WO2000071264A1

WO2000071264A1 - Viscous material applicator

Info

Publication number: WO2000071264A1
Application number: PCT/JP2000/001513
Authority: WO
Inventors: Toshinori Mimura; Hiroshi Yamauchi; Wataru Hirai; Hiroaki Onishi; Koichi Nagai
Original assignee: Matsushita Electric Industrial Co., Ltd.
Priority date: 1999-05-21
Filing date: 2000-03-13
Publication date: 2000-11-30
Also published as: US7464838B2; KR20020007417A; KR100644502B1; US6736291B1; EP1197267A4; US20040173633A1; EP1197267A1

Description

明細書粘性材料塗布装置技術分野

本発明は、接着剤、クリーム半田、導電ペーストなどの粘性材料を回路基板などの被塗布物上に塗布する粘性材料塗布装置に関するものである。背景技術

従来の粘性材料塗布装置の基本構成を図 2 9 A、図 2 9 Bの概略図を参照して説明する。この粘性材料塗布装置は、図 2 9 Aに示すように、接着剤やクリーム半田などの粘性材料 5を収容する材料供給部 1と、材料供給部 1に圧縮エアを調節して供給する圧力調節部 2 2とからなり、粘性材料 5は前記圧縮エアによって加圧されることによって吐出部 4の吐出口 4 aから吐出される。

また図 2 9 Bに示すように、圧縮エアの供給を開始 Z終了させるためのバルブ 1 6が材料供給部 1と吐出部 4との間に配される場合もある。この装置では、所定の吐出量で粘性材料 5を吐出したい場合に、圧力供給部 2 2から供給された圧縮エアにより粘性材料 5を上方から加圧して押し出し、バルブ 1 6を開いて吐出口 4 aから粘性材料 5を吐出する。そして回路基板への塗布が完了すると、バルブ 1 6が閉じるように構成されている。

しかしながら上記のような従来の構成の粘性材料塗布装置では、圧力供給部 2 2 から供給される圧縮エアを材料供給部 1に収容された粘性材料 5上方で受けるため、粘性材料 5の特性によってはその粘度抵抗を受け、圧縮エアの圧力が距離の離れた吐出部 4の吐出口 4 a付近まで到達しにくい。そのため圧力伝達にばらつきが生じ、高精度な吐出量及び吐出圧を得るのが困難であった。

また図 3 0に示すように、所定圧力で吐出開始の信号を出してから実際にその圧力で吐出を開始するまでの応答時間も、同様の原因により長くなり、吐出開始の信号発信から実際の吐出開始までの間に待ち時間が生じる。更に、加圧終了後に残圧が残るため、吐出口 4 aより垂れ下がった粘性材料 5が、次に粘性材料塗布装置を回路基板上に配置した場合に吐出口 4 a付近にはみ出して回路基板に付着してしまい、ブリッジの発生等の問題が生じる。

また上記従来の装置において、二次元的に粘性材料の一括供給を行う際に図 3 1 A、図 3 1 Bに示すような吐出口 4 dを複数個有する多連ノズル 4 cと呼ばれるものを使用する場合には次のような問題があった。高粘性材料においては、粘性材料 5に対する圧力伝達が均等に行われず、印刷ペースト 3 1を回路基板 3 2上に塗布した場合、図 3 2 A、図 3 2 Bに示すように、塗布する吐出口 4 cの位置によって圧縮エアの伝達圧力が異なるため、吐出位置によって吐出量にばらつきが生じていた。

そこで本発明は上記問題点を解決し、粘性材料を吐出するための圧力伝達を効率良く行って応答性を良くすることによって吐出精度の向上や効率化を図ることができる粘性材料塗布装置を提供することを目的とする。発明の開示

本発明の粘性材料塗布装置は上記目的を達成するために、吐出口に連通して粘性材料を貯留する加圧室を備えた装置本体と、前記加圧室に粘性材料を圧送する粘性材料供給手段とを有し、加圧室内の粘性材料を加圧して吐出する際に、加圧室の容積を増減させて粘性材料の吐出圧を調節する吐出圧調節手段を、加圧室又は加圧室に臨ませて配したことを特徴とする。

本発明によれば、加圧室に貯留された粘性材料は、加圧室又は加圧室に臨ませて配された吐出圧調節手段によって吐出圧を調節されて吐出されるので、エア圧が効率良くかつ均等に粘性材料に伝達され、加圧開始から吐出開始までの応答性が良くなり、瞬時に適正な吐出量で粘性材料を吐出することができる。そして吐出終了後は加圧室内に残圧が残らないので、従来のように粘性材料が吐出口から垂れ下がつて再塗布時に被塗布物に付着するのを防止することができる。特に高粘度の粘性材料の場合でも粘度抵抗を受けにくくなるので、直線状に印刷ペーストを塗布するスクリーン印刷の場合でも均一な吐出を行える等、粘性材料塗布全般において吐出精度の向上や効率化を図ることができる。

吐出圧調節手段は、加圧室内に設けられて吸排気に伴い内部容積が増減する袋と- 前記袋内へ気体を圧力調節して供給しまたは排出するエア供給部とからなるようにすると好適であり、袋がエア供給部と加圧室との気体の吸排気に伴って変形することによって、加圧室内の容積を増減させて吐出圧を容易に調整することができる。この場合、加圧室内での空気袋の位置を吐出口に近づけるほど、吐出用のエア圧と吐出圧との差がなくなつていき応答性を更に良くすることができる。

吐出圧調節手段は、エアシリンダやボイスコイルモー夕等のァクチユエ一夕と、それによつて変形して加圧室内の容積を増減させる隔膜とから構成することもできる。

また、直列に配された複数の粘性材料供給手段に対応して、 1つの加圧室と吐出圧調節手段と吐出口を共有して用い、粘性材料供給手段の配列方向に沿った吐出位置における粘性材料の吐出圧を一括に調節するように構成すると好適である。この構成によれば、前述したようなスクリーン印刷において、高粘度の印刷ペーストの吐出をその吐出位置にかかわらず均一に精度良く行うことが可能になる。

吐出圧調節手段を複数用い、吐出位置における粘性材料の吐出圧を任意に調節するように構成すると好適であり、局部的な圧力調整を容易に行うことができるようになる。

また、加圧室下部両側に 1対の傾斜板を夫々が下方に向けて接近するように取付けて、その下端開口部を吐出口とすることによっては、その傾斜板が前記スクリーン印刷におけるスキージの代わりとなり、スクリーン開口への印刷ペーストの充填を吐出圧調節によって適正に行うことができるので、高精度な印刷ができ印刷品質の向上を実現できる。

尚、上記構成において粘性材料を圧送する粘性材料供給手段からの圧送による供給に限定しない構成によれば、装置本体を交換容易に形成したり、装置本体内に、粘性材料を充填したカートリッジを収容可能にすることによって、粘性材料を加圧室に貯留させることができ、粘性材料供給用の加圧手段が不要になって粘性材料供給を容易にすることができる。

また前記各傾斜板と加圧室の下部側面の間に軟質弾性材料を挟み込むように構成すると好適である。このように構成すると、傾斜板をスクリーンに押し付けた際、傾斜板がたわむことによりスクリーンとの密着性を向上させることができる。それにより、加圧室内に粘性材料を供給するときや加圧室内の粘性材料を加圧するときに、傾斜板とスクリーンの間から粘性材料が出てしまうのを防ぐことができる。しかし、より密着性を向上させるためには傾斜板のたわみを大きくしなければならず、その為には傾斜板の長さを長くする必要がある。そのようにすると加圧室の容積が増え供給する粘性材料が多くなり、供給時間の増大、塗布ユニット重量の増大になる。そこで軟質弾性材料を傾斜板と加圧室の下部側面の間に挟み込むことにより、傾斜板のたわみを確保したまま加圧室の容積を小さくすることができ、粘性材料を最小にすることができる。軟質弾性材料は傾斜板に沿って構成されているが、傾斜板の両端でつながつていてもよく、また傾斜板の両端に別の軟質弾性材料を入れてもよい。粘性材料が多くても良い場合は、傾斜板に沿って軟質弾性材料を構成しなくてもよく、傾斜板の両端のみに軟質材料を入れればよい。

また前記粘性材料供給手段により加圧室を粘性材料で満たした後に粘性材料供給手段の供給圧力を切つた際、供給圧力を切っても加圧室内に満たされた粘性材料はいくらかの圧力を有しており、この加圧室内に残った供給圧力の残圧を吐出圧調節手段を構成する袋により吸収することにより加圧室内の圧力を低下させるように構成すると好適である。これにより加圧室内の残圧を無くすることができ、前記袋により吐出圧をコントロールすることができる。

また加圧室内の端または粘性材料供給手段の間に少なくとも 1個の圧力検出手段を設けることにより、粘性材料供給手段により加圧室に粘性材料を供給していく際、加圧室内に粘性材料が満杯になったことを圧力検出手段により検出するように構成すると好適である。また加圧室を吐出圧調整手段により加圧した際、圧力検出手段での検出圧力が所定圧力に達しない場合、粘性材料の不足と判断し粘性材料供給手段により粘性材料を供給して、加圧室内の粘性材料を補充しうるように構成すると好適である。また吐出圧調整手段により加圧したまま移動し、加圧室の圧力を圧力検出手段で検出することにより、吐出圧調整手段の圧力を調整するように構成すると好適である。

また加圧室に回転可能なシャフトを備え、シャフ卜が回転することにより粘性材料を流動させるように構成すると好適である。

また吐出終了後に吐出圧調整手段により加圧室の圧力を負圧にし、加圧室を水平に移動させながら上昇させることにより、粘性材料を加圧室に回収するように構成すると好適である。

さらに空気袋の中の空気を入れ替えることにより粘性材料の温度を安定させるように構成すると好適である。図面の簡単な説明

図 1は本発明の第 1実施形態における粘性材料塗布装置を示す縦断面図であり、図 2 A、図 2 Bは同実施形態における実験デ一夕を示し、図 2 Aは、吐出圧の応答性を示すグラフ、図 2 Bは吐出圧の効率を従来との比較で示すグラフであり、図 3は本発明の第 2実施形態を示す縦断面図であり、

図 4は本発明の第 3実施形態を示す縦断面図であり、

図 5 A、図 5 Bは本発明の第 4実施形態を示し、図 5 Aは正面図、図 5 Bは側面図であり、

図 6 A〜図 6 Eは同実施形態の参考図で、スクリーン印刷によって印刷ペースト (粘性材料）を塗布する工程を図 6 Aから図 6 Eの手順で示す説明図であり、図 7 A、図 7 Bは吐出圧のばらつきを従来例と比較実験したデータを示し、図 7 Aは同実施形態のデータを示すグラフ、図 7 Bは従来例のデータグラフであり、図 8 A、図 8 Bは吐出圧の応答性を従来例と比較実験したデータを示し、図 8 A は同実施形態のデ一夕を示すグラフ、図 8 Bは従来例のデータを示すグラフであり、図 9は同実施形態の変形例を示す縦断側面図であり、

図 10A、図 10Bは本発明の第 5実施形態を示し、図 10 Aはその縦断面図、図 10Bは同実施形態の吐出圧分布を示すグラフであり、

図 11A、図 11 Bは本発明の第 6実施形態を示し、図 11 Aはその要部を概略して示す斜視図、図 11 Bは同実施形態の吐出圧分布を示すグラフであり、

図 12A、図 12 Bは本発明の作用を第 4、第 5実施形態のもので示したもので、図 12 Aは粘性材料の吐出終了直後の状態を示す縦断面図、図 12 Bは吐出終了後に吐出圧を調節した状態を示す縦断面図であり、

図 13は本発明の第 7実施形態の要部を説明する縦断面図であり、

図 14A、図 14Bは本発明の第 8実施形態を示し、図 14 Aはその縦断面図、図 14 Bはその横断面図であり、

図 15 Aは軟質弾性材料の一体型を示す斜視図、図 15 Bは軟質弾性材料の分割型を示す斜視図であり、

図 16A、図 16Bは空気袋により加圧室内の残圧を除去することを示すグラフであり、

図 17A、図 17B、図 17C、図 17 Dは空気袋の各種態様を示す断面図であ、

図 18は空気を抜く為のスリットを示す説明図であり、

図 19は加圧室内の圧力検出手段を示す説明図であり、

図 20は初期供給及び追加供給を行っている時の加圧室内の圧力を示すグラフであり、

図 21は印刷中の加圧室内の圧力を示すグラフであり、

図 22は加圧室内の圧力検出手段を示す説明図であり、

図 23A、図 23Bは粘性材料の流動を示す図であり、

図 24A、図 24Bは加圧室内にシャフトを配した例を示し、図 24Aはその縦断面図、図 24 Bはその左側面図であり、図 2 5は粘性材料の粘度変化を示すグラフであり、

図 2 6 A、図 2 6 Bは粘性材料の流動速度分布を示す図であり、

図 2 7 A〜図 2 7 Eはスクリーン上の粘性材料を回収する動作を示す図であり、図 2 8 A〜図 2 8 Cは粘性材料を早く室温に戻すことを説明する図であって、図 2 8 Aは縦断面図、図 2 8 B、図 2 8 Cはグラフであり、

図 2 9 A、図 2 9 Bは従来例の粘性材料塗布装置の 2つのタイプを示す概略斜視図であり、

図 3 0は同従来例における吐出圧の応答性のデータを示すグラフであり、図 3 1 A、図 3 1 Bは他の従来例の 2つのタイプの多連ノズルを示す概略斜視図であり、

図 3 2 A、図 3 2 Bは同従来例の各多連ノズルからの吐出圧のデータを、図 3 1 A、図 3 1 Bの測定ポイントにそれそれ対応して示すグラフであり、

図 3 3は本発明の実施形態の変形例であって、ジョイントを塗布ュニットの左右側面に配置した例を示す図である。発明を実施するための最良の形態

以下、本発明の一実施形態の粘性材料塗布装置について図 1から図 2 8、及び図 3 3を参照して説明する。

図 1に示す第 1実施形態の粘性材料塗布装置は、材料供給部 1、エア供給部 2、そして装置本体である塗布ュニット 3とから主構成されている。材料供給部 1は接着剤ゃクリーム半田等の粘性材料 5がシリンジ状の収容タンク 1 bに収容されており、材料供給用の圧縮エアによってプランジャ 1 aが作動して粘性材料 5が加圧され、塗布ユニット 3のチャンバ一（加圧室） 3 c内が常に充満されるように圧送され。

塗布ユニット 3と材料供給部 1とはジョイント 6によって連結されており、ジョイント 6に設けられる貫通穴 6 aが、前記チャンバ一 3 cの側方に水平に設けられる粘性材料供給通路 3 dに連通するように設けられることによって、粘性材料 5が塗布ュニット 3内へ供給される。

塗布ユニット 3下方の吐出部 4には吐出ノズル 4 bが延設されている。一方、塗布ュニット 3の上方にはエア供給部 2が配され、このエア供給部 2から所定の圧力に調節された材料供給用の圧縮エアがエアポート 3 aを介して、チャンバ一 3 c内上部空間全域に設けられた空気袋 3 bへ送りこまれる。第 1実施形態ではこの空気袋 3 bと前記エア供給部 2とで吐出圧調節手段を構成している。本実施形態では圧縮エアを用いたが、他の気体として窒素ガスなどの不活性ガスでもよい。

空気袋 3 bは、例えば厚み 0 . 0 3 mm~ l mm程度のウレタンエラストマ一や、ポリエチレン、ナイロンなどの樹脂材ゃゴム製の袋状の容器から形成されている。また粘性材料 5の組成を考慮して耐溶剤性材料のものを使用すると好適である。より好ましい厚みは、 0 . 3 mn！〜 0 . 5 mmである。ここで空気袋 3 bの厚みは、薄すぎると破れる恐れがある。特にチャンバ一 3 c内に残った供給圧力の残圧を吸収するために、チャンバ一 3 c内に粘性材料 5を供給する時に空気袋 3 bを加圧しておく必要があり、この時に空気袋 3 bが破れる可能性がある。また空気袋 3 bの厚みは厚すぎると、膨張収縮の応答性が悪くなる恐れがある。

また空気袋 3 bは、圧縮エアのエア供給部 2からの流入やエア供給部 2への流出による吸排気に伴って任意に膨張収縮することによって、塗布ュニット 3内のチヤンバ一 3 cの容積を増減させている。これによつてチャンバ一 3 c内の粘性材料 5 を所定の圧力で押出したり、引いたりすることができる。また、空気袋 3 bから吐出口 4 aまでの距離を、例えば 1 0 mm程度に短くすることによって応答性が良くなる。

すなわち、図 2 Aのグラフで示すように、吐出をオンしてから実際に加圧するまでの待ち時間がなく、吐出終了時の残圧がない。実験によれば、吐出圧は、約 0 . 3秒〜 0 . 5秒でェァ供給部 2から送られてきた所定の圧力に到達することができる。また、吐出をオフにしたときも、加圧終了後のチャンバ一 3 c内の圧力が瞬時に 0付近に低下して吐出を停止させることができる。更に第 1実施形態では空気袋 3 bと吐出ノズル 4 b先端の吐出口 4 aとの距離が近いため、エア供給部 2から空気袋 3 bに供給する圧縮エアのエア圧と吐出口 4 aから吐出される粘性材料の吐出圧が、ほぼ同等であることが図 2 Bのグラフに示すように、従来例との比較実験により確認されている。このように第 1実施形態では、エア供給部 2の供給、排気作用と連動した空気袋 3 bの膨張収縮作用による吐出圧調節機能により圧力伝達の効率が良くなり、チャンバ一 3 cに貯留された粘性材料 5の流動特性に対する影響を小さくすることができる。なおエア供給部 2の排気作用は、空気袋 3 b内の空気を大気に開放したり、あるいは吸引することによって実現される。

図 3に示す第 2実施形態では、吐出圧調節のための前記空気袋 3 bの代わりにェァ供給部 2に連動するエアシリンダ 7及び後記隔膜 7 bを用いている。エアシリンダ 7にはピストン 7 aが設置されており、エア供給部 2から所定のエア圧に調節された圧縮エアがェアポ一ト 3 aから供給され、これによつてビストン 7 aが上下動し、その下端に取付けた隔膜 7 bを変形させる。この隔膜 7 bの変形によってチヤンバー 3 c内の容積を増減させて粘性材料 5を加減圧している。隔膜 7 bは図示するものの外、ベロ一ズ等を用いることができる。

図 4に示す第 3実施形態では、吐出圧調節のために前記ビストン 7 aを駆動するボイスコイルモー夕（V C M) 8と呼ばれる電動機を用いている。第 3実施形態において、隔膜 7 bの変形によってチャンバ一 3 c内の容積を増減させるしくみは第 2実施形態の場合と同様であるが、駆動を電動にすることにより、より早い応答を実現できる。ボイスコイルモー夕 8の動作距離（ストローク）は、チャンバ一 3 c やピストン 7 a先端付近に圧力センサー 1 9を取付け、この検出値と設定値を比較することにより制御するか、あるいは動作の際に発生する抵抗値（抵抗力）をボイスコイルモー夕 8のドライバ一から読取って圧力に換算し、これにより制御することもできる。何れの場合でも、圧力を効率良く、かつ即座に精密に伝達するためには吐出圧調節手段となる駆動源や隔膜 7 bと吐出口 4 aとの距離をできる限り小さくする必要がある。

図 5に示す第 4実施形態は、第 1実施形態で示した空気袋と同様の吐出圧調節手段によって吐出圧を調節するものであるが、材料供給部 1を複数配し、 1 1 aやチューブ状の空気袋 1 1 bを共有することによって、所定の容積内の吐出圧を 1組の吐出圧調節手段で一括に調節している点をその特徴としている。

具体的には図 6 A〜図 6 Eに参考として示すように、電子部品を実装するために、回路基板 3 2のランドパターン 3 3上に粘性材料（印刷ペースト） 3 1を印刷する平板孔版式（スクリーン式）等の印刷装置において、粘性材料 3 1を回路基板 3 2 に配されたスクリーン 3 4の開口 3 5に充填する際にスキージ 3 7を用いるが、本実施形態ではスキージ 3 7の代わりに、後記薄板ブレード（傾斜板） 1 2を用いて上記吐出圧力調節手段を作動させている。すなわち第 4実施形態の粘性材料塗布装置は、スクリーン印刷機の印刷へッドとして用いられている。

第 4実施形態によれば、粘性材料 3 1をスクリーン 3 4の開口 3 5に充填する印刷工程において、材料供給部 1の配列方向に配置された空気袋 1 1 bと片側に 1箇所配置された吐出圧調節手段（エア供給部） 2が連動した吸排気作用によってチヤンバー 1 1 aの容積を増減させることによって、開口 3 5への粘性材料 3 1の充填圧力を適正な値に保持する高精度な吐出圧調節ができ、印刷品質の向上を実現できる。この粘性材料塗布装置は、一例として長さが 2 7 0 mmであり、中央部と左右各部にそれそれ 8 5 mm間隔に配置された材料供給部 1には粘性材料 3 1が収容されている。粘性材料 3 1は、材料供給部 1に連結されるジョイント 9内の約直径 6 mmの貫通穴 9 aから塗布ュニット 1 1内のチャンバ一 1 1 aへ圧送される。チヤンバ一 1 1 aにはエア供給部 2から圧縮エアを供給するエアポート 1 1 dとジョイント 1 1 e、空気袋 1 1 bが配されている。

空気袋 1 1 bの中には、シャフト 1 1 gと空気吸排用の空気穴付きパイプ 1 1 f とが取付けられている。シャフト 1 1 gは吐出口 1 4の長さが 2 7 0 mmと長いため、 0 . 0 5 mm厚のナイロンチューブ製の空気袋 1 1 bが変形し、チャンバ一 1 1 aからはみ出すのを防止するために、空気袋 1 1 bの中にむらなく瞬時に空気を送るために設けられている。ジョイント 1 1 eは前記パイプ 1 1 fに連結されている。空気袋 1 l bは直径 1 0 mm、長さ 2 2 0 mm程度であり、ジョイント 1 1 e とはエアリークすることなく 0リング等を用いて連結されている。チャンバ一 11 aの下部両側端には、 0. 3 mm厚の銅製の薄板ブレードからなる 2枚の薄板ブレード 12が 10mm程度の間隔を開けてブレード押え 10によつて、夫々が下方に向けて接近するように取付けられており、スクリーン印刷において、従来のスキージの代わりとなる。第 4実施形態においては薄板ブレード 12、 12間の開口が吐出口 14を形成し、粘性材料 31はこの吐出口 14より吐出される。サイドプレート 13は粘性材料 31がチャンバ一 11 aから漏れないようにゥレ夕ンゴム等のサイドストッパ一 15を挟んでチャンバ一 11 aに固定されている _c 上記のように 3つの材料供給部 1を配置する粘性材料塗布装置において、第 4実施形態のように吐出圧調整手段（吐出圧調整手段 2と空気袋 1 lb) を用いたものと、材料供給部 1の材料供給用の圧縮エアだけで粘性材料 5を吐出する従来のものとでスクリーン印刷した場合を比較実験したデータ結果を図 7と図 8に示している _c まず中央部と左右各部の長手方向の 3つの測定位置における圧力のばらつきの比較においては、エア圧を約 0. 2 kgf cm²に設定した場合、第 4実施形態におけるばらつきは図 7 Aに示すように約 0. 01 kgf /cm²程度で殆ど無視できるほどであった。しかし従来のものでは図 7Bに示すように約 0. lkgf/cm²程度もあった。

次に図 8A、図 8 Bにおいて吐出圧力の応答性について比較する。充填圧力の立ち上がり時間は、図 8Aに示すように、第 4実施形態では約 0. 3秒であるのに対して、図 8Bに示すように、従来のものでは約 10秒以上であった。また加圧終了後についても従来のものでは、チャンバ一内には残圧として約 0. Skgf/cm² 程度の圧力が残ってしまい、また吐出停止からそれに至るまでの時間も約 30秒程度かかるのに対し、第 4実施形態では、チャンバ一 11 a内の圧力は瞬時に低下する。これは加圧終了後、チャンバ一 1 l a内の残圧を空気袋 1 lbが収縮してエア供給部 2へ排気することにより吸引しているためである。

また図 9に示すように、第 4実施形態における空気袋 1 lbが押圧する粘性材料 31の頂面にプレート 11 hを張付け、チャンバ一 11 a内の粘性材料 31が均一に広がるように工夫しても良い。以上説明した第 4実施形態の粘性材料塗布装置においては、粘性材料 31はチヤンバ一 1 1 a内で高精度に且つ均一に加圧され、吐出口 14から吐出される粘性材料 31は吐出口 14の長手方向に対して均一に塗布される。しかし図 10に示す第 5実施形態では、吐出圧を塗布位置ごとに変化させることができるようにしている c 第 5実施形態によれば、図 1 OAに示すように材料供給部 1は 2箇所に設けられ、空気袋 3 f、 3 e、 3 gは中央部、左部、右部の 3箇所に設けられ、エア供給部 2 に連通するエアポート 3 aと共に別々に分けて配置されている。吐出される粘性材料が印刷ペーストのような 200 P a · s程度の高粘度の粘性材料であれば、例えば、左部と右部のエア供給部 2からの圧縮エアのエア圧を 0. Skgf/cm² 中央部のそれを 0. 3 kgf /cm²に設定すると、チャンバ一 3 cからの吐出圧も図 10Bに示すように、左部、右部、中央部で局部的な圧力調整ができる。更に局部的な圧力調整を精度良く行うためには、エア供給部 2に対応してチヤンバー 3 cを仕切ることもできる。

また上記のように複数個の空気袋 3 e、 3 f、 3 gを直列に配置するだけではなく、図 1 1 Aに示す第 6実施形態のように複数個の空気袋 3 bを並列に配置することによって、同一の塗布ユニット 3内で吐出圧を変化させて、圧力分布を任意に作り出すことができる。図 1 1 Bはその圧力分布を示すグラフである。

図 12A、図 12Bは、上記粘性材料塗布装置から粘性材料 31が吐出されて被塗布物 32に塗布された後、被塗布物 32から吐出口 14が離れたときの粘性材料 31の吸引作用を第 4、第 5実施形態の装置で示したものである。この場合、吐出口 14付近の粘性材料 31は被塗布物 32と吐出口 14との間で引きちぎられ、一部の粘性材料 31 bは被塗布物 32上に塗布され、その他の粘性材料 31 aは吐出口 14から垂れ下がってしまう。しかし、図 12 Bに示すように、この状態で空気袋 1 1 bのエアを空気穴付きパイプ 1 1 f を介して吸引することによって空気袋 1 l bは更に収縮し、垂れ下がつている粘性材料 3 l aをチャンバ一 1 1 a内に戻すことになる。

つまり、再度、粘性材料塗布装置を被塗布物 32上に配置したときに、図 12A の状態であれば吐出口 1 4周辺（チャンバ一 1 1 a開口周面）に粘性材料 3 1が付着してしまう。ところが図 1 2 Bのように、垂れ下がった粘性材料 3 1 aを前記のようなエア吸引によってチャンバ一 1 l a内に吸引しておけば、再印刷のために吐出口 1 4が被塗布物 3 2上に配置されても粘性材料 3 1がはみ出すことなく、被塗布物 3 2上はクリーンな状態にすることができる。この吸引するための圧力は、ェァ供給部 2から供給されており、吸引に必要な圧力は空気袋 1 l bが収縮する程度であればよく、約マイナス 0 . 2〜0 . 3 k g f Z c m²が好適である。

図 1 3は第 7実施形態を示している。上述した実施形態では、塗布ュニヅト 3内に形成されるチャンバ一 3 cへの粘性材料 5の供給を材料供給用の圧縮エアによつて行っていたが、供給手段はこれに限定されない。例えば第 7実施形態では、塗布ュニット 3を空気袋 3 b部から着脱可能に形成し、これと粘性材料 5が充填された新しい塗布ュニット 3とを交換することによって粘性材料 5の供給を行っている。粘性材料 5の供給は、チャンバ一 3 c内に収容可能に形成された力一トリッジ 3 h を交換することで行っても良い。この場合、カートリッジ 3 hの内部空間が塗布ュニット 3内でチャンバ一（加圧室）を形成する。カートリッジ 3 hの材質はナイ口ン製、フッ素系、金属 ·非金属系等、チャンバ一 3 c内に収容できれば良い。図 1 4 A、図 1 4 Bに示す第 8実施形態は、第 4実施形態で示した空気袋 1 1 b と同様の吐出圧調整手段によつて吐出圧を調整するもので、材料供給部 1を複数配列しチャンバ一 1 l aや空気袋 1 l bを共有しており、所定の容積内の吐出圧力を 1組の吐出圧力調節手段で一括して調整するものであり、チャンバ一 1 l aの下部側面と薄板ブレード（傾斜板） 1 2の間に軟質弾性材料 3 8を挟み込むように構成している。

軟質弾性材料 3 8が無くても、チャンバ一 1 l aに粘性材料 3 1を供給するときやチャンバ一 1 1 a内の粘性材料 3 1を加圧するときに、塗布ュニット 1 1をスクリーンに押し付け、薄板ブレード 1 2をたわませることによりスクリーンとの密着性を向上させ、薄板ブレード 1 2とスクリーンの間から粘性材料 3 1が出てしまうのを防ぐことができる。しかし、より密着性を向上させるため、またスクリーンの 0/71264

14 うねり等にならう為には、薄板ブレード 1 2をより長くし薄板ブレード 1 2のたわみを大きくする必要がある。しかし、このようにするとチャンバ一 1 1 aの容積が増え供給する粘性材料 3 1が多くなり、供給時間の増大、塗布ュニット 1 1の重量の増大をまねく。

そこで軟質弾性材料 3 8を薄板プレード 1 2とチャンバ一 1 l aの下部側面との間に挟み込むことにより、薄板ブレード 1 2のたわみを確保したままチャンバ一 1 1 aの容積を小さくすることができ、粘性材料 3 1の量を最小にすることができる, 軟質弾性材料 3 8は薄板ブレード 1 2に沿って構成されているが、図 1 5 Aの 3 8 aに示すように薄板ブレード 1 2の両端でつながった一体型でもよく、また図 1 5 Bのように薄板ブレード 1 2に沿って左右 1対の軟質弾性材料 3 8 bと薄板プレード 1 2の両端に別の 1対の軟質弾性材料 3 8 cを入れた分割型としてもよい。粘性材料 3 1が多くても良い場合は、薄板ブレード 1 2に沿って軟質弾性材料 3 8を構成しなくてもよく、薄板ブレード 1 2の両端のみに軟質弾性材料 3 8を入れればよい。また軟質弾性材料 3 8はチャンバ一 1 1 aに固定しておいてもいいが、チャンバー 1 1 aと薄板ブレード 1 2または薄板ブレード 1 2の両端から別のプレートではさむだけでも良い。また、薄板ブレード 1 2の厚みを薄くしたり樹脂系の材料を用いたりすることにより薄板ブレード 1 2のたわみを確保することも可能である。以上により、本実施形態の粘性材料塗布装置をスクリーン印刷機の印刷へッドとして用いたとき、薄板ブレード 1 2のたわみを大きく取ることによりスクリーンのうねり等にならうことができ、スクリーンの下に回路基板が無くても薄板ブレード 1 2で粘性材料 3 1をかき取ることができる。

また、印刷中の塗布ユニット 1 1は、スクリーンにならうために上下に自由に移動する構成をとることが多いが、薄板ブレード 1 2のたわみを有効に使うために塗布ュニット 1 1の上下方向の動きを規制した方が、薄板ブレード 1 2が上下に動き粘性材料 3 1をかき取ることができ好適である。

なお、軟質弾性材料 3 8は、柔らかい上に耐溶剤性のものが良く、例えば低硬度のポリェチレンゃゥレタンゴム等が適しているが、定期交換を行えばシリコンゴム、特に発泡系のシリコンゴムも柔らかいため好適である。しかも、これら軟質弾性材料 3 8のスクリーンに対向する側の面に高硬度の材料、例えばフッ素系の材料を接合もしくはコーティングしておくと滑りが良く寿命も伸びて好適である。

次に図 1 6 A、図 1 6 Bを用いてチャンバ一 1 1 a内の圧力について比較する。材料供給部 1によりチャンバ一 1 1 aを粘性材料 3 1で満たした後に材料供給部 1 の供給圧力を切った際、供給圧力を切ってもチャンバ一 1 l a内に満たされた粘性材料 3 1は図 1 6 Aのようにいくらかの圧力を有しており（以降残圧と呼ぶ）、この残圧は数分経過しても極端に低下することはない。空気袋 1 l bにより吐出圧力を発生させるが、残圧 <吐出圧力の場合は空気袋 1 1 bにより吐出圧力をコント口 —ルできるが、残圧 >吐出圧力の場合は吐出圧力をコント口ールすることは困難である。

そこで、材料供給部 1に供給圧力をかけるときまたは供給中に、空気袋 1 l bを膨らませておき、チャンバ一 1 l a内が粘性材料 3 1で満たされ供給圧力を切る際に空気袋 1 l bのエアも切れば、空気袋 1 1 bがしぼむことによりチャンバ一 1 1 a内の残圧を吸収することができ、図 1 6 Bのようにチャンバ一 1 1 a内の残圧を 1秒以下の時間で低下させることができる。これによりチャンバ一 1 l a内に圧力が無くなり、空気袋 1 1 bにより吐出圧力をコントロールすることができる。

このとき、図 1 7 Aに示すように、チャンバ一 1 1 a内の粘性材料 3 1の動きを妨げないようにチャンバ一 1 1 aと別の部屋 1 l m (この場合 1 1 a、 1 1 mの両方で本発明の加圧室が構成される。）に空気袋 1 l bを設ける、もしくはチャンバ - 1 1 aの上部に設けても同様の効果を得ることができる。これまでの空気袋 1 1 bは断面円形（図 1 7 A) であったが、図 1 7 Bのようにシート状のものに空気をためる空気袋 3 9 aや、図 1 7 Cのようにバック状のものに空気をためる空気袋 3 9 bを用いてもこれまでと同様の効果を得ることができる。これらを応用して図 1 7 Dのように、加圧室（チャンバ一） 1 1 aを袋状にして空気の入るところを部屋にするように弾性材料袋（空気袋） 3 9 cを用いても同様の効果を得ることができる。本実施形態では、薄板ブレードとして 0 . 3 mm厚の銅製のもので説明したが、例えば 0 . l mm〜0 . 5 mm程度の銅、ステンレス、樹脂（ポリイミドゃポリアミド .イミド等）のブレ一ドでもよい。

また本実施形態では、図 5等に示すように材料供給部 1と塗布ュニット 1 1との左右のジョイント 9は塗布ュニット 1 1の上部に配置されているが、図 3 3に示したように塗布ュニット 1 1の左右側面に配置してもよく、材料供給部 1の粘性材料 3 1はチャンバ一 1 1 aの側面から供給される。このことによりチャンバ一 1 1 a 内への粘性材料 3 1の供給がスムーズに行える。

次に、図 1 8に示すように、チャンバ一 1 1 a内に粘性材料 3 1を供給する際、チャンバ一 1 1 aが満杯になっても空気溜り 4 0 aがチャンバ一 1 1 a内に残ることがある。チャンバ一 1 l a内は空気袋 1 1 bにより均等に圧力がかかっているので空気溜り 4 0 aにも同様の圧力がかかり大きな問題にはならないが、より精密に圧力をコントロールする為には微小な穴もしくはスリットなどの空気抜き 4 0を設ければ、空気溜り 4 0 aの空気は排出される。このとき穴もしくはスリットは微小である為に、粘性材料 3 1が出て行くには抵抗が大きく、空気抜き 4 0から出てしまうことはない。

次に図 1 9においてチャンバ一 1 1 a内の粘性材料 3 1の満杯検出について説明する。材料供給部 1に供給圧力をかけ粘性材料 3 1をチャンバ一 1 1 aに供給していく際、所定時間供給圧力をかけていても良いが、チャンバ一 1 l a内の端または材料供給部 1の間に少なくとも 1個の圧力検出手段 4 1を設けることにより、チヤンバー 1 1 a内に粘性材料 3 1が満杯になったことを圧力検出手段 4 1により検出することができる。

また図 2 0により印刷中の粘性材料 3 1の供給方法を説明する。チャンバ一 1 1 a内に粘性材料 3 1を初期供給する方法は前述した通り行い、チャンバ一 1 l a内が満杯になれば空気袋 1 1 b、 3 9 a、 3 9 b、 3 9 c (以下 1 1 bとのみ記す。）を膨らませ印刷をしていく。印刷により粘性材料 3 1は少しずつ減少していくが、空気袋 1 1 bが膨らんでいる間はチャンバ一 1 1 a内に所定圧力を発生することができ印刷することができる。空気袋 1 1 bが膨らみきつて粘性材料 3 1の減少した容積を補うことができなくなると、チャンバ一 1 1 a内の圧力は低下し、あらかじめ設定してある印刷する為に必要な下限圧力になる。チャンバ一 1 1 a内の下限圧力を前記圧力検出手段 4 1 により検出することにより粘性材料 3 1の減少を検出し、初期供給と同様の動作を行うことにより再度チャンバ一 1 1 a内に粘性材料 3 1を供給することにより、空気袋 1 1 bを膨らませて吐出圧力を発生し印刷を続けることができる。

このときもチャンバ一 1 1 a内の残圧が問題なければ材料供給部 1のみの動作でよいが、残圧が問題になる場合はやはり空気袋 1 l bにより残圧を取り除く必要がある。

また、あらかじめ粘性材料 3 1の供給タイミングがわかっている場合は、下限圧力を検出しなくても印刷回数など設定したタイミングにより粘性材料 3 1を供給しても良いし、粘性材料 3 1の粘度が低い場合は、常時低圧の供給圧力をかけて少しずつ粘性材料 3 1を供給しても良い。

また図 2 1において印刷時のチャンバ一 1 l a内の圧力を説明する。空気袋 1 1 bを膨らませることにより、チャンバ一 1 1 a内の圧力を瞬時に高めることができ- そのまま塗布ュニット 1 1を移動させることにより印刷を行う。このとき塗布ュニット 1 1が移動することによりチャンバ一 1 1 a内の粘性材料 3 1はチャンバ一 1 1 a内を移動するため、圧力検出手段 4 1で検出される圧力は塗布ュニット 1 1が停止しているときに比べ低くなる。

この圧力差が問題にならない程度のスクリーンの開口なら空気袋 1 l bは所定圧力で膨らましておけば良いが、そうでない場合は実際に印刷しているときの圧力も検出し、塗布ュニット 1 1の停止時と移動時のチャンバ一 1 1 a内の圧力差から粘性材料 3 1の移動状態を考察する。特にチャンバ一 1 1 a内の圧力差が大きい場合は、粘性材料 3 1が移動し易いつまり粘度が低下している場合が多いので、圧力低下の度合いに応じて空気袋 1 1 bの圧力を再設定する。

この圧力の再設定は、粘性材料 3 1の粘度との関係を補正するものであるので、あらかじめ粘度と検出圧力と設定圧力の関係を決めていれば印刷中でも自動的に再設定することができる。また温度変化や連続使用等により粘性材料 3 1の粘度が変化しても、前の印刷中に測定した圧力と比較することにより空気袋 1 l bの圧力を再設定することにより、安定した印刷を実現することができる。

また印刷開始前に空気袋 1 l bに圧力をかけ、スクリーンの開口の無いところで塗布ユニット 1 1を動かすことにより、実際に印刷を行わなくても空気袋 1 1 の圧力を再設定することができる。

また図 2 2に示すように、圧力検出手段 4 1を複数個チャンバ一 1 1 a内の周囲に設けることにより、より精密に粘性材料 3 1の圧力状態を検出することができ、チャンバ一 1 1 a内の粘性材料 3 1の動きを検出することが可能になる。圧力検出手段 4 1の圧力差が大きければ、粘性材料 3 1の動きが悪い、つまり粘度が高いので空気袋 1 l b ( 3 9 a ) の圧力を高く設定し、圧力検出手段 4 1の圧力差が小さければ、粘性材料 3 1の動きが良い、つまり粘度が低いので空気袋 1 l bの圧力を低く設定することができる。

次に図 2 3 A、図 2 3 Bにより粘性材料の流動を促進させる方法について説明する。図 2 3 Aのように、チャンバ一 1 1 a内に満たされた粘性材料 3 1は、吐出圧力をかけられたままスクリーン 3 4上を移動すると移動方向と同じ方向に回り流動を行う。吐出圧力がかかっていない場合はこの流動は起こらず、粘性材料 3 1はスクリーン 3 4上を滑ってしまうためスクリーン 3 4の開口に入りにくくなり、印刷することができない。つまり、粘性材料 3 1が流動することで、スクリーン 3 4の開口に粘性材料 3 1が入り印刷することができる。

これは図 2 3 Bに示すように、スキージ 3 7を用いて印刷する場合と同様で、スキージ 3 7が移動すると粘性材料 3 1も同方向に回り流動している。

また、このスキージ方式の場合は粘性材料 3 1の流動性を促進するために、スキージ 3 7のところに粘性材料 3 1を供給する前にあらかじめ容器内にて粘性材料 3 1をかき混ぜることがしばしば行われている。

本発明のように粘性材料 3 1がチャンバ一 1 1 a内にある場合はあらかじめ粘性材料 3 1をかき混ぜておくことはできないが、印刷動作を行うことによりチャンバ一 1 1 a内の粘性材料 3 1が流動することを考えれば、印刷開始前に吐出圧力をかけたままスクリーン 3 4上で塗布ュニット 1 1が往復動作を行うことにより粘性材料 3 1をかき混ぜることができるのは明白であり、前記動作を印刷前に行うことは印刷を安定させる為には好適である。

さらに粘性材料 3 1を混ぜておく必要がある場合は、図 2 4 A、図 2 4 Bに示すようにチャンバ一 1 1 a内にシャフト 4 2を設け、これを回転させることにより粘性材料 3 1を混ぜることができる。シャフト 4 2はチャンバ一 1 1 a内にあり、両端を支持されており 0リング 4 3にて粘性材料 3 1が漏れるのを防いでいる。シャフト 4 2の少なくとも一方はプーリ 4 4が固定されており、ベルト 4 5を介してモ —夕 4 6に接続している。つまり、モ一夕 4 6を回転させることによりシャフト 4 2が回転し、粘性材料 3 1を強制的に混ぜることができる。

図 2 5に示すように、粘性材料 3 1を粘度の面から見ると、印刷動作のたびに流動しているので粘度は徐々にではあるが低下している。塗布ユニット（印刷へッド） 1 1を往復動させることによりあらかじめ粘性材料 3 1の粘度をある程度下げておくことはできるし、また前記シャフト 4 2を用いることにより、より粘度を下げその後の印刷による粘性材料 3 1の粘度変化を少なくすることができる。印刷へッド 1 1の往復動作時にシャフト 4 2も回転させるとより効果があることは言うまでもない。

次に図 2 6 A、図 2 6 Bによりチャンバ一 1 1 a内の粘性材料 3 1の流動速度について説明する。印刷時の粘性材料 3 1の流動速度は図 2 6 Aの矢印のように吐出口 1 4の位置で最大になり、上方に行くに従って小さくなる。粘性材料 3 1の粘度が高い場合は流動しにくいのでその流動速度は小さくなり、その影響で吐出口 1 4 の位置での速度は小さくなり印刷ヘッド 1 1の速度と合わず、結果的にスクリーン 3 4と粘性材料 3 1は滑りが生じ印刷が困難になる。また、印刷速度が速い場合は吐出口 1 4の位置での流動速度は速くなろうとするが、チャンバ一 1 1 a内の粘性材料 3 1の粘性が抵抗になって吐出口 1 4の位置での速度は大きくならず、やはり結果的にスクリーン 3 4と粘性材料 3 1は滑りが生じ印刷が困難になる。図 2 6 Bに示すように、印刷中もチャンバ一 1 1 a内に構成したシャフト 4 2を回転させることにより、チャンバ一 1 1 a内の粘性材料 3 1の流動を促進することができるので、粘性材料 3 1の粘度が高い場合や印刷速度が速い場合も吐出口 1 4 の位置での速度を速くすることができ、結果的にスクリーン 3 4と粘性材料 3 1の間には滑りが生じず印刷ができる。

もちろんシャフ卜 4 2をフリーにして粘性材料 3 1の流動に沿わせることも可能であるし、またシャフト 4 2の端軸にひずみゲージ等を取りつけ粘度を測定することも可能ではあるが、強制的にシャフト 4 2を回転させたほうが効果的である。

次に図 2 7 A〜図 2 7 Eによりスクリーン上に粘性材料 3 1を残さずに印刷へヅド（塗布ユニット） 1 1をスクリーン 3 4から離す方法について説明する。図 2 7 Aに示すように、印刷ヘッド 1 1のチャンバ一 1 l aの中には粘性材料 3 1があり、吐出口 1 4で粘性材料 3 1はスクリーン 3 4と接している。図 2 7 Bに示すように、このまま印刷へッド 1 1を上昇させるとスクリーン 3 4上に粘性材料 3 1を多く残してしまう。また、図 2 7 Cに示すように、吐出口 1 4からの粘性材料 3 1の垂れ下がり防止の時と同じく、空気袋 1 1 bをしぼませてから印刷ヘッド 1 1を上昇させてもやはりスクリーン 3 4上には粘性材料 3 1は残ってしまう。残った粘性材料 3 1は再使用するには手間がかかるため、スクリーン 3 4上の粘性材料 3 1は全て印刷へッド 1 1に回収しなければならない。

本発明では、塗布ユニット 1 1内の空気袋 1 1 bをしぼませることにより、チヤンバー 1 1 a内の粘性材料収容可能な空間の容積を増大させて、チャンバ一 1 1 a 内の粘性材料 3 1をスクリーン 3 4上から離すことにより、粘性材料 3 1の回収を容易に行える。このようにチャンバ一 1 1 a内で粘性材料 3 1を移動（スクリーン 3 4から離すように移動）させることにより本願発明は粘性材料 3 1の回収を容易に行うものである。本実施形態では下記に示すように空気袋 1 l bをしぼませることにより粘性材料 3 1を移動させたが、チャンバ一 1 1 a内の粘性材料収容可能な空間の容積を増大させる方法はこれに限られるものではない。本実施形態においては、図 2 7 Cに示すように、空気袋 1 l bをしぼませてチヤンバー 1 1 a内の粘性材料収容可能な空間の容積を増大させることができるので、図 2 7 Dに示すように、印刷ヘッド 1 1を水平に移動させスクリーン 3 4上の粘性材料 3 1を薄板ブレード 1 2で接き取り、そのまま印刷へッド 1 1を水平移動させながら図 2 7 Eに示すように、上昇させることによりスクリーン 3 4上に粘性材料 3 1を残さず印刷へヅド 1 1をスクリーン 3 4から離すことができる。

次に図 2 8 A〜図 2 8 Cにより塗布ュニット 1 1を早く常温に戻す方法について説明する。使用途中の粘性材料 3 1は、生産停止時に通常塗布ュニット 1 1にふた等をして冷蔵庫等に保管しておく。生産を再開するときには粘性材料 3 1の温度を室温に戻しておく必要があり、図 2 8 Bのように通常は生産の 3 0分以上前に冷蔵庫から取り出しておかなければならない。粘性材料 3 1の交換が頻繁であれば、粘性材料 3 1を室温にするために手間と時間がかかってしまう。

本発明では、図 2 8 Aに示すように空気袋 1 1 bの中の空気を入れ替えることにより図 2 8 Cに示すように、粘性材料 3 1の温度を早く室温に戻すことができ、生産をすぐに開始することができ余計な手間と時間が不要になる。産業上の利用可能性

以上説明したように本発明によれば、吐出口近傍に配された吐出圧調節手段によつて、加圧室内に貯留された粘性材料を吐出する際の圧力伝達を効率良く行い、瞬時に適正で均一な吐出圧で吐出を効率良く高精度に行うことができ、殊にスクリーン印刷に用いることによっては、スクリーン開口への充填圧力の高精度化によって- 粘性材料の漏れやプリッジの発生を防止することができるので印刷品質の向上を図る上で有用である。

Claims

請求の範囲

1. 吐出口（4a) に連通して粘性材料（5) を貯留する加圧室（3 c) を備えた装置本体（3) と、前記加圧室（3 c) に粘性材料（5) を圧送する粘性材料供給手段（1) とを有し、加圧室（3 c) 内の粘性材料（5) を加圧して吐出する際に、加圧室（3 c) の容積を増減させて粘性材料（5) の吐出圧を調節する吐出圧調節手段（2、 3b) を、加圧室内（3 c) 又は加圧室（3 c) に臨ませて配したことを特徴とする粘性材料塗布装置。

2. 吐出圧調節手段（2、 3b) は、加圧室（3 c) 内に設けられて吸排気に伴い内部容積が増減する袋（3b) と、袋（3b) 内へ気体を圧力調節して供給しまた排出するエア供給部（2) とからなる請求項 1記載の粘性材料塗布装置。

3. 吐出圧調節手段は、エアシリンダ（7) やボイスコイルモー夕（8) 等のァクチユエ一夕と、それによつて変形して加圧室（3 c) 内の容積を増減させる隔膜（7b) とから構成される請求項 1記載の粘性材料塗布装置。

4. 直列に配された複数の粘性材料供給手段（1) に対応して、 1つの加圧室（1 l a) と吐出圧調節手段（2、 l i b) と吐出口（14) を共有して用い、粘性材料供給手段（1) の配列方向に沿った吐出位置における粘性材料（31) の吐出圧を一括に調節するように構成した請求項 1記載の粘性材料塗布装置。

5. 複数の吐出圧調節手段（2、 3 e、 3 f , 3 g) を用い、吐出位置における粘性材料（31) の吐出圧を任意に調節するように構成した請求項 1記載の粘性材料塗布装置。

6. 加圧室（ 1 1 a) 下部両側に 1対の傾斜板（12、 12) を夫々が下方に向けて接近するように取付けて、その下端開口部を吐出口（ 14) とした請求項 4記載の粘性材料塗布装置。

7. 吐出口（4 a) に連通して粘性材料（5) を貯留する加圧室（3 c) を装置本体（3) 内に備え、加圧室（3 c) 内の粘性材料（5) を加圧して吐出する際に、加圧室（3 c) の容積を増減させて粘性材料（5) の吐出圧を調節する吐出圧調節手段（3b) を、加圧室（3 c) 内又は加圧室（3 c) に臨ませて配したことを特徴とする粘性材料塗布装置。

8. 各傾斜板（ 12、 12) と加圧室（1 1 a) の下部側面の間に軟質弾性材料（38) を挟み込むように構成した請求項 6記載の粘性材料塗布装置。

9. 粘性材料供給手段（ 1 ) により加圧室（3 c) を粘性材料（ 5 ) で満たした後、加圧室（3 c) 内に残った供給圧力の残圧を袋（3b) により吸収することを特徴とした請求項 2記載の粘性材料塗布装置。

10. 加圧室（ 1 1 a) 内の端または粘性材料供給手段（ 1 ) の間に少なくとも 1個の圧力検出手段（41) を設け、加圧室（1 1 a) 内に粘性材料 (31) が満杯になったことを圧力検出手段（41) により検出することを特徴とした請求項 4記載の粘性材料塗布装置。

1 1. 加圧室（ 1 1 a) を吐出圧調整手段（2、 1 1 b) により加圧した際、圧力検出手段（41) での検出圧力が所定圧力に達しない場合、粘性材料（31) の不足と判断し粘性材料供給手段（1) により粘性材料（31) を供給することを特徴とした請求項 10記載の粘性材料塗布装置。

12. 吐出圧調整手段（2、 11 b) により加圧したまま移動し、加圧室 (1 1 a) の圧力を圧力検出手段（41) で検出することにより、吐出圧調整手段 (2、 1 l b) の圧力を調整することを特徴とした請求項 10記載の粘性材料塗布

13. 加圧室（11 a) に回転可能なシャフト（42) を備え、シャフト (42) が回転することにより粘性材料（31) を流動させることを特徴とした請求項 4記載の粘性材料塗布装置。

14. 吐出圧調整手段（2、 1 l b) により加圧室（1 l a) の圧力を負圧にし、加圧室（ 1 1 a) を水平に移動させながら上昇させることにより、粘性材料

(31) を加圧室（ 1 1 a) に回収することを特徴とした請求項 4記載の粘性材料塗布装置。

15. 袋（1 l b) の中の気体を入れ替えることにより粘性材料（31) の温度を安定させることを特徴とした請求項 2記載の粘性材料塗布装置。

16. 請求項 6記載の粘性材料塗布装置を印刷へッド（1 1) としたことを特徴としたスクリーン印刷機。

17. チャンバ一 (1 1 a) 内に粘性材料（31) を貯留した塗布ュニッ卜 (1 1) を被塗布物上を移動させながら、前記粘性材料（31) を吐出して被塗布物に前記粘性材料 (31) を塗布する方法であって、前記粘性材料（31) を、塗布ユニット（ 11) 内に移動させて塗布ユニット（ 1 1) 内に回収することを特徴とする粘性材料塗布方法。

18. チャンバ一 (1 1 a) 内に粘性材料（31) を貯留した塗布ュニット (11) を被塗布物上を移動させながら、チャンバ一（1 1 a) 内の粘性材料収容可能な空間の容積を増減させることにより前記粘性材料（31) を吐出して被塗布物に前記粘性材料（31) を塗布する方法であって、塗布ュニット（1 1) を被塗布物に沿って移動させ、塗布ュニット（11) のチャンバ一（1 1 a) 内の粘性材料収容可能な空間の容積を増大させながら塗布ユニット（11) を被塗布物上から上昇させて、粘性材料（31) を塗布ユニット（1 1) 内に回収することを特徴とする粘性材料塗布方法。

19. チャンバ一（11 a) 内に粘性材料 (31) を貯留した塗布ュニヅト (11) を被塗布物上を移動させながら、前記粘性材料（31) に圧力を加えることにより前記粘性材料（31) を吐出して被塗布物に前記粘性材料（31) を塗布する方法であって、塗布ュニッ卜（11) を被塗布物に沿って移動させ、塗布ュニ、ソト（1 1) のチャンバ一（11 a) 内の粘性材料収容可能な空間の容積を増大させながら塗布ュニット（11) を被塗布物上から上昇させて、粘性材料（31) を塗布ュニット（1 1) 内に回収することを特徴とする粘性材料塗布方法。