JPH04169237A - インクジェットヘッド - Google Patents
インクジェットヘッドInfo
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- JPH04169237A JPH04169237A JP29768590A JP29768590A JPH04169237A JP H04169237 A JPH04169237 A JP H04169237A JP 29768590 A JP29768590 A JP 29768590A JP 29768590 A JP29768590 A JP 29768590A JP H04169237 A JPH04169237 A JP H04169237A
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- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 6
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims 1
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 abstract description 3
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Landscapes
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野コ
本発明は、インク液滴を記録媒体上へ選択的に付着させ
るインクジェットヘッドに関する。
るインクジェットヘッドに関する。
[従来の技術]
従来の技術として、第6図に示すように、ガラス基板6
00とガラス薄板610との間に枚数組のインクキャビ
ティ620、ノズル621、インク供給路622と、各
インク供給路622に通じインクをとどめ置くインク溜
部630を形成し、電極640を両面に形成した圧電体
650の板をインクキャビティの面積程度に切断した後
、各インクキャビティの上にガラス薄板を挟んで接着し
たインクジェットヘッドがある。
00とガラス薄板610との間に枚数組のインクキャビ
ティ620、ノズル621、インク供給路622と、各
インク供給路622に通じインクをとどめ置くインク溜
部630を形成し、電極640を両面に形成した圧電体
650の板をインクキャビティの面積程度に切断した後
、各インクキャビティの上にガラス薄板を挟んで接着し
たインクジェットヘッドがある。
又、特公昭61−2024号公報によれば、単一の圧電
体上に弾性板を形成し、その圧電素子面もしくは、弾性
板面のどちらかに溝を設けて振動子を形成する方式が紹
介されている。
体上に弾性板を形成し、その圧電素子面もしくは、弾性
板面のどちらかに溝を設けて振動子を形成する方式が紹
介されている。
[発明が解決しようとする課題]
インクキャビティ620の広さは一辺が数百μm程度で
あり、これらと同程度の大きさの圧電体650の板を機
械変位発生手段として各インクキャビティ620ごとに
接着することが必要であった。しかしこのような構造の
ヘッドでは圧電体650とインクキャビティ620との
位置合わせ精度が高くできない、圧電体650の接着時
における作業性が悪い、接着の不均一さによる特性のば
らつきが大きい、接着部の剥離が起こり易い切断加工時
の内部歪による特性のばらつきが大きい、などの問題点
を有していた。
あり、これらと同程度の大きさの圧電体650の板を機
械変位発生手段として各インクキャビティ620ごとに
接着することが必要であった。しかしこのような構造の
ヘッドでは圧電体650とインクキャビティ620との
位置合わせ精度が高くできない、圧電体650の接着時
における作業性が悪い、接着の不均一さによる特性のば
らつきが大きい、接着部の剥離が起こり易い切断加工時
の内部歪による特性のばらつきが大きい、などの問題点
を有していた。
これらの問題はプリンタの性能を向上させるためにノズ
ル数を増やしたり、ノズル密度を高くするほど、よりク
ローズアップされてきていた問題であった。
ル数を増やしたり、ノズル密度を高くするほど、よりク
ローズアップされてきていた問題であった。
又、特公昭61−2024号公報の方式も、溝入れ加工
を必要とし、製造工数の負担は回避8来なかった。
を必要とし、製造工数の負担は回避8来なかった。
そこで本発明はこれらの問題点を解決するもので、その
目的とするところは高密度で、高ノズル数、均質な特性
を有する、信頼性の高いインクジェットヘッドをきわめ
て低コストに提供することである。
目的とするところは高密度で、高ノズル数、均質な特性
を有する、信頼性の高いインクジェットヘッドをきわめ
て低コストに提供することである。
1課題を解決するための手段]
本発明のインクジェットヘッドは、インクに飛翔力を与
える圧力発生部材と、該圧力発生部材に対応し配設され
該インクの突出口たるノズルとを有し、前記圧力発生部
材が連続した圧電体と該圧電体上に前記ノズルに対応し
て配設された弾性板振動部とから形成され、かつ、前記
弾性板はフレキシブルフィルム上に所望の形状を有した
金属板により形成されていることを特徴とする。
える圧力発生部材と、該圧力発生部材に対応し配設され
該インクの突出口たるノズルとを有し、前記圧力発生部
材が連続した圧電体と該圧電体上に前記ノズルに対応し
て配設された弾性板振動部とから形成され、かつ、前記
弾性板はフレキシブルフィルム上に所望の形状を有した
金属板により形成されていることを特徴とする。
[実施例]
本発明の詳細な説明する。
第1図は本発明の第1の実施例のインクジェットヘッド
の構造図である。第1図(a)は、平面図。第1図(b
)は断面図。ガラスで出来たベース基板210上に、キ
ャビティ220、ノズル221、インク供給路222、
インク供給口262、インク溜部240が形成されてい
る。圧電体230は、片面に共通電極251、もう一方
の面に弾性体振動部253、配線部254が形成されて
いる。圧電体230、共通電極251、弾性体振動部2
53によって、圧力発生部材260が形成されている。
の構造図である。第1図(a)は、平面図。第1図(b
)は断面図。ガラスで出来たベース基板210上に、キ
ャビティ220、ノズル221、インク供給路222、
インク供給口262、インク溜部240が形成されてい
る。圧電体230は、片面に共通電極251、もう一方
の面に弾性体振動部253、配線部254が形成されて
いる。圧電体230、共通電極251、弾性体振動部2
53によって、圧力発生部材260が形成されている。
共通電極251はグランドに、また、配線部254は駆
動回路(図示されていない)に接続され、駆動信号によ
って圧力発生部材260を駆動しインクを飛翔させる。
動回路(図示されていない)に接続され、駆動信号によ
って圧力発生部材260を駆動しインクを飛翔させる。
ベース基板210のキャビティ220等の形成側と共通
電極251を対面させ、キャビティ220と弾性体振動
部253とが対向するように接合し、本実施例のインク
ジェットヘッドを得る。
電極251を対面させ、キャビティ220と弾性体振動
部253とが対向するように接合し、本実施例のインク
ジェットヘッドを得る。
次に、第2図を用いて圧力発生部材260の製造方法に
ついて説明する。チタン酸ジルコン酸鉛系複合ペロプス
カイトセラミックス等の圧電材料からなる圧電体230
の片面に、メツキ、スパッタリング、蒸着、厚膜印刷等
により、Cr、Ni。
ついて説明する。チタン酸ジルコン酸鉛系複合ペロプス
カイトセラミックス等の圧電材料からなる圧電体230
の片面に、メツキ、スパッタリング、蒸着、厚膜印刷等
により、Cr、Ni。
Au等の導電材群を0.5μm程度形成する。他の面に
、フレキシブルフィルム261上に所望の形状を有した
金属板で形成した弾性板263を張り付ける。
、フレキシブルフィルム261上に所望の形状を有した
金属板で形成した弾性板263を張り付ける。
ここで、弾性板263の製造方法を第3図を用いて説明
する。
する。
第3図(a)(b)に於て、ポリイミド、ポリエステル
等のテープ状のフレキシブルフィルムに所望の形状の貫
通孔311をプレス加工法等により形成する。次に、第
3図(C)に示す様にNi、Cu、ステンレス等の金属
板312を前面に張り付ける。更に、第3図(d)(e
)に示すように、この金属板312を所望の形状にフォ
トリソグラフィ技術等によりエツチングして弾性板25
3、及び配線部254を形成する。この製造技術は、I
C実装用のTAE (Tape Automatad
Bonding)テープの製造方法として知られて
いる。
等のテープ状のフレキシブルフィルムに所望の形状の貫
通孔311をプレス加工法等により形成する。次に、第
3図(C)に示す様にNi、Cu、ステンレス等の金属
板312を前面に張り付ける。更に、第3図(d)(e
)に示すように、この金属板312を所望の形状にフォ
トリソグラフィ技術等によりエツチングして弾性板25
3、及び配線部254を形成する。この製造技術は、I
C実装用のTAE (Tape Automatad
Bonding)テープの製造方法として知られて
いる。
上記のようにして製造された弾性板263を圧電体に貼
り付ける方法を、第4図(a)〜(d)に示した。
り付ける方法を、第4図(a)〜(d)に示した。
第4図(a)に於いて、基台400上に共通電極251
を形成した圧電体230の共通電極251側を真空チャ
ック等により固定し、エポキシ等の接着剤410をその
反対面に塗布する。更に、第3図で説明した弾性板26
3をその上面に重ねて位置合わせをした後、第4図(b
)に示すように加圧ツール420で圧電体230と弾性
板263を密着させる。その後、テープ状の弾性板26
3を個々に分離する為、第4図(C)に示すように切断
刃430で押圧しプレス加工し第4図(d)に示す様な
構造を得る。
を形成した圧電体230の共通電極251側を真空チャ
ック等により固定し、エポキシ等の接着剤410をその
反対面に塗布する。更に、第3図で説明した弾性板26
3をその上面に重ねて位置合わせをした後、第4図(b
)に示すように加圧ツール420で圧電体230と弾性
板263を密着させる。その後、テープ状の弾性板26
3を個々に分離する為、第4図(C)に示すように切断
刃430で押圧しプレス加工し第4図(d)に示す様な
構造を得る。
上記は、弾性体振動部253、配線部254を2方向に
出した例であるが、第5図に示すように4方向に出すこ
とも可能である。
出した例であるが、第5図に示すように4方向に出すこ
とも可能である。
以上述べてきたように、本実施例のインクジェットヘッ
ドは、圧力発生部材260を構成している圧電体230
を大きなシート状のまま加工せずに使用し、加工性のよ
い弾性板263を加工しているだけのため、きわめて作
業性がよく、圧力発生部材を高密度に形成することが出
来る。
ドは、圧力発生部材260を構成している圧電体230
を大きなシート状のまま加工せずに使用し、加工性のよ
い弾性板263を加工しているだけのため、きわめて作
業性がよく、圧力発生部材を高密度に形成することが出
来る。
[発明の効果]
本発明によれば、圧力発生部材が一枚の連続した圧電体
と、ノズルに対応した弾性体振動部から形成されている
ため、圧力発生部材が真密度に精度よく容易に形成でき
る。従って、ノズルを高密度に数多く配設した、均質な
特性を有するインクジェットヘッドを提供することが出
来る。
と、ノズルに対応した弾性体振動部から形成されている
ため、圧力発生部材が真密度に精度よく容易に形成でき
る。従って、ノズルを高密度に数多く配設した、均質な
特性を有するインクジェットヘッドを提供することが出
来る。
第1図は、本発明のインクジェットヘッドの構造図。
第2図〜第4図は本発明の一実施例のインクジェットヘ
ッドの製造方法を説明する為の図。 第5図は本発明の別の実施例を示す図。 第6図は従来例を示す図。 220・・・・キャビティー 221・・・・ノズル 230・・・・圧電体 240・・・・インク溜部 251・・・・共通電極 253・・・・弾性体振動部 261・・・・フレキシブルテープ 260・・・・圧力発生部材 263・・・・弾性板 以上 第1図 第2図 372:全属根 (b) (d) 267 第4図 (d) 第4図
ッドの製造方法を説明する為の図。 第5図は本発明の別の実施例を示す図。 第6図は従来例を示す図。 220・・・・キャビティー 221・・・・ノズル 230・・・・圧電体 240・・・・インク溜部 251・・・・共通電極 253・・・・弾性体振動部 261・・・・フレキシブルテープ 260・・・・圧力発生部材 263・・・・弾性板 以上 第1図 第2図 372:全属根 (b) (d) 267 第4図 (d) 第4図
Claims (1)
- インク滴を記録媒体上に選択的に付着させるインクジェ
ットヘッドにおいて、インクに飛翔力を与える圧力発生
部材と、該圧力発生部材に対応し配設され前記インクの
突出口たるノズルとを有し、前記圧力発生部材が、連続
した圧電体と、該圧電体上に前記ノズルに対応して配設
された、フレキシブルフィルム上に金属板を形成した弾
性板振動部とから成ることを特徴とするインクジェット
ヘッド。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP29768590A JP3134305B2 (ja) | 1990-11-02 | 1990-11-02 | インクジェットヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP29768590A JP3134305B2 (ja) | 1990-11-02 | 1990-11-02 | インクジェットヘッド |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000107601A Division JP2000301720A (ja) | 2000-01-01 | 2000-04-10 | インクジェットヘッド |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04169237A true JPH04169237A (ja) | 1992-06-17 |
JP3134305B2 JP3134305B2 (ja) | 2001-02-13 |
Family
ID=17849823
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP29768590A Expired - Fee Related JP3134305B2 (ja) | 1990-11-02 | 1990-11-02 | インクジェットヘッド |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3134305B2 (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07137251A (ja) * | 1993-06-18 | 1995-05-30 | Seikosha Co Ltd | インクジェットヘッド |
FR2719804A1 (fr) * | 1994-04-26 | 1995-11-17 | Seiko Epson Corp | Tête d'enregistrement à jets d'encre et son procédé de fabrication. |
US6126279A (en) * | 1995-11-24 | 2000-10-03 | Seiko Epson Corporation | Ink jet printing head for improving resolution and decreasing crosstalk |
US6334673B1 (en) * | 1993-08-23 | 2002-01-01 | Seiko Epson Corporation | Ink jet print head with plural electrodes |
US7003857B1 (en) | 1995-11-24 | 2006-02-28 | Seiko Epson Corporation | Method of producing an ink-jet printing head |
-
1990
- 1990-11-02 JP JP29768590A patent/JP3134305B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07137251A (ja) * | 1993-06-18 | 1995-05-30 | Seikosha Co Ltd | インクジェットヘッド |
US6334673B1 (en) * | 1993-08-23 | 2002-01-01 | Seiko Epson Corporation | Ink jet print head with plural electrodes |
FR2719804A1 (fr) * | 1994-04-26 | 1995-11-17 | Seiko Epson Corp | Tête d'enregistrement à jets d'encre et son procédé de fabrication. |
US5929881A (en) * | 1994-04-26 | 1999-07-27 | Seiko Epson Corporation | Ink jet recording head having improved arrangement of electrodes |
US6073321A (en) * | 1994-04-26 | 2000-06-13 | Seiko Epson Corporation | Manufacturing method for an ink jet recording head |
US6126279A (en) * | 1995-11-24 | 2000-10-03 | Seiko Epson Corporation | Ink jet printing head for improving resolution and decreasing crosstalk |
US7003857B1 (en) | 1995-11-24 | 2006-02-28 | Seiko Epson Corporation | Method of producing an ink-jet printing head |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP3134305B2 (ja) | 2001-02-13 |
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Legal Events
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