JP2002144582A - インクジェット記録ヘッド - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 初期インク充填性や気泡排出性に優れ、イン
クの噴射方向曲がりを低減したインクジェット記録ヘッ
ドを提供する。 【解決手段】 ノズル部はインク加圧液室１４側に開口
したノズル連通部２２ａを有し、インク加圧液室の底面
はインク吐出流線方向に従って浅くなる斜面１４ｇを有
すると共に、底面に略垂直な平行配置の壁面１４ｈ，１
４ｉとを有してなり、ノズル連通部のインク加圧液室側
端面を、斜面および一方の壁面１４ｈに接するように、
ノズルプレート２０とフレーム５０とを接合した。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、インクジェット記
録ヘッドに関し、特に初期インク充填性や気泡排出性に
優れ、インクの噴射方向曲がりを低減したインクジェッ
ト記録ヘッドに関する。

【０００２】

【従来の技術】一般にインクジェット記録ヘッドは、イ
ンクを加圧してインク滴を吐出するためのインク加圧液
室を備えており、その一端はインク供給路を経てインク
タンクに連通し、他端にはインク滴を吐出させるノズル
開口（インク吐出口）が設けられている。そして、イン
ク加圧液室の一部を変形しやすく形成して振動板として
用い、これを電気機械変換手段（アクチュエータ）によ
り弾性変位させることにより、ノズル開口からインク滴
を吐出する圧力を発生させている。インクジェット記録
ヘッド式の印刷技術では、初期インク充填時の気泡の残
留を無くすこと、及び印字途中に何らかのトラブルによ
ってヘッド内に気泡が混入した場合の気泡排出法を確立
することが、高品質の画像を得るための重要な技術であ
る。

【０００３】インクジェット記録ヘッドの構造上、イン
ク液室(共通液室，流体抵抗部,加圧液室,ノズル部など
のインクが充填されている部分)内にやむなく段差形状
を持つ場合があり、その場合、段差の角(コーナー)に気
泡が残留し易くなってしまう。気泡が残留し易い場所
は、同時に気泡を排出し難い場所でもあり、インク充填
性・気泡排出性を確保するための大きな課題となってい
る。上記課題の対策については、従来より数多く検討さ
れている。例えば特開平１１−１５７０６０号公報で
は、インク供給路（ノズル連通部２０ａ）と反対側の圧
力室壁面の頂点１４ｆとの距離Ｌを５０μｍ以下の位置
にする、との記載がある（図４（Ａ）参照）。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、特開平
１１−１５７０６０号公報に記載のように、圧力室壁面
の頂点からの距離を規定しただけでは、前述の初期イン
ク充填性や気泡排出性の面で、十分な効果を期待できな
い。また、より高品質の画像を得るために、インクの噴
射方向曲がりの低減が望まれる。

【０００５】そこで本発明の課題は、初期インク充填性
や気泡排出性に優れ、インクの噴射方向曲がりを低減し
たインクジェット記録ヘッドを提供することである。

【０００６】

【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
に請求項１の発明は、ノズルプレートに穿設され、イン
クを吐出するためのノズル孔を含むノズル部と、前記ノ
ズルプレートを固定するフレームに穿設され、前記ノズ
ル部に連通して設けられたインク加圧液室と、該インク
加圧液室内に設けられ、インク加圧液室に吐出圧力を発
生させる圧力発生手段とを有し、前記ノズル部とインク
加圧液室とを対向させた状態で前記ノズルプレートとフ
レームとを接合してなるインクジェット記録ヘッドにお
いて、前記ノズル部はインク加圧液室側に開口したノズ
ル連通部を有してなり、前記インク加圧液室の底面はイ
ンク吐出流線方向に従って浅くなる斜面を有すると共
に、前記底面に略垂直な平行配置の壁面とを有してな
り、前記ノズル連通部のインク加圧液室側端面を、前記
斜面および一方の壁面に接するように接合してなること
を特徴とする。

【０００７】このようにすれば、例えば図５，図６
（Ａ），（Ｂ）に示すように、ノズル連通部２２ａのイ
ンク加圧液室側端面を、斜面１４ｇおよび一方の壁面１
４ｈに接するようにノズルプレート２０とフレーム５０
を接合しているので、斜面１４ｇとノズルプレート２０
の下面とが形成する段差Ｄ１を小さくすることができ
る。従って、気泡が段差Ｄ１に滞留することが無くな
る。また、発生圧力を効率よく利用でき、インク滴の噴
射特性が向上する。

【０００８】また、請求項２では、ノズルプレートに穿
設され、インクを吐出するためのノズル孔を含むノズル
部と、前記ノズルプレートを固定するフレームに穿設さ
れ、前記ノズル部に連通して設けられたインク加圧液室
と、該インク加圧液室内に設けられ、インク加圧液室に
吐出圧力を発生させる圧力発生手段とを有し、前記ノズ
ル部とインク加圧液室とを対向させた状態で前記ノズル
プレートとフレームとを接合してなるインクジェット記
録ヘッドにおいて、前記ノズル部はインク加圧液室側に
開口したノズル連通部を有してなり、前記インク加圧液
室の底面はインク吐出流線方向に従って浅くなる斜面を
有すると共に、前記底面に略垂直な壁面とを有してな
り、前記ノズル連通部のインク加圧液室側端面を、前記
斜面の上端部および平行配置の両壁面から略等距離に位
置するように接合してなることを特徴とする。

【０００９】このようにすれば、例えば図７（Ａ），
（Ｂ）に示すように、ノズル連通部２２ａのインク加圧
液室側端面を、斜面１４ｇおよび平行配置の両壁面１４
ｈ，１４ｉから略等距離に位置するようにノズルプレー
ト２０とフレーム５０を接合しているので、斜面１４ｇ
とノズルプレート２０の下面とが形成する段差Ｄ２を小
さくすることができる。従って、気泡が段差Ｄ２に滞留
することが無くなる。また、ノズル孔へ向けてのインク
の流れを均一にし、噴射インク滴の方向曲がりを低減で
き、より高品質な印字画像を得ることができる。

【００１０】また、請求項３では、ノズルプレートに穿
設され、インクを吐出するためのノズル孔を含むノズル
部と、前記ノズルプレートを固定するフレームに穿設さ
れ、前記ノズル部に連通して設けられたインク加圧液室
と、該インク加圧液室内に設けられ、インク加圧液室に
吐出圧力を発生させる圧力発生手段とを有し、前記ノズ
ル部とインク加圧液室とを対向させた状態で前記ノズル
プレートとフレームとを接合してなるインクジェット記
録ヘッドにおいて、前記ノズル部はインク加圧液室側に
開口したノズル連通部を有してなり、前記インク加圧液
室の底面はインク吐出流線方向に従って浅くなる斜面を
有すると共に、前記底面に略垂直な壁面とを有してな
り、前記ノズル連通部のインク加圧液室側端面を、前記
斜面の上端部に接するように接合してなることを特徴と
する。

【００１１】このようにすれば、例えば図８（Ａ），
（Ｂ）に示すように、ノズル連通部２２ａのインク加圧
液室側端面を、斜面１４ｇの上端部に接するようにノズ
ルプレート２０とフレーム５０を接合しているので、斜
面１４ｇとノズルプレート２０の下面とが形成する段差
Ｄ３を小さくすることができる。従って、気泡が段差Ｄ
３に滞留することが無くなる。また、初期充填時性能が
向上し、無駄なインク消費を減らすことができる。

【００１２】また、請求項４では、ノズルプレートに穿
設され、インクを吐出するためのノズル孔を含むノズル
部と、前記ノズルプレートを固定するフレームに穿設さ
れ、前記ノズル部に連通して設けられたインク加圧液室
と、該インク加圧液室内に設けられ、インク加圧液室に
吐出圧力を発生させる圧力発生手段とを有し、前記ノズ
ル部とインク加圧液室とを対向させた状態で前記ノズル
プレートとフレームとを接合してなるインクジェット記
録ヘッドにおいて、前記ノズル部はインク加圧液室側に
開口したノズル連通部を有してなり、前記インク加圧液
室の底面はインク吐出流線方向に従って浅くなる斜面を
有すると共に、前記底面に略垂直な壁面とを有してな
り、前記インク加圧液室は、前記圧力発生手段から直に
圧力を受ける実効液室部を有してなり、該実効液室部の
ノズル部側端部と前記ノズル連通部のインク加圧液室側
端面を、圧力発生時のインク吐出流線方向の垂直断面に
対して、略同じ位置に接合してなることを特徴とする。

【００１３】このようにすれば、例えば図７（Ａ），
（Ｂ）に示すように、実効液室部１４ｊのノズル部側端
部１４ｂとノズル連通部２２ａのインク加圧液室側端面
を、圧力発生時のインク吐出流線方向の垂直断面に対し
て、略同じ位置にノズルプレート２０とフレーム５０を
接合しているので、斜面１４ｇとノズルプレート２０の
下面とが形成する段差Ｄ２を小さくすることができる。
従って、気泡が段差Ｄ２に滞留することが無くなる。ま
た、インク液室寸法を小型化でき、更に発生圧力を効率
良く利用できるので、インク滴の噴射特性を向上させる
ことができる。

【００１４】また、請求項５では、ノズルプレートに穿
設され、インクを吐出するためのノズル孔を含むノズル
部と、前記ノズルプレートを固定するフレームに穿設さ
れ、前記ノズル部に連通して設けられたインク加圧液室
と、該インク加圧液室内に設けられ、インク加圧液室に
吐出圧力を発生させる圧力発生手段とを有し、前記ノズ
ル部とインク加圧液室とを対向させた状態で前記ノズル
プレートとフレームとを接合してなるインクジェット記
録ヘッドにおいて、前記ノズル部はインク加圧液室側に
開口したノズル連通部を有してなり、前記インク加圧液
室の底面はインク吐出流線方向に従って浅くなる斜面を
有すると共に、前記底面に略垂直な平行配置の両壁面と
を有してなり、前記インク加圧液室は、前記圧力発生手
段から直に圧力を受ける実効液室部を有してなり、前記
ノズル連通部のインク加圧液室側端面を、前記実効液室
部のノズル部側端部と前記平行配置の両壁面と前記斜面
の上端部とに対して、略等距離に接合してなることを特
徴とする。

【００１５】このようにすれば、例えば図７（Ａ），
（Ｂ）に示すように、実効液室部１４ｊのノズル部側端
部１４ｂとノズル連通部２２ａのインク加圧液室側端面
を、圧力発生時のインク吐出流線方向の垂直断面に対し
て、略等距離（例えばＧ１＝Ｇ２＝Ｇ３＝Ｇ４）にノズ
ルプレート２０とフレーム５０を接合しているので、斜
面１４ｇとノズルプレート２０の下面とが形成する段差
Ｄ２を小さくすることができる。従って、気泡が段差Ｄ
２に滞留することが無くなる。また、ノズル孔へ向けて
のインクの流れを均一にし、噴射インク滴の方向曲がり
を低減でき、より高品質な印字画像を得ることができ
る。

【００１６】また、請求項６では、前記圧力発生手段
は、静電アクチュエータであることを特徴とする。この
ようにすれば、印写時の動作音が静粛で高速なインクジ
ェット記録ヘッドを提供することが出来る。

【００１７】

【発明の実施の形態】以下、本発明を図示の実施の形態
に基づいて説明する。 （１）静電型インクジェット記録ヘッドの構造およびイ
ンク噴射の原理 先ず、静電型インクジェット記録ヘッドの構造とインク
噴射の原理について説明する。図１は、静電気力を利用
したインクジェット記録ヘッド（以下、インクジェット
記録ヘッドと記す）ＩＨの分解斜視図、図２は組立後に
おいて図１の矢印Ａ方向から見た主要部断面図である。

【００１８】図１,図２に示すように、インクジェット
記録ヘッドＩＨは、ヘッド基板（静電アクチュエータ）
１０，ノズルプレート２０，ドライバＩＣ３０，ＦＰＣ
ケーブル４０，フレーム５０，フィルタ６０，ジョイン
ト７０から構成される。静電アクチュエータ１０はシリ
コンプロセスにより形成され、ノズルプレート２０はニ
ッケル電鋳プロセスにより形成される。静電アクチュエ
ータ１０とノズルプレート２０の製造方法の説明は省略
する。

【００１９】次に、インクジェット記録ヘッドＩＨの組
立方法の例を説明する。先ず、静電アクチュエータ１０
とＦＰＣケーブル４０を異方性導電膜によって電気的に
接続する。ＦＰＣケーブル４０にはドライバＩＣ３０が
ワイヤーボンドによって搭載されている。

【００２０】そして、ノズルプレート２０と静電アクチ
ュエータ１０を接合する為に、静電アクチュエータ１０
に形成されたシリコン液室（インク加圧液室１４）の上
面に接着剤を塗布する。シリコン液室１４とノズルプレ
ート２０を接着剤により接合する場合、接着剤のはみ出
しが噴射特性に影響を与えるため、塗布膜厚を１μｍ前
後にする必要がある。よって、シリコン液室１４上面に
接着剤を塗布する方法は転写法が望ましい。例えば、ロ
ーラにドクターブレードで接着剤を薄膜化し、ローラか
ら接着剤を転写パッドに転写し、更に転写パッドからシ
リコン液室上面に接着剤を転写する方法が一般的であ
る。

【００２１】また、振動板１１のギャップ(振動室１６
の入り口)を封止する為に、接着剤を塗布する（振動板
ギャップ封止剤１２）。振動室１６の内部に湿気が入り
込むと振動板１１が変位しなくなってしまう。また、ノ
ズルプレート２０とシリコン液室１４との位置決めをす
る為に、仮接合用の紫外線硬化型接着剤または瞬間接着
剤をシリコン液室の角に塗布する。そして、ノズルプレ
ート２０と接着剤が塗布された静電アクチュエータ１０
とを位置合せし、仮加圧を行う。ここで、紫外線硬化型
接着剤の場合は、紫外線を照射して接着剤を硬化させ、
本加圧を行い加熱硬化させる。

【００２２】加圧接合する際に、静電アクチュエータ１
０が長いと、シリコンとＮｉまたはＳＵＳからなるノズ
ルプレー卜２０とが線膨張係数の差により反ってしま
う。反りが発生すると、内部応力により静電アクチュエ
ータ１０を破壊してしまう。そこで、接着剤の硬化温度
は低い方が良いため、２液混合型（常温硬化型）のエポ
キシ系接着剤が望ましい。硬化温度は低いほど良いが、
４０℃から１００℃が望ましい。

【００２３】また、インク供給タンクまたはインクカー
トリッジ（図示省略）からインクを供給する為のジョイ
ント７０と、フィルタ６０が熱溶着されたフレーム５０
を接着接合する。フレーム５０に静電アクチュエータ１
０とノズルプレート２０を接着接合する為に接着剤を塗
布し、静電アクチュエータ１０の位置合せをして接着接
合する。

【００２４】次に作用を説明する。上記構成により、個
別電極１３にパルス電圧を印加する事により、振動板１
１が静電力によって電極１３側に変形する。そして、イ
ンクがフレーム５０に形成された共通液室供給路１５か
ら流体抵抗部２１を通り、圧力発生室（インク加圧液室
１４）に流入し、圧力発生室１４の体積が増加する。こ
こで、パルス電圧が解除されることで静電気力が無くな
り、振動板１１が元の状態に戻る。この振動板１１の弾
性力によって圧力発生室１４の圧力が上昇し、ノズル孔
２２からインクが噴射される。以上が、次に説明する各
実施の形態に共通の構成および作用である。

【００２５】（２）各実施の形態 以下、インク液室（インク加圧液室）内のインクの流れ
と、本発明の各実施の形態を説明する。図３はインク液
室部を抜粋した断面図、図４（Ａ），（Ｂ）は従来例を
示す図であり、図４（Ａ）はノズルプレート側から見た
ノズル部及びインク加圧液室を表す平面透視図、図４
（Ｂ）はノズル部を抜粋した断面図である。図５〜図７
（Ａ），（Ｂ）は夫々各実施の形態を示す図であり、
（Ａ）はノズルプレート側から見たノズル部及びインク
加圧液室を表す平面透視図、（Ｂ）はノズル部を抜粋し
た断面図である。

【００２６】図３には、インク加圧液室１４を中心に共
通液室供給路１５からノズル孔２２のみを示す。圧力発
生体（振動板１１）からの圧力を受けると、インクの流
れは矢印で示すように、共通液室供給路１５から流体抵
抗２１を通り、ノズル孔２２へ向けて流れる。その際、
図４（Ａ），（Ｂ）に示す従来例では、（Ｂ）に示した
段差部に気泡が残留し易くなっていた（残留気泡１４
ｅ）。

【００２７】第１の実施の形態 図５は本実施の形態の分解斜視図、図６（Ａ）は図５の
矢印Ｂ方向から見た平面透視図、図６（Ｂ）は図５のＶ
Ｂ−ＶＢ線に沿う断面図である。図５、図６（Ａ），
（Ｂ）に示すように、インク加圧液室１４側のノズル連
通部２０ａの一部をインク加圧液室の長辺方向壁面１４
ａの一部と接するような構造として（Ｐ１，Ｐ２が接
点）、加圧液室１４から連通部２０ａへの接続部分の段
差部（段差Ｄ）を小さくすることで、気泡残留を防ぐこ
とができる。即ち、図４（Ｂ）と図６（Ｂ）を比較する
と、明らかに図６（Ｂ）の段差の方が小さい。なお、イ
ンク加圧液室１４が、尖った頂点１４ｆを有するのは、
フレーム５０にインク加圧液室を形成する場合におけ
る、加工上の要請による。

【００２８】更に、実効液室部のノズル側端部１４ｂも
ノズル連通部２０ａとインク吐出流線方向の垂直断面に
対してほぼ同じ位置にすることで、液室寸法の小型化、
また発生圧力を効率よく噴射に利用できるようになっ
た。ここに実効液室部とは、圧力発生手段から直に圧力
を受けるインク液室の部分であり、インク加圧液室１４
の内、平坦な底面１４ｄを上方に垂直に延ばした体積部
分の液室をいう。即ち、台形状の斜面を底面１４ｄに対
して上方垂直に延ばした部分の液室を除いた部分の液室
をいう。

【００２９】第２の実施の形態 図７（Ａ），（Ｂ）に示すように、ノズル連通部２０ａ
を、インク加圧液室の短辺方向両側壁面１４ｃとノズル
部側の長辺方向壁面１４ａと実効液室部のノズル側端部
１４ｂから、ほぼ同等な距離におくことで、偏った段差
形状のあることによる気泡残留を防ぐことができ、更に
インクの流れを均等にノズル孔２２へ導くことができ、
噴射インク滴の方向曲がりを抑えることができた。

【００３０】また、上記のような構造が採れない場合
は、インク加圧液室１４の短辺幅を構成する短辺方向両
側壁面１４ｃとノズル部が設けられている側の長辺方向
壁面１４ａとに対して、ほぼ同等な距離にノズル連通部
２０ａを設けることでも噴射方向曲がりの低減効果があ
る。

【００３１】第３の実施の形態 図８（Ａ），（Ｂ）に示すように、特にインク加圧液室
１４の長辺方向壁面１４ａとノズル連通部２０ａを接す
ることで、図３に示したようなインクの流れに対して、
インク加圧液室１４の最終部（端）の段差Ｄ３を少なく
し、気泡残留を著しく減らすことができる。

【００３２】第４の実施の形態 上記第１〜第３の各実施の形態に対し、圧力発生手段と
して静電アクチュエータを用いたインクジェット記録ヘ
ッドのヘッド構成とすることで、騒音が少なく高速印字
の可能なインクジェットプリンタに活用することができ
る。

【００３３】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、以
下の効果を発揮することができる。 請求項１，４の作用効果 第１の実施の形態に示すように、インク加圧液室側のノ
ズル連通部の一部を加圧液室両側壁面の一部と接するよ
うな構造とし、インク加圧液室からノズル連通部への接
続部分の段差形状を少なくすることで、初期充填時や、
トラブル発生時の気泡の残留を防ぐことができ、印字以
外に消費するインク量を低減することができる。更に、
実効液室部の端部をノズル連通部に接する位置にしたこ
とで、発生圧力を効率よく利用でき、インク滴の噴射特
性が向上する。また、液室寸法の小型化に対しても有利
な構造であり、ヘッド全体の小型化にも有効である。

【００３４】請求項２，５の作用効果 第２の実施の形態に示すように、ノズル連通部をインク
加圧液室短辺方向両側壁面とノズル部側の長辺方向壁面
と実効液室部のノズル側端部から、ほぼ同等な距離をお
くことで、ノズル連通部近傍の不均一な段差による気泡
の残留を防ぐことと同時に、ノズル孔へ向けてのインク
の流れを均一にし、噴射インク滴の方向曲がりを低減で
き、より高品質な印字画像を得ることができる。

【００３５】請求項３の作用効果 第３の実施の形態に示すように、インク加圧液室のノズ
ル部側長辺方向壁面とノズル連通部を接することで、初
期充填時の特に気泡が残留しやすい端部の段差を少なく
することができ、初期充填時性能が向上し、無駄なイン
ク消費を減らすことができる。

【００３６】請求項６の作用効果第４の実施の形態に
示すように、圧力発生手段に静電アクチュエータを用い
たインクジェット記録ヘッド構成とすることで、上記
〜の効果に加え、より静かで高速印字可能なインクジ
ェットプリンタとして活用することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明を適用する静電型インクジェット記録ヘ
ッドの分解斜視図である。

【図２】同静電型インクジェット記録ヘッドにおける図
１の矢印Ａ方向から見た組立後の断面図である。

【図３】同静電型インクジェット記録ヘッドにおけるイ
ンク液室部の拡大側断面図である。

【図４】従来例の欠点を説明する図であって、（Ａ）は
ノズルプレート側から見たノズル部及びインク加圧液室
の平面透視図、（Ｂ）は側断面図である。

【図５】本発明の第１の実施の形態の分解斜視図であ
る。

【図６】（Ａ）は図５の矢印Ｂ方向から見たノズル部及
びインク加圧液室の平面透視図、（Ｂ）は図５のＶＢ−
ＶＢ線に沿う断面図である。

【図７】同第２の実施の形態を説明する図であって、
（Ａ）はノズルプレート側から見たノズル部及びインク
加圧液室の平面透視図、（Ｂ）は側断面図である。

【図８】同第３の実施の形態を説明する図であって、
（Ａ）はノズルプレート側から見たノズル部及びインク
加圧液室の平面透視図、（Ｂ）は側断面図である。

【符号の説明】

Ｄ１，Ｄ２，Ｄ３…段差 Ｇ１，Ｇ２，Ｇ３，Ｇ４…隙間 Ｐ１，Ｐ２，Ｐ３…接点 １０…静電アクチュエータ １１…振動板 １２…振動板ギャップ封止剤 １３…電極 １４…インク加圧液室 １４ａ…インク加圧液室の長辺方向壁面 １４ｂ…実効液室部のノズル部側端部 １４ｃ…インク加圧液室の短辺方向壁面 １４ｄ…インク液室の底面 １４ｅ…残留気泡 １４ｆ…頂点 １４ｇ…斜面 １４ｊ…実効液室 １５…共通液室供給路 １６…振動室 ２０…ノズルプレート ２０ａ…ノズル連通部 ２１…流体抵抗 ２２…ノズル孔 ３０…ドライバＩＣ ４０…ＦＰＣケーブル ５０…フレーム ６０…フィルタ ７０…ジョイント

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ノズルプレートに穿設され、インクを吐
   出するためのノズル孔を含むノズル部と、前記ノズルプ
   レートを固定するフレームに穿設され、前記ノズル部に
   連通して設けられたインク加圧液室と、該インク加圧液
   室内に設けられ、インク加圧液室に吐出圧力を発生させ
   る圧力発生手段とを有し、前記ノズル部とインク加圧液
   室とを対向させた状態で前記ノズルプレートとフレーム
   とを接合してなるインクジェット記録ヘッドにおいて、 前記ノズル部はインク加圧液室側に開口したノズル連通
   部を有してなり、前記インク加圧液室の底面はインク吐
   出流線方向に従って浅くなる斜面を有すると共に、前記
   底面に略垂直な平行配置の壁面とを有してなり、 前記ノズル連通部のインク加圧液室側端面を、前記斜面
   および一方の壁面に接するように接合してなることを特
   徴とするインクジェット記録ヘッド。
2. 【請求項２】 ノズルプレートに穿設され、インクを吐
   出するためのノズル孔を含むノズル部と、前記ノズルプ
   レートを固定するフレームに穿設され、前記ノズル部に
   連通して設けられたインク加圧液室と、該インク加圧液
   室内に設けられ、インク加圧液室に吐出圧力を発生させ
   る圧力発生手段とを有し、前記ノズル部とインク加圧液
   室とを対向させた状態で前記ノズルプレートとフレーム
   とを接合してなるインクジェット記録ヘッドにおいて、 前記ノズル部はインク加圧液室側に開口したノズル連通
   部を有してなり、前記インク加圧液室の底面はインク吐
   出流線方向に従って浅くなる斜面を有すると共に、前記
   底面に略垂直な壁面とを有してなり、 前記ノズル連通部のインク加圧液室側端面を、前記斜面
   の上端部および平行配置の両壁面から略等距離に位置す
   るように接合してなることを特徴とするインクジェット
   記録ヘッド。
3. 【請求項３】 ノズルプレートに穿設され、インクを吐
   出するためのノズル孔を含むノズル部と、前記ノズルプ
   レートを固定するフレームに穿設され、前記ノズル部に
   連通して設けられたインク加圧液室と、該インク加圧液
   室内に設けられ、インク加圧液室に吐出圧力を発生させ
   る圧力発生手段とを有し、前記ノズル部とインク加圧液
   室とを対向させた状態で前記ノズルプレートとフレーム
   とを接合してなるインクジェット記録ヘッドにおいて、 前記ノズル部はインク加圧液室側に開口したノズル連通
   部を有してなり、前記インク加圧液室の底面はインク吐
   出流線方向に従って浅くなる斜面を有すると共に、前記
   底面に略垂直な壁面とを有してなり、 前記ノズル連通部のインク加圧液室側端面を、前記斜面
   の上端部に接するように接合してなることを特徴とする
   インクジェット記録ヘッド。
4. 【請求項４】 ノズルプレートに穿設され、インクを吐
   出するためのノズル孔を含むノズル部と、前記ノズルプ
   レートを固定するフレームに穿設され、前記ノズル部に
   連通して設けられたインク加圧液室と、該インク加圧液
   室内に設けられ、インク加圧液室に吐出圧力を発生させ
   る圧力発生手段とを有し、前記ノズル部とインク加圧液
   室とを対向させた状態で前記ノズルプレートとフレーム
   とを接合してなるインクジェット記録ヘッドにおいて、 前記ノズル部はインク加圧液室側に開口したノズル連通
   部を有してなり、前記インク加圧液室の底面はインク吐
   出流線方向に従って浅くなる斜面を有すると共に、前記
   底面に略垂直な壁面とを有してなり、 前記インク加圧液室は、前記圧力発生手段から直に圧力
   を受ける実効液室部を有してなり、該実効液室部のノズ
   ル部側端部と前記ノズル連通部のインク加圧液室側端面
   を、圧力発生時のインク吐出流線方向の垂直断面に対し
   て、略同じ位置に接合してなることを特徴とするインク
   ジェット記録ヘッド。
5. 【請求項５】 ノズルプレートに穿設され、インクを吐
   出するためのノズル孔を含むノズル部と、前記ノズルプ
   レートを固定するフレームに穿設され、前記ノズル部に
   連通して設けられたインク加圧液室と、該インク加圧液
   室内に設けられ、インク加圧液室に吐出圧力を発生させ
   る圧力発生手段とを有し、前記ノズル部とインク加圧液
   室とを対向させた状態で前記ノズルプレートとフレーム
   とを接合してなるインクジェット記録ヘッドにおいて、 前記ノズル部はインク加圧液室側に開口したノズル連通
   部を有してなり、前記インク加圧液室の底面はインク吐
   出流線方向に従って浅くなる斜面を有すると共に、前記
   底面に略垂直な平行配置の両壁面とを有してなり、 前記インク加圧液室は、前記圧力発生手段から直に圧力
   を受ける実効液室部を有してなり、前記ノズル連通部の
   インク加圧液室側端面を、前記実効液室部のノズル部側
   端部と前記平行配置の両壁面と前記斜面の上端部とに対
   して、略等距離に接合してなることを特徴とするインク
   ジェット記録ヘッド。
6. 【請求項６】 前記圧力発生手段は、静電アクチュエー
   タであることを特徴とする請求項１乃至請求項５の何れ
   か１つに記載のインクジェット記録ヘッド。