JPH02143861A - インクジェットヘッド - Google Patents

インクジェットヘッド

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JPH02143861A
JPH02143861A JP29768688A JP29768688A JPH02143861A JP H02143861 A JPH02143861 A JP H02143861A JP 29768688 A JP29768688 A JP 29768688A JP 29768688 A JP29768688 A JP 29768688A JP H02143861 A JPH02143861 A JP H02143861A
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JP
Japan
Prior art keywords
elastic body
nozzle
resist
nickel layer
pressure generating
Prior art date
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Pending
Application number
JP29768688A
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English (en)
Inventor
Tatsuo Furuta
達雄 古田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Seiko Epson Corp
Original Assignee
Seiko Epson Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Seiko Epson Corp filed Critical Seiko Epson Corp
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Publication of JPH02143861A publication Critical patent/JPH02143861A/ja
Pending legal-status Critical Current

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    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41JTYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01Ink jet
    • B41J2/135Nozzles
    • B41J2/16Production of nozzles
    • B41J2/1621Manufacturing processes
    • B41J2/164Manufacturing processes thin film formation
    • B41J2/1646Manufacturing processes thin film formation thin film formation by sputtering
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41JTYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
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    • B41J2/01Ink jet
    • B41J2/135Nozzles
    • B41J2/16Production of nozzles
    • B41J2/1607Production of print heads with piezoelectric elements
    • B41J2/1614Production of print heads with piezoelectric elements of cantilever type
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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    • B41J2/16Production of nozzles
    • B41J2/1621Manufacturing processes
    • B41J2/1632Manufacturing processes machining

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はインクジェット記録に係わるもので、特にイン
ク中において圧力発生器を駆動させ、ノズルオリフィス
よりインクを吐出させ印字を行うインクジェットヘッド
に関する。
〔従来の技術〕
従来のインクジェットヘッドの構成は、特公昭60−8
953号公報に記載されている様に、ノズル開口部を有
するノズル形成部材と圧電体と弾性体により構成される
圧力発生部材とをそれぞれ別体にて形成し、スペーサを
挟んで支持部材と取り付けねじにより固定されるもの、
あるいは、特開昭60−6469号公報に記載されてい
る様に、ノズル形成部材と、圧力発生部材の弾性体を溶
接により接合するもの、更に一般的には、接着剤を用い
る方法であった。
〔発明が解決しようとする課題〕
しかし、前述の従来技術におけるねじ止めでは、ねじの
締め付は力を所要範囲全般に均一に分散させる事ができ
ず、ノズル形成部材や圧力発生部材を歪ませたり、圧力
発生部材の動作特性に悪影響を及ぼす。また、ノズル形
成部材と圧力発生部材を溶接する場合では、熱による歪
みを発生させるとともに、圧力発生部材の最低単位毎に
一点ないし二点の溶接が必要となり、完成体となった時
のインクジェットヘラに全体としての信頼性を大きく損
なう要因となる。更に、接着剤を用いる場合には、接着
剤の厚みばらつき、はみ出しにより、インク吐出特性を
安定させる事が困離であり、インクと接着剤との化学反
応が起きない組み合せを選定しなくてはならないという
制約を伴う。
そこで本発明はこのような問題点を解決するもので、そ
の目的とするところは、圧力や熱による歪みの発生を防
止し、圧力発生部材の動作特性やインク吐出特性が製造
工程のばらつきに左右されず、信頼性の高いインクジェ
ットヘッドを提供するところにある。
〔課題を解決するための手段〕
本発明のインクジェットヘッドは、複数個のノズル開口
部を有するノズル形成部材と、該ノズル開口部に対向し
インク中に配置され圧電体と弾性体により構成される圧
力発生部材とを備え、圧力発生部材を動作させ、ノズル
開口部近傍のインクの圧力を高め、前記ノズル開口部よ
りインク滴を吐出させるオンディマンド型インクジェッ
トヘッドにおいて、 少くとも、ノズル形成部材から圧力発生部材の弾性体ま
でを一体として構成する事を特徴とする。
〔実施例〕
第1図は本発明の一実施例の断面を含む斜視図であって
、ノズル形成部から弾性体までをニッケルの電鋳により
作成したものである。複数のノズル開口部5を有し、こ
れと若干の間隔を持ち対向する弾性体までを含む、ノズ
ル−弾性体一体部材1は、ろう付は層3を介して電極4
をもつ短冊形の圧電セラミックス2に接合されている。
圧電セラミックス2は厚み方向に分極されており、電極
4と共通電極を兼ねる一体部材1の間に図示しない配線
により電圧を印荷する事で、矢印10の方向に圧電セラ
ミックス2を動作させ、ノズル開口部5と弾性体間に充
填されるインクの圧力を高めノズル開口部5よりインク
滴として吐出させる。
第2図に示す製造工程について説明する。 (a)に示
す通り導電性基板7の上に絶縁性レジスト6を塗布し一
体部材1の外形及びノズル開口部5に対応するパターニ
ングをフォトリソグラフィ技術により形成し、 (b)
でニッケル、W 15を析出させる。同様にして、 (
C)でニッケル層15上に絶縁性レジスト6を塗布しノ
ズル開口部5の陥没をなくすとともに弾性体の支持部を
パターニングしニッケル層を積層する。 (d)におい
てスパッタにより形成した銅の導電性薄膜8を絶縁性レ
ジスト6に影響を与えないレジスト材料により弾性体形
状にパターニングする。本実施例では、スパッタにより
作成する導電性薄膜8の材質として、密着性の良い銅を
使用したが、この他に、金、アルミニウム、ニッケル、
あるいはタングステンでも良好な密着性が得られる事が
実験により確認されているが、以降の工程で薄膜8上に
ニッケルメッキ層を形成するため、電気的性質の最も良
い銅を選定している。 (e)において銅薄膜8上にニ
ッケル!21を積層しくf)で電極4を予め付与してあ
り短冊状に分割していない圧電セラミックス2の原反を
弾性体1上にろう付けする。最後に(g)において圧電
セラミックス2を弾性体とともに短冊状にグイシングし
、絶縁性レジスト6を溶解除去し導電性基板7よりハク
殖する事で製品を得るものである。
第3図は本発明における別の実施例の断面を含む斜視図
であり単結晶シリコン基板の異方性エツチング技術と薄
膜形成技術を用い、ノズル開口部材、弾性体、圧電セラ
ミックスを全て一体として構成したものである。第4図
に示す製造工程について説明する。 (a)において面
方位(100)で−様な厚みを持つ単結晶シリコン基板
11上に(110)面と直交もしくは平行する様にネガ
型レジスト16をパターニングする。 (b)において
苛性カリ(KOH)水溶液を用い最終的にはノズル開口
部15と弾性体の間隙となる溝をエツチング除去する。
同様にして(C)で溝底部にノズル開口部15に対応す
るレジストパターンを形成させ(d)においてノズル開
口部15をエッチングしレジストパターンを溶解除去す
る。 (e)で溝深さを越える厚みのリン珪酸ガラス(
PSG)17を成長させ(f)において溝部以外の不要
なPSG17を研摩除去する。 (g)で弾性体を構成
する多結晶リシコン薄膜を成長させPSG17上をクシ
歯状にパターニングする。更に(h)で多結晶シリコン
薄膜上に、下共通電極14b、圧電セラミックス12、
上電極14aをスパッタにより順次形成しフォトリソグ
ラフィにより上電極14aと圧電セラミックス12を短
冊上にエツチングする。最後に(i)において、PSG
17を溶解除去し目的とする形状を得る。
〔発明の効果〕
本発明は、少くともノズル形成部材から圧力発生部材の
弾性体までを一体の部品として構成する事で、それぞれ
別体で製作し接合して構成する場合に発生する歪、精度
の劣化、信頼性の低下が排除でき従来にない性能のイン
クジェットヘッドが得られる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明のインクジェットヘッドの一実施例を示
す斜視図。 第2図(a)〜(g>は第1図に示したインクジェット
ヘッドの製造工程°を示す断面図。 第3図は本発明のインクジェットヘッドの他の実施例を
示す斜視図。 第4図(a)〜(i)は第3図に示したインクジェット
ヘッドの製造工程を示す断面図。 1・・・ノズル−弾性体一体部材 2・・・圧電セラミックス 5・・・ノズル開口部 6・・・絶縁性レジスト 11・・・シリコン基板 12・・・圧電セラミックス 15・・・ノズル開口部 16・・・ネガ型レジスト 以  上 出願人 セイコーエプソン株式会社 代理人 弁理士 鈴木 喜三部 化1名(b) ノ5 第1図 第2図 第3図 1φわ下共漣電1伽 第4図

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 複数個のノズル開口部を有するノズル形成部材と、該ノ
    ズル開口部に対向しインク中に配置され、圧電体と弾性
    体により構成される圧力発生部材とを備え、圧力発生部
    材を動作させ、ノズル開口部近傍のインクの圧力を高め
    、前記ノズル開口部よりインク滴を吐出させるオンディ
    マンド型インクジェットヘッドにおいて、 少くとも、ノズル形成部材から圧力発生部材の弾性体ま
    でを一体として構成する事を特徴とするインクジェット
    ヘッド。
JP29768688A 1988-11-25 1988-11-25 インクジェットヘッド Pending JPH02143861A (ja)

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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6637870B2 (en) 1999-12-10 2003-10-28 Fujitsu Limited Ink jet head, method of manufacturing ink jet head, and printer
US6682180B2 (en) 1999-12-10 2004-01-27 Fujitsu Limited Ink jet head and printing apparatus
US6719410B2 (en) 1999-12-13 2004-04-13 Fujistu Limited Ink jet head and manufacturing method thereof

Cited By (4)

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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US6682180B2 (en) 1999-12-10 2004-01-27 Fujitsu Limited Ink jet head and printing apparatus
US6978543B2 (en) 1999-12-10 2005-12-27 Fuji Photo Film Co., Ltd. Method of manufacturing an ink jet head having a plurality of nozzles
US6719410B2 (en) 1999-12-13 2004-04-13 Fujistu Limited Ink jet head and manufacturing method thereof

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