JP3196799B2 - 積層型インクジェット記録ヘッド - Google Patents
積層型インクジェット記録ヘッドInfo
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- JP3196799B2 JP3196799B2 JP14535494A JP14535494A JP3196799B2 JP 3196799 B2 JP3196799 B2 JP 3196799B2 JP 14535494 A JP14535494 A JP 14535494A JP 14535494 A JP14535494 A JP 14535494A JP 3196799 B2 JP3196799 B2 JP 3196799B2
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2002/14419—Manifold
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、ノズル開口に連通する
圧力室の一部領域に圧電振動子の薄板を貼設し、この圧
電振動子により圧力室を圧縮してインク滴を発生させる
記録ヘッド、より詳細にはノズルプレート、圧力室形成
部材、及び振動板を層状に一体構成したインクジェット
記録ヘッドに関する。
圧力室の一部領域に圧電振動子の薄板を貼設し、この圧
電振動子により圧力室を圧縮してインク滴を発生させる
記録ヘッド、より詳細にはノズルプレート、圧力室形成
部材、及び振動板を層状に一体構成したインクジェット
記録ヘッドに関する。
【０００２】
【従来の技術】圧力室を構成している振動板の一部領域
に圧電振動板を貼着し、圧電振動板のたわみ変位により
圧力室の容積を変化させてインク滴を発生させるインク
ジェット式記録ヘッドは、圧力室の広い面積を変位させ
ることが可能なため、インク滴を安定して発生させるこ
とができるという特徴を備えている。このような記録ヘ
ッドの圧電振動子は、例えば実開平61-45137号公報に示
されたようにインクタンクに接続する共通のインク室
と、これに連通するとともにそれぞれがノズル開口に連
通する圧力発生室とを基体に形成し、圧力発生室の一
部、及び共通のインク室の一部を弾性変形可能な板で封
止し、振動板の圧力発生室に対向する領域にたわみ振動
可能な圧電振動子を固定して構成されている。
に圧電振動板を貼着し、圧電振動板のたわみ変位により
圧力室の容積を変化させてインク滴を発生させるインク
ジェット式記録ヘッドは、圧力室の広い面積を変位させ
ることが可能なため、インク滴を安定して発生させるこ
とができるという特徴を備えている。このような記録ヘ
ッドの圧電振動子は、例えば実開平61-45137号公報に示
されたようにインクタンクに接続する共通のインク室
と、これに連通するとともにそれぞれがノズル開口に連
通する圧力発生室とを基体に形成し、圧力発生室の一
部、及び共通のインク室の一部を弾性変形可能な板で封
止し、振動板の圧力発生室に対向する領域にたわみ振動
可能な圧電振動子を固定して構成されている。
【０００３】一方、印字密度の向上が求められるように
なって、圧力発生室のサイズを小さくせざるを得なくな
ったため、特開平6-40030号公報に見られるような記録
ヘッドを構成する圧電振動子、振動板、スペーサ部材、
ノズルプレート等等の部材を積層して構成した記録ヘッ
ドが提案されている。
なって、圧力発生室のサイズを小さくせざるを得なくな
ったため、特開平6-40030号公報に見られるような記録
ヘッドを構成する圧電振動子、振動板、スペーサ部材、
ノズルプレート等等の部材を積層して構成した記録ヘッ
ドが提案されている。
【０００４】このような構造を採ると、ノズル開口の配
列ピッチを小さくすることが可能となって、記録密度が
向上するものの、小型化に伴って共通のインク室をノズ
ルプレート側に配置した構造であるため、共通のインク
室がノズルプレートを介して熱交換され易くなり、低温
時に共通のインク室のインクなどの液が圧力室よりも先
に凍結しやすく、航空機等での輸送時や、寒冷地で使用
時に破損を招く虞れがあるという問題を抱えている。
列ピッチを小さくすることが可能となって、記録密度が
向上するものの、小型化に伴って共通のインク室をノズ
ルプレート側に配置した構造であるため、共通のインク
室がノズルプレートを介して熱交換され易くなり、低温
時に共通のインク室のインクなどの液が圧力室よりも先
に凍結しやすく、航空機等での輸送時や、寒冷地で使用
時に破損を招く虞れがあるという問題を抱えている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本発明はこれらの問題
に鑑みてなされたものであって、その目的とするところ
は、インクの凍結による破損を防止することができる新
規な積層型インクジェット式記録ヘッドを提供すること
である。
に鑑みてなされたものであって、その目的とするところ
は、インクの凍結による破損を防止することができる新
規な積層型インクジェット式記録ヘッドを提供すること
である。
【０００６】
【課題を解決するための手段】このような問題を解消す
るために本発明においては、表面に圧電振動子を有して
振動部材を形成する振動板と、圧力発生室を形成する複
数の通孔を有するスペーサ部材と、該スペーサ部材の他
方を封止するとともに、共通のインク室と前記圧力発生
室との間に流路制限孔を形成する通孔と、前記圧力発生
室とノズル開口とを接続する連通孔とを有する蓋部材
と、該蓋部材により一方の面が封止され、また前記流路
制限孔を介して前記各圧力発生室に連通する共通のイン
ク室を形成する通孔と、前記圧力発生室とノズル開口と
を接続する連通孔とを備えた共通のインク室形成板と、
前記共通のインク室形成板の他面を封止するとともに、
前記圧力発生室とノズル開口とを接続する連通孔を備え
たフィルムと、前記各連通孔を介して前記圧力発生室に
接続するノズル開口を備えたノズルプレートとをそれぞ
れ順番に積層して一体に成形してなるインクジェット記
録ヘッドにおいて、前記共通のインク室とノズルプレー
トとの間に断熱用の空洞が形成されている積層型インク
ジェット記録ヘッド。
るために本発明においては、表面に圧電振動子を有して
振動部材を形成する振動板と、圧力発生室を形成する複
数の通孔を有するスペーサ部材と、該スペーサ部材の他
方を封止するとともに、共通のインク室と前記圧力発生
室との間に流路制限孔を形成する通孔と、前記圧力発生
室とノズル開口とを接続する連通孔とを有する蓋部材
と、該蓋部材により一方の面が封止され、また前記流路
制限孔を介して前記各圧力発生室に連通する共通のイン
ク室を形成する通孔と、前記圧力発生室とノズル開口と
を接続する連通孔とを備えた共通のインク室形成板と、
前記共通のインク室形成板の他面を封止するとともに、
前記圧力発生室とノズル開口とを接続する連通孔を備え
たフィルムと、前記各連通孔を介して前記圧力発生室に
接続するノズル開口を備えたノズルプレートとをそれぞ
れ順番に積層して一体に成形してなるインクジェット記
録ヘッドにおいて、前記共通のインク室とノズルプレー
トとの間に断熱用の空洞が形成されている積層型インク
ジェット記録ヘッド。
【０００７】
【作用】共通インク室が空洞の空気層により外部から断
熱されているため、共通のインク室、及び流路制限孔内
のインクの凍結時期を圧力発生室よりも遅らせて、たと
え圧力発生室内のインクが凍結しても、その凍結インク
の体積膨張分を流路制限孔から共通のインク室に逃す。
その後、共通のインク室のインクが凍結した際には、共
通のインク室に対向する領域のフィルムを弾性変形させ
て他に不当な圧力が伝搬するのを防止する。
熱されているため、共通のインク室、及び流路制限孔内
のインクの凍結時期を圧力発生室よりも遅らせて、たと
え圧力発生室内のインクが凍結しても、その凍結インク
の体積膨張分を流路制限孔から共通のインク室に逃す。
その後、共通のインク室のインクが凍結した際には、共
通のインク室に対向する領域のフィルムを弾性変形させ
て他に不当な圧力が伝搬するのを防止する。
【０００８】
【実施例】そこで以下に本発明の詳細を図示した実施例
に基づいて説明する。図１、及び図２は本発明の一実施
例を示す分解斜視図と、１つの共通のインク室に接続す
る圧力発生室近傍の構造を示す断面図であって、図中符
号１は、圧電振動子駆動部で、厚さ１０μｍ程度のジル
コニアの薄板からなる振動板２の表面に、後述する圧力
発生室４に対向するようにＰＺＴからなる圧電振動板
３、３、３‥‥を固定して構成されている。
に基づいて説明する。図１、及び図２は本発明の一実施
例を示す分解斜視図と、１つの共通のインク室に接続す
る圧力発生室近傍の構造を示す断面図であって、図中符
号１は、圧電振動子駆動部で、厚さ１０μｍ程度のジル
コニアの薄板からなる振動板２の表面に、後述する圧力
発生室４に対向するようにＰＺＴからなる圧電振動板
３、３、３‥‥を固定して構成されている。
【０００９】５は、スペーサで、圧力発生室４を形成す
るのに適した厚さ、例えば１５０μｍのジルコニア（Ｚ
ｒＯ2）などのセラミックス板に圧力発生室４、４、４
‥‥形状に一致した通孔６、６、６‥‥を一定ピッチで
穿設して構成されている。
るのに適した厚さ、例えば１５０μｍのジルコニア（Ｚ
ｒＯ2）などのセラミックス板に圧力発生室４、４、４
‥‥形状に一致した通孔６、６、６‥‥を一定ピッチで
穿設して構成されている。
【００１０】８は、圧力発生室４の他面を封止する基板
で、圧力発生室４寄りの一端側にはノズル開口３１、３
１、３１‥‥と圧力発生室４、４、４‥‥とを接続する
連通孔９、９、９‥‥が、また他端側には圧力発生室４
と共通のインク室１９とを接続する連通孔１０、１０、
１０‥‥が設けられている。
で、圧力発生室４寄りの一端側にはノズル開口３１、３
１、３１‥‥と圧力発生室４、４、４‥‥とを接続する
連通孔９、９、９‥‥が、また他端側には圧力発生室４
と共通のインク室１９とを接続する連通孔１０、１０、
１０‥‥が設けられている。
【００１１】これら３つの部材１、５、８は、それぞれ
ユニットとして構成され、後述するユニット固定板１１
に取り付けられる。
ユニットとして構成され、後述するユニット固定板１１
に取り付けられる。
【００１２】１１は、一方の面に上述した各ユニットが
所定の位置に接着剤で固定されるユニット固定板で、こ
の実施例では流路制限板を兼ねており、連通孔１０と共
通のインク室１９との境界にノズル開口とほぼ同等の流
路抵抗を備える流路制限孔１２が設けられ、また通孔９
に対向する個所にはノズル開口３１と接続する連通孔１
３を穿設して構成されている。
所定の位置に接着剤で固定されるユニット固定板で、こ
の実施例では流路制限板を兼ねており、連通孔１０と共
通のインク室１９との境界にノズル開口とほぼ同等の流
路抵抗を備える流路制限孔１２が設けられ、また通孔９
に対向する個所にはノズル開口３１と接続する連通孔１
３を穿設して構成されている。
【００１３】１５は、後述する共通インク室構成板１８
とユニット固定板１１とを接合するための熱溶着フィル
ムで、共通のインク室１９に一致する窓１６、及びノズ
ル開口３１、３１、３１‥‥と圧力発生室４、４、４‥
‥とを接続する連通孔１７、１７、１７‥‥とが穿設さ
れている。
とユニット固定板１１とを接合するための熱溶着フィル
ムで、共通のインク室１９に一致する窓１６、及びノズ
ル開口３１、３１、３１‥‥と圧力発生室４、４、４‥
‥とを接続する連通孔１７、１７、１７‥‥とが穿設さ
れている。
【００１４】１８は、前述の共通のインク室形成板で、
共通のインク室１９を形成するに適した厚み、例えば１
５０μｍのステンレス鋼などの耐蝕性を備えた板材に、
共通のインク室１９の形状に対応する略Ｖ字状に分岐し
た窓２０、２０、２０‥‥と、圧力発生室４、４、４‥
‥とノズル開口３１、３１、３１‥‥とを接続する連通
孔２１、２１、２１‥‥を穿設して構成されている。
共通のインク室１９を形成するに適した厚み、例えば１
５０μｍのステンレス鋼などの耐蝕性を備えた板材に、
共通のインク室１９の形状に対応する略Ｖ字状に分岐し
た窓２０、２０、２０‥‥と、圧力発生室４、４、４‥
‥とノズル開口３１、３１、３１‥‥とを接続する連通
孔２１、２１、２１‥‥を穿設して構成されている。
【００１５】２５は、共通のインク室１９のノズルプレ
ート側の面を封止する蓋板で、この実施例ではインク凍
結時にも柔軟性を備え、かつノズルプレート３０と共通
のインク室形成板１８との接着を兼ねて、熱溶着フィル
ムが用いられ、ノズル開口３１、３１、３１‥‥との接
続を確保する連通孔２６が設けられている。
ート側の面を封止する蓋板で、この実施例ではインク凍
結時にも柔軟性を備え、かつノズルプレート３０と共通
のインク室形成板１８との接着を兼ねて、熱溶着フィル
ムが用いられ、ノズル開口３１、３１、３１‥‥との接
続を確保する連通孔２６が設けられている。
【００１６】２７は、熱溶着フィルムで、蓋板２５と共
同して共通のインク室形成板１８にノズルプレート３０
を熱溶着するとともに、共通のインク室１９に対向する
領域には図３に示したように共通のインク室１９よりも
一回り小さなサイズの窓２８が形成され、またノズル開
口３１、３１、３１‥‥に対向する個所には連通孔２
９、２９、２９、２９‥‥が穿設されている。
同して共通のインク室形成板１８にノズルプレート３０
を熱溶着するとともに、共通のインク室１９に対向する
領域には図３に示したように共通のインク室１９よりも
一回り小さなサイズの窓２８が形成され、またノズル開
口３１、３１、３１‥‥に対向する個所には連通孔２
９、２９、２９、２９‥‥が穿設されている。
【００１７】３０はノズルプレートで、圧力発生室４の
一側よりはノズル開口３１、３１、３１‥‥が穿設され
ていて、連通孔９、１３、１７、２１、２６、及び２９
を介して各圧力発生室４、４、４‥‥に接続するととも
に、共通のインク室１９の一方の面を封止している熱溶
着フィルム２５との間に空洞１４が形成されている。
一側よりはノズル開口３１、３１、３１‥‥が穿設され
ていて、連通孔９、１３、１７、２１、２６、及び２９
を介して各圧力発生室４、４、４‥‥に接続するととも
に、共通のインク室１９の一方の面を封止している熱溶
着フィルム２５との間に空洞１４が形成されている。
【００１８】このように構成された装置において、圧電
振動子３に駆動信号が印加されると、振動板２が圧力発
生室４側を凸とするように撓んで、圧力発生室４を収縮
させる。これにより圧力発生室４のインクが通孔９、１
３、１７、２１、及び２６を経由してノズル開口３１に
至り、ここからインク滴として吐出される。
振動子３に駆動信号が印加されると、振動板２が圧力発
生室４側を凸とするように撓んで、圧力発生室４を収縮
させる。これにより圧力発生室４のインクが通孔９、１
３、１７、２１、及び２６を経由してノズル開口３１に
至り、ここからインク滴として吐出される。
【００１９】インク滴形成後に駆動信号が除去される
と、圧電振動板３が元の位置に復帰して、圧力発生室４
が膨張する。これによりインク滴の形成により消費され
た分のインクが共通のインク室１９から流路制限孔１２
を経由して圧力発生室４に流入する。以下、このような
繰り返しにより印字動作が実行される。
と、圧電振動板３が元の位置に復帰して、圧力発生室４
が膨張する。これによりインク滴の形成により消費され
た分のインクが共通のインク室１９から流路制限孔１２
を経由して圧力発生室４に流入する。以下、このような
繰り返しにより印字動作が実行される。
【００２０】ところで、このようなインクジェット記録
ヘッドが寒冷地や、航空機輸送等、比較的液が凍結し易
い環境におかれた場合には、記録ヘッドに充填されてい
るインクや代換えの液が凍結する。
ヘッドが寒冷地や、航空機輸送等、比較的液が凍結し易
い環境におかれた場合には、記録ヘッドに充填されてい
るインクや代換えの液が凍結する。
【００２１】この凍結は、図２に示すような比較的表面
に接しているノズル開口３１近傍のインク、圧力発生室
４のインクから始まり、また外表面側を熱溶着フィルム
２７の窓２８により形成された空洞１４に接している共
通のインク室１９、及びこれよりも奥に位置する流路制
限孔１２のインクの凍結は、比較的遅い時期に起こる。
に接しているノズル開口３１近傍のインク、圧力発生室
４のインクから始まり、また外表面側を熱溶着フィルム
２７の窓２８により形成された空洞１４に接している共
通のインク室１９、及びこれよりも奥に位置する流路制
限孔１２のインクの凍結は、比較的遅い時期に起こる。
【００２２】このため、圧力発生室４に収容されている
インク、及びノズル開口３１近傍のインクが凍結して
も、凍結により生じた膨張分が未だ凍結していない流路
制限孔１２を通って共通のインク室１９に流れ込み、圧
力発生室４のインク膨張に起因する圧力発生室４の破損
が未然に防止される。そして、凍結が共通のインク室４
にまで及んだ場合にも、共通のインク室１９の表面側を
封止している熱溶着フィルム２５は、ノズルプレート３
０との間に位置する空洞１４内に膨張して、凍結による
インク体積の増加を吸収して他の領域に圧力が及ぶのを
防止する。
インク、及びノズル開口３１近傍のインクが凍結して
も、凍結により生じた膨張分が未だ凍結していない流路
制限孔１２を通って共通のインク室１９に流れ込み、圧
力発生室４のインク膨張に起因する圧力発生室４の破損
が未然に防止される。そして、凍結が共通のインク室４
にまで及んだ場合にも、共通のインク室１９の表面側を
封止している熱溶着フィルム２５は、ノズルプレート３
０との間に位置する空洞１４内に膨張して、凍結による
インク体積の増加を吸収して他の領域に圧力が及ぶのを
防止する。
【００２３】なお、この実施例においては空洞１４を封
止しているが、駆動に対向する位置のノズルプレート３
０に通孔を設けて空洞１４を大気に連通させるようにし
てもよい。
止しているが、駆動に対向する位置のノズルプレート３
０に通孔を設けて空洞１４を大気に連通させるようにし
てもよい。
【００２４】図４、図５は、本発明の第２実施例を示す
ものであって、図中符号４０は、共通のインク室１９の
封止と、後述するノズルプレート４２との接合を兼ねた
熱溶着フィルムで、ノズル開口４３、４３、４３‥‥に
対向する位置には連通孔４１が穿設されていて、前述の
実施例と同様に通孔９、１３、１７、２１とによりノズ
ル開口４３を圧力発生室４に接続できるようになってい
る。
ものであって、図中符号４０は、共通のインク室１９の
封止と、後述するノズルプレート４２との接合を兼ねた
熱溶着フィルムで、ノズル開口４３、４３、４３‥‥に
対向する位置には連通孔４１が穿設されていて、前述の
実施例と同様に通孔９、１３、１７、２１とによりノズ
ル開口４３を圧力発生室４に接続できるようになってい
る。
【００２５】４２は、ノズルプレートで、圧力発生室４
に連通する熱溶着フィルム４０の連通孔４１、４１、４
１‥‥に対向する位置にノズル開口４３が穿設され、ま
た共通のインク室１９に対向する領域には、内側を凹と
する凹部４４がエッチング等により形成されていて、接
合後に共通のインク室１９に対向する熱溶着フィルム４
０とノズルプレート４２との間に空洞４５を形成できる
ようになっている。なお、図中符号４６は、凹部４４を
大気に連通させるための通孔を示す。
に連通する熱溶着フィルム４０の連通孔４１、４１、４
１‥‥に対向する位置にノズル開口４３が穿設され、ま
た共通のインク室１９に対向する領域には、内側を凹と
する凹部４４がエッチング等により形成されていて、接
合後に共通のインク室１９に対向する熱溶着フィルム４
０とノズルプレート４２との間に空洞４５を形成できる
ようになっている。なお、図中符号４６は、凹部４４を
大気に連通させるための通孔を示す。
【００２６】この実施例においては、共通のインク室１
９の一方の面を封止するフィルム４０がノズルプレート
４２の空洞４５の空気層により断熱されるため、やはり
前述と同様に凍結早期においては、流路制限孔１２及び
共通のインク室１９を凍結から守って圧力発生室４の膨
張分のインクを流路制限孔１２から共通のインク室１９
に逃がし、また全体が凍結した場合にもフィルム４０を
空洞４５側に膨張させて、インクの凍結から記録ヘッド
の破損を守ことができる。そして、この実施例によれ
ば、熱溶着フィルム２７（図２）を１枚分少なくするこ
とができ、溶着個所の減少により信頼性を高めることが
できる。
９の一方の面を封止するフィルム４０がノズルプレート
４２の空洞４５の空気層により断熱されるため、やはり
前述と同様に凍結早期においては、流路制限孔１２及び
共通のインク室１９を凍結から守って圧力発生室４の膨
張分のインクを流路制限孔１２から共通のインク室１９
に逃がし、また全体が凍結した場合にもフィルム４０を
空洞４５側に膨張させて、インクの凍結から記録ヘッド
の破損を守ことができる。そして、この実施例によれ
ば、熱溶着フィルム２７（図２）を１枚分少なくするこ
とができ、溶着個所の減少により信頼性を高めることが
できる。
【００２７】
【発明の効果】以上説明したように本発明においては、
表面に圧電振動子を有して振動部材を形成する振動板
と、圧力発生室を形成する複数の通孔を有するスペーサ
部材と、スペーサ部材の他方を封止するとともに、共通
のインク室と圧力発生室との間に流路制限孔を形成する
通孔を有する蓋部材と、蓋部材により一方の面が封止さ
れ、また流路制限孔を介して各圧力発生室に連通する共
通のインク室を形成する通孔を備えた共通のインク室形
成板と、共通のインク室形成板の他面を封止するととも
に、圧力発生室とノズル開口とを接続する連通孔を備え
たフィルムと、各連通孔を介して圧力発生室に接続する
ノズル開口を備えたノズルプレートとを順番に積層する
とともに、共通のインク室とノズルプレートとの間に断
熱用の空洞を設けたので、共通のインク室と流路制限孔
の凍結を圧力発生室やノズル開口近傍よりも遅らせて、
凍結に伴う圧力発生室からのインクを共通のインク室に
逃がし、また共通のインク室までが凍結した場合にはフ
ィルムを空洞側に変形させて、他に不当な圧力が伝搬す
るのを防止して、インク等液体の凍結に起因する記録ヘ
ッドの破損を防止することができる。
表面に圧電振動子を有して振動部材を形成する振動板
と、圧力発生室を形成する複数の通孔を有するスペーサ
部材と、スペーサ部材の他方を封止するとともに、共通
のインク室と圧力発生室との間に流路制限孔を形成する
通孔を有する蓋部材と、蓋部材により一方の面が封止さ
れ、また流路制限孔を介して各圧力発生室に連通する共
通のインク室を形成する通孔を備えた共通のインク室形
成板と、共通のインク室形成板の他面を封止するととも
に、圧力発生室とノズル開口とを接続する連通孔を備え
たフィルムと、各連通孔を介して圧力発生室に接続する
ノズル開口を備えたノズルプレートとを順番に積層する
とともに、共通のインク室とノズルプレートとの間に断
熱用の空洞を設けたので、共通のインク室と流路制限孔
の凍結を圧力発生室やノズル開口近傍よりも遅らせて、
凍結に伴う圧力発生室からのインクを共通のインク室に
逃がし、また共通のインク室までが凍結した場合にはフ
ィルムを空洞側に変形させて、他に不当な圧力が伝搬す
るのを防止して、インク等液体の凍結に起因する記録ヘ
ッドの破損を防止することができる。
【図１】本発明の一実施例を示す分解斜視図である。
【図２】本発明の一実施例を示す断面図である。
【図３】共通のインク室１９と窓２８との関係を示す図
である。
である。
【図４】本発明の他の実施例を示す分解斜視図である。
【図５】本発明の他の実施例を示す断面図である。
１ 圧電振動子駆動部 ２ 振動板 ３ 圧電振動板 ４ 圧力発生室 １１ 流路制限板 １２ 流路制限孔 １４ 空洞 １８ 共通のインク室形成板 １９ 共通のインク室 ２５ フィルム ２７ フィルム ３０ ノズルプレート ３１ ノズル開口 ４５ 空洞
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) B41J 2/045 B41J 2/055 B41J 2/175
Claims (6)
- 【請求項１】 表面に圧電振動子を有して振動部材を形
成する振動板と、圧力発生室を形成する複数の通孔を有
するスペーサ部材と、該スペーサ部材の他方を封止する
とともに、共通のインク室と前記圧力発生室との間に流
路制限孔を形成する通孔と、前記圧力発生室とノズル開
口とを接続する連通孔とを有する蓋部材と、該蓋部材に
より一方の面が封止され、また前記流路制限孔を介して
前記各圧力発生室に連通する共通のインク室を形成する
通孔と、前記圧力発生室とノズル開口とを接続する連通
孔とを備えた共通のインク室形成板と、前記共通のイン
ク室形成板の他面を封止するとともに、前記圧力発生室
とノズル開口とを接続する連通孔を備えたフィルムと、
前記各連通孔を介して前記圧力発生室に接続するノズル
開口を備えたノズルプレートとをそれぞれ順番に積層し
て一体に成形してなるインクジェット記録ヘッドにおい
て、 前記共通のインク室とノズルプレートとの間に断熱用の
空洞が形成されている積層型インクジェット記録ヘッ
ド。 - 【請求項２】 前記空洞が大気に連通している請求項１
の積層型インクジェット記録ヘッド。 - 【請求項３】 前記フィルムとノズルプレートの間に、
前記共通のインク室よりも一回り小さな窓、及び前記圧
力発生室と前記ノズル開口とを接続する連通孔を備えた
第２のフィルムが挿入されている請求項１の積層型イン
クジェット記録ヘッド。 - 【請求項４】 前記ノズルプレートの圧力発生室側に、
前記共通のインク室よりも一回り小さなサイズの凹部が
形成されている請求項１の積層型インクジェット記録ヘ
ッド。 - 【請求項５】 前記フィルムが熱溶着フィルムである請
求項１の積層型インクジェット記録ヘッド。 - 【請求項６】 前記第２のフィルムが熱溶着フィルムで
ある請求項３の積層型インクジェット記録ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14535494A JP3196799B2 (ja) | 1994-06-03 | 1994-06-03 | 積層型インクジェット記録ヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14535494A JP3196799B2 (ja) | 1994-06-03 | 1994-06-03 | 積層型インクジェット記録ヘッド |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07329297A JPH07329297A (ja) | 1995-12-19 |
| JP3196799B2 true JP3196799B2 (ja) | 2001-08-06 |
Family
ID=15383262
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14535494A Expired - Fee Related JP3196799B2 (ja) | 1994-06-03 | 1994-06-03 | 積層型インクジェット記録ヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3196799B2 (ja) |
Families Citing this family (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6176571B1 (en) | 1996-03-28 | 2001-01-23 | Sony Corporation | Printer |
| JP4570308B2 (ja) | 1999-12-10 | 2010-10-27 | 富士フイルム株式会社 | インクジェットヘッド、印刷装置及びインクジェットヘッドの製造方法 |
| DE69931526T2 (de) | 1999-12-10 | 2007-04-26 | Fuji Photo Film Co., Ltd., Minami-Ashigara | Tintenstrahldruckkopf, verfahren zur herstellung von druckköpfen und drucker |
| JP4748833B2 (ja) * | 2000-06-22 | 2011-08-17 | パナソニック株式会社 | インクジェットヘッド及びインクジェット式記録装置 |
| JP5464077B2 (ja) * | 2010-06-29 | 2014-04-09 | セイコーエプソン株式会社 | 液体噴射ヘッド |
| JP2012020422A (ja) * | 2010-07-12 | 2012-02-02 | Seiko Epson Corp | 液体噴射ヘッド、液体噴射ヘッドユニット及び液体噴射装置 |
| JP5707806B2 (ja) * | 2010-09-16 | 2015-04-30 | 株式会社リコー | 液体吐出ヘッド及び画像形成装置 |
| JP5776454B2 (ja) * | 2011-09-05 | 2015-09-09 | ブラザー工業株式会社 | 液滴噴射装置 |
| US9168747B2 (en) * | 2013-10-08 | 2015-10-27 | Xerox Corporation | Multi-layer electroformed nozzle plate with attenuation pockets |
| CN105365383B (zh) | 2014-08-18 | 2019-04-09 | 精工爱普生株式会社 | 液体喷射装置以及液体喷射装置的制造方法 |
| JP6583625B2 (ja) | 2015-09-11 | 2019-10-02 | セイコーエプソン株式会社 | 液体噴射装置 |
-
1994
- 1994-06-03 JP JP14535494A patent/JP3196799B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07329297A (ja) | 1995-12-19 |
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