JP3134305B2 - インクジェットヘッド - Google Patents
インクジェットヘッドInfo
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- JP3134305B2 JP3134305B2 JP29768590A JP29768590A JP3134305B2 JP 3134305 B2 JP3134305 B2 JP 3134305B2 JP 29768590 A JP29768590 A JP 29768590A JP 29768590 A JP29768590 A JP 29768590A JP 3134305 B2 JP3134305 B2 JP 3134305B2
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- Japan
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- pressure generating
- generating member
- ink
- jet head
- piezoelectric body
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- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Description
本発明は、インク液滴を記録媒体上へ選択的に付着さ
せるインクジェットヘッドに関する。
せるインクジェットヘッドに関する。
従来の技術として、第６図に示すように、ガラス基板
600とガラス薄板610との間に複数組のインクキャビティ
620、ノズル621、インク供給路622と、各インク供給路6
22に通じインクをとどめ置くインク溜部630を形成し、
電極640を両面に形成した圧電体650の板をインクキャビ
ティの面積程度に切断した後、各インクキャビティ上に
ガラス薄板を挟んで接着したインクジェットヘッドがあ
る。 又、特公昭61−2024号公報によれば、単一の圧電体上
に弾性板を形成し、その圧電素子面もしくは、弾性板面
のどちらかに溝を設けて振動子を形成する方式が紹介さ
れている。
600とガラス薄板610との間に複数組のインクキャビティ
620、ノズル621、インク供給路622と、各インク供給路6
22に通じインクをとどめ置くインク溜部630を形成し、
電極640を両面に形成した圧電体650の板をインクキャビ
ティの面積程度に切断した後、各インクキャビティ上に
ガラス薄板を挟んで接着したインクジェットヘッドがあ
る。 又、特公昭61−2024号公報によれば、単一の圧電体上
に弾性板を形成し、その圧電素子面もしくは、弾性板面
のどちらかに溝を設けて振動子を形成する方式が紹介さ
れている。
【発明が解決しようととする課題】 インクキャビティ620の広さは一辺が数百μｍ程度で
あり、これらと同程度の大きさの圧電体650の板を機械
変位発生手段として各インクキャビティ620ごとに接着
することが必要であった。しかしこのような構造のヘッ
ドでは圧電体650とインクキャビティ620との位置合わせ
精度が高くできない、圧電体650の接着時における作業
性が悪い、接着の不均一さによる特性のばらつきが大き
い、接着部の剥離が起こり易い、切断加工時の内部歪に
よる特性のばらつきが大きい、などの問題点を有してい
た。 これらの問題はプリンタの性能を向上させるためにノ
ズル数を増やしたり、ノズル密度を高くするほど、より
クローズアップされてきていた問題であった。 又、特公昭61−2024号公報の方式も、溝入れ加工を必
要とし、製造工数の負担は回避できなかった。 そこで本発明はこれらの問題点を解決するもので、そ
の目的とするところは高密度で、高ノズル数、均質な特
性を有する、信頼性の高いインクジェットヘッドをきわ
めて低コストに提供することである。
あり、これらと同程度の大きさの圧電体650の板を機械
変位発生手段として各インクキャビティ620ごとに接着
することが必要であった。しかしこのような構造のヘッ
ドでは圧電体650とインクキャビティ620との位置合わせ
精度が高くできない、圧電体650の接着時における作業
性が悪い、接着の不均一さによる特性のばらつきが大き
い、接着部の剥離が起こり易い、切断加工時の内部歪に
よる特性のばらつきが大きい、などの問題点を有してい
た。 これらの問題はプリンタの性能を向上させるためにノ
ズル数を増やしたり、ノズル密度を高くするほど、より
クローズアップされてきていた問題であった。 又、特公昭61−2024号公報の方式も、溝入れ加工を必
要とし、製造工数の負担は回避できなかった。 そこで本発明はこれらの問題点を解決するもので、そ
の目的とするところは高密度で、高ノズル数、均質な特
性を有する、信頼性の高いインクジェットヘッドをきわ
めて低コストに提供することである。
本発明のインクジェットヘッドは、複数のノズルと、
該ノズルに対応する圧力発生部材を備えたインクジェッ
トヘッドにおいて、前記圧力発生部材が連続した圧電体
と、該圧電体上の各ノズルに対応するよう形成された弾
性体振動部を備え、該弾性体振動部が駆動回路からの駆
動信号を前記圧力発生部材に伝達するフレキシブルフィ
ルムから延設してなることを特徴とする。 さらに好ましくは、記弾性体振動部の実質的に駆動さ
れる部分は前記フレキシブルフィルムのフィルムが除去
されていることを特徴とする特許請求の範囲２記載のイ
ンクジェットヘッド
該ノズルに対応する圧力発生部材を備えたインクジェッ
トヘッドにおいて、前記圧力発生部材が連続した圧電体
と、該圧電体上の各ノズルに対応するよう形成された弾
性体振動部を備え、該弾性体振動部が駆動回路からの駆
動信号を前記圧力発生部材に伝達するフレキシブルフィ
ルムから延設してなることを特徴とする。 さらに好ましくは、記弾性体振動部の実質的に駆動さ
れる部分は前記フレキシブルフィルムのフィルムが除去
されていることを特徴とする特許請求の範囲２記載のイ
ンクジェットヘッド
本発明の実施例を説明する。 第１図は本発明の第１の実施例のインクジェットヘッ
ドの構造図である。第１図（ａ）は、平面図。第１図
（ｂ）は断面図。ガラスでできたベース基板210上に、
キャビティ220、ノズル221、インク供給路222、インク
供給口262、インク溜部240が形成されている。圧電体23
0は、片面に共通電極251、もう一方の面に弾性体振動部
253、配線部254が形成されている。圧電体230、共通電
極251、弾性体振動部253によって、圧力発生部材260が
形成されている。共通電極251はグランドに、また、配
線部254は駆動回路（図示されていない）に接続され、
駆動信号によって圧力発生部材260を駆動しインクを飛
翔させる。ベース基板210のキャビティ220と弾性体振動
部253とが対向するように接合し、本実施例のインクジ
ェットヘッドを得る。 次に、第２図を用いて圧力発生部材260の製造方法に
ついて説明する。チタン酸ジルコン酸鉛系複合ペロブス
カイトセラミックス等の圧電材料からなる圧電体230の
片面に、メッキ、スパッタリング、蒸着、厚膜印刷等に
より、Cr、Ni、Au等の導電材料を0.5μｍ程度形成す
る。他の面に、フレキシブルフィルム261上に所望の形
状を有した金属板で形成した弾性板263を貼り付ける。 ここで、弾性板263の製造方法を第３図を用いて説明
する。 第３図（ａ）（ｂ）に於いて、ポリイミド、ポリエス
テル等のテープ状のフレキシブルフィルムに所望の形状
の貫通孔311をプレス加工法等により形成する。次に、
第３図（ｃ）に示す様にNi、Cu、ステンレス等の金属板
312を全面にはりつける。更に、第３図（ｄ）（ｅ）に
示すように、この金属板312の所望の形状にフォトリソ
グラフィ技術等によりエッチングして弾性板253、及び
配線部254を形成する。この製造技術は、IC実装用のTAB
（Tape Automated bonding）テープの製造方法として
知られている。 上記のようにして製造された弾性板263を圧電体に貼
り付ける方法を、第４図（ａ）〜（ｄ）に示した。 第４図（ａ）に於いて、基台400上に共通電極251を形
成した圧電体230の共通電極251側を真空チャック等によ
り固定し、エポキシ等の接着剤410をその反対面に塗布
する。更に、第３図で説明した弾性板263をその上面に
重ねて位置合わせした後、第４図（ｂ）に示すように加
圧ツール420で圧電体230と弾性板263を密着させる。そ
の後、テープ状の弾性板263を個々に分離する為、第４
図（ｃ）に示すように切断刃430で押圧しプレス加工し
第４図（ｄ）に示す様な構造を得る。 上記は、弾性体振動部253、配線部254を２方向に出し
た例であるが、第５図に示すように４方向に出すことも
可能である。 以上、述べてきたように、本実施例のインクジェット
ヘッドは、圧力発生部材260を構成している圧電体230を
大きなシート状のまま加工せずに使用し、加工性のよい
弾性板263を加工しているだけのため、きわめて作業性
がよく、圧力発生部材を高密度に形成することができ
る。
ドの構造図である。第１図（ａ）は、平面図。第１図
（ｂ）は断面図。ガラスでできたベース基板210上に、
キャビティ220、ノズル221、インク供給路222、インク
供給口262、インク溜部240が形成されている。圧電体23
0は、片面に共通電極251、もう一方の面に弾性体振動部
253、配線部254が形成されている。圧電体230、共通電
極251、弾性体振動部253によって、圧力発生部材260が
形成されている。共通電極251はグランドに、また、配
線部254は駆動回路（図示されていない）に接続され、
駆動信号によって圧力発生部材260を駆動しインクを飛
翔させる。ベース基板210のキャビティ220と弾性体振動
部253とが対向するように接合し、本実施例のインクジ
ェットヘッドを得る。 次に、第２図を用いて圧力発生部材260の製造方法に
ついて説明する。チタン酸ジルコン酸鉛系複合ペロブス
カイトセラミックス等の圧電材料からなる圧電体230の
片面に、メッキ、スパッタリング、蒸着、厚膜印刷等に
より、Cr、Ni、Au等の導電材料を0.5μｍ程度形成す
る。他の面に、フレキシブルフィルム261上に所望の形
状を有した金属板で形成した弾性板263を貼り付ける。 ここで、弾性板263の製造方法を第３図を用いて説明
する。 第３図（ａ）（ｂ）に於いて、ポリイミド、ポリエス
テル等のテープ状のフレキシブルフィルムに所望の形状
の貫通孔311をプレス加工法等により形成する。次に、
第３図（ｃ）に示す様にNi、Cu、ステンレス等の金属板
312を全面にはりつける。更に、第３図（ｄ）（ｅ）に
示すように、この金属板312の所望の形状にフォトリソ
グラフィ技術等によりエッチングして弾性板253、及び
配線部254を形成する。この製造技術は、IC実装用のTAB
（Tape Automated bonding）テープの製造方法として
知られている。 上記のようにして製造された弾性板263を圧電体に貼
り付ける方法を、第４図（ａ）〜（ｄ）に示した。 第４図（ａ）に於いて、基台400上に共通電極251を形
成した圧電体230の共通電極251側を真空チャック等によ
り固定し、エポキシ等の接着剤410をその反対面に塗布
する。更に、第３図で説明した弾性板263をその上面に
重ねて位置合わせした後、第４図（ｂ）に示すように加
圧ツール420で圧電体230と弾性板263を密着させる。そ
の後、テープ状の弾性板263を個々に分離する為、第４
図（ｃ）に示すように切断刃430で押圧しプレス加工し
第４図（ｄ）に示す様な構造を得る。 上記は、弾性体振動部253、配線部254を２方向に出し
た例であるが、第５図に示すように４方向に出すことも
可能である。 以上、述べてきたように、本実施例のインクジェット
ヘッドは、圧力発生部材260を構成している圧電体230を
大きなシート状のまま加工せずに使用し、加工性のよい
弾性板263を加工しているだけのため、きわめて作業性
がよく、圧力発生部材を高密度に形成することができ
る。
本発明によれば、複数のノズルと、該ノズルに対応す
る圧力発生部材を備えたインクジェットヘッドにおい
て、前記圧力発生部材が連続した圧電体と、該圧電体上
の各ノズルに対応するよう形成された弾性体振動部を備
え、該弾性体振動部が駆動回路からの駆動信号を前記圧
力発生部材に伝達するフレキシブルフィルムから延設し
てなることにより、上記高密度の配置を精度良くするこ
とができ、均質な特性でインクを飛翔させることができ
る。
る圧力発生部材を備えたインクジェットヘッドにおい
て、前記圧力発生部材が連続した圧電体と、該圧電体上
の各ノズルに対応するよう形成された弾性体振動部を備
え、該弾性体振動部が駆動回路からの駆動信号を前記圧
力発生部材に伝達するフレキシブルフィルムから延設し
てなることにより、上記高密度の配置を精度良くするこ
とができ、均質な特性でインクを飛翔させることができ
る。
第１図は、本発明のインクジェットヘッドの構造図。 第２図〜第４図は本発明の一実施例のインクジェットヘ
ッドの製造方法を説明するための図。 第５図は本発明の別の実施例を示す図。 第６図は従来例を示す図。
ッドの製造方法を説明するための図。 第５図は本発明の別の実施例を示す図。 第６図は従来例を示す図。
220……キャビティ 221……ノズル 230……圧電体 240……インク溜部 251……共通電極 253……弾性体振動部 260……圧力発生部材 261……フレキシブルテープ 263……弾性板
Claims (2)
- 【請求項１】複数のノズルと、該ノズルに対応する圧力
発生部材を備えたインクジェットヘッドにおいて、 前記圧力発生部材が連続した圧電体と、該圧電体上の各
ノズルに対応するよう形成された弾性体振動部を備え、
該弾性体振動部が駆動回路からの駆動信号を前記圧力発
生部材に伝達するフレキシブルフィルムから延設してな
ることを特徴とするインクジェットヘッド。 - 【請求項２】記弾性体振動部の実質的に駆動される部分
は前記フレキシブルフィルムのフィルムが除去されてい
ることを特徴とする請求項１に記載のインクジェットヘ
ッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29768590A JP3134305B2 (ja) | 1990-11-02 | 1990-11-02 | インクジェットヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29768590A JP3134305B2 (ja) | 1990-11-02 | 1990-11-02 | インクジェットヘッド |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000107601A Division JP2000301720A (ja) | 2000-01-01 | 2000-04-10 | インクジェットヘッド |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04169237A JPH04169237A (ja) | 1992-06-17 |
| JP3134305B2 true JP3134305B2 (ja) | 2001-02-13 |
Family
ID=17849823
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29768590A Expired - Fee Related JP3134305B2 (ja) | 1990-11-02 | 1990-11-02 | インクジェットヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3134305B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2981499B2 (ja) * | 1993-06-18 | 1999-11-22 | セイコーエプソン株式会社 | インクジェットヘッド |
| IT1268870B1 (it) * | 1993-08-23 | 1997-03-13 | Seiko Epson Corp | Testa di registrazione a getto d'inchiostro e procedimento per la sua fabbricazione. |
| IT1282822B1 (it) * | 1994-04-26 | 1998-03-31 | Seiko Epson Corp | Testa di registrazione a getto di inchiostro e idoneo metodo di fabbricazione per la testa di registrazione a getto di inchiostro |
| US7003857B1 (en) | 1995-11-24 | 2006-02-28 | Seiko Epson Corporation | Method of producing an ink-jet printing head |
| JP3460218B2 (ja) * | 1995-11-24 | 2003-10-27 | セイコーエプソン株式会社 | インクジェットプリンタヘッドおよびその製造方法 |
-
1990
- 1990-11-02 JP JP29768590A patent/JP3134305B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH04169237A (ja) | 1992-06-17 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
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