる場合には、剛性を有する部材（例えば、ステンレス板１０５ｂ，ノズル板１０６，ＭｇＯ基板１２２等）を基板として使用し、その上にラミネートした後接合することが望ましい。又、剛性を有する部材としては、上述したステンレス板やＭｇＯ基板に限定されることはなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。
次に、図１１（Ｂ）▲３▼に示すように、２層目のドライフィルムレジスト１０３（図５中のドライフィルムレジスト１０３ｄに相当）を１層目のドライフィルムレジスト１０３（１０３ｅ）上にラミネートして圧力室１１２，インク供給路１１４およびインク共通路１１０に相当する部分をマスク処理により露光する（図１３のステップＢ３０）。
さらに、図１１（Ｂ）▲４▼に示すように、ステンレス板１０５ｂの裏面にドライフィルムレジストを接着層としてラミネートして導通路１１６とインク共通路１１０に相当する部分をマスク処理により露光する（図１３のステップＢ４０）。なお、便宜上、図５中においてはこの接着層を省略している。
そして、基板の両面のドライフィルムレジストを現像することにより、図１１（Ｂ）▲５▼に示すように、（Ｂ）層を形成する（図１３のステップＢ５０）。
また、図１１（Ｃ）に示すような、バイモルフ積層体とドライフィルムレジストとをラミネートして形成される（Ｃ）層を形成する（図１２のステップＡ３０）。
（Ｃ）層は、ドライフィルムレジストを３層そなえて構成されており、図１２のステップＡ３０は、より詳細には図１４に示すステップＣ１０〜Ｃ７０からなる。
まず、図１１（Ｃ）▲１▼に示すように、ＭｇＯ基板１２２上に個別電極１０９，接点部１２１および配線パターン１２３をパターニングした後（図１４のステップＣ１０）、その上に、圧電素子１０８と振動板１０４とからなるバイモルフ積層体１２５を形成する（図１４のステップＣ２０）。
具体的には、ＭｇＯ基板１２２の格子方向に単層である圧電素子１０８を、スパッタリングによってＭｇＯ基板１２２の一面に亘って成長させる手法により薄膜状に形成した後、圧電素子１０８上に、その一面に亘ってクロム膜を、スパッタリング又はメッキ等によって成長させる手法によりバイモルフ積層体１２５を形成する。
このとき、ＭｇＯ基板１２２の全面に形成した圧電素子１０８上にレジストを塗布した後、各圧力室１１２に対応する圧電素子１０８の加工パターンをパターニングし、更に、不要な圧電素子１０８をエッチングにより除去する。
そして、ＭｇＯ基板１２２における圧電素子１０８が形成された面全体にわたって感光性液状ポリイミドを塗布した後ＭｇＯ基板１２２における圧電素子１０８が形成されている面とは反対側の面から全面に露光することによりＭｇＯ基板１２２直上のポリイミドのみを感光する。
その後、感光性液状ポリイミドを現像して、圧電素子１０８上の未露光のポリイミドを除去することにより、振動板１０４上における圧電素子１０８および個別電極１０９が不在の領域にのみポリイミド１２６を配置する。
なお、ＭｇＯ基板１２２上に圧電素子１０８および振動板１０４を形成することにより、バイモルフ積層体１２５を安定して形成することができるほか、後述するドライフィルムレジスト１０３ａ〜１０３ｃを安定して形成することができる。
また、圧電素子１０８として積層構造を有する圧電素子を使用する場合には、例えば、複数枚のグリーンシートの各々をセラミックの粉末等の溶剤に混練してペースト状にした後、ドクターブレードにより５０μｍ程度に薄膜構成することにより形成する。ここで、圧電素子１０８の材質として、一般に圧電素子の材料であるＢａ，ＴｉＯ_３，ＰｂＴｉＯ_３，（ＮａＫ）ＮｂＯ_３等の強誘電体を用いてもよい。
この場合、複数枚（例えば１２枚）のグリーンシートのうち３枚のグリーンシートの一面に、それぞれ第１の内部電極パターンを印刷・形成する一方で、これらのグリーンシートとは別の３枚のグリーンシートの一面に、それぞれ第２の内部電極パターンを印刷・形成する。なお、第１および第２の内部電極の印刷は、銀とパラジウムの合金を粉状にしたものに溶剤を混ぜてペースト状にしたものを塗布して、パターン形成することにより行なわれる。
そして、第１の内部電極を形成した３枚のグリーンシートと、第２の内部電極を形成した３枚のグリーンシートとを交互に張り合わせた後、６枚の内部電極を形成しないグリーンシートを張り合わせることにより、圧電素子の積層構造を形成し、これらのグリーンシートを積層した状態で焼成するのである。この場合において、内部電極を有しないグリーンシートが基板部として機能する。
次に、図１１（Ｃ）▲２▼に示すように、振動板１０４上に１層目のドライフィルムレジスト１０３（図５に示すドライフィルムレジスト１０３ａに相当）をラミネートした後、圧力室１１２に相当する部分をマスク処理により露光する（図１４のステップＣ３０）。
そして、図１１（Ｃ）▲３▼に示すように、２層目のドライフィルムレジスト１０３（図５に示すドライフィルムレジスト１０３ｂに相当）を１層目のドライフィルムレジスト１０３ａ上にラミネートした後、圧力室１１２およびインク共通路１１０に相当する部分をマスク処理により露光する（図１４のステップＣ４０）。
さらに、図１１（Ｃ）▲４▼に示すように、３層目のドライフィルムレジスト１０３（図５に示すドライフィルムレジスト１０３ｃに相当）を２層目のドライフィルムレジスト１０３ｂ上にラミネートした後、圧力室１１２，インク供給路１１４およびインク共通路１１０に相当する部分をマスク処理により露光する（図１４のステップＣ５０）。
次に、図１１（Ｃ）▲５▼に示すように、ドライフィルムレジストの現像を行ない（図１４のステップＣ６０）、ＭｇＯ基板１２２上に、図５における圧電素子１０８〜ドライフィルムレジスト１０３ｃをラミネートして形成された積層体を形成した後、図１１（Ｃ）▲６▼に示すように、予め圧力室１１２およびインク共通路１１０に相当する部分をエッチングにより除去したステンレス板１０５ａをドライフィルムレジスト１０３ｃ上に接合する（図１４のステップＣ７０）。
なお、本第１実施形態においては、図１１に示すように、（Ａ）層〜（Ｃ）層における接合面は、（Ａ）層と（Ｂ）層との間および（Ｂ）層と（Ｃ）層との間の２カ所であるので、２層のステンレス板１０５ａ，１０５ｂをそなえている。
そして、（Ａ）層〜（Ｃ）層を接合してキュアする（図１２のステップＡ４０）。
なお、ステンレス板１０５ａをそなえているので、（Ｃ）層を（Ｂ）層に接合する際に、ドライフィルムレジスト１０３ｃ等がドライフィルムレジスト１０３ｄに流れ込むことを防止するようになっている。
その後、加圧加熱することによりドライフィルムレジスト１０３ａ〜１０３ｅを硬化して、ＭｇＯ基板１２２からノズル板１０６までを一体化する。
そして、ＭｇＯ面にレジストを塗布して接合部８の形状に合わせた所定の形状でパターニング露光を行なった後このレジストを現像し、更に、ＭｇＯ基板１２２のうち不要な部分をエッチング除去することにより、接合部８をヘッド本体部３上のＭｇＯ基板（基板）１２２の残存部として形成する。
このようにして形成したヘッド本体部３における接点部１２１，１２７を、ＦＰＣ２とＡｕバンプにより結線することにより電気的に接続した後、樹脂モールド等により形成されたインクタンク（インク供給部品）５０もしくはインクタンク固定用部材を接合部８に接着剤等を用いて接着・硬化させてインクジェットヘッド１００を完成させる。
なお、ＭｇＯ基板１２２を除去して接合部８を形成する工程については、（Ａ）層〜（Ｃ）層を接合してキュアした後に限定されるものではなく、例えば、（Ｃ）層を形成した後に行なってもよく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。
本第１実施形態としてのインクジェットヘッド１００における各部の寸法としては、例えば、以下のようなものが挙げられる。ここで、Ｌは長さを、又、Ｗは幅を、ｔは厚さ（深さ）をそれぞれ示すものとする。
・個別電極：Ｌ×Ｗ×ｔ＝１７００（μｍ）×７０（μｍ）×０．２（μｍ）
・配線パターン：Ｗ×ｔ＝５（μｍ）×０．２（μｍ）
（ただし、長さは各素子毎で異なる）
・圧電素子（ピエゾ）：Ｌ×Ｗ×ｔ＝１７００（μｍ）×７０（μｍ）×３（μｍ）
・振動板：ｔ＝２（μｍ）
・圧力室：Ｌ×Ｗ×ｔ＝１７００（μｍ）×１００（μｍ）×１３０（μｍ）
・インク供給路：Ｌ×Ｗ×ｔ＝１２５（μｍ）×１５（μｍ）×３０（μｍ）
・導通路：φ８０（μｍ）×６０（μｍ）
・ノズル：φ２０（μｍ）×２０（μｍ）
・連通路：Ｌ×Ｗ×ｔ＝１３（ｍｍ）×１（ｍｍ）×０．１９（ｍｍ）
・ＭｇＯ基板：Ｗ×ｔ＝２０（ｍｍ）×０．３（ｍｍ）
・ＭｇＯエッチングテーパ角：４５（ｄｅｇ）
（ただし、この値はエッチング条件によって異なるものであり、本第１実施形態においてはリン酸５０％溶液にて８０℃×（ｈ）を適用し、同値を得た。）
・ノズルピッチ：１／１５０（ｉｎｃｈ）
・ノズル数：６４（個）
本発明の第１実施形態としてのインクジェットヘッド１００は上述のごとく構成されているので、印刷を行なう場合には、インクタンク５０に保持されているインクを、インク供給口５１および連通路８１を介してインク共通路１１０に供給し、更に、このインク共通路１１０からインク供給路１１４を介して各圧力室１１２にインクを供給する。
そして、ＦＰＣ２を介して図示しない駆動回路等により作成した駆動信号を接点部１２１，１２７に送信し、インク加圧部１４０によって圧力室１１２を加圧することによりノズル１２０から噴出し、これにより印刷用紙２００への印刷を行なう。
このように、本発明の第１実施形態のインクジェットヘッド１００によれば、接合部８によりヘッド本体部３の剛性を上げることができるので、インクジェットヘッド１００の製造に際しても、ヘッド本体部３が破損し難く、その生産性を向上することができる。
また、ヘッド本体部３にインクタンク５０もしくはインクタンク固定用部材に容易に接合することができる。
さらに、個別電極１０９と接点部１２１とを薄膜形成した配線パターン１２３により電気的に接続しているので、これらをワイヤボンディング等による空中配線等を行なう必要がなく、これにより、ノズルの実装密度を上げることができ、インクジェットヘッドを小型化することができるとともに、ワイヤボンディング時にヘッド本体部３を損傷させるおそれもなく、更に、配線間に短絡が生じるおそれもない。
またさらに、接合部８を、ヘッド本体部３における個別電極１０９，接点部１２１，１２７、および配線パターン１２３が形成された面上において、個別電極１０９を環囲するような枠状に形成するとともに、接点部１２１，１２７を接合部８よりも外側に配置することにより、ＦＰＣ２と個別電極１０９とを容易に且つ確実に電気的に接続することができる。
また、ヘッド本体部３にインクタンク５０もしくはインクタンク固定用部材を接合する場合に、その接着しろを小さくすることができるので、ヘッド本体部３を小さくすることができインクジェットヘッド、ひいては印刷装置（インクジェットプリンタ）を小型化することができる。
さらに、各個別電極１０９と接点部１２１との間の電気的接続に際して、配線パターン１２３を接合部８とヘッド本体部３との間を通過するように配設しているので、接合部８の影響を受けることなく、加圧部１４０を制御するための信号を供給するＦＰＣに各個別電極１０９を電気的に接続することができる。
また、ヘッド本体部３をＭｇＯ基板１２２上に形成するとともに、このＭｇＯ基板１２２をヘッド本体部３から部分的に除去することによりインク共通路１１０を形成し、更に、接合部８をヘッド本体部３上のＭｇＯ基板１２２の残存部として形成しているので、接合部８を容易に且つ安価に作成することができる。
（Ｂ）第１実施形態の第１変形例の説明
図１５および図１６は第１実施形態におけるインクジェットヘッドの第１変形例を説明するための図であり、図１５は本発明の第１実施形態の第１変形例としてのインクジェットヘッドのヘッド本体部の構成を示す斜視図、図１６は図１５に示すヘッド本体部の水平断面を示す斜視図である。
なお、図中、既述の符号と同一の符号は同一もしくはほぼ同一の部分を示しているので、その詳細な説明は省略する。
図１５に示すように、本第１変形例のインクジェットヘッド１００ａも、上述した第１実施形態のインクジェットヘッド１００と同様に、インクタンク（インク供給部；図示省略）から供給されたインクを吐出する複数のノズル（図示省略）を有するものであって、ヘッド本体部３ａおよび接合部８ａをそなえて構成されている。
このインクジェットヘッド１００ａは、第１実施形態のインクジェットヘッド１００における円形に開口した連通路８１に代えて、ヘッド本体部３ａのほぼ全幅（図１５中においては紙面左右方向）にわたって形成された矩形形状に開口した連通路８１ａをそなえている。そして、ヘッド本体部３ａは、この連通路８１ａを介してインクタンクに接続されるようになっている。
また、ヘッド本体部３ａは、その内部にインク共通路１１０ａをそなえるとともに、複数のノズルのそれぞれに、圧力室１１２，加圧部１４０，インク供給路１１４をそなえて構成されている。
インク共通路１１０ａは、図１６に示すように、ヘッド本体部３ａのほぼ全幅にわたって形成された第１インク共通路１１０ａ−１とこの第１インク共通路１１０ａ−１と直交する互いに平行な２つの第２インク共通路１１０ａ−２をそなえて構成されている。
そして、これらの第２インク共通路１１０ａ−２には、各第２インク共通路１１０ａ−２を挟んで対向する位置にそれぞれ枝葉状に複数の圧力室１１２が配設されており、各圧力室１１２とインク共通路１１０ａ（第２インク共通路１１０ａ−２）とはインク供給路１１４を介して連通接続されている。
なお、インク共通路１１０ａにおいても、上述のインク共通路１１０と同様に、圧力室１１２の急激な内部圧力変動を吸収するようにインクの流体抵抗が調節されており、又、圧力室１１２が収縮加圧されてインクを吐出した後、復帰する際にインク供給路１１４を介して圧力室１１２に必要量のインクを供給する。なお、かかるインクの供給についてもインクの流体抵抗の調節に基づいて行なわれるようになっている。
また、ヘッド本体部３ａにおいても、各圧力室１１２は一方方向に整列するように配設されており、又、圧力室１１２は、インクを供給されてこれを収納すると共に、内部圧力が高まるとインクを導通路１１６を介してノズルから吐出するようになっている。
接合部８ａは、図１５に示すように、ヘッド本体部３ａにおけるノズルが形成されている側とは反対側（ヘッド本体部３ａにおける個別電極１０９が形成されている側）の面に突出して形成されており、又、ヘッド本体部３ａにおける個別電極１０９を形成された面上においてこれらの個別電極１０９を環囲するように形成されている。
すなわち、接合部８ａは、個別電極１０９，接点部１２１および配線パターン（図示省略）を形成された面上において、個別電極１０９を環囲するように形成されているのである。
また、接合部８ａの一部は、連通路８１ａを環囲するように形成されている。
そして、この接合部８ａに接着剤等を用いてインクタンク（インク供給部品）もしくはインクタンク固定用部材を接合することにより、ヘッド本体部３ａにインクタンクを接合するのであるが、接合部８ａにインクタンクを接合した時においても、連通路８１ａに供給されるインクタンクからのインクが個別電極１０９側に流出することが無いようになっている。
なお、接合部８ａも第１実施形態のインクジェットヘッド１００における接合部８と同様に、上方に行くほどの幅が狭くなるような断面形状を有しており、これにより接着面からはみ出した接着剤がその斜面により保持され、はみ出した接着剤がヘッド本体部３ａに到達することを防ぐことができるようになっている。
また、この接合部８ａは、上述した接合部８と同様に、酸化マグネシウム（ＭｇＯ）により生成された基板をフォトエッチング処理によりヘッド本体部３ａから部分的に除去することにより、ヘッド本体部３ａ上の基板の残存部として形成されている。
また、ヘッド本体部３ａにおける個別電極１０９が形成された面上において、ヘッド本体部３の外縁部付近、具体的には接合部８ａよりも外側には、第１実施形態のインクジェットヘッド１００におけるヘッド本体部３と同様に、複数の接点部１２１が形成されている。
本発明の第１実施形態の第１変形例としてのインクジェットヘッド１００ａは上述のごとく構成されているので、接合部８ａにインクタンクもしくはインクタンク固定用部材を接着剤等を用いて接合する場合において、接合部８ａとインクタンクとの間から接着剤がはみ出た場合でも、その接着剤が個別電極１０９等の加圧部１４０まで到達することがないので、その加圧動作を妨げることがなく、インクジェットヘッドによる印刷品質を向上させることができる。
次に、インクタンクのインク供給口から連通路８１ａを介してヘッド本体部３ａにインクを供給すると、このインクが第１インク共通路１１０ａ−１および第２インク共通路１１０ａ−２を通過し、更に、各インク供給路１１４を介して各圧力室１１２に供給される。
そして、図示しない駆動回路等によってＦＰＣ（図示省略）を介して各個別電極１０９に駆動信号を供給することにより、加圧部１４０によって圧力室１１２を加圧して各ノズルからインクを吐出するのである。
このように、本発明の第１実施形態としてのインクジェットヘッドの第１変形例によれば、上述した第１実施形態と同様の作用効果を得ることができる他、インクタンクからのインクを、ヘッド本体部３ａのほぼ全幅にわたって形成された矩形断面の連通路８１ａおよびインク共通路１１０ａ−１を介してヘッド本体部３ａへ供給するので、インク共通路１１０における末端部、すなわち、インク共通路１１０ａ−２におけるインク共通路１１０ａ−１に接続されている側とは反対側付近に配設されている圧力室１１２に対してもインクを安定して供給することができる。
すなわち、各圧力室１１２内のインク圧力を均等にすることができるので、これにより、各ノズルから吐出されるインクの吐出量等を均一にすることができるので印刷品質を向上させることができる。
（Ｃ）第１実施形態の第２変形例の説明
図１７および図１８は第１実施形態におけるインクジェットヘッドの第２変形例を説明するための図であり、図１７は本発明の第１実施形態の第２変形例としてのインクジェットヘッドのヘッド本体部の構成を示す斜視図、図１８は図１７に示すヘッド本体部の水平断面を示す斜視図である。
なお、図中、既述の符号と同一の符号は同一もしくはほぼ同一の部分を示しているので、その詳細な説明は省略する。
図１７に示すように、本第２変形例のインクジェットヘッド１００ｂも、上述した第１実施形態のインクジェットヘッド１００と同様に、インクタンク（インク供給部；図示省略）から供給されたインクを吐出する複数のノズル（図示省略）を有するものであって、ヘッド本体部３ｂおよび接合部８ｂをそなえて構成されている。
このインクジェットヘッド１００ｂは、第１実施形態のインクジェットヘッド１００における円形に開口した連通路８１に代えて、ヘッド本体部３ｂの縦方向（図１７中においては接点部１２１が形成されている側面と平行な方向）のほぼ全長にわたって、矩形形状に開口した２つの連通路８１ｂが互いに平行に形成されている。そして、ヘッド本体部３ｂは、これらの連通路８１ｂを介してインクタンクに接続されるようになっている。
また、ヘッド本体部３ｂは、複数のノズルのそれぞれに、圧力室１１２，加圧部１４０，インク供給路１１４をそなえて構成されている。
ヘッド本体部３ｂ内には、図１８に示すように、ヘッド本体部３ｂの縦方向（図１７中においては接点部１２１が形成されている側面と平行な方向）のほぼ全長にわたって、互いに平行に形成された２つのインク共通路１１０ｂが形成されている。
そして、これらの２つのインク共通路１１０ｂには、各インク共通路１１０ｂを挟んで対向する位置にそれぞれ枝葉状に複数の圧力室１１２が配設されており、各圧力室１１２と各インク共通路１１０ｂとはインク供給路１１４を介して連通接続されている。
なお、インク共通路１１０ｂにおいても、上述の第１実施形態のインクジェットヘッド１００におけるインク共通路１１０と同様に、圧力室１１２の急激な内部圧力変動を吸収するようにインクの流体抵抗が調節されており、又、圧力室１１２が収縮加圧されてインクを吐出した後、復帰する際にインク供給路１１４を介して圧力室１１２に必要量のインクを供給する。なお、かかるインクの供給についてもインクの流体抵抗の調節に基づいて行なわれるようになっている。
また、各圧力室１１２は、インクを供給されてこれを収納すると共に、内部圧力が高まるとインクを導通路１１６を介してノズル１２０から吐出するようになっており、又、本インクジェットヘッド１００ｂのヘッド本体部３ｂにおいても、各圧力室１１２は一方方向に整列するように配設されており、図１７に示すように、各圧力室１１２はインク共通路１１０ｂ（連通路８１ｂ）に直交するように互いに平行に配設されている。
接合部８ｂは、図１７に示すように、ヘッド本体部３ｂにおけるノズルが形成されている側とは反対側（ヘッド本体部３ｂにおける個別電極１０９が形成されている側）の面に突出して形成されており、又、ヘッド本体部３ａにおける個別電極１０９を形成された面上においてこれらの個別電極１０９を環囲するように形成されている。
すなわち、接合部８ｂは、個別電極１０９，接点部１２１および配線パターン（図示省略）を形成された面上において、個別電極１０９を環囲するように形成されているのである。
また、接合部８ｂの一部は、連通路８１ｂを環囲するように形成されている。
そして、この接合部８ｂに接着剤等を用いてインクタンク（インク供給部品）もしくはインクタンク固定用部材を接合することにより、ヘッド本体部３ｂにインクタンクを接合するのであるが、接合部８ｂにインクタンクを接合した時においても、各連通路８１ｂに供給されるインクタンクからのインクが個別電極１０９側に流出することが無いようになっている。
なお、接合部８ｂも第１実施形態のインクジェットヘッド１００における接合部８と同様に、上方に行くほどの幅が狭くなるような断面形状を有しており、これにより接着面からはみ出した接着剤がその斜面により保持され、はみ出した接着剤がヘッド本体部３ｂに到達することを防ぐことができるようになっている。
また、この接合部８ｂは、上述した接合部８と同様に、酸化マグネシウム（ＭｇＯ）により生成された基板をフォトエッチング処理によりヘッド本体部３ｂから部分的に除去することにより、ヘッド本体部３ｂ上の基板の残存部として形成されている。
また、ヘッド本体部３ａにおける個別電極１０９が形成された面上において、ヘッド本体部３の外縁部付近、具体的には接合部８ｂよりも外側には、第１実施形態のインクジェットヘッド１００におけるヘッド本体部３と同様に、複数の接点部１２１が形成されている。
本発明の第１実施形態の第２変形例としてのインクジェットヘッドは上述のごとく構成されているので、先ず、接合部８ｂにインクタンクもしくはインクタンク固定用部材を接着剤等を用いて接合した後、インクタンクのインク供給口から連通路８１ｂを介してヘッド本体部３ｂにインクを供給すると、このインクがインク共通路１１０ｂを通過し、更に、各インク供給路１１４を介して各圧力室１１２に供給される。
そして、図示しない駆動回路等によってＦＰＣ（図示せず）を介して各個別電極１０９に駆動信号を供給することにより、加圧部１４０によって圧力室１１２を加圧して各ノズルからインクを吐出するのである。
このように、本発明の第１実施形態のインクジェットヘッドの第２変形例によっても上述した第１実施形態と同様の作用効果を得ることができる他、インクタンクから各圧力室１１２までのインクの供給距離が、各圧力室１１２間で等しいので、各圧力室１１２へのインク供給を安定させることができる。これにより、各ノズルから吐出されるインクの吐出量等を均一にすることができるので印刷品質を向上させることができる。
（Ｄ）第１実施形態の第３変形例の説明
図１９（ａ），（ｂ）は第１実施形態におけるインクジェットヘッドの第３変形例を説明するための図であり、図１９（ａ）は本発明の第１実施形態の第３変形例としてのインクジェットヘッドにおけるインクタンクの形状を説明すべくそのインクタンクを示す斜視図、図１９（ｂ）は本発明の第１実施形態の第３変形例としてのインクジェットヘッドのヘッド本体部の構成を示す斜視図である。
なお、図中、既述の符号と同一の符号は同一もしくはほぼ同一の部分を示しているので、その詳細な説明は省略する。
図１９（ｂ）に示すように、本第３変形例のインクジェットヘッド１００ｃは、複数色（本変形例ではイエロー，マゼンタ，シアンの３色）のインクを用いてカラー印刷を行なうためのものであって、各色のインクを吐出するためのノズル（図示せず）をそれぞれ有するものであり、ヘッド本体部３ｃおよび接合部８ｃをそなえて構成されている。
ヘッド本体部３ｃは、複数のノズルのそれぞれに、圧力室１１２，加圧部１４０，インク供給路１１４をそなえて構成されている。
そして、このインクジェットヘッド１００ｃは、接合部８ｃにより、イエロー，マゼンタ，シアンの３色のインクを保持するインクタンク（インク供給部品）５０ａに接合されるようになっている。
インクタンク５０ａは、図１９（ａ）に示すように、使用するインクの数に応じた数（本第３変形例では３つ）のインク室５２−１〜５２−３をそなえて形成されている。これらの各インク室５２−１〜５２−３の間は隔壁により仕切られており、各インク室５２−１〜５２−３には、それぞれ異なる種類（色）のインクが充填されている。本第３変形例においては、例えば、インク室５２−１にイエロー、インク室５２−２にシアン、インク室５２−３にはマゼンタのインクがそれぞれ充填されている。
また、各インク室５２−１〜５２−３はインクを供給するためのインク供給口５１ａをそれぞれそなえており、これらのインク供給口５１ａは互いに平行に配設されている。すなわち、インクタンク５１ａは、互いに平行に配設された３つのインク供給口５１ａをそなえているのである。
インクジェットヘッド１００ｃのヘッド本体部３ｃには、図１９（ｂ）に示すように、ヘッド本体部３ｃの縦方向（図１９（ｂ）中においては接点部１２１が形成されている側面と平行な方向）のほぼ全長にわたって、互いに平行に形成された第２変形例のインクジェットヘッド１００ｂと同様の連通路８１ｂが３つ形成されており、更に、ヘッド本体部３ｃ内には、各連通路８１ｂとほぼ同一の断面形状を有するインク共通路１１０ｃが３つ形成されている。
さらに、これらの３つのインク共通路１１０ｃには、各インク共通路１１０ｃを挟んで対向する位置にそれぞれ枝葉状に複数の圧力室１１２が配設されており、各圧力室１１２と各インク共通路１１０ｃとはインク供給路１１４を介して連通接続されている。
すなわち、ヘッド本体部３ｃは、これらの連通路８１ｂを介して、図１９（ｂ）に示すようなインクタンク５０ａに接続されるようになっている。
なお、インク共通路１１０ｃにおいても、上述の第１実施形態のインクジェットヘッド１００におけるインク共通路１１０と同様に、圧力室１１２の急激な内部圧力変動を吸収するようにインクの流体抵抗が調節されており、又、圧力室１１２が収縮加圧されてインクを吐出した後、復帰する際にインク供給路１１４を介して圧力室１１２に必要量のインクを供給する。なお、かかるインクの供給についてもインクの流体抵抗の調節に基づいて行なわれるようになっている。
また、各圧力室１１２は、インクを供給されてこれを収納すると共に、内部圧力が高まるとインクを導通路１１６を介してノズル１２０から吐出するようになっており、又、本インクジェットヘッド１００ｃのヘッド本体部３ｃにおいても、各圧力室１１２は一方方向に整列するように配設されており、図１９（ｂ）に示すように、各圧力室１１２はインク共通路１１０ｃに直交するするように互いに平行に配設されている。
接合部８ｃは、図１９（ｂ）に示すように、ヘッド本体部３ｃにおけるノズルが形成されている側とは反対側（ヘッド本体部３ｃにおける個別電極１０９が形成されている側）の面に突出して形成されており、又、ヘッド本体部３ｃにおける個別電極１０９を形成された面上においてこれらの個別電極１０９を環囲するように形成されている。
すなわち、接合部８ｃは、個別電極１０９，接点部１２１および配線パターン１２３を形成された面上において、個別電極１０９を環囲するように形成されているのである。
また、接合部８ｃの一部は、連通路８１ｃを環囲するように形成されている。
そして、この接合部８ｃに接着剤等を用いてインクタンク（インク供給部品）５０ａもしくはインクタンク固定用部材を接合することにより、ヘッド本体部３ｃにインクタンク５０ａを接合するのであるが、接合部８ｃにインクタンク５０ａを接合した時においても、各連通路８１ｂに供給されるインクタンク５０ａからのインクが個別電極１０９側に流出することが無いようになっている。
なお、接合部８ｃも第１実施形態のインクジェットヘッド１００における接合部８と同様に上方に行くほどその幅が狭くなるような形状を有しており、これにより接着面からはみ出した接着剤がその斜面により保持され、はみ出した接着剤がヘッド本体部３ｃに到達することを防ぐことができるようになっている。
また、この接合部８ｃは、前述した接合部８等と同様に、酸化マグネシウム（ＭｇＯ）により生成された基板をフォトエッチング処理によりヘッド本体部３ｃから部分的に除去することにより、ヘッド本体部３ｃ上の基板の残存部として形成されている。
また、ヘッド本体部３ｃにおける個別電極１０９が形成された面上において、ヘッド本体部３の外縁部付近、具体的には接合部８ｃよりも外側には、第１実施形態のインクジェットヘッド１００におけるヘッド本体部３と同様に、複数の接点部１２１が形成されている。
本発明の第１実施形態の第３変形例としてのインクジェットヘッドは上述のごとく構成されているので、先ず、接合部８ｃにインクタンク５０ａを接着剤等を用いて接合した後、インクタンク５０ａの各インク供給口５１ａから各連通路８１ｂを介して各色のインクをそれぞれヘッド本体部３ｃに供給すると、これらのインクがインク共通路１１０ｃを通過し、更に、各インク供給路１１４を介して各圧力室１１２に供給される。
そして、図示しない駆動回路等によってＦＰＣ（図示省略）を介して各個別電極１０９に駆動信号を供給することにより、加圧部１４０によって圧力室１１２を加圧して各ノズルからインクを吐出するのである。
このように、本発明の第１実施形態のインクジェットヘッドの第３変形例によっても上述した第２変形例と同様の作用効果を得ることができる他、複数色のインクを用いて印刷を行なう場合においても、各ノズルから吐出されるインクの吐出量等を均一にすることができるので印刷品質を向上させることができる。
また、接合部８ｃにより隣合う連通路８１ｃを仕切るようになっているので、これにより、多色印刷可能なマルチノズルインクジェットヘッド（インクジェットヘッド１００ｃ）において各ノズル１２０の位置精度を高く形成することができるとともに、これらのノズル１２０を高密度に形成でき、インクジェットヘッドひいては印刷装置（インクジェットプリンタ）を小型化することができる。
（Ｅ）第１実施形態の第４変形例の説明
図２０〜図２２は本発明の第１実施形態の第４変形例としてのインクジェットヘッドにおける配線パターンの構成を説明するための図であり、図２０は本発明の第１実施形態の第４変形例としてのインクジェットヘッドにおける配線パターンの要部を拡大して示す平面図、図２１は図２０のＡ−Ａ線に沿う断面図、図２２は図２０のＢ−Ｂ線に沿う断面図である。
なお、図中、既述の符号と同一の符号は同一もしくはほぼ同一の部分を示しているので、その詳細な説明は省略する。
本発明の第１実施形態の第４変形例としてのインクジェットヘッド１００ｄは、第１実施形態のインクジェットヘッド１００における配線パターン１２３に代えて、配線パターン１２３ａをそなえるものであり、以下、図２０〜図２２を用いてその詳細な説明を行なう。
図２０〜図２２に示すように、本第４変形例のインクジェットヘッド１００ｄも、上述した第１実施形態のインクジェットヘッド１００と同様に、図示しないインクタンク（インク供給部）から供給されたインクを吐出する複数のノズル１２０を有するものであって、ヘッド本体部３１および接合部８をそなえて構成されている。
また、本第４変形例のインクジェットヘッド１００ｄも、上述したインクジェットヘッド１００と同様に、ドライフィルムレジスト１０３ａ〜１０３ｅやステンレス板１０５ａ，１０５ｂ等の複数の層を積層して構成されるものであるが、図２１および図２２中においては、便宜上、その積層構造の図示を省略している。
ヘッド本体部３１上には、図２０〜図２２に示すように、配線パターン１２３ａが個別電極１０９および接点部１２１とともにパターニングにより形成されており、これにより配線パターン１２３ａは個別電極１０９および接点部１２１と同一面上に同一材料により一体的に薄膜形成されている。
これらの配線パターン１２３ａは、図２０に示すように、それぞれ各個別電極１０９の長手方向（図２０中では左右方向）とほぼ平行に、それらの間を通るように配設されており、更に、各配線パターン１２３ａは、図２２に示すように、接合部８の下側、すなわち、ヘッド本体部３１と接合部８との間を通過するように配設されている。
また、ヘッド本体部３１においては、図１１に示すインクジェットヘッド１００と同様に、ヘッド本体部３における個別電極１０９等が形成されている側の面において、接合部８よりも外側、すなわち、ヘッド本体部３１の隅部付近に振動板１０４が露出しており、これにより接点部１２７を形成している。
そして、これらの接点部１２１，１２７にＦＰＣ（外部接続配線部材；図２０〜図２２では図示省略）をＴＡＢ等の方式によって電気的に接続するのである。
また、本第４変形例のインクジェットヘッド１００ｄも、第１実施形態のインクジェットヘッド１００と同様に、ドライフィルムレジストを用いたパターニング手法により形成されるようになっており、又、配線パターン１２３ａもヘッド本体部３１上に個別電極１０９および接点部１２１とともにパターニングにより形成され、個別電極１０９および接点部１２１と同一面上に同一材料により一体的に薄膜形成されている。
上述の構成により、接点部１２１，１２７にＦＰＣをＴＡＢ等の方式によって電気的に接続した後、図示しない駆動回路等によってＦＰＣを介して各個別電極１０９に駆動信号を供給することにより、加圧部１４０によって圧力室１１２を加圧して各ノズル１２０からインクを吐出する。
このように、本発明の第１実施形態の第４変形例としてのインクジェットヘッドによっても、各個別電極１０９と接点部１２１との間の電気的接続に際して接合部８の影響を受けることなく、加圧部１４０を制御するための信号を供給するＦＰＣに各個別電極１０９を電気的に接続することができ、上述した第１実施形態と同様の作用効果を得ることができる。
（Ｆ）第１実施形態の第５変形例の説明
図２３〜図２５は本発明の第１実施形態の第５変形例としてのインクジェットヘッド１００ｅにおける配線パターンの構成を説明するための図であり、図２３は本発明の第１実施形態の第５変形例としてのインクジェットヘッドにおける配線パターンの要部を拡大して示す平面図、図２４は図２３のＡ−Ａ線に沿う断面図、図２５は図２３のＢ−Ｂ線に沿う断面図である。
なお、図中、既述の符号と同一の符号は同一もしくはほぼ同一の部分を示しているので、その詳細な説明は省略する。
本発明の第１実施形態の第５変形例としてのインクジェットヘッド１００ｅは、図１７および図１８に示すインクジェットヘッド１００ｂや図１９に示すインクジェットヘッド１００ｃにおける配線パターン１２３に代えて配線パターン１２３ｂをそなえるものであり、その構成について図２３〜図２５を用いて説明する。
図２３〜図２５に示すように、本第５変形例のインクジェットヘッド１００ｅも、上述したインクジェットヘッド１００ｂ，１００ｃと同様に、インクタンク（インク供給部；図２３〜図２５では図示省略）から供給されたインクを吐出する複数のノズル１２０を有するものであって、ヘッド本体部３２および接合部８ｂ（８ｃ）をそなえて構成されている。
また、本第５変形例のインクジェットヘッド１００ｅも、上述したインクジェットヘッド１００と同様に、ドライフィルムレジスト１０３ａ〜１０３ｅやステンレス板１０５ａ，１０５ｂ等の複数の層を積層して構成されるものであるが、図２４および図２５中においては、便宜上、その積層構造の図示を省略している。
さらに、本第５変形例のインクジェットヘッド１００ｅも、前述したインクジェットヘッド１００ｂ，１００ｃと同様に、ドライフィルムレジストを用いたパターニング手法により形成されるようになっており、又、配線パターン１２３ｂもヘッド本体部３２上に個別電極１０９および接点部１２１とともにパターニングにより形成され、個別電極１０９および接点部１２１と同一面上に同一材料により一体的に薄膜形成されている。
これらの配線パターン１２３ｂは、図２３および図２４に示すように、接合部８ｂ（８ｃ）の下側、すなわちヘッド本体部３２と接合部８ｂ（８ｃ）との間を、接合部８ｂ（８ｃ）に沿って敷設され、接点部１２１に近接する位置において接合部８ｂ（８ｃ）から離れて接点部１２１と接続するようになっている。
また、ヘッド本体部３２においては、図２３および図２４に示すように、ヘッド本体部３２における個別電極１０９等が形成されている面上において、接合部８ｂ（８ｃ）よりも外側、すなわち、ヘッド本体部３２の隅部付近に振動板１０４が露出しており、これにより接点部１２７を形成している。
そして、これらの接点部１２１，１２７にＦＰＣ（外部接続配線部材；図２３〜図２５では図示省略）をＴＡＢ等の方式によって電気的に接続するのである。
上述の構成により、接点部１２１，１２７にＦＰＣをＴＡＢ等の方式によって電気的に接続した後、図示しない駆動回路等によってＦＰＣを介して各個別電極１０９に駆動信号を供給することにより、加圧部１４０によって圧力室１１２を加圧して各ノズル１２０からインクを吐出する。
このように、本発明の第１実施形態の第５変形例としてのインクジェットヘッド１００ｅによっても、各個別電極１０９と接点部１２１との間の電気的接続に際して接合部８ｂ（８ｃ）の影響を受けることなく、加圧部１４０を制御するための信号を供給するＦＰＣに各個別電極１０９を電気的に接続することができ、上述した第１実施形態のインクジェットヘッドの第４変形例と同様の作用効果を得ることができるほか、配線パターン１２３ｂが接合部８ｂ（８ｃ）とヘッド本体部３２との間に配設されているので、配線パターン１２３ｂが外部に露出することなく、これにより配線パターン１２３ｂを保護することができ、例えば、配線パターン１２３ｂの断線等を防止することができる。
（Ｇ）第２実施形態の説明
図２６〜図３１は本発明の第２実施形態としてのインクジェットヘッドの構成を説明するためのもので、図２６は本発明の第２実施形態としてのインクジェットヘッドのヘッド本体部の構成を示す斜視図、図２７は図２６のＡ矢視図、図２８は図２６のＢ部を拡大して示す平面図、図２９は図２８のＡ−Ａ線に沿う断面図、図３０は図２７のＣ部を拡大して示す平面図、図３１は図２８のＢ−Ｂ線に沿う断面図である。
なお、図中、既述の符号と同一の符号は同一もしくはほぼ同一の部分を示しているので、その詳細な説明は省略する。
本発明の第２実施形態としてのインクジェットヘッド３００は、図１５および図１６に示すインクジェットヘッド１００ａにおける接合部８ａに代えて接合部８ｅをそなえるとともに、この接合部８ｅ上に接点部１２１ａをそなえるものであり、その構成について図２６〜図３１を用いて説明する。
図２６に示すように、本第２実施形態のインクジェットヘッド３００も、上述した第１実施形態の１００と同様に、インクタンク（インク供給部；図２６〜図３１では図示省略）から供給されたインクを吐出する複数のノズル１２０を有するものであって、図２６〜図３１に示すように、ヘッド本体部３ｆおよび接合部８ｅをそなえて構成されている。
なお、本第２実施形態のインクジェットヘッド３００も、上述したインクジェットヘッド１００と同様に、ドライフィルムレジスト１０３ａ〜１０３ｅやステンレス板１０５ａ，１０５ｂ等の複数の層を積層して構成されるものであるが、図２９および図３１中においては、便宜上、その積層構造の図示を省略している。
ヘッド本体部３ｆは、複数のノズル１２０のそれぞれに、圧力室１１２，加圧部１４０およびインク供給路１１４をそなえて構成されている。
接合部８ｅは、図２６〜図３１に示すように、ヘッド本体部３ｆにおけるノズル１２０が形成されている側とは反対側（ヘッド本体部３ｆにおける個別電極１０９が形成されている側）の面に突出して形成されており、又、ヘッド本体部３ｆにおける個別電極１０９を形成された面上においてこれらの個別電極１０９を環囲するように形成されていて、更に、この接合部８ｅは、図２９，図３１に示すように、ヘッド本体部３ｆの周縁よりも外方へ突出するように形成されている。
具体的には、本第２実施形態においては、接合部８ｅは、ヘッド本体部３ｆの周縁に沿って、ヘッド本体部３ｆの周縁と平行にそのほぼ半分の部分を外部に突出するように形成されている。
この接合部８ｅは、前述した図１５に示すインクジェットヘッド１００ａの接合部８ａと同様に、酸化マグネシウム（ＭｇＯ）により生成された基板をフォトエッチング処理によりヘッド本体部３ｆから部分的に除去することにより、ヘッド本体部３ｆ上の基板の残存部として形成されている。そして、この接合部８ｅに接着剤等を用いてインクタンク（インク供給部品；図示省略）を接合することにより、ヘッド本体部３ｆにインクタンクを接合するのである。
なお、本第２実施形態のインクジェットヘッド３００の接合部８ｅも、図２９に示すように、上方に行くほどの幅が狭くなるような断面形状を有しており、これによりインクタンクとの接着面からはみ出した接着剤がその斜面により保持され、はみ出した接着剤がヘッド本体部３ｆ（加圧部１４０）に到達することを防ぐことができるようになっている。
また、この接合部８ｅにおけるヘッド本体部３ｆの周縁よりも外方へ突出した部分であって、インクタンクが接合される側とは反対側（図２７中の上側）の面（以下、この面を接点部形成面１２８と称する）には、接点部１２１ａ，１２７ａが形成されている。
なお、本第２実施形態においては、この接点部形成面１２８における各隅部にそれぞれ接点部１２７ａが形成されており、これらの接点部１２７ａは、図３１に示すように、振動板１０４と一体に形成されている。
また、接点部形成面１２８における各接点部１２７ａの間にはそれぞれ複数の接点部１２１ａが形成されている。なお、接点部１２１ａは個別電極１０９毎に形成されている。
なお、これらの接点部１２１ａ，１２７ａの位置はこれに限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。
さらに、これらの接点部１２１ａと個別電極１０９とは薄膜形成された配線パターン１２３により電気的に接続されている。
すなわち、本第２実施形態においては、接点部１２１ａは、接合部８ｅ側においてヘッド本体部３ｆの周縁よりも外方に配置されており、又、接合部８ｅにおける接点部形成面１２８に、個別電極１０９毎に形成された接点部１２１ａが配設され、図２７に示すように、これらの接点部１２１ａに、加圧部１４０を制御するための信号を供給するＦＰＣ２がＴＡＢ方式等の手法により電気的に接続されるのである。
上述の構成により、各接点部１２１ａおよび１２７ａに、図２７に示すようにＦＰＣをＴＡＢ等の方式によって電気的に接続した後、図示しない駆動回路等によってＦＰＣを介して各個別電極１０９に駆動信号を供給することにより、加圧部１４０によって圧力室１１２を加圧して各ノズル１２０からインクを吐出する。
このように、本発明の第２実施形態のインクジェットヘッド３００によっても、各個別電極１０９と接点部１２１ａとの間の電気的接続に際して接合部８ｅの影響を受けることなく、加圧部１４０を制御するための信号を供給するＦＰＣに各個別電極１０９を電気的に接続することができ、上述した第１実施形態の第１変形例としてのインクジェットヘッド１００ａと同様の作用効果を得ることができるほか、ノズル１２０を形成するヘッド本体部３ｆを接合部８ｅよりも小さく形成することができるので、インクジェットヘッド３００を小型化することができる。
また、ＦＰＣ２を接点部１２１ａ，１２７ａに接続する際に、接点部形成面１２８において、接点部１２１ａと接点部１２７ａとの高さが等しくなるので、ＦＰＣ２の接続に際してより確実に電気的に接続することができる。
さらに、ＦＰＣ２を接点部１２１ａ，１２７ａに加圧して接続するに際して、ＦＰＣ２の上面から接点部形成面１２８を加圧するので、剛性の高い接合部８ｅが接点部形成面１２８を支持し、これにより製造安定性を向上させることができる。
（Ｈ）第３実施形態の説明
図３２は本発明の第３実施形態としてのインクジェットヘッドのヘッド本体部の構成を示す斜視図であり、本発明の第３実施形態としてのインクジェットヘッド４００も、図３２に示すように、上述した第１変形例のインクジェットヘッド１００ａと同様に、インクタンク（インク供給部；図示省略）から供給されたインクを吐出する複数のノズル（図示省略）を有するものであって、ヘッド本体部３ｇおよび接合部８ｆをそなえて構成されている。
なお、図中、既述の符号と同一の符号は同一もしくはほぼ同一の部分を示しているので、その詳細な説明は省略する。
接合部８ｆは、ヘッド本体部３ｇ上におけるノズルが形成されている側とは反対側（図３２中では上側）の面に突出して形成されており、又、ヘッド本体部３ｇにおける個別電極１０９，接点部１２１および配線パターン１２３を形成された面上において、個別電極１０９を環囲するように形成されている。
この接合部８ｆは、酸化マグネシウム（ＭｇＯ）により生成された基板をフォトエッチング処理によりヘッド本体部３ｇから部分的に除去することにより、ヘッド本体部３ｇ上の基板の残存部として形成されている。そして、この接合部８ｆに接着剤等を用いてインクタンク（インク供給部品）もしくはインクタンク固定用部材を接合することにより、ヘッド本体部３ｇにインクタンク５０を接合するのである。
また、この接合部８ｆは、上方に行くほどの幅が狭くなるような断面形状を有しており、これによりインクタンク５０との接着面からはみ出した接着剤がその斜面により保持され、はみ出した接着剤がヘッド本体部３ｇに到達することを防ぐことができるようになっている。
さらに、接合部８ｆにおいては、接合部８ｆを形成する部材のうち対向する１対の部材が互いに平行に同一方向に突設しており、これにより位置決め部８２が形成されている。なお、以下、この位置決め部８２を形成する、接合部８ｆから突設する１対の部材を突設部と称し、符号８２ａを用いて示すこととする。
位置決め部８２は、突設部８２ａと、接合部８ｆにおける突設部８２ａが形成されている部分における外周面８２ｂとにより構成されている。
また、ヘッド本体部３ｇにおける個別電極１０９や配線パターン１２３等が形成された面上であって、接合部８ｆよりも外側で且つ一対の突設部８２ａの間には、複数の接点部１２１，１２７が形成されている。
このような構成により、ＦＰＣ（外部接続配線部材）２の端面を一対の突設部８２ａの間において外周面８２ｂに当接させてＦＰＣ２の接点部１２１に対する位置決めを行なった後、ＦＰＣ２を接点部１２１，１２７にＴＡＢ方式により電気的に接続する。
このように、本発明の第３実施形態としてのインクジェットヘッド４００によれば、ＦＰＣ２の端面を一対の突設部８２ａの間において外周面８２ｂに当接させることにより、ＦＰＣ２の接点部１２１に対する位置決めを行なうことができるので、これによりＦＰＣ２と接点部１２１，１２７とを確実に電気的に接続することができるほか、ＦＰＣ２の位置決めのための専用の部品が不要になるのでインクジェットヘッド４００を構成する部品点数を削減することができる。
（Ｉ）第４実施形態の説明
図３３は本発明の第４実施形態としてのインクジェットヘッドの要部構成を示す斜視図であり、本第４実施形態としてのインクジェットヘッド５００も、上述した第４実施形態のインクジェットヘッド４００と同様に、インクタンク（インク供給部；図示省略）から供給されたインクを吐出する複数のノズル（図示省略）を有するものであって、図３３に示すように、ヘッド本体部３ｈおよび接合部８をそなえて構成されている。
なお、図中、既述の符号と同一の符号は同一もしくはほぼ同一の部分を示しているので、その詳細な説明は省略する。
図３３に示すように、本第４実施形態のインクジェットヘッド５００は、図３２に示したインクジェットヘッド４００における接合部８ｆに代えて接合部８をそなえるほか、位置決め部８３をそなえて構成されている。
ヘッド本体部３ｈの周縁を形成する辺のうち少なくとも１辺の隅部であり、接合部８よりも外側であって、且つ、その個別電極１０９や配線パターン１２３等が形成された面上には、それぞれほぼ円柱状の一対の位置決め部８３が形成されており、又、これら一対の位置決め部８３の間には、複数の接点部１２１，１２７が形成されている。
また、ＦＰＣ２ａの端部付近における、前述の一対の位置決め部８３に対応する位置には、それぞれ位置決め部８３の断面形状とほぼ同一の位置合わせ穴２ｂが形成されている。
このような構成により、ＦＰＣ（外部接続配線部材）２ａに形成された位置合わせ穴２ｂの各々を位置決め部８３に嵌合させることにより、ＦＰＣ２ａの接点部１２１，１２７に対する位置決めを行な行なった後、ＦＰＣ２ａを接点部１２１，１２７にＴＡＢ方式により電気的に接続する。
このように、本発明の第４実施形態としてのインクジェットヘッド５００によれば、ＦＰＣ２ａに形成された位置合わせ穴２ｂを位置決め部８３に嵌合させることにより、ＦＰＣ２ａの接点部１２１，１２７に対する位置決めを行なうことができ、これによりＦＰＣ２と接点部１２１，１２７とを確実に電気的に接続することができる。
（Ｊ）その他
なお、本発明は上述した各実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。
例えば、上記第１実施形態のインクジェットヘッド１００は（Ａ）層〜（Ｃ）層の３層を接合して形成しているが、それに限定するものではなく、例えば、２層を接合して形成する等、任意の層数で構成することができる。
また、上記第１実施形態では（Ｂ）層を３層で構成するとともに（接着剤層を除く）、（Ｃ）層を５層により構成してステンレス板１０５ａを積層して形成しているが、それに限定するものではなく、（Ｂ）層や（Ｃ）層をそれぞれ所望の数の層をそなえて構成してもよく、又、各層の厚さも所望の厚さを有して構成してもよい。
さらに、上記第１実施形態においては、ステンレス板１０５ａをドライフィルムレジスト１０３ｃ上に接合して構成しているが、これに限定するものではなく、（Ｂ）層におけるドライフィルムレジスト１０３ｄ上に形成してもよい。
またさらに、ステンレス板１０５ａの代わりに、金属やセラミックス以外の材料、例えば、ＰＥＮ等の樹脂やＦＲＰ等のような複合樹脂からなる部材を配設してもよい。なお、これらの部材を配設して構成する場合においては、他のドライフィルムレジスト１０３と類似の熱膨張係数を有するので、接合時等の加熱処理における熱残留応力を低減することができ、インクジェットヘッドの品質を向上させることができる。
さらにまた、各接点部１２１，１２７とＦＰＣ２（２ａ）とをＴＡＢ方式で接続しているが、それに限定されるものではなく種々変形して実施することができる。
また、第１実施形態の第４変形例，第５変形例，第２実施形態，第３実施形態および第４実施形態のインクジェットヘッド１００（１００ｄ，１００ｅ４００，５００）においては、接合部８（８ｂ，８ｃ，８ｅ，８ｆ）の形状や、インク共通路１１０（１１０ｂ）の形状はそれに限定するものではなく、種々変形して実施することができる。
さらに、第１実施形態の第１変形例，第２変形例，第２実施形態および第３実施形態においては、配線パターン１２３の形状はそれに限定されるものではなく、第１実施形態のインクジェットヘッドの第４変形例や第５変形例に示すような配線パターン１２３の形状をそなえてもよい。
なお、本発明の各実施形態が開示されていれば、当業者によって製造することが可能である。
産業上の利用可能性
以上のように、本発明のインクジェットヘッドおよびインクジェットヘッドの製造方法並びに印刷装置によれば、インク供給部品を接合するための接着しろを小さくすることができるのでヘッド本体部の集積度を向上させて小型化するとともに、ヘッド本体部の剛性を高くすることができるので、インクジェットヘッドをそなえた印刷装置のインクジェットヘッドに適用することができる。
【図面の簡単な説明】
図１は本発明の第１実施形態としてのインクジェットヘッドの全体構成を示す分解斜視図である。
図２は本インクジェットヘッドをそなえたインクジェットプリンタの構成を示す斜視図である。
図３は本第１実施形態のインクジェットヘッドのヘッド本体部の構成を説明すべく図１に示すヘッド本体部の水平断面を示す斜視図である。
図４は図１のＣ部を拡大して示す平面図である。
図５は図４のＡ−Ａ矢視断面図である。
図６は図５のＢ−Ｂ矢視断面図である。
図７は本発明の第１実施形態としてのインクジェットヘッドの接合部を示す断面図である。
図８は本発明の第１実施形態としてのインクジェットヘッドの配線パターンの要部を拡大して示す平面図である。
図９は図８のＡ−Ａ線に沿う断面図である。
図１０は図８のＢ−Ｂ線に沿う断面図である。
図１１は本発明の第１実施形態としてのインクジェットヘッドの製造方法を説明するための図である。
図１２〜図１４は本発明の第１実施形態としてのインクジェットヘッドの製造方法を説明するためのフローチャートである。
図１５は本発明の第１実施形態の第１変形例としてのインクジェットヘッドのヘッド本体部の構成を示す斜視図である。
図１６は図１５に示すヘッド本体部の水平断面を示す斜視図である。
図１７は本発明の第１実施形態の第２変形例としてのインクジェットヘッドのヘッド本体部の構成を示す斜視図である。
図１８は図１７に示すヘッド本体部の水平断面を示す斜視図である。
図１９（ａ）は本発明の第１実施形態の第３変形例としてのインクジェットヘッドにおけるインクタンクの形状を説明すべくそのインクタンクを示す斜視図である。
図１９（ｂ）は本発明の第１実施形態の第３変形例としてのインクジェットヘッドのヘッド本体部の構成を示す斜視図である。
図２０は本発明の第１実施形態の第４変形例としてのインクジェットヘッドにおける配線パターンの要部を拡大して示す平面図である。
図２１は図２０のＡ−Ａ線に沿う断面図である。
図２２は図２０のＢ−Ｂ線に沿う断面図である。
図２３は本発明の第１実施形態の第５変形例としてのインクジェットヘッドにおける配線パターンの要部を拡大して示す平面図である。
図２４は図２３のＡ−Ａ線に沿う断面図である。
図２５は図２３のＢ−Ｂ線に沿う断面図である。
図２６は本発明の第２実施形態としてのインクジェットヘッドのヘッド本体部の構成を示す斜視図である。
図２７は図２６のＡ矢視図である。
図２８は図２６のＢ部を拡大して示す平面図である。
図２９は図２８のＡ−Ａ線に沿う断面図である。
図３０は図２７のＣ部を拡大して示す平面図である。
図３１は図２８のＢ−Ｂ線に沿う断面図である。
図３２は本発明の第３実施形態としてのインクジェットヘッドのヘッド本体部の構成を示す斜視図である。
図３３は本発明の第４実施形態としてのインクジェットヘッドの要部構成を示す斜視図である。
図３４は従来のインクジェットヘッドの要部構成を示す分解斜視図である。

Claims (18)

1. インク供給部品（５０）から供給されたインクを吐出する複数のノズル（１２０）を有するインクジェットヘッドであって、
   該ノズル（１２０）毎にそなえられそれぞれインクを充塞される複数の圧力室（１１２）と、該圧力室（１１２）毎に個別電極（１０９）がそなえられそれぞれ該個別電極（１０９）に駆動信号を供給することにより該圧力室（１１２）を加圧して該圧力室（１１２）内のインクを該ノズル（１２０）から吐出させる複数の加圧部（１４０）と、該インク供給部品（５０）からのインクを該複数の圧力室（１１２）に供給するインク共通路（１１０）とを含むヘッド本体部（３）と、 該ヘッド本体部（３）に該インク供給部品（５０）を接合すべく該ヘッド本体部（３）から突設された接合部（８）とをそなえ、
   該接合部（８）は、該複数の個別電極（１０９）を環囲するように形成され、該インク供給部品（５０）に接着剤を用いて接合され、
   該複数の個別電極（１０９）は、該ヘッド本体部（３）の該接合部（８）が形成される面に露出して形成され、
   該接合部（８）の該ヘッド本体部（３）が形成された面とは反対側の面が該インク供給部品（５０）との接着面であり、該接着面からはみ出した接着剤が該ヘッド本体部（３）に到達することがなく該接着面の近傍に保持されるように、該インク供給部品（５０）は該ヘッド本体部（３）の該接合部（８）が形成される面とは離間されていること
   を特徴とする、インクジェットヘッド。
2. 該ヘッド本体部（３）が基板（１２２）上に形成されたものであり、該基板（１２２）を該ヘッド本体部（３）から部分的に除去することにより、該インク共通路（１１０）と該インク供給部品（５０）のインク供給口（５１）とを連通接続するための連通路（８１）が該基板（１２２）に形成され、且つ、該接合部（８）が、該ヘッド本体部（３）上の該基板（１２２）の残存部として形成されていることを特徴とする、請求の範囲第１項記載のインクジェットヘッド。
3. 該加圧部（１４０）が、該圧力室（１１２）の一部を成す振動板（１０４）と、該振動板（１０４）を駆動して該圧力室（１１２）を加圧する圧電素子（１０８）とをそなえて構成されていることを特徴とする、請求の範囲第１項または第２項記載のインクジェットヘッド。
4. 該接合部（８）が酸化マグネシウムにより形成されていることを特徴とする、請求の範囲第１項乃至第３項のいずれか１項記載のインクジェットヘッド。
5. 前記インク供給部品（５０）は、インクタンクまたはインクタンクを着脱自在に備えることができる部材であることを特徴とする、請求の範囲第１項乃至第４項のいずれか１項記載のインクジェットヘッド。
6. 前記接合部（８）は、前記インク供給部品（５０）側に行くほど幅が狭くなるような台形状の断面形状を有し、該インク供給部品（５０）との接着面からはみ出した接着剤が該接合部（８）の斜面により保持される構造であることを特徴とする、請求の範囲第１項乃至第５項のいずれか１項記載のインクジェットヘッド。
7. 前記複数の圧力室（１１２）は、前記インク共通路（１１０）を挟んで対向する位置にそれぞれ枝葉状に配置されていることを特徴とする、請求の範囲第１項乃至第６項のいずれか１項記載のインクジェットヘッド。
8. 前記インク共通路（１１０）は略Ｕ字状の形状であり、前記インク共通路（１１０）の両端部側にそれぞれ前記複数の圧力室（１１２）が配置されていることを特徴とする、請求の範囲第７項記載のインクジェットヘッド。
9. 前記インク共通路（１１０）は、前記ヘッド本体部（３）の略全幅にわたって形成された第１インク共通路と、該第１インク共通路と略直交する互いに平行な複数の第２インク共通路とを備えて構成され、
   前記複数の圧力室（１１２）は、各第２インク流路を挟んで対向する位置にそれぞれ枝葉状に配置されていることを特徴とする、請求の範囲第７項記載のインクジェットヘッド。
10. 複数の前記インク共通路（１１０）が互いに平行に形成されていることを特徴とする、請求の範囲第７項記載のインクジェットヘッド。
11. 各インク供給路（１１０）には互いに異なる種類のインクが供給されることを特徴とする、請求の範囲第１０項記載のインクジェットヘッド。
12. 該接合部（８）の外側に、該個別電極（１０９）に配線パターン（１２３）を介して電気的に接続される接点部（１２１）が形成されていることを特徴とする、請求の範囲第１項乃至第１１項記載のインクジェットヘッド。
13. 該接合部（８）と該ヘッド本体部（３）の間を通過するように該配線パターン（１２３）が配設されることを特徴とする、請求の範囲第１２項記載のインクジェットヘッド。
14. インク供給部品（５０）から供給されたインクを吐出する複数のノズル（１２０）を有するインクジェットヘッドであって、
    該ノズル（１２０）毎にそなえられそれぞれインクを充塞される複数の圧力室（１１２）と、該圧力室（１１２）毎にそなえられそれぞれ該圧力室（１１２）を加圧して該圧力室（１１２）内のインクを該ノズル（１２０）から吐出させる複数の加圧部（１４０）と、該インク供給部品（５０）からのインクを該複数の圧力室（１１２）に供給するインク共通路（１１０）とを含むヘッド本体部（３）と、 該ヘッド本体部（３）に該インク供給部品（５０）を接合すべく該ヘッド本体部（３）から突設された接合部（８）とをそなえ、
    接合部（８）が酸化マグネシウムにより形成されていることを特徴とする、インクジェットヘッド。
15. インク供給部品（５０）から供給されたインクを吐出する複数のノズル（１２０）を有するインクジェットヘッドの製造方法であって、 該ノズル（１２０）毎にそなえられそれぞれインクを充塞される複数の圧力室（１１２）と、該圧力室（１１２）毎にそなえられそれぞれ該圧力室（１１２）を加圧して該圧力室（１１２）内のインクを該ノズル（１２０）から吐出させる複数の加圧部（１４０）と、該インク供給部品（５０）からのインクを該複数の圧力室（１１２）に供給するインク共通路（１１０）とを含むヘッド本体部（３）を基板（１２２）上に形成する工程と、 該基板（１２２）を該ヘッド本体部（３）から部分的に除去することにより、該インク共通路（１１０）と該インク供給部品（５０）のインク供給口（５１）とを連通接続するための連通路（８１）を該基板（１２２）に形成し、且つ、該ヘッド本体部（３）上の該基板（１２２）の残存部を、該ヘッド本体部（３）に該インク供給部品（５０）を接合するための接合部（８）として成形する工程とを有することを特徴とする、インクジェットヘッドの製造方法。
16. 該基板（１２２）が酸化マグネシウムにより形成されていることを特徴とする、請求の範囲第１５項記載のインクジェットヘッドの製造方法。
17. フォトエッチング処理により該基板（１２２）を部分的に除去することを特徴とする、請求の範囲第１６項記載のインクジェットヘッドの製造方法。
18. 請求の範囲第１項乃至第１４項のいずれか１項記載のインクジェットヘッドをそなえたことを特徴とする印刷装置。

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