JPH04169237A - インクジェットヘッド - Google Patents
インクジェットヘッドInfo
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- JPH04169237A JPH04169237A JP29768590A JP29768590A JPH04169237A JP H04169237 A JPH04169237 A JP H04169237A JP 29768590 A JP29768590 A JP 29768590A JP 29768590 A JP29768590 A JP 29768590A JP H04169237 A JPH04169237 A JP H04169237A
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- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 6
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 6
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims 1
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 9
- 239000011521 glass Substances 0.000 abstract description 5
- 239000000758 substrate Substances 0.000 abstract description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 3
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 1
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000003292 glue Substances 0.000 description 1
- HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N lead zirconate titanate Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ti+4].[Zr+4].[Pb+2] HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052451 lead zirconate titanate Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野コ
本発明は、インク液滴を記録媒体上へ選択的に付着させ
るインクジェットヘッドに関する。
るインクジェットヘッドに関する。
［従来の技術］
従来の技術として、第６図に示すように、ガラス基板６
００とガラス薄板６１０との間に枚数組のインクキャビ
ティ６２０、ノズル６２１、インク供給路６２２と、各
インク供給路６２２に通じインクをとどめ置くインク溜
部６３０を形成し、電極６４０を両面に形成した圧電体
６５０の板をインクキャビティの面積程度に切断した後
、各インクキャビティの上にガラス薄板を挟んで接着し
たインクジェットヘッドがある。
００とガラス薄板６１０との間に枚数組のインクキャビ
ティ６２０、ノズル６２１、インク供給路６２２と、各
インク供給路６２２に通じインクをとどめ置くインク溜
部６３０を形成し、電極６４０を両面に形成した圧電体
６５０の板をインクキャビティの面積程度に切断した後
、各インクキャビティの上にガラス薄板を挟んで接着し
たインクジェットヘッドがある。
又、特公昭６１−２０２４号公報によれば、単一の圧電
体上に弾性板を形成し、その圧電素子面もしくは、弾性
板面のどちらかに溝を設けて振動子を形成する方式が紹
介されている。
体上に弾性板を形成し、その圧電素子面もしくは、弾性
板面のどちらかに溝を設けて振動子を形成する方式が紹
介されている。
［発明が解決しようとする課題］
インクキャビティ６２０の広さは一辺が数百μｍ程度で
あり、これらと同程度の大きさの圧電体６５０の板を機
械変位発生手段として各インクキャビティ６２０ごとに
接着することが必要であった。しかしこのような構造の
ヘッドでは圧電体６５０とインクキャビティ６２０との
位置合わせ精度が高くできない、圧電体６５０の接着時
における作業性が悪い、接着の不均一さによる特性のば
らつきが大きい、接着部の剥離が起こり易い切断加工時
の内部歪による特性のばらつきが大きい、などの問題点
を有していた。
あり、これらと同程度の大きさの圧電体６５０の板を機
械変位発生手段として各インクキャビティ６２０ごとに
接着することが必要であった。しかしこのような構造の
ヘッドでは圧電体６５０とインクキャビティ６２０との
位置合わせ精度が高くできない、圧電体６５０の接着時
における作業性が悪い、接着の不均一さによる特性のば
らつきが大きい、接着部の剥離が起こり易い切断加工時
の内部歪による特性のばらつきが大きい、などの問題点
を有していた。
これらの問題はプリンタの性能を向上させるためにノズ
ル数を増やしたり、ノズル密度を高くするほど、よりク
ローズアップされてきていた問題であった。
ル数を増やしたり、ノズル密度を高くするほど、よりク
ローズアップされてきていた問題であった。
又、特公昭６１−２０２４号公報の方式も、溝入れ加工
を必要とし、製造工数の負担は回避８来なかった。
を必要とし、製造工数の負担は回避８来なかった。
そこで本発明はこれらの問題点を解決するもので、その
目的とするところは高密度で、高ノズル数、均質な特性
を有する、信頼性の高いインクジェットヘッドをきわめ
て低コストに提供することである。
目的とするところは高密度で、高ノズル数、均質な特性
を有する、信頼性の高いインクジェットヘッドをきわめ
て低コストに提供することである。
１課題を解決するための手段］
本発明のインクジェットヘッドは、インクに飛翔力を与
える圧力発生部材と、該圧力発生部材に対応し配設され
該インクの突出口たるノズルとを有し、前記圧力発生部
材が連続した圧電体と該圧電体上に前記ノズルに対応し
て配設された弾性板振動部とから形成され、かつ、前記
弾性板はフレキシブルフィルム上に所望の形状を有した
金属板により形成されていることを特徴とする。
える圧力発生部材と、該圧力発生部材に対応し配設され
該インクの突出口たるノズルとを有し、前記圧力発生部
材が連続した圧電体と該圧電体上に前記ノズルに対応し
て配設された弾性板振動部とから形成され、かつ、前記
弾性板はフレキシブルフィルム上に所望の形状を有した
金属板により形成されていることを特徴とする。
［実施例］
本発明の詳細な説明する。
第１図は本発明の第１の実施例のインクジェットヘッド
の構造図である。第１図（ａ）は、平面図。第１図（ｂ
）は断面図。ガラスで出来たベース基板２１０上に、キ
ャビティ２２０、ノズル２２１、インク供給路２２２、
インク供給口２６２、インク溜部２４０が形成されてい
る。圧電体２３０は、片面に共通電極２５１、もう一方
の面に弾性体振動部２５３、配線部２５４が形成されて
いる。圧電体２３０、共通電極２５１、弾性体振動部２
５３によって、圧力発生部材２６０が形成されている。
の構造図である。第１図（ａ）は、平面図。第１図（ｂ
）は断面図。ガラスで出来たベース基板２１０上に、キ
ャビティ２２０、ノズル２２１、インク供給路２２２、
インク供給口２６２、インク溜部２４０が形成されてい
る。圧電体２３０は、片面に共通電極２５１、もう一方
の面に弾性体振動部２５３、配線部２５４が形成されて
いる。圧電体２３０、共通電極２５１、弾性体振動部２
５３によって、圧力発生部材２６０が形成されている。
共通電極２５１はグランドに、また、配線部２５４は駆
動回路（図示されていない）に接続され、駆動信号によ
って圧力発生部材２６０を駆動しインクを飛翔させる。
動回路（図示されていない）に接続され、駆動信号によ
って圧力発生部材２６０を駆動しインクを飛翔させる。
ベース基板２１０のキャビティ２２０等の形成側と共通
電極２５１を対面させ、キャビティ２２０と弾性体振動
部２５３とが対向するように接合し、本実施例のインク
ジェットヘッドを得る。
電極２５１を対面させ、キャビティ２２０と弾性体振動
部２５３とが対向するように接合し、本実施例のインク
ジェットヘッドを得る。
次に、第２図を用いて圧力発生部材２６０の製造方法に
ついて説明する。チタン酸ジルコン酸鉛系複合ペロプス
カイトセラミックス等の圧電材料からなる圧電体２３０
の片面に、メツキ、スパッタリング、蒸着、厚膜印刷等
により、Ｃｒ、Ｎｉ。
ついて説明する。チタン酸ジルコン酸鉛系複合ペロプス
カイトセラミックス等の圧電材料からなる圧電体２３０
の片面に、メツキ、スパッタリング、蒸着、厚膜印刷等
により、Ｃｒ、Ｎｉ。
Ａｕ等の導電材群を０．５μｍ程度形成する。他の面に
、フレキシブルフィルム２６１上に所望の形状を有した
金属板で形成した弾性板２６３を張り付ける。
、フレキシブルフィルム２６１上に所望の形状を有した
金属板で形成した弾性板２６３を張り付ける。
ここで、弾性板２６３の製造方法を第３図を用いて説明
する。
する。
第３図（ａ）（ｂ）に於て、ポリイミド、ポリエステル
等のテープ状のフレキシブルフィルムに所望の形状の貫
通孔３１１をプレス加工法等により形成する。次に、第
３図（Ｃ）に示す様にＮｉ、Ｃｕ、ステンレス等の金属
板３１２を前面に張り付ける。更に、第３図（ｄ）（ｅ
）に示すように、この金属板３１２を所望の形状にフォ
トリソグラフィ技術等によりエツチングして弾性板２５
３、及び配線部２５４を形成する。この製造技術は、Ｉ
Ｃ実装用のＴＡＥ （Ｔａｐｅ Ａｕｔｏｍａｔａｄ
Ｂｏｎｄｉｎｇ）テープの製造方法として知られて
いる。
等のテープ状のフレキシブルフィルムに所望の形状の貫
通孔３１１をプレス加工法等により形成する。次に、第
３図（Ｃ）に示す様にＮｉ、Ｃｕ、ステンレス等の金属
板３１２を前面に張り付ける。更に、第３図（ｄ）（ｅ
）に示すように、この金属板３１２を所望の形状にフォ
トリソグラフィ技術等によりエツチングして弾性板２５
３、及び配線部２５４を形成する。この製造技術は、Ｉ
Ｃ実装用のＴＡＥ （Ｔａｐｅ Ａｕｔｏｍａｔａｄ
Ｂｏｎｄｉｎｇ）テープの製造方法として知られて
いる。
上記のようにして製造された弾性板２６３を圧電体に貼
り付ける方法を、第４図（ａ）〜（ｄ）に示した。
り付ける方法を、第４図（ａ）〜（ｄ）に示した。
第４図（ａ）に於いて、基台４００上に共通電極２５１
を形成した圧電体２３０の共通電極２５１側を真空チャ
ック等により固定し、エポキシ等の接着剤４１０をその
反対面に塗布する。更に、第３図で説明した弾性板２６
３をその上面に重ねて位置合わせをした後、第４図（ｂ
）に示すように加圧ツール４２０で圧電体２３０と弾性
板２６３を密着させる。その後、テープ状の弾性板２６
３を個々に分離する為、第４図（Ｃ）に示すように切断
刃４３０で押圧しプレス加工し第４図（ｄ）に示す様な
構造を得る。
を形成した圧電体２３０の共通電極２５１側を真空チャ
ック等により固定し、エポキシ等の接着剤４１０をその
反対面に塗布する。更に、第３図で説明した弾性板２６
３をその上面に重ねて位置合わせをした後、第４図（ｂ
）に示すように加圧ツール４２０で圧電体２３０と弾性
板２６３を密着させる。その後、テープ状の弾性板２６
３を個々に分離する為、第４図（Ｃ）に示すように切断
刃４３０で押圧しプレス加工し第４図（ｄ）に示す様な
構造を得る。
上記は、弾性体振動部２５３、配線部２５４を２方向に
出した例であるが、第５図に示すように４方向に出すこ
とも可能である。
出した例であるが、第５図に示すように４方向に出すこ
とも可能である。
以上述べてきたように、本実施例のインクジェットヘッ
ドは、圧力発生部材２６０を構成している圧電体２３０
を大きなシート状のまま加工せずに使用し、加工性のよ
い弾性板２６３を加工しているだけのため、きわめて作
業性がよく、圧力発生部材を高密度に形成することが出
来る。
ドは、圧力発生部材２６０を構成している圧電体２３０
を大きなシート状のまま加工せずに使用し、加工性のよ
い弾性板２６３を加工しているだけのため、きわめて作
業性がよく、圧力発生部材を高密度に形成することが出
来る。
［発明の効果］
本発明によれば、圧力発生部材が一枚の連続した圧電体
と、ノズルに対応した弾性体振動部から形成されている
ため、圧力発生部材が真密度に精度よく容易に形成でき
る。従って、ノズルを高密度に数多く配設した、均質な
特性を有するインクジェットヘッドを提供することが出
来る。
と、ノズルに対応した弾性体振動部から形成されている
ため、圧力発生部材が真密度に精度よく容易に形成でき
る。従って、ノズルを高密度に数多く配設した、均質な
特性を有するインクジェットヘッドを提供することが出
来る。
第１図は、本発明のインクジェットヘッドの構造図。
第２図〜第４図は本発明の一実施例のインクジェットヘ
ッドの製造方法を説明する為の図。 第５図は本発明の別の実施例を示す図。 第６図は従来例を示す図。 ２２０・・・・キャビティー ２２１・・・・ノズル ２３０・・・・圧電体 ２４０・・・・インク溜部 ２５１・・・・共通電極 ２５３・・・・弾性体振動部 ２６１・・・・フレキシブルテープ ２６０・・・・圧力発生部材 ２６３・・・・弾性板 以上 第１図 第２図 ３７２：全属根 （ｂ） （ｄ） ２６７ 第４図 （ｄ） 第４図
ッドの製造方法を説明する為の図。 第５図は本発明の別の実施例を示す図。 第６図は従来例を示す図。 ２２０・・・・キャビティー ２２１・・・・ノズル ２３０・・・・圧電体 ２４０・・・・インク溜部 ２５１・・・・共通電極 ２５３・・・・弾性体振動部 ２６１・・・・フレキシブルテープ ２６０・・・・圧力発生部材 ２６３・・・・弾性板 以上 第１図 第２図 ３７２：全属根 （ｂ） （ｄ） ２６７ 第４図 （ｄ） 第４図
Claims (1)
- インク滴を記録媒体上に選択的に付着させるインクジェ
ットヘッドにおいて、インクに飛翔力を与える圧力発生
部材と、該圧力発生部材に対応し配設され前記インクの
突出口たるノズルとを有し、前記圧力発生部材が、連続
した圧電体と、該圧電体上に前記ノズルに対応して配設
された、フレキシブルフィルム上に金属板を形成した弾
性板振動部とから成ることを特徴とするインクジェット
ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29768590A JP3134305B2 (ja) | 1990-11-02 | 1990-11-02 | インクジェットヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29768590A JP3134305B2 (ja) | 1990-11-02 | 1990-11-02 | インクジェットヘッド |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000107601A Division JP2000301720A (ja) | 2000-01-01 | 2000-04-10 | インクジェットヘッド |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04169237A true JPH04169237A (ja) | 1992-06-17 |
| JP3134305B2 JP3134305B2 (ja) | 2001-02-13 |
Family
ID=17849823
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29768590A Expired - Fee Related JP3134305B2 (ja) | 1990-11-02 | 1990-11-02 | インクジェットヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3134305B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07137251A (ja) * | 1993-06-18 | 1995-05-30 | Seikosha Co Ltd | インクジェットヘッド |
| FR2719804A1 (fr) * | 1994-04-26 | 1995-11-17 | Seiko Epson Corp | Tête d'enregistrement à jets d'encre et son procédé de fabrication. |
| US6126279A (en) * | 1995-11-24 | 2000-10-03 | Seiko Epson Corporation | Ink jet printing head for improving resolution and decreasing crosstalk |
| US6334673B1 (en) * | 1993-08-23 | 2002-01-01 | Seiko Epson Corporation | Ink jet print head with plural electrodes |
| US7003857B1 (en) | 1995-11-24 | 2006-02-28 | Seiko Epson Corporation | Method of producing an ink-jet printing head |
-
1990
- 1990-11-02 JP JP29768590A patent/JP3134305B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07137251A (ja) * | 1993-06-18 | 1995-05-30 | Seikosha Co Ltd | インクジェットヘッド |
| US6334673B1 (en) * | 1993-08-23 | 2002-01-01 | Seiko Epson Corporation | Ink jet print head with plural electrodes |
| FR2719804A1 (fr) * | 1994-04-26 | 1995-11-17 | Seiko Epson Corp | Tête d'enregistrement à jets d'encre et son procédé de fabrication. |
| US5929881A (en) * | 1994-04-26 | 1999-07-27 | Seiko Epson Corporation | Ink jet recording head having improved arrangement of electrodes |
| US6073321A (en) * | 1994-04-26 | 2000-06-13 | Seiko Epson Corporation | Manufacturing method for an ink jet recording head |
| US6126279A (en) * | 1995-11-24 | 2000-10-03 | Seiko Epson Corporation | Ink jet printing head for improving resolution and decreasing crosstalk |
| US7003857B1 (en) | 1995-11-24 | 2006-02-28 | Seiko Epson Corporation | Method of producing an ink-jet printing head |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3134305B2 (ja) | 2001-02-13 |
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Legal Events
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|
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