JP4570308B2 - インクジェットヘッド、印刷装置及びインクジェットヘッドの製造方法 - Google Patents

Description

技術分野
本発明は、インク供給部品から供給されたインクを吐出する複数のノズルを有するインクジェットヘッドに関し、例えばインクジェットプリンタの印字ヘッドに用いて好適なインクジェットヘッド、および、そのインクジェットヘッドをそなえた印刷装置に関する。
背景技術
図３３および図３４はともに従来のインクジェットヘッド（特開平７−１４８９２１号公報）の構成を説明するための図であり、図３３はその要部構成を示す分解斜視図、図３４はその要部構成を示す縦断面図である。
従来のインクジェットヘッドは、これらの図３３および図３４に示すように、圧力発生ユニット３２０と流路ユニット３４０とをそなえて構成されている。
圧力発生ユニット３２０は、連通路基板３０１，圧力室形成基板３０２，振動板３０４をそなえて構成されており、圧力室形成基板３０２の一面側（図３３，図３４中では上側）に振動板３０４を、又、圧力室形成基板３０２の他面側（図３３，図３４中では下側）に連通路基板３０１をそれぞれ貼着して形成されている。
圧力室形成基板３０２には圧力室３０３となる部分がパンチングにより複数形成されており、又、連通路基板３０１には、圧力室形成基板３０２における各圧力室３０３と後述するインク供給路形成基板３１３に形成されたインク供給路３１４とを連通する複数の連通路３０９が穿孔されて形成されている。更に、連通路基板３０１には、圧力室形成基板３０２における各圧力室３０３に対応するように複数のノズル連通孔３１８ａが穿孔されている。
振動板３０４における圧力室形成基板３０２に貼着される面とは反対側の面（図３３，図３４中では上側）には、圧力室形成基板３０２における各圧力室３０３に対応するように、複数の圧力素子３０６がそれぞれ下部電極３０５を介して配設されている。又、圧力素子３０６における下部電極３０５とは反対側（図３３，図３４中では上側）には図示しない上部電極が形成されている。
流路ユニット３４０は、リザーバ室形成基板３１２，インク供給路形成基板３１３およびノズル形成基板３１１をそなえて構成されており、リザーバ室形成基板３１２の一面側（図３３，図３４中では上側）にはインク供給路形成基板３１３が、又、その他面側（図３３，図３４中では下側）にはノズル形成基板３１１がそれぞれ貼着されている。
ノズル形成基板３１１には複数のノズル３１６が形成されており、リザーバ室形成基板３１２には、Ｖ字型のインクリザーバ室３１５がパンチング等の手法により形成されているとともに、ノズル形成基板３１１に形成された各ノズル３１６に対応する各位置にそれぞれノズル連通路３１８ｃが穿孔されている。
インク供給路形成基板３１３には、インクリザーバ室３１５と連通路基板３０１における各連通路３０９とを連通接続する複数のインク供給路３１４が形成されているほか、リザーバ室形成基板３１２に形成された各ノズル連通路３１８ｃに対応する各位置にノズル連通路３１８ｂがそれぞれ穿孔されている。又、インク供給路形成基板３１３には、図示しないインクタンクとインクリザーバ室３１５とを連通接続する開口部３１７が形成されている。
また、圧力発生ユニット３２０と流路ユニット３４０とは接着剤等により貼着されるようになっており、これにより、図３４に示すように、連通路基板３０１におけるノズル連通路３１８ａと、インク供給路形成基板３１３におけるノズル連通路３１８ｂと、リザーバ室形成基板３１２におけるノズル連通路３１８ｃとが、ノズル形成基板３１１に形成されている各ノズル３１６と連通し、更に、圧力室３０３とインクリザーバ室３１５とはインク供給路３１４および連通路３０９を介して連通するようになっている。
このような構成により、図示しないインクタンクから供給されるインクが開口部３１７を介してインクリザーバ室３１５に供給され、更に、インク供給路３１４および連通路３０９を介して圧力室３０３に供給される。
そして、図示しない駆動回路によって、上部電極（図示省略）と下部電極３０５とに駆動信号を供給することにより各圧電素子３０６を変形させ、これにより振動板３０４を変位させて各圧力室３０３のインク圧力を高めることによって、ノズル連通路３１８ａ〜３１８ｃを介してノズル３１６からインク滴を吐出して記録媒体上に画像を形成する。
このような従来のインクジェットヘッドにおいては、図示しないインクタンクからインクリザーバ室３１５に開口部３１７を介してインクを供給しているが、インクジェットヘッドにおいて消費するインク量が多い程、この開口部３１７を大きくする必要があるので、ノズル形成基板３１１に形成されたノズル３１６の数が多いほど大きな開口面積を有する開口部３１７が必要になり、これにより、インクジェットヘッドの集積度を高めることができず、インクジェットヘッドを小型化できないために製造コストも高くなるという課題がある。
また、インクジェットプリンタにおける印刷品質を向上させるためには、各ノズル３１６からのインク噴射特性を均一にする必要があり、インク供給経路における上流側のノズル３１６と下流側のノズル３１６とのインク噴射を均一にするためには安定したインク供給が必要であり、各ノズル毎のインク供給経路におけるインクの流体抵抗を下げ、且つ均一にする必要がある。
上述した従来のインクジェットヘッドにおいては、インクジェットヘッドを形成する基板内において、開口部３１７から供給されたインクを各圧力室３０３に供給するためのインクリザーバ室３１５を形成し、このインクリザーバ室３１５にインク供給路３１４および連通路３０９を介して各圧力室３０３を連通接続している。
一般に、インクジェットヘッドを小型化するために、その厚さを薄く形成することが行なわれているが、インクリザーバ室３１５におけるインクの抵抗を下げるためには、インクの供給経路長を短くするとともに、その断面積を大きくしなければならず、従って、インクリザーバ室３１５の断面形状を幅広にする必要があるので、これによってもインクジェットヘッドの集積度向上／小型化が妨げられ、製造コストも高くなるという課題がある。
本発明は、このような課題に鑑み創案されたもので、各圧力室へのインク供給路の形状等に工夫をほどこすことにより、各圧力室へのインク供給を均一にするとともに、インクジェットヘッドの集積度を上げることができるようにして、インクジェットヘッドひいては印刷装置を小型化することを目的とする。
発明の開示
上記の目的を達成するために、本発明のインクジェットヘッドは、インク供給部品から供給されたインクを吐出する複数のノズルを有するインクジェットヘッドであって、ノズル毎にそなえられそれぞれインクを充塞される複数の圧力室と、これらの圧力室毎にそなえられそれぞれ圧力室を加圧して圧力室内のインクをノズルから吐出させる複数の加圧部とを含むヘッド本体部をそなえ、これらのヘッド本体部とインク供給部品との間に、インク供給部品からのインクを一時的に滞留させるインク溜まり空間が形成されるとともに、ヘッド本体部に、インク溜まり空間と複数の圧力室とをそれぞれ連通する複数のインク供給路が、それぞれ、一端側をヘッド本体部の外面においてインク溜まり空間に開口させるとともに他端側を各圧力室に開口させて形成されていることを特徴としている。
また、本発明の印刷装置は、インク供給部品から供給されたインクを吐出する複数のノズルを有するインクジェットヘッドをそなえた印刷装置であって、インクジェットヘッドが、ノズル毎にそなえられそれぞれインクを充塞される複数の圧力室と、これらの圧力室毎にそなえられそれぞれ圧力室を加圧して圧力室内のインクをノズルから吐出させる複数の加圧部とを含むヘッド本体部をそなえて構成され、ヘッド本体部とインク供給部品との間に、インク供給部品からのインクを一時的に滞留させるインク溜まり空間が形成されるとともに、ヘッド本体部に、インク溜まり空間と複数の圧力室とをそれぞれ連通する複数のインク供給路が、それぞれ、一端側をヘッド本体部の外面においてインク溜まり空間に開口させるとともに他端側を各圧力室に開口させて形成されていることを特徴としている。
従って、本発明のインクジェットヘッドおよび印刷装置によれば、インク溜まり空間と各圧力室とをインク供給路により連通することにより、インク供給部品からのインクを各圧力室に直接的に供給することができ、ヘッド本体部において専用のインク供給口が不要なので、インクジェットヘッドの集積度を向上させて、インクジェットヘッドひいては印刷装置を小型化することができ、製造コストの削減にも寄与する利点があるほか、各圧力室へのインクの供給を均一にすることができ、印刷品質を向上させることができる利点がある。
なお、ヘッド本体部に、枠部材が、ヘッド本体部の外面における複数のインク供給路の開口を環囲するように突設され、枠部材とヘッド本体部とインク供給部品とによりインク溜まり空間が形成されてもよく、これにより、ヘッド本体部の剛性を上げることができるとともに、インク溜まり空間を容易に形成することができる利点がある。
また、ヘッド本体部が基板上に形成されたものであり、基板をヘッド本体部から部分的に除去することにより、枠部材が、ヘッド本体部上の基板の残存部として形成されてもよく、これにより、基板の形成過程において枠部材を容易に且つ確実に形成することができるので製造コストを低減することができる利点がある。
さらに、枠部材を、インク供給部品をヘッド本体に接合するための接合部として用いてもよく、これにより、インク供給部品を容易に且つ確実にヘッド本体部に接合することができるほか、ヘッド本体部にインク供給部品を接着剤等を用いて接着する場合にも、はみ出した接着剤等がヘッド本体部の加圧部等に付着するおそれがないので、ヘッド本体部に接着しろを形成する必要がなく、インクジェットヘッドの集積度を上げることができる利点がある。
なお、加圧部が、圧力室の一面を成し且つ圧力室とインク溜まり空間とを区画する振動板と、圧力室の外側で振動板上に積層形成され振動板を駆動して圧力室を加圧する圧電素子とをそなえてもよく、これにより、加圧部を確実に構成することができ、インクジェットヘッドの製造容易性を向上させることができる利点がある。
また、インク供給路を、圧電素子の積層領域以外の領域において振動板を貫通するように形成してもよく、これにより、インクが圧電素子に接触することがないので、圧電素子がインクによる影響を受けるおそれがないという利点がある。
さらに、インク供給路を、圧電素子の積層領域において圧電素子および振動板を貫通するように形成してもよく、これにより、ヘッド本体部上にインク供給路の開口のための専用のスペースを設ける必要がないので、インクジェットヘッドの集積度をさらに向上させて、インクジェットヘッドひいては印刷装置がより小型化され、製造コストのさらなる削減に寄与する利点がある。
またさらに、インク供給路を、圧力室において振動板の成す面以外の面で開口するように形成してもよく、又、インク供給路を、圧力室において振動板の成す面に対向する面で開口するように形成してもよく、これらにより、圧力室において加圧部が開口による影響を受けることがないので、圧力室の剛性を維持することができるほか、その加圧動作が安定するという利点がある。
発明を実施するための最良の形態
（Ａ）第１実施形態の説明
以下、図面を参照して本発明の実施の形態を説明する。
図１は本発明の第１実施形態としてのインクジェットヘッドの全体構成を示す分解斜視図、図２は本第１実施形態のインクジェットヘッドをそなえたインクジェットプリンタの構成を示す斜視図である。
インクジェットプリンタ１は、印刷用紙２００にインクを吐出することによってその表面に画像を形成する印刷装置であって、ハウジング１０内に、プラテン１２，キャリッジ１８，ノズル保守機構３６，インクジェットヘッドユニット２４，２６およびインクタンク２８，３０，３２，３４をそなえて構成されている。
プラテン１２は、本インクジェットプリンタ１における印刷用紙２００の搬送方向と直交するようにハウジング１０に回転自在に取り付けられている。又、プラテン１２は、駆動モータ１４により間欠的に回転駆動されるようになっており、これにより、印刷用紙２００を所定の送りピッチで図２中の矢印Ｗ方向に間欠的に搬送するようになっている。
また、ハウジング１０内におけるプラテン１２の上方には、プラテン１２と平行に案内ロッド１６が配設されており、更に、この案内ロッド１６にはキャリッジ１８が摺動可能に取り付けられている。
このキャリッジ１８は、案内ロッド１６と平行に配設された無端駆動ベルト２０に取り付けられ、又、この無端駆動ベルト２０は駆動モータ２２によって駆動されるようになっており、これによりキャリッジ１８はプラテン１２に沿って往復移動するようになっている。そして、このキャリッジ１８にはインクジェットヘッドユニット２４，２６がそれぞれ着脱自在に取り付けられるようになっている。
インクジェットヘッドユニット２４，２６はインクジェットヘッド１００にインクタンク２８，３０，３２，３４をそれぞれ接合されている。ここで、インクジェットヘッドユニット２４には黒色のインクが収容されたインクタンク２８が取り付けられており、又、インクジェットヘッドユニット２６には、イエローのインクが収容されたインクタンク３０，マゼンタのインクが収容されたインクタンク３２およびシアンのインクが収容されたインクタンク３４が取り付けられている。
そして、キャリッジ１８がプラテン１２に沿って往復移動される間に、インクジェットヘッドユニット２４，２６が、図示しないパーソナルコンピュータ等の上位装置から得られる画像データに基づいて駆動され、これにより印刷用紙２００上に所定の文字，画像等が形成されて印刷が行なわれる。
また、印刷停止時においては、キャリッジ１８（インクジェットヘッド２４，２６）はノズル保守機構３６が配設されている位置（ホームポジション）に移動されるようになっている。
ノズル保守機構３６は、可動吸引キャップ（図示せず）と、この可動吸引キャップに接続された吸引ポンプ（図示せず）とをそなえて構成されており、インクジェットヘッドユニット２４，２６がホームポジションに移動された時に、各インクジェットヘッドユニット２４，２６にノズル板（後述する）に吸引キャップが吸着して、吸引ポンプを駆動することにより、各ノズル板のノズルが吸引されノズルの目詰まりが未然に防止されるようになっている。
次に、図１，図３〜図６を用いて本発明の第１実施形態としてのインクジェットヘッド１００の構成について説明する。
図３は図１のＣ部を拡大して示す図、図４は図３のＡ−Ａ矢視断面図、図５は図４のＢ−Ｂ矢視断面図、図６は本発明の第１実施形態としてのインクジェットヘッドにインクタンクを接合した状態を示す縦断面図である。
本第１実施形態のインクジェットヘッド１００は、インクタンク（インク供給部）５０から供給されたインクを吐出する複数のノズル１２０（図４参照）を有するものであって、図１に示すように、ヘッド本体部３および枠部材（接合部）８をそなえて構成されている。
ヘッド本体部３は、図３〜図５に示すように、その内部に、複数のノズル１２０のそれぞれに、圧力室１１２および加圧部１４０をそなえて構成されている。
なお、本第１実施形態のインクジェットヘッド１００のヘッド本体部３は、図４に示すように、ドライフィルムレジスト１０３，振動板１０４，ステンレス板１０５，ポリイミド１２６，個別電極１０９およびノズル板１０６等の複数の層を積層して構成されるものであるが、この積層による製造工程については後述する。
圧力室１１２は、インクを充塞するものであって、ノズル１２０に導通路１１６を介して連通接続されている。
加圧部１４０は、圧力室１１２を加圧してこの圧力室１１２内のインクをノズル１２０から吐出するためのものであって、振動板１０４と圧電素子１０８とによって構成されている。
振動板１０４は、例えば、クロムやニッケル等の導電性をそなえるとともにある程度の剛性を有する弾性変形可能な金属薄膜（数μｍ程度の厚さ）により形成されており、圧力室１１２の一部、具体的には、圧力室１１２における導通路１１６が形成されている面と対向する面を成している。
また、振動板１０４における圧力室１１２とは反対側の面には薄膜状の圧電素子１０８が形成されている。この圧電素子１０８はピエゾセラミック等により構成されており、これらの振動板１０４と圧電素子１０８とによりバイモルフ積層体が形成されている。
また、圧電素子１０８における振動板１０４とは反対側の面には個別電極１０９が形成されており、図示しない駆動回路から振動板１０４と個別電極１０９とに駆動信号を供給することにより各加圧部１４０において圧電素子１０８が変形して、圧力室１１２を加圧するようになっている。すなわち、各圧力室１１２毎に各加圧部１４０を駆動するための個別電極１０９をそなえているのである。
そして、第１実施形態のインクジェットヘッド１００では、各圧力室１１２において、導通路１１６が形成されている面に対向する面、すなわち、振動板１０４の成す面には、圧電素子１０８の積層領域以外の領域において振動板１０４（およびポリイミド１２６）を貫通するように、１つのインク供給路１２９が形成されている。すなわち、インク供給路１２９はその一端側を各圧力室１１２に開口するとともに、その他端側をヘッド本体部３の外面においてインク溜まり空間１３０（図６を参照しながら後述）に開口しているのである。以下、図中インク溜まり空間１３０におけるこのインク供給路１２９の開口を符号１２９ａを用いて示す。
なお、各圧力室１１２におけるインク供給路１２９の数は１に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。
また、インク供給路１２９は、圧力室１１２の急激な内部圧力変動を吸収するようにインクの流体抵抗が調節されており、又、圧力室１１２が収縮加圧されてインクを吐出した後、復帰する際にインク供給路１２９を介して圧力室１１２に必要量のインクを供給するようになっている。なお、かかるインクの供給についてもインクの流体抵抗の調節に基づいて行なわれるようになっている。
インクタンク５０は、適当な負圧を維持しながらヘッド本体部３のノズル１２０にインクを供給するインク供給部品であって、図６に示すように、インク室５２，フィルタ５３およびインク供給口５１をそなえて構成されている。
インク室５２はインクを保持するための空間であり、このインク室５２中には例えばスポンジが装填され、これにより適正な負圧が維持されるようになっている。
また、インクタンク５０の下部にはインク供給口５１が形成されており、インク室５２に保持されたインクがこのインク供給口５１からヘッド本体部３側へ供給されるようになっている。又、インク室５２とインク供給口５１との間にはフィルタ５３が配設されている。
そして、このインクタンク５０をヘッド本体部３の枠部材８（後述）に接着剤等を用いて接着することにより、ヘッド本体部３と枠部材８とインクタンク５０との間に、インクタンク５０からのインクを一時的に滞留させるインク溜まり空間１３０が形成されるようになっている。
また、各圧力室１１２とインク溜まり空間１３０とはインク供給路１２９を介して連通接続されており、インク供給路１２９はその一端をヘッド本体部３の外面においてインク溜まり空間１３０に開口している。
なお、各圧力室１１２は図３および図５の矢印Ｃ方向に整列するように配設されている。
枠部材（接合部）８は、図１に示すように、ヘッド本体部３におけるノズル１２０が形成されている側とは反対側（ヘッド本体部３における個別電極１０９が形成されている側）の面に突出して形成されており、又、ヘッド本体部３の外面における複数のインク供給路１２９の開口１２９ａが形成された面上においてこれらのインク供給路１２９の開口１２９ａおよび個別電極１０９を環囲するように形成されている。
すなわち、枠部材８は、個別電極１０９，接点部（後述）および配線パターン（後述）を形成された面上において、個別電極１０９およびインク供給路１２９の開口１２９ａを環囲するように形成されているのである。
この枠部材８は、後述するごとく、酸化マグネシウム（ＭｇＯ）により生成された基板をフォトエッチング処理によりヘッド本体部３から部分的に除去することにより、ヘッド本体部３上の基板の残存部として形成されている。そして、図６に示すように、この枠部材８に接着剤等を用いてインクタンク（インク供給部品）５０を接合することにより、ヘッド本体部３にインクタンク５０（インクタンク固定用部材）を接合するのである。
なお、この枠部材８に接合するのは上述のごときインクタンク５０に限定するものではなく、例えば、インクタンク５０を着脱自在にそなえることができる部材（インクタンク固定用部材；図示せず）であってもよい。
また、この枠部材８は、図４および図６に示すように、上方に行くほどの幅が狭くなるような断面形状を有しており、これによりインクタンク５０等との接着面からはみ出した接着剤がその斜面により保持され、はみ出した接着剤がヘッド本体部３に到達することを防ぐことができるようになっている。
そして、この枠部材８にインクタンク５０を接合することにより、図６に示すように、インクタンク５０とヘッド本体部３との間に、インクタンク５０からのインクを一時的に滞留させるインク溜まり空間１３０が形成されるようになっており、具体的には、インクタンク５０のインク供給口５１，ヘッド本体部３および枠部材８により形成される空間がインク溜まり空間１３０として機能するのである。
ヘッド本体部３における個別電極１０９や開口１２９ａが形成された面上において、ヘッド本体部３の外縁部付近、具体的には枠部材８よりも外側には、複数の接点部１２１が形成されている。
これらの接点部１２１は個別電極１０９毎に形成されており、更に、これらの接点部１２１と個別電極１０９とは、それぞれ薄膜形成された配線パターン１２３により電気的に接続されている。
そして、これらの接点部１２１は、加圧部１４０を制御するための信号を供給するＦＰＣ（Ｆｌｅｘｉｂｌｅ Ｐｒｉｎｔｅｄ Ｃｉｒｃｕｉｔ Ｂｏａｒｄ：外部接続配線部材）２に、ＴＡＢ（Ｔａｐｅ Ａｕｔｏｍａｔｅｄ Ｂｏｎｄｉｎｇ）方式により電気的に接続されるようになっている。
なお、振動板１０４上における圧電素子１０８や個別電極１０９不在の領域には、ポリイミド１２６を配設して電気的に絶縁している。
次に、各個別電極１０９と接点部１２１とを電気的に接続する配線パターン１２３の形状について、図７〜図９を用いて説明する。
図７〜図９はそれぞれ配線パターン１２３の形状を説明するための図であり、図７は本発明の第１実施形態としてのインクジェットヘッドの配線パターンの要部を拡大して示す平面図、図８は図７のＡ−Ａ線に沿う断面図、図９は図７のＢ−Ｂ線に沿う断面図である。
なお、図８および図９中においては、便宜上、ドライフィルムレジスト１０３やステンレス板１０５等による積層構造の図示を省略している。
各接点部１２１は、図７に示すように、ヘッド本体部３における個別電極１０９等が形成されている面上において、枠部材８よりも外側（周縁側）に形成されており、これらの接点部１２１と各個別電極１０９とは、それぞれ配線パターン１２３により電気的に接続されている。
配線パターン１２３は、後述する如く、ヘッド本体部３上に個別電極１０９および接点部１２１とともにパターニングにより形成されており、これにより個別電極１０９および接点部１２１と同一面上に同一材料により一体的に薄膜形成されている。
そして、これらの配線パターン１２３は、図７〜図９に示すように、それぞれ各個別電極１０９の長手方向（図７中では左右方向）とほぼ平行に、各個別電極１０９（圧力室１１２）どうしの間を通るように配設されており、更に、各配線パターン１２３は、図８に示すように、枠部材８の下側、すなわち、ヘッド本体部３と枠部材８との間を通過するように配設されている。
また、ヘッド本体部３においては、図７に示すように、ヘッド本体部３における個別電極１０９等が形成されている側の面上において、枠部材８よりも外側であってヘッド本体部３の隅部付近に振動板１０４が露出しており、これにより接点部１２７を形成している。
そして、これらの接点部１２１，１２７にＦＰＣ２がＴＡＢ等の方式によって電気的に接続されるようになっており、これにより、図６に示すように枠部材８にインクタンク５０（インクタンク固定用部材）を接合した場合にもその影響を受けることなく、加圧部１４０を制御するための信号を供給するＦＰＣ２に各個別電極１０９および振動版１０４を電気的に接続することができるようになっている。
なお、この接点部１２７においては、他の接点部１２１よりも圧電素子１０８および個別電極１０９の分だけ低くなっているが、例えば、圧電素子１０８の厚さは２〜３μｍ程度であり、又、個別電極１０９の厚さは０．２μｍ程度と十分に薄いのでＦＰＣ２等を圧着接続するうえで影響はない。
次に、図１０〜図１２を用いて本発明のインクジェットヘッドの製造方法について説明する。図１０は本第１実施形態のインクジェットヘッドの製造方法を説明するための図、図１１および図１２はその製造方法を説明するためのフローチャートである。
さて、本第１実施形態のインクジェットヘッド１００は、ドライフィルムレジストを用いたパターニング手法を用いて製造するものであって、２層を別々に形成してからこれらをキュアすることにより製造する（図１１のステップＡ１０〜Ａ３０）。なお、図１０中においては、便宜上隣接する２つの圧力室の部分のみを図示する。又、図１１に示すステップＡ１０〜Ａ３０の各行程については、それぞれ他のステップに先立って行なってもよく、又、並行して行なってもよい。
先ず、図１０（Ａ）に示すように、ノズル１２０を穿孔されたノズル板１０６（（Ａ）層）をステンレス（ＳＵＳ）等の金属によりマイクロプレス加工により形成する（ステップＡ１０）。各ノズル１２０は、ピンを使用したパンチ（図示せず）等により、好ましくは、ノズル板１０６の前面１０６ａから（ステンレス板１０５に接合される）後面１０６ｂに向かって広がる円錐状（断面的にテーパー状）に加工する。
次に、図１０（Ｂ）に示すような、バイモルフ積層体とドライフィルムレジストとをラミネートして形成される（Ｂ）層を形成する（図１１のステップＡ２０）。
（Ｂ）層は、ドライフィルムレジストを１層そなえて構成されており、図１１のステップＡ２０は、より詳細には図１２に示すステップＣ１０〜Ｃ５０からなる。
まず、図１０（Ｂ）▲１▼に示すように、ＭｇＯ基板１２２上に個別電極１０９，接点部１２１および配線パターン１２３をパターニングした後（図１２のステップＣ１０）、その上に、圧電素子１０８と振動板１０４とからなるバイモルフ積層体１２５を形成する（図１２のステップＣ２０）。
具体的には、ＭｇＯ基板１２２の格子方向に単層である圧電素子１０８を、スパッタリングによってＭｇＯ基板１２２の一面に亘って成長させる手法により薄膜状に形成した後、圧電素子１０８上に、その一面に亘ってクロム膜を、例えばスパッタリング又はメッキ等によって成長させる手法によりバイモルフ積層体１２５を形成する。
このとき、ＭｇＯ基板１２２の全面に形成した圧電素子１０８上にレジストを塗布した後、各圧力室１１２に対応する圧電素子１０８の加工パターン（インク供給路１２９パターンを含む）をパターニングし、更に、不要な圧電素子１０８をエッチング等により除去する。
そして、ＭｇＯ基板１２２における圧電素子１０８が形成された面全体にわたって感光性液状ポリイミドを塗布した後、ＭｇＯ基板１２２における圧電素子１０８が形成されている面とは反対側の面からインク供給路１２９パターンを遮光するガラスマスク等を用いて全面に露光することによりＭｇＯ基板１２２直上のポリイミドのみを感光する。
その後、感光性液状ポリイミドを現像して、圧電素子１０８上およびインク供給路１２９部分の未露光のポリイミドを除去することにより、振動板１０４上における圧電素子１０８および個別電極１０９が不在の領域にのみポリイミド１２６を配置する。
続いて、インク供給路１２９部にレジストを形成し、全面にクロム膜をスパッタ形成した後、レジスト除去してインク供給路１２９およびバイモルフ積層体１２５を形成する。
なお、ＭｇＯ基板１２２上に圧電素子１０８および振動板１０４を形成することにより、バイモルフ積層体１２５を安定して形成することができるほか、後述するドライフィルムレジスト１０３を安定して形成することができる。
また、圧電素子１０８として積層構造を有する圧電素子を使用する場合には、例えば、複数枚のグリーンシートの各々をセラミックの粉末等の溶剤に混練してペースト状にした後、ドクターブレードにより５０μｍ程度に薄膜構成することにより形成する。ここで、圧電素子１０８の材質として、一般に圧電素子の材料であるＢａ，ＴｉＯ_３，ＰｂＴｉＯ_３，（ＮａＫ）ＮｂＯ_３等の強誘電体を用いてもよい。
この場合、複数枚（例えば１２枚）のグリーンシートのうち３枚のグリーンシートの一面に、それぞれ第１の内部電極パターンを印刷・形成する一方で、これらのグリーンシートとは別の３枚のグリーンシートの一面に、それぞれ第２の内部電極パターンを印刷・形成する。なお、第１および第２の内部電極の印刷は、銀とパラジウムの合金を粉状にしたものに溶剤を混ぜてペースト状にしたものを塗布して、パターン形成することにより行なわれる。
そして、第１の内部電極を形成した３枚のグリーンシートと、第２の内部電極を形成した３枚のグリーンシートとを交互に張り合わせた後、６枚の内部電極を形成しないグリーンシートを張り合わせることにより、圧電素子の積層構造を形成し、これらのグリーンシートを積層した状態で焼成するのである。この場合において、内部電極を有しないグリーンシートが基板部として機能する。
次に、図１０（Ｂ）▲２▼に示すように、振動板１０４上にドライフィルムレジスト１０３をラミネートした後、圧力室１１２に相当する部分をマスク処理により露光する（図１２のステップＣ３０）。
次に、図１０（Ｂ）▲３▼に示すように、現像を行ない（図１２のステップＣ４０）、ＭｇＯ基板１２２上に、図４における圧電素子１０８〜ドライフィルムレジスト１０３をラミネートして形成された積層体を形成した後、図１０（Ｂ）▲４▼に示すように、予め導通路１１６に相当する部分をエッチングにより除去したステンレス板１０５をドライフィルムレジスト１０３上に接合する（図１２のステップＣ５０）。
そして、（Ａ）層と（Ｂ）層とを接合してキュアする（図１１のステップＡ３０）。
その後、加圧加熱することによりドライフィルムレジスト１０３を硬化して、ＭｇＯ基板１２２からノズル板１０６までを一体化する。
そして、ＭｇＯ面にレジストを塗布して枠部材８の形状に合わせた所定の形状でパターニング露光を行なった後このレジストを現像し、更に、ＭｇＯ基板１２２のうち不要な部分を除去することにより、枠部材８をヘッド本体部３上のＭｇＯ基板（基板）１２２の残存部として形成する。
このようにして形成したヘッド本体部３における接点部１２１，１２７を、ＦＰＣ２とＡｕバンプにより結線することにより電気的に接続した後、樹脂モールド等により形成されたインクタンク（インク供給部品）５０もしくはインクタンク固定用部材を枠部材８に接着剤等を用いて接着・硬化させてインクジェットヘッド１００を完成させる。
なお、ＭｇＯ基板１２２を除去して枠部材８を形成する工程については、（Ａ）層と（Ｂ）層とを接合してキュアした後に限定されるものではなく、例えば、（Ｂ）層を形成した後に行なってもよく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。
本第１実施形態としてのインクジェットヘッド１００における各部の寸法としては、例えば、以下のようなものが挙げられる。ここで、Ｌは長さを、又、Ｗは幅を、ｔは厚さをそれぞれ示すものとする。
・個別電極：Ｌ×Ｗ×ｔ＝１７００（μｍ）×７０（μｍ）×０．２（μｍ）
・配線パターン：Ｗ×ｔ＝５（μｍ）×０．２（μｍ）
（ただし、長さは各素子毎で異なる）
・圧電素子（ピエゾ）：Ｌ×Ｗ×ｔ＝１７００（μｍ）×７０（μｍ）×３（μｍ）
・振動板：ｔ＝２（μｍ）
・圧力室：Ｌ×Ｗ×ｔ＝１７００（μｍ）×１００（μｍ）×１３０（μｍ）
・ノズル：φ２０（μｍ）×２０（μｍ）
・ＭｇＯ基板：Ｗ×ｔ＝２０（ｍｍ）×０．３（ｍｍ）
・ＭｇＯエッチングテーパ角：４５（ｄｅｇ）
（ただし、この値はエッチング条件によって異なるものであり、本第１実施形態においてはリン酸５０％溶液にて８０℃×（ｈ）を適用し、同値を得た。）
・ノズルピッチ：１／１５０（ｉｎｃｈ）
・ノズル数：６４（個）
本発明の第１実施形態としてのインクジェットヘッド１００は上述のごとく構成されているので、印刷を行なう場合には、インクタンク５０に保持されているインクを、インク供給口５１を介してインク溜まり空間１３０に供給し、更に、このインク溜まり空間１３０からインク供給路１２９を介して各圧力室１１２にインクを供給する。
そして、ＦＰＣ２を介して図示しない駆動回路等により作成した駆動信号を接点部１２１，１２７に送信し、インク加圧部１４０によって圧力室１１２を加圧することによりノズル１２０から噴出し、これにより印刷用紙２００への印刷を行なう。
このように、本発明の第１実施形態のインクジェットヘッド１００およびインクジェットヘッド１００をそなえたインクジェットプリンタ（印刷装置）１によれば、インク溜まり空間１３０と各圧力室１１２とをインク供給路１２９により連通することにより、インクタンク５０からのインクを各圧力室１１２に直接的に供給することができ、ヘッド本体部３において専用のインク供給口を設ける必要がないので、インクジェットヘッド１００の集積度を向上させて、インクジェットヘッド１００ひいては印刷装置（インクジェットプリンタ１）を小型化でき、製造コストを大幅に削減することができ、更に、各圧力室１１２へのインクの供給を均一にすることができ、印刷品質を向上させることができる。
また、ヘッド本体部３に、枠部材８が、ヘッド本体部３の外面における複数のインク供給路１２９の開口１２９ａを環囲するように突設され、更に、枠部材８とヘッド本体部３とインクタンク５０とによりインク溜まり空間１３０が形成されているので、これにより、ヘッド本体部３の剛性を上げることができるとともに、インク溜まり空間を容易に形成することができる。
さらに、枠部材８によりヘッド本体部３の剛性を上げることができるので、インクジェットヘッド１００の製造に際しても、ヘッド本体部３が破損し難く、その生産性を向上することができる。
またさらに、加圧部１４０を、圧力室１１２の一面を成し且つ圧力室１１２とインク溜まり空間１３０とを区画する振動板１０４と、圧力室１１２の外側で振動板１０４上に積層形成され振動板１０４を駆動して圧力室１１２を加圧する圧電素子１０８とをそなえて構成しているので、加圧部１４０を確実に構成することができ、インクジェットヘッド１００の製造容易性を向上させることができる。
なお、インク供給路１２９を、圧電素子１０８の積層領域以外の領域において振動板１０４を貫通するように形成しているので、インク溜まり空間１３０から圧力室１１２へインクを供給する際に、インクが圧電素子１０８に接触することがないので、圧電素子１０８がインクによる影響を受けるおそれがない。
また、枠部材８を、インクタンク５０をヘッド本体部３に接合するための接合部として用いているので、ヘッド本体部３にインクタンク５０もしくはインクタンク固定用部材に容易に接合することができる。
さらに、個別電極１０９と接点部１２１とを薄膜形成した配線パターン１２３により電気的に接続しているので、これらをワイヤボンディング等による空中配線等を行なう必要がなく、これにより、ノズルの実装密度を上げることができ、インクジェットヘッドを小型化することができるとともに、ワイヤボンディング時にヘッド本体部３を損傷させるおそれもなく、更に、配線間に短絡が生じるおそれもない。
またさらに、枠部材８を、ヘッド本体部３における個別電極１０９，接点部１２１，１２７、および配線パターン１２３が形成された面上において、個別電極１０９を環囲するような枠状に形成するとともに、接点部１２１，１２７を枠部材８よりも外側に配置することにより、ＦＰＣ２と個別電極１０９とを容易に且つ確実に電気的に接続することができる。
また、ヘッド本体部３にインクタンク５０もしくはインクタンク固定用部材を接合する場合に、その接着しろを小さくすることができるので、ヘッド本体部３を小さくすることができインクジェットヘッド、ひいては印刷装置（インクジェットプリンタ）を小型化することができる。
さらに、各個別電極１０９と接点部１２１との間の電気的接続に際して、配線パターン１２３を枠部材８とヘッド本体部３との間通過するように配設しているので、枠部材８の影響を受けることなく、加圧部１４０を制御するための信号を供給するＦＰＣに各個別電極１０９を電気的に接続することができる。
また、ヘッド本体部３をＭｇＯ基板１２２上に形成するとともに、このＭｇＯ基板１２２をヘッド本体部３から部分的に除去することによりインク溜まり空間１３０を形成し、更に、枠部材８をヘッド本体部３上のＭｇＯ基板１２２の残存部として形成しているので、枠部材８を容易に且つ安価に作成することができる。
（Ｂ）第１実施形態の第１変形例の説明
図１３は第１実施形態におけるインクジェットヘッドの第１変形例を説明するための図であり、図１３（ａ）は本発明の第１実施形態の第１変形例としてのインクジェットヘッドにおけるインクタンクの形状を説明すべくそのインクタンクを示す斜視図、図１３（ｂ）は本発明の第１実施形態の第１変形例としてのインクジェットヘッドのヘッド本体部の構成を示す斜視図である。
なお、図中、既述の符号と同一の符号は同一もしくはほぼ同一の部分を示しているので、その詳細な説明は省略する。
図１３（ａ），（ｂ）に示すように、本第１変形例のインクジェットヘッド１００ａは、複数色（本変形例ではイエロー，マゼンタ，シアンの３色）のインクを用いてカラー印刷を行なうためのものであって、各色のインクを吐出するためのノズル（図示せず）をそれぞれ有するものであり、ヘッド本体部３ａおよび枠部材８ａをそなえて構成されている。
ヘッド本体部３ａは、複数のノズル（図示省略）のそれぞれに、圧力室（図示省略）と加圧部１４０とをそなえて構成されている。
そして、このインクジェットヘッド１００ａは、枠部材８ａを介して、イエロー，マゼンタ，シアンの３色のインクを保持するインクタンク（インク供給部品）５０ａに接合されるようになっている。
インクタンク５０ａは、図１３（ａ）に示すように、使用するインクの数に応じた数（本第１変形例では３つ）のインク室５２−１〜５２−３をそなえて形成されている。これらの各インク室５２−１〜５２−３の間は隔壁により仕切られており、各インク室５２−１〜５２−３には、それぞれ異なる種類（色）のインクが充填されている。本第１変形例においては、例えば、インク室５２−１にイエロー、インク室５２−２にマゼンタ、インク室５２−３にはシアンのインクがそれぞれ充填されている。
また、各インク室５２−１〜５２−３はインクを供給するためのインク供給口５１ａをそれぞれそなえている。
インクジェットヘッド１００ａのヘッド本体部３ａには、図１３（ｂ）に示すように、ヘッド本体部３ａの縦方向（図１３（ｂ）中においてはＦＰＣ２が接続されている側面と直行する方向）にわたって６列の圧力室（個別電極１０９）が形成されており、これらの圧力室はヘッド本体部３ａにおいて一方方向に整列するように配設されており、図１３（ｂ）に示すように、各圧力室は互いに平行に配設されている。
そして、各圧力室においては、上述した第１実施形態のインクジェットヘッド１００における圧力室１１２と同様に、ヘッド本体部３ａの上面（外面）に開口１２９ａを有するインク供給路が形成されている。
また、ヘッド本体部３ａは、その外面における複数のインク供給路の開口１２９ａを環囲するように突設された枠部材（接合部）８ａをそなえている。
この枠部材８ａは、図１３（ｂ）に示すように、ヘッド本体部３ａにおけるノズルが形成されている側とは反対側（ヘッド本体部３ａにおける個別電極１０９が形成されている側）の面に突出して形成されており、又、ヘッド本体部３ａにおける個別電極１０９を形成された面上においてこれらの個別電極１０９や開口１２９ａを環囲するように形成されている。
また、枠部材８ａは、６列の圧力室の列のうち隣合う２列ずつの各加圧部１４０やヘッド本体部３ａ上に形成された開口１２９ａを、枠部材８ａによりインクタンク５０ａのインク室５２−１〜５２−３に対応して区画するようになっている。
そして、この枠部材８ａにインクタンク５０ａもしくはインクタンク固定用部材を接合することにより、ヘッド本体部３ａとインクタンク５０ａとの間に、インクタンク５０ａからのインクを一時的に滞留させるインク溜まり空間１３０ａ〜１３０ｃが形成されるようになっており、これらのインク溜まり空間１３０ａ〜１３０ｃは互いに枠部材８ａの一部によって仕切られている。
なお、本第１変形例においては、インク溜まり空間１３０ａにインク室５２−１のインクが、インク溜まり空間１３０ｂにインク室５２−２のインクが、インク溜まり空間１３０ｃにインク室５２−３のインクがそれぞれインク供給口５１ａから供給されるようになっている。
また、枠部材８ａも第１実施形態のインクジェットヘッド１００における枠部材８と同様に上方に行くほどその幅が狭くなるような形状を有しており、これにより接着面からはみ出した接着剤がその斜面により保持され、はみ出した接着剤がヘッド本体部３ａに到達することを防ぐことができるようになっている。
さらに、この枠部材８ａは、前述した第１実施形態のインクジェットヘッド１００における枠部材８等と同様に、酸化マグネシウム（ＭｇＯ）により生成された基板をフォトエッチング処理によりヘッド本体部３ａから部分的に除去することにより、ヘッド本体部３ａ上の基板の残存部として形成されている。
また、ヘッド本体部３ａにおける開口１２９ａが形成された面上において、ヘッド本体部３の外縁部付近、具体的には枠部材８ａよりも外側には、第１実施形態のインクジェットヘッド１００におけるヘッド本体部３と同様に、複数の接点部が形成されている。
本発明の第１実施形態の第１変形例としてのインクジェットヘッド１００ａは上述のごとく構成されているので、先ず、枠部材８ａにインクタンク５０ａを接着剤等を用いて接合した後、インクタンク５０ａの各インク供給口５１ａから各インク溜まり空間１３０ａ〜１３０ｃに各色のインクをそれぞれ供給すると、これらのインクがインク供給路を介して各圧力室に供給される。
そして、図示しない駆動回路等によってＦＰＣ２を介して各個別電極１０９に駆動信号を供給することにより、加圧部１４０によって圧力室を加圧して各ノズルからインクを吐出するのである。
このように、本発明の第１実施形態の第１変形例によっても上述した第１実施形態と同様の作用効果を得ることができる他、複数色のインクを用いて印刷を行なう場合においても、各ノズルから吐出されるインクの吐出量等を均一にすることができるので印刷品質を向上させることができる。
また、枠部材８ａにより隣合うインク溜まり空間１３０ａ〜１３０ｃを仕切るようになっているので、これにより、多色印刷可能なマルチノズルインクジェットヘッド（インクジェットヘッド１００ａ）において各ノズルの位置精度を高く形成することができるとともに、これらのノズルを高密度に形成でき、インクジェットヘッドひいては印刷装置（インクジェットプリンタ）を小型化することができる。
（Ｃ）第１実施形態の第２変形例の説明
図１４〜図１６は本発明の第１実施形態の第２変形例としてのインクジェットヘッドにおける配線パターンの構成を説明するための図であり、図１４は本発明の第１実施形態の第２変形例としてのインクジェットヘッドにおける配線パターンの要部を拡大して示す平面図、図１５は図１４のＡ−Ａ線に沿う断面図、図１６は図１４のＢ−Ｂ線に沿う断面図である。
なお、図中、既述の符号と同一の符号は同一もしくはほぼ同一の部分を示しているので、その詳細な説明は省略する。
本発明の第１実施形態の第２変形例としてのインクジェットヘッド１００ｂは、第１実施形態のインクジェットヘッド１００における配線パターン１２３に代えて、配線パターン１２３ａをそなえるものであり、以下、図１４〜図１６を用いてその詳細な説明を行なう。
図１４〜図１６に示すように、本第２変形例のインクジェットヘッド１００ｂも、上述した第１実施形態のインクジェットヘッド１００と同様に、図示しないインクタンク（インク供給部）から供給されたインクを吐出する複数のノズル１２０を有するものであって、ヘッド本体部３ｂおよび枠部材８をそなえて構成されている。
また、本第２変形例のインクジェットヘッド１００ｂも、上述したインクジェットヘッド１００と同様に、ドライフィルムレジスト１０３やステンレス板１０５等の複数の層を積層して構成されるものであるが、図１５および図１６中においては、便宜上、その積層構造の図示を省略している。
ヘッド本体部３ｂ上には、図１４〜図１６に示すように、配線パターン１２３ａが個別電極１０９および接点部１２１とともにパターニングにより形成されており、これにより配線パターン１２３ａは個別電極１０９および接点部１２１と同一面上に同一材料により一体的に薄膜形成されている。
これらの配線パターン１２３ａは、図１４に示すように、それぞれ各個別電極１０９の長手方向（図１４中では左右方向）とほぼ平行に、それらの間を通るように配設されており、更に、各配線パターン１２３ａは、図１６に示すように、枠部材８の下側、すなわち、ヘッド本体部３ｂと枠部材８との間を通過するように配設されている。
また、ヘッド本体部３ｂにおいては、図７に示すインクジェットヘッド１００と同様に、ヘッド本体部３ｂにおける個別電極１０９等が形成されている側の面において、枠部材８よりも外側、すなわち、ヘッド本体部３ｂの隅部付近に振動板１０４が露出しており、これにより接点部１２７を形成している。
そして、これらの接点部１２１，１２７にＦＰＣ（外部接続配線部材；図１４〜図１６では図示省略）をＴＡＢ等の方式によって電気的に接続するのである。
また、本第２変形例のインクジェットヘッド１００ｂも、第１実施形態のインクジェットヘッド１００と同様に、ドライフィルムレジスト１０３を用いたパターニング手法により形成されるようになっており、又、配線パターン１２３ａもヘッド本体部３ｂ上に個別電極１０９および接点部１２１とともにパターニングにより形成され、個別電極１０９および接点部１２１と同一面上に同一材料により一体的に薄膜形成されている。
上述の構成により、接点部１２１，１２７にＦＰＣをＴＡＢ等の方式によって電気的に接続した後、図示しない駆動回路等によってＦＰＣを介して各個別電極１０９に駆動信号を供給することにより、加圧部１４０によって圧力室１１２を加圧して各ノズル１２０からインクを吐出する。
このように、本発明の第１実施形態の第２変形例としてのインクジェットヘッド１００ｂによっても、各個別電極１０９と接点部１２１との間の電気的接続に際して枠部材８の影響を受けることなく、加圧部１４０を制御するための信号を供給するＦＰＣに各個別電極１０９を電気的に接続することができ、上述した第１実施形態と同様の作用効果を得ることができる。
（Ｄ）第１実施形態の第３変形例の説明
図１７〜図１９は本発明の第１実施形態の第３変形例としてのインクジェットヘッド１００ｃにおける配線パターンの構成を説明するための図であり、図１７は本発明の第１実施形態の第３変形例としてのインクジェットヘッドにおける配線パターンの要部を拡大して示す平面図、図１８は図１７のＡ−Ａ線に沿う断面図、図１９は図１７のＢ−Ｂ線に沿う断面図である。
なお、図中、既述の符号と同一の符号は同一もしくはほぼ同一の部分を示しているので、その詳細な説明は省略する。
本発明の第１実施形態の第３変形例としてのインクジェットヘッド１００ｃは、図１４に示すインクジェットヘッド１００ｂ等における配線パターンに代えて配線パターン１２３ｂをそなえるものであり、その構成について図１７〜図１９を用いて説明する。
なお、本第３変形例は、具体的には図１３（ａ），（ｂ）に示すようなインクジェットヘッド１００ａに適用されるものである。
図１７〜図１９に示すように、本第３変形例のインクジェットヘッド１００ｃも、上述したインクジェットヘッド１００ａ，１００ｂと同様に、インクタンク（インク供給部；図１７〜図１９では図示省略）から供給されたインクを吐出する複数のノズル１２０を有するものであって、ヘッド本体部３ｃおよび枠部材８ａをそなえて構成されている。
また、本第３変形例のインクジェットヘッド１００ｃも、上述したインクジェットヘッド１００と同様に、ドライフィルムレジスト１０３やステンレス板１０５等の複数の層を積層して構成されるものであるが、図１８および図１９中においては、便宜上、その積層構造の図示を省略している。
さらに、本第３変形例のインクジェットヘッド１００ｃも、前述したインクジェットヘッド１００と同様に、ドライフィルムレジスト１０３を用いたパターニング手法により形成されるようになっており、又、配線パターン１２３ｂもヘッド本体部３ｃ上に個別電極１０９および接点部１２１とともにパターニングにより形成され、個別電極１０９および接点部１２１と同一面上に同一材料により一体的に薄膜形成されている。
これらの配線パターン１２３ｂは、図１７および図１８に示すように、枠部材８ａの下側、すなわちヘッド本体部３ｃと枠部材８ａとの間を、枠部材８ａに沿って敷設され、接点部１２１に近接する位置において枠部材８ａから離れて接点部１２１と接続するようになっている。
また、ヘッド本体部３ｃにおいては、図１７および図１８に示すように、ヘッド本体部３ｃにおける個別電極１０９等が形成されている面上において、枠部材８ａよりも外側、すなわち、ヘッド本体部３ｃの隅部付近に振動板１０４が露出しており、これにより接点部１２７を形成している。
そして、これらの接点部１２１，１２７にＦＰＣ（外部接続配線部材；図１７〜図１９では図示省略）をＴＡＢ等の方式によって電気的に接続するのである。
上述の構成により、接点部１２１，１２７にＦＰＣをＴＡＢ等の方式によって電気的に接続した後、図示しない駆動回路等によってＦＰＣを介して各個別電極１０９に駆動信号を供給することにより、加圧部１４０によって圧力室１１２を加圧して各ノズル１２０からインクを吐出する。
このように、本発明の第１実施形態の第３変形例としてのインクジェットヘッド１００ｃによっても、各個別電極１０９と接点部１２１との間の電気的接続に際して枠部材８ａの影響を受けることなく、加圧部１４０を制御するための信号を供給するＦＰＣに各個別電極１０９を電気的に接続することができ、上述した第２変形例と同様の作用効果を得ることができるほか、配線パターン１２３ｂが枠部材８ａとヘッド本体部３ｃとの間に配設されているので、配線パターン１２３ｂが外部に露出することなく、これにより配線パターン１２３ｂを保護することができ、例えば、配線パターン１２３ｂの断線等を防止することができる。
（Ｅ）第１実施形態の第４変形例の説明
図２０〜図２５は本発明の第１実施形態の第４変形例としてのインクジェットヘッドの構成を説明するためのもので、図２０は本発明の第１実施形態の第４変形例としてのインクジェットヘッドのヘッド本体部の構成を示す斜視図、図２１は図２０のＡ矢視図、図２２は図２０のＢ部を拡大して示す平面図、図２３は図２２のＡ−Ａ線に沿う断面図、図２４は図２１のＣ部を拡大して示す平面図、図２５は図２２のＢ−Ｂ線に沿う断面図である。
なお、図中、既述の符号と同一の符号は同一もしくはほぼ同一の部分を示しているので、その詳細な説明は省略する。
本発明の第１実施形態の第４変形例としてのインクジェットヘッド１００ｄは、図１に示すインクジェットヘッド１００における枠部材８に代えて枠部材８ｂをそなえるとともに、この枠部材８ｂ上に接点部１２１をそなえるものであり、その構成について図２０〜図２５を用いて説明する。
図２０に示すように、本第１実施形態の第４変形例のインクジェットヘッド１００ｄも、上述した第１実施形態の１００と同様に、インクタンク（インク供給部；図２０〜図２５では図示省略）から供給されたインクを吐出する複数のノズル１２０を有するものであって、図２０〜図２５に示すように、ヘッド本体部３ｄおよび枠部材８ｂをそなえて構成されている。
なお、本第４変形例のインクジェットヘッド１００ｄも、上述したインクジェットヘッド１００と同様に、ドライフィルムレジスト１０３やステンレス板１０５等の複数の層を積層して構成されるものであるが、図２３および図２５中においては、便宜上、その積層構造の図示を省略している。
ヘッド本体部３ｄは、複数のノズル１２０のそれぞれに、圧力室１１２および加圧部１４０をそなえて構成されている。
枠部材８ｂは、図２０〜図２５に示すように、ヘッド本体部３ｄにおけるノズル１２０が形成されている側とは反対側（ヘッド本体部３ｄにおける開口１２９ａが形成されている側）の面に突出して形成されており、又、ヘッド本体部３ｄにおける開口１２９ａを形成された面上においてこれらの開口１２９ａを環囲するように形成されていて、更に、この枠部材８ｂは、図２３，図２５に示すように、ヘッド本体部３ｄの周縁よりも外方へ突出するように形成されている。
具体的には、本第４変形例においては、枠部材８ｂは、ヘッド本体部３ｄの周縁に沿って、ヘッド本体部３ｄの周縁と平行にそのほぼ半分の部分を外部に突出するように形成されている。
この枠部材８ｂは、前述した図１に示すインクジェットヘッド１００の枠部材８と同様に、酸化マグネシウム（ＭｇＯ）により生成された基板をフォトエッチング処理によりヘッド本体部３から部分的に除去することにより、ヘッド本体部３ｄ上の基板の残存部として形成されている。そして、この枠部材８ｂに接着剤等を用いてインクタンク（インク供給部品；図示省略）を接合することにより、ヘッド本体部３ｄにインクタンクを接合するのである。
なお、本第４変形例のインクジェットヘッド１００ｄの枠部材８ｂも、図２３に示すように、上方に行くほどの幅が狭くなるような断面形状を有しており、これによりインクタンクとの接着面からはみ出した接着剤がその斜面により保持され、はみ出した接着剤がヘッド本体部３ｄ（加圧部１４０）に到達することを防ぐことができるようになっている。
また、この枠部材８ｂにおけるヘッド本体部３ｄの周縁よりも外方へ突出した部分であって、インクタンクが接合される側とは反対側（図２１中の上側）の面（以下、この面を接点部形成面１２８と称する）には、接点部１２１ａ，１２７ａが形成されている。
なお、本第４変形例においては、この接点部形成面１２８における各隅部にそれぞれ接点部１２７ａが形成されており、これらの接点部１２７ａは、図２５に示すように、振動板１０４と一体に形成されている。
また、接点部形成面１２８における各接点部１２７ａの間にはそれぞれ複数の接点部１２１ａが形成されている。なお、接点部１２１ａは個別電極１０９毎に形成されている。
なお、これらの接点部１２１ａ，１２７ａの位置はこれに限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。
さらに、これらの接点部１２１ａと個別電極１０９とは薄膜形成された配線パターン１２３により電気的に接続されている。
すなわち、本第４変形例においては、接点部１２１ａは、枠部材８ｂ側においてヘッド本体部３ｄの周縁よりも外方に配置されており、又、枠部材８ｂにおける接点部形成面１２８に、個別電極１０９毎に形成された接点部１２１ａが配設され、図２１に示すように、これらの接点部１２１ａに、加圧部１４０を制御するための信号を供給するＦＰＣ２がＴＡＢ方式等の手法により電気的に接続されるのである。
上述の構成により、各接点部１２１ａおよび１２７ａに、図２１に示すようにＦＰＣをＴＡＢ等の方式によって電気的に接続した後、図示しない駆動回路等によってＦＰＣを介して各個別電極１０９に駆動信号を供給することにより、加圧部１４０によって圧力室１１２を加圧して各ノズル１２０からインクを吐出する。
このように、本発明の第１実施形態の第４変形例のインクジェットヘッド１００ｄによっても、各個別電極１０９と接点部１２１ａとの間の電気的接続に際して枠部材８ｂの影響を受けることなく、加圧部１４０を制御するための信号を供給するＦＰＣに各個別電極１０９を電気的に接続することができ、上述した第１実施形態のインクジェットヘッド１００と同様の作用効果を得ることができるほか、ノズル１２０を形成するヘッド本体部３ｄを枠部材８ｂよりも小さく形成することができるので、インクジェットヘッド１００ｄを小型化することができる。
また、ＦＰＣ２を接点部１２１ａ，１２７ａに接続する際に、接点部形成面１２８において、接点部１２１ａと接点部１２７ａとの高さが等しくなるので、ＦＰＣ２の接続に際してより確実に電気的に接続することができる。
さらに、ＦＰＣ２を接点部１２１ａ，１２７ａに加圧して接続するに際して、ＦＰＣ２の上面から接点部形成面１２８を加圧するので、枠部材８ｂが接点部形成面１２８を支持するので、その剛性が高くなり、これにより製造安定性を向上させることができる。
（Ｆ）第１実施形態の第５変形例の説明
図２６は本発明の第１実施形態の第５変形例としてのインクジェットヘッドのヘッド本体部の構成を示す斜視図であり、本発明の第１実施形態の第５変形例としてのインクジェットヘッド１００ｅも、図２６に示すように、上述した第１変形例のインクジェットヘッド１００ａと同様に、インクタンク（インク供給部；図示省略）から供給されたインクを吐出する複数のノズル（図示省略）を有するものであって、ヘッド本体部３ｅおよび枠部材８ｃをそなえて構成されている。
なお、図中、既述の符号と同一の符号は同一もしくはほぼ同一の部分を示しているので、その詳細な説明は省略する。
枠部材８ｃは、ヘッド本体部３ｅ上におけるノズルが形成されている側とは反対側（図２６中では上側）であって、インク供給路の開口１２９ａが形成されている面に突出して形成されており、又、この枠部材８ｃは、ヘッド本体部３ｅにおける開口１２９ａ，個別電極１０９，接点部１２１および配線パターン１２３を形成された面上において、複数の開口１２９ａを環囲するように形成されている。
この枠部材８ｃは、酸化マグネシウム（ＭｇＯ）により生成された基板をフォトエッチング処理によりヘッド本体部３ｅから部分的に除去することにより、ヘッド本体部３ｅ上の基板の残存部として形成されている。そして、この枠部材８ｃに接着剤等を用いてインクタンク（インク供給部品）もしくはインクタンク固定用部材を接合することにより、ヘッド本体部３ｅにインクタンク５０を接合するのである。
また、この枠部材８ｃは、上方に行くほどの幅が狭くなるような断面形状を有しており、これによりインクタンク５０との接着面からはみ出した接着剤がその斜面により保持され、はみ出した接着剤がヘッド本体部３ｅに到達することを防ぐことができるようになっている。
さらに、枠部材８ｃにおいては、枠部材８ｃを形成する部材のうち対向する１対の部材が互いに平行に同一方向に突設しており、これにより位置決め部８２が形成されている。なお、以下、この位置決め部８２を形成する、枠部材８ｃから突設する１対の部材を突設部と称し、符号８２ａを用いて示すこととする。
位置決め部８２は、一対の突設部８２ａと、枠部材８ｃにおける一対の突設部８２ａが形成されている部分における外周面８２ｂとにより構成されている。
これら一対の突設部８２ａや枠部材８ｃも、前述した第１実施形態のインクジェットヘッド１００における枠部材８等と同様に、酸化マグネシウム（ＭｇＯ）等により生成された基板をフォトエッチング処理によりヘッド本体部３ｅから部分的に除去することにより、ヘッド本体部３ｅ上の基板の残存部として形成されている。
また、ヘッド本体部３ｅにおける個別電極１０９や配線パターン１２３等が形成された面上であって、枠部材８ｃよりも外側で且つ一対の突設部８２ａの間には、複数の接点部１２１，１２７が形成されている。
このような構成により、ＦＰＣ（外部接続配線部材）２の端面を一対の突設部８２ａの間において外周面８２ｂに当接させてＦＰＣ２の接点部１２１に対する位置決めを行なった後、ＦＰＣ２を接点部１２１，１２７にＴＡＢ方式により電気的に接続する。
このように、本発明の第１実施形態の第５変形例としてのインクジェットヘッド１００ｅによれば、ＦＰＣ２の端面を一対の突設部８２ａの間において外周面８２ｂに当接させることにより、ＦＰＣ２の接点部１２１に対する位置決めを行なうことができるので、これによりＦＰＣ２と接点部１２１，１２７とを確実に電気的に接続することができるほか、ＦＰＣ２の位置決めをのための専用の部品が不要になるのでインクジェットヘッド１００ｅを構成する部品点数を削減することができる。
（Ｇ）第１実施形態の第６変形例の説明
図２７は本発明の第１実施形態の第６変形例としてのインクジェットヘッドの要部構成を示す斜視図であり、本第６変形例としてのインクジェットヘッド１００ｆも、上述した第５変形例のインクジェットヘッド１００ｅと同様に、インクタンク（インク供給部；図示省略）から供給されたインクを吐出する複数のノズル（図示省略）を有するものであって、図２７に示すように、ヘッド本体部３ｆおよび枠部材８をそなえて構成されている。
図２７に示すように、本第６変形例のインクジェットヘッド１００ｆは、図２６に示したインクジェットヘッド１００ｅにおける枠部材８ｃに代えて枠部材８をそなえるほか、位置決め部８３をそなえて構成されている。
なお、図中、既述の符号と同一の符号は同一もしくはほぼ同一の部分を示しているので、その詳細な説明は省略する。
ヘッド本体部３ｆの周縁を形成する辺のうち少なくとも１辺の隅部であり、枠部材８よりも外側であって、且つ、その個別電極１０９や配線パターン１２３等が形成された面上には、それぞれほぼ円柱状の一対の位置決め部８３が形成されており、又、これら一対の位置決め部８３の間には、複数の接点部１２１，１２７が形成されている。
これら一対の位置決め部８３も、前述した第１実施形態のインクジェットヘッド１００における枠部材８等と同様に、酸化マグネシウム（ＭｇＯ）等により生成された基板をフォトエッチング処理によりヘッド本体部３ｆから部分的に除去することにより、ヘッド本体部３ｆ上の基板の残存部として形成されている。
また、ＦＰＣ２ａの端部付近における、前述の一対の位置決め部８３に対応する位置には、ぞれぞれ位置決め部８３の断面形状とほぼ同一の位置合わせ穴２ｂが形成されている。
このような構成により、ＦＰＣ（外部接続配線部材）２ａに形成された位置合わせ穴２ｂの各々を位置決め部８３に嵌合させることにより、ＦＰＣ２ａの接点部１２１，１２７に対する位置決めを行な行なった後、ＦＰＣ２ａを接点部１２１，１２７にＴＡＢ方式により電気的に接続する。
このように、本発明の第１実施形態の第６変形例としてのインクジェットヘッド１００ｆによれば、ＦＰＣ２ａに形成された位置合わせ穴２ｂの各々を位置決め部８３に嵌合させることにより、ＦＰＣ２ａの接点部１２１，１２７に対する位置決めを行なうことができ、これによりＦＰＣ２と接点部１２１，１２７とを確実に電気的に接続することができる。
（Ｈ）第２実施形態の説明
図２８（ａ），（ｂ）はともに本発明の第２実施形態としてのインクジェットヘッドの構成を説明するためのもので、（ａ）はその配線パターンの要部を拡大して示す平面図、（ｂ）は図２８（ａ）のＡ−Ａ線に沿う断面図である。
なお、図中、既述の符号と同一の符号は同一もしくはほぼ同一の部分を示しているので、その詳細な説明は省略する。
本発明の第２実施形態としてのインクジェットヘッド２１０においては、第１実施形態のインクジェットヘッド１００とは異なる位置にインク供給路１２９が形成されており、以下、図２８（ａ），（ｂ）を用いてその詳細な説明を行なう。
図２８（ａ），（ｂ）に示すように、本第２実施形態のインクジェットヘッド２１０も、上述した第１実施形態のインクジェットヘッド１００と同様に、図示しないインクタンク（インク供給部）から供給されたインクを吐出する複数のノズル１２０を有するものであって、ヘッド本体部３ｇをそなえて構成されている。
圧力室１１２において、振動板１０４の成す面以外の面であり、且つ、この振動板１０４の成す面に対向する面以外の面であって、ノズル１２０から最も遠くに位置する面には、インク供給路１２９の一端側（以下、開口１２９ｂと称する）が開口しており、又、ヘッド本体部３ｇの外面においてインク溜まり空間１３０にインク供給路１２９の他端側（開口１２９ａ）が開口している。
なお、本第２実施形態のインクジェットヘッド２１０も、上述したインクジェットヘッド１００と同様に、ドライフィルムレジスト１０３（１０３ａ〜１０３ｃ）やステンレス板１０５等の複数の層を積層して構成されるものであり、ヘッド本体部３ｇにおいては、３層のドライフィルムレジスト１０３ａ〜１０３ｃをそなえて構成しており、これらのドライフィルムレジスト１０３ａ〜１０３ｃ一部を除去することにより圧力室１１２を形成している。
そして、ドライフィルムレジスト１０３ａ，１０３ｂや、振動板１０４，ポリイミド１２６を部分的に除去することによりインク供給路１２９が形成されている。
すなわち、本第２実施形態においては、インク供給路１２９が、圧力室１１２において振動板１０４の成す面以外の面で開口するように形成されているのである。
ヘッド本体部３ｇ上には、図２８（ａ）に示すように、配線パターン１２３が個別電極１０９および接点部（図示省略）とともにパターニングにより形成されており、これにより配線パターン１２３は個別電極１０９および接点部と同一面上に同一材料により一体的に薄膜形成されている。
上述の構成により、図示しない枠部材にインクタンク（図示省略）を直接（もしくはインクタンク固定用部材を介して）接合した後、インクタンクのインク供給口からインク溜まり空間１３０にインクを供給すると、このインク溜まり空間１３０に一時的にインクが滞留し、その後、インク溜まり空間１３０から各インク供給路１２９から各圧力室１１２へインクが供給される。
そして、接点部にＦＰＣをＴＡＢ等の方式によって電気的に接続した後、図示しない駆動回路等によってＦＰＣを介して各個別電極１０９に駆動信号を供給することにより、加圧部１４０によって圧力室１１２を加圧して各ノズル１２０からインクを吐出する。
このように、本発明の第２実施形態としてのインクジェットヘッドによれば、上述した第１実施形態と同様の作用効果を得ることができる他、インク供給路１２９が振動板１０４の成す面以外の面で開口するように形成されているので、圧電素子１０８や振動板１０４が変形しても、インク供給路１２９がこれらの圧電素子および振動板１０４の変形による影響、例えば、圧力損失等を受けることがなく、圧力室１１２の剛性を維持することができるほか、その加圧動作が安定する。
（Ｉ）第３実施形態の説明
図２９（ａ），（ｂ）はともに本発明の第３実施形態としてのインクジェットヘッドの構成を説明するためのもので、（ａ）はその配線パターンの要部を拡大して示す平面図、（ｂ）は図２９（ａ）のＡ−Ａ線に沿う断面図である。
なお、図中、既述の符号と同一の符号は同一もしくはほぼ同一の部分を示しているので、その詳細な説明は省略する。
本発明の第３実施形態としてのインクジェットヘッド２２０においても、第２実施形態のインクジェットヘッド２１０とは異なる位置にインク供給路１２９が形成されており、以下、図２９（ａ），（ｂ）を用いてその詳細な説明を行なう。
図２９（ａ），（ｂ）に示すように、本第３実施形態のインクジェットヘッド２２０も、上述した第２実施形態のインクジェットヘッド２１０と同様に、図示しないインクタンク（インク供給部）から供給されたインクを吐出する複数のノズル１２０を有するものであって、ヘッド本体部３ｈをそなえて構成されている。
圧力室１１２において、振動板１０４の成す面以外の面であり、且つ、この振動板１０４の成す面に対向する面に、インク供給路１２９の一端側（以下、開口１２９ｂと称する）が開口しており、又、ヘッド本体部３ｈの外面においてインク溜まり空間１３０にインク供給路１２９の他端側（開口１２９ａ）が開口している。
なお、本第３実施形態のインクジェットヘッド２２０も、上述したインクジェットヘッド１００と同様に、ドライフィルムレジスト１０３やステンレス板１０５等の複数の層を積層して構成されるものであり、ヘッド本体部３ｈにおいては、１層のドライフィルムレジスト１０３をそなえて構成しており、このドライフィルムレジスト１０３の一部を除去することにより圧力室１１２を形成している。
そして、ドライフィルムレジスト１０３や、ステンレス板１０５，振動板１０４，ポリイミド１２６を部分的に除去することによりインク供給路１２９が形成されている。
すなわち、本第３実施形態においては、インク供給路１２９が、圧力室１１２において振動板１０４の成す面に対向する面で開口するように形成されているのである。
ヘッド本体部３ｈ上には、図２９（ａ）に示すように、配線パターン１２３が個別電極１０９および接点部（図示省略）とともにパターニングにより形成されており、これにより配線パターン１２３は個別電極１０９および接点部と同一面上に同一材料により一体的に薄膜形成されている。
上述の構成により、図示しない枠部材にインクタンク（図示省略）を直接（もしくはインクタンク固定用部材を介して）接合した後、インクタンクのインク供給口からインク溜まり空間１３０にインクを供給すると、このインク溜まり空間１３０に一時的にインクが滞留し、その後、インク溜まり空間１３０から各インク供給路１２９から各圧力室１１２へインクが供給される。
そして、接点部にＦＰＣをＴＡＢ等の方式によって電気的に接続した後、図示しない駆動回路等によってＦＰＣを介して各個別電極１０９に駆動信号を供給することにより、加圧部１４０によって圧力室１１２を加圧して各ノズル１２０からインクを吐出する。
そして、この際、インク供給路１２９が振動板１０４の成す面に対向する面で開口するように形成されているので、圧電素子１０８や振動板１０４が変形しても、インク供給路１２９がこれらの圧電素子および振動板１０４の変形による影響を受けることがなく、圧力室１１２の剛性を維持することができるほか、その加圧動作が安定する。
このように、本発明の第３実施形態としてのインクジェットヘッドによれば、上述した第２実施形態と同様の作用効果を得ることができる他、ヘッド本体部３ｈを少なくとも１層のドライフィルムレジスト１０３をそなえて構成すればよいので、製造工程を簡略化することができる。
（Ｊ）第４実施形態の説明
図３０（ａ），（ｂ）はともに本発明の第４実施形態としてのインクジェットヘッドの構成を説明するためのもので、（ａ）はその配線パターンの要部を拡大して示す平面図、（ｂ）は図３０（ａ）のＡ−Ａ線に沿う断面図である。
なお、図中、既述の符号と同一の符号は同一もしくはほぼ同一の部分を示しているので、その詳細な説明は省略する。
本発明の第４実施形態としてのインクジェットヘッド２３０においても、第２実施形態のインクジェットヘッド２１０とは異なる位置にインク供給路１２９が形成されており、以下、図３０（ａ），（ｂ）を用いてその詳細な説明を行なう。
図３０（ａ），（ｂ）に示すように、本第４実施形態のインクジェットヘッド２３０も、上述した第２実施形態のインクジェットヘッド２１０と同様に、図示しないインクタンク（インク供給部）から供給されたインクを吐出する複数のノズル１２０を有するものであって、ヘッド本体部３ｉをそなえて構成されている。
圧力室１１２において、振動板１０４の成す面には、圧電素子１０８と振動板１０４との積層領域において、これらの圧電素子１０８および振動板１０４を貫通するようにインク供給路１２９が形成されている。
なお、本第４実施形態のインクジェットヘッド２３０も、上述したインクジェットヘッド１００と同様に、ドライフィルムレジスト１０３やステンレス板１０５等の複数の層を積層して構成されるものであり、ヘッド本体部３ｉにおいては、１層のドライフィルムレジスト１０３をそなえて構成しており、このドライフィルムレジスト１０３の一部を除去することにより圧力室１１２を形成している。
そして、振動板１０４の成す面において、圧電素子１０８と振動板１０４との積層領域において、これらの圧電素子１０８および振動板１０４を部分的に除去することによりインク供給路１０９が形成されている。
ヘッド本体部３ｉ上には、図３０（ａ）に示すように、配線パターン１２３が個別電極１０９および接点部（図示省略）とともにパターニングにより形成されており、これにより配線パターン１２３は個別電極１０９および接点部と同一面上に同一材料により一体的に薄膜形成されている。
上述の構成により、図示しない枠部材にインクタンク（図示省略）を直接（もしくはインクタンク固定用部材を介して）接合した後、インクタンクのインク供給口からインク溜まり空間１３０にインクを供給すると、このインク溜まり空間１３０に一時的にインクが滞留し、その後、インク溜まり空間１３０から各インク供給路１２９から各圧力室１１２へインクが供給される。
そして、接点部にＦＰＣをＴＡＢ等の方式によって電気的に接続した後、図示しない駆動回路等によってＦＰＣを介して各個別電極１０９に駆動信号を供給することにより、加圧部１４０によって圧力室１１２を加圧して各ノズル１２０からインクを吐出する。
このように、本発明の第４実施形態としてのインクジェットヘッド２３０によれば、上述した第２実施形態と同様の作用効果を得ることができる他、インク供給路１２９が圧電素子１０８の積層領域において圧電素子１０８および振動板１０４を貫通するように形成されているので、ヘッド本体部３ｉ上にインク供給路１２９の開口１２９ａのための専用のスペースを設ける必要がなく、インクジェットヘッドを小型化できるほか、集積度を向上させることができる利点がある。
（Ｋ）第５実施形態の説明
図３１，図３２はともに本発明の第５実施形態としてのインクジェットヘッドの構成を説明するためのもので、図３１は本発明の第５実施形態としてのインクジェットヘッドの全体構成を示す分解斜視図、図３２は本発明の第５実施形態としてのインクジェットヘッドにインクタンクを接合した状態を示す縦断面図である。
なお、図中、既述の符号と同一の符号は同一もしくはほぼ同一の部分を示しているので、その詳細な説明は省略する。
本発明の第５実施形態としてのインクジェットヘッド２４０は、第１実施形態のインクジェットヘッド１００における、ヘッド本体部３に代えてヘッド本体部３′をそなえるとともに、インクタンク５０に代えてインクタンク５０′をそなえるものであり、以下、図を用いてその詳細な説明を行なう。
本第５実施形態のインクジェットヘッド２４０も、上述した第１実施形態のインクジェットヘッド１００と同様に、インクタンク（インク供給部）５０′から供給されたインクを吐出する複数のノズル（図示省略）を有するものであって、ヘッド本体部３′をそなえて構成されている。
ヘッド本体部３′は、その内部に、複数のノズルのそれぞれに、圧力室および加圧部１４０をそなえて構成されている。
なお、本第５実施形態のインクジェットヘッド２４０のヘッド本体部３′も第１実施形態のインクジェットヘッド１００のヘッド本体部３と同様に、ドライフィルムレジスト，振動板，ステンレス板，ポリイミド，個別電極１０９およびノズル板等の複数の層を積層して構成されるものであり、この積層による製造工程については省略する。
ヘッド本体部３′は、枠部材８をそなえていないほかは、第１実施形態のインクジェットヘッド１００のヘッド本体部３とほぼ同様の構成をそなえており、その内部に、複数のノズル１２０のそれぞれに、圧力室（図示省略）および加圧部１４０をそなえて構成されている。
そして、このヘッド本体部３′における加圧部１４０が形成されている面、すなわち、インク溜まり空間１３０′（後述）に面する外面には、インク供給路１２９の一端側（以下、開口１２９ａ）が開口しており、又、インク供給路１２９の他端側は各圧力室に開口している。
インクタンク５０′も、第１実施形態のインクジェットヘッド１００におけるインクタンク５０と同様に、適当な負圧を維持しながらヘッド本体部３′のノズルにインクを供給するインク供給部品であって、図３２に示すように、インク室５２，フィルタ５３およびインク供給口５１をそなえるほか、接合部５４をそなえて構成されている。
そして、このインクタンク５０′をその接合部５４に接着剤等を塗布した後、ヘッド本体部３′に接合するのであるが、この際、接合部５４は、ヘッド本体部３′の外面における複数のインク供給路１２９の開口１２９ａを環囲するようになっており、これらのインクタンク５０′の下面，接合部５４およびヘッド本体部３′上面によってインク溜まり空間１３０′が形成されるようになっている。
なお、本第５実施形態のインクジェットヘッド２４０も、上述したインクジェットヘッド１００と同様に、ドライフィルムレジスト１０３やステンレス板１０５等の複数の層を積層して構成されるものであり、その詳細な説明は省略する。
上述の構成により、図示しない枠部材にインクタンク５０′を直接接合した後、インクタンク５０′のインク供給口５１からインク溜まり空間１３０′にインクを供給すると、このインク溜まり空間１３０′に一時的にインクが滞留し、その後、インク溜まり空間１３０′から各インク供給路１２９を通じて各圧力室１１２へインクが供給される。
そして、接点部にＦＰＣをＴＡＢ等の方式によって電気的に接続した後、図示しない駆動回路等によってＦＰＣを介して各個別電極１０９に駆動信号を供給することにより、加圧部１４０によって圧力室１１２を加圧して各ノズル１２０からインクを吐出する。
このように、本発明の第５実施形態としてのインクジェットヘッド２４０によっても、第１実施形態のインクジェットヘッド１００と同様に、ヘッド本体部３′において専用のインク供給口を設ける必要がないので、インクジェットヘッド２４０を小型化できるほか、集積度を向上させることができ、更に、各圧力室１１２へのインクの供給を均一にすることができ、印刷品質を向上させることができる。
また、ヘッド本体部３′にインクタンク５０′もしくはインクタンク固定用部材を接合する場合に、その接着しろを小さくすることができるので、ヘッド本体部３′を小さくすることができインクジェットヘッド２４０、ひいては印刷装置（インクジェットプリンタ）を小型化することができる。
（Ｌ）その他
なお、本発明は上述した各実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。
例えば、上記第１実施形態のインクジェットヘッド１００は（Ａ）層および（Ｂ）層の２層を接合して形成しているが、それに限定するものではなく、又、（Ｂ）層を所望の数の層をそなえて構成してもよく、更に、各層の厚さも所望の厚さを有して構成してもよい。
また、ステンレス板１０５の代わりに、金属やセラミックス以外の材料、例えば、ＰＥＮ等の樹脂やＦＲＰ等のような複合樹脂からなる部材を配設してもよい。なお、これらの部材を配設して構成する場合においては、他のドライフィルムレジスト１０３と類似の熱膨張係数を有するので、接合時等の加熱処理における熱残留応力を低減することができ、インクジェットヘッドの品質を向上させることができる。
さらに、各接点部１２１，１２７とＦＰＣ２（２ａ）とをＴＡＢ方式で接続しているが、それに限定されるものではなく種々変形して実施することができる。 また、上述した各実施形態および各変形例において、枠部材８（８ａ〜８ｃ）の形状はそれに限定するものではなく、種々変形して実施することができる。
さらに、上述した各実施形態および各変形例において、配線パターン１２３の形状はそれに限定されるものではなく、例えば、第１実施形態の第２変形例や第３変形例に示すような配線パターン１２３ａ（１２３ｂ）の形状をそなえてもよい。
なお、本発明の各実施形態が開示されていれば、当業者によって製造することが可能である。
産業上の利用可能性
以上のように、本発明のインクジェットヘッドおよび印刷装置は、インク供給部品からのインクを各圧力室に直接的に供給することができるので、ヘッド本体部において専用のインク供給口が不要であり、インクジェットヘッドを小型化できるとともに集積度を向上させることができる利点があるほか、各圧力室へのインクの供給を均一にすることができ、印刷品質を向上させることができるので、特にインクジェットヘッドをそなえた印刷装置に適している。
【図面の簡単な説明】
図１は本発明の第１実施形態としてのインクジェットヘッドの全体構成を示す分解斜視図である。
図２は本インクジェットヘッドをそなえたインクジェットプリンタの構成を示す斜視図である。
図３は図１のＣ部を拡大して示す平面図である。
図４は図３のＡ−Ａ矢視断面図である。
図５は図４のＢ−Ｂ矢視断面図である。
図６は本発明の第１実施形態としてのインクジェットヘッドにインクタンクを接合した状態を示す縦断面図である。
図７は本発明の第１実施形態としてのインクジェットヘッドの配線パターンの要部を拡大して示す平面図である。
図８は図７のＡ−Ａ線に沿う断面図である。
図９は図７のＢ−Ｂ線に沿う断面図である。
図１０は本発明の第１実施形態としてのインクジェットヘッドの製造方法を説明するための図である。
図１１および図１２は本発明の第１実施形態としてのインクジェットヘッドの製造方法を説明するためのフローチャートである。
図１３（ａ）は本発明の第１実施形態の第１変形例としてのインクジェットヘッドにおけるインクタンクの形状を説明すべくそのインクタンクを示す斜視図である。
図１３（ｂ）は本発明の第１実施形態の第１変形例としてのインクジェットヘッドのヘッド本体部の構成を示す斜視図である。
図１４は本発明の第１実施形態の第２変形例としてのインクジェットヘッドにおける配線パターンの要部を拡大して示す平面図である。
図１５は図１４のＡ−Ａ線に沿う断面図である。
図１６は図１４のＢ−Ｂ線に沿う断面図である。
図１７は本発明の第１実施形態の第３変形例としてのインクジェットヘッドにおける配線パターンの要部を拡大して示す平面図である。
図１８は図１７のＡ−Ａ線に沿う断面図である。
図１９は図１７のＢ−Ｂ線に沿う断面図である。
図２０は本発明の第１実施形態の第４変形例としてのインクジェットヘッドのヘッド本体部の構成を示す斜視図である。
図２１は図２０のＡ矢視図である。
図２２は図２０のＢ部を拡大して示す平面図である。
図２３は図２２のＡ−Ａ線に沿う断面図である。
図２４は図２１のＣ部を拡大して示す平面図である。
図２５は図２２のＢ−Ｂ線に沿う断面図である。
図２６は本発明の第１実施形態の第５変形例としてのインクジェットヘッドのヘッド本体部の構成を示す斜視図である。
図２７は本発明の第１実施形態の第６変形例としてのインクジェットヘッドの要部構成を示す斜視図である。
図２８（ａ）は本発明の第２実施形態としてのインクジェットヘッドにおける配線パターンの要部を拡大して示す平面図である。
図２８（ｂ）は図２８（ａ）のＡ−Ａ線に沿う断面図である。
図２９（ａ）は本発明の第３実施形態としてのインクジェットヘッドにおける配線パターンの要部を拡大して示す平面図である。
図２９（ｂ）は図２９（ａ）のＡ−Ａ線に沿う断面図である。
図３０（ａ）は本発明の第４実施形態としてのインクジェットヘッドにおける配線パターンの要部を拡大して示す平面図である。
図３０（ｂ）は図３０（ａ）のＡ−Ａ線に沿う断面図である。
図３１は本発明の第５実施形態としてのインクジェットヘッドの全体構成を示す分解斜視図である。
図３２は本発明の第５実施形態としてのインクジェットヘッドにインクタンクを接合した状態を示す縦断面図である。
図３３は従来のインクジェットヘッドの要部構成を示す分解斜視図である。
図３４は従来のインクジェットヘッドの要部の構成を示す縦断面図である。

Claims (13)

1. インク供給部品（５０）から供給されたインクを吐出する複数のノズル（１２０）を有するインクジェットヘッドであって、
   該ノズル（１２０）毎にそなえられそれぞれインクを充塞される複数の圧力室（１１２）と、該圧力室（１１２）毎にそなえられそれぞれ該圧力室（１１２）を加圧して該圧力室（１１２）内のインクを該ノズル（１２０）から吐出させる複数の加圧部（１４０）とを含むヘッド本体部（３）をそなえ、
   該ヘッド本体部（３）と該インク供給部品（５０）との間に、該インク供給部品（５０）からのインクを一時的に滞留させるインク溜まり空間（１３０）が形成されるとともに、
   該ヘッド本体部（３）に、該インク溜まり空間（１３０）と該複数の圧力室（１１２）とをそれぞれ連通する複数のインク供給路（１２９）が、それぞれ、一端側を該ヘッド本体部（３）の外面において該インク溜まり空間（１３０）に開口させるとともに他端側を各圧力室（１１２）に開口させて形成され、
   該ヘッド本体部（３）に、枠部材（８）が、該ヘッド本体部（３）の外面における該複数のインク供給路（１２９）の開口（１２９ａ）を環囲するように突設され、
   該枠部材（８）が、該インク供給部品（５０）を該ヘッド本体部（３）に接合するための接合部として用いられ、
   該インク供給部品（５０）により該枠部材（８）の外側を覆って、該枠部材（８）に該インク供給部品（５０）を接合することにより、該枠部材（８）と該ヘッド本体部（３）と該インク供給部品（５０）とにより該インク溜まり空間（１３０）が形成されていることを特徴とするインクジェットヘッド。
2. 該インク供給部品（５０）は、インクタンクまたはインクタンクを着脱自在にそなえることができる固定用部材であることを特徴とする、請求の範囲第１項記載のインクジェットヘッド。
3. 該ヘッド本体部（３）が基板（１２２）上に形成されたものであり、該基板（１２２）を該ヘッド本体部（３）から部分的に除去することにより、該枠部材（８）が、該ヘッド本体部（３）上の該基板（１２２）の残存部として形成されていることを特徴とする、請求の範囲第１項または第２項記載のインクジェットヘッド。
4. 前記枠部材（８）は、フォトエッチング処理により前記残存部として形成され、上方に行くほど幅が狭くなるような断面形状を有していることを特徴とする請求の範囲第３項記載のインクジェットヘッド。
5. 該加圧部（１４０）が、該圧力室（１１２）の一面を成し且つ該圧力室（１１２）と該インク溜まり空間（１３０）とを区画する振動板（１０４）と、該圧力室（１１２）の外側で該振動板（１０４）上に積層形成され該振動板（１０４）を駆動して該圧力室（１１２）を加圧する圧電素子（１０８）とをそなえて構成されていることを特徴とする、請求の範囲第１項〜第４項のいずれか１項に記載のインクジェットヘッド。
6. 該インク供給路（１２９）が、該圧電素子（１０８）の積層領域以外の領域において該振動板（１０４）を貫通するように形成されていることを特徴とする、請求の範囲第５項記載のインクジェットヘッド。
7. 該インク供給路（１２９）が、該圧電素子（１０８）の積層領域において該圧電素子（１０８）および該振動板（１０４）を貫通するように形成されていることを特徴とする、請求の範囲第５項記載のインクジェットヘッド。
8. 該インク供給路（１２９）が、該圧力室（１１２）において該振動板（１０４）の成す面以外の面で開口するように形成されていることを特徴とする、請求の範囲第５項記載のインクジェットヘッド。
9. 該インク供給路（１２９）が、該圧力室（１１２）において該振動板（１０４）の成す面に対向する面で開口するように形成されていることを特徴とする、請求の範囲第８項記載のインクジェットヘッド。
10. 該枠部材（８）は、該圧電素子（１０８）の個別電極（１０９）を環囲するように形成され、
    該枠部材（８）の外側に、該個別電極（１０９）に配線パターン（１２３）を介して接続される接点部（１２１）が形成されていることを特徴とする、請求の範囲第５項〜第９項のいずれか１項記載のインクジェットヘッド。
11. 該枠部材（８）と該ヘッド本体部（３）の間を通過するように前記配線パターン（１２３）が配設されることを特徴とする、請求の範囲第１０項記載のインクジェットヘッド。
12. 請求の範囲第１項〜第１１項のいずれか１項記載のインクジェットヘッドをそなえたことを特徴とする印刷装置。
13. インクを吐出する複数のノズル（１２０）を有するノズル板（１０６）と、該ノズル（１２０）毎にそなえられそれぞれインクを充塞される複数の圧力室（１１２）と、該圧力室（１１２）毎にそなえられそれぞれ該圧力室（１１２）内のインクを該ノズル（１２０）から吐出させる複数の加圧部（１４０）とを含むヘッド本体部（３）をそなえたインクジェットヘッドの製造方法において、
    該ノズル板（１０６）に該ノズル（１２０）を穿孔する工程と、
    基板（１２２）上に個別電極（１０９）、接点部（１２１）および配線パターン（１２３）を形成した上に圧電素子（１０８）と振動板（１０４）とからなる層を形成する工程と、
    該振動板（１０４）上にドライフィルムレジスト（１０３）を積層した後、該圧力室（１１２）に相当する部分をマスク処理により露光する工程と、
    予め導通路（１１６）に相当する部分を除去したステンレス板（１０５）を該ドライフィルムレジスト（１０３）上に接合する工程と、
    該ステンレス板（１０５）に該ノズル板（１０６）を接合し、該基板（１２２）から該ノズル板（１０６）までを一体化する工程と、
    該基板面に枠部材（８）の形状にレジストを塗布して現像し、該基板（１２２）を該ヘッド本体部（３）から部分的に除去することにより、該枠部材（８）を該ヘッド本体部（３）上の該基板（１２２）の残存部として形成する工程と
    からなるインクジェットヘッドの製造方法。

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